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SEM扫描电子显微镜检测 扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一 束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电 子、X光信号、背面射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产 生的电磁辐射。根据信号强度形成形貌照片，能高倍率观察表面外观形貌。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等。 应用范围： 观察芯片内部层次的厚度，看Poly大小，看局部异常，芯片的关键尺寸、线宽及孔径的测量。 分享到：
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