现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 j;3hQOl  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 &~6W!w  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 pyf/%9R:d  
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第一篇光学多层膜设计 )-RI  
第1章光学薄膜特性的理论计算 WZ3GI l  
1.1单色平面电磁波 *[Q
FIDn:  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 #y?iUv  
1.3光学薄膜特性的理论计算 npJyVh47  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 {p70( ]v  
习题 3fb"1z#  
第2章光学薄膜的设计理论 5Y#W$Fx($R  
2.1矢量作图法 |$)+h\h  
2.2有效界面法
.5'_5>tkv  
2.3对称膜系的等效层 Pf4b/w/  
2.4导纳图解技术 AMm)E  
习题 Pr!H>dH8o  
第3章光学薄膜系统的设计 'on8
r*  
3.1减反射膜 q>E[)\+y  
3.2分束镜 t}!Y}D  
3.3高反射膜 X<j(AAHE  
3.4干涉截止滤光片 Ul/Uk n$  
3.5带通滤光片
';\v:dP  
3.6特殊膜系 BwpSw\\?@  
习题 6^'BhHP  
参考文献 Vzs_g]V  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 wS)2ymRg  
第4章薄膜制备技术 >[D(<b(U&  
4.1真空淀积工艺 whoQA}X>  
4.2光学薄膜材料 }%@q; "9`  
4.3薄膜厚度监控艺术 gZ^'hW-{  
4.4膜层厚度的均匀性  s_p\ bl.  
习题 SFiK_;  
参考文献 A0@E^bG  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 2#1G)XI  
5.1薄膜的形成过程 \a.^5g  
5.2薄膜的微观结构 9r efv  
5.3薄膜的成分 &6#>a"?"  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ]m(C}}  
5.5薄膜微观结构和改善 y;r{0lTB  
习题 4^jIV!V  
参考文献 [ljC S  
第三篇光学薄膜检测技术 ]c=nkS  
第6章薄膜透射率和反射率测量 t 5{Y'  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 u51%~  
6.2薄膜反射率的测试 RM(MCle}  
6.3薄膜反射率的测量 3R=R k  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 TJhzyJ
"t  
6.5总结 n$03##pf  
习题 BS@x&DB  
参考文献 {j!jm5  
第7章薄膜的吸收和散射测量 YWXY4*G  
7.1激光量热计基本原理 ,1!
~@dhs  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 8F;f&&L"y  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Q
~y) V  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 l[P VWM  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 B'kV.3t  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ylo/]pVs  
7.7总结 XP|qY1  
习题 [l7 G9T}/[  
参考文献 &{5v[:$  
第8章薄膜光学常数的测量 l)m]<EX  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 RaBq@r*(
 
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 MB:VACCr  
8.3薄膜波导法 VOY#Y*)g  
8.4光学薄膜厚度的测试 `-J$7)d@  
8.5总结 ^G*zFqa+`  
习题 v1m'p:7uGB  
参考文献 {f12&t  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 5J
1q]
^  
9.1薄膜的力学特性检测技术 n-5@<y^  
9.2薄膜器件的环境试验 ?vd
_8C2B  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 K@0/iWm*  
9.4总结 ="<S1}
.  
习题 ifYC&5}SI  
参考文献 *}n)KK7aT  
附录 AvxP0@.`  
附录A复数与复数运算 RhPEda2  
A.1复数的概念 jb5nL`(j$  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 [/Figr]  
A.3复数在物理中的运用 (oiF05n h  
附录B矩陈及矩陈运算 qtQB}r8  
B.1矩陈的定义 M.(shIu!+  
B.2矩陈运算 Naqz":%.  
附录C光的电磁理论基础 y=H\Z/=  
C.1振动与波 `O'@T
rI  
C.2电磁波 V.f'Cw  
C.3麦克斯韦方程 }p <p(  
C.4平面电磁波 `~.0PnHf  
C.5平面电磁波性质 
TX%W-J_  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ,O;+fhUJ(  
附录D光的干涉 mK);NvJ!  
D.1波的叠加原理 HfN:oww  
D.2杨氏干涉 +1]xmnts  
D.3平板的表面干涉 -$8M#n,  
D.4光的空间相干性和时间相干性 rP=!!fC1;  
附录E光的偏振 NyTGvBf  
E.1自然光和偏振光 FX6*`  
E.2偏振光与Jones矩陈 J(s%"d  
E.3偏振光的获得  Du*O|  
E.4偏振光的检验 jxt^d  
…… :6
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