现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 pvdM3+6  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 w&yK*nBK  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 6-8,qk  

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第一篇光学多层膜设计 h9<*+T  
第1章光学薄膜特性的理论计算 9e5XS\  
1.1单色平面电磁波 AA=zDB<N  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 v@m2c_,  
1.3光学薄膜特性的理论计算 O5X@'.#rU  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 z~8`xn,  
习题 w[ )97d  
第2章光学薄膜的设计理论 N@}5Fnk-  
2.1矢量作图法 1eod;^AP9  
2.2有效界面法 Fpe>|"&  
2.3对称膜系的等效层 }6S~"<Ym  
2.4导纳图解技术 fkKk/M>1  
习题 CuT~ Bj  
第3章光学薄膜系统的设计 ENoGV;WG  
3.1减反射膜 h"#[{$(  
3.2分束镜 1u`{yl*+?  
3.3高反射膜 6gr?#D -F  
3.4干涉截止滤光片 {>EM=ZZfg  
3.5带通滤光片 M~h^~:Lk  
3.6特殊膜系 XC*!=h*  
习题 U5[,UrC  
参考文献 yj<j>JtN  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 9nGS"E l{  
第4章薄膜制备技术 `8x.Mv  
4.1真空淀积工艺 KU;d[Z@g  
4.2光学薄膜材料 :o37 V!  
4.3薄膜厚度监控艺术 XEX-NE"]  
4.4膜层厚度的均匀性 0&
21'K)pW  
习题 aG*Mj;J  
参考文献 e&k=fV  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 rl__3q  
5.1薄膜的形成过程 :Vnus @#r  
5.2薄膜的微观结构 P#j>
hS  
5.3薄膜的成分 ?xTdL738  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 f.e4 C,  
5.5薄膜微观结构和改善 rCH? R  
习题 Lb=4\ _  
参考文献 5Sh.4A\  
第三篇光学薄膜检测技术 c{(4s6D  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Y^(Nz
N  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 -dO9y=?t  
6.2薄膜反射率的测试
[kp#  
6.3薄膜反射率的测量 `mp3ORR;$  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 &al\8  
6.5总结 znq/ %7  
习题 du5|/  
参考文献 )4O* D92  
第7章薄膜的吸收和散射测量 p=jIDM'  
7.1激光量热计基本原理 (X|`|Y  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 XEpwk,8*g  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 \L]T|]}(  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 u.!<)VIJx  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ;p8,
=w  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 nq,P.~l
 
7.7总结 |]
=s  
习题 tj<0q<is  
参考文献 U/j+\Kc~  
第8章薄膜光学常数的测量 z@tIC^s  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ] RLEyDB  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 mA" 82"   
8.3薄膜波导法 :G/.h[\R|  
8.4光学薄膜厚度的测试 ,0fYB*jk  
8.5总结 nNP{>\x;"  
习题 4+2hj*I  
参考文献 yS"; q  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ^BN?iXQhN  
9.1薄膜的力学特性检测技术 UEh-k"  
9.2薄膜器件的环境试验 R) 'AI[la  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 X)^&5;\`  
9.4总结 R1/87eB
 
习题 s]@k,
%  
参考文献 -)o0P\cTEt  
附录 #fkOm Y7X  
附录A复数与复数运算 k_A 9gj1  
A.1复数的概念 F qH@iZ  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 $@}\T  
A.3复数在物理中的运用 ,].S~6IM  
附录B矩陈及矩陈运算 RxrUnM
F  
B.1矩陈的定义 0Ik}\lcn  
B.2矩陈运算 &-B&s.,kj  
附录C光的电磁理论基础 6~y7A<[^  
C.1振动与波 9xZ?}S:d  
C.2电磁波 C+<z;9`  
C.3麦克斯韦方程 rxM)SC;P  
C.4平面电磁波 +`$[h2Z=:  
C.5平面电磁波性质 {S=gXIh(y  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 }rbsarG@  
附录D光的干涉 K26x,m]p  
D.1波的叠加原理 fNZ:l=L3):  
D.2杨氏干涉 "YQ%j+  
D.3平板的表面干涉 ,Y_[+  
D.4光的空间相干性和时间相干性 =^D{ZZ
w{  
附录E光的偏振 .0H!B#9  
E.1自然光和偏振光 %. -nZC  
E.2偏振光与Jones矩陈 O:86
*  
E.3偏振光的获得 7J$5dFV2  
E.4偏振光的检验 /{7we$+,p  
…… y|0I3n]e  
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