现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 =PyU9C-
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 {<&I4V@+  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 zl46E~"]x  
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第一篇光学多层膜设计 R>[2}R30  
第1章光学薄膜特性的理论计算 |~k=:sSz
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1.1单色平面电磁波 URm
x8=q  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 _S/bwPj|~y  
1.3光学薄膜特性的理论计算 |h(!CFR  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 #ldNWwvRGj  
习题 w``t"v4  
第2章光学薄膜的设计理论 Zse3e  
2.1矢量作图法 Bm"jf]  
2.2有效界面法 'Wl))lB  
2.3对称膜系的等效层 ( }5k"9Z  
2.4导纳图解技术 dx}()i\@  
习题 aB-*l %x  
第3章光学薄膜系统的设计 }m/aigA[1  
3.1减反射膜 iN5~@8jAzz  
3.2分束镜 e`'O!  
3.3高反射膜 jE2k\\<a  
3.4干涉截止滤光片 e2UbeP  
3.5带通滤光片 9mwL\j  
3.6特殊膜系 \TkBV?W  
习题 wx BQ#OE  
参考文献 YMad]_XOP  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 {;);E  
第4章薄膜制备技术 UL$^zR3%d  
4.1真空淀积工艺 "m0>u,HmI  
4.2光学薄膜材料 `,tv&siSA  
4.3薄膜厚度监控艺术 A!H6$-W|p  
4.4膜层厚度的均匀性 `;*%5WD%  
习题 I<z /Y?  
参考文献 ~<Uwumv  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 x "]%q^x  
5.1薄膜的形成过程 1\{0
z3P  
5.2薄膜的微观结构 b\"JXfw  
5.3薄膜的成分 yAG4W[  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 :D}x
T]  
5.5薄膜微观结构和改善 Xoml  
习题 Duj9PV`2  
参考文献 z<ptrH  
第三篇光学薄膜检测技术
[zn`vT  
第6章薄膜透射率和反射率测量 G<9MbMG  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 a"EP`  
6.2薄膜反射率的测试 \=v7'Hp  
6.3薄膜反射率的测量 DoX#+ 07u4  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 + B%fp*  
6.5总结 f8L  
习题 X8<<;?L  
参考文献 (ScL  C  
第7章薄膜的吸收和散射测量 qxG@Zd  
7.1激光量热计基本原理 \A*#a9"  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 > YKvwbCf8  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 k]l
M%  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 4Wk/^*?  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 )MHvuk:I)  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 bqFGDmu6'  
7.7总结 V9I5/~0c  
习题 2TmQaDu%b  
参考文献 acdaDY  
第8章薄膜光学常数的测量 "63
9oB  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 us"SM\X#  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Eh#W*Bg  
8.3薄膜波导法 `]#DdJ_|  
8.4光学薄膜厚度的测试 .8uJ%'$)  
8.5总结 j5|PQOK  
习题 qi;@A-cq  
参考文献 {kD|8["Ie'  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 =PP]L
DlJs  
9.1薄膜的力学特性检测技术 %L=roqz  
9.2薄膜器件的环境试验 H\W60|z9  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 CA7tI >y_  
9.4总结 U2$e?1y  
习题 $T8Ni!#/C  
参考文献 m%m/#\J E  
附录 `][~0\Y3m  
附录A复数与复数运算 $^INl0Pg  
A.1复数的概念 eA$9)K1GO  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 O`g44LW2n  
A.3复数在物理中的运用 J1cD)nM<A  
附录B矩陈及矩陈运算 1>c`c]s3  
B.1矩陈的定义 ~!E%GCyFy  
B.2矩陈运算 4pJOJ!?  
附录C光的电磁理论基础 Q[;!z1ur  
C.1振动与波 &1ASWllD  
C.2电磁波 wz+   
C.3麦克斯韦方程
_Xlf}B
E  
C.4平面电磁波 UtIwrR[  
C.5平面电磁波性质 Nj1vB;4Nx  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 # 5v 2`|)  
附录D光的干涉 :iD([V  
D.1波的叠加原理 O _yJR  
D.2杨氏干涉 w{#K.dx  
D.3平板的表面干涉 @2v L'6  
D.4光的空间相干性和时间相干性 sI,T"D?  
附录E光的偏振 ;26a8g(  
E.1自然光和偏振光 rtS(iD@B"  
E.2偏振光与Jones矩陈 Q!7Er  
E.3偏振光的获得 dB ?+-aE  
E.4偏振光的检验 9`f]Rf"  
…… bU/5ug.  
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