现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 E|.D  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 2'r8#,)  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 tgYIM`f  
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第一篇光学多层膜设计 ;mb 6i_  
第1章光学薄膜特性的理论计算 f i!wrvO  
1.1单色平面电磁波 !J'xk  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 -}juj;IVv  
1.3光学薄膜特性的理论计算 {w^flizY  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 [P{Xg:0  
习题 uyG4zV\h*  
第2章光学薄膜的设计理论 es(vW
f'  
2.1矢量作图法 j{P,(-  
2.2有效界面法 %/MK$  
2.3对称膜系的等效层 i
x&hsNzD  
2.4导纳图解技术 MOmp{@  
习题 [*>@hx  
第3章光学薄膜系统的设计 pp[? k}@  
3.1减反射膜 I|O~F e.  
3.2分束镜 tY:-13
F  
3.3高反射膜 O!]wJ
  
3.4干涉截止滤光片 +V8yv-/{  
3.5带通滤光片 .+B)@?  
3.6特殊膜系 }RUC#aW1  
习题 qW<: `y  
参考文献 IW1]H~1w  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 +-~;?wA  
第4章薄膜制备技术 c/2OR#$t  
4.1真空淀积工艺 |ns^'q  
4.2光学薄膜材料 bt&vik _  
4.3薄膜厚度监控艺术 x{ZVq 4  
4.4膜层厚度的均匀性 sq)Nn&5A  
习题 <qRw! 'S^  
参考文献 ;.:UfW  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 TPEZ"%=Hg  
5.1薄膜的形成过程 !Xj m h$F  
5.2薄膜的微观结构 LL6f40hC  
5.3薄膜的成分 cW GU?cv}  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 a5)[?ol  
5.5薄膜微观结构和改善 yMSRUQ x  
习题 $uLzC
]  
参考文献 ci^-0l_O  
第三篇光学薄膜检测技术 oC[wYUDg  
第6章薄膜透射率和反射率测量 m#;:%.Rm  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 @e0Q+
t  
6.2薄膜反射率的测试 *,
n7&  
6.3薄膜反射率的测量 &gEu%s^wR  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 UU ,)z  
6.5总结 *<A;jP  
习题 "+Qh,fTt  
参考文献 Xs`:XATb/  
第7章薄膜的吸收和散射测量 f@/qW!o
 
7.1激光量热计基本原理 bL[PNUG  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 R
&alq  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 "4?hK  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 I] "$h]T  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 h.Dk>H_G  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 pM7BdMp   
7.7总结 J/=A f [  
习题 mpF_+Mn  
参考文献 *HXq`B  
第8章薄膜光学常数的测量 Q)}\
4&4  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 /1>  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 V[bc-m  
8.3薄膜波导法 q}1$OsM  
8.4光学薄膜厚度的测试 bT*4Qd4W  
8.5总结 x> q3w# B  
习题 p.\KmEx  
参考文献 N^ET qg  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 }mGD`5[`  
9.1薄膜的力学特性检测技术 jI
V? p  
9.2薄膜器件的环境试验 uE|[7,D7;u  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 y;>I'e  
9.4总结 SBoF(0<  
习题 }n7e_qy4  
参考文献 x
XYens}  
附录 dB,#`tc=,  
附录A复数与复数运算 eJA{]^Zf  
A.1复数的概念 Uy1xNb/d  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 %i "  
A.3复数在物理中的运用 C}kJGi  
附录B矩陈及矩陈运算 ,qHG1#^  
B.1矩陈的定义 9}mp,egV  
B.2矩陈运算 .
#eXNyCe  
附录C光的电磁理论基础 =iQm_g  
C.1振动与波 \O?B9_  
C.2电磁波 Iq=B]oE  
C.3麦克斯韦方程 &;skB.  
C.4平面电磁波 Y_B 4s-  
C.5平面电磁波性质 Q(IS=

 
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 (KMobIP^  
附录D光的干涉 Om"3Q/&  
D.1波的叠加原理 9C 05  
D.2杨氏干涉 =arsoCa  
D.3平板的表面干涉 Cr%r<*s  
D.4光的空间相干性和时间相干性 U:|v(U$"?  
附录E光的偏振 vTEkh0Ys  
E.1自然光和偏振光 *Kkw,qp/  
E.2偏振光与Jones矩陈 6V?RES;X  
E.3偏振光的获得 O*v+<|0!l  
E.4偏振光的检验 -YyH"f  
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