现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 48c1gUwoP  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ZNJ@F<  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 t'?.8}?)I&  

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第一篇光学多层膜设计 ~KHVY)@P  
第1章光学薄膜特性的理论计算 XJ;D=~  
1.1单色平面电磁波 ZU85
P0  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 <nE>XAI_7  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ?/BqD;{?I  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 RzBF~2 >i  
习题 &atu
K*W>  
第2章光学薄膜的设计理论 (gy#js#  
2.1矢量作图法 ,.rs(5.z8/  
2.2有效界面法 l9}3XI.=  
2.3对称膜系的等效层 b8~Bazk  
2.4导纳图解技术 3_txg>P"  
习题 GO8GJ;B-U  
第3章光学薄膜系统的设计 H
#@^R(  
3.1减反射膜 1|RANy  
3.2分束镜 ^.KwcXr  
3.3高反射膜 .JYaH?  
3.4干涉截止滤光片 jNTjSX  
3.5带通滤光片 4NGA/ G  
3.6特殊膜系 1HXjN~XF  
习题 *vflscgt  
参考文献 :QpuO1Gu  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 }x@2]juJ  
第4章薄膜制备技术 X<i^qoV  
4.1真空淀积工艺 ]gmexa=(i  
4.2光学薄膜材料 s@9vY\5[9  
4.3薄膜厚度监控艺术 mk1bcK9  
4.4膜层厚度的均匀性 ~R_ztD+C(  
习题 PfreAEv,  
参考文献 +,2:g}5  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 V@Rrn <l  
5.1薄膜的形成过程 cVubb}ou  
5.2薄膜的微观结构 vk+VP 1D  
5.3薄膜的成分 h?rp|uPQ  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 _(Sa4Vb=Q6  
5.5薄膜微观结构和改善 +g` 'J$  
习题 {)
"iiJ  
参考文献 /s?r`'j[  
第三篇光学薄膜检测技术 Ey_" ~OB  
第6章薄膜透射率和反射率测量 g}f`,r9
  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 P\w\N2  
6.2薄膜反射率的测试 PUF/#ck  
6.3薄膜反射率的测量 Y]NSN-t  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 N"8_S0=pw  
6.5总结 \n{qsf:  
习题 sArhZ[H  
参考文献 c\iA89msp  
第7章薄膜的吸收和散射测量 9^,Lc1"M>  
7.1激光量热计基本原理 j/>$,   
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 V=zi >o`   
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 &=#[(vl  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 %ZNI:Uh  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 6I1
,:nLL<  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ]%|GmtqZs,  
7.7总结 J/\V%~ 1F  
习题 lLp^Gt^}w(  
参考文献 7N-
w eX  
第8章薄膜光学常数的测量 'qjeXqGH$  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 LA@w:Fg  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 k
*Q<3@S  
8.3薄膜波导法 2W/?q!t  
8.4光学薄膜厚度的测试 ~MS\  
8.5总结 Db)?i?o}t  
习题 KMU4n-s"o  
参考文献 Tsgk/e9K2?  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 q8s0AN'@t'  
9.1薄膜的力学特性检测技术 -M[$Zy^  
9.2薄膜器件的环境试验 ^SxY IFL  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 >;L6xt3  
9.4总结 G>wqt@%r9  
习题 @c<3b2  
参考文献 -sw  .  
附录 WpF2)R}G=  
附录A复数与复数运算 <4_X P.N  
A.1复数的概念 C!Rs^/  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 u#Z#)3P  
A.3复数在物理中的运用 )+}]+xRWGj  
附录B矩陈及矩陈运算 >Y #t`6,!  
B.1矩陈的定义 _h X]%  
B.2矩陈运算 FP;Ccl"s  
附录C光的电磁理论基础 P^w
#S  
C.1振动与波 !|O~$2O@  
C.2电磁波 et,f_fd7v  
C.3麦克斯韦方程 U}MXT<6  
C.4平面电磁波 5$wpL(:R(  
C.5平面电磁波性质 JS*m65e  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 b
KrhIU[  
附录D光的干涉 3jlh}t>$l  
D.1波的叠加原理 h&Efg  
D.2杨氏干涉 Svc|0Ad&  
D.3平板的表面干涉 )=AHf?hn  
D.4光的空间相干性和时间相干性 HuwU0:*  
附录E光的偏振 7RUofcax  
E.1自然光和偏振光 `t_W2y
  
E.2偏振光与Jones矩陈 .2>p3|F  
E.3偏振光的获得 |P -8HlOr  
E.4偏振光的检验 4W3\P9p=  
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