现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 a\m10Ih:  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 <p0$Q!^dK=  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 pr0V)C6  

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第一篇光学多层膜设计 n"K7@[d  
第1章光学薄膜特性的理论计算 HIa$0g0J  
1.1单色平面电磁波 RLHe;-*b]I  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 F5<{-{Ky  
1.3光学薄膜特性的理论计算 V!U[N.&$  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 A^p $~e\)  
习题 o"1us75P  
第2章光学薄膜的设计理论 usTCn3u  
2.1矢量作图法 8rpN2M3h  
2.2有效界面法 n ~3c<{coZ  
2.3对称膜系的等效层 .RWBn~b#I  
2.4导纳图解技术 z:G9Uu3H(  
习题 rzBWk  
第3章光学薄膜系统的设计 #*]= %-A  
3.1减反射膜 ? sewU9*  
3.2分束镜 d<3"$%C  
3.3高反射膜 \4p<;$'  
3.4干涉截止滤光片 )eV40l$ M  
3.5带通滤光片 Ul'G g  
3.6特殊膜系 4 z`5W,  
习题 pq&c]8H  
参考文献 |}|;

OG  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 HYH!;  
第4章薄膜制备技术 5
UM[Iz  
4.1真空淀积工艺 <C{5(=
X{  
4.2光学薄膜材料 d?P aZz{4  
4.3薄膜厚度监控艺术 vxt^rBA  
4.4膜层厚度的均匀性 nz',Zm},  
习题 :ZIcWIV-  
参考文献 (os7Q?  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 KE3v3g<  
5.1薄膜的形成过程 O&s6blD11  
5.2薄膜的微观结构 an2Tc*=~l(  
5.3薄膜的成分 Mvh_>-i  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 4>E2G:  
5.5薄膜微观结构和改善 By_Ui6:D  
习题 [Bh]\I'  
参考文献 Z7/dRc   
第三篇光学薄膜检测技术 YBO53S]=  
第6章薄膜透射率和反射率测量 !jW32$YTR  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 s?E:
]  
6.2薄膜反射率的测试 7| T:TbY>  
6.3薄膜反射率的测量 'x0t, ;g  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 :jX~]1hpmA  
6.5总结 =KZ4:d5  
习题 hF1/=;>  
参考文献 80EY7#r@w  
第7章薄膜的吸收和散射测量 dW`D?$(@,  
7.1激光量热计基本原理 0R]CI  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 %ze1ZWO{  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 |@HdTGD  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 aVYUk7_<  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 <X |h*  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 >cNXB7]E>  
7.7总结 \PONaRK|[z  
习题 u3:Qt2^S  
参考文献 k#(cZ  
第8章薄膜光学常数的测量 K
IFx&A  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 dmy-}.pqN  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 0)]1)z(P
 
8.3薄膜波导法 2~DPq p[  
8.4光学薄膜厚度的测试 (r4VIlap  
8.5总结 `RcNqPY#S  
习题 $hQg+nY.  
参考文献 5uer [1A  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 72zuI4&  
9.1薄膜的力学特性检测技术 +_dYfux  
9.2薄膜器件的环境试验 0?xiGSZV  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 @RIEO%S  
9.4总结 YMTA`T(+  
习题 NR&9:?  
参考文献 =.hDf<U  
附录 => =x0gsgj  
附录A复数与复数运算 H@ms43v\  
A.1复数的概念 ek)(pJ(+#  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 }YP7x|  
A.3复数在物理中的运用 rb'GveW[  
附录B矩陈及矩陈运算 \ZR
oTh  
B.1矩陈的定义 ZD%_PgiT  
B.2矩陈运算 1>VS/H`  
附录C光的电磁理论基础 0Zh _Q  
C.1振动与波 Y0\\(0j64  
C.2电磁波 ue"?S6  
C.3麦克斯韦方程 zD;] sk4  
C.4平面电磁波 Z3>xpw G  
C.5平面电磁波性质 ~x"79=!W  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 xPup?oP >  
附录D光的干涉 ~vV)|  
D.1波的叠加原理 bV*zMoD#  
D.2杨氏干涉 &AcFa<U  
D.3平板的表面干涉 |u r~s$8y-  
D.4光的空间相干性和时间相干性 s;7qNwYO  
附录E光的偏振 F^t?*   
E.1自然光和偏振光 @:9fS  
E.2偏振光与Jones矩陈 rDX'oP:  
E.3偏振光的获得 BemkCj
2  
E.4偏振光的检验 2^#UO=ct  
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