现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 6xr%xk2E  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 6\UIp#X  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ww+,GnV  
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第一篇光学多层膜设计 }QCn>LXE  
第1章光学薄膜特性的理论计算 g&_f%hx?  
1.1单色平面电磁波 mYk~ ]a-  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 GUJ?6;  
1.3光学薄膜特性的理论计算 UsCaO<A  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ^mut-@ N9  
习题 )RWY("SUy1  
第2章光学薄膜的设计理论 K|D1  
2.1矢量作图法 fU.z_T[@  
2.2有效界面法 2PNe~9)*#  
2.3对称膜系的等效层 Xe\v6gbD  
2.4导纳图解技术 3/c%4b.Z  
习题 Qip@L WvT  
第3章光学薄膜系统的设计 Hh&qjf  
3.1减反射膜 Aeq^s  
3.2分束镜 ~?iQnQYI  
3.3高反射膜 @'P
ay)P  
3.4干涉截止滤光片 S*76V"")  
3.5带通滤光片 EAC
I>  
3.6特殊膜系 h>Z`&  
习题 SC3_S.  
参考文献 ^ME'D  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 xbCQ^W2YU|  
第4章薄膜制备技术 YPKB4p#  
4.1真空淀积工艺 [4yw? U  
4.2光学薄膜材料 Mlbc
Jo3  
4.3薄膜厚度监控艺术 * ]D{[hV  
4.4膜层厚度的均匀性 q(2ZJn13f  
习题 g<$2#c}  
参考文献 0<f.r~  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 _ib @<%  
5.1薄膜的形成过程 v@J[qpX  
5.2薄膜的微观结构 &2ty++gC  
5.3薄膜的成分 CHCT e  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 rz%^l1@-  
5.5薄膜微观结构和改善 2^rJ|Ni  
习题 eq<!  
参考文献 )4,U  
第三篇光学薄膜检测技术 I_R6 M1  
第6章薄膜透射率和反射率测量 5e?<x>e  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 _S-@|9\&#  
6.2薄膜反射率的测试 ['K}p24,  
6.3薄膜反射率的测量 e3[Q6d&|  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 43O5|8o  
6.5总结 1FT3d  
习题 `'pAiu  
参考文献 &zP>pQr`#  
第7章薄膜的吸收和散射测量 H
9!q)qlK  
7.1激光量热计基本原理 pEW~zl  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 hR.vJ2oa  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 |goK@<  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 +NiCt S  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 sN#ju5  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ip1gCH/?_+  
7.7总结 hp2$[p6O  
习题 iHvWJ<"jR  
参考文献 -_O jiQR  
第8章薄膜光学常数的测量 
q)AX*T+  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 3 4&xh1=3  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 !E)|[:$XT  
8.3薄膜波导法 GY^;$?  
8.4光学薄膜厚度的测试 (qz)3Fa  
8.5总结 VC%.u.< F  
习题 Tb8r+~HK  
参考文献 8yH
)9#>  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 |y+_BZ5  
9.1薄膜的力学特性检测技术 MpIiHKQ G9  
9.2薄膜器件的环境试验 E\p"%  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 e,W,NnCICj  
9.4总结 sc6NON#  
习题 qL[SwEc  
参考文献 XGjFb4Tw
7  
附录 \wK4bv
UrX  
附录A复数与复数运算 >vO+k^'Y  
A.1复数的概念 F!*GrQms  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 |>.</68Z  
A.3复数在物理中的运用 <$WS~tTz  
附录B矩陈及矩陈运算 Ed2A\S6tl  
B.1矩陈的定义 h ^s8LE3  
B.2矩陈运算 8%xBSob{j  
附录C光的电磁理论基础 Bvh{|tP4  
C.1振动与波 XP?)xDr8  
C.2电磁波 a#& ( i  
C.3麦克斯韦方程 :F@goiuC  
C.4平面电磁波 S2nX{=  
C.5平面电磁波性质 g#cet{>  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 .0~uM!3y  
附录D光的干涉 LhM$!o?W  
D.1波的叠加原理 ~P;A 9A(k  
D.2杨氏干涉 ;K%/sIIke  
D.3平板的表面干涉  _+(@?  
D.4光的空间相干性和时间相干性 gx?r8  
附录E光的偏振 $em'H,*b3  
E.1自然光和偏振光 N]6t)Zv  
E.2偏振光与Jones矩陈 ()F{kM8  
E.3偏振光的获得 qPN9Put  
E.4偏振光的检验 nj0]c`6rN@  
…… B;W%P.<.  
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