现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 5;_&C=[  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 8lfKlXR78  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 L+J)  
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第一篇光学多层膜设计 a0=>@?  
第1章光学薄膜特性的理论计算 &&K"3"um  
1.1单色平面电磁波 #8;#)q_[u  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 +L\bg|;  
1.3光学薄膜特性的理论计算 0o&B 7N  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 cLyed3uU  
习题 A&/VO$Y9wp  
第2章光学薄膜的设计理论 bc(b1u?  
2.1矢量作图法 NQqq\h  
2.2有效界面法 tX7TP(  
2.3对称膜系的等效层 'e5,%"5(c  
2.4导纳图解技术 v7@O ,%  
习题 Sxg&73;ZV  
第3章光学薄膜系统的设计 %y_AT2A  
3.1减反射膜 +3%i7  
3.2分束镜 $ Ov#^wfA  
3.3高反射膜 ->Bx>Y  
3.4干涉截止滤光片 ruK,Z,3Q  
3.5带通滤光片 VaLl$w  
3.6特殊膜系
3E]IEf  
习题 RuuXDuu:VL  
参考文献 k*Vf2O
3${  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 {u_2L_  
第4章薄膜制备技术 |?Bb{Es  
4.1真空淀积工艺 vg ^&j0  
4.2光学薄膜材料 W9%B9~\G;+  
4.3薄膜厚度监控艺术 9d1 Gu"  
4.4膜层厚度的均匀性 o dTg.m  
习题  &j_:VP  
参考文献 |cd=7[B  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 /!HFi>  
5.1薄膜的形成过程 T^XU5qgN  
5.2薄膜的微观结构 kFo&!  
5.3薄膜的成分 ?=a,  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 PP_fTacX  
5.5薄膜微观结构和改善 -|x YT+?%  
习题 F\(7B#  
参考文献 KuohUH+  
第三篇光学薄膜检测技术 **L3T3$)  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ?7CHHk  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 yNkE>  
6.2薄膜反射率的测试 k<cv80lhK  
6.3薄膜反射率的测量 /aHx'TG  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 hDc)\vzr  
6.5总结 jFThW N  
习题 ^tY$pPA  
参考文献 PZsq9;P$  
第7章薄膜的吸收和散射测量 g7),si*  
7.1激光量热计基本原理 \QKr2|  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 qc6eqE  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 h`HdM58CQ  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 .7Lv  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 vspub^;5\  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 SP |R4*KY  
7.7总结 @mu2,%  
习题 P2^((c  
参考文献 baL-~`(T  
第8章薄膜光学常数的测量 =gb(<`{>  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 4hh=z>$|l)  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 OP}8u"\Z  
8.3薄膜波导法 BL Q&VI4  
8.4光学薄膜厚度的测试 BpQ/$?5E"  
8.5总结 )ls<"WTC.  
习题 z`Cq,Sz/  
参考文献 Ul?92  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 q|fZdTw  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ]\_T  
9.2薄膜器件的环境试验 `*hrU{b  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 m&X6a C'[  
9.4总结 ' y9yx[P  
习题 <DjFMTCN  
参考文献 HD95>%  
附录 :$"L;"  
附录A复数与复数运算 o>'1ct  
A.1复数的概念 z nc'  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 0{GpO6!  
A.3复数在物理中的运用 "x)xjL  
附录B矩陈及矩陈运算 1TvR-.e  
B.1矩陈的定义 SdTJ?P+m  
B.2矩陈运算 /\_wDi+#  
附录C光的电磁理论基础 Cp@' k;(  
C.1振动与波 AqzPwO^  
C.2电磁波 xXktMlI  
C.3麦克斯韦方程 bqt*d)$  
C.4平面电磁波 VYZkHjj)2i  
C.5平面电磁波性质 1L=6Z2*fB4  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 02~+$R]L  
附录D光的干涉 :uD*Q/  
D.1波的叠加原理 0`
{6~p  
D.2杨氏干涉 ?5<Q+G0r  
D.3平板的表面干涉 NZyGC Vh@  
D.4光的空间相干性和时间相干性 oVLgHB\zL  
附录E光的偏振 E\(dyq/  
E.1自然光和偏振光 ]OZk+DU:  
E.2偏振光与Jones矩陈 H-sJt:  
E.3偏振光的获得 E.kjYIH8  
E.4偏振光的检验 2h6<'2'o1  
…… RG)!v6
  
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