现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 LvhF@%(9J  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 in(n[K  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 [ivJ&'vB  
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第一篇光学多层膜设计 E2!;W8M  
第1章光学薄膜特性的理论计算 w4RP*Da?:  
1.1单色平面电磁波 dRas9g  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 WoesE:NiR  
1.3光学薄膜特性的理论计算 v\$XhOK  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ^9qncvV
 
习题 *RN*Bh|$  
第2章光学薄膜的设计理论 XW5r@
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2.1矢量作图法 l&;#`\s!V  
2.2有效界面法 RrKs!2sCT  
2.3对称膜系的等效层 7Q
Q1oPV  
2.4导纳图解技术 >*vI:MG8  
习题 9QWS[E4  
第3章光学薄膜系统的设计 X(g<rz1J]  
3.1减反射膜 R"=G?d)  
3.2分束镜 ;h0?o*i_  
3.3高反射膜 ,f}s!>j  
3.4干涉截止滤光片 .CwMxuW  
3.5带通滤光片 7}TjOWC  
3.6特殊膜系  yZdM4`  
习题  1=W>zC  
参考文献 k@KX=mG<  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 CO5?UgA  
第4章薄膜制备技术 jDy  
4.1真空淀积工艺 rf^1%Zo:  
4.2光学薄膜材料 t4F1[P  
4.3薄膜厚度监控艺术 FkKx~I:  
4.4膜层厚度的均匀性 nyT
fTn  
习题 1w1(FpQO.  
参考文献 g0_8:Gs}^  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 l,,5OZw  
5.1薄膜的形成过程 U2@?!B[\d`  
5.2薄膜的微观结构 >E[cl\5$E  
5.3薄膜的成分 =(.HO:#  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 MLId3#Q  
5.5薄膜微观结构和改善 eUx|_*`  
习题 d}ue/hdw  
参考文献 pkBmAJb@  
第三篇光学薄膜检测技术 Q]IpHNt[>  
第6章薄膜透射率和反射率测量 U,aV{qz  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 NWb,$/7T  
6.2薄膜反射率的测试 )6IO)P/Q~  
6.3薄膜反射率的测量 NWv1g{M  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 LGRX@nF#  
6.5总结 '0/t|V<  
习题 M2vYOg`t:c  
参考文献 Z`q?pE>R  
第7章薄膜的吸收和散射测量 F4Z+)'oDr,  
7.1激光量热计基本原理 CbI[K|  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 dM#\h*:=  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 !XzRV?Ih;  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 =#
n|t[h-  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 a|lcOU  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 wGLZzqgq  
7.7总结 p>65(&N,  
习题 vSPkm)O0)  
参考文献 C+*: lLY  
第8章薄膜光学常数的测量 DoNbCVZ  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 @<AyCaU`.  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 &*[T
 
8.3薄膜波导法 VmV/~-<Z  
8.4光学薄膜厚度的测试 fZT=q^26  
8.5总结 F0+u#/#  
习题 >$?$&+e}  
参考文献 fh}\#WE"  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ?uOdqMJV  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ^'6!)y#  
9.2薄膜器件的环境试验 `NyvJt^<  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 U]d{hY."  
9.4总结 rFdq \BSi  
习题 #R'm|En'  
参考文献 qmv%N  
附录 %0$$tS +  
附录A复数与复数运算 g' H!%<  
A.1复数的概念 =<n+AqJ%  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 N3 07lGb  
A.3复数在物理中的运用 zD7\Gv  
附录B矩陈及矩陈运算 $Rd74;edn  
B.1矩陈的定义 k0!b@ c  
B.2矩陈运算 :TX!lbCq  
附录C光的电磁理论基础 IF$f^$  
C.1振动与波 _l{GHz  
C.2电磁波 e>z3\4  
C.3麦克斯韦方程 /i"L@t)\t  
C.4平面电磁波 Y!Wz7 C  
C.5平面电磁波性质 j<Lj1P3  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 x.xfMM2n  
附录D光的干涉 7M=`Z{=9  
D.1波的叠加原理 PIsMx-i0  
D.2杨氏干涉 : H0+}=  
D.3平板的表面干涉 o!gl :izb  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ~4`LOROC  
附录E光的偏振 iRBUX`0  
E.1自然光和偏振光 Qt+ K,LY  
E.2偏振光与Jones矩陈 59FAhEg  
E.3偏振光的获得 Qf6Vj,~N  
E.4偏振光的检验 -c~nmPEG6  
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