现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 |TBKsx8  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 n lvDMZ  

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第一篇光学多层膜设计 0jefV*3qpB  
第1章光学薄膜特性的理论计算 vr>Rd{dm  
1.1单色平面电磁波 %eqL)pC]  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 BA0.B0+"  
1.3光学薄膜特性的理论计算 }xzb
g  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 (e{pAm  
习题 1T7;=<g`  
第2章光学薄膜的设计理论 \?.M1a[  
2.1矢量作图法 O~g0R6M6e  
2.2有效界面法
nr9cG/"  
2.3对称膜系的等效层 ;,_c1x/F  
2.4导纳图解技术 {5:V hW}  
习题 T/l2B1  
第3章光学薄膜系统的设计 y {1p#  
3.1减反射膜 Ed~2Qr\65  
3.2分束镜 *8QGv6*vQ  
3.3高反射膜 kIUb`b>B  
3.4干涉截止滤光片 (svd~he2  
3.5带通滤光片 MU&P+Wr  
3.6特殊膜系 b<rJ@1qtJ  
习题 _\xd]~ELj  
参考文献 4q5bW+$Xj  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 Q|}Pc>ae  
第4章薄膜制备技术 KEj-y+  
4.1真空淀积工艺 ((%g\&D  
4.2光学薄膜材料 [P_1
a`b  
4.3薄膜厚度监控艺术 7[ra#>e8'  
4.4膜层厚度的均匀性 7e-l`]  
习题
Y|iALrx  
参考文献 $r=Ud >  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 FVcooV  
5.1薄膜的形成过程 K:eP Il{JE  
5.2薄膜的微观结构 MoP0qNk  
5.3薄膜的成分 D~Y3\KP  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 m<;&B   
5.5薄膜微观结构和改善 l0$ +)FKd  
习题 DNaU mz  
参考文献 "8"7AoE  
第三篇光学薄膜检测技术 7MT[fA8^  
第6章薄膜透射率和反射率测量 i'%:z]hp9  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 8V(#S:G35  
6.2薄膜反射率的测试 s],+]<qX  
6.3薄膜反射率的测量 n300kp
v  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 %h%^i   
6.5总结 BI]%$rq  
习题 Mc6?]wDB]  
参考文献 =ITMAC\  
第7章薄膜的吸收和散射测量 vF K&.J
 
7.1激光量热计基本原理 %!HmtpS  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 J,E'F!{  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 bewi.$E{  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 %o+VZEH3  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 |!)3[<.  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 .Go3'$'v  
7.7总结 <5~} !N X`  
习题 zKWcDbj  
参考文献 h2Z Gh  
第8章薄膜光学常数的测量 '@iS5Fni  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 #$Z|)i]w  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 @"H+QVJ@  
8.3薄膜波导法 -)aBS3  
8.4光学薄膜厚度的测试 16YJQ ue  
8.5总结 s]r"-^eS3  
习题 Dg@>d0FW  
参考文献 4y+]V~p  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ge[+/$(1  
9.1薄膜的力学特性检测技术 U&/Jh^Yy  
9.2薄膜器件的环境试验 h"')D  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 q7wd96G:  
9.4总结 It4J\S
 
习题 /9WR>NUAO  
参考文献 n}yqpW!%n  
附录 b#.hw2?a`  
附录A复数与复数运算 `W8GfbL  
A.1复数的概念 )=X8kuB~  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 8KW}XG  
A.3复数在物理中的运用 R)#D{/#FW  
附录B矩陈及矩陈运算 xUzSS@ot^  
B.1矩陈的定义 fdCsn:  
B.2矩陈运算 Mx-,:a9}  
附录C光的电磁理论基础 t_WNEZW7f  
C.1振动与波 56AaviEC  
C.2电磁波 ;/SM^&Y  
C.3麦克斯韦方程 ^Yn{Vi2.  
C.4平面电磁波 7k:}9M~  
C.5平面电磁波性质 t}`|\*a  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ?jBna ~  
附录D光的干涉 'j!7 O+7y  
D.1波的叠加原理 rsvZi1N4w$  
D.2杨氏干涉 PS@` =Z  
D.3平板的表面干涉 8sg8gBt  
D.4光的空间相干性和时间相干性 O.1Z3~r-N  
附录E光的偏振  vu YH+  
E.1自然光和偏振光 >)U 7$<&b  
E.2偏振光与Jones矩陈 &|26x >  
E.3偏振光的获得 ts%@1Y?  
E.4偏振光的检验 ~c`@uGw  
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