现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 mK[Z#obc=  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 yGdX>h  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 N-\N\uN
 

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第一篇光学多层膜设计 G}fBd  
第1章光学薄膜特性的理论计算 <w{?b'/q  
1.1单色平面电磁波 _^r};}-}  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 kh5a>OX  
1.3光学薄膜特性的理论计算 }IyF|[  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ->8Kd1^F  
习题 l1)~WqhE}  
第2章光学薄膜的设计理论 u^~7[OkE  
2.1矢量作图法 L~Gr,i  
2.2有效界面法 .eR1\IAm  
2.3对称膜系的等效层 > S>*JP  
2.4导纳图解技术 zj1~[$  (  
习题 zuV%`n  
第3章光学薄膜系统的设计  :\\NK/"  
3.1减反射膜 0O9b 7F  
3.2分束镜 Vxh39eW  
3.3高反射膜 s-$Wc)l  
3.4干涉截止滤光片 i6WH^IQM  
3.5带通滤光片 Y%XF64)6  
3.6特殊膜系 bj pruJ`=  
习题 tk&AZb,sP  
参考文献 ; oyV8P$  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 2R[v*i^S  
第4章薄膜制备技术 >}+{;d  
4.1真空淀积工艺 jE\G_>  
4.2光学薄膜材料 gV2vwe  
4.3薄膜厚度监控艺术  ]n!V  
4.4膜层厚度的均匀性 HwUaaK   
习题 3iCe5VF  
参考文献 D&G6^ME  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Vu:ZG*^  
5.1薄膜的形成过程 CS7b3p!I  
5.2薄膜的微观结构 *;fTiL  
5.3薄膜的成分 sbW+vc  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 r#sg5aS7O|  
5.5薄膜微观结构和改善 ^kKLi  
习题 ;@wa\H[3v2  
参考文献 WH:dcU
 
第三篇光学薄膜检测技术 0D(8-H  
第6章薄膜透射率和反射率测量 )|~&(+Q?]  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 GV0\+A"vD  
6.2薄膜反射率的测试 \@gV$+{9  
6.3薄膜反射率的测量 e~]P _53
  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 f%]@e9dD  
6.5总结 ZISIW!  
习题 \ND]x]5d  
参考文献 &}"kF\  
第7章薄膜的吸收和散射测量 h`&TDB2  
7.1激光量热计基本原理 N]P~`)
 
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ?"yjgt7+y  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 C'JI%HnQ  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 Tn7Mt7h  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 suN6(p(.  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 \.i7(J]  
7.7总结 b~gq8,Fatb  
习题 uw+nll*W%  
参考文献 :'[?/<iTg  
第8章薄膜光学常数的测量 .I`>F/Sjr  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 7X$CJ%6b  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 3H#,qug$  
8.3薄膜波导法 >ywl()4O  
8.4光学薄膜厚度的测试 56pj(}eq  
8.5总结 Y=XDN:  
习题 3r~8:F"g  
参考文献 8-;.Ejz!\A  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 x6/u+Urn  
9.1薄膜的力学特性检测技术 $bE"3/uf  
9.2薄膜器件的环境试验 .x=abA$!9  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 VzT*^PFBg  
9.4总结 zA#pgX[#  
习题 *
).  
参考文献 u>'0Xo9R  
附录 ToHx!,tDS  
附录A复数与复数运算 oz
Oc6  
A.1复数的概念 W? G4>zA  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 WL+EpNKSf  
A.3复数在物理中的运用 dpW`e>o  
附录B矩陈及矩陈运算 ^tTM 7  
B.1矩陈的定义 _{o 3y"DZ  
B.2矩陈运算 (Aw@}!  
附录C光的电磁理论基础 0*MUe1{  
C.1振动与波 z(A60b}  
C.2电磁波 3Dr\ O_`u  
C.3麦克斯韦方程 #'/rFT4{v  
C.4平面电磁波 zw3I(_d[  
C.5平面电磁波性质 %p
\~  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ub?dfS9$_  
附录D光的干涉 Bl>m`/\1i  
D.1波的叠加原理 \(??Ytc<B  
D.2杨氏干涉 YMo8C(  
D.3平板的表面干涉 %R5-6  
D.4光的空间相干性和时间相干性 T$kuv`?  
附录E光的偏振 TFHYB9vV  
E.1自然光和偏振光 U%Fa.bL~  
E.2偏振光与Jones矩陈 x}ZXeqt{{  
E.3偏振光的获得 r;@
0F  
E.4偏振光的检验 3uw3[ SR1  
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