现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 TC<@e<-%Sq  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 wQRZ"ri,  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 rD*sl}  

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第一篇光学多层膜设计 48Mp
f=f`  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ,mj@sC>  
1.1单色平面电磁波 X$yN_7|+  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ai{Sa U  
1.3光学薄膜特性的理论计算 S%Us5`sd  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 yV"ZRrjO'Z  
习题 e#E2>Bj;  
第2章光学薄膜的设计理论 '7oA< R  
2.1矢量作图法 v$N
|"o""  
2.2有效界面法 4n4?4BEn  
2.3对称膜系的等效层 2Y7)WPn  
2.4导纳图解技术 0X^Ke(/89  
习题 4T=u`3pD7l  
第3章光学薄膜系统的设计 9k6r_G"  
3.1减反射膜 n(el]_d  
3.2分束镜 Yh>]-SCw  
3.3高反射膜 ?]x|Zy  
3.4干涉截止滤光片 Pcw6!xH  
3.5带通滤光片 +-G<c6 |  
3.6特殊膜系 f-%NaTI  
习题 !&"<oPjr+  
参考文献 4fKC6UR  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 "70WUx(\t  
第4章薄膜制备技术 Jm42b4  
4.1真空淀积工艺 >ss/D^YS  
4.2光学薄膜材料 65Cg]Dt71  
4.3薄膜厚度监控艺术 HB7;0yt`:  
4.4膜层厚度的均匀性 vPD]hs  
习题 OD5m9XS  
参考文献 =XY\iV1J*  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 g]c6&Y,#  
5.1薄膜的形成过程 oIefw:FE,a  
5.2薄膜的微观结构 ^g`&7tX  
5.3薄膜的成分 d,=r9.  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 BN4_:  
5.5薄膜微观结构和改善 kP?KXT3y  
习题 GxKqD;;u?=  
参考文献 FD8
N"p  
第三篇光学薄膜检测技术 -k"^o!p  
第6章薄膜透射率和反射率测量 IhA*"  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 vo#UtN:q  
6.2薄膜反射率的测试 V?=8".GiX  
6.3薄膜反射率的测量 DuOG {
 
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 %b"\bHH  
6.5总结 @0SC"CqM  
习题 TqddOp  
参考文献 19j+lCSvH  
第7章薄膜的吸收和散射测量 :Cp'm'omb  
7.1激光量热计基本原理 Grk@dZI  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 R<=zCE`:  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 `4~H/'%QB  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 tz&y*e&  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 afb+GA!  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 4'LB7}WG  
7.7总结 9s_,crq5  
习题 yfC^x%d7G  
参考文献 k+DR]icv  
第8章薄膜光学常数的测量 zBe8,, e  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 T"0,r$
3:  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Xt
'sQ}  
8.3薄膜波导法 ?IGVErnJJC  
8.4光学薄膜厚度的测试 a@0BBihz  
8.5总结 aM$W*-Y  
习题 I;1lX L  
参考文献 A21N|$[  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ryFxn|4  
9.1薄膜的力学特性检测技术 #Z<a  
9.2薄膜器件的环境试验 #2EI\E&$  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 `8
Lo{P  
9.4总结 ]TyisaT  
习题 .({smN,B
  
参考文献 Ey4z.s'-l  
附录 P'O#I}Dmw<  
附录A复数与复数运算 = hN !;7G  
A.1复数的概念 Qx'`PNU9\  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 C(K; zo*S(  
A.3复数在物理中的运用 xQ'2BA
Ea  
附录B矩陈及矩陈运算 P:N1#|g  
B.1矩陈的定义 HuVJ\%.  
B.2矩陈运算 s$a09x  
附录C光的电磁理论基础 !eUDi(  
C.1振动与波 >~Qr  
C.2电磁波 RJ$7XCY%`*  
C.3麦克斯韦方程
fa<v0vb+  
C.4平面电磁波 G2^et$<{uU  
C.5平面电磁波性质 tyDM'|p  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 -k7X:!>QHC  
附录D光的干涉 [u._q:A  
D.1波的叠加原理 Rv/Bh<t  
D.2杨氏干涉 D11F.McM  
D.3平板的表面干涉 3yNU$.g  
D.4光的空间相干性和时间相干性 A2nqf^b{#  
附录E光的偏振 %:2+ o'  
E.1自然光和偏振光 UAyC.$!  
E.2偏振光与Jones矩陈 >(snII  
E.3偏振光的获得 &RTX6%'KY  
E.4偏振光的检验 =k oSUVO0  
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