现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 wQ[~7 ,o  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 2}1(j  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 {) 4
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第一篇光学多层膜设计 \?h +  
第1章光学薄膜特性的理论计算 `DO`c>>K  
1.1单色平面电磁波 E=GCq=Uw  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 {FraM,w:  
1.3光学薄膜特性的理论计算 (w?@qs!  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ' A= x  
习题 S0 M-$  
第2章光学薄膜的设计理论 }Gr5TDiV0\  
2.1矢量作图法 c[?S}u|['  
2.2有效界面法 Lie\3W  
2.3对称膜系的等效层 3Z NYR'  
2.4导纳图解技术 c*K-?n9YMz  
习题 ,ju1:`  
第3章光学薄膜系统的设计 7*d}6\ %  
3.1减反射膜 "P.7FD  
3.2分束镜 cysYjuI i  
3.3高反射膜 ^%|{>Mz;c  
3.4干涉截止滤光片 8(q4D K\5u  
3.5带通滤光片 0@{K'm/  
3.6特殊膜系 Q<P],}?:  
习题 SQWwxFJ  
参考文献 "lx}.  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 S*?'y  
第4章薄膜制备技术 . [+ObF9=  
4.1真空淀积工艺 }k7@ X  
4.2光学薄膜材料 ~HI|t2C  
4.3薄膜厚度监控艺术 FVT_%"%C9  
4.4膜层厚度的均匀性 S%-L!V ,  
习题 }3j/%oN.(  
参考文献 qbu Lcy3  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ["Ep.7=SU  
5.1薄膜的形成过程 1C^6'9o  
5.2薄膜的微观结构 xKEHNgen  
5.3薄膜的成分 Duj9PV`2  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 U:c!9uhp  
5.5薄膜微观结构和改善 ,
'm<um  
习题 cgc|G  
参考文献 $TtCVR  
第三篇光学薄膜检测技术 GfD!Z3
 
第6章薄膜透射率和反射率测量 ko@I]
gi2  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 -OZXl  
6.2薄膜反射率的测试 &!2 4l=!  
6.3薄膜反射率的测量 ;B o2$  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 mWsVOf>g  
6.5总结 <w+K$WE {  
习题 Cd#[b)d ?^  
参考文献 6Y)'p .+g  
第7章薄膜的吸收和散射测量 E).Nu  
7.1激光量热计基本原理 *I(>[m!  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 @sav8]  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 {jcrTjmxe  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 UMpC2)5  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 YDyOhv  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 %L:e~*  
7.7总结 |0ACapp!  
习题 #n]js7  
参考文献 tmDI2Z%7  
第8章薄膜光学常数的测量 M['8zN  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 29z+<?K{  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 )/HSt%>  
8.3薄膜波导法 qS*qHT(u19  
8.4光学薄膜厚度的测试 8GN0487H  
8.5总结 VzA~w`$d  
习题 pjvChl5  
参考文献 Uxn_
nh  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 5Z]`n  
9.1薄膜的力学特性检测技术 pi q%b]  
9.2薄膜器件的环境试验 Ry,_%j3  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 R,x\VX!|  
9.4总结 -1Yt3M&  
习题 NYM$0v`0YK  
参考文献 I5wf|wB-  
附录 A 7'dD$9  
附录A复数与复数运算 0V{-5-.  
A.1复数的概念 id\0yRBt  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 )3=
oS1p  
A.3复数在物理中的运用 8&qCH>Cf  
附录B矩陈及矩陈运算 U`ey7   
B.1矩陈的定义 -8HIsRh  
B.2矩陈运算 q*{i/=~  
附录C光的电磁理论基础 m@;X%wf<U  
C.1振动与波 &q#$SU,$(  
C.2电磁波 dz5a! e [  
C.3麦克斯韦方程 Os?G_ziIB  
C.4平面电磁波 @C0{m7q
 
C.5平面电磁波性质 HB\<nK  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 UtIwrR[  
附录D光的干涉 ^SpD)O{  
D.1波的叠加原理 # 5v 2`|)  
D.2杨氏干涉 :iD([V  
D.3平板的表面干涉 s
ycN  
D.4光的空间相干性和时间相干性 z'O$[6m6  
附录E光的偏振 sEt5!&  
E.1自然光和偏振光 TW(rK&  
E.2偏振光与Jones矩陈 GC?\GV  
E.3偏振光的获得 W
#$ pt>h)  
E.4偏振光的检验 >k<.bEx(A  
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