现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 pd;-z  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 UbibGa= )  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 |)4$\<d  

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第一篇光学多层膜设计 Fp6Y Y  
第1章光学薄膜特性的理论计算 X@:fW @  
1.1单色平面电磁波 Vtg/,1KQ  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 cMWO_$  
1.3光学薄膜特性的理论计算 t(Zs*c(  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Uaj=}p\+.p  
习题 '*XNgvX  
第2章光学薄膜的设计理论 p<zXuocQ  
2.1矢量作图法 %1@<),  
2.2有效界面法 A]+h<Y~}  
2.3对称膜系的等效层 eE{L>u  
2.4导纳图解技术
`I>K?  
习题 B R:  
第3章光学薄膜系统的设计 -n *>zGc  
3.1减反射膜 D,n}Qf!GYk  
3.2分束镜 BXo|CITso  
3.3高反射膜 V0 F30rK  
3.4干涉截止滤光片 KYu(H[a  
3.5带通滤光片 tvOAN|+F  
3.6特殊膜系 w~U`+2a3  
习题 8T)zB6ng  
参考文献
k2uiu  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 9xQ8`7  
第4章薄膜制备技术 T{<@MK%],d  
4.1真空淀积工艺 &&}5>kg>d  
4.2光学薄膜材料 ]X~g@O{>_  
4.3薄膜厚度监控艺术 !ix<|F5  
4.4膜层厚度的均匀性 ^B5cNEO  
习题 uK:-g,;  
参考文献  ;Zq~w
 
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Hm VTfH'  
5.1薄膜的形成过程 &7w>K6p  
5.2薄膜的微观结构 ~Ex.
Yp8.  
5.3薄膜的成分 &fSc{/  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 VMIX$#  
5.5薄膜微观结构和改善 $XQxWH|  
习题 = (gmd>N  
参考文献 bjBeiKH  
第三篇光学薄膜检测技术 _`_IUuj$E  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Ke?gz:9j  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 p$nK@t}  
6.2薄膜反射率的测试 2-V)>98  
6.3薄膜反射率的测量 XLmMK{
gs  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 !049K!rP{  
6.5总结 eq~c  
习题 )6>|bmpU  
参考文献 9V;$v  
第7章薄膜的吸收和散射测量 NVJ&C]H6  
7.1激光量热计基本原理 +qUkMx  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 RF5q5<0  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 48CI8[T  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ZSRRlkU  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 %L j0  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 9*|3E"Vr  
7.7总结 !p,hy`  
习题 nF<y7XkO  
参考文献 %R|"Afa=  
第8章薄膜光学常数的测量 ^
+as\  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 %A62xnX  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 :@ E1Pun?  
8.3薄膜波导法 4`6c28K0?  
8.4光学薄膜厚度的测试 QM ZUt  
8.5总结 ;}WtJ&y=M  
习题 IE)"rTI)b  
参考文献 _@!QY   
第9章薄膜非光学特性的检测技术 z,bX.*.-  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ,
|.8nk"  
9.2薄膜器件的环境试验 KR=d"t Qw  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 [vWkAJ'K  
9.4总结 9$+^"ilk  
习题 Y=a v8Y|`  
参考文献 2{e dW+  
附录 u`Z0{d  
附录A复数与复数运算 {^cF(7p  
A.1复数的概念 q#99iiG1  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 -XVEV  
A.3复数在物理中的运用 wb6L?t  
附录B矩陈及矩陈运算 AU)1vx(\w  
B.1矩陈的定义 *:\:5*SY  
B.2矩陈运算 A<SOT>m]  
附录C光的电磁理论基础 fey*la Xq  
C.1振动与波 E-)VPZ1D  
C.2电磁波 d&|z=%9xl  
C.3麦克斯韦方程 dP$8JI{  
C.4平面电磁波 2.LJp}>  
C.5平面电磁波性质 ]<kupaRQ  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射  [eNkU">}  
附录D光的干涉 nn
@^K6  
D.1波的叠加原理 UzgA26;  
D.2杨氏干涉 NoCDY2 $  
D.3平板的表面干涉 ;&Bna#~B  
D.4光的空间相干性和时间相干性 1BQ0M{&  
附录E光的偏振 c62dorDqy  
E.1自然光和偏振光 A%Bgp?B  
E.2偏振光与Jones矩陈 A*8m8Sh$  
E.3偏振光的获得 e1 x^PT  
E.4偏振光的检验 4$ Dt8!p0  
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