现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 je%D&ci$  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 )iFXa<5h  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 $W%-Mm  
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第一篇光学多层膜设计 Ss_}@p ^  
第1章光学薄膜特性的理论计算 .A0fI"
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1.1单色平面电磁波 e^;%w#tEqI  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 1 J}ML}h)  
1.3光学薄膜特性的理论计算 zO@>)@~  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 AH_qZTv0{Q  
习题 F@mxd  
第2章光学薄膜的设计理论 v]Aop<KLX  
2.1矢量作图法 G#M0 C>n  
2.2有效界面法 h1l%\3ZH  
2.3对称膜系的等效层 z#1"0Ks&P  
2.4导纳图解技术 `jVRabZ0  
习题 <@Vf:`a!P>  
第3章光学薄膜系统的设计 Vf<q-3q  
3.1减反射膜 =3!o_  
3.2分束镜 =T\=,B  
3.3高反射膜 _EJPI  
3.4干涉截止滤光片 M8/:PmR<  
3.5带通滤光片 @C^wV  
3.6特殊膜系 G4&?O_\;  
习题 Cy)N hgz  
参考文献 ,HI%ym  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 *+nw%gZG  
第4章薄膜制备技术 .rS. >d^n  
4.1真空淀积工艺 :
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4.2光学薄膜材料 :(wFNK/0{  
4.3薄膜厚度监控艺术 t=9f:,I$  
4.4膜层厚度的均匀性 tY: Nq*@  
习题 \j5`6}zm  
参考文献 `- (<Q;iO  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 }r@yBUW  
5.1薄膜的形成过程 gS8+S\2
 
5.2薄膜的微观结构 `oH4"9&]k3  
5.3薄膜的成分 QZIzddwp  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 #<Lv&-U<KT  
5.5薄膜微观结构和改善 <XQwu*_\  
习题 )WInPW  
参考文献 .FC+  
第三篇光学薄膜检测技术 Z4rk$K'=1w  
第6章薄膜透射率和反射率测量 {f@Q&(g  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ?
~4x/d%  
6.2薄膜反射率的测试 5+;Mc[V3-  
6.3薄膜反射率的测量 #9Ect@?N0  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 2ij&D
b/  
6.5总结 s]|tKQGl,  
习题 6B|i-b$~  
参考文献 0{vH.b @  
第7章薄膜的吸收和散射测量 )RT?/NW  
7.1激光量热计基本原理 %ek0NBE7  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 &1R#!|h1W  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 aKWxLe  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 >3@3~F%xAX  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 J7^UQ  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 M=lU`Sm  
7.7总结 ZWo~!Z[Y  
习题 =QGmJ3  
参考文献 NkO+)=  
第8章薄膜光学常数的测量 6@t&  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 X^K^az&L  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 d;]mwLB0  
8.3薄膜波导法 8Znr1=1   
8.4光学薄膜厚度的测试 elQjPvb  
8.5总结 3Ovx)qKxd  
习题 Bv!{V)$  
参考文献 J"LLj*,0"  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 y_}vVHT,  
9.1薄膜的力学特性检测技术 [P =P8-5  
9.2薄膜器件的环境试验 BQ)>}YHk  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 AU}kIm_+  
9.4总结 2xflRks  
习题 [rWBVfm  
参考文献 )E*f30  
附录 ",D!8>=s  
附录A复数与复数运算 )Uy%iE*  
A.1复数的概念 U|V,&RlbR  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Tx!t3
;Yz[  
A.3复数在物理中的运用 Mms|jFoQ  
附录B矩陈及矩陈运算 -0#"
<!N  
B.1矩陈的定义 ,]7ouH$H}
 
B.2矩陈运算 `Wg"m~l$N  
附录C光的电磁理论基础 G<D8a2q  
C.1振动与波 GIH{tr1:<  
C.2电磁波 +pwTM]bV  
C.3麦克斯韦方程 tWTHyL  
C.4平面电磁波 $rmxwxz&W:  
C.5平面电磁波性质 WA~[)S0
  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Zk((VZ(y  
附录D光的干涉 }P0bNY5?%  
D.1波的叠加原理 Z@Zg3AVU  
D.2杨氏干涉 [`b,SX x  
D.3平板的表面干涉 <)wLxWalF  
D.4光的空间相干性和时间相干性 `G1"&q,i  
附录E光的偏振 vJ}WNvncVF  
E.1自然光和偏振光 O>qlWPht  
E.2偏振光与Jones矩陈 m~AAO{\:b  
E.3偏振光的获得 )'T].kWW  
E.4偏振光的检验 2Ax"X12{6  
……   8sG?|u  
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