现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 .hh2II  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 I+ipTeB^  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 y]OW{5(  
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第一篇光学多层膜设计 K`PmWxNPh  
第1章光学薄膜特性的理论计算 f[)_=T+  
1.1单色平面电磁波 /*GRE#7S  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 )=\W sQ  
1.3光学薄膜特性的理论计算 rN|c0
N  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 >/
Z#{;kOz  
习题 5G8`zy  
第2章光学薄膜的设计理论 06bl$%  
2.1矢量作图法 x{io*sY-  
2.2有效界面法 \K 01F  
2.3对称膜系的等效层 dG{`Jk  
2.4导纳图解技术 U5mec167  
习题 ~Z5?\a2Ld  
第3章光学薄膜系统的设计 ;??wLNdf-  
3.1减反射膜 uh`@qmu)  
3.2分束镜 u!2.[CV  
3.3高反射膜 p
j,.RcH@o  
3.4干涉截止滤光片 ;% *e}w0  
3.5带通滤光片 v>Il#  
3.6特殊膜系 ]>@; 2%YvY  
习题 MBCA%3z08  
参考文献 ?,r bD1  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 Ms?V1  
第4章薄膜制备技术 X|L8s$>  
4.1真空淀积工艺 =y7]9SOq  
4.2光学薄膜材料 U'LO;s04m  
4.3薄膜厚度监控艺术 $P]%Px!x  
4.4膜层厚度的均匀性 %5RYa<oP  
习题 c
< gM  
参考文献 ua:.97~Ym  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 |bDN~c:/  
5.1薄膜的形成过程 w_^&X;0^  
5.2薄膜的微观结构 bl\44VK2'  
5.3薄膜的成分 6__@?XzJ  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 #ITx[X89|  
5.5薄膜微观结构和改善 fDq, )~D  
习题 lg;Y}?P  
参考文献  Xvs{2  
第三篇光学薄膜检测技术 ^e8R43w:!  
第6章薄膜透射率和反射率测量 {mL/)\  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ~U8#Iq1  
6.2薄膜反射率的测试 tH:ea$A  
6.3薄膜反射率的测量 MCQ>BP  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ^Gv<Xl  
6.5总结 c i7;v9  
习题 *NV`6?o@6  
参考文献 ]T^m>v)X  
第7章薄膜的吸收和散射测量 GMU<$x8o  
7.1激光量热计基本原理 (W+9 u0Zq  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收  -/  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 QAi(uL5  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 W _b$E =  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 nAF@47Wo  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 fokT)nf~^8  
7.7总结 w0SzK-&  
习题 6Epns s  
参考文献 q~trn'X>  
第8章薄膜光学常数的测量 g8XGZW!  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 V-=$:J"J'\  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 [tMf KO  
8.3薄膜波导法 ,_rarU)[
J  
8.4光学薄膜厚度的测试 *{4cc  
8.5总结 '0 (Bb  
习题 `4}!+fXQ  
参考文献 *`}_e)(k  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 cYR6+PKua  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ";s5It  
9.2薄膜器件的环境试验 phXVuQ  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 iZMsN*9[  
9.4总结 $:u,6|QsS=  
习题 7v,>sX  
参考文献 =_":Z!_  
附录 -&)^|Atm  
附录A复数与复数运算 7Wb.(` a<  
A.1复数的概念 =~=/ dq  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 l7s=b4}c  
A.3复数在物理中的运用 _D,8`na>K  
附录B矩陈及矩陈运算 c6c^9*,V  
B.1矩陈的定义 ~Y'e1w$`  
B.2矩陈运算 ^OBaVb  
附录C光的电磁理论基础 =R>Sxaq  
C.1振动与波 Q`vyDoF  
C.2电磁波 EW5S%Y  
C.3麦克斯韦方程 7Ck;LF}>0  
C.4平面电磁波 Y~vTFOI  
C.5平面电磁波性质 $--PA$H27  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 h.?[1hT4R  
附录D光的干涉 ]Rj"/(X,  
D.1波的叠加原理 v,D_^?]@  
D.2杨氏干涉 L/
/sJe  
D.3平板的表面干涉 9d{W/t?NH  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ;~1r{kXxA"  
附录E光的偏振  g u|;C  
E.1自然光和偏振光 8W$="s2  
E.2偏振光与Jones矩陈 ZH0f32K  
E.3偏振光的获得 b8]oI"&G  
E.4偏振光的检验 Vbj?:29A  
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