现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ,[IDC3.4^R  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Gc"
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 u -P !2vT  
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第一篇光学多层膜设计 PBnH#zm  
第1章光学薄膜特性的理论计算 DrKB;6  
1.1单色平面电磁波 3ZI7;Gw  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 3r,~-6  
1.3光学薄膜特性的理论计算 u*v<dsGQ  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 &:g:7l]g  
习题 ^t5My[R  
第2章光学薄膜的设计理论 \?>M?6D  
2.1矢量作图法 7jI
B
E  
2.2有效界面法 ^L5-2;s<U'  
2.3对称膜系的等效层 Nwz?*~1  
2.4导纳图解技术 oR&z,%0wMK  
习题 4[@YF@_=M  
第3章光学薄膜系统的设计 cu($mjC@T  
3.1减反射膜 }1e4u{  
3.2分束镜 Z.Yq)\it  
3.3高反射膜 q6)fP4MQ]  
3.4干涉截止滤光片 <M@-|K"Eb  
3.5带通滤光片 m9oOH5@K~  
3.6特殊膜系 EM*I%|n@m  
习题 /V:9*C  
参考文献 uD>=  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 tLWw<)t  
第4章薄膜制备技术 X8Q'*  
4.1真空淀积工艺 =&}_bd/]  
4.2光学薄膜材料 k_L`  
4.3薄膜厚度监控艺术 u*G<?  
4.4膜层厚度的均匀性 o]4\Geg$  
习题 &jHsFS  
参考文献 R,G*]/r`  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 qU7_%Z  
5.1薄膜的形成过程 X}v*"`@Q  
5.2薄膜的微观结构 T:$^1"\  
5.3薄膜的成分 ![\-J$  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 %`
yfi+e  
5.5薄膜微观结构和改善 X
`KSj N&(  
习题 RyJy%|\-S  
参考文献 Gv&G2^  
第三篇光学薄膜检测技术 M_};J;  
第6章薄膜透射率和反射率测量 9pqsr~  
6.1光谱分析测试系统的基本原理
ZpVkgX4  
6.2薄膜反射率的测试 ZOqS"3j! j  
6.3薄膜反射率的测量 :J`@@H  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 .how@>:P+  
6.5总结 8u+kA mI  
习题 x3=1/#9  
参考文献 L'e^D|  
第7章薄膜的吸收和散射测量 YpDJ(61+  
7.1激光量热计基本原理 '\I(n|\  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 985F(r  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 +7H)s  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 $+'H000x  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Reikf}9Q  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 y("WnVI  
7.7总结 Io]FDPN  
习题 P35DVKS  
参考文献 =0
=#M(w  
第8章薄膜光学常数的测量 HrBJi  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 m}uOBR+  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 =\oH= f  
8.3薄膜波导法 &J6
`Q<U!  
8.4光学薄膜厚度的测试 hy*{{f;  
8.5总结 ,x8;| o5  
习题 7y'":1  
参考文献 jmID@37t  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 4k;FZo]S  
9.1薄膜的力学特性检测技术 OoSk^U)  
9.2薄膜器件的环境试验 dH^6K0J  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 *y*tI}  
9.4总结 u#@/^h;  
习题 gF{ehU%  
参考文献 4!/JN J  
附录 r%PWv0z_c  
附录A复数与复数运算 xm{]|~^JG  
A.1复数的概念 I}4 PB+yu  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 MxsLrWxm  
A.3复数在物理中的运用 t1FtYXv`/  
附录B矩陈及矩陈运算 ZRagM'K  
B.1矩陈的定义 2I-d.{  
B.2矩陈运算 qT$k%(  
附录C光的电磁理论基础 d05xn7%!{  
C.1振动与波 _Op%H)  
C.2电磁波 y&NqVR=  
C.3麦克斯韦方程 nje7?Vz  
C.4平面电磁波 ?F"o+]i+^  
C.5平面电磁波性质 :,l7e  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 >2s4BV[(  
附录D光的干涉 "6f`hy  
D.1波的叠加原理 l_^OdQ9D  
D.2杨氏干涉 W{}$c`,R  
D.3平板的表面干涉 -tg|y  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Ei4^__g\'  
附录E光的偏振 #rlgeHG!fs  
E.1自然光和偏振光 UBaXS_c\  
E.2偏振光与Jones矩陈 2Vx4"fHP#N  
E.3偏振光的获得 *G58t`]r  
E.4偏振光的检验 =w$&n%~  
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