现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ^.aEKr  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 +]2~@=<@  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 RAJ|#I1  
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第一篇光学多层膜设计 %y~]3XWik  
第1章光学薄膜特性的理论计算 krT!AfeV  
1.1单色平面电磁波 GoGgw]h>x  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 yru}f;1  
1.3光学薄膜特性的理论计算 <\Dl#DH  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 }Z%{QJ$z  
习题 o".O#^3H%  
第2章光学薄膜的设计理论 rY+1s^F  
2.1矢量作图法 t,Rn  
2.2有效界面法 X_yU"U  
2.3对称膜系的等效层 [1X5r<(W5  
2.4导纳图解技术 c35vjYQx0  
习题 :re(khZq#  
第3章光学薄膜系统的设计 E<[ bgL  
3.1减反射膜 JaN_[ou  
3.2分束镜 gG?*Fi  
3.3高反射膜 V)?g4M3}  
3.4干涉截止滤光片 ~ZIRCTQ"  
3.5带通滤光片 im%3*bv-  
3.6特殊膜系 833t0Ml1A/  
习题 .EELR]`y7I  
参考文献 8?R_O}U  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 UjK&`a;V  
第4章薄膜制备技术 LU=)\U@Q  
4.1真空淀积工艺 {:j!@w3  
4.2光学薄膜材料 V'4}9J  
4.3薄膜厚度监控艺术 "+Yn;9  
4.4膜层厚度的均匀性 _\6(4a`,  
习题 z-E4-\a  
参考文献 Z9EQ|WfS#-  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响
dQ"W~ig  
5.1薄膜的形成过程 u 9TlXn  
5.2薄膜的微观结构 `)P_X4e]`  
5.3薄膜的成分 ml/O
  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 M)RQIl5  
5.5薄膜微观结构和改善 -w0>4JDs  
习题 `h]f(  
参考文献 1Ac1CsK*  
第三篇光学薄膜检测技术 Z*B(L@H  
第6章薄膜透射率和反射率测量 oVgNG!/c0  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 VAzJclB  
6.2薄膜反射率的测试 (!=aRC.-  
6.3薄膜反射率的测量 d+)L\ `4  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 _ h-X-s Y  
6.5总结 bS"M*  
习题 p-Btbhv  
参考文献 xz'd5 re%  
第7章薄膜的吸收和散射测量 i)DXb  
7.1激光量热计基本原理 (HxF\#r?  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 EF~PM

 
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 v%Xe)D   
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 oa7Hx<Y  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Mb!^_cS(  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 1MSu]) W  
7.7总结 SW,Po>Y  
习题 5Yr$dNe  
参考文献 m$g^On  
第8章薄膜光学常数的测量 1i2w<VG1  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 )T_#X!  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 1=.?KAXR  
8.3薄膜波导法 ,:{+ H  
8.4光学薄膜厚度的测试 z$b!J$A1  
8.5总结 ]vErF=[U,  
习题 u&bU !ZI  
参考文献 +.cv,1Vx  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 {D#`+uw  
9.1薄膜的力学特性检测技术 xb\:H@92  
9.2薄膜器件的环境试验 q"oNB-bz  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 VV0$L=mo  
9.4总结 :Yqa[._AF  
习题 7L"/4w  
参考文献 e:<> Yq+  
附录 vS#]RW&j  
附录A复数与复数运算 cGKk2'v?  
A.1复数的概念 7m:,-xp  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 >d\I*"C+d  
A.3复数在物理中的运用 ,,gYU_V  
附录B矩陈及矩陈运算  j C?  
B.1矩陈的定义 IF1}}[Ht  
B.2矩陈运算 H2vEFnV  
附录C光的电磁理论基础 *Yw6UCO  
C.1振动与波 H_^c K  
C.2电磁波 Is
[0ri  
C.3麦克斯韦方程 ,~#hHhR_  
C.4平面电磁波 (Bz(KyD[  
C.5平面电磁波性质 =KLYR
UW  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 +l(}5(wc  
附录D光的干涉 CS49M  
D.1波的叠加原理 )
3  
D.2杨氏干涉 '>BHwc  
D.3平板的表面干涉 {'%=tJ[YX  
D.4光的空间相干性和时间相干性 %<t/xAge  
附录E光的偏振 @$]h[   
E.1自然光和偏振光 om6R/K  
E.2偏振光与Jones矩陈 e<K=Q$U.  
E.3偏振光的获得 7Z_iQ1  
E.4偏振光的检验 &3V4~L1aEg  
…… +8M{y D9#  
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