现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 hE!3kaS  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 H(]lqvO  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 f9D7T|J?10  

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第一篇光学多层膜设计 D}!U?]la&  
第1章光学薄膜特性的理论计算 v{=-#9-4 &  
1.1单色平面电磁波 )sB`!:~HjP  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 *D;B%j^;  
1.3光学薄膜特性的理论计算 jRB:o?S  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 1y_{#,{>  
习题 vD1jxk'fd  
第2章光学薄膜的设计理论 7"*- >mg  
2.1矢量作图法 s&y  
2.2有效界面法 X/i8$yqv  
2.3对称膜系的等效层 fg
l"ox  
2.4导纳图解技术 <2H0m  
习题 ]pb;q(?^  
第3章光学薄膜系统的设计 s/sH",  
3.1减反射膜 wqE ]o= k  
3.2分束镜 )CdglPK  
3.3高反射膜 f 21w`Uk48  
3.4干涉截止滤光片 6tG9PG98q9  
3.5带通滤光片 .#j)YG  
3.6特殊膜系 Y60ld7H  
习题 j*QY_Ny*  
参考文献 lrq !}\aX  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 mW8CqW\Q5  
第4章薄膜制备技术 [.<vISRir  
4.1真空淀积工艺 u0XGtu$4  
4.2光学薄膜材料 Ubn5tN MK  
4.3薄膜厚度监控艺术 Vaq=f/  
4.4膜层厚度的均匀性 }clFaT>m?  
习题 v S%+  
参考文献 X:62)^~'  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 wc__g8?'  
5.1薄膜的形成过程 '{:(4>&  
5.2薄膜的微观结构 UBC[5E$  
5.3薄膜的成分 &# @1n  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 N(1jm
F  
5.5薄膜微观结构和改善 jsez$m%vs  
习题 4-3
B"
  
参考文献 2_F`ILCML  
第三篇光学薄膜检测技术 UZ](X/  
第6章薄膜透射率和反射率测量 "lmiGR*u  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 }qlz^s  
6.2薄膜反射率的测试 #d|.BxH  
6.3薄膜反射率的测量 P_ZguNH  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 0q`'65 lx  
6.5总结 r`7`f xe  
习题 1m![;Pg3  
参考文献 ekAGzu  
第7章薄膜的吸收和散射测量 "+XO[WGc  
7.1激光量热计基本原理 9f"6Jw@F  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 =3J~
Fk  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 oFIs,[Go  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 KY"~Ta`  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 k2;8~LqF  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 < )?&Jf>_  
7.7总结 XM=`(e o  
习题 .#Sd|C]R7  
参考文献 !*\^-uvaK  
第8章薄膜光学常数的测量 YInW)My.h  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 QR8F'7S  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 {9=U6m^R2  
8.3薄膜波导法 U>I#f  
8.4光学薄膜厚度的测试 RdY#B;  
8.5总结 $YSOkyC?  
习题 ,Y5+UzE@  
参考文献 X:!%"K%}  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 +_ G'FD  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ah
f$#UQLb  
9.2薄膜器件的环境试验 cCj3,s/p  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 aY?}4Bx  
9.4总结 \m\.+q]  
习题 {6AJ>}3  
参考文献 EfUo<E  
附录 >\i{,F=U7  
附录A复数与复数运算 9wwvh'T&NK  
A.1复数的概念 m[7a~-3:J  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 dy0!Zz  
A.3复数在物理中的运用 Q{a!D0
;4v  
附录B矩陈及矩陈运算 \:#b9t{B-  
B.1矩陈的定义 :,u+[0-S  
B.2矩陈运算 !6}Cs3.  
附录C光的电磁理论基础 kP6r=HH@  
C.1振动与波 /bb4nM_E/  
C.2电磁波 yw
dNwNJ  
C.3麦克斯韦方程 PNG'"7O
  
C.4平面电磁波 `BvcIn4do  
C.5平面电磁波性质 {
u1t.+  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 V&>7i9lEz  
附录D光的干涉 _]4cY%s  
D.1波的叠加原理 Du{]r[[C  
D.2杨氏干涉 YnMph0\Y^  
D.3平板的表面干涉 (0][hdI~B  
D.4光的空间相干性和时间相干性 [DE8s[i-  
附录E光的偏振 z~W@`'f  
E.1自然光和偏振光 g5"g,SFGr  
E.2偏振光与Jones矩陈 5M(?_qj  
E.3偏振光的获得 ;EJ6C#} >7  
E.4偏振光的检验 }cP3i  
…… #Q{6/{bM&J  
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