现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 *uRBzO}  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 r.=K~A  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 l+K'beP  
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第一篇光学多层膜设计 ='r!g  
第1章光学薄膜特性的理论计算 JAnZdfRt  
1.1单色平面电磁波 :wyno#8`-
 
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 #6aW9GO  
1.3光学薄膜特性的理论计算 23eX;gL  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 %bn jgy  
习题 q s!j>x  
第2章光学薄膜的设计理论 ITXa&5D  
2.1矢量作图法 8P\G
}  
2.2有效界面法 [ZwjOi:)  
2.3对称膜系的等效层 A/$QaB,x  
2.4导纳图解技术 p
Z{+c  
习题 ha<[bue  
第3章光学薄膜系统的设计 ea2ayT  
3.1减反射膜 .WJYQi  
3.2分束镜 @Sn(lnlB  
3.3高反射膜 %g$o/A$  
3.4干涉截止滤光片 ,Ks8*;#r  
3.5带通滤光片 uk:(pZ-uJ  
3.6特殊膜系 :K,i\  
习题 cGzPI+F  
参考文献 ,.8KN<A2]'  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 dh iuI|?@  
第4章薄膜制备技术 =U9*'EFr  
4.1真空淀积工艺 @CL{D:d  
4.2光学薄膜材料 !X#OOqPr=  
4.3薄膜厚度监控艺术 ZgcMv,=  
4.4膜层厚度的均匀性 e2TiBTbQaF  
习题 '3tCH)s  
参考文献 M#6W(|V/  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 qOtgve`jX  
5.1薄膜的形成过程 *I.f1lz%*  
5.2薄膜的微观结构 %3-y[f  
5.3薄膜的成分 .f2bNnB~pP  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 cd_yzpL@}J  
5.5薄膜微观结构和改善 dt]-,Y  
习题 L|7R9+ZG  
参考文献 prF%.(G2)  
第三篇光学薄膜检测技术 b94DJzL1z  
第6章薄膜透射率和反射率测量 BhGu!Y6f  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 G`61~F
%  
6.2薄膜反射率的测试 u'DRN,h+  
6.3薄膜反射率的测量 - %h.t+=U  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ;bib/  
6.5总结 I"<\<^B<  
习题 ?Ep [M:,q  
参考文献 t\,PB{P
:J  
第7章薄膜的吸收和散射测量 WX?IYQ+  
7.1激光量热计基本原理 f}f9@>.  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 b=NxUd O  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ?P`
K7  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 7,o7Cf2z  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 KL57#gV  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 !)0;&
e5  
7.7总结 xF'EiX~  
习题 ,/F~Y&1I  
参考文献 .j0$J\:i  
第8章薄膜光学常数的测量 )23H1  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 )~JHgl  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 )'#A$ Fj  
8.3薄膜波导法 7'V@+5
 
8.4光学薄膜厚度的测试 kfY}S  
8.5总结 '8H
4shYg  
习题 m@v\(rT.  
参考文献 ~KX/ Ai  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 xy[3u?,&s!  
9.1薄膜的力学特性检测技术 SsDmoEeB[  
9.2薄膜器件的环境试验 dOH&  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 mnX2a  
9.4总结 @,7GaK\  
习题 L+i=VGm0  
参考文献 k(G^z   
附录 f+)L#>Gl?  
附录A复数与复数运算 #'szP\  
A.1复数的概念 Hd ={CFip  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ,m|h<faZL
 
A.3复数在物理中的运用 F/kWHVHU[  
附录B矩陈及矩陈运算 8^1 Te m  
B.1矩陈的定义 YZ8>OwQz2  
B.2矩陈运算 oY3;.;'bk  
附录C光的电磁理论基础
)g%d:xI  
C.1振动与波 O-hAFKx  
C.2电磁波 2-v%`fA  
C.3麦克斯韦方程 L^?qOylu  
C.4平面电磁波 %pL''R9VF  
C.5平面电磁波性质 Q\7h`d%)  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 #r\4sVg  
附录D光的干涉 0pd'93C  
D.1波的叠加原理 =>v#4zFd  
D.2杨氏干涉 >@_^fw)  
D.3平板的表面干涉 I-(zaqp@  
D.4光的空间相干性和时间相干性 wJo}!{bN  
附录E光的偏振 .[OUI  
E.1自然光和偏振光 !?h;wR  
E.2偏振光与Jones矩陈 }(73Syl#  
E.3偏振光的获得 Am|%lj+1z  
E.4偏振光的检验 K Z91-  
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