SEM扫描电子显微镜检测

发布:探针台 2019-08-05 09:17 阅读:1562
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扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一 束高能的入射电子轰击物质表面时,被激发的区域将产生二次电 子、X光信号、背面射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产 生的电磁辐射。根据信号强度形成形貌照片,能高倍率观察表面外观形貌。原则上讲,利用电子和物质的相互作用,可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息,如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等。 /s%-c!o^  
应用范围 P`O`Mw EAf  
观察芯片内部层次的厚度,看Poly大小,看局部异常,芯片的关键尺寸、线宽及孔径的测量。
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