现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 3EJj9}#x"'  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 [<n2Uz7MP  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 -ws? "_w  
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第一篇光学多层膜设计 .~~nUu+M  
第1章光学薄膜特性的理论计算 4ezEW|S  
1.1单色平面电磁波 6 Q%jA7  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 g;pcZ9o
 
1.3光学薄膜特性的理论计算 bo2H]PL*  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 e>6y%v;  
习题 ns9U/:L  
第2章光学薄膜的设计理论 |XQIfW]A  
2.1矢量作图法 L-ET<'u  
2.2有效界面法 SF7\<
'4\N  
2.3对称膜系的等效层 .B7,j%1r  
2.4导纳图解技术 :flx6,7D  
习题 0(eBZdRO  
第3章光学薄膜系统的设计 s^Y"'`+  
3.1减反射膜 :ci5r;^  
3.2分束镜 NCiW^#b  
3.3高反射膜 PQy4{0 _  
3.4干涉截止滤光片 '*K:  lx  
3.5带通滤光片 GzhYY"iif#  
3.6特殊膜系 uZNTHD
 
习题 e%svrJ2   
参考文献 3x`|  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 SWH2  
第4章薄膜制备技术 L{X_^  
4.1真空淀积工艺 ]] !VK  
4.2光学薄膜材料 ,|3MG",@@h  
4.3薄膜厚度监控艺术 F^WP<0C  
4.4膜层厚度的均匀性 &-;4.op  
习题 PRx8I .  
参考文献 +9M^7/}H  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 K*%9)hq  
5.1薄膜的形成过程 t_
o['F  
5.2薄膜的微观结构 sZjQ3*<-r  
5.3薄膜的成分 +[M6X} TQ  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 o*-)Tq8GHE  
5.5薄膜微观结构和改善 QX!-B  
习题 DVG(Vw  
参考文献 qyZ" %Kz  
第三篇光学薄膜检测技术 ( Z619w  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ZT'`hK_up  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 qU+t/C.  
6.2薄膜反射率的测试 )Q=_0;#;k  
6.3薄膜反射率的测量 6"wlg!k8  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 bLB:MW\%  
6.5总结 D[4u+g?[}>  
习题 q8FTi^=Kb  
参考文献 ! +a.Ei  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ]s]vZ  
7.1激光量热计基本原理 ?Y
$JWEPJ  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 Xe
W<B0~  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 xqeyD*s  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ^UciW  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 IshKH-  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ,
$@bE  
7.7总结 E-4b[xNj*+  
习题 "7 4-4  
参考文献 A0/"&Ag]  
第8章薄膜光学常数的测量 h`]I
y  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 >W%Em
nLK  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 !`k1:@NZ  
8.3薄膜波导法 oL!EYbFD'Z  
8.4光学薄膜厚度的测试 .~)q};Z  
8.5总结 ],>@";9u"  
习题 4qO+_!x{)  
参考文献 "~#3&3HVS  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 Tre]"2l  
9.1薄膜的力学特性检测技术 EOIN^4V"  
9.2薄膜器件的环境试验 :WjpzgPuN  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 \MsTB|Z  
9.4总结 +Jlay1U&  
习题 yg`j-9[8  
参考文献 /@wg>&L]  
附录 Z)e/!~""]  
附录A复数与复数运算 Qk0R a_  
A.1复数的概念 c#XXp"7k2  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Hn7_FOC  
A.3复数在物理中的运用 ?L5zC+c!  
附录B矩陈及矩陈运算 18)'c?^.  
B.1矩陈的定义 #9B)Xx!g  
B.2矩陈运算 &VhroHO  
附录C光的电磁理论基础 rDD:7*z  
C.1振动与波 [/,)  
C.2电磁波 |Z|-q"Rf  
C.3麦克斯韦方程 niiA7Ux  
C.4平面电磁波 sz5MH!/PJ  
C.5平面电磁波性质 %"kPvI3Y  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 P#E&|n7DT  
附录D光的干涉 +cD<:"L'
g  
D.1波的叠加原理 \6S7T$$ 1m  
D.2杨氏干涉 O6Vtu Ws%  
D.3平板的表面干涉 b1?#81  
D.4光的空间相干性和时间相干性 QEm|])V  
附录E光的偏振 N@;?CKU  
E.1自然光和偏振光 \n"{qfn`r  
E.2偏振光与Jones矩陈 y>R=`A1b  
E.3偏振光的获得 Ot$-!Y;<  
E.4偏振光的检验 pe0F0Ruy
 
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