现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 cK(S{|F  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 bW9a_myE  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 3HP o*~"]  
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第一篇光学多层膜设计 Dy[_Ix/Y,  
第1章光学薄膜特性的理论计算 g~i%*u,Y<  
1.1单色平面电磁波 QC+K:
jL  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 3h-C&C  
1.3光学薄膜特性的理论计算  aX'R&R  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 @1UC9}>  
习题 E 9LKVs}  
第2章光学薄膜的设计理论 97%S{_2m/  
2.1矢量作图法 x&SG gl
 
2.2有效界面法 .7|kxJq  
2.3对称膜系的等效层 Pf
Re)JuB  
2.4导纳图解技术 Ur/+nL{  
习题 KkJK5dZo  
第3章光学薄膜系统的设计 `Z3p( G  
3.1减反射膜 gISG<!+X^  
3.2分束镜 L&WhX3$u  
3.3高反射膜  XAb!hc   
3.4干涉截止滤光片 g]hTz)8fF  
3.5带通滤光片 '%2q'LqSA  
3.6特殊膜系 tXgsWG?v[H  
习题 n7r )wy
 
参考文献 FXi"o $N  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 TC%ENxDR  
第4章薄膜制备技术 b;X|[tB  
4.1真空淀积工艺 \LQ?s)~  
4.2光学薄膜材料 #@#/M)  
4.3薄膜厚度监控艺术 Ob"48{w$  
4.4膜层厚度的均匀性 X
4"D Lt"  
习题 Q,.[y"m9Y.  
参考文献 xKl!{A9$w  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 CSC sJE#4
 
5.1薄膜的形成过程 9mEt**s Ur  
5.2薄膜的微观结构 X<OOgC  
5.3薄膜的成分 $T)E
Je
 
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 E9]/sFA-]  
5.5薄膜微观结构和改善 {b<;?Dus^  
习题 w[bhm$SX]B  
参考文献 rX-V0  
第三篇光学薄膜检测技术 gg-4ce/  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ,'KQFC   
6.1光谱分析测试系统的基本原理 |V 3AA   
6.2薄膜反射率的测试 ;U02VguC  
6.3薄膜反射率的测量 Y]ZNA
R  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 HFr#Ql>g  
6.5总结 m,,FNYW  
习题 /Lf+*u>"  
参考文献 0gs0[@  
第7章薄膜的吸收和散射测量 v7i5R !  
7.1激光量热计基本原理 &K1\"  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 &rcC7v K9  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 1h"CjOp,7  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 -t<8)9q(  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 E7_)P>aS5  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 Dd(#
  
7.7总结 fc~6/  
习题 IwE{Zvr  
参考文献 Kn WjP21  
第8章薄膜光学常数的测量 y}'c)u  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 NaR/IsN8%  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 dFu<h   
8.3薄膜波导法 qB`-[A9HPe  
8.4光学薄膜厚度的测试 C;u8qVI  
8.5总结 L=7U#Q/DE  
习题 F)W7,^=X>-  
参考文献 J73B$0FP  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 %|6t\[gn  
9.1薄膜的力学特性检测技术 yEaim~  
9.2薄膜器件的环境试验 Ly?%RmHK  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 9rB,7%@EL  
9.4总结 +x7b9sHJ  
习题 -FAAP&LG  
参考文献 @Gh?|d7bD  
附录 O3?3XB> <  
附录A复数与复数运算 "kE$2Kg  
A.1复数的概念 IEx`W;V]K  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 (-RZ|VdYg  
A.3复数在物理中的运用 5pOb;ry")`  
附录B矩陈及矩陈运算 .=j]PckJO  
B.1矩陈的定义 0I8w'/s_g9  
B.2矩陈运算 @AXRKYQ{t  
附录C光的电磁理论基础 w3l+BUn:X  
C.1振动与波 (1
L9K;  
C.2电磁波 x>u
\  
C.3麦克斯韦方程 k *a?Ey$  
C.4平面电磁波 %Fh*$gzh*5  
C.5平面电磁波性质 #B;~i6h]  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 h)W?8
XdM  
附录D光的干涉 $R\D[`y|  
D.1波的叠加原理 '|zkRdB*Lq  
D.2杨氏干涉 &8l"Dl  
D.3平板的表面干涉 mSw$? >  
D.4光的空间相干性和时间相干性 O4Wn+$AN  
附录E光的偏振 x=UwyZ
 
E.1自然光和偏振光 _K4Igq  
E.2偏振光与Jones矩陈 #~&SkIhBE  
E.3偏振光的获得 -,M*j|  
E.4偏振光的检验 tWs ]Zd  
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