现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 gA" =so  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 j(va#f#  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ~ Z%>N  

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第一篇光学多层膜设计 /e4hB  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ~qFi0<-M  
1.1单色平面电磁波 gAv?\9=a)W  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 H# 2'\0u  
1.3光学薄膜特性的理论计算 WVJN6YNd V  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 <0JW[m  
习题 x*Z"
~'DI  
第2章光学薄膜的设计理论 V9B $_j4  
2.1矢量作图法 KhXW
5hS1  
2.2有效界面法 P/M*XUG.  
2.3对称膜系的等效层 BCsW03sQ  
2.4导纳图解技术 *!C^L"i  
习题 @HIC i]  
第3章光学薄膜系统的设计 zVl(?b&CF  
3.1减反射膜 xqbI~jV#  
3.2分束镜 WiPMvl8  
3.3高反射膜 M~ynJ@q  
3.4干涉截止滤光片 Kc{fT^E  
3.5带通滤光片 Vwm\a]s  
3.6特殊膜系 rb`C:#j{J  
习题 pBK[j([  
参考文献 ={#r/x  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 oE-i`;\8  
第4章薄膜制备技术 o#%2N+w  
4.1真空淀积工艺 xjR/K&[m  
4.2光学薄膜材料 Nl;rg*@o  
4.3薄膜厚度监控艺术 `lcpUWn  
4.4膜层厚度的均匀性 Bk?MF6  
习题 OM}:1He  
参考文献 PuUqWW'^  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 UL"JwqD  
5.1薄膜的形成过程 5:^dyF&sm{  
5.2薄膜的微观结构 
X@|  
5.3薄膜的成分 W?XvVPB  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 A6TNtXk  
5.5薄膜微观结构和改善 "z@qG]#5  
习题 m(*CuM[E  
参考文献 .hETqE`E  
第三篇光学薄膜检测技术 ywi Shvi8  
第6章薄膜透射率和反射率测量  '=%vf  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 G^)|c<'M  
6.2薄膜反射率的测试 'T+3tGCy+  
6.3薄膜反射率的测量 ~3/>;[!  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 x<9|t(  
6.5总结 urXM}^  
习题 o6B!ikz 8  
参考文献 G^r^" j  
第7章薄膜的吸收和散射测量 T'fE4}rY  
7.1激光量热计基本原理 ,+zLFQC0@  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 i1|-  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 0~an\4nh  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ~~'XY(\L@  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 r95$B6  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 <(s+  
7.7总结 Tx
PP{6t  
习题 X Uh)z  
参考文献  BX+-KvT  
第8章薄膜光学常数的测量 U/0NN>V  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 K _O3DcQ  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 8.]dThaq  
8.3薄膜波导法
9I^_
n+E  
8.4光学薄膜厚度的测试 2{@: :JZ  
8.5总结 - DL/Hk_r  
习题 ]7'Q2OU7  
参考文献 r(i<H%"Z  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 "6Ly?'HK  
9.1薄膜的力学特性检测技术  LDwu?"P!  
9.2薄膜器件的环境试验 :q^g+Bu=  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Hdj0! bUx  
9.4总结 gt{ei)2b  
习题 So0YvhZ+  
参考文献 n'%*vdHKm  
附录 3vVhE,
1N  
附录A复数与复数运算 UI>-5,X  
A.1复数的概念 y(6&90cr  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 *A c~   
A.3复数在物理中的运用 v|QFUa`  
附录B矩陈及矩陈运算 tty6  
B.1矩陈的定义 _xUiHX<  
B.2矩陈运算 FW[<;$  
附录C光的电磁理论基础 \p [!@d^  
C.1振动与波 v8-F;>H  
C.2电磁波 P{rJG '  
C.3麦克斯韦方程 :vX;>SH$p  
C.4平面电磁波 YgdoQBQ  
C.5平面电磁波性质 C=%go1! $  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 jVk|(  
附录D光的干涉 +z("'Cv  
D.1波的叠加原理 q:1 1XPP  
D.2杨氏干涉 u+th?KO`  
D.3平板的表面干涉 Y6^lKw  
D.4光的空间相干性和时间相干性 fgTvwOSk  
附录E光的偏振 %#ms`"H  
E.1自然光和偏振光 EzzzH(!j  
E.2偏振光与Jones矩陈 %>5Ht e<  
E.3偏振光的获得 2/?pI/W  
E.4偏振光的检验 UxD1+\N6?  
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