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    [求助]镀膜新人问题第二弹 [复制链接]

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    离线剑雨剑芒
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-20
    1.中频反应磁控溅射中Ar气和O2气的配比不同，会影响折射率和消光系数吗？ nL!h hseH  
    目前我知道O2气不足会有吸收，是因为镀膜的材料从SIO2变成SIO1.5这样，里面是SIO2与SIO混合体，那如果O2气过量的话，会形成SI2O3与SIO2这样的混合体吗？ #n%?}  
     
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 04-21
    Ar和O不是讲配比的，两个功能不一样。 8yz A W&q  
    Ar是必须的，没有Ar你无法溅射出材料来。 S`2MQL  
    做氧化物才需要用O，也不存在气体过多，多了就自己被抽走了。 Gp9 >R~$  
    还是你抽真空能力太差了，所以没法充足够的气。
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    离线剑雨剑芒
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    只看该作者 2楼 发表于: 04-22
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:Ar和O不是讲配比的，两个功能不一样。 [#j|TBMHM  
    Ar是必须的，没有Ar你无法溅射出材料来。 +<:p`%  
    做氧化物才需要用O，也不存在气体过多，多了就自己被抽走了。 R-`{W:S  
    还是你抽真空能力太差了，所以没法充足够的气。 (2026-04-21 18:20)  GY,@jp|R  
    _kH#{4`Hw  
    抽真空能力太差，那抽气不就慢了吗？气充的不是更足了？
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    离线ouyuu
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    只看该作者 3楼 发表于: 04-28
    射频源出来的Ar和O，都是有方向和速度的，这才是有用的。 :KX/`   
    用完以后那些随机布尔运动的气体分子就该抽走，留着就是阻挡那些射频离子。 zF)_t S  
    真空度越差，说明留着没抽走的气体越多，你镀膜就越费劲。 VmBLNM?  
    V$q%=Sip  
    就像建筑工地或者工厂，一堆不干活的人阻挡了干活的人的通道或者流水线， ct~lt'L\  
    反倒降低了工作效率，不是人越多活干的越快。 q>Px   
    UeHS4cW  
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