现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 .KLuGb3JJ  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 1lQ10J  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 0q;] ;m  

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第一篇光学多层膜设计 M*HG4(n0  
第1章光学薄膜特性的理论计算 4%7*tVG  
1.1单色平面电磁波 eC39C2q\  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 Ol@ZH_  
1.3光学薄膜特性的理论计算 *Wau7  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 |Wgab5D>V  
习题 ,'6GG+  
第2章光学薄膜的设计理论 ?n+\T'f!  
2.1矢量作图法 6;*(6$;  
2.2有效界面法 c2f$:XiM  
2.3对称膜系的等效层 lq5E?B  
2.4导纳图解技术 {cI<4><  
习题 ,m8*uCf  
第3章光学薄膜系统的设计 f5-={lUlIS  
3.1减反射膜 =R"tnjR  
3.2分束镜 rY= #^S  
3.3高反射膜 3Cl9,Z"&6$  
3.4干涉截止滤光片 5=986ci$U  
3.5带通滤光片 [ub\DLl  
3.6特殊膜系 a40BisrD~6  
习题 #*/h
*GNMs  
参考文献 :<gk~3\  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 I2T2'_I  
第4章薄膜制备技术 UXJl;Mb  
4.1真空淀积工艺 )]R?v,9*D  
4.2光学薄膜材料 0}V'\=F454  
4.3薄膜厚度监控艺术 B$Z!E%a;  
4.4膜层厚度的均匀性 y|se^dn  
习题 XEEbmIO*<9  
参考文献 v],DBw9  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 4Cc
b!?  
5.1薄膜的形成过程 ?OyW|jL  
5.2薄膜的微观结构 TbVL71c  
5.3薄膜的成分 eV0S:mit  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 +GS=zNw#  
5.5薄膜微观结构和改善 xn8B|axB  
习题 R2`g?5v  
参考文献 S/;
Y4o  
第三篇光学薄膜检测技术 1n"X?K5;A  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Q^rW^d  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 E}=NZqOB!  
6.2薄膜反射率的测试 #^ #i]{g  
6.3薄膜反射率的测量 )M 0O=Cl1  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 <UdD@(iZ#  
6.5总结 jYz3(mM'J  
习题 !?/bK[ P,  
参考文献 *Rh .s!@4  
第7章薄膜的吸收和散射测量 9A(K_d-!H  
7.1激光量热计基本原理 Q8oo5vqQ#C  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 O$/swwB!  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 f:5/y^M&  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 CF"3<*%x  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 "n,ZP@M;  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 {B.]w9  
7.7总结 2v1&%x:y#  
习题 J|24I4  
参考文献 hp4(f W  
第8章薄膜光学常数的测量 ie5ijkxZ(  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 MA#!<b('  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 TWEqv<c  
8.3薄膜波导法 `&zobbwq  
8.4光学薄膜厚度的测试 vh8Kd' y  
8.5总结 Xy<f_  
习题 ! hr@{CD  
参考文献 _|:bac8
pL  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 {{%8|+B  
9.1薄膜的力学特性检测技术 =Gz>ZWF  
9.2薄膜器件的环境试验 ss8v4@C  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 i6 ?JX@I  
9.4总结 <h51KPo^P  
习题 M&c1i
K\E8  
参考文献 Aq'E:/  
附录 l:yAgm`  
附录A复数与复数运算 ^3o8F  
A.1复数的概念 m(:qZW  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 K0=E4>z,`q  
A.3复数在物理中的运用 <9tG_  
附录B矩陈及矩陈运算 / i2-h  
B.1矩陈的定义 X]"OW  
B.2矩陈运算 kGV`Q  
附录C光的电磁理论基础 g 'a?  
C.1振动与波 E*CQG;^=N  
C.2电磁波 Ytwv=;h-  
C.3麦克斯韦方程 p!QneeA`&X  
C.4平面电磁波 igj@{FN  
C.5平面电磁波性质 V9+"CB^  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 S_VncTIO  
附录D光的干涉 
Rha3  
D.1波的叠加原理 +u
:OAsR  
D.2杨氏干涉 Lj-&TO}OZ  
D.3平板的表面干涉 s{J!^q  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Ny7=-]N4{"  
附录E光的偏振 6ilC#yyp  
E.1自然光和偏振光 H6S vU  
E.2偏振光与Jones矩陈 qq3Qd,$Z  
E.3偏振光的获得 =1OAy`8  
E.4偏振光的检验 cY
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