现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 4r9AUmJqw  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 1(jx.W3  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 +d3h @gp  

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第一篇光学多层膜设计 _w7yfZLv+  
第1章光学薄膜特性的理论计算 yg"FF:^T  
1.1单色平面电磁波 K\5/||gi  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 Q1x=@lXR  
1.3光学薄膜特性的理论计算 la`f@~Bbr1  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 XKvH^Z4h{l  
习题 kM3#[#6$!  
第2章光学薄膜的设计理论 YyC$\HH6  
2.1矢量作图法 8[oZ>7LMzC  
2.2有效界面法 v5*JBW+c*  
2.3对称膜系的等效层 AdRK)L  
2.4导纳图解技术 B8zc#0!1  
习题 }q:4Zh'l!  
第3章光学薄膜系统的设计 "f-HOd\=  
3.1减反射膜 5B;;{G
R  
3.2分束镜 VRUA<x  
3.3高反射膜 V|pO";%>,  
3.4干涉截止滤光片 )yS8(F0  
3.5带通滤光片 `=2p6<#z  
3.6特殊膜系 3/8<dc  
习题 _hEr,IX=J  
参考文献 j_SUR)5  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 e,l-}=5*P  
第4章薄膜制备技术 @[]#[7  
4.1真空淀积工艺 P-X2A2  
4.2光学薄膜材料 l<yYfGO  
4.3薄膜厚度监控艺术 [f=Y*=u9,  
4.4膜层厚度的均匀性 `?SLp  
习题 eU\_m5xl"  
参考文献 I\|.WrMNi  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 o RK:{?Y  
5.1薄膜的形成过程 )-\qo#0l  
5.2薄膜的微观结构 VBK|*Tl  
5.3薄膜的成分 </_.+c [  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ;G*)7fi  
5.5薄膜微观结构和改善 z]!w@:  
习题 mnU8i=v0A  
参考文献 2FR5RG oD  
第三篇光学薄膜检测技术 2Vxx  
第6章薄膜透射率和反射率测量 1?,C d  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 =|H.r9-PK6  
6.2薄膜反射率的测试 dAi.^! !  
6.3薄膜反射率的测量 FDuIm,NI  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 "lL/OmG  
6.5总结 yn.[-  
习题 2fP;>0?  
参考文献 1tlqw  
第7章薄膜的吸收和散射测量 c9+yU~(  
7.1激光量热计基本原理 LXf|n  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 j)#GoU=w  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 i_av_I-  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 }l_8~/9  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ~Jlq.S'  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 Qki
? >j"  
7.7总结 593!;2/@  
习题 0+AMN-  
参考文献 *TPWLR ^  
第8章薄膜光学常数的测量 D0h6j0r5  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 kv<(N  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 hd)WdGJp
  
8.3薄膜波导法 $}=r45e0K  
8.4光学薄膜厚度的测试 K+Pa b ?  
8.5总结 )-25?B  
习题 q&^H" fF  
参考文献 =Ea,8bpn  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 wcGv#J],  
9.1薄膜的力学特性检测技术 uFFC.w  
9.2薄膜器件的环境试验 GZm=>!T  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Jv!f6*&<  
9.4总结 N[N4!k )!$  
习题 }$s QmRR  
参考文献 f,ql8q(|J  
附录 N:,V{Pw  
附录A复数与复数运算 LdnTdh?  
A.1复数的概念 mB%m<Zo\U  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ..=lM:13|  
A.3复数在物理中的运用 D[{"]=-  
附录B矩陈及矩陈运算 $_gv(&ZT  
B.1矩陈的定义 7?\r9bD  
B.2矩陈运算 x!u6LDq0  
附录C光的电磁理论基础 i*mI-l
 
C.1振动与波 L+0:'p=  
C.2电磁波 |7!Bk$(vA  
C.3麦克斯韦方程 =>7czw:S1  
C.4平面电磁波 .`oKd@I*"  
C.5平面电磁波性质 TV}=$\D  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Sp]ov:]%f  
附录D光的干涉 ::@JL  
D.1波的叠加原理 #z}0]GJKj  
D.2杨氏干涉 !e('T@^u6u  
D.3平板的表面干涉 /9| 2uw`  
D.4光的空间相干性和时间相干性 AG"iS<u  
附录E光的偏振 IEWl I  
E.1自然光和偏振光 Zt 1n
H  
E.2偏振光与Jones矩陈 kRH D{6mol  
E.3偏振光的获得 qipS`:TER  
E.4偏振光的检验 !. :b}t  
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