现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 +y\o^w4sT  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 xF*i+'2  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 f,Am;:\|  
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第一篇光学多层膜设计 bQdu=s[  
第1章光学薄膜特性的理论计算 Q~`{^fo1  
1.1单色平面电磁波 #Fkp6`Q$x  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 [J55%N;#1  
1.3光学薄膜特性的理论计算 *]c~[&x5&  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 9}+X#ma.Nc  
习题 4ZkaH(a1  
第2章光学薄膜的设计理论 Z7k ku:9  
2.1矢量作图法 }taG/kE62  
2.2有效界面法 }(K1=cEaL  
2.3对称膜系的等效层 RQ4+EW1
G  
2.4导纳图解技术 NTVaz.  
习题 [MF&x9Ss?%  
第3章光学薄膜系统的设计 2"WP>>b80  
3.1减反射膜 ,x?Jrcx~'C  
3.2分束镜 vVSf'w  
3.3高反射膜 r(rT.
D&  
3.4干涉截止滤光片 H;#C NB<e  
3.5带通滤光片 2I
7|hZ,  
3.6特殊膜系 
%q6I-  
习题 U#{(*)qr  
参考文献 JW"n#sR4  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ,o}CBB! k  
第4章薄膜制备技术 ~.z82m  
4.1真空淀积工艺 KGmAnN  
4.2光学薄膜材料 a3,A_M}M'  
4.3薄膜厚度监控艺术 t+M'05-U2  
4.4膜层厚度的均匀性 ^-F#"i|Cn  
习题 [kMWsiZ  
参考文献 6=Sz5MC  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 9<o*aFgCa  
5.1薄膜的形成过程 #k,.xMJ~  
5.2薄膜的微观结构 iu2O/l#r  
5.3薄膜的成分 .vd*~U"  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ]l`V#Rd  
5.5薄膜微观结构和改善 +^%)QH>9   
习题 )|W6Z  
参考文献 U|
aEyMU  
第三篇光学薄膜检测技术 'Z)#SzY
 
第6章薄膜透射率和反射率测量 x@D>JG  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 3,J{
!  
6.2薄膜反射率的测试 `
/<f([w  
6.3薄膜反射率的测量 { T<[-"h  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 Pfd%[C/vdm  
6.5总结 >)k[085t  
习题 #}Bv/`t  
参考文献 3N4kW[J2i  
第7章薄膜的吸收和散射测量 )k]{FM  
7.1激光量热计基本原理 QHd|cg  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ]C{N4Ni^Z  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Tq?f5swsI  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 'C@yJf  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 |nU%H=Rs/  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 IsjN xBM
 
7.7总结 <[=[|DS l  
习题 -b34Wz(  
参考文献 {MUO25s02  
第8章薄膜光学常数的测量 B_C."{
G  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 'a$/!~X  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Q |hBGH9:B  
8.3薄膜波导法 b#n  
8.4光学薄膜厚度的测试 Z% ]LZ/O8  
8.5总结 {mLv?"M]  
习题 R<^E?FI   
参考文献 QBA{*@ A-  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 +e#(p<  
9.1薄膜的力学特性检测技术 \"$q=%vD  
9.2薄膜器件的环境试验 ,V)hV@Dk  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 G0Z$p6z  
9.4总结 e}s,WC2-  
习题 pV1;gqXNS  
参考文献 v7
v>  
附录 g_eR&kuh  
附录A复数与复数运算 hTPvt  
A.1复数的概念 "$q"Kilj%  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Z/;hbbG  
A.3复数在物理中的运用 "&\(:#L  
附录B矩陈及矩陈运算 ~/Y8wxg  
B.1矩陈的定义 [=:
4^S|M  
B.2矩陈运算 fT=ZiHJ3Gu  
附录C光的电磁理论基础 AP9\]qZ(7  
C.1振动与波 U^-RyE!}  
C.2电磁波 H~:g=Zw  
C.3麦克斯韦方程 ;a[3RqmKW  
C.4平面电磁波 (~(FQ:L%U  
C.5平面电磁波性质 ~8'HX*B]z  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 bNoZ{ 7  
附录D光的干涉 -:wV3D  
D.1波的叠加原理 )P|/<>z  
D.2杨氏干涉 2]r5e;  
D.3平板的表面干涉 xX~
m Fz0C  
D.4光的空间相干性和时间相干性 McN'J.Sxp  
附录E光的偏振 6K >(n  
E.1自然光和偏振光 BJqb'Hjd  
E.2偏振光与Jones矩陈 v'Up& /(  
E.3偏振光的获得 Ey_mK\'  
E.4偏振光的检验 :4pO/I ~  
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