现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 /9A6"Z
 
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 kTcW=AXu  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 |)C #  
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第一篇光学多层膜设计 FUXJy{n6"2  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ))dw[Xa  
1.1单色平面电磁波 )vUS).;S`  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 +w7U7" xQ  
1.3光学薄膜特性的理论计算 2rW9ja  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ;.Ld6JRunw  
习题 tLU@&NY`  
第2章光学薄膜的设计理论 -G~/ GO  
2.1矢量作图法 ff7#LeB9  
2.2有效界面法 ^s#+`Y05/  
2.3对称膜系的等效层 L/E7xLz  
2.4导纳图解技术 wwRPfr[  
习题 ~;z] _`_Va  
第3章光学薄膜系统的设计 ?6\N&MTF  
3.1减反射膜 $e2+O\.>  
3.2分束镜 8f1M
6GK?  
3.3高反射膜 teI?.M9r  
3.4干涉截止滤光片 C4qK52'2s  
3.5带通滤光片 Ir-QD!!<  
3.6特殊膜系 *p=enflU  
习题 `zrg?  
参考文献 -LT!LBnEkf  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 =)G]\W)m  
第4章薄膜制备技术 EP"Z58&$R  
4.1真空淀积工艺 8AuE:=?,,  
4.2光学薄膜材料 (7N!Jvg9  
4.3薄膜厚度监控艺术 /E2P  
4.4膜层厚度的均匀性 ~1E!Co  
习题 IdMwpru(  
参考文献 G'u[0>  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 <;yS&8  
5.1薄膜的形成过程 )-ojm$  
5.2薄膜的微观结构 5|~nX8>  
5.3薄膜的成分 EADN   
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 0g6sGz=  
5.5薄膜微观结构和改善 =|``d-  
习题 z5oJQPPi  
参考文献 by0K:*C  
第三篇光学薄膜检测技术 :4-,Ru1C"  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ';Q8x?BS  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 +ue1+#  
6.2薄膜反射率的测试 =PQ4S2Q  
6.3薄膜反射率的测量 7y3WV95Z\  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 \+nV~Pi"A  
6.5总结 $./aKJ1B  
习题 /V{UTMSz  
参考文献 & !ds#-  
第7章薄膜的吸收和散射测量 0;@>jo6,!  
7.1激光量热计基本原理 i-w$-2w  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 NiWAJ]Z  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 9od*N$  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 )XavhS~Ff  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 (&Jo. <  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 @8>bp#x/1  
7.7总结 ZfX$q\7  
习题 B @QWr;  
参考文献 ^+CWo@.  
第8章薄膜光学常数的测量 >qOG^{&x  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Axns

  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 j`"!G*Vh  
8.3薄膜波导法 vpf.0!zh  
8.4光学薄膜厚度的测试 EpNN!s=Q  
8.5总结 14,t  
习题 "^6Fh"]
 
参考文献 KpYezdPF)  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ~v;+-*t  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ,dT
mI{@O  
9.2薄膜器件的环境试验 $A9Pi"/*z  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 RqGX(Iuv  
9.4总结 MTCfs~}m  
习题 !L9OJ1F  
参考文献 ^Z#G_%\Y:  
附录 >h\u[I$7  
附录A复数与复数运算 ~WTkX(\  
A.1复数的概念 )dX(0E4Td/  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 !hZ: \&V  
A.3复数在物理中的运用 &nXE?-J  
附录B矩陈及矩陈运算 2[Lv_<i|  
B.1矩陈的定义 G\BZ^SwE  
B.2矩陈运算 ih/E,B"  
附录C光的电磁理论基础 6 h#U,G  
C.1振动与波 AK,'KO%{=  
C.2电磁波 a{r"$>0  
C.3麦克斯韦方程 QK+,63@D\=  
C.4平面电磁波 qE[YZ(/f0&  
C.5平面电磁波性质 7~QI4'e  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 D0xQXC3$`  
附录D光的干涉 M Zz21H  
D.1波的叠加原理 =xIZJ8e  
D.2杨氏干涉 Wj^e)2%  
D.3平板的表面干涉 GnW MI1$  
D.4光的空间相干性和时间相干性 -grf7w^  
附录E光的偏振 c?HUW  
E.1自然光和偏振光 /Yp#`}Ii  
E.2偏振光与Jones矩陈 SDil\x  
E.3偏振光的获得 =/46;844T  
E.4偏振光的检验 =n"kgn  
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