现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ||}'  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 V_Xq&!HN[  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 'v~%rhq3  
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第一篇光学多层膜设计 Y9w^F_relL  
第1章光学薄膜特性的理论计算 UG,<\k&  
1.1单色平面电磁波 U;
qGUqI  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ]Jum(1Bo  
1.3光学薄膜特性的理论计算 gK#G8V-,  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 UXdnN;0  
习题 b"PRa|]  
第2章光学薄膜的设计理论 IE0hC\C}  
2.1矢量作图法 g.]S5(  
2.2有效界面法 ?]]7PEee*  
2.3对称膜系的等效层 t/KH`  
2.4导纳图解技术 OH_mZA  
习题 1Y6DzWI  
第3章光学薄膜系统的设计 mE)I(< %  
3.1减反射膜 g~v>{F+u  
3.2分束镜 +>BD^[^^  
3.3高反射膜 ZDl6F`  
3.4干涉截止滤光片 Fu$JI8  
3.5带通滤光片 4COo~d  
3.6特殊膜系 \pwg8p[4Q  
习题 JO=kfWW  
参考文献 tXg>R _\C  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ?}Y;/Lwx  
第4章薄膜制备技术 C_rA'Hy  
4.1真空淀积工艺 g54b}vzm  
4.2光学薄膜材料 F4|U\,g  
4.3薄膜厚度监控艺术 ^)%TQ.  
4.4膜层厚度的均匀性 RK\$>KFE  
习题 nf,u'}psdJ  
参考文献 QG8X{'  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 _@_w
6Rh  
5.1薄膜的形成过程 W
u|ANc  
5.2薄膜的微观结构 ,+U,(P5>s  
5.3薄膜的成分 YkJnZ_k/P  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 (d?sFwOt\  
5.5薄膜微观结构和改善 Pu`;B  
习题 ;UPI%DnE]  
参考文献 T8US` MZ  
第三篇光学薄膜检测技术 -8%[7Z]  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Qs #7<NQ  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 o"Mhwh  
6.2薄膜反射率的测试 '^ob3N/Y [  
6.3薄膜反射率的测量 I?~iEO\nh  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ]R%+  
6.5总结 Bf+7;4-  
习题 syB.Z-Cpd  
参考文献 /^9KZj  
第7章薄膜的吸收和散射测量 sF!nSr  
7.1激光量热计基本原理 .j l|?o  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 T^1]|P  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 *L+)R*|:&  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 n~C!PXE  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 t(Sjo8, b  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 )2dTgvy  
7.7总结 KL^hYjC  
习题 R\ZyS )~l  
参考文献 72akOx   
第8章薄膜光学常数的测量 qrt2BT)  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ITr@;@}c]  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 3 6-Sw  
8.3薄膜波导法 k:sFI @g  
8.4光学薄膜厚度的测试 )|Xi:Zd5>  
8.5总结 p)y'a+|7  
习题 E(/M?>t-  
参考文献 se]q~<&  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ]<g`rR
7}  
9.1薄膜的力学特性检测技术 l/:23\  
9.2薄膜器件的环境试验 fXfO9{E  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 )a0%62  
9.4总结 ")i>-1_H  
习题 U%T{~f  
参考文献 XmI63W*  
附录 TW)~&;1
l  
附录A复数与复数运算 Bq*aP*jv  
A.1复数的概念 9S! 2r  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 e0cVg  
A.3复数在物理中的运用 CTh!|mG  
附录B矩陈及矩陈运算 p6|RV(?8  
B.1矩陈的定义 #24eogo~  
B.2矩陈运算 dVe  
附录C光的电磁理论基础 }n[<$*W^  
C.1振动与波 ]aqg{XdGt  
C.2电磁波 f>kW\uC  
C.3麦克斯韦方程 SU80i`  
C.4平面电磁波 MB:*WA&  
C.5平面电磁波性质 R(dOQ. ;  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 vAH`tPi>  
附录D光的干涉 z(JDLd  
D.1波的叠加原理 N}5'Hk4
+  
D.2杨氏干涉 |xX>AMZc)D  
D.3平板的表面干涉 dp~] Wx  
D.4光的空间相干性和时间相干性 [)L)R`  
附录E光的偏振 BMxe)izT;  
E.1自然光和偏振光 Ubf@"B  
E.2偏振光与Jones矩陈 p|,3X*-ynx  
E.3偏振光的获得 {-Q=YDR  
E.4偏振光的检验 9:1[4o)~  
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