现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 BX7kO0j  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 [}=B8#Jl-C  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 r),kDia  
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第一篇光学多层膜设计 ;*Et[}3  
第1章光学薄膜特性的理论计算 |/{=ww8|  
1.1单色平面电磁波 g8% &RG  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 :crW9+  
1.3光学薄膜特性的理论计算 8cIKvHx  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 *.t7G  
习题 @RKryY)  
第2章光学薄膜的设计理论 (uE!+2C  
2.1矢量作图法 }S-O&Z  
2.2有效界面法 yvB.&<]No  
2.3对称膜系的等效层 +=</&Tm  
2.4导纳图解技术 ?0SJfh  
习题 $'M!HJxb  
第3章光学薄膜系统的设计  x'<X!gw  
3.1减反射膜 <>rneHl8  
3.2分束镜 "+G8d'%YV  
3.3高反射膜 .#8 JCY  
3.4干涉截止滤光片 rjYJs*#  
3.5带通滤光片 lRFYx?y  
3.6特殊膜系 )jP1or  
习题 jQB9
j  
参考文献 ^<2p~h0 \  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 '~=SzO  
第4章薄膜制备技术 &V/MmmT  
4.1真空淀积工艺 SE %pw9  
4.2光学薄膜材料 -uf|w?  
4.3薄膜厚度监控艺术 2\{zmc}G-0  
4.4膜层厚度的均匀性 s2'h  
习题 }o`76rDN  
参考文献 eng'X-x  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 1=V-V<  
5.1薄膜的形成过程 SO!8Di  
5.2薄膜的微观结构 VMWf>ZU  
5.3薄膜的成分 ,k3FRes3  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 q(84+{>B  
5.5薄膜微观结构和改善 t b}V5VH  
习题 "4{r6[dn  
参考文献 f.)O2=  
第三篇光学薄膜检测技术 &tj!*k'  
第6章薄膜透射率和反射率测量 k9L;!TH~1K  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ]c'A%:f<  
6.2薄膜反射率的测试 4Fr  
6.3薄膜反射率的测量 /j.9$H'y  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 7qS)c}Q\  
6.5总结 PEZ!n.'S  
习题 E7hY8#G  
参考文献 3^yK!-Wp(  
第7章薄膜的吸收和散射测量 c]!V'#U  
7.1激光量热计基本原理 N;`n@9BF  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 TM%%O :3  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 w``U=sfmV  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 oEpFuWp%A  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 A.w.rVDD  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 SE*g;Cvg1  
7.7总结 u>vL/nI  
习题
1$h,m63)  
参考文献 r9?Mw06Wc5  
第8章薄膜光学常数的测量 3=oDQ&UFt  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 c-sfg>0^  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 scV5PUq  
8.3薄膜波导法 ^U/O!GK  
8.4光学薄膜厚度的测试 pMM8-R'W-  
8.5总结 'LDQgC*%  
习题 ,I;>aE<#  
参考文献 hM
!a_'  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 p6S8VA  
9.1薄膜的力学特性检测技术 x]j W<A  
9.2薄膜器件的环境试验 4_ML],.  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 [dz _R  
9.4总结 n+M<\  
习题 8LCb+^  
参考文献 f _:A0  
附录 @
2i9n  
附录A复数与复数运算 <F'\lA9  
A.1复数的概念 F8ulkcD  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 (/$^uWj  
A.3复数在物理中的运用 {oL>1h,%3?  
附录B矩陈及矩陈运算 1|:KQl2q  
B.1矩陈的定义 Nz-&MS  
B.2矩陈运算 'Pbr v  
附录C光的电磁理论基础 
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C.1振动与波 2~[juWbz  
C.2电磁波 m]&SNz=  
C.3麦克斯韦方程 v"0J&7!J  
C.4平面电磁波 3OB"#Ap8<  
C.5平面电磁波性质 C,eu9wOT  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 dc'Y`e  
附录D光的干涉 e|r`/:M  
D.1波的叠加原理 # f\rt   
D.2杨氏干涉 lEBLZ}}\  
D.3平板的表面干涉 NHE18_v5  
D.4光的空间相干性和时间相干性 _#8MkW#]~  
附录E光的偏振 J .<F"r>  
E.1自然光和偏振光 ~.|_RdN  
E.2偏振光与Jones矩陈 vih9KBT  
E.3偏振光的获得 W%w~ah|/]  
E.4偏振光的检验 CvdN"k  
…… J.%IfN  
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