现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 en gh3TZC  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。  qZP>h4  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 >E(
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第一篇光学多层膜设计 j6)@kW9x  
第1章光学薄膜特性的理论计算 (z<&PP  
1.1单色平面电磁波 ~ +z'pK~c  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ldm=uW  
1.3光学薄膜特性的理论计算 s|&2QG0'7  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 *YY:JLe  
习题 V?Zvu9b&  
第2章光学薄膜的设计理论 }u..m$h  
2.1矢量作图法 E%+1^ L  
2.2有效界面法 jCbxI^3A  
2.3对称膜系的等效层 g8w5X!Z  
2.4导纳图解技术 )Ikx0vDFQ  
习题 J;BG/VI1  
第3章光学薄膜系统的设计 +#y[sKa  
3.1减反射膜 (@?PN+68|  
3.2分束镜 xlaBOKa%  
3.3高反射膜 5gbJTh<JU  
3.4干涉截止滤光片 u_U51C\rb  
3.5带通滤光片 e[8p/hId  
3.6特殊膜系 s?*MZC  
习题 cB7=4:U  
参考文献 Iih~rWJ  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 &wZ:$lK#o  
第4章薄膜制备技术 5lC"10  
4.1真空淀积工艺 ~?{@0,$  
4.2光学薄膜材料 yeNC-U<  
4.3薄膜厚度监控艺术 O<h`[1eUjS  
4.4膜层厚度的均匀性 b9(
[)8  
习题 4o2C=?@(  
参考文献 ?<slB>8  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 rm4j8~Ef  
5.1薄膜的形成过程 ef!V EtEOv  
5.2薄膜的微观结构 ;wz YZ5=Di  
5.3薄膜的成分 5X-cDY*|  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ~z!U/QR2  
5.5薄膜微观结构和改善 Piz/vH6M}  
习题 l+Tw#2s$  
参考文献 "sRR:wzQu  
第三篇光学薄膜检测技术 ( UV8M\  
第6章薄膜透射率和反射率测量 4>Q6!"  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 @hWt.qO3s  
6.2薄膜反射率的测试 -U=bC   
6.3薄膜反射率的测量 "Gxf[6B  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ([ xYOxcp5  
6.5总结 jfHVXu^M  
习题 8\t~*@"  
参考文献 ;^FV  
第7章薄膜的吸收和散射测量 C(_xqn  
7.1激光量热计基本原理 H6*d#!  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 F,`y_71<  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 nlK"2/W  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 Z
cv1%hI  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 9[B*CD|  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 8fJ- XFK$:  
7.7总结 =8fp4#]7  
习题 (Y!@,rKd  
参考文献 #G^?4Za  
第8章薄膜光学常数的测量 Ssr P  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Oh
nd:8E  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 5"6Y=AuQ6  
8.3薄膜波导法 ; eq^m,oz  
8.4光学薄膜厚度的测试 \=4[v-3H  
8.5总结 $q{-)=-BXQ  
习题 j
#0@%d  
参考文献 !["WnF{5eC  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 a!P?RbW  
9.1薄膜的力学特性检测技术 k|nv[xY0  
9.2薄膜器件的环境试验 4?,N;Q  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 $ T.c>13  
9.4总结 Yyby 1  
习题 L*1C2EL/q  
参考文献 -}{c;pT  
附录 z6b
!,lp  
附录A复数与复数运算 ,)nO  
A.1复数的概念 u-At k-2M  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Y_)!U`>N?  
A.3复数在物理中的运用 k 0z2)
3L  
附录B矩陈及矩陈运算 !,PG!Gnl  
B.1矩陈的定义 y'pAhdF  
B.2矩陈运算 p0UR5A>p  
附录C光的电磁理论基础 -Yy,L%E]F:  
C.1振动与波 j}'spKxu  
C.2电磁波 ">*PH}b  
C.3麦克斯韦方程 $+)SW{7  
C.4平面电磁波 pog*}@OS  
C.5平面电磁波性质 Je[wGF:%:$  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 :03w k)  
附录D光的干涉 'q8T*|/  
D.1波的叠加原理 =M)+O%`*6  
D.2杨氏干涉 YUat}-S  
D.3平板的表面干涉 2}[)y\`t3  
D.4光的空间相干性和时间相干性 yNP M-  
附录E光的偏振 NSUw7hnWvz  
E.1自然光和偏振光 lW1Al>dW<  
E.2偏振光与Jones矩陈 tpO%)*  
E.3偏振光的获得 mTT1,|  
E.4偏振光的检验 ?k]^?7GN  
…… { ,qm=Xjq  
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