现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 AYYRxhv_,  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 C*]AL/  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 %y3:SUOdx  
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第一篇光学多层膜设计 +%x^RV}  
第1章光学薄膜特性的理论计算 4=UI3 2v3  
1.1单色平面电磁波 _i.({s&_9  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 `GP3D~  
1.3光学薄膜特性的理论计算 F1/6&u9I  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 (J/>Gy)d  
习题 8QPT\~  
第2章光学薄膜的设计理论 @<
VG8{  
2.1矢量作图法 cyDiA(ot&  
2.2有效界面法 Za34/ro/T  
2.3对称膜系的等效层 ^]KIgGv\  
2.4导纳图解技术 M'b:B*>6  
习题
JPHUmv6  
第3章光学薄膜系统的设计 !OV|I  
3.1减反射膜 M2a}x+5'  
3.2分束镜 -.^@9 a>  
3.3高反射膜 IBzHR[#,^  
3.4干涉截止滤光片 |c]> Q  
3.5带通滤光片 ZyZl\\8U  
3.6特殊膜系 o&WRta>V
P  
习题 rrW! X q  
参考文献 jw%fN!?  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 2f s9JP{^0  
第4章薄膜制备技术 WvIK=fdZ$  
4.1真空淀积工艺 fYv ;TV>73  
4.2光学薄膜材料 OE5X8DqQe  
4.3薄膜厚度监控艺术 U[blq M  
4.4膜层厚度的均匀性 =lYvj  
习题 30t:O&2<  
参考文献 #}nBS-+  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 LqM
e'z  
5.1薄膜的形成过程 R>^5$[  
5.2薄膜的微观结构 U$MWsDn   
5.3薄膜的成分 B'NS&7+].  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 4u7c7K>\Y  
5.5薄膜微观结构和改善 L; @aE[#z  
习题 W^-hMT]uD  
参考文献 Jv-zB]3&  
第三篇光学薄膜检测技术 JkRGtYq  
第6章薄膜透射率和反射率测量 &3!i@2d;3f  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 n5/ZJur  
6.2薄膜反射率的测试 DX]z=d)tc  
6.3薄膜反射率的测量 -i| /JH  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 E!r4AjaC  
6.5总结 hhN(;.  
习题 :-W$PIBe  
参考文献 >\N$>"~a  
第7章薄膜的吸收和散射测量 [N'r3  
7.1激光量热计基本原理 =>E44v  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 H@VBP Q}Q  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 $Ui]hA-:?y  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ]W89.><%14  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 \"<GL;  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 7Y|Wy Oq  
7.7总结 C@l +\M(  
习题 H620vlC}V  
参考文献 Fj[ dO&  
第8章薄膜光学常数的测量 S(q4OQB{  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ~hxeD" w  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 iPRJA{$b_  
8.3薄膜波导法 VQZT.^  
8.4光学薄膜厚度的测试 A- <.#  
8.5总结 krnvFZRTQ  
习题 gDUoc*+h  
参考文献 {&6l\|  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 #
d7)$ub  
9.1薄膜的力学特性检测技术 rd f85%%7  
9.2薄膜器件的环境试验 6 d{D3e[p^  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 P,s)2s'nZ  
9.4总结 AmUe0CQ:k'  
习题 .)oQM:F(h  
参考文献 |\yDgs%EGy  
附录 \oD=X}UQw(  
附录A复数与复数运算 3RY|l?n>  
A.1复数的概念 g[uE@Gaj&  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 :$)aMEq  
A.3复数在物理中的运用 ;NvhL|R  
附录B矩陈及矩陈运算 dNS9<8JX  
B.1矩陈的定义 Y6[]wUJ  
B.2矩陈运算 O~c+$(  
附录C光的电磁理论基础 r' 97\|  
C.1振动与波 'PxL^  
C.2电磁波 \Ho#[k=y*/  
C.3麦克斯韦方程 SO8|]Fk  
C.4平面电磁波 |iF1A  
C.5平面电磁波性质 |\{J`5gr  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 /eI,]CB'z  
附录D光的干涉 'h+4zvI"8  
D.1波的叠加原理 `rRg(fCN!M  
D.2杨氏干涉 a*e|>pDO  
D.3平板的表面干涉 .5$V7t.t$\  
D.4光的空间相干性和时间相干性 +L<w."WG  
附录E光的偏振 :;#c:RKi:  
E.1自然光和偏振光 b_"V%
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E.2偏振光与Jones矩陈 !Dhfr{  
E.3偏振光的获得  T!O3(  
E.4偏振光的检验 ~"hAb2  
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