现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 [VqiF~o,  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 > ;#Y0  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ?@Q0;LG  

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第一篇光学多层膜设计 =+b>d\7xG  
第1章光学薄膜特性的理论计算 q'a]D
J`  
1.1单色平面电磁波 Lq ;~6  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 :*BN>*1^\r  
1.3光学薄膜特性的理论计算 Ph%ylS/T{  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 H C,5j)1  
习题 (n8?+GCa  
第2章光学薄膜的设计理论 \y%"tJ~N{  
2.1矢量作图法 )P?Fni}  
2.2有效界面法 n1GX`K  
2.3对称膜系的等效层 ']fyD3N  
2.4导纳图解技术 A
,tg268  
习题
5z9hcQAS  
第3章光学薄膜系统的设计 -:pVDxO  
3.1减反射膜 D "5|\  
3.2分束镜 04&S.#+(  
3.3高反射膜 (T$cw(!  
3.4干涉截止滤光片 ;dMr2y`6  
3.5带通滤光片 $GU s\  
3.6特殊膜系 YgjW%q   
习题 X@}7 #Vt  
参考文献 QIU%!9Y  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 $[ S 33Q  
第4章薄膜制备技术 Pv,PS.,-  
4.1真空淀积工艺 <}A6 )=T  
4.2光学薄膜材料 =,q/FY:  
4.3薄膜厚度监控艺术 pfIK9>i  
4.4膜层厚度的均匀性 ks("( nU  
习题 9eq)WI/  
参考文献 j^8HTa0Cy|  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Og1\6Q  
5.1薄膜的形成过程 H_3WxfO  
5.2薄膜的微观结构 h lc!}{$%8  
5.3薄膜的成分 X_nbNql  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 R!7--]Wcg  
5.5薄膜微观结构和改善 ,1B4FAR&  
习题 :UH*Wft1  
参考文献 dc4XX5Z  
第三篇光学薄膜检测技术 {+cx}`  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ;`c:Law4  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 #y7MB6-  
6.2薄膜反射率的测试 f. >[ J  
6.3薄膜反射率的测量 w5s&Ws  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 m*HUT 
V  
6.5总结 YU0pWM  
习题 '_Pb\ jK  
参考文献 `L <sZ;Cj  
第7章薄膜的吸收和散射测量 t4d/%b~{:U  
7.1激光量热计基本原理 9[*P`
*&  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 bA Yp }  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 5uSg]2:  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 \24'iYtqW  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 K"g{P  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 @oj_E0i3  
7.7总结  PBW_9&d  
习题 @XL49D12c  
参考文献 ~2XGw9`J2  
第8章薄膜光学常数的测量 fj(WHL  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 *gGw/jA/  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Pq35w#`!  
8.3薄膜波导法 q[vO mes  
8.4光学薄膜厚度的测试 K iXD1Zpz  
8.5总结 jt323hHth  
习题 hUp3$4w  
参考文献 #')]~Xa  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ;sf'"UnL  
9.1薄膜的力学特性检测技术 !=;Evf  
9.2薄膜器件的环境试验 u 1}dHMoX~  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 PIFZ '6gn  
9.4总结 H&F2[j$T  
习题 +kxk z"fP  
参考文献 9"1=um=  
附录 WTt /y\'6  
附录A复数与复数运算 ^tm2Du
v  
A.1复数的概念 d/*EuJYin<  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 HlkjyD8  
A.3复数在物理中的运用 %Gu=Dkz  
附录B矩陈及矩陈运算 c<cYX;O  
B.1矩陈的定义 Yu&\a?]\2  
B.2矩陈运算 _h=h43'3  
附录C光的电磁理论基础 5HL>2 e[  
C.1振动与波 d3T7$'l$  
C.2电磁波 1uA-!T*e>  
C.3麦克斯韦方程 CnY dj~  
C.4平面电磁波 >[T6/#M  
C.5平面电磁波性质 5qqU8I  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 w8>bct3@  
附录D光的干涉 PiR`4Tu  
D.1波的叠加原理 B@\0b|  
D.2杨氏干涉 \B/( H)Cd*  
D.3平板的表面干涉 EOqV5$+  
D.4光的空间相干性和时间相干性 _Bn8i(  
附录E光的偏振 5y0LkuRR:  
E.1自然光和偏振光 6
w{""K.{  
E.2偏振光与Jones矩陈 \4
t;{
_  
E.3偏振光的获得 >i61+uzEd+  
E.4偏振光的检验 FEa%wS{  
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