现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 gkRbb   
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 TL*8h7.(  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 lN,)T%[0-  
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第一篇光学多层膜设计 [
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第1章光学薄膜特性的理论计算 u{d\3-]/  
1.1单色平面电磁波 MlmdfO%Y  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 jt,dr3|/n  
1.3光学薄膜特性的理论计算 W1;u%>Uh  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 NpN-''B\  
习题 nLcOz3h  
第2章光学薄膜的设计理论 <V_P)b8$1
 
2.1矢量作图法 R
!2oj_  
2.2有效界面法 &m8Z3+Ea  
2.3对称膜系的等效层 f'28s*n  
2.4导纳图解技术 SdM@7%UK  
习题  V9cKl[  
第3章光学薄膜系统的设计 &|&tPD/dJ  
3.1减反射膜 .]D7Il  
3.2分束镜 +q-/~G'  
3.3高反射膜 # @~HpqqR  
3.4干涉截止滤光片 c3]X#Qa#m$  
3.5带通滤光片 Eu)(@,]we  
3.6特殊膜系
0kOl,%Ey  
习题 >J,y1jzJ  
参考文献 v[J"/:]  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 .|Y&,?k|Y  
第4章薄膜制备技术 ( {}Z '  
4.1真空淀积工艺 &8R!`uh1  
4.2光学薄膜材料 4Ow0g-{  
4.3薄膜厚度监控艺术 TOC2[mc'  
4.4膜层厚度的均匀性 'vc>uY  
习题 W<s
a6,$  
参考文献 VsR8|Hn$  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 &w7Ev21  
5.1薄膜的形成过程 ] lONi  
5.2薄膜的微观结构 2T >K!jS  
5.3薄膜的成分 '7;b+Vbl#  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 guc[du  
5.5薄膜微观结构和改善 _Cnl|'  
习题 zC<k4[.  
参考文献 K#_x.:<J  
第三篇光学薄膜检测技术 waRK$/b (  
第6章薄膜透射率和反射率测量 *s1^s;LR  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 'wm :Xa  
6.2薄膜反射率的测试
<A+n[h  
6.3薄膜反射率的测量 7ea<2va,  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 O4lHR6M2  
6.5总结 E=eK(t(8  
习题 q"C(`S.@  
参考文献 {>rGe#Vu  
第7章薄膜的吸收和散射测量 T_3JAH e  
7.1激光量热计基本原理 uzgQ_  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 OJ!=xTU%h  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 t'{IE!_  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 3 jRI@  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 S;L=W9=wby  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 *JT,]7>  
7.7总结 r=74'g  
习题 E8LA+dKN:  
参考文献 vj,OX~|  
第8章薄膜光学常数的测量 +0Z,#b  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 2/F";tc\'  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 aTLu7C\-e  
8.3薄膜波导法 ~dz,eB  
8.4光学薄膜厚度的测试 Q!*}^W  
8.5总结 ewrs D'?  
习题 ta+MH
,  
参考文献 ~4^~w#R  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 K*id 1YY  
9.1薄膜的力学特性检测技术 2>+(OL4l  
9.2薄膜器件的环境试验 egXbe)ld  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 p'f8?jt  
9.4总结 Vl\8*!OL%  
习题 u/_TR;u=q  
参考文献 !> 2kH  
附录 hteAuz4H  
附录A复数与复数运算 !!:mjq<0  
A.1复数的概念 HzQY\Y6  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 v1O1-aM  
A.3复数在物理中的运用 UI%Z`.&  
附录B矩陈及矩陈运算 rHaj~s 4  
B.1矩陈的定义 XDQ5qfE|  
B.2矩陈运算 RzOcz=A}  
附录C光的电磁理论基础 \@!"7._=  
C.1振动与波 `p'682xI  
C.2电磁波 !YVGT <  
C.3麦克斯韦方程 q"9 2][}  
C.4平面电磁波 X 7R&>Pf  
C.5平面电磁波性质 
%iR"eEE  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 m-u0U  
附录D光的干涉 wG@f~$  
D.1波的叠加原理 (J 1:J  
D.2杨氏干涉 N}gPf i  
D.3平板的表面干涉 PrqyJ  
D.4光的空间相干性和时间相干性 (|9t+KP  
附录E光的偏振 /N9ct4 {^  
E.1自然光和偏振光 m"/ o4  
E.2偏振光与Jones矩陈 Aw$+Ew[8 2  
E.3偏振光的获得 iz%wozf  
E.4偏振光的检验 <q.Q,_cW  
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