现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 10#!{].#x  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 'dWJ#9C  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 --.j&w  

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h!K B%4V  
第一篇光学多层膜设计 LOnh
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第1章光学薄膜特性的理论计算 e!4akKw4wD  
1.1单色平面电磁波 Qmn5umd=?\  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 dt`L}Yi  
1.3光学薄膜特性的理论计算 B10p7+NBF  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Ka_UVKwMro  
习题 _D,8`na>K  
第2章光学薄膜的设计理论 J+IW  
2.1矢量作图法 $#RD3#=?u  
2.2有效界面法 do[K-r  
2.3对称膜系的等效层 o B6"D  
2.4导纳图解技术 #eUfwd6.Y  
习题 yQi|^X~?$  
第3章光学薄膜系统的设计 {t=Nnc15K  
3.1减反射膜 Z$ftG7;P0  
3.2分束镜 M%B[>pONb7  
3.3高反射膜 w:
Lu  
3.4干涉截止滤光片 E<\\'VF  
3.5带通滤光片 ,O[vxN1X*  
3.6特殊膜系 Xx'>5
d>  
习题 L/
/sJe  
参考文献 mlVv3mVyR<  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 7_K(xmK  
第4章薄膜制备技术 Ki=7nKs  
4.1真空淀积工艺 6\TstY3  
4.2光学薄膜材料 Hzj*X}X#K  
4.3薄膜厚度监控艺术 %M`|0g}!  
4.4膜层厚度的均匀性 y:42H tS  
习题 QIV<!SO  
参考文献 /vPb
 
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 6~!YEuA  
5.1薄膜的形成过程 jSG jv>  
5.2薄膜的微观结构 he+[  
5.3薄膜的成分 i*^K)SI8  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 @wFm])}0  
5.5薄膜微观结构和改善 6sZRR{'  
习题 gx6&'${=#  
参考文献 jSVO$AW~C  
第三篇光学薄膜检测技术 ^&6NB)6  
第6章薄膜透射率和反射率测量 1|nB\xgu  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 [e}]K:  
6.2薄膜反射率的测试 bv+e'$U3  
6.3薄膜反射率的测量 #!5Nbe  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 SRD&Uf0M  
6.5总结 #KK(Z\;  
习题 e{}o:r  
参考文献 f.f4<_v'h  
第7章薄膜的吸收和散射测量 0sUc6_>e  
7.1激光量热计基本原理 :5*<QJuI#A  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 *C:+N>  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 41zeN++  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ho20>vw#  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 0*AlLwO  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 s{,e^T  
7.7总结 F0JFx$AoD  
习题 E^YbyJ=1  
参考文献 2"MI8EK  
第8章薄膜光学常数的测量 B
.G!7>=  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 d+;wDu  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 
MMAC,4  
8.3薄膜波导法  vXvV5Oq  
8.4光学薄膜厚度的测试 \'EWur"  
8.5总结 < 5PeI  
习题 Jzdc'3dq  
参考文献 p)jxqg
 
第9章薄膜非光学特性的检测技术 /iN\)y#u1  
9.1薄膜的力学特性检测技术 
TkBBHg;  
9.2薄膜器件的环境试验 w7D:0SGD  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 b910Z?B^L  
9.4总结 RnrM rOh  
习题 bVx]r[  
参考文献 <^\r9Qxl  
附录 L%0lX$2&\  
附录A复数与复数运算 %PS-nF7v  
A.1复数的概念 Ih7Eq/iu  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 sZH7EK  
A.3复数在物理中的运用 ^pjez+  
附录B矩陈及矩陈运算 #Kl2K4  
B.1矩陈的定义 !LJ.L?9qw  
B.2矩陈运算 qLP+@wbJ  
附录C光的电磁理论基础 #TgJ d
 
C.1振动与波 K7.<,E"M.  
C.2电磁波 PsgzDhRv  
C.3麦克斯韦方程 oW[,EW+u  
C.4平面电磁波 wuk7mIJ  
C.5平面电磁波性质 )|{{}w~`  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 *X\c $=*  
附录D光的干涉 5);#\&B  
D.1波的叠加原理 %p9bl ,x  
D.2杨氏干涉 ,_$"6  
D.3平板的表面干涉 v'!N

t
k  
D.4光的空间相干性和时间相干性 F^YIZ,=p!  
附录E光的偏振 ]~^/w}(K  
E.1自然光和偏振光 XNUqZ-M:  
E.2偏振光与Jones矩陈 kpH;D=;  
E.3偏振光的获得 //Gvk|O1  
E.4偏振光的检验 g#4gGhI  
…… #CPPdU$  
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