现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 _.xT :b36  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 6AZJ,Q\E@  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ZWC-<QO"<  

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第一篇光学多层膜设计 58H[sM4>  
第1章光学薄膜特性的理论计算 q;T3bxp+  
1.1单色平面电磁波 ~~?4w.k  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 FuOP+r!H  
1.3光学薄膜特性的理论计算 VrF(0,-Z`3  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 `"0#lZ`n  
习题 dOm#NSJVd  
第2章光学薄膜的设计理论 5Rv6+d  
2.1矢量作图法 IT,TSs/Y  
2.2有效界面法 |~mi6 lJ6  
2.3对称膜系的等效层 `<Z5/;a5W  
2.4导纳图解技术  w' E  
习题 or_x0Q  
第3章光学薄膜系统的设计 {Gnji] v  
3.1减反射膜 ckqU2ETpD}  
3.2分束镜 ,x| 4nk_  
3.3高反射膜 DWB.dP *8  
3.4干涉截止滤光片 ~q]+\qty4  
3.5带通滤光片 7qB}Hvh  
3.6特殊膜系 _y}]j;e8>{  
习题 %]JSDb=C  
参考文献 Le9^,B@Pb  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 1}e1:m]r  
第4章薄膜制备技术 Y{X79Rd  
4.1真空淀积工艺 zcGeXX}V?  
4.2光学薄膜材料 \(t.|  
4.3薄膜厚度监控艺术 UV%Al)3  
4.4膜层厚度的均匀性 k+>-?S,  
习题 j2T Z`Z?a^  
参考文献 7|6uY  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 1FU(j*~:  
5.1薄膜的形成过程 g{@q  
5.2薄膜的微观结构 _ x&Y'X|  
5.3薄膜的成分 nB?$W4  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ](3e +JC  
5.5薄膜微观结构和改善 '>AOJaA  
习题 t\nYUL-H  
参考文献 {n8mE,;M  
第三篇光学薄膜检测技术 /,'D4s:Gg  
第6章薄膜透射率和反射率测量 #%U5,[<a8  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 `7qZ6Z3z@  
6.2薄膜反射率的测试 x^kV;^ I  
6.3薄膜反射率的测量 WjxOM\?#  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 jnvi_Rodm  
6.5总结 =Mb!&qq  
习题 nwh7DUi  
参考文献
^PIUA'  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ahNpHTPa  
7.1激光量热计基本原理 (tV/.x*G  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ~:r:?PwWG  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 42aYM!  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 NF <|3|  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 6q ._8%  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 WpE\N0Yg  
7.7总结 tz-, |n0  
习题 c%_I|h<?iT  
参考文献 /t`s.!k  
第8章薄膜光学常数的测量 E(Tvj\9  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 4S>A}rWz  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 N;ed_!  
8.3薄膜波导法 ftB-gItV  
8.4光学薄膜厚度的测试 h.@
5vhD  
8.5总结 ~aKxwH  
习题 VdpwZ  
参考文献 7Z0
fMk  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 H(U`
S  
9.1薄膜的力学特性检测技术 eO#Kn'5  
9.2薄膜器件的环境试验 e[f}Lxln  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 wP.b2X_V  
9.4总结 UN'[sHjOnD  
习题 OnE#8*
8  
参考文献 d 6 t#4!  
附录 25%[nkO4  
附录A复数与复数运算 m,KG}KX  
A.1复数的概念 (055>D6  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 S%zn
{1F  
A.3复数在物理中的运用 .}Va~[0j  
附录B矩陈及矩陈运算 ehB (?  
B.1矩陈的定义 sJ[I<
 
B.2矩陈运算 5s3!{zT{  
附录C光的电磁理论基础 1+|s   
C.1振动与波 SoX\S|}%6[  
C.2电磁波 'E FP/(2J  
C.3麦克斯韦方程 ^6R?UG;6  
C.4平面电磁波 -0rc4<};h  
C.5平面电磁波性质 OKs1irt5  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 t]LOBy-Kv  
附录D光的干涉 X}*\/(fzl  
D.1波的叠加原理 JgQ,,p_V?
 
D.2杨氏干涉 fz'@ON  
D.3平板的表面干涉 d>[=]  
D.4光的空间相干性和时间相干性 34S0W]V  
附录E光的偏振 8,unq3  
E.1自然光和偏振光 3Au3>q,  
E.2偏振光与Jones矩陈 .} al s  
E.3偏振光的获得 ,@1rP55  
E.4偏振光的检验 57 (bd0@8  
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