现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 Gw/imXL  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 t)*MLg<C  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ^/<0r]=  
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第一篇光学多层膜设计 ^MUSq
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第1章光学薄膜特性的理论计算 =D2jJk?AX  
1.1单色平面电磁波 
.UUY9@  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 xsPE UK&g  
1.3光学薄膜特性的理论计算 _djr>C=H"  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ?5A!/`E&%  
习题 YB^[HE\#y  
第2章光学薄膜的设计理论 $&@L[[xl  
2.1矢量作图法 sMq*X^z )?  
2.2有效界面法 B4yC"55  
2.3对称膜系的等效层 }CiB+  
2.4导纳图解技术 >0W:snNK  
习题 Tq r]5  
第3章光学薄膜系统的设计 2&f]v`|M|  
3.1减反射膜 SOq{`~,4B  
3.2分束镜 \m3;<A/3n  
3.3高反射膜 <F=U(WWn9  
3.4干涉截止滤光片 _\9|acFT2O  
3.5带通滤光片 b#:Pl`n6u  
3.6特殊膜系 =Mb1)^m  
习题 meHnT9a^  
参考文献 Jzg>Y?jN R  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 :3z`+5Y*  
第4章薄膜制备技术 JP2zom  
4.1真空淀积工艺 CMm:Vea  
4.2光学薄膜材料 Kd?TIeFE  
4.3薄膜厚度监控艺术 c
K;,=\  
4.4膜层厚度的均匀性 RJo"yB$1e6  
习题 ^r u1QDT  
参考文献 6/m|Sg.m  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 : "|M  
5.1薄膜的形成过程 x:h0/f  
5.2薄膜的微观结构 u}eqU%  
5.3薄膜的成分 1keH1[  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Oie0cz:>:  
5.5薄膜微观结构和改善 D;pfogK @  
习题 S1iF1X(+?X  
参考文献 Q-3o k7
 
第三篇光学薄膜检测技术 g:l5,j.K  
第6章薄膜透射率和反射率测量 y#4f^J!V  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 HC4vet  
6.2薄膜反射率的测试 #}/YnVk  
6.3薄膜反射率的测量 3;wAm/Z:Q  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 dE<}X7J%  
6.5总结 ^ |k7g  
习题 =l %  
参考文献 +1Qa7\  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ax]Pa*C}  
7.1激光量热计基本原理 `D0>L'  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 or?@Ti;  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 .?L&k|wX-  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 J}Q4.1WG$  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Q>jx`68'KI  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 e)pQh&uD  
7.7总结 j.? '*?P  
习题 ^sLnKAN  
参考文献 ?-40bb  
第8章薄膜光学常数的测量 YVzcV`4w(  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 B0_[bQoc1  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 g_kR5
Wxpt  
8.3薄膜波导法 V/X4WZs|i  
8.4光学薄膜厚度的测试 MIblx  
8.5总结 Q9-o$4#R[  
习题 W'3&\}  
参考文献 V-#OiMWa~  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 vdwh59W  
9.1薄膜的力学特性检测技术 zh5$$*\  
9.2薄膜器件的环境试验 -Wp69DP6q  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 S,9}p1  
9.4总结 ikr|P&e#u  
习题 vx:MLmZ.  
参考文献 :6~DOvY  
附录
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附录A复数与复数运算 e,Ih7-=Er,  
A.1复数的概念 t<_Jx<{2  
A.2复数的三角函数及指数表示方法  U>0' K3_  
A.3复数在物理中的运用 }LXS!Ff:  
附录B矩陈及矩陈运算 >C6wm^bl  
B.1矩陈的定义 t`PA85.|d  
B.2矩陈运算 m!{}Y]FZn  
附录C光的电磁理论基础 W<J".2D  
C.1振动与波 'dE G\?v9  
C.2电磁波 ^%)H;  
C.3麦克斯韦方程 1b4aY> Z  
C.4平面电磁波 +-b:XeHSZ  
C.5平面电磁波性质 <SiD m-=E  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 s[
{L.9Y  
附录D光的干涉 1!u}~E_  
D.1波的叠加原理 TTg>g~t`  
D.2杨氏干涉 t;[L-|^  
D.3平板的表面干涉 q3+G  
D.4光的空间相干性和时间相干性 +&LzLF.bK  
附录E光的偏振 P3w]PG@  
E.1自然光和偏振光 JNQiCK,)}M  
E.2偏振光与Jones矩陈 |K},f,  
E.3偏振光的获得 )&G uZ  
E.4偏振光的检验 h,|49~^@"  
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