现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 U_&v|2o#3  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ?;bsg9  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 e5s=@-[  
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第一篇光学多层膜设计 mj7Em&  
第1章光学薄膜特性的理论计算 yP
~O C|Z  
1.1单色平面电磁波 ,S%DHT  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 8fH.E  
1.3光学薄膜特性的理论计算 +kj d;u#  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Qy!;RaA3T  
习题 o6v'`p'  
第2章光学薄膜的设计理论 Y)ig:m]#  
2.1矢量作图法 8HaBil  
2.2有效界面法 wn&5Ul9Elb  
2.3对称膜系的等效层 dfa^5`_  
2.4导纳图解技术 zz7#gU  
习题 ng-rvr  
第3章光学薄膜系统的设计 [b?[LK}.  
3.1减反射膜 D-S"?aO-  
3.2分束镜 j,J/iJs  
3.3高反射膜 R#\o*Ta  
3.4干涉截止滤光片 &~ .n}h&  
3.5带通滤光片 FRR`<do5$,  
3.6特殊膜系 rQ:+LVfXjA  
习题 ukAE7O(W&  
参考文献 X%lk] &2  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 mR1|8H!f  
第4章薄膜制备技术 ^rX5C2}G\D  
4.1真空淀积工艺 qQ/<\6Sl  
4.2光学薄膜材料 6$y$ VeW  
4.3薄膜厚度监控艺术 iuGly~  
4.4膜层厚度的均匀性 d,:3;:CR  
习题 r/e} DYL&  
参考文献 5_yu4{@;y  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 rF:l
+I]  
5.1薄膜的形成过程 ^*@D%U  
5.2薄膜的微观结构 -nL!#R{e  
5.3薄膜的成分 [a2Q ^ab  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 FDQP|,  
5.5薄膜微观结构和改善 tT`{xM  
习题 c)q'" r  
参考文献 q Xj]O3 mm  
第三篇光学薄膜检测技术 Ce.*yO<-  
第6章薄膜透射率和反射率测量 4^uwZ:  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 `}
o{o  
6.2薄膜反射率的测试 bH1MDBb2  
6.3薄膜反射率的测量 EA=EcUf'  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 .Z#8,<+  
6.5总结 8oxYgj&~X  
习题 ~]S%b3>  
参考文献 yq]/r=e!k  
第7章薄膜的吸收和散射测量 TMAart;<  
7.1激光量热计基本原理 U_oei3QP  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 *3s,~<''%  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 qQ^bUpk0  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 AY)R2> fW%  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 71wtO  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 DMpNmF>  
7.7总结 rpn&.#KS  
习题
_fmOTz G  
参考文献 (|t)MnPfY  
第8章薄膜光学常数的测量 $QC^hC  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ~z&H
o  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 yTpvKCC  
8.3薄膜波导法 US2Tdmy@05  
8.4光学薄膜厚度的测试 T.B}k`$  
8.5总结 M7. fz"M  
习题 m>8tA+K)+)  
参考文献  /}&@1  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 snti*e4"V  
9.1薄膜的力学特性检测技术 :j[a X7Sq2  
9.2薄膜器件的环境试验 r3mQoTvnv  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 O od?ifA  
9.4总结 NoD\t(@h  
习题 g6l&;S40  
参考文献 Q~>="Yiu  
附录 h6uv7n~4  
附录A复数与复数运算 rwCjNky!  
A.1复数的概念 u(bPdf@kz  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 b]XDfe  
A.3复数在物理中的运用 q+)csgN  
附录B矩陈及矩陈运算 S1G=hgF_L  
B.1矩陈的定义 ~ s# !\Ye  
B.2矩陈运算 "u.4@^+i  
附录C光的电磁理论基础 g4=6\vg  
C.1振动与波 ppXt8G3%x  
C.2电磁波 ptvM>zw'~g  
C.3麦克斯韦方程 <lFQ4<"m  
C.4平面电磁波 !Q" 3B6 86  
C.5平面电磁波性质 <h<4R Rj  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 eHQ3K#M#  
附录D光的干涉 I15g G.)  
D.1波的叠加原理 zm`^=cV  
D.2杨氏干涉 8j%hxAV$  
D.3平板的表面干涉 *oP&'$P  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Tt*n.HA  
附录E光的偏振 /m+q!yi &  
E.1自然光和偏振光 o])2_e5  
E.2偏振光与Jones矩陈 &]euL:C  
E.3偏振光的获得 tW7*(D  
E.4偏振光的检验 F G5e{  
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