现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 %!-t7K^mFq  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 *;Q#UH  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 82r{V:NCK)  
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第一篇光学多层膜设计 RB*z."  
第1章光学薄膜特性的理论计算 3,i`FqQa  
1.1单色平面电磁波 J R~s`>2  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 HQ=pf >  
1.3光学薄膜特性的理论计算 fh_:ung  
1.4光学多层膜内的电场强度分布  HL[V}m  
习题 IeChz d  
第2章光学薄膜的设计理论 %vf;qVoA~  
2.1矢量作图法 tjV63`LD  
2.2有效界面法 MW^FY4V1m  
2.3对称膜系的等效层 &q4~WRnzJk  
2.4导纳图解技术 . P44t  
习题 8Rw:SU9H?T  
第3章光学薄膜系统的设计 S+6YD0  
3.1减反射膜 g&B7Y|Es  
3.2分束镜 ( Ygy%O%  
3.3高反射膜 ;>>:7rdYt  
3.4干涉截止滤光片 j&.JAQ*2;  
3.5带通滤光片 4 }_}3.  
3.6特殊膜系 S=< ]u  
习题 k-*k'S_  
参考文献 >>R)?24,<  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 V^.Z&7+E`_  
第4章薄膜制备技术 Cu$`-b^y  
4.1真空淀积工艺 WH $*\IGJL  
4.2光学薄膜材料 KVoi>?a   
4.3薄膜厚度监控艺术 FDFVhcr  
4.4膜层厚度的均匀性 #/`MYh=!W  
习题 |M<R{Tt}nf  
参考文献 Z^A(Q>{e  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ?|2m0~%V=  
5.1薄膜的形成过程 c&RiUU7  
5.2薄膜的微观结构 -jTK3&5  
5.3薄膜的成分 -xH3}K%  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 bX`]<$dr3  
5.5薄膜微观结构和改善 b1e)w?n  
习题 rY6bc\?`x  
参考文献 bw#\"uJ  
第三篇光学薄膜检测技术 ^CDh! )  
第6章薄膜透射率和反射率测量
zS?}3#g0u  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 8fWnKWbbjw  
6.2薄膜反射率的测试 aQ 6T2bQ  
6.3薄膜反射率的测量 /oM&29 jy  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 {;UBW7{  
6.5总结 .d)H2X  
习题 WIwGw%_~  
参考文献 aI\>=*HF  
第7章薄膜的吸收和散射测量 $U_1e'
  
7.1激光量热计基本原理 oFGgr2Re  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 giddM2'  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ).C>>1ZC  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 q=BAYZ\`  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 q*J-ii  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 79lG~BGE  
7.7总结 t&bE/i_T  
习题 '(($dT  
参考文献 Ce3  
第8章薄膜光学常数的测量 W9SEYkg  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 zgpvI~Ck  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ?v@q&  
8.3薄膜波导法 '&xRb*  
8.4光学薄膜厚度的测试 M^A;tPw  
8.5总结 [;INVUwG^  
习题 $J:~jY/J  
参考文献 l>>,~  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 !3at(+4  
9.1薄膜的力学特性检测技术 5th\_n}N2/  
9.2薄膜器件的环境试验 oxqD/fY  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 j\@|oW0  
9.4总结 b9Ix*
!Y  
习题 {[B`q  
参考文献 Zo(QU5m0  
附录 N(&/ Ud  
附录A复数与复数运算
nr9cG/"  
A.1复数的概念 ;,_c1x/F  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 {5:V hW}  
A.3复数在物理中的运用 T/l2B1  
附录B矩陈及矩陈运算 y {1p#  
B.1矩陈的定义 Ed~2Qr\65  
B.2矩陈运算 *8QGv6*vQ  
附录C光的电磁理论基础 .7GAGMNS  
C.1振动与波 OK9D
4 7X  
C.2电磁波 *(@[E  
C.3麦克斯韦方程 s%qK<U4@;Q  
C.4平面电磁波 qg@Wzs7c~  
C.5平面电磁波性质 al\ R(\p|  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 e_pyjaY!s  
附录D光的干涉 !tD,phca~  
D.1波的叠加原理 #6<9FY#  
D.2杨氏干涉 'roZ:NE  
D.3平板的表面干涉 |2~fOyA+  
D.4光的空间相干性和时间相干性 KEj-y+  
附录E光的偏振 ((%g\&D  
E.1自然光和偏振光 {utIaMb]&v  
E.2偏振光与Jones矩陈 Z66@@?`  
E.3偏振光的获得 .@ElfPP(L  
E.4偏振光的检验 \TBY)_[ {  
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