现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 YCB 3  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Lm*LJ_+ B  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 >;'1k'  

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第一篇光学多层膜设计 {^$"/hj  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ;5oH6{7_Z  
1.1单色平面电磁波 4G;`KqR@  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 qq9tBCk

 
1.3光学薄膜特性的理论计算 qLW-3W;WUH  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 y/sWy1P7  
习题 {z[HNSyRs  
第2章光学薄膜的设计理论 Am=PUQF$  
2.1矢量作图法 ?j4,^K3  
2.2有效界面法 l&^[cR  
2.3对称膜系的等效层 [>Kxm  
2.4导纳图解技术 o%~K4 M".  
习题 JmJ,~_  
第3章光学薄膜系统的设计 C@?e`=9(  
3.1减反射膜 #:\+7mCF  
3.2分束镜 H;7H6fyZ  
3.3高反射膜
ZV<y=F*~f  
3.4干涉截止滤光片 CQuvbAo  
3.5带通滤光片 -_4jJxh=OB  
3.6特殊膜系 k#=leu"I  
习题 ;,B@84'  
参考文献 l& ^B   
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ;'
18  
第4章薄膜制备技术 ;k41+O:f@  
4.1真空淀积工艺 >'1Q"$;  
4.2光学薄膜材料 v!'@NW_  
4.3薄膜厚度监控艺术 OB i!fLa  
4.4膜层厚度的均匀性 CD<u@l,1  
习题 'm!11Phe  
参考文献 wPO@f~[Ji  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 e/% ;  
5.1薄膜的形成过程 36Z`.E>~L  
5.2薄膜的微观结构 Boj{+rE0  
5.3薄膜的成分 D>x'3WYR  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 T#^6u)  
5.5薄膜微观结构和改善 BLH3$*,H  
习题 cCbr-Z&  
参考文献 S| -{wC%  
第三篇光学薄膜检测技术 -I-&<+7v  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Sl<-)a:  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 &fy8,}  
6.2薄膜反射率的测试 vls> 6h  
6.3薄膜反射率的测量 0JRBNh  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 1H[;7@o$e  
6.5总结 |v'5*n9  
习题 \w_[tPz}  
参考文献 eD1MP<>h  
第7章薄膜的吸收和散射测量 z4fK{S  
7.1激光量热计基本原理 ?d#(ian  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 yh
n $4;m  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 IlL   
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 5'Ay@FJ:  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 l3|>*szX  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 +~k,4  
7.7总结 9C~GL,uKs  
习题 <:7e4#  
参考文献 \*"0wR;[K  
第8章薄膜光学常数的测量 9/KQAc*  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 8=Y|B5  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 J& SuUh<  
8.3薄膜波导法 ~4` ec   
8.4光学薄膜厚度的测试 5.HztNL  
8.5总结 *7V{yK$O|  
习题 B=/=U7T  
参考文献 $/#)  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 g\nL n#  
9.1薄膜的力学特性检测技术 acZ|H  
9.2薄膜器件的环境试验 +hhbp'%  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 \mit&EUh}  
9.4总结 pR7G/]U$A  
习题 pG=zGx4  
参考文献 "MP{z~Mmj  
附录 Yy~Dg  
附录A复数与复数运算 2-2LmxLG  
A.1复数的概念 pnb
$lpxt  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 xT(.#9  
A.3复数在物理中的运用 XxQ2g&USk  
附录B矩陈及矩陈运算 'N/%SRk  
B.1矩陈的定义 n,%^R  
B.2矩陈运算 8(K~QvE~  
附录C光的电磁理论基础 >Nqkz?67  
C.1振动与波 =n?@My?;  
C.2电磁波 #
!j&L6  
C.3麦克斯韦方程 5d;K.O  
C.4平面电磁波 [beuDZA  
C.5平面电磁波性质 g+{MvSj$  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 r 24]2A  
附录D光的干涉 ;b2>
y>?[  
D.1波的叠加原理 UM^hF%  
D.2杨氏干涉 l%w|f`B:  
D.3平板的表面干涉 L7'n<$F  
D.4光的空间相干性和时间相干性 *g.,[a0  
附录E光的偏振 r2`?Ta  
E.1自然光和偏振光 !}m8]&  
E.2偏振光与Jones矩陈 KA[Su0  
E.3偏振光的获得 F&Z>B};  
E.4偏振光的检验 }z@hx@N/  
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