现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 *>Zq79TG  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 [-Mfgw]i  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 qIgb;=V  

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第一篇光学多层膜设计 Pexg"328  
第1章光学薄膜特性的理论计算 *U4eL-  
1.1单色平面电磁波 S 5nri(m  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 y8O<_VOO}"  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ("@ih]zYf  
1.4光学多层膜内的电场强度分布  qr7_3  
习题 ;KW}F|  
第2章光学薄膜的设计理论 N7qSbiRf<  
2.1矢量作图法 V8J!8=2  
2.2有效界面法 y+a]?`2  
2.3对称膜系的等效层 v!?>90a  
2.4导纳图解技术 0SWec7G  
习题 c5tCw3$t  
第3章光学薄膜系统的设计 nrI-F,1  
3.1减反射膜 1x4{
~g\  
3.2分束镜 C+c;UzbD  
3.3高反射膜 ]1n =O"vE  
3.4干涉截止滤光片 2UjQ!g`  
3.5带通滤光片 &]HY:  
3.6特殊膜系 d+Jj4OnP  
习题 <al/>7z' O  
参考文献 ZZ{:f+=?$  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 "EC,#$e%ev  
第4章薄膜制备技术 IG~d7rh"  
4.1真空淀积工艺 Q68q76  
4.2光学薄膜材料 &p#.m"Oon  
4.3薄膜厚度监控艺术 V@Fj!/  
4.4膜层厚度的均匀性 Q+'QJ7fw'|  
习题 6N'v`p8  
参考文献 Ce1^S[
 
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 c2<JS:!*  
5.1薄膜的形成过程 P_ x9:3  
5.2薄膜的微观结构 r%~/y  
5.3薄膜的成分 G4eY}3F7,4  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 hb
v>Jjd  
5.5薄膜微观结构和改善 E"$AOM?(*i  
习题 z>X<Di&x)  
参考文献 -5t
.1/  
第三篇光学薄膜检测技术 7ClN-/4  
第6章薄膜透射率和反射率测量 PF?tEw_WB  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 \sZ!F&a~  
6.2薄膜反射率的测试 U#W9]il$  
6.3薄膜反射率的测量 *XZlnO  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ZkZTCb`/l  
6.5总结 (:]on
^|  
习题 k&PxhDf  
参考文献 + \AiUY  
第7章薄膜的吸收和散射测量 Jx8?x#}  
7.1激光量热计基本原理 2pEr s|r  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 o3~ecJ
?k  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 L^zF@n^5A  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 Una7O]  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 hWujio/h  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 @] `_+\y  
7.7总结 0"_FQv  
习题 xi2!__  
参考文献 OZ6gu$ n*  
第8章薄膜光学常数的测量 6Tn.56X  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Ht Z3n"2  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 eS/4gM7%  
8.3薄膜波导法 s*k[Fbi  
8.4光学薄膜厚度的测试 b+.P4+  
8.5总结 8f37o/L  
习题 El
$yM.M"  
参考文献 kFlq@['U  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 b]Xc5Dp{  
9.1薄膜的力学特性检测技术 3~7X2}qU  
9.2薄膜器件的环境试验 t
_PAXj  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 @3hA\3ot^  
9.4总结 ' ?3e1  
习题 IOx9".  
参考文献 &xG>"sJ  
附录 jF}u%T)HL  
附录A复数与复数运算 8MH ZWi  
A.1复数的概念 k%5o5Hx  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 V9tG2mLf>  
A.3复数在物理中的运用 J~3+j6?%  
附录B矩陈及矩陈运算 $-zt,iRyV  
B.1矩陈的定义 4ACL|RF)A  
B.2矩陈运算 JlZU31Xws  
附录C光的电磁理论基础 ]YP J.[n  
C.1振动与波 D)ZG
Tq`(  
C.2电磁波 ',o ,o%n  
C.3麦克斯韦方程 Yz?4eSa/  
C.4平面电磁波 Q,# )  
C.5平面电磁波性质 G{,X_MZ%  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 [YQVZBT|{  
附录D光的干涉 Ov$_Phm:  
D.1波的叠加原理 06FBI?;|=  
D.2杨氏干涉 X
ANPI|  
D.3平板的表面干涉 a&3p
PfC  
D.4光的空间相干性和时间相干性 &> Myf@  
附录E光的偏振 ^a6c/2K  
E.1自然光和偏振光 XN@F6
Gj  
E.2偏振光与Jones矩陈 ^{3,ok*Nf  
E.3偏振光的获得 Cx.GEY|0  
E.4偏振光的检验 /T53"+7:0  
……

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