现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 !i4/#H  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 2g0_[$[m  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 g/3t@7*<  
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第一篇光学多层膜设计 *3R3C+ L  
第1章光学薄膜特性的理论计算 n^[VN[VC  
1.1单色平面电磁波 1@}s:  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 -d+o\qp"#  
1.3光学薄膜特性的理论计算 "A9qC*6[  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 zEBUR%9  
习题 DH IC:6EY  
第2章光学薄膜的设计理论 2=]Xe#5J=  
2.1矢量作图法 wf`e3S  
2.2有效界面法 %+8"-u  
2.3对称膜系的等效层 P >>VBh?  
2.4导纳图解技术 ;N(9nX}%)  
习题 %3kS;AaA  
第3章光学薄膜系统的设计 V'M#."Of/  
3.1减反射膜 bI?uV;m>  
3.2分束镜 <>71;%e;'  
3.3高反射膜 G4<M@ET  
3.4干涉截止滤光片 +"?O2PX  
3.5带通滤光片 +{b3A@f|F  
3.6特殊膜系 DnP "7}v  
习题 ^l8&y;-T  
参考文献 dTTC6?yPXf  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 v$d^>+Y#  
第4章薄膜制备技术 0wE)1w<C~  
4.1真空淀积工艺 1}/37\  
4.2光学薄膜材料 p|0ZP6!|  
4.3薄膜厚度监控艺术 8M6wc394  
4.4膜层厚度的均匀性 Sv>bU4LHf  
习题 )RCva3Ul  
参考文献 N~! GAaD  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 XF Cwa  
5.1薄膜的形成过程 {b,#l]v  
5.2薄膜的微观结构 #+ai G52+
 
5.3薄膜的成分 >c30kpGg  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Cj5=UUnO  
5.5薄膜微观结构和改善 GOU>j"5}2  
习题 [
}Z!hq  
参考文献 @Wl2E.)K;  
第三篇光学薄膜检测技术 {8e4TD9E0  
第6章薄膜透射率和反射率测量 V2oXg  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 H[J5A2b  
6.2薄膜反射率的测试 tO~o-R  
6.3薄膜反射率的测量
AAc*\K  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 [,T
K"  
6.5总结 'z$!9ufY,  
习题 LUKt!I0l  
参考文献 ?Zh,W(7W  
第7章薄膜的吸收和散射测量 @g%^H)T  
7.1激光量热计基本原理 ZxoAf;U~  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 [J\! 2\Oo  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 4NDT5sL  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 p/ au.m
c  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 QdK PzjA  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 8;<3Tyjzu  
7.7总结 j|w_BO 9  
习题 <!a%GI  
参考文献 \H{UJ  
第8章薄膜光学常数的测量 (X/dP ~  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 P;V5f8r?  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 8dlhL8#  
8.3薄膜波导法 r 3FUddF'  
8.4光学薄膜厚度的测试 uGY(`  
8.5总结 \rSofn#c  
习题 \}:;kO4f  
参考文献 'q7&MM'oS^  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 tk66Ggi[K  
9.1薄膜的力学特性检测技术 Q=?YY-*$  
9.2薄膜器件的环境试验 <o: O<p@6  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 /c!@ H(^)  
9.4总结 JLh{>_Rr  
习题 2'-o'z<  
参考文献 Jl
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附录 cIQe^C  
附录A复数与复数运算 I!u fw\[  
A.1复数的概念 q{2 +Inf#:  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 LPS]TG\  
A.3复数在物理中的运用 O)D+u@RhH  
附录B矩陈及矩陈运算 cL^r^kL("  
B.1矩陈的定义 D[Kq`  
B.2矩陈运算 H|s,;1#  
附录C光的电磁理论基础 !~-@p?kW/  
C.1振动与波 !CUX13/0  
C.2电磁波 ( P\oLr9  
C.3麦克斯韦方程 gT#hF]c:  
C.4平面电磁波 1JY3c M  
C.5平面电磁波性质 '"]QAj?N  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 |*JMCI@Mz  
附录D光的干涉 {(_>A\zi  
D.1波的叠加原理 dw3H9(-lp  
D.2杨氏干涉 !BEl6h  
D.3平板的表面干涉 C7_nA:Rc  
D.4光的空间相干性和时间相干性 @!,W]?{  
附录E光的偏振 T3In0LQ  
E.1自然光和偏振光 Y~P* !g  
E.2偏振光与Jones矩陈 XG8UdR|  
E.3偏振光的获得 @ Br?  
E.4偏振光的检验 cjc1iciZ  
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