现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 )W& $FU4JK  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 hqKftk)+  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 H_CX5=Nq^  

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第一篇光学多层膜设计 ;{k`nv_6  
第1章光学薄膜特性的理论计算 s;;"^5B.  
1.1单色平面电磁波 h^}r$k_n  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 c$>$2[*=  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ZOK,P
 
1.4光学多层膜内的电场强度分布 &gL &@';,  
习题 |4@su"OA  
第2章光学薄膜的设计理论 Mh+ym]6\(k  
2.1矢量作图法 #AJo75E%  
2.2有效界面法 Lh(`9(tX  
2.3对称膜系的等效层 CI )89`  
2.4导纳图解技术 "/zI
sn7  
习题 QIMoe'p  
第3章光学薄膜系统的设计 ?{O >&<~  
3.1减反射膜 ?
U`~,oI0  
3.2分束镜 6HW8mXQh<h  
3.3高反射膜 7:D@6<J?  
3.4干涉截止滤光片 dk^Uf84.Gr  
3.5带通滤光片 hZobFf  
3.6特殊膜系 5k^UZw  
习题 L/VlmN_v>s  
参考文献 _8U 5mW  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 M;{btu^a  
第4章薄膜制备技术 n!B*n(;!u  
4.1真空淀积工艺 cN5,\I.  
4.2光学薄膜材料 ;L gxL Qy;  
4.3薄膜厚度监控艺术 2V1|b`b#4  
4.4膜层厚度的均匀性 dt -=7mz#  
习题 A80r@)i  
参考文献 gJ8+HV  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 n8.W$&-ia  
5.1薄膜的形成过程 n!r<\4I  
5.2薄膜的微观结构 /Y>$w$S  
5.3薄膜的成分 vncak  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 cBO.96ZHE  
5.5薄膜微观结构和改善 ]d}U68$T+  
习题 ue5C ]  
参考文献 ,p,$(V  
第三篇光学薄膜检测技术 'TF5CNX  
第6章薄膜透射率和反射率测量 )\bA'LuFy  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 #]iSh(|8  
6.2薄膜反射率的测试 ?J<V-,i  
6.3薄膜反射率的测量 cF[L6{Oe  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 TA.ugF)h  
6.5总结 DaV:Slp9  
习题 @nuMl5C-`  
参考文献 $fhb-c3
 
第7章薄膜的吸收和散射测量 !5hNG('f  
7.1激光量热计基本原理 9Dq^x&
z(  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 i58&o@.H<u  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 c/G4@D>  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 [=})^t?8  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 &.zG?e.  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 {!lC$SlJ  
7.7总结 P9Yw\   
习题 ,[ UqUEO  
参考文献 L*Gk1'  
第8章薄膜光学常数的测量 s7A3CY]->  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 dOm@cs  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 5cv&`h8uo_  
8.3薄膜波导法 s+@+<QE  
8.4光学薄膜厚度的测试 ScgaWJ  
8.5总结 m5wfQ_}}ss  
习题 *kmD/J  
参考文献 % Rv;e  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 K/Q%tr1W0  
9.1薄膜的力学特性检测技术 >tmv3_<=  
9.2薄膜器件的环境试验 XYi-o][Mf  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Dsl,(qm5  
9.4总结 l@ amAusE  
习题 N-0kB vo  
参考文献 v0D~zV"<y  
附录 S2TyNZbQ  
附录A复数与复数运算 _(U|Kpi  
A.1复数的概念 i#&iT P`  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 A#yZh\#  
A.3复数在物理中的运用 
H2ZRUFu  
附录B矩陈及矩陈运算 |XDbf3^6  
B.1矩陈的定义 Bb,l.w  
B.2矩陈运算 7s2 l3  
附录C光的电磁理论基础 <}\!FuC  
C.1振动与波 0tL#-47  
C.2电磁波 I%^Bl:M  
C.3麦克斯韦方程 6.!aJJLN  
C.4平面电磁波 )p$a1\~m  
C.5平面电磁波性质 B<p-
qPR K  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ,P%a0\  
附录D光的干涉 ;p/
%)WW  
D.1波的叠加原理 AYVkJq?  
D.2杨氏干涉 yDuMn<=3  
D.3平板的表面干涉 0eGz|J*7  
D.4光的空间相干性和时间相干性 n A<#A  
附录E光的偏振 c:J;Q){Xz  
E.1自然光和偏振光 #j+0jFu  
E.2偏振光与Jones矩陈 -4%{Jb-1  
E.3偏振光的获得 X6T*?t3!9[  
E.4偏振光的检验 ;JD/4:  
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