现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 NQu.%=  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 /YrBnccqD  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 vjz 'y[D  
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第一篇光学多层膜设计 dVKctt'C  
第1章光学薄膜特性的理论计算 BTAt9Z8qK  
1.1单色平面电磁波 cME|Lg(J$  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 sogdM{tz\  
1.3光学薄膜特性的理论计算 {4^NZTjd@  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 k,h
 /B  
习题 $Le|4Hj  
第2章光学薄膜的设计理论 EpUBO}q]  
2.1矢量作图法 f j:q>}V  
2.2有效界面法 /BQB7v
L  
2.3对称膜系的等效层 ggL^*MV  
2.4导纳图解技术 o$rA;^2X  
习题 +LhV4@zC  
第3章光学薄膜系统的设计 EFdo-.Ax  
3.1减反射膜 <_ruVy0]  
3.2分束镜 {Lg]chJq?  
3.3高反射膜 M$$Lsb [  
3.4干涉截止滤光片 );!IGcgF  
3.5带通滤光片 I(Gl8F\c
~  
3.6特殊膜系 E(p#Je|@[  
习题 VtYrU>q  
参考文献 l#|wF$J  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 IY40d^x  
第4章薄膜制备技术 ESyb34T`  
4.1真空淀积工艺 8$~^-_>n/  
4.2光学薄膜材料 UNF@%O4_T  
4.3薄膜厚度监控艺术 ]rS:#LK  
4.4膜层厚度的均匀性 i1JVvNMQ,  
习题 HaA2y  
参考文献  \<u  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ,TlYQ/j%h  
5.1薄膜的形成过程 ,JqCxb9  
5.2薄膜的微观结构 1%$Z%?  
5.3薄膜的成分 PR3&LI;B*  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 8s9ZY4_  
5.5薄膜微观结构和改善 S.R|Bwj}(Y  
习题 /I48jO^2  
参考文献 mkuK$Mj  
第三篇光学薄膜检测技术 
yN{TcX  
第6章薄膜透射率和反射率测量 M{4U%lk  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 =Q~@
dP  
6.2薄膜反射率的测试 XP^[,)E  
6.3薄膜反射率的测量 :
-tMH02
c  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 pg.BOz\'q  
6.5总结  %X**(  
习题 KXT9Wt=  
参考文献 Y+nk:9  
第7章薄膜的吸收和散射测量 @ D.MpM}~  
7.1激光量热计基本原理 C+%6N@  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 NiBly  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ?p&( Af)  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 &a!MT^anA~  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 JXQh$hs  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 zGtv(gwk  
7.7总结 ?+G /5,e  
习题 w&x$RP  
参考文献 v(P5)R,  
第8章薄膜光学常数的测量 vw6DHN
)k  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 L>&9+<-B  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 y`\rb<AZ*t  
8.3薄膜波导法 H(tT8Q5i  
8.4光学薄膜厚度的测试 D9JHx+Xf>  
8.5总结 5pH6]$  
习题 V*gh"gZ<  
参考文献 q,T4- E  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 |+Cd2[hN  
9.1薄膜的力学特性检测技术 9xOTR#B:_V  
9.2薄膜器件的环境试验 zuS4N?t`p  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 \49s;\I]  
9.4总结 ~oz??SX  
习题 +vIsYg*#2M  
参考文献 w>wzV=R  
附录 oVQb
c\P3  
附录A复数与复数运算 u;9a/RI  
A.1复数的概念 rGlnu.mK^  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 W H%EC$  
A.3复数在物理中的运用 s)G?5Gz  
附录B矩陈及矩陈运算 a= (vS  
B.1矩陈的定义 +-NH 4vUg  
B.2矩陈运算 uxlrJ1~M  
附录C光的电磁理论基础 ldt]=Sqy  
C.1振动与波 K(#O@Wmjq  
C.2电磁波 dWP<,Z>  
C.3麦克斯韦方程 (,D:6(R7t  
C.4平面电磁波 O>d [;Q  
C.5平面电磁波性质 et=i@PB)  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 jI%glO'2  
附录D光的干涉 rgF4 W8  
D.1波的叠加原理 4{ [d '-H5  
D.2杨氏干涉 =
wlPm5  
D.3平板的表面干涉 9qvl9,*g  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ;KgD
Vq5  
附录E光的偏振 _R}yZ=di  
E.1自然光和偏振光 (0["|h32,  
E.2偏振光与Jones矩陈 9V|)3GF  
E.3偏振光的获得 $r)NL  
E.4偏振光的检验 %+oqAYm+s  
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