现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 0/7y&-/(  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 kPt9(E]  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 zmV5k  

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第一篇光学多层膜设计 5^"T`,${  
第1章光学薄膜特性的理论计算 6\MH2&L<  
1.1单色平面电磁波 E'|@hL-jn  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ?]i.Zi\[f  
1.3光学薄膜特性的理论计算 JZQT}  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 E;[ANy4L  
习题 ,2H@xji [  
第2章光学薄膜的设计理论 H5@N<v5u  
2.1矢量作图法 dgb#PxOMH  
2.2有效界面法 QLx]%
E\  
2.3对称膜系的等效层 h,:8TMJRRN  
2.4导纳图解技术 1 J3h_z6/  
习题 p~ `f.q$'  
第3章光学薄膜系统的设计 >EQd;Af  
3.1减反射膜 $O}:*.{(W  
3.2分束镜 $vlc@]~d`&  
3.3高反射膜 h{s- e.  
3.4干涉截止滤光片 }O+F#/6  
3.5带通滤光片 Ey5E1$w%&  
3.6特殊膜系 Tvd=EO  
习题 bERYC|  
参考文献 ?
k$3( -  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 GEr]zMYG[A  
第4章薄膜制备技术 Jvysvi{8  
4.1真空淀积工艺 J(CqT/Au-  
4.2光学薄膜材料 !{
@!:m3w  
4.3薄膜厚度监控艺术 ^4Ta0kDn  
4.4膜层厚度的均匀性 IuJj;L1  
习题 ?n$;l-m[  
参考文献 `(j}2X'[  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Ra\>^W6z  
5.1薄膜的形成过程 KMsm2~P  
5.2薄膜的微观结构 &yFt@g]  
5.3薄膜的成分 P{ AJH1  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 P4vW.|@  
5.5薄膜微观结构和改善 0QE2e'}}-  
习题 s`2Hf&%aZJ  
参考文献 S|U/m m  
第三篇光学薄膜检测技术 $_N<! h*\  
第6章薄膜透射率和反射率测量 HtWuZq;w  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 (h
NSzG\  
6.2薄膜反射率的测试 <a@'Pcsk  
6.3薄膜反射率的测量 vM5u]u!  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 V,=V   
6.5总结 AplXl=  
习题 T\g%.  
参考文献 Xne{:!btw  
第7章薄膜的吸收和散射测量 XP
Nk#"  
7.1激光量热计基本原理 S<Zb>9pl  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 jPG&Ypm1   
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 fL[(;KcAa  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量
U0}]3a0  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 b<UZDyN~  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 4zyy  
7.7总结 I2JE@?  
习题 T7E9
l  
参考文献 ejYJOTT{^  
第8章薄膜光学常数的测量 $E;`Y|r%WK  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ;IX3w:Aw  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 +R}(t{b#  
8.3薄膜波导法 B|#*I[4`w@  
8.4光学薄膜厚度的测试 Z_&6<1,H  
8.5总结 vJg|}]h>L  
习题 D4?qw$"  
参考文献 C!N&uNp@s  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ZRYs7 4<  
9.1薄膜的力学特性检测技术 Rg! [ic !  
9.2薄膜器件的环境试验 Z{/0P  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 *Q bPz4,"  
9.4总结 zItf>j7|Z  
习题 T9enyYt%  
参考文献 OA#AiQUR  
附录 3RpDIl`0  
附录A复数与复数运算 p;av63i  
A.1复数的概念 ?`?"j<4e  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 DJSSc  
A.3复数在物理中的运用 yE3g0@*  
附录B矩陈及矩陈运算 c!@g<<}[(  
B.1矩陈的定义 J[fjl6p  
B.2矩陈运算 _iBNy   
附录C光的电磁理论基础 Yv!%Is  
C.1振动与波 NNC@?A7  
C.2电磁波 mVGQyX  
C.3麦克斯韦方程 vluA46c  
C.4平面电磁波 ZgCG'SU  
C.5平面电磁波性质 @;m7u
  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 XBv:$F.>$  
附录D光的干涉 d)m+Hc.  
D.1波的叠加原理 pQc5'*FKd  
D.2杨氏干涉 xcO Si>  
D.3平板的表面干涉 Y>z~0$  
D.4光的空间相干性和时间相干性
$<c0Z6f  
附录E光的偏振 yRaB\'  
E.1自然光和偏振光 A$G>D3  
E.2偏振光与Jones矩陈 =\7
o@ 38  
E.3偏振光的获得 >jU.R;H5  
E.4偏振光的检验 Tvr2K84l  
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