现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ;tKL/eI  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 8uCd|dJ  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 vTB*J,6.  
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第一篇光学多层膜设计 OU{PVF={   
第1章光学薄膜特性的理论计算 SX FF  
1.1单色平面电磁波 >EMCG.**  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 =`/X Wem  
1.3光学薄膜特性的理论计算 I5 2wTl0  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 )6AOP-M.9  
习题 _$Fi]l!f  
第2章光学薄膜的设计理论 VUx~Y'b  
2.1矢量作图法 SQt$-<>4\  
2.2有效界面法 r2xlcSn%  
2.3对称膜系的等效层 Y ,}p  
2.4导纳图解技术 fc!%W#-  
习题 hSg:Rqnk  
第3章光学薄膜系统的设计 |-e=P9,  
3.1减反射膜 +rql7D0st  
3.2分束镜 E!Ng=}G&_  
3.3高反射膜 [KjQW/sb'  
3.4干涉截止滤光片 uAJ_`o[  
3.5带通滤光片 }f
({03$  
3.6特殊膜系 f[ER`!  
习题 $~`(!pa:  
参考文献 m7!l3W2  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 s"Kp+tTWj  
第4章薄膜制备技术 xK_$^c.  
4.1真空淀积工艺 j5ui  
4.2光学薄膜材料 )}6:Ke)  
4.3薄膜厚度监控艺术 w=f8UtY9@A  
4.4膜层厚度的均匀性 x3WY26e  
习题 cb UVeh7Q  
参考文献 MD1,KH+O  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 {'X"9@  
5.1薄膜的形成过程 HX <;=m  
5.2薄膜的微观结构
16aaIK  
5.3薄膜的成分 *}2o \h6Q  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 /\\C&Px  
5.5薄膜微观结构和改善 X5<L  
习题 Ads^y`b  
参考文献 54 8@._-S  
第三篇光学薄膜检测技术 vJcvyz#%1  
第6章薄膜透射率和反射率测量 9r)5d&,6  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 &GbCJ  
6.2薄膜反射率的测试 -,+JE0[  
6.3薄膜反射率的测量 oYqC"g&4Z  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 'dht5iI;Yw  
6.5总结 )<Yy.Z_:DC  
习题 KztF#[64W^  
参考文献 (8>k_  
第7章薄膜的吸收和散射测量 V5A7
w V3~  
7.1激光量热计基本原理 9GQTe1[t4  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ^^?ECnpcU  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 wYF)G;[wM  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 E3KPjK  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 E]7G4  
7.6薄膜导波传播衰减系数法  $hN!DHz  
7.7总结 _e-a>y  
习题 W>,b1_k c  
参考文献 4 A  
第8章薄膜光学常数的测量 *'`-plS7  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ,$G89jSM  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 O0Z'vbFG  
8.3薄膜波导法 'i@Y #F%D  
8.4光学薄膜厚度的测试 g1}RA@9  
8.5总结 * dNMnZ@Y  
习题 Sa@Xh,y Z  
参考文献 {fS/ZG"5<t  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 >&$V"*]  
9.1薄膜的力学特性检测技术 >4ALF[oH1J  
9.2薄膜器件的环境试验 Z2LG/R  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 R2;-WxnN]  
9.4总结 > h:~*g  
习题 8>epKFEg  
参考文献 D)!k  
附录 '~a!~F~>  
附录A复数与复数运算 xAoozDj  
A.1复数的概念 ]#J]f  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 *.K}`89T  
A.3复数在物理中的运用 c(eu[vj:  
附录B矩陈及矩陈运算 5\a5^FK~  
B.1矩陈的定义 2[:`w),.  
B.2矩陈运算 <vj&e(D^  
附录C光的电磁理论基础 LAvAjvRc  
C.1振动与波 PSy=O\  
C.2电磁波 [PU.lRq  
C.3麦克斯韦方程 3*'!,gK~[  
C.4平面电磁波 I)sCWC:Mq~  
C.5平面电磁波性质 Oi{jzP  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 9> (8r+  
附录D光的干涉 EGa}ml/G  
D.1波的叠加原理 \C>I6{  
D.2杨氏干涉 t[DXG2&  
D.3平板的表面干涉 H-S28%.  
D.4光的空间相干性和时间相干性 K1$Z=]a+  
附录E光的偏振 a1j6-p  
E.1自然光和偏振光 &-{4JSII  
E.2偏振光与Jones矩陈 +^%F8GB  
E.3偏振光的获得 {X<tUco  
E.4偏振光的检验 AFY;;_Xks  
…… MqNp*n2  
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