现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 /x5rf  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 wW#}:59}  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 )6+eNsxMlC  

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第一篇光学多层膜设计 x
/;buW-  
第1章光学薄膜特性的理论计算 {) Q@c)'  
1.1单色平面电磁波 TYJ:!  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 v=_6XF  
1.3光学薄膜特性的理论计算 KcK>%%  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 gA:5M  
习题 3=Cc.a/3  
第2章光学薄膜的设计理论 c3:,Ab|  
2.1矢量作图法 J]&y$?C  
2.2有效界面法 G`\f  
2.3对称膜系的等效层 EX?MA6U  
2.4导纳图解技术 XVKfl3'%  
习题 E_8\f_%wK  
第3章光学薄膜系统的设计 .a._NW  
3.1减反射膜 NR -!VJQ  
3.2分束镜 mf}O-Igte  
3.3高反射膜 po$ /7  
3.4干涉截止滤光片 $: ]o]a  
3.5带通滤光片 E-I-0h2  
3.6特殊膜系 >TQH|}|6(y  
习题 /%&2HDA)  
参考文献 vgUb{D  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 q{t*34R  
第4章薄膜制备技术 WAn~+=Ax  
4.1真空淀积工艺 QNARkYY~|  
4.2光学薄膜材料 mnmP<<8C,  
4.3薄膜厚度监控艺术 ]`&Yqg  
4.4膜层厚度的均匀性 R}lsnX<  
习题 KuMF^0V%c  
参考文献 )('%R|$ /  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 VUhbD  
5.1薄膜的形成过程 wi4=OU1L)a  
5.2薄膜的微观结构 3'^k$;^  
5.3薄膜的成分 \ gLHi~  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 -5T=:2M  
5.5薄膜微观结构和改善 2Z3('?\z~  
习题 G}FIjBE  
参考文献 rk7QZVE  
第三篇光学薄膜检测技术 *cC_j*1@  
第6章薄膜透射率和反射率测量 0#ClWynjRO  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 nWMmna.5  
6.2薄膜反射率的测试 9nH?l{As  
6.3薄膜反射率的测量 *,Za6.=  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 6S+U&Ce\  
6.5总结 Db6om7N  
习题 f-5:wM&  
参考文献 mZx&Xez_G  
第7章薄膜的吸收和散射测量 h=(DX5:A  
7.1激光量热计基本原理 5g9; +}X;  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 # g_Bx  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 xj[(P$,P  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 :dLAs@z  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 >2< 8kBF_  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 PJ2qfYsH=>  
7.7总结 8Goh4T H  
习题 jLpc Zb,  
参考文献 $6CwkM:  
第8章薄膜光学常数的测量 ~t^eiyv  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 qQ0cJIISb\  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法
ed:@C?  
8.3薄膜波导法 ,2j.<g&
  
8.4光学薄膜厚度的测试 ET[kpL  
8.5总结 ei6AV1| p  
习题 Gkp<o  
参考文献 04*6(L)h*  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 #(1j#\  
9.1薄膜的力学特性检测技术 _>v<(7  
9.2薄膜器件的环境试验 Vo7dAHHL  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 >-O/U5<!  
9.4总结 jaa"~5TO8  
习题 Bf$_XG3  
参考文献 &[At`Nw71  
附录 KX}Rr
7a  
附录A复数与复数运算 P9S2?Q  
A.1复数的概念 ^qC;Nh4F  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 gq"gUaz  
A.3复数在物理中的运用 > ]8a3x  
附录B矩陈及矩陈运算 #rY sj-2  
B.1矩陈的定义 P|HKn,ar  
B.2矩陈运算 JXw^/Y$  
附录C光的电磁理论基础 tOOchu?=  
C.1振动与波 aDehqP6vf  
C.2电磁波 yB3;  
C.3麦克斯韦方程 P)uDLFp]  
C.4平面电磁波 ^1wA:?uN}  
C.5平面电磁波性质 \'M3|w`f  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ]XTu+T.aT  
附录D光的干涉 z Nl ,  
D.1波的叠加原理 %%Qo2^-  
D.2杨氏干涉 ;r6jx"i  
D.3平板的表面干涉 rvyrxw%[  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Uz7^1.-g4  
附录E光的偏振 4<x'ocKlD  
E.1自然光和偏振光 -_<}$9lz  
E.2偏振光与Jones矩陈 vAX|hwn;  
E.3偏振光的获得 9W8]8sUeG  
E.4偏振光的检验 ay %KE=*v  
…… 4]/7 )x?R  
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