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    [求助]镀膜新人问题第二弹 [复制链接]

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    在线剑雨剑芒
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 前天 15:15
    1.中频反应磁控溅射中Ar气和O2气的配比不同，会影响折射率和消光系数吗？ bY=[ USgps  
    目前我知道O2气不足会有吸收，是因为镀膜的材料从SIO2变成SIO1.5这样，里面是SIO2与SIO混合体，那如果O2气过量的话，会形成SI2O3与SIO2这样的混合体吗？ CDRbYO  
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 昨天 18:20
    Ar和O不是讲配比的，两个功能不一样。 (pd$?vRy  
    Ar是必须的，没有Ar你无法溅射出材料来。 xF8n=Lc  
    做氧化物才需要用O，也不存在气体过多，多了就自己被抽走了。 %g}d}5s  
    还是你抽真空能力太差了，所以没法充足够的气。
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    在线剑雨剑芒
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    只看该作者 2楼 发表于: 30分钟前
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:Ar和O不是讲配比的，两个功能不一样。 4d@yAr}  
    Ar是必须的，没有Ar你无法溅射出材料来。  j%Au0k  
    做氧化物才需要用O，也不存在气体过多，多了就自己被抽走了。 X3:z=X&Zd  
    还是你抽真空能力太差了，所以没法充足够的气。 (2026-04-21 18:20)  gT+g@\u[  
    cmG27\cRO  
    抽真空能力太差，那抽气不就慢了吗？气充的不是更足了？
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