现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 >bKN$,Qen  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 b r"47
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 UR/lM,N;  
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第一篇光学多层膜设计 n1X.]|6'  
第1章光学薄膜特性的理论计算 SiD [54OM  
1.1单色平面电磁波 U%swqle4  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 %&c+}m  
1.3光学薄膜特性的理论计算 &&N]u e@>  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 R'#[
}s  
习题 _x.!, g{  
第2章光学薄膜的设计理论 ur'a{BI2R  
2.1矢量作图法 )PM&x   
2.2有效界面法 ews4qP  
2.3对称膜系的等效层 $"+ahS<?tC  
2.4导纳图解技术 EF7Y4lp  
习题 1LgzqRq  
第3章光学薄膜系统的设计 jIZ
pv|t)  
3.1减反射膜
JN{.-k4Ha  
3.2分束镜 eiL  ;  
3.3高反射膜 /$'R!d5r
 
3.4干涉截止滤光片 yQ33JQr  
3.5带通滤光片 ``~7z;E%@  
3.6特殊膜系 E~=`Ac,G2  
习题 [")3c)OH|  
参考文献 @O;gKFx  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 z|VQp,ra  
第4章薄膜制备技术 _uvRC+~R  
4.1真空淀积工艺 QEl:>HG  
4.2光学薄膜材料 4g}eqW  
4.3薄膜厚度监控艺术 NJEubC?  
4.4膜层厚度的均匀性 mk)F3[ke  
习题 __}j {Buk  
参考文献 AE:IXP|c  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 (lDbArq
y  
5.1薄膜的形成过程 +doZnU,  
5.2薄膜的微观结构 B(x$ Ln"y[  
5.3薄膜的成分 GqFDN],Wp  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 xLfx/&2  
5.5薄膜微观结构和改善 e8HGST`  
习题 V~V_+  
参考文献 [B}$U|V0  
第三篇光学薄膜检测技术 eq0&8/=  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ;~&F}!pQ  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 CJ*8x7-t  
6.2薄膜反射率的测试 f'hrS}e  
6.3薄膜反射率的测量 b)+;#m  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 j@jaFsX|  
6.5总结 gr\UI!]F  
习题 MHs2UN  
参考文献 dgLE/r?  
第7章薄膜的吸收和散射测量 +tbG^w%  
7.1激光量热计基本原理 w1Z9@*C!  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 qpo3b7(N  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 b?6-lYE>L  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 I]HrtI  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 t'msgC6=>u  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 OH2Xxr[bQ  
7.7总结 N5>ioJj  
习题 D
0'L  
参考文献 0n5{Wr$  
第8章薄膜光学常数的测量 :'*;>P .(  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 f(Vr&X  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 /%E X4 W  
8.3薄膜波导法 |9YY8oT.  
8.4光学薄膜厚度的测试 -YF]k}|  
8.5总结 ~x:\xQti  
习题 0 K T.@P  
参考文献 Z=VAjJ;i[  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ZPrL)']  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ~j%g?;#*  
9.2薄膜器件的环境试验 8lG@8tbW^  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 E$B7E@(U  
9.4总结 EbEQ@6t  
习题 rkdf htpI  
参考文献 vbH?[Zr?  
附录 ?`wO \>y  
附录A复数与复数运算 2Zf}t  
A.1复数的概念 A*;I}F  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 V)[ta`9  
A.3复数在物理中的运用 PQ6.1}  
附录B矩陈及矩陈运算 [)K?e!c8  
B.1矩陈的定义 q)Qd+:a7{  
B.2矩陈运算 V`F]L^m=L  
附录C光的电磁理论基础 PL;PId<9w  
C.1振动与波 wR)U&da`@  
C.2电磁波 1C,=1bY  
C.3麦克斯韦方程 CCZ'(Tkq  
C.4平面电磁波 gXrPZ|iS  
C.5平面电磁波性质 X rBe41  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 DG2CpR)S  
附录D光的干涉 $ {Y?jJ  
D.1波的叠加原理 JHF<vyt5<  
D.2杨氏干涉 ,,U8X [A  
D.3平板的表面干涉 CC?L~/gPN  
D.4光的空间相干性和时间相干性 0K+a/G@ n\  
附录E光的偏振 A1VbqA  
E.1自然光和偏振光 >A'Q9Tia;  
E.2偏振光与Jones矩陈 2vb{PQ  
E.3偏振光的获得 PtfxF]%H  
E.4偏振光的检验 m tPmVze  
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