现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 RV+E^pkp$  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 c2*`2qK#  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 4Po)xo  
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第一篇光学多层膜设计
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第1章光学薄膜特性的理论计算 }$kQs!#  
1.1单色平面电磁波 ?WpenUWk  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ]|U-y645  
1.3光学薄膜特性的理论计算 y&oNv xG-  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 9o0!m Cq  
习题 KrcgIB8X  
第2章光学薄膜的设计理论 ?2#(jZ# 2  
2.1矢量作图法 y'}O)lO1  
2.2有效界面法 3s*(uS(  
2.3对称膜系的等效层 FT89*C)oD  
2.4导纳图解技术 q; jiw#_  
习题 i
Y0>lDFm.  
第3章光学薄膜系统的设计 SDYv(^ f ,  
3.1减反射膜 o.7{O,v  
3.2分束镜 F$MX,,4U  
3.3高反射膜 /i_ @  
3.4干涉截止滤光片 bZ 443SG  
3.5带通滤光片 6!q#x[A  
3.6特殊膜系 -#s [F S  
习题 M4m$\~zf  
参考文献 ymN!-x8q>'  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 yT8=l"-[G  
第4章薄膜制备技术 Bs;|D  
4.1真空淀积工艺 tPfFqqT  
4.2光学薄膜材料 YB,t0%vTJw  
4.3薄膜厚度监控艺术 ~1kXUWq3  
4.4膜层厚度的均匀性 +&|S'7&{  
习题 ds:->+o  
参考文献 f)Xr!7  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 IMGP
'g  
5.1薄膜的形成过程 >\Sr{p5KR  
5.2薄膜的微观结构 ve6w<3D@  
5.3薄膜的成分 hk>;pU(  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 nBItO~l  
5.5薄膜微观结构和改善 $s5a G)?7  
习题 i38[hQR9a  
参考文献 Q.U$nph\%d  
第三篇光学薄膜检测技术 @b#^ -  
第6章薄膜透射率和反射率测量 gI]GUD-  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 >vbY<HGt  
6.2薄膜反射率的测试 \ I`p|&vG  
6.3薄膜反射率的测量 ^:=f^N=^  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 h"+ `13  
6.5总结 tBATZ0nK`Q  
习题 I=DxRgt  
参考文献 >rsqH+oL  
第7章薄膜的吸收和散射测量 MrRaU x6z  
7.1激光量热计基本原理 R&f^+0%f  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 9W ^xlid6  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 'x"08v$  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 "&.S&=FlI  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 p[AO' xx  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 >slm$~rv  
7.7总结 rjx6Djo>  
习题 kzn[ =P  
参考文献 Z;l`YK^-  
第8章薄膜光学常数的测量 81LNkE,  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 mTNB88p8^D  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 k^"bLf(4  
8.3薄膜波导法 . #lsic8]  
8.4光学薄膜厚度的测试 2i{cQ96  
8.5总结 K14^JAdY/  
习题 Z6p5*+  
参考文献 ~@ jY[_  
第9章薄膜非光学特性的检测技术
KJ2Pb"s  
9.1薄膜的力学特性检测技术 $Fkaa<9;P  
9.2薄膜器件的环境试验 b89a)k>^g  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 }Ew hj>w  
9.4总结 rKH:[lKm  
习题 )rW&c-'  
参考文献 Isy'{-H  
附录 u9+kLepOT  
附录A复数与复数运算 ZK;zm  
A.1复数的概念
Q6gt+FKU9  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 j]|U  
A.3复数在物理中的运用 %p^.|Me7  
附录B矩陈及矩陈运算
dovZ#D@Q  
B.1矩陈的定义 S"Lx%  
B.2矩陈运算 M-)RQ-h  
附录C光的电磁理论基础 (+uj1z^  
C.1振动与波 L(T12s  
C.2电磁波  qy)_wM  
C.3麦克斯韦方程 $$b 9&mTl#  
C.4平面电磁波 &k-Vcrcz  
C.5平面电磁波性质 #U8rO;$  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 <fCKUc  
附录D光的干涉 2{-ZD ,(u7  
D.1波的叠加原理 0Wa}<]:^  
D.2杨氏干涉 o<IAeH {+  
D.3平板的表面干涉 )-*5v D  
D.4光的空间相干性和时间相干性 H~ZV*[A`  
附录E光的偏振 76hOB@  
E.1自然光和偏振光 bVP"(H]  
E.2偏振光与Jones矩陈 n  -(  
E.3偏振光的获得 _iNq"8>2  
E.4偏振光的检验 ljl^ GFo  
…… K\"R&{+=
 
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