现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 oq[r+E-]$@  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 VYnB&3%DF  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 rAh|r}R  
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第一篇光学多层膜设计 Mw|lEctN0  
第1章光学薄膜特性的理论计算 JQ9+kZ  
1.1单色平面电磁波 8u7QF4 Id  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 7[:?VXQ  
1.3光学薄膜特性的理论计算 UL]zuW/  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Qb8Z+7  
习题 ZwMd 22  
第2章光学薄膜的设计理论 Qq3>Xv <  
2.1矢量作图法 *3rp g  
2.2有效界面法 Zx^R-9  
2.3对称膜系的等效层 vQ8$C 3  
2.4导纳图解技术 z-^/<u1p  
习题 e, }{$HStZ  
第3章光学薄膜系统的设计 vDC
bD#.6  
3.1减反射膜  Y}e3:\  
3.2分束镜 +do*C=z  
3.3高反射膜 \|6
Q]3l  
3.4干涉截止滤光片 m'WGK`WIm  
3.5带通滤光片 %e+{wU}w?2  
3.6特殊膜系 py$i{v
%  
习题 &"DD&87N%  
参考文献 TGuCIc0B{  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 L'O=;C"f  
第4章薄膜制备技术 }c=YiH,o  
4.1真空淀积工艺 zQoJ8i>  
4.2光学薄膜材料 /$^SiE+N  
4.3薄膜厚度监控艺术 J|CCTXT  
4.4膜层厚度的均匀性 y\Wp}}  
习题 &Z%'xAOGR  
参考文献 dQ Lo,S8(  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 z`sW5K(A  
5.1薄膜的形成过程 n^` `)"  
5.2薄膜的微观结构 d(^3S>V|q  
5.3薄膜的成分 BiA^]h/|  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Se|h]+G  
5.5薄膜微观结构和改善 oxLO[js  
习题 _ygdv\^Tet  
参考文献 l $0w 9Z^  
第三篇光学薄膜检测技术 /4$ c-k  
第6章薄膜透射率和反射率测量 I5E+=.T*ar  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 c*",AZ>
U  
6.2薄膜反射率的测试 #M<u^$Jz  
6.3薄膜反射率的测量 |nY+Nen7  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 `HILsU=|  
6.5总结 (zw.?ADPCT  
习题 H[N~)3x  
参考文献 0yxwsBLy  
第7章薄膜的吸收和散射测量 Up*6K=Tny  
7.1激光量热计基本原理 V o%GO9b;  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 rB_ESNx  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 3935cxT1U  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 P_(<?0l  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 2[

Xe:)d  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 o<rbC < U  
7.7总结 =z'533C  
习题 4F+G;'JV  
参考文献 pIY3ft\  
第8章薄膜光学常数的测量 }]. |7h  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 a>S
-50  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 %:y
"o_X_  
8.3薄膜波导法 OT#foP  
8.4光学薄膜厚度的测试 Pt7C/ qM/  
8.5总结 'grb@+w(
 
习题 N@8tf@BT  
参考文献 Tx(=4ALY  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 X [;n149o  
9.1薄膜的力学特性检测技术 cq9d;~q  
9.2薄膜器件的环境试验 @}{Fw;,(7n  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 5D>cbzP@  
9.4总结 0$|wj^?U  
习题 *-gmWATC6  
参考文献 yn04[PN2  
附录 '8b=4mrbH  
附录A复数与复数运算 q,]57s  
A.1复数的概念 9HAK  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 PcvA/W  
A.3复数在物理中的运用 r6L  
附录B矩陈及矩陈运算 'h 7n}  
B.1矩陈的定义 f0g&=k{OD  
B.2矩陈运算 n;k B_i*l  
附录C光的电磁理论基础 ]CgZt'h{  
C.1振动与波
$B`bsJ  
C.2电磁波 ~AR0,lak  
C.3麦克斯韦方程 S.^x)5/,,T  
C.4平面电磁波 [}y"rs`!  
C.5平面电磁波性质 "~T06!F45  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 fw0Z- 9*  
附录D光的干涉 EiWd =jDm  
D.1波的叠加原理 s_76)7  
D.2杨氏干涉 K\
$z,}0  
D.3平板的表面干涉 |sDp>..  
D.4光的空间相干性和时间相干性 7/BA!V(na  
附录E光的偏振 >IHf5})R  
E.1自然光和偏振光 #DcK{
|ty  
E.2偏振光与Jones矩陈 ~PCS_  
E.3偏振光的获得 i(kr#XsU  
E.4偏振光的检验 DkBVk+  
…… }j,G)\g#  
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