现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 DQ0S]:tC  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 d>Tv?'o`q  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 "vk]y  
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第一篇光学多层膜设计 (g;O,`|c,  
第1章光学薄膜特性的理论计算 $x}R2  
1.1单色平面电磁波 3sV$#l P  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ox SSEs  
1.3光学薄膜特性的理论计算 iJOoO"Ai  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ;8#6da,  
习题 N]yT/8  
第2章光学薄膜的设计理论 Ju>QQOxi|  
2.1矢量作图法 9(fh+  
2.2有效界面法 OR&pGoW  
2.3对称膜系的等效层 RV@B[:  
2.4导纳图解技术 (w-"1(  
习题 G>^= Bm_$  
第3章光学薄膜系统的设计 k4&adX@Y  
3.1减反射膜 C=;}
7g  
3.2分束镜 %^W(sB$b  
3.3高反射膜 <.g)?nj1  
3.4干涉截止滤光片 ^Zs^  
3.5带通滤光片 =?L16mu1&  
3.6特殊膜系 MuO(%.H  
习题 B_#M)d O  
参考文献 y<gRl/e  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性
^Zpz@T>m  
第4章薄膜制备技术 a%y*e+oM  
4.1真空淀积工艺 B$c'^ )  
4.2光学薄膜材料 Bph(\= W  
4.3薄膜厚度监控艺术 ?`vGpi~  
4.4膜层厚度的均匀性 j}lne^ h  
习题 tZ
) ,Z<  
参考文献  Dt5AG  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ;t
N@  
5.1薄膜的形成过程 s'/_0  
5.2薄膜的微观结构 CZy!nR!  
5.3薄膜的成分 M+-odLltw  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 %b pQ=  
5.5薄膜微观结构和改善 Hj-n
'XZ  
习题 rU>l(O'b  
参考文献 cooicKS7  
第三篇光学薄膜检测技术 <F}j;mX  
第6章薄膜透射率和反射率测量 REc90v2"  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 fZs}u<3Q)  
6.2薄膜反射率的测试 Q&$2F:4f&  
6.3薄膜反射率的测量 0<-A2O),  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 *` -  
6.5总结 B*`[8kb,  
习题 }q_Iep  
参考文献 heES [  
第7章薄膜的吸收和散射测量 m,5m'9dj  
7.1激光量热计基本原理 SP=8v0  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 Cs]\3R|D`  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ME*zMLoF+  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 WYvcN8F  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 W)2
k>cS  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 laCVj6Rk  
7.7总结 ?MRT  
习题 ?S)Pv53>}  
参考文献 GOCe&?  
第8章薄膜光学常数的测量 ZjK'gu8*  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 6C_H0a/h&  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法  fs
KZ  
8.3薄膜波导法 Q9X+H4`}y  
8.4光学薄膜厚度的测试 MA=gCG/JD  
8.5总结 )x,-O#"A  
习题 R-Tf9?)  
参考文献 Np opg1Gv>  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 xs)
SKG*  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ]o9^?iU]  
9.2薄膜器件的环境试验 WD8F]+2O\  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 -<\hcV`&  
9.4总结 Zh:@AFz:R  
习题 KjV1->r#  
参考文献 cW{Bsr   
附录 [r1\FF@v,  
附录A复数与复数运算 E_xCRfw_i]  
A.1复数的概念 #9(iu S+BU  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 EzU=q E  
A.3复数在物理中的运用 c=B!\J<1  
附录B矩陈及矩陈运算 {us#(4O  
B.1矩陈的定义  N,ihQB5  
B.2矩陈运算 uw&p)  
附录C光的电磁理论基础 *kGk.a=  
C.1振动与波 !5zj+N  
C.2电磁波 &K"qnng/y  
C.3麦克斯韦方程 x]"N:t  
C.4平面电磁波 $.Qq:(O:6  
C.5平面电磁波性质 3jM+j_nR  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 h],l`lT1\  
附录D光的干涉 .gwT?O,  
D.1波的叠加原理 ibuoq X`  
D.2杨氏干涉 UDgUbi^v|D  
D.3平板的表面干涉 w2]]##J  
D.4光的空间相干性和时间相干性 h"
$],=  
附录E光的偏振 yMe
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E.1自然光和偏振光 mm`yu$9gbP  
E.2偏振光与Jones矩陈 x1.yi-  
E.3偏振光的获得 fXx !_Z  
E.4偏振光的检验 D0p>Q^w  
…… D7,{p2<2T  
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