现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 Uu[dx}y  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 )<
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 V>(>wSR  

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第一篇光学多层膜设计 tSVU,m  
第1章光学薄膜特性的理论计算  h@CP  
1.1单色平面电磁波 ? J/NYV  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 Go)}%[@w  
1.3光学薄膜特性的理论计算 Vy7 )_D  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 q+2v9K@  
习题 PwnfXsR  
第2章光学薄膜的设计理论 Nnq r{ub  
2.1矢量作图法 QB"+B]rV  
2.2有效界面法 vD76IG jm  
2.3对称膜系的等效层 {[~dI ~  
2.4导纳图解技术 $6]1T
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习题 [L=M=;{4  
第3章光学薄膜系统的设计 WDJ rN  
3.1减反射膜 .^8rO,H[  
3.2分束镜 #'4Psz  
3.3高反射膜 %^l&:\ hy  
3.4干涉截止滤光片 a7sX*5t{R  
3.5带通滤光片 Ys]cJ]  
3.6特殊膜系 fyEXnmB;  
习题 {~`{bnx^]7  
参考文献 rN'8,CV  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 C9 j{:&  
第4章薄膜制备技术 g>QN9v})  
4.1真空淀积工艺 \Nj#1G  
4.2光学薄膜材料 qOflvf  
4.3薄膜厚度监控艺术 4+:'$Nw  
4.4膜层厚度的均匀性 @$1jp4c   
习题 ^t?vv;@}  
参考文献 mhI  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ]F3fO5Z  
5.1薄膜的形成过程 JC#5CCz  
5.2薄膜的微观结构 e_}tK1XY  
5.3薄膜的成分 HV{W7)  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 q<[o 4qY  
5.5薄膜微观结构和改善 R-tZC9 @  
习题 z.;!Pj  
参考文献 (5e4>p&+  
第三篇光学薄膜检测技术 %WPyc%I  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Z+_xX  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 xy4P_  
6.2薄膜反射率的测试 qWS"I+o,S  
6.3薄膜反射率的测量 W4(GI]`_+  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 a,
h]DkD  
6.5总结 y"k%Wa`*  
习题 HGF&'@dn  
参考文献 3|%0
58bF  
第7章薄膜的吸收和散射测量 I~4!8W-Y  
7.1激光量热计基本原理 +v/-qyA  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 pJIJ"o'>.9  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 LTuT"}dT[  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 m#<Jr:-  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 _k#GjAPM  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 N~P1^x~  
7.7总结 T.W^L'L`  
习题 M\RHFTB<C  
参考文献 `3*QKi$  
第8章薄膜光学常数的测量 Rh%@N.Z*  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ^fE8|/]nG9  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 :<HLw.4O  
8.3薄膜波导法 E=91k.  
8.4光学薄膜厚度的测试 :KqSMuKR  
8.5总结 ;U#=H9_  
习题 7g:Lj,Z4L  
参考文献 Y@7n>U  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 + Y!:@d  
9.1薄膜的力学特性检测技术 g
_rk_4]  
9.2薄膜器件的环境试验 G8'  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 /x<uv_"  
9.4总结
3p]\l ]=  
习题 *S?'[PS]1  
参考文献 \-sW>LIA  
附录 yCuLo`  
附录A复数与复数运算 G cB<i  
A.1复数的概念 KGc
!#C  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 !s:_>P`MQ  
A.3复数在物理中的运用 v+o6ZNX  
附录B矩陈及矩陈运算 4*inN~cU  
B.1矩陈的定义 C-g,uARX(r  
B.2矩陈运算 Yj'"Wg  
附录C光的电磁理论基础 0O>M/ *W  
C.1振动与波 ,3!TyQ\m'  
C.2电磁波 nw#AKtd@x  
C.3麦克斯韦方程 JeF$ W!!{  
C.4平面电磁波 =uEpeL~d;+  
C.5平面电磁波性质 ))<vCfuz2  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 %gWQ}QF  
附录D光的干涉 H[}lzL)  
D.1波的叠加原理 x U"g~hT  
D.2杨氏干涉 1 ^30]2'_  
D.3平板的表面干涉 %gj7KF  
D.4光的空间相干性和时间相干性 )&Z`SaoP|J  
附录E光的偏振 N1$PW~)Y  
E.1自然光和偏振光 Db !8N  
E.2偏振光与Jones矩陈 Ikw.L  
E.3偏振光的获得 <H{K&,Z(ZM  
E.4偏振光的检验 k~I]Y,  
…… 2R,8q0qR:  
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