现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 i&.F}bEi  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 SL@Vk(  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 >k_Z]J6Pd  
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第一篇光学多层膜设计 +".&A#wU  
第1章光学薄膜特性的理论计算 P]dDTh~e~  
1.1单色平面电磁波 @$+l ^"#-]  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 FopD/D{  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ~}4H=[Zu  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 s
Pc\xY  
习题 0b*a2_|8k  
第2章光学薄膜的设计理论 36Wuc@<H  
2.1矢量作图法 _;LH
C;,:  
2.2有效界面法 9Cf^Q3)5o  
2.3对称膜系的等效层 ]e?*7T]  
2.4导纳图解技术 ?7a<V+V:  
习题 8'g/WZY~~  
第3章光学薄膜系统的设计 nR"k%$  
3.1减反射膜 V!FzVl=G  
3.2分束镜 G*J(4~Yw}  
3.3高反射膜 :Q\h'$C  
3.4干涉截止滤光片 hc0VS3 k)  
3.5带通滤光片 #+ n &  
3.6特殊膜系 OtQKDpJq  
习题 TTy1a:V  
参考文献 I X\&lV  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ch :428  
第4章薄膜制备技术 g`J? 2 _]  
4.1真空淀积工艺 cpE&Fba}"  
4.2光学薄膜材料 J>Zd75;
U  
4.3薄膜厚度监控艺术 Pfd FB  
4.4膜层厚度的均匀性
UbQeN  
习题 rZpc"<U  
参考文献 2sittP  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 n]8_]0{qi  
5.1薄膜的形成过程 If4YqBG  
5.2薄膜的微观结构 R 8Iac[N  
5.3薄膜的成分 L~ 1Lv?  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 .v;2Q7X  
5.5薄膜微观结构和改善 
Zjo9c{\  
习题 bXC 0f:L  
参考文献 {v]>sn;P1  
第三篇光学薄膜检测技术 = b)q.2'#  
第6章薄膜透射率和反射率测量 SB \ptF  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 xsAF<:S\  
6.2薄膜反射率的测试 s|{K?s  
6.3薄膜反射率的测量 -,4_ &V  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 CT"0"~~  
6.5总结 f#X`e'1  
习题
QMfYM~o  
参考文献 Bpk%,*$*)  
第7章薄膜的吸收和散射测量 2d1'!B zDA  
7.1激光量热计基本原理 KJpM?:  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ASu9c2s  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 lfI[
r|  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 0s<o5`v  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 AHZ6  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 \t!+]v8f8  
7.7总结 u $sX6  
习题 rxDule3m  
参考文献 &ul9N)A  
第8章薄膜光学常数的测量 SXod r}  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 G_AAE#r`  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 q2/Vt0aYx  
8.3薄膜波导法 pr;L~$JW  
8.4光学薄膜厚度的测试 gXH89n  
8.5总结 wbr"z7}  
习题 yyA/x,  
参考文献 4AF"+L  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 h+
*  
9.1薄膜的力学特性检测技术 1W/= =+%I  
9.2薄膜器件的环境试验 9Pem~<  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 S2<(n,"  
9.4总结 N!Y'W)i16  
习题 wh~~g qi9  
参考文献 ; 9'*w=V  
附录 Zn9w1ev  
附录A复数与复数运算 Y<0f1N  
A.1复数的概念 txL5'mK  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Tzk8y7$[  
A.3复数在物理中的运用 L;z-,U$;%R  
附录B矩陈及矩陈运算 &.4lhfI+(Q  
B.1矩陈的定义 >ueJ+sgH  
B.2矩陈运算 Qy3e,9nS  
附录C光的电磁理论基础 k| jCc  
C.1振动与波 Ws1<Jt3/."  
C.2电磁波 .upcUS8  
C.3麦克斯韦方程 @u$oqjK  
C.4平面电磁波 2{#quXN9  
C.5平面电磁波性质 ucA6s:!={  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 H%sQVE7m  
附录D光的干涉 hU4~`gp  
D.1波的叠加原理 Hh qx)u  
D.2杨氏干涉  vb70~k  
D.3平板的表面干涉 S$$:G$j  
D.4光的空间相干性和时间相干性 U2Ur N?T  
附录E光的偏振 @:c
 1+  
E.1自然光和偏振光 jf
$t  
E.2偏振光与Jones矩陈 zJx<]=]  
E.3偏振光的获得 [M;P:
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E.4偏振光的检验 goHr#@  
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