现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ;L)}blN.  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 X >**M  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 urN&."c  

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第一篇光学多层膜设计 V?gQ`( ,  
第1章光学薄膜特性的理论计算 8sIGJ|ku
 
1.1单色平面电磁波 vS0P]AUo  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 1TVTP2&Rd  
1.3光学薄膜特性的理论计算 QO,y/@Ph  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 B%t^QbU#\  
习题 vKW%l  
第2章光学薄膜的设计理论 jv7zvp  
2.1矢量作图法 g5"g,SFGr  
2.2有效界面法 B;@yOm=  
2.3对称膜系的等效层 V*AG0@&!  
2.4导纳图解技术
'"TBhisky  
习题 B845BSmh  
第3章光学薄膜系统的设计 %_u3Np  
3.1减反射膜 MHbRG_zW  
3.2分束镜 *= D$  
3.3高反射膜 ?e@Ff"Y@e  
3.4干涉截止滤光片 AiyjrEa%  
3.5带通滤光片 J+;.t&5R  
3.6特殊膜系 %1 v)rg y  
习题 "au"\}   
参考文献 0#q_LB  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 n% *u;iG  
第4章薄膜制备技术 0>'1|8+`(z  
4.1真空淀积工艺 m
}XI?[!s  
4.2光学薄膜材料 l5R H~F  
4.3薄膜厚度监控艺术 tSm|U<  
4.4膜层厚度的均匀性 ^qDkSoqC"  
习题 1"'//0 7  
参考文献 !98s[)B:  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 k&**f_b  
5.1薄膜的形成过程 Rub""Ga  
5.2薄膜的微观结构 @wg*~"d  
5.3薄膜的成分 (zhmZm  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 !~ZL  
5.5薄膜微观结构和改善 E u@TCw8@  
习题 H"-p^liw  
参考文献 Hp,r @  
第三篇光学薄膜检测技术 XGUF9arN  
第6章薄膜透射率和反射率测量 bH=5[  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 T.{I~_  
6.2薄膜反射率的测试 A$oYw(m
#  
6.3薄膜反射率的测量 N\vc<Zpn  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 sz)3 z  
6.5总结 tf/ f-S  
习题 nc31X  
参考文献 bc&:v$EGy  
第7章薄膜的吸收和散射测量 kL&^/([9  
7.1激光量热计基本原理 fg,~[%1  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 k}BNFv8  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量
$zdJ\UX  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 r)b`3=  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 IUZsLNW  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 X-ml0 =M[  
7.7总结 PGybX:
L  
习题 6IvLr+I  
参考文献 jeJGxfii  
第8章薄膜光学常数的测量 {g);HnmPN  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 1di?@F2f  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 1LE8,Gm&  
8.3薄膜波导法 p%G\5.GcJL  
8.4光学薄膜厚度的测试 51rM6 BT  
8.5总结 zcA"\  
习题 OixQlAb{  
参考文献 plp).Gq  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 C4n5U^  
9.1薄膜的力学特性检测技术 `j<'*v zo  
9.2薄膜器件的环境试验 L$jRg  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 MBa/-fD  
9.4总结 mG2}JWA  
习题 mp5]=6~:m  
参考文献 2S/^"IM["  
附录 [szwPNQ_  
附录A复数与复数运算 pZWp2hj{X  
A.1复数的概念 X/.|S57  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 *{tJ3<t(1  
A.3复数在物理中的运用 i=SX_#b^  
附录B矩陈及矩陈运算 xXyzzr1[  
B.1矩陈的定义 Ru sa &#[  
B.2矩陈运算 M r@M~ -  
附录C光的电磁理论基础 +C+3DwN  
C.1振动与波 vF*H5\ m<a  
C.2电磁波 5v?6J#]2  
C.3麦克斯韦方程 *rqih_j0  
C.4平面电磁波 [y:6vC   
C.5平面电磁波性质 n'R 8nn6^  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 5:AAqMa  
附录D光的干涉 20K<}:5t1  
D.1波的叠加原理 Xe*  L^8+  
D.2杨氏干涉 
9aXm}  
D.3平板的表面干涉 TX 12$p\  
D.4光的空间相干性和时间相干性 QXF>xZ~  
附录E光的偏振 zg^5cHP\  
E.1自然光和偏振光 ^91k@MC  
E.2偏振光与Jones矩陈 @@! R Iq!  
E.3偏振光的获得 cOS|B1xG  
E.4偏振光的检验 @
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