现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 98h :X%  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Lp!0H `L  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 "wC0eDf  
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第一篇光学多层膜设计 48H5_9>:  
第1章光学薄膜特性的理论计算 3_C98ClE  
1.1单色平面电磁波 F9v)R#u~  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 =obt"K%n  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ?ISI[hoc  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 A\Lr<{Jh  
习题 sE^ns\&QP=  
第2章光学薄膜的设计理论 'lxLnX  
2.1矢量作图法 ~Ry $>n*/  
2.2有效界面法 H U:1f)aa  
2.3对称膜系的等效层 ! Zno[R  
2.4导纳图解技术 f%vHx,
  
习题 BvSdp6z9Iv  
第3章光学薄膜系统的设计 b=V)?"e-  
3.1减反射膜 jkZ_c!  
3.2分束镜 mgk64}K[n  
3.3高反射膜 r(PJ~8)(=  
3.4干涉截止滤光片 9cl{hdP{  
3.5带通滤光片 7qW.h>%WE  
3.6特殊膜系 Gs^(YG
tU  
习题 O)Xd3w'  
参考文献 FrgW7`s[A  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 }~myf\$  
第4章薄膜制备技术 q2[+-B)m  
4.1真空淀积工艺 un.G6|S  
4.2光学薄膜材料 A"Tc^Ij  
4.3薄膜厚度监控艺术 3s3a>  
4.4膜层厚度的均匀性 &*X3
ch  
习题 5Xp$yX =  
参考文献 9vB9k@9  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 7yo|ie@S  
5.1薄膜的形成过程 N;e;
4,_ n  
5.2薄膜的微观结构 .a ~s_E  
5.3薄膜的成分 J& 1X  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 _K 4eD.  
5.5薄膜微观结构和改善 516VQ<?B  
习题 B)(p9]q  
参考文献 oc!biE`u  
第三篇光学薄膜检测技术 {KF7j63  
第6章薄膜透射率和反射率测量 !O 0ZD4/{4  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 $xKg }cO  
6.2薄膜反射率的测试 v]LFZI5  
6.3薄膜反射率的测量 gubb .EY  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 _Ym&UY.u#  
6.5总结 jrDz7AfA  
习题 D<+ bzC  
参考文献 Hj}g1"RA  
第7章薄膜的吸收和散射测量 tXssejiE%  
7.1激光量热计基本原理 jEC'l]l  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收  9OrA9r  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 @t{{Q1  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 7H8GkuO  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 H}u)%qY+~  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ;`X`c  
7.7总结 `D&#U'wB   
习题 Ri^sQ<~(  
参考文献 , V0iMq  
第8章薄膜光学常数的测量 }'@tA")-)  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 5Ws:Ei{R  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 &4ug

3  
8.3薄膜波导法 lW{I`r\]  
8.4光学薄膜厚度的测试 IqR[&T)lj  
8.5总结 G#_(7X&  
习题 KDNTnA1c  
参考文献 "B_5Y&pM`  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 D@/9+]-,  
9.1薄膜的力学特性检测技术 7v4-hfN  
9.2薄膜器件的环境试验 rRF+\cP?.  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 MY0[Oq cm=  
9.4总结 LaAgoarN  
习题 0C4*F  
参考文献 i]hR7g<  
附录 [4V|UvKz  
附录A复数与复数运算 ^^j|0qshL  
A.1复数的概念 }RC.Q`b  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 VC_3ll]vr  
A.3复数在物理中的运用 g%<{G/Tz  
附录B矩陈及矩陈运算 -7C=- \]  
B.1矩陈的定义 JsAb q  
B.2矩陈运算 }[hDg6i  
附录C光的电磁理论基础 'xu7AKpU)  
C.1振动与波 j,gM+4V^  
C.2电磁波 A61-AwvF8-  
C.3麦克斯韦方程 qqO10~Xc  
C.4平面电磁波 6 ^6uK  
C.5平面电磁波性质 ]%ZjD  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 7@e[:>e  
附录D光的干涉 A-@-?AR  
D.1波的叠加原理 rsq'60  
D.2杨氏干涉 Vt$ $ceu  
D.3平板的表面干涉 q(${jz4w  
D.4光的空间相干性和时间相干性 [8om9 Z3  
附录E光的偏振 Q>+_W2~]  
E.1自然光和偏振光 7\Yq]:;O  
E.2偏振光与Jones矩陈 0lJBtk9wn  
E.3偏振光的获得 \sXmMc  
E.4偏振光的检验 +(=[M]5#n  
…… ;#Crh}~  
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