现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 u^qT2Ss0  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 xjj6WED  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 xx%j.zDI]  
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第一篇光学多层膜设计 @'!SN\?W8  
第1章光学薄膜特性的理论计算 T <ET )
D7  
1.1单色平面电磁波 Hn+~5@.  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 W+ko
q*P  
1.3光学薄膜特性的理论计算 oHn Ky[1  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 pohp&Tcm  
习题 XLOh7(  
第2章光学薄膜的设计理论 6.nCV0xA  
2.1矢量作图法 o]M5b;1  
2.2有效界面法 Ks`J([(W&  
2.3对称膜系的等效层 [;),\\u,d  
2.4导纳图解技术 f5VLw`m}.8  
习题 U6fgo3RH  
第3章光学薄膜系统的设计 GH:jH]u!V  
3.1减反射膜 %.-4!vj  
3.2分束镜 iN8zo:&Z  
3.3高反射膜 *VhL\IjN]  
3.4干涉截止滤光片 qm8B8&-  
3.5带通滤光片 U7}yi$WT  
3.6特殊膜系 /zVOK4BqN+  
习题 hAnPXiD  
参考文献 G.abql  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 l$pm_%@2]  
第4章薄膜制备技术 mQ26K~  
4.1真空淀积工艺 1+{{EOZ4  
4.2光学薄膜材料 Y;^l%ePuW  
4.3薄膜厚度监控艺术 |AU~_{H  
4.4膜层厚度的均匀性 k],Q9  
习题 HjD8u`qQ  
参考文献 _ y8Wn}19f  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ,,Q O^j]4~  
5.1薄膜的形成过程 BdblLUGK#  
5.2薄膜的微观结构 .p]RKS=(:  
5.3薄膜的成分 9oR@U
W1  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 T9_RBy;%  
5.5薄膜微观结构和改善 YdC6k?tzS  
习题 3z9d!I^>k  
参考文献 n QZwC  
第三篇光学薄膜检测技术 >kDQkhZ  
第6章薄膜透射率和反射率测量 VfC<WVYiZ  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 e95Lo+:f  
6.2薄膜反射率的测试 (
WO]Xq<  
6.3薄膜反射率的测量 j8{i#;s!"  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 as4;:  
6.5总结 suiS&$-E  
习题 .A{tQ1&_  
参考文献 Ed,~1GanY  
第7章薄膜的吸收和散射测量 pVw}g@<M  
7.1激光量热计基本原理 ju8q?Nyhs  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 >xYpNtEs  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 6/Xk
7B  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 %wvdn  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 J0\Fhe0'  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 z] PS
pUd  
7.7总结 |[ k.ii6iO  
习题 `nv~NLkl  
参考文献 (X1e5j>Ru  
第8章薄膜光学常数的测量 0gy/:T  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 m^f0V2M_  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 xH(lm2kvT  
8.3薄膜波导法 #TX/aKr:  
8.4光学薄膜厚度的测试 Cc' 37~6~P  
8.5总结 fg!__Rdi  
习题 ith 3=`3  
参考文献 ~tUl}  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ," Wr"  
9.1薄膜的力学特性检测技术 iWB=sL&p  
9.2薄膜器件的环境试验 ZQoU3AD;  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 k,E{C{^M  
9.4总结 &(G\[RWp\  
习题 !&ayYu##{  
参考文献 _A5e{Gb  
附录 ?{|q5n  
附录A复数与复数运算 LX
7FaW  
A.1复数的概念 zRl3KjET  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ~'iHo]9O  
A.3复数在物理中的运用 ~u!|qM  
附录B矩陈及矩陈运算 N^ds RYC  
B.1矩陈的定义 W*4-.*U8a  
B.2矩陈运算 V2?=4mb  
附录C光的电磁理论基础 YEs&  
C.1振动与波 g\(G\ tnu>  
C.2电磁波 uK#4(eY=W  
C.3麦克斯韦方程 X_ cV%#  
C.4平面电磁波 EXw
o,?I  
C.5平面电磁波性质 a 3b/e8c  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 nntuLuW  
附录D光的干涉 2LL'J7  
D.1波的叠加原理  |`f$tj  
D.2杨氏干涉 6C^ D#.S  
D.3平板的表面干涉 ,p@y] cr  
D.4光的空间相干性和时间相干性 #*uL)2nR  
附录E光的偏振 .hP D$o  
E.1自然光和偏振光 \H~T>j{N  
E.2偏振光与Jones矩陈 *_{j=sd  
E.3偏振光的获得 ;%5N%
0,  
E.4偏振光的检验 P[#e/qnXu|  
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