现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 @LF,O}[2J  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 UXJeAE-  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 }bb;~  
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第一篇光学多层膜设计 bQgc8
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第1章光学薄膜特性的理论计算 f z'@_4hg  
1.1单色平面电磁波 P7
8g/p T  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 (
nQ^  
1.3光学薄膜特性的理论计算 xG~P+n7t5$  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 l!D}3jD  
习题 5'OrHk;u  
第2章光学薄膜的设计理论 bV^rsJm  
2.1矢量作图法 Z@4Arfl  
2.2有效界面法 Vr3Zu{&2  
2.3对称膜系的等效层 p*XANGA  
2.4导纳图解技术 (p"%O  
习题 ROH|PKb7  
第3章光学薄膜系统的设计 'TTLo|@"-  
3.1减反射膜 j`{?OYD  
3.2分束镜 =/@D8{pU  
3.3高反射膜 T^zXt?  
3.4干涉截止滤光片 =*oJEy"  
3.5带通滤光片 )W^F2-{  
3.6特殊膜系 /2&c$9=1  
习题 9SX +  
参考文献 #|uCgdi  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 \[;0KV_  
第4章薄膜制备技术
/ixp&Z|7  
4.1真空淀积工艺 ^ gdaa>L  
4.2光学薄膜材料 jk;j2YNPw  
4.3薄膜厚度监控艺术 =
>m<GvQz  
4.4膜层厚度的均匀性 iDpSj!x/_  
习题 pIc#L>{E  
参考文献 tR#OjkvX  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 2R[:]-b  
5.1薄膜的形成过程 *IB4[6  
5.2薄膜的微观结构 =O~_Q-  
5.3薄膜的成分 w2?3wrP3  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 H%[eV8  
5.5薄膜微观结构和改善 .#EFLXs  
习题 1y:-N6  
参考文献 ]}V<*f  
第三篇光学薄膜检测技术 0j^Kgx  
第6章薄膜透射率和反射率测量 4j-Xi  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 XgZD%7  
6.2薄膜反射率的测试 +5)nk}  
6.3薄膜反射率的测量 2_>N/Z4T  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ~?l | [  
6.5总结 )7hqJa-V  
习题 kBS9tKBWg  
参考文献 n3WlZ!$  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ::`HQ@^  
7.1激光量热计基本原理 %mW{n8W3{  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ldf\;Qk  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ~-k9%v`  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 28-RC>,@}  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 EAUEQk?9  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 X;$+,&M"  
7.7总结 e+EQ]<M  
习题 )+#` CIv  
参考文献 Y_liA  
第8章薄膜光学常数的测量 $z6_@`[  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 cTifC1Pf  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 hDDn,uzpd  
8.3薄膜波导法 I^.Om])  
8.4光学薄膜厚度的测试 Q3'llOx  
8.5总结 6bg ;q(*7  
习题 Dm981t>wL  
参考文献 #<fRE"v:Q  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 [NTzcSN.  
9.1薄膜的力学特性检测技术 PI {bmZ  
9.2薄膜器件的环境试验 Xg6Jh``  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 n9\TO9N  
9.4总结 1C+13LE$U  
习题 rSY!vkLE\  
参考文献 l$KA)xbI  
附录 `bq
<$e  
附录A复数与复数运算 J0WxR&%a)  
A.1复数的概念 )$2QZ qX  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 -_g0C^:<,  
A.3复数在物理中的运用 \doUTr R  
附录B矩陈及矩陈运算 '@v\{ l  
B.1矩陈的定义 b/K PaNv  
B.2矩陈运算 'ms-*c&  
附录C光的电磁理论基础 
C[cbbp  
C.1振动与波 x8 2cT21b  
C.2电磁波 T=DbBy0-  
C.3麦克斯韦方程 <_L,t 1H{  
C.4平面电磁波 :U|1xgB  
C.5平面电磁波性质 LENq_@$  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 w{8xpAqm  
附录D光的干涉 NWESP U):w  
D.1波的叠加原理 LH.]DVj  
D.2杨氏干涉 fUWG*o9  
D.3平板的表面干涉 ,L2ZinU:  
D.4光的空间相干性和时间相干性 6_o*y8s.  
附录E光的偏振 ,&A7iO  
E.1自然光和偏振光 8Al{+gx@?  
E.2偏振光与Jones矩陈 P;.W+WN  
E.3偏振光的获得 C}j"Qi`  
E.4偏振光的检验 g/d<Zfq<{  
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