现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 p%toD{$  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 SN+B8*!  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 6FNs4|(
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第一篇光学多层膜设计 Vw.c0
5x  
第1章光学薄膜特性的理论计算 v-M3/*  
1.1单色平面电磁波 86igP  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 c`}-i6  
1.3光学薄膜特性的理论计算 S`HshYlE q  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 mL/]an@Y  
习题 $Y.Z>I;  
第2章光学薄膜的设计理论 4lhoA  
2.1矢量作图法 gdkl,z3N3  
2.2有效界面法 -6a4H?L  
2.3对称膜系的等效层 [~03Z[_"/  
2.4导纳图解技术 /+2;".  
习题 u=NpL^6s<  
第3章光学薄膜系统的设计 #-$\f(+<  
3.1减反射膜 MDn+K#
p  
3.2分束镜 H }w"4s  
3.3高反射膜 Ylbh_ d~BU  
3.4干涉截止滤光片 V\Oe]w  
3.5带通滤光片 XOgl>
1O  
3.6特殊膜系 V?AHj<  
习题 i bAZ*I  
参考文献 KNT(lA0s  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 V#8]io  
第4章薄膜制备技术 ^DVj_&~  
4.1真空淀积工艺 "{>I5<:t  
4.2光学薄膜材料 0I_A$Z,x  
4.3薄膜厚度监控艺术 F[PIo7?K  
4.4膜层厚度的均匀性 W:D'k^u  
习题 0"q_c-_Bg  
参考文献
xxxM  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 n5CjwLgu\b  
5.1薄膜的形成过程 f>.A^?  
5.2薄膜的微观结构 3 $7TeqfAC  
5.3薄膜的成分 fy|ycWW>8  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 .Rt_j  
5.5薄膜微观结构和改善 )6mx\t  
习题 '5xf?0@s.  
参考文献 ?^]29p_  
第三篇光学薄膜检测技术 t}m6];  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ~5Wr |qg%{  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 8BZTHlUB  
6.2薄膜反射率的测试 rl-r8?H}  
6.3薄膜反射率的测量 U 7mA~t2E  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 }p-<+sFo  
6.5总结 |jB]5ciT  
习题 bg.f';C  
参考文献 +g36,!q  
第7章薄膜的吸收和散射测量 `:W
Vp~fn  
7.1激光量热计基本原理 APxy%0Q  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 =Gsn4>~%n  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 b;$ -s \%  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ECHl9; +  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 K"'W4bO#7  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 OiPE,sv  
7.7总结 BM bT:)%  
习题 _Eq*  
参考文献 ,arFR'u>  
第8章薄膜光学常数的测量 QuFcc}{<]  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 :%GxU;<E{  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 0Yz &aH  
8.3薄膜波导法 WBTdQG Q6  
8.4光学薄膜厚度的测试 4^H(p  
8.5总结 @91Q=S  
习题 :`BZ,j_  
参考文献 'Y23U7 n0B  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 B ;Zsp  
9.1薄膜的力学特性检测技术 s_Y1rD*B  
9.2薄膜器件的环境试验 SI
_{%~k*B  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 aYQ!`mS::M  
9.4总结 }\5^$[p  
习题 0:-i  
参考文献 'A91i
  
附录 p"^^9'`=  
附录A复数与复数运算 0ZQ|W%tS  
A.1复数的概念 W-mi1l^H{  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ahgm*Cpc  
A.3复数在物理中的运用 xR5jy|2JJ  
附录B矩陈及矩陈运算 2^ 'X  
B.1矩陈的定义 M7vc/E}]n  
B.2矩陈运算 
KA:>7-  
附录C光的电磁理论基础 :CEhc7gU  
C.1振动与波 ;p~@*c'E  
C.2电磁波 T xRa&1  
C.3麦克斯韦方程 |6LC>'  
C.4平面电磁波 $^R[t;  
C.5平面电磁波性质 IQ$l!)  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 vPuPSE%M  
附录D光的干涉 =8OPjcX.V  
D.1波的叠加原理 .Ajs0 T2  
D.2杨氏干涉 Nt42v  
D.3平板的表面干涉 2d+IROA  
D.4光的空间相干性和时间相干性 kQlXcR  
附录E光的偏振 {UT>> *C  
E.1自然光和偏振光 "El$Sat`  
E.2偏振光与Jones矩陈 LLOe  
E.3偏振光的获得 d#7 z N  
E.4偏振光的检验 GIQ/gM?Pv  
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