现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ;)FvTm'"\.  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 E7/UsUV.  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 Oh1U=V2~  
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第一篇光学多层膜设计 HDKF>S_S  
第1章光学薄膜特性的理论计算 Jn{)CZ  
1.1单色平面电磁波 L;opQ~g  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 LmJjO:W}^y  
1.3光学薄膜特性的理论计算 4ct-K)Ris  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 &6CDIxH{  
习题 acS~%^"<_  
第2章光学薄膜的设计理论 ?MFC(Wsh  
2.1矢量作图法 #d %v=.1  
2.2有效界面法 B bmw[Qf\  
2.3对称膜系的等效层 &'12,'8  
2.4导纳图解技术 F'[Y.tA ,#  
习题 #9TL5-1y  
第3章光学薄膜系统的设计 L;:PeYPL  
3.1减反射膜 S*G^U1Sc+  
3.2分束镜 D,.`mX  
3.3高反射膜 ^Ak?2,xB#+  
3.4干涉截止滤光片 12#yHsk  
3.5带通滤光片 \uHC9}0  
3.6特殊膜系 IrYj#,xJ  
习题 ]vf_4QW=  
参考文献 z{3`nd,  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 (enr{1  
第4章薄膜制备技术 VE]TT><  
4.1真空淀积工艺 AAfU]4
u0S  
4.2光学薄膜材料 $)*qoV  
4.3薄膜厚度监控艺术 ;v]C8}L^  
4.4膜层厚度的均匀性 Os[z>H?  
习题 3_wR2AU~  
参考文献 iuWUr?`\  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Hx+r9w  
5.1薄膜的形成过程 -`5]%.E&8  
5.2薄膜的微观结构 1@I#Fv  
5.3薄膜的成分 W3/] 2"0  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 r(wf>w3  
5.5薄膜微观结构和改善 U:~]>B $  
习题 9 D.
wW  
参考文献 w|G7h=  
第三篇光学薄膜检测技术 /D9#v1b  
第6章薄膜透射率和反射率测量 nL^7t7mp  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 1^]IuPxq  
6.2薄膜反射率的测试 "\Dqtr w  
6.3薄膜反射率的测量 /Zs_G=\>  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 pvsY 0a@4  
6.5总结 56YqY
u.  
习题 j9c:SP5  
参考文献 Y*9
vR~#H  
第7章薄膜的吸收和散射测量 Fp?M@  
7.1激光量热计基本原理 E2}X[EoBF  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 yD\Kn{  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 }#.OJub  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 M3UC9t9]  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ?r|iZKa  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 .I|b9$V  
7.7总结 V1Ft3Msq  
习题 ._p2"<  
参考文献 Z/ml,4e  
第8章薄膜光学常数的测量 SD~4CtlfI  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ghW`xm87  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 r-S%gG}~E  
8.3薄膜波导法 ~a V5  
8.4光学薄膜厚度的测试 0u"j^v  
8.5总结 (ZF~   
习题 DJdhOLx  
参考文献 ,e 7 ~G  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 EpACd8Fb  
9.1薄膜的力学特性检测技术 =_E$* }  
9.2薄膜器件的环境试验 07qjWo/t  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 9`qw,X&AK_  
9.4总结 g}6M+QNj  
习题 lhE]KdE
3  
参考文献 i
\ 7JQZ  
附录 'p!&&.%  
附录A复数与复数运算 qldm"Ul  
A.1复数的概念 pdN8hJ  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 !+Cc^{  
A.3复数在物理中的运用 +#>nOn(B  
附录B矩陈及矩陈运算 vfT @;`  
B.1矩陈的定义 }|/<!l+;$  
B.2矩陈运算 {LKW%G7  
附录C光的电磁理论基础 qMVuB
v  
C.1振动与波 3&[d.,/  
C.2电磁波 LD WYFOGQ  
C.3麦克斯韦方程 3^H-,b0^  
C.4平面电磁波 wmbG$T%k  
C.5平面电磁波性质 mbhh  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 H_8PK$c;  
附录D光的干涉 b~ig$!N]  
D.1波的叠加原理 wE9z@\z]  
D.2杨氏干涉 x^`P[>  
D.3平板的表面干涉 V@G|2ZI  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ;)f,A)(Z  
附录E光的偏振 ae0Mf0<#)  
E.1自然光和偏振光 ] -C*d$z  
E.2偏振光与Jones矩陈 /&=y_%VR  
E.3偏振光的获得 bB/fU7<{)u  
E.4偏振光的检验 ;x|?N*  
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