现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 WW@d:R  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ~RD+.A  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 cGwf!hA  
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第一篇光学多层膜设计 BQ jK8c<  
第1章光学薄膜特性的理论计算 [0UGuj
  
1.1单色平面电磁波 Pe2wsR"_U  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 Cb:gH}j  
1.3光学薄膜特性的理论计算 RJeSi`19T)  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 7_# 1Ec|;  
习题 5IKL#V`3a  
第2章光学薄膜的设计理论 ="d*E/##  
2.1矢量作图法 Y\=FLO9  
2.2有效界面法 \sA*V%n  
2.3对称膜系的等效层 &J!aw  
2.4导纳图解技术 |/ }\6L]  
习题 RL[E X5U  
第3章光学薄膜系统的设计 F6hmku>\1  
3.1减反射膜 vOgC>_x7  
3.2分束镜 8by@iQ  
3.3高反射膜 }!TL2er_  
3.4干涉截止滤光片 AddeaB5<  
3.5带通滤光片 ?U7) XvQ  
3.6特殊膜系 V|>oGtt7  
习题 T$=4O9G  
参考文献 J`*iZvW#Bx  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 C_LvZ=  
第4章薄膜制备技术 {k(eNr,  
4.1真空淀积工艺 >ulY7~wUv  
4.2光学薄膜材料
(3dPLp:K  
4.3薄膜厚度监控艺术 ueG|*[  
4.4膜层厚度的均匀性 ~}DQT>7$  
习题 Yct5V,X^  
参考文献 n,O5".aa<  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 4ujvD^  
5.1薄膜的形成过程 jKIc09H|  
5.2薄膜的微观结构 y}08~L?2  
5.3薄膜的成分 @uH#qg7  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 W9zE{)Sc~  
5.5薄膜微观结构和改善 c6Q(Ygc  
习题 >\A8#@1  
参考文献 H0"=Vs,n  
第三篇光学薄膜检测技术 $ex!!rqN|  
第6章薄膜透射率和反射率测量 iGXBqUQ:  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 -p-0;Hy  
6.2薄膜反射率的测试 Cz^Q5F`  
6.3薄膜反射率的测量 Zt E##p  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 a1N!mQ^  
6.5总结 B8I4[@m>w\  
习题 W2wpcc  
参考文献 _w ]4~V9  
第7章薄膜的吸收和散射测量 1f(DU4h  
7.1激光量热计基本原理 N6Z{BLZ  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 s4T}Bsr  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 RD<75]**{  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ;2giZ\  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 iz"3\{aN  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 Z%gx%$  
7.7总结 y~<@x.  
习题 AN9[G  
参考文献 'q%%m/,VPQ  
第8章薄膜光学常数的测量 ,,=apyr#&  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 v@EQ^C2.&  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 gd6Dm4q(  
8.3薄膜波导法 Ov9Q?8KzM  
8.4光学薄膜厚度的测试 @=uN\) 1  
8.5总结 '7Ig.K&  
习题 *9gD*AnM,  
参考文献 CL7Nr@  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 W$?e<@  
9.1薄膜的力学特性检测技术 #^mqQRpgq  
9.2薄膜器件的环境试验 R21~Q:b!  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 kB\kpW  
9.4总结 eK`PxoTI-I  
习题 O%1/r*  
参考文献 #2%([w  
附录 keqcV23k  
附录A复数与复数运算 %c6E-4b  
A.1复数的概念 0-2"FdeQU  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 yFpySvj}  
A.3复数在物理中的运用 i</J@0}y  
附录B矩陈及矩陈运算 @Z\~  
B.1矩陈的定义 mrZ`Lm#>pS  
B.2矩陈运算 &$ p[  
附录C光的电磁理论基础 7!2 HNg  
C.1振动与波 t<b3K-  
C.2电磁波 #o[\Dwu  
C.3麦克斯韦方程 E8/rZ~0O~  
C.4平面电磁波 YL^Z4: p  
C.5平面电磁波性质 Rrqg[F+  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 OV5e#AOy)  
附录D光的干涉 J4yt N3  
D.1波的叠加原理 ,86K  
D.2杨氏干涉 MTmO>V&O  
D.3平板的表面干涉 `mB.pz[
 
D.4光的空间相干性和时间相干性 )mkS5j`5\  
附录E光的偏振 7U:=~7GH  
E.1自然光和偏振光 W(&6  
E.2偏振光与Jones矩陈 zLek&s&-  
E.3偏振光的获得 l_+A5Xy  
E.4偏振光的检验 5}a"?5J^  
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