现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 G(|(y=ck  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 qY~$wVY(  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 c^[1]'y  

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第一篇光学多层膜设计 $vbAcWj  
第1章光学薄膜特性的理论计算 }Cq9{0by?a  
1.1单色平面电磁波 ,C@hTOT  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 d;jJe0pH  
1.3光学薄膜特性的理论计算 XpAq=p0;  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 s=%+o&B  
习题 CXP $bt}  
第2章光学薄膜的设计理论 
4pTuP /  
2.1矢量作图法 1~xn[acy  
2.2有效界面法 m|cWX"#g  
2.3对称膜系的等效层 .jGsO0  
2.4导纳图解技术 hZ\W ?r  
习题 L};;o+5uJD  
第3章光学薄膜系统的设计 U37?P7i's  
3.1减反射膜 M?4r5R  
3.2分束镜 ao";5m  
3.3高反射膜 ]R0A{+]n  
3.4干涉截止滤光片 [TfV2j* e  
3.5带通滤光片 xV 1Z&l  
3.6特殊膜系 Q"K>ML>0  
习题 8$j
T#\_  
参考文献 uA/.4 b  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 I#hg(7|",  
第4章薄膜制备技术 (h>X:!  
4.1真空淀积工艺 @Jn:!8U0  
4.2光学薄膜材料 !9<RWNKV)Y  
4.3薄膜厚度监控艺术 <iprPk  
4.4膜层厚度的均匀性 LX?r=_\  
习题 N5an9r&z(1  
参考文献 .lF\bA|  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 'hi\98y  
5.1薄膜的形成过程 F?,&y)ri  
5.2薄膜的微观结构 m
<'xlF  
5.3薄膜的成分 $}nUK~$GSv  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响
Rd1k
u=  
5.5薄膜微观结构和改善 %d#)({N  
习题 e%v4,8  
参考文献 L9YwOSb.  
第三篇光学薄膜检测技术 c+i`Zd.m<  
第6章薄膜透射率和反射率测量 llG#nDe  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 2:5gMt  
6.2薄膜反射率的测试 K,,@',  
6.3薄膜反射率的测量 sriq(A  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 A%w]~ chC9  
6.5总结 WT!\X["FI$  
习题 I~]mX;  
参考文献 e%c5OZ3~  
第7章薄膜的吸收和散射测量 |>}0? '/]  
7.1激光量热计基本原理 6.7Kp  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 Y&!]I84]  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 <^q"31f  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 #bZ
=R  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 `8.32@rUB.  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 .&}4  
7.7总结 g!Yh=kA'N  
习题 = hX-jP  
参考文献 Qp.
!U~  
第8章薄膜光学常数的测量 6F&]Mk]V8  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 |Ge/|;.v`  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 c@#zjJhW]  
8.3薄膜波导法 32|L $o  
8.4光学薄膜厚度的测试 %s :  
8.5总结 vG_v89t!ex  
习题 jMWwu+w  
参考文献 vMdhNOU  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ^W[`##,{Od  
9.1薄膜的力学特性检测技术 [,$mpJCI  
9.2薄膜器件的环境试验 fQ_8{=<-&X  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 GhQ`{iJM  
9.4总结 ;xtb2c8HT  
习题 &r5%WRzpYT  
参考文献 -x\l<\*  
附录 Hg_ XD,  
附录A复数与复数运算 RkP|_Bf8)  
A.1复数的概念 0@x$Cp  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 SVWSO  
A.3复数在物理中的运用 wvaIgy%z  
附录B矩陈及矩陈运算 "v(]"L  
B.1矩陈的定义 >
37}JUG  
B.2矩陈运算 (0m$W<  
附录C光的电磁理论基础 zYF&Dv/u/  
C.1振动与波 |=}~>!!  
C.2电磁波 2OlC7X{  
C.3麦克斯韦方程 P(nHXVSUE  
C.4平面电磁波 UMW^0>Z!v  
C.5平面电磁波性质 oqHm:u^2  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ;~$ $WU  
附录D光的干涉 \bA'Furp  
D.1波的叠加原理 \0T*msYQ  
D.2杨氏干涉 'p+QFT>Ca  
D.3平板的表面干涉 Pc4cSw#5  
D.4光的空间相干性和时间相干性 )mVYqlU"  
附录E光的偏振 -?`l<y(  
E.1自然光和偏振光 #(J}xz;  
E.2偏振光与Jones矩陈 YgOgYo{E!  
E.3偏振光的获得 PlRs-%d  
E.4偏振光的检验 [\n.[4gq"  
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