现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 6-{QU] #  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 _1VtVfiZ{  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 BXiuVx  
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第一篇光学多层膜设计 w4<RV:Vmt  
第1章光学薄膜特性的理论计算 MW=2GhD=  
1.1单色平面电磁波 4(B{-cK  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 jFZJ #'CNS  
1.3光学薄膜特性的理论计算 Y?=+A4v  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 #*:y2W%H  
习题 qY]IX9'kV  
第2章光学薄膜的设计理论 `r &IA  
2.1矢量作图法 ~M6Q8Y9  
2.2有效界面法 =5a~xlBjD  
2.3对称膜系的等效层 x>8=CiUE  
2.4导纳图解技术 Z)Nl\e& M  
习题 ExqI=k`Zs  
第3章光学薄膜系统的设计 zjs@7LN  
3.1减反射膜 H,9e<x#own  
3.2分束镜 7z9gsi  
3.3高反射膜 +e. bO5Y  
3.4干涉截止滤光片 d nWh}!  
3.5带通滤光片 @]":3  
3.6特殊膜系 !n~p?joJ*  
习题 kep.+t[  
参考文献 /[`bPKr  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 /Li?;H  
第4章薄膜制备技术 *q{/`Z{wy  
4.1真空淀积工艺 eVL'Ao&Ho  
4.2光学薄膜材料 $/ew'h9q  
4.3薄膜厚度监控艺术 JeU|e$I4>  
4.4膜层厚度的均匀性 6H\3  
习题 J~9l+?  
参考文献 c~[L;_  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Jb Hn/$  
5.1薄膜的形成过程 P(8zJk6h),  
5.2薄膜的微观结构 8q{ %n   
5.3薄膜的成分 m{gx\a.5  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 3#}5dO  
5.5薄膜微观结构和改善 ^P >; %  
习题 xw(KSPN  
参考文献 pi[:"}m]/P  
第三篇光学薄膜检测技术 R_eKKi@VH  
第6章薄膜透射率和反射率测量 RR>Q$K  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 c&z@HEzV7  
6.2薄膜反射率的测试 %|bqL3)a_  
6.3薄膜反射率的测量 |f;u5r!^=  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 @6w\q?.s  
6.5总结 ,Ua`BWF  
习题 d#cw`h<c~  
参考文献 Q"n|<!DN  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ;
0(|06=  
7.1激光量热计基本原理 (Vnv"= (  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 N '2
Nv  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 V\r!H>   
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 7'\<\oT  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 yyb8ll?@a  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 _"%mLH=!8  
7.7总结 ,rx?Ig}kz  
习题 JK34pm[s  
参考文献 l?LwQmq6  
第8章薄膜光学常数的测量 (9$z+Zmm?  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 GY%lPp  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Cg^=&1|  
8.3薄膜波导法 BWV)> -V  
8.4光学薄膜厚度的测试 A J<Sa=  
8.5总结 B%QvFxZz  
习题 (+lwt
 
参考文献 'F.Da#st!}  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 H`|8x4  
9.1薄膜的力学特性检测技术 RGvfy/T  
9.2薄膜器件的环境试验 MgkeD  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 NK.]yw'  
9.4总结 II
cG+zwx  
习题 :23w[vt=  
参考文献 -,+zA.{+W  
附录 hF|N81T  
附录A复数与复数运算 da<B6!  
A.1复数的概念 _{0'3tI7  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 706-
QE^  
A.3复数在物理中的运用 mDZ/Kp{  
附录B矩陈及矩陈运算 5'>DvCp%M  
B.1矩陈的定义 FY1 >{Bn  
B.2矩陈运算 AlF"1X02  
附录C光的电磁理论基础 BnJpC<xm  
C.1振动与波 1h_TG.YL9>  
C.2电磁波 (Ubz@s^  
C.3麦克斯韦方程 yh~*Kt]9Ya  
C.4平面电磁波 L|O[u^  
C.5平面电磁波性质 V
rDSN  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ~5S[Sl  
附录D光的干涉 /Ilve U`E  
D.1波的叠加原理 b?S,%  
D.2杨氏干涉 =UY)U-  
D.3平板的表面干涉 ;pn*|Bsq  
D.4光的空间相干性和时间相干性 N 0<([B;  
附录E光的偏振 H&0dc.n~.  
E.1自然光和偏振光 |hHj7X<?k  
E.2偏振光与Jones矩陈 U4`6S43ki  
E.3偏振光的获得 jD]Ci#|W  
E.4偏振光的检验 R]L$Ld< ij  
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