现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 gT#hF]c:  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ,Wlw#1fP  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 B j z@X  
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第一篇光学多层膜设计 gh<2i\})'  
第1章光学薄膜特性的理论计算 W3y9>]{x^  
1.1单色平面电磁波 )|`w;F>  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 c+.?+g  
1.3光学薄膜特性的理论计算 `FRd
o  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 YjzGF=g#  
习题 N(Xg#m  
第2章光学薄膜的设计理论 H57wzG{xG  
2.1矢量作图法 Xr]<v%,C  
2.2有效界面法 gmdA1$c  
2.3对称膜系的等效层 ,`U'q|b  
2.4导纳图解技术 r(p@{L185  
习题 yBnUz"  
第3章光学薄膜系统的设计 (dQsR sA  
3.1减反射膜 2i~zAD'  
3.2分束镜 ?7\$zn)v#  
3.3高反射膜 :nn(Ndlz9  
3.4干涉截止滤光片 UUDZ  
3.5带通滤光片 ?^!: L
w  
3.6特殊膜系 vhL/L?NB$  
习题 3GM9ZPeN:  
参考文献 b9"HTQHl  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 /m8&E*+T1  
第4章薄膜制备技术 Ae^Idz  
4.1真空淀积工艺 l]F)]>AE  
4.2光学薄膜材料 \><v1x>;  
4.3薄膜厚度监控艺术 z99jW<*0  
4.4膜层厚度的均匀性 \!s0H_RJY  
习题 LHHDD\X   
参考文献 P>qDQ1  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 1MxO((
k  
5.1薄膜的形成过程 BB3wG*q  
5.2薄膜的微观结构 +~'ap'k m  
5.3薄膜的成分 *7^w}v+.  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 }J(o!2.  
5.5薄膜微观结构和改善 C0[Z>$  
习题 vl:V?-sY  
参考文献 lvk r2Meu<  
第三篇光学薄膜检测技术 H\<^p",`  
第6章薄膜透射率和反射率测量 -"/l)1ox,  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 qExmf%q:q  
6.2薄膜反射率的测试 "cx#6Bo|  
6.3薄膜反射率的测量 4<q'QU#l<  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 3mH(@-OA  
6.5总结 BOWR}n!g  
习题 9q>rUoK^  
参考文献 f~v@;/HL  
第7章薄膜的吸收和散射测量 k8O%gO  
7.1激光量热计基本原理 Z=[?Tf  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 d D;r35h=  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 :WAFBK/x  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 0/,Dy2h  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 [hXnw'Im/  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 g<jgR*TE`  
7.7总结 q+cx.Rc#  
习题 Z{rD4S@^  
参考文献 taqmtXU=(  
第8章薄膜光学常数的测量 GOj<>h}r  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 y4`uU1=  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 3B3l)eX  
8.3薄膜波导法 l@<yC-Xd  
8.4光学薄膜厚度的测试 ~WX40z  
8.5总结 3FE=?Q  
习题 K4j2xSGeo  
参考文献 CK#SD|~:  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 {B)-+0 6  
9.1薄膜的力学特性检测技术 6*%E4#4  
9.2薄膜器件的环境试验 =`fz#Mfd  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 @;g|styh^  
9.4总结 oz#;7 ?9  
习题 Fv2U@n6'v  
参考文献 rLJjK$_x  
附录 KXbD7N.  
附录A复数与复数运算 RAi]9`*7  
A.1复数的概念 ,c.(&@  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 $x|4cW2  
A.3复数在物理中的运用
kbKGGn4u  
附录B矩陈及矩陈运算 Ub%1OQ  
B.1矩陈的定义 0\
}%~e  
B.2矩陈运算 O cJ(i#Q~<  
附录C光的电磁理论基础 '1[Bbs  
C.1振动与波 *8#]3M]  
C.2电磁波 X2S:"0?7  
C.3麦克斯韦方程 K f}h{X  
C.4平面电磁波 /I
@Dv?  
C.5平面电磁波性质 <OA[u-ph%S  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 X+;{&Efrl  
附录D光的干涉 ZDt|g^  
D.1波的叠加原理 6Cz%i6)  
D.2杨氏干涉 wh)Ujgd  
D.3平板的表面干涉 Hsvu&>[`S  
D.4光的空间相干性和时间相干性 (5R_q.Wu  
附录E光的偏振  v+qHH8  
E.1自然光和偏振光 Az4a|.  
E.2偏振光与Jones矩陈 R4q)FXW29  
E.3偏振光的获得 VFjNrngl  
E.4偏振光的检验 J4>k9~q  
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