现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 zA,vp^  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 D -}>28  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 S*h52li  

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第一篇光学多层膜设计 o`U}uqrO  
第1章光学薄膜特性的理论计算 %pC<T*f  
1.1单色平面电磁波 o2/:e  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 _:x]'w%  
1.3光学薄膜特性的理论计算 i'>6Qo  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 3uL f0D  
习题 oV|O`n  
第2章光学薄膜的设计理论 iHa?b2=)  
2.1矢量作图法 o+A7hBM^  
2.2有效界面法 Z%t_1t  
2.3对称膜系的等效层 g}an 5a  
2.4导纳图解技术 m4:c$5  
习题 GABZsdFZ!  
第3章光学薄膜系统的设计 BI'>\hX/V  
3.1减反射膜 AjzTszByu  
3.2分束镜 JGs:RD'  
3.3高反射膜 #mxOwvJ  
3.4干涉截止滤光片 ;kFD769DLw  
3.5带通滤光片 5mH[|_  
3.6特殊膜系 6g(;2gY  
习题 asWk]jjMG  
参考文献 :@A&HkF  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ~q$]iwwqT  
第4章薄膜制备技术 8-Abg:)  
4.1真空淀积工艺 2d)Dhxzxk  
4.2光学薄膜材料 |'^s3i&w  
4.3薄膜厚度监控艺术 #'L<7t K  
4.4膜层厚度的均匀性 ["-rDyP  
习题 <Ap_#  
参考文献 Sj+H{xJi  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 5ggyk0  
5.1薄膜的形成过程 ZmA}i`  
5.2薄膜的微观结构 rRTKF0+  
5.3薄膜的成分 %hB-$nE  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 I _nQTWcm  
5.5薄膜微观结构和改善 Llfl I  
习题 !)s(Lv%]  
参考文献 )aS:h}zn  
第三篇光学薄膜检测技术 jqUVERbc  
第6章薄膜透射率和反射率测量 c_/BS n  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Y}~sTuWU  
6.2薄膜反射率的测试 _4{0He`q  
6.3薄膜反射率的测量 ,=/9Ld2w9  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 7)?C+=,0  
6.5总结 ~9>H(c  
习题 _@5Xmr  
参考文献 r!r08yf  
第7章薄膜的吸收和散射测量 '+Dsmoy  
7.1激光量热计基本原理 T(!1\TB  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 Ly=.  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 pF;.nt)  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 qe]D4K8`Q3  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 /[R=-s ;  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 0s n$QmW:  
7.7总结 D T5d]MU  
习题 WowKq0sn
 
参考文献 fu7x,b0p  
第8章薄膜光学常数的测量 c`E>7Hjr-  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ;,y_^-
h;  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Gb')a/  
8.3薄膜波导法 "x
$@^  
8.4光学薄膜厚度的测试 ZCCCuB  
8.5总结 K1 f1T  
习题 {`HbpM<=m]  
参考文献 B`SX3,3  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 Yy~x`P'g!  
9.1薄膜的力学特性检测技术 GSA
+A7sZ  
9.2薄膜器件的环境试验 oodA&0{)d  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 ~d*Q{v~3  
9.4总结 =dXHQU&Q  
习题 G|cjI*  
参考文献 ,xwiJfG; ]  
附录 \VPw3  
附录A复数与复数运算 Fe8X@63  
A.1复数的概念 '4,?YcZ?S  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 z,Xj$wl  
A.3复数在物理中的运用 Zpd-ob  
附录B矩陈及矩陈运算 ; _%zf5;'  
B.1矩陈的定义 8\J$\Edv  
B.2矩陈运算 \`.v8C>vG  
附录C光的电磁理论基础 yY]x''K  
C.1振动与波 ,[n9DPZ  
C.2电磁波 0f4 y"9m  
C.3麦克斯韦方程
+|C@B`h  
C.4平面电磁波 kEh9J>|M  
C.5平面电磁波性质 |5>Tf6$(  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 yLRe'5#m  
附录D光的干涉 /#9P0@Y  
D.1波的叠加原理 6 ;'s9s"  
D.2杨氏干涉 +G;<D@gSa0  
D.3平板的表面干涉 y[J9"k(@  
D.4光的空间相干性和时间相干性 B9(w^l$kZ|  
附录E光的偏振 gmp@ TY=:L  
E.1自然光和偏振光 :ok.[q  
E.2偏振光与Jones矩陈 W@!qp  
E.3偏振光的获得 u<j;+-]8h  
E.4偏振光的检验 P`rfDQoZ  
…… UDHOcb  
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