现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 @i6D&e=  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 7}TjOWC  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 0#XZ_(@%  

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第一篇光学多层膜设计 ]>*Z 1g;
  
第1章光学薄膜特性的理论计算 :mY(d6#A>  
1.1单色平面电磁波 \u",bMQF  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 +4B>gS[ F  
1.3光学薄膜特性的理论计算
w9c  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 j/dNRleab  
习题 "d%":F(  
第2章光学薄膜的设计理论 o`hF1*yp  
2.1矢量作图法 %UgyGQeo  
2.2有效界面法 CW, Kw  
2.3对称膜系的等效层 M0"xDvQ  
2.4导纳图解技术 $p}7CP  
习题 #LBZ%%v  
第3章光学薄膜系统的设计 3mr9}P9;  
3.1减反射膜 hbx
G  
3.2分束镜 '.d el7s  
3.3高反射膜 /d8PDc"  
3.4干涉截止滤光片 S :9zz  
3.5带通滤光片 0u-'{6  
3.6特殊膜系 :);GeZ  
习题 b
s:E`Q  
参考文献 gbQrSJs!Zh  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 \BUr2]  
第4章薄膜制备技术 vY}/CBmg  
4.1真空淀积工艺 ~hYG%  
4.2光学薄膜材料 %'k^aqFL  
4.3薄膜厚度监控艺术 <Cn-MOoM  
4.4膜层厚度的均匀性 om;jXf}A  
习题 hPD2/M  
参考文献 RzFv``g  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 y$K!g&lGA  
5.1薄膜的形成过程 3QU<vdtr  
5.2薄膜的微观结构 >g8Tl`P,iN  
5.3薄膜的成分 ^e^M A.kM,  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 XQHvs{Po  
5.5薄膜微观结构和改善 to]1QjW-  
习题 !);'Bk9o  
参考文献 rjx6Ad/\  
第三篇光学薄膜检测技术 }(20MW8rMc  
第6章薄膜透射率和反射率测量 y`7BR?l  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 (A/V(.!  
6.2薄膜反射率的测试 [p[Kpunr{l  
6.3薄膜反射率的测量 ON] z-
 
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 MXSPD#gN  
6.5总结 5Y_)%u  
习题 gtVI>D'(W  
参考文献 qL UbRp  
第7章薄膜的吸收和散射测量 0bS\VUB(  
7.1激光量热计基本原理 OUS@)Tyh  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 3dQV5E.  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 qZG "{8  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 QcIa%lf  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Nt'(JAZ;  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 Xr6UN{_-  
7.7总结 O: :X$O7  
习题 50uNgLs  
参考文献 Y(-4Agq  
第8章薄膜光学常数的测量 8u!!a^F  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 &0*j n
b  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ,*}SfCon  
8.3薄膜波导法 egK,e?~  
8.4光学薄膜厚度的测试 `SZ^~O  
8.5总结 ]fnc.^{  
习题 [8(e`6xePb  
参考文献 Iyz};7yVI  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 t' o:aI  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ZlUd^6|:3  
9.2薄膜器件的环境试验 
?8)_,  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 I+kDx=T!  
9.4总结 R<a7TkL4?  
习题 Ky|dRbK,  
参考文献 b'3w.%^  
附录 4b,N"w{v  
附录A复数与复数运算 zdlysr#  
A.1复数的概念 w|OMT>.  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 AQDT6E:  
A.3复数在物理中的运用 b(wW;C'#0p  
附录B矩陈及矩陈运算 `h+sSIko  
B.1矩陈的定义 _qR1M):yJ  
B.2矩陈运算 ))K3pKyb  
附录C光的电磁理论基础 H3H3UIIT_  
C.1振动与波 >MauuL,.j  
C.2电磁波 <=W;z=$!Bb  
C.3麦克斯韦方程 qfd/t<?|D  
C.4平面电磁波 kid3@  
C.5平面电磁波性质 j,Eo/f+j5  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ypSW9n  
附录D光的干涉 }*4XwUM e  
D.1波的叠加原理 `b=?z%LuT  
D.2杨氏干涉 se:]F/  
D.3平板的表面干涉 4onRO!G,  
D.4光的空间相干性和时间相干性 vUk <z*  
附录E光的偏振 Gc^w,n[E  
E.1自然光和偏振光 PO%Z.ol9  
E.2偏振光与Jones矩陈 zYvf}L&]h  
E.3偏振光的获得 O-[lL"T  
E.4偏振光的检验 F4xYfbwY"]  
…… w+)MrB-}  
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