现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 hpgOsF9Lh  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 }2Tq[rl~s  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 /b\c<'3NY  

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第一篇光学多层膜设计 w{t]^w:  
第1章光学薄膜特性的理论计算 E*h!{)z@F  
1.1单色平面电磁波 \t5_V)P  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 w3z'ZCcr;"  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ,Js-'vX  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 M4D  @G  
习题 '4_c;](W  
第2章光学薄膜的设计理论 F-$!e?,H  
2.1矢量作图法 \KzH5?  
2.2有效界面法 cK >^8
T^  
2.3对称膜系的等效层 &>B"/z  
2.4导纳图解技术 r6kJV4I=re  
习题 ,`02fMOLc  
第3章光学薄膜系统的设计 d14n
>  
3.1减反射膜 ALV(fv$cD  
3.2分束镜 3H0B+F2XQ  
3.3高反射膜 no W]E}nN  
3.4干涉截止滤光片 T:@7EL  
3.5带通滤光片 QM* T?PR  
3.6特殊膜系 hNhEA $X5  
习题 ,<Z,-0S  
参考文献 M9""(`U  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 )P>/g*  
第4章薄膜制备技术 \A,zwdt P  
4.1真空淀积工艺 /&<V5?1|  
4.2光学薄膜材料 rlGv6)vb  
4.3薄膜厚度监控艺术 o.kDOqd  
4.4膜层厚度的均匀性 ]<C]`W2{  
习题 !n`|k  
参考文献 %B( rW?p&  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ,wM4X']HR  
5.1薄膜的形成过程 E3l*_b0  
5.2薄膜的微观结构 IRwtM'%0  
5.3薄膜的成分 =JW-EQ6[T  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ;-XfbqZ\  
5.5薄膜微观结构和改善 \PU
JD,9H  
习题 CGzu(@dd\  
参考文献 K,
I  
第三篇光学薄膜检测技术 mLpM8~L  
第6章薄膜透射率和反射率测量 KN[;z2i  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 R^$|D)(  
6.2薄膜反射率的测试 {?5iK1|}K  
6.3薄膜反射率的测量 *m^\&  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 huS*1xl  
6.5总结 jS~
Pdz  
习题 PkI+z_  
参考文献 ];4!0\M
 
第7章薄膜的吸收和散射测量 FOk;=+  
7.1激光量热计基本原理 x(vQ%JC  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 :>2wVN&\c  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量
*<!q@r<d  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 BkGExz  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 pm,xGo2  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 #MlpOk*G  
7.7总结 P3
: t 4^  
习题 y:}qoT_.  
参考文献  L"%SU  
第8章薄膜光学常数的测量 [)1vKaC  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 3_Xu3hNH!  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 O"+0 b|  
8.3薄膜波导法 $q)YC.5$  
8.4光学薄膜厚度的测试 UJSIbb5  
8.5总结 -]HZ?@  
习题 (=Cb)/s0  
参考文献 M|K^u.4
 
第9章薄膜非光学特性的检测技术 SXZ9+<\  
9.1薄膜的力学特性检测技术 w+R7NFq  
9.2薄膜器件的环境试验 ~(ke'`gJ0-  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 xNf}f 9l  
9.4总结 a @2fJ}  
习题 fDf[:A,8  
参考文献 gK`w|kh`  
附录 qrYbc~jI7  
附录A复数与复数运算 dY S(}U  
A.1复数的概念 e))L&s  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 9+^)?JUYll  
A.3复数在物理中的运用 .{h"0<x  
附录B矩陈及矩陈运算 <[cpaZT,  
B.1矩陈的定义 GQn:lu3j:  
B.2矩陈运算 PY.K_(D  
附录C光的电磁理论基础 dHXe2rTE;&  
C.1振动与波 >ep<W<b  
C.2电磁波 Mh
D'  
C.3麦克斯韦方程 [3G{NC|'  
C.4平面电磁波 () _RLA  
C.5平面电磁波性质 &Mk!qE<:N  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 %7 bd}sJ#  
附录D光的干涉 3- Kgz  
D.1波的叠加原理 );7 d_#  
D.2杨氏干涉 j#n ]q{s4  
D.3平板的表面干涉 bTc>-e,  
D.4光的空间相干性和时间相干性 B2ln8NF#Q  
附录E光的偏振 A_zCSRF,  
E.1自然光和偏振光 C~q
Z&  
E.2偏振光与Jones矩陈 q`'f /CS  
E.3偏振光的获得 /'rj L<M  
E.4偏振光的检验 %Hbq3U30  
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