现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ,Oe:SZJ>  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 zd/kr  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 >wb Uxl%{5  
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第一篇光学多层膜设计 3&mpn,  
第1章光学薄膜特性的理论计算 G"w [>m  
1.1单色平面电磁波 O_]hbXV0  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 sUU[QP-  
1.3光学薄膜特性的理论计算 [+Fajo;0  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 d0-4
KN2  
习题 tQas_K5  
第2章光学薄膜的设计理论 @JGFG+J}  
2.1矢量作图法 5RAhm0Op~.  
2.2有效界面法 -K3d u&j  
2.3对称膜系的等效层 p6V#!5Q  
2.4导纳图解技术 5z =}o/?  
习题 OTl9MwW  
第3章光学薄膜系统的设计 %-a;HGbZn  
3.1减反射膜 @T:J<,  
3.2分束镜 "YaT1`Kr  
3.3高反射膜 @<`V q  
3.4干涉截止滤光片 QO^V@"N  
3.5带通滤光片 Qj|rNeM_  
3.6特殊膜系 lrj&60R`w  
习题 @Pf9;7,TV  
参考文献 h3-^RE5\`S  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 6~Dyr82"B  
第4章薄膜制备技术 ` Nf  
4.1真空淀积工艺 S~)`{ \  
4.2光学薄膜材料 eh> |m>JY  
4.3薄膜厚度监控艺术 >I/@GX/  
4.4膜层厚度的均匀性 .$7RF!p  
习题 M[~{!0Uz g  
参考文献 Y[]I!Bc  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 _",<at  
5.1薄膜的形成过程 1y\bJ  
5.2薄膜的微观结构 1Iy1xiP  
5.3薄膜的成分 W@ &a  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 :9av]Yv&  
5.5薄膜微观结构和改善 %S%IW  
习题 <b.p/uA  
参考文献 Hqs!L`oW)  
第三篇光学薄膜检测技术 ')0@J`  
第6章薄膜透射率和反射率测量 *hru);OJr  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 $}{[_2  
6.2薄膜反射率的测试 1ANFhl(l  
6.3薄膜反射率的测量 URs]S~tk  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 }I-nT!D'y  
6.5总结 &a=78Z  
习题 w%s];EE  
参考文献 v/9DD%An  
第7章薄膜的吸收和散射测量 <D3mt Q  
7.1激光量热计基本原理 r7oF
G!.?  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ?'Hd0)yZ  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 3>^]r jFw  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 Jx~H4y=z  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 8toOdh  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 &3Yj2
Fw  
7.7总结 V:'F_/&X?  
习题 "~0`4lo:Xo  
参考文献 2.I|8d[  
第8章薄膜光学常数的测量 }oA>0Nw$K  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Jw8?o/1D@  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 nj:w1E/R  
8.3薄膜波导法 tE_n>~Zs  
8.4光学薄膜厚度的测试 r dSL  
8.5总结 w2UEU5%  
习题 RrvC}9ar  
参考文献 `(h
^z>%  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ^!\AT!
OT  
9.1薄膜的力学特性检测技术 38D5vT)n  
9.2薄膜器件的环境试验 ~HhB@G!3  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 tiE|%jOzt  
9.4总结 +^+'.xQ  
习题 Y|Q(JX  
参考文献 Fz';H  
附录 ^;<d<V}*  
附录A复数与复数运算  ?bVIH?  
A.1复数的概念 o+&Om
~W  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Gmi?xGn  
A.3复数在物理中的运用 p|.5;)%|  
附录B矩陈及矩陈运算 4qp|g'uXT  
B.1矩陈的定义 $QwpoVp`~  
B.2矩陈运算 Mq)]2>"v  
附录C光的电磁理论基础 +1YEOOfVY  
C.1振动与波 OQ hQ!6  
C.2电磁波 <
+g77NL  
C.3麦克斯韦方程 XDJE]2^52?  
C.4平面电磁波 k:Y\i]#yP  
C.5平面电磁波性质 =~hb&  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 38p"lT  
附录D光的干涉 #| _VN %!  
D.1波的叠加原理 KCyV |,+n  
D.2杨氏干涉 QR#>Ws  
D.3平板的表面干涉 XJ\R'?j  
D.4光的空间相干性和时间相干性 'Og@<~/Xy  
附录E光的偏振
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E.1自然光和偏振光 IZj`*M%3  
E.2偏振光与Jones矩陈 TPJF?.le '  
E.3偏振光的获得 cyJ{AS+  
E.4偏振光的检验 HvG %
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