现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 Do]*JO)(  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 iHp\o=#  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 "W#t;;9Wz  

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第一篇光学多层膜设计 Cj*-[EL<  
第1章光学薄膜特性的理论计算 !4rPv\
  
1.1单色平面电磁波 Q#Y k?Kv~  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 v[lnw} =m9  
1.3光学薄膜特性的理论计算 0~&"  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 XTDE53Js&  
习题 cMzkL%  
第2章光学薄膜的设计理论 GyC/_ntn  
2.1矢量作图法 9B+wYJp  
2.2有效界面法 =raA?Bp3;(  
2.3对称膜系的等效层 E-1"+p  
2.4导纳图解技术 -s$<Op{s  
习题 j|e[s ?d  
第3章光学薄膜系统的设计 $gMCR b,  
3.1减反射膜 \Z/k;=Sla  
3.2分束镜 M@p"yq  
3.3高反射膜 !~
lW3  
3.4干涉截止滤光片 e(1k0W4B  
3.5带通滤光片 ?
G?gy2
 
3.6特殊膜系 mh;X~.98  
习题 >m_v5K  
参考文献 D{'#er  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ^^(<c,NX#M  
第4章薄膜制备技术 Y~n`~(  
4.1真空淀积工艺 sygH1|f  
4.2光学薄膜材料 WP-jtZ?!"  
4.3薄膜厚度监控艺术 &k T"oK  
4.4膜层厚度的均匀性 `eRLc}aP2  
习题 <E':[.zC  
参考文献 uv4 _:   
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 |)@N-f:E  
5.1薄膜的形成过程 i=v]:TOu  
5.2薄膜的微观结构 ;Mj002.\G  
5.3薄膜的成分 {@M14)-x>_  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 DM3B]Yl  
5.5薄膜微观结构和改善 U |F>W~%  
习题 .#^0pv!  
参考文献 LD+f'^>>Z  
第三篇光学薄膜检测技术 Q2C
)tVK+  
第6章薄膜透射率和反射率测量 NMjnL&P`  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 N"DY?6  
6.2薄膜反射率的测试 ^i<}]c_|f  
6.3薄膜反射率的测量 $<e +r$1  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 B[NJ^b|  
6.5总结 Sb^ b)q"  
习题 Xa`(;CLW?  
参考文献 7o{*Z  
第7章薄膜的吸收和散射测量 +0pW/4x  
7.1激光量热计基本原理 $ u2Cd4  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 Sa]mm/G  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 PO ko]@~!i  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 U($^E}I2(  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 E_[ONm=,  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 r#xk`a
 
7.7总结 ]+IVSxa!u  
习题 MM_py!=>7  
参考文献 oofFrAaT  
第8章薄膜光学常数的测量  3t  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 /{N))  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Ea`OT+#h(*  
8.3薄膜波导法 *5wv%-  
8.4光学薄膜厚度的测试 [:i sZG*  
8.5总结 ?@a$!_  
习题 F7uhuqA]N  
参考文献 'P/taEi=R  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 (G5T%[/U  
9.1薄膜的力学特性检测技术 Y}/jR6hK  
9.2薄膜器件的环境试验 ?1m ,SK  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Dy
I2Ye  
9.4总结 yQS04Bl]  
习题 , ;'SVe%  
参考文献 ,cQ)cY[  
附录 v,\93mNp[  
附录A复数与复数运算 R+^zy"~  
A.1复数的概念 Xr2J:1pgg  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 `9EVB;  
A.3复数在物理中的运用 P`!Ak@N  
附录B矩陈及矩陈运算 a97Csxf;7  
B.1矩陈的定义 gY\mXM*^  
B.2矩陈运算 &V;x 4  
附录C光的电磁理论基础 A}eOR=E  
C.1振动与波 >PH< N  
C.2电磁波 nE<J`Wo$f  
C.3麦克斯韦方程 Y?.gfEXSQo  
C.4平面电磁波 1OPfRDn.bk  
C.5平面电磁波性质 4H7Oh*P\j  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 {Vl"m2  
附录D光的干涉 (qk5f`O  
D.1波的叠加原理 14u^[M"U  
D.2杨氏干涉 -$tCF>,  
D.3平板的表面干涉 [5LMt*Y  
D.4光的空间相干性和时间相干性 t!savp  
附录E光的偏振 q5gP~*?  
E.1自然光和偏振光 lDU#7\5.  
E.2偏振光与Jones矩陈 #]5)]LF1q  
E.3偏振光的获得 &O{t
^D)F  
E.4偏振光的检验 &`sR){R  
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