现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 pS%Az)3RZ  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 j#*K[  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 3oSQe"  
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第一篇光学多层膜设计 T1x$v,)8x  
第1章光学薄膜特性的理论计算 %PG0PH4?  
1.1单色平面电磁波 mb&b=&  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 Dk4Wj"LS  
1.3光学薄膜特性的理论计算 |6&"r
&  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 tuv4~i<  
习题 {ng  
第2章光学薄膜的设计理论 Y`M.hYBXk  
2.1矢量作图法 #>233<  
2.2有效界面法 l/TH"z(  
2.3对称膜系的等效层 HloP NE&}  
2.4导纳图解技术 cJqPcCq(wn  
习题 bDr'W  
第3章光学薄膜系统的设计 %o?fE4o'  
3.1减反射膜 -<|Ebh d3  
3.2分束镜 I($u L@$  
3.3高反射膜
ue`F|  
3.4干涉截止滤光片 ;BI{v^()s  
3.5带通滤光片 uZqo"  
3.6特殊膜系 Jus)cO#I  
习题 {L8SDU{P  
参考文献 ]AN)
M>  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 :!3P4?a  
第4章薄膜制备技术 vbSz&+52;  
4.1真空淀积工艺 6!bf,T
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4.2光学薄膜材料 o2jnmv~  
4.3薄膜厚度监控艺术 Y&#<{j':  
4.4膜层厚度的均匀性 ;B7>/q;g  
习题 c*3ilMP\4  
参考文献 }$b/g  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 h IGa);g  
5.1薄膜的形成过程  6E  
5.2薄膜的微观结构 h<6r+*T' p  
5.3薄膜的成分 !1!uB }  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 MxCs0::
w  
5.5薄膜微观结构和改善 %D&FnTa  
习题 :}E*u^v K  
参考文献 :\.v\.wm  
第三篇光学薄膜检测技术 oXGf#>keg  
第6章薄膜透射率和反射率测量 6z/8nf +u  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Wve ^2lkoK  
6.2薄膜反射率的测试 #M_QSD}&  
6.3薄膜反射率的测量 oiklRf  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 UH[ YH;3O  
6.5总结 6H3_qx  
习题 6jKM,%l  
参考文献 `RjcJ?r  
第7章薄膜的吸收和散射测量 d{YhKf#~  
7.1激光量热计基本原理 >f_D|;EV  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 {(t (}-:Z  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 EK#w: "  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 xE
+Go  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ysL8w"t  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 l ='lV]  
7.7总结 .%*.nq  
习题 | WDX@Q  
参考文献 RzyEA3L'  
第8章薄膜光学常数的测量 EkJo.'0@  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 P~?u2,.E[  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 u_mm*o~)g  
8.3薄膜波导法 ?p$WqVN}  
8.4光学薄膜厚度的测试 
_msDf2e9  
8.5总结 +[z(N  
习题 E{j6OX\  
参考文献 ]bRu8
kn  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 gg6&Fzp  
9.1薄膜的力学特性检测技术 U~7.aZHPx3  
9.2薄膜器件的环境试验 gAR];(*  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 FxD
"z3D  
9.4总结 Th"7p:SE?  
习题 qHvW{0E  
参考文献 L!{^^7  
附录 5ptbz<Xv  
附录A复数与复数运算 uV;Z  
A.1复数的概念 !rrjA$P<v  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 |QHWX^pO  
A.3复数在物理中的运用 +LrW#K;  
附录B矩陈及矩陈运算 t7lRMCN  
B.1矩陈的定义 2b!b-  
B.2矩陈运算 @89mj{  
附录C光的电磁理论基础 )m6=_q5@o  
C.1振动与波 Rov0  
C.2电磁波 QAX+oy  
C.3麦克斯韦方程 #+r-$N.7  
C.4平面电磁波 {9P<G]Z  
C.5平面电磁波性质 #
&DJ3(T  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 NbgP,-  
附录D光的干涉 fDqlN`P@  
D.1波的叠加原理 !M}&dW2  
D.2杨氏干涉 bEPXNN  
D.3平板的表面干涉 +y-:(aP  
D.4光的空间相干性和时间相干性 @Wdnc/o]  
附录E光的偏振 Av/|={i  
E.1自然光和偏振光 I|BLAm6j  
E.2偏振光与Jones矩陈 cbS8~Xmj  
E.3偏振光的获得  E?%k  
E.4偏振光的检验 ;m;wSp  
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