现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 B~aOs>1 S]  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 5]Ra?
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 \|pAn  
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第一篇光学多层膜设计 '-S&i{H  
第1章光学薄膜特性的理论计算 M"vcF5q  
1.1单色平面电磁波 I>3]4mI*a  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 1;xw)65  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ]dK]a:S  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 aK&+p#4t  
习题 B0 I
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第2章光学薄膜的设计理论 '=~y'nPG7  
2.1矢量作图法 pzax~Vp  
2.2有效界面法 )e2IT*7  
2.3对称膜系的等效层 PJYA5"}W  
2.4导纳图解技术 /T(\}Z  
习题 1b7xw#gLx  
第3章光学薄膜系统的设计 sKuTG93sr@  
3.1减反射膜 }>w  
3.2分束镜 xI4I1"/  
3.3高反射膜 9aU:[]w   
3.4干涉截止滤光片 ._&lG3'  
3.5带通滤光片 HV9SdJOf  
3.6特殊膜系 ],YYFU}  
习题 pu:D/2R2;k  
参考文献 :|M/+XPu  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 \zI&n &T  
第4章薄膜制备技术 QP[a^5;Tt  
4.1真空淀积工艺 pG(
 knu  
4.2光学薄膜材料 w&"w"  
4.3薄膜厚度监控艺术 ;F""}wzn  
4.4膜层厚度的均匀性 05KoxFO?  
习题 @."o:K  
参考文献 ]k:m2$le  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ]jb4Z  
5.1薄膜的形成过程 {g- DM}q  
5.2薄膜的微观结构 1D[P\r-  
5.3薄膜的成分 y,&M\3A  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 {?mQqoZ?.  
5.5薄膜微观结构和改善 =]QH78\3  
习题 w;EXjl;X O  
参考文献 <gdgcvd  
第三篇光学薄膜检测技术 K~8tN,~&  
第6章薄膜透射率和反射率测量 dl6v <  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 daIL> c"  
6.2薄膜反射率的测试 8KtgSash  
6.3薄膜反射率的测量 ~Ex.
Yp8.  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 E)O|16f|>  
6.5总结 HQ3`:l
 
习题 ZGpTw[5ql  
参考文献 .Sr:"SrT  
第7章薄膜的吸收和散射测量 )SX6)__  
7.1激光量热计基本原理 K`,d$  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 U[QD!  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 OJsd[l3xR  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 PGPbpl&\t  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 `f+8WPJPZ  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 [-t> G!)  
7.7总结 =/g$bZ  
习题 Yc82vSG'  
参考文献 0O#B
'Uu  
第8章薄膜光学常数的测量 WjrMd#^  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 vzcBo%  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 >_`D3@Rz  
8.3薄膜波导法 >yBxa)  
8.4光学薄膜厚度的测试 F[kW:-ne@Z  
8.5总结 ,B%fjcn  
习题 o? i.v0@!K  
参考文献 *?bk?*?s  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 oKYhE  
9.1薄膜的力学特性检测技术 Z|(c(H2  
9.2薄膜器件的环境试验 )4~sQ^}  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 6%.  
9.4总结 BY*2yp}7  
习题 Dk`4bYK  
参考文献 !(*a+ur&i  
附录 +l
W}ixt  
附录A复数与复数运算 ,MM>cOQ  
A.1复数的概念 ;4G\]%c)E{  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 3kiE3*H  
A.3复数在物理中的运用 l+2cj?X  
附录B矩陈及矩陈运算 (9}eF)+O  
B.1矩陈的定义 qB F!b0lr  
B.2矩陈运算 I/HV;g:#  
附录C光的电磁理论基础 yQZ/,KX  
C.1振动与波 r]8x;v1  
C.2电磁波 b0YiQjS6>  
C.3麦克斯韦方程 3e%l8@R@  
C.4平面电磁波 Or+*q91j  
C.5平面电磁波性质 (/U)>%n  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 q9^Y?`  
附录D光的干涉 %{7_E*I@n  
D.1波的叠加原理 "Ap$Jl B
 
D.2杨氏干涉 d1V^2Hb?  
D.3平板的表面干涉 n @&"+  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ]
3t1=+  
附录E光的偏振 v7;J%9=0D`  
E.1自然光和偏振光 )'[x)q  
E.2偏振光与Jones矩陈 Q(|PZng  
E.3偏振光的获得 1E
5a(  
E.4偏振光的检验
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