现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 #XK2Ien)Z  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 &9/O!3p)  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 X"MB|Ny  

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第一篇光学多层膜设计 r[1i*b$  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ADZ};:]  
1.1单色平面电磁波 Rn#KfI:{  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 tzZ63@cm  
1.3光学薄膜特性的理论计算 jNe`;o  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 "rTQG6`  
习题 ot@|!V  
第2章光学薄膜的设计理论 Q*~LCtrI  
2.1矢量作图法 -7m:91x  
2.2有效界面法 "b?v?V0%C  
2.3对称膜系的等效层 [N1hWcfvd  
2.4导纳图解技术 mt9.x  
习题 m_hN*v Py  
第3章光学薄膜系统的设计 l;af~ef)'  
3.1减反射膜 W>!_|[a  
3.2分束镜 tc_286'x  
3.3高反射膜 pqUCqo!m\  
3.4干涉截止滤光片  R=.4  
3.5带通滤光片 ?MXejE
C  
3.6特殊膜系 `L:CA5sBud  
习题 U QE qX  
参考文献 =,%CLS,6w  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 C?ulj9=Z  
第4章薄膜制备技术 l6(-I Tb  
4.1真空淀积工艺 ^?$W
VB  
4.2光学薄膜材料 P
-`M  
4.3薄膜厚度监控艺术 CQwL|$)]Y  
4.4膜层厚度的均匀性 5'0xz.)!  
习题 U ?'vXa  
参考文献 A3vUPWdDk  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 |M8WyW  
5.1薄膜的形成过程 t(GR)&>.2  
5.2薄膜的微观结构 ktnuNsp  
5.3薄膜的成分 K6y :mJYp\  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ~UyV<  
5.5薄膜微观结构和改善 }>)@WL:q  
习题 JBZUv  
参考文献 MWI4Y@1bS  
第三篇光学薄膜检测技术 dp++%:j  
第6章薄膜透射率和反射率测量 6Ztq  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 :q ti  
6.2薄膜反射率的测试 0~HKiH-  
6.3薄膜反射率的测量 6``'%S'#  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 D
vPlV q~  
6.5总结 @lCJ G!u  
习题 ".SJ~`S  
参考文献 <F'X<Bau  
第7章薄膜的吸收和散射测量 .U"8mP=&  
7.1激光量热计基本原理 wtmB+:I  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 KQ`qpX^d  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Qhs/E`k4  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 0OT\"O~S[  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 /D5`  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 76V 6cI=+  
7.7总结 Vm5c+;  
习题 ]BtbWKJBqe  
参考文献 *4U^0e  
第8章薄膜光学常数的测量 0ge$ p,  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 BJgW,huLy  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 wUiys/OVM  
8.3薄膜波导法 i O
/K nH  
8.4光学薄膜厚度的测试 WJNl5^  
8.5总结 +zrAG24q  
习题 XQ%?  
参考文献 n8uv#DsdK  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 SF}<{x_  
9.1薄膜的力学特性检测技术 7@Zx@  
9.2薄膜器件的环境试验 [vMvV4,  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 fBgEnz/  
9.4总结 GM<BO8Y.  
习题 ebS0qo[oLH  
参考文献 `(v='$6}  
附录 gzBy?r> r  
附录A复数与复数运算 `6 /$M!4$  
A.1复数的概念 tniDF>Rb  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 xY+VyOUs  
A.3复数在物理中的运用 .Q@S #d  
附录B矩陈及矩陈运算 {88gW\GL  
B.1矩陈的定义 YoN*:jB<M  
B.2矩陈运算 p/JL9@:'  
附录C光的电磁理论基础 cE`6uq7p  
C.1振动与波 %|^OOU}  
C.2电磁波 nl(
WJKq'  
C.3麦克斯韦方程 )+6v  
C.4平面电磁波 o;W`4S^  
C.5平面电磁波性质 G P:FSprP  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 89n:)|rWq  
附录D光的干涉 `W dD8E  
D.1波的叠加原理
CbPuoOl  
D.2杨氏干涉 %FS$zOsgGK  
D.3平板的表面干涉 #VB')^d<U  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Ma'_e=+A  
附录E光的偏振 V$"ujRp  
E.1自然光和偏振光 VOc8q-hK  
E.2偏振光与Jones矩陈 FP0G]=ME  
E.3偏振光的获得 fV v.@HL{  
E.4偏振光的检验 rsF\JQk  
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