现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 7KT*p&xm  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ;qx#]Z0 <  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 C*`WMP*  

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第一篇光学多层膜设计 .Xg.,kW  
第1章光学薄膜特性的理论计算 HC0juT OiO  
1.1单色平面电磁波 (qcFGM22U  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 zI88IM7/  
1.3光学薄膜特性的理论计算 J_s`G  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 UG1<Xfu|  
习题 z*3b2nV  
第2章光学薄膜的设计理论 x/QqG1q  
2.1矢量作图法 .[={Yx0!I  
2.2有效界面法 UBo0c?,4  
2.3对称膜系的等效层 lH fZw})d  
2.4导纳图解技术 .EYL  
习题 31n"w;  
第3章光学薄膜系统的设计 f5}afPk  
3.1减反射膜 )1<0c@g=  
3.2分束镜 )! [B(  
3.3高反射膜 --HDEc|  
3.4干涉截止滤光片 g&RpE41x  
3.5带通滤光片 3j#VKj+Uc  
3.6特殊膜系 #1YMpL  
习题 ODJ"3 J  
参考文献 4+olyBht  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 :kZ]Swi 5  
第4章薄膜制备技术 'r'=%u$1C  
4.1真空淀积工艺 g$(Y\`zw  
4.2光学薄膜材料 b"g^Jm! j  
4.3薄膜厚度监控艺术 0%xktf  
4.4膜层厚度的均匀性 V[ UOlJ  
习题 3s\UU2yr  
参考文献 %p7 ?\>  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 mR}8}K]L  
5.1薄膜的形成过程 ,>|tQ'  
5.2薄膜的微观结构 1q}32^>+o  
5.3薄膜的成分 a[ULSYEi  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 R P{pEd  
5.5薄膜微观结构和改善 QPy h.9:N  
习题 E2hsSqsu=  
参考文献 vbJ<|#|r-  
第三篇光学薄膜检测技术 a-5UG#o  
第6章薄膜透射率和反射率测量 eI-fH  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 zJ`u>:*$  
6.2薄膜反射率的测试 Uo3  
6.3薄膜反射率的测量 LcKc#)'EE  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 (o>N*?,}  
6.5总结 5{H)r  
习题 V .Kjcy  
参考文献 y)r`<B  
第7章薄膜的吸收和散射测量 rpk8  
7.1激光量热计基本原理 ;5X6`GlS#5  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 [_N1 .}e  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 '{`KYKLP+  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 cfmwz~S6i  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 <n_?$ TJ  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 su0K#*P&I  
7.7总结 hC-uz _/3  
习题 hl]d99Lc  
参考文献 #kQ! GMZH  
第8章薄膜光学常数的测量 ^|/<e?~I  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 jS,Pu%fR  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 gd[muR ~  
8.3薄膜波导法 erI&XI  
8.4光学薄膜厚度的测试 X&Oo[Z  
8.5总结 a,rXG

 
习题 mR.j8pi  
参考文献 >MJ%6A>  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 28JVW3&)  
9.1薄膜的力学特性检测技术 HubG
>]  
9.2薄膜器件的环境试验 /{({f?k<\/  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 D~inR3(}  
9.4总结 oVqx)@$
K  
习题 zt2#
K  
参考文献 wgDAb#Zuk  
附录  H#F"n"~$  
附录A复数与复数运算 wz+m
Ff  
A.1复数的概念 i K@RQi  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 U>IsmF>m  
A.3复数在物理中的运用 ]Vfp,"op  
附录B矩陈及矩陈运算 4JBfA,  
B.1矩陈的定义 ;E}&{w/My  
B.2矩陈运算 [3irr0D7l  
附录C光的电磁理论基础 Y&VypZ"G>  
C.1振动与波 ldG8hK  
C.2电磁波 XffHF^l9F  
C.3麦克斯韦方程 @#"K6  
C.4平面电磁波 .K940& Ui  
C.5平面电磁波性质 h1)+QLI  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 tIA)LF  
附录D光的干涉 cL
p9|y0r  
D.1波的叠加原理 a"+/fC`  
D.2杨氏干涉 9(&$Gwi  
D.3平板的表面干涉 %[,^2s  
D.4光的空间相干性和时间相干性 uxrNkZia  
附录E光的偏振 8=\k<X{`  
E.1自然光和偏振光 }k1[Fc|  
E.2偏振光与Jones矩陈 8Z@O%\1x6  
E.3偏振光的获得 Yk4ah$}%-^  
E.4偏振光的检验 BZQJ@lk5  
…… 3e[k9`  
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