现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 q^r#F#*1l  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 K)\M5id]  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 TW[_Ko86  
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第一篇光学多层膜设计 4)U.5FBk )  
第1章光学薄膜特性的理论计算 1. rj'  
1.1单色平面电磁波 K00 87}H  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 Qt/8r*Oe  
1.3光学薄膜特性的理论计算 }w1~K'ck}>  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 sK7+Q  
习题 rxy&spX  
第2章光学薄膜的设计理论 p\JfFfC  
2.1矢量作图法 T)Y=zIQ1]7  
2.2有效界面法 2EfF
=Fm>  
2.3对称膜系的等效层 !kE-_dY6)  
2.4导纳图解技术 lhw ,J]0*  
习题 4(1
(e  
第3章光学薄膜系统的设计 ?_Q/}@`  
3.1减反射膜 ;uW}`Q
<  
3.2分束镜 Sp^9&^  
3.3高反射膜 t$A%*JBKm  
3.4干涉截止滤光片 |jVM
&R2s  
3.5带通滤光片 v0YG,)_
 
3.6特殊膜系 e}.^Tiwd]  
习题 A _XhuQB;d  
参考文献 E5N{j4\F  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 V2i@.@$j  
第4章薄膜制备技术 ]@0NO;bK>F  
4.1真空淀积工艺 =<NljOR4`  
4.2光学薄膜材料 ltD37QZQ  
4.3薄膜厚度监控艺术 Ldl5zc  
4.4膜层厚度的均匀性 Ns[ym>x#2  
习题 ")!,ZD  
参考文献 +{L<? "  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 'I /aboDB  
5.1薄膜的形成过程 a'jR#MQl?  
5.2薄膜的微观结构 Vw&HVo  
5.3薄膜的成分 D*YM[sN`  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ^>N]H>0'S  
5.5薄膜微观结构和改善 [g Z"a*  
习题 bLd#xXl  
参考文献 |R#"Th6mH!  
第三篇光学薄膜检测技术 !ZI7&r`u;  
第6章薄膜透射率和反射率测量 '^FGc  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 _Jt 2YZdA  
6.2薄膜反射率的测试 K.z64/H:  
6.3薄膜反射率的测量 p$x{yz3  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ~DsECnD  
6.5总结 Kbb78S30  
习题 S.d^T](  
参考文献 *s>BG1$<  
第7章薄膜的吸收和散射测量 
-M1YE  
7.1激光量热计基本原理 ~2zMkVH  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 x"CZ]p&m  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 3,Q^& 1  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 XFh>U7z.  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 $
8'O  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ~35U]s@v  
7.7总结 V2<?ol  
习题 !E-Pa5s  
参考文献 ]+m/;&0  
第8章薄膜光学常数的测量 `St.+6^J  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ocyb5j  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 A,)VM9M_l  
8.3薄膜波导法 T1r3=Y4  
8.4光学薄膜厚度的测试 A?oXqb  
8.5总结 u]ZqOJXxu  
习题 D K
w*~0  
参考文献 0^8)jpL$<9  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 /De^  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ]l(wg]  
9.2薄膜器件的环境试验 H-xFiF  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 >Z;jY*  
9.4总结 ?*oKX  
习题 KPpHwcYxT  
参考文献 [M%9_CfZOy  
附录 $\"9<o|h  
附录A复数与复数运算 o8Z[+;  
A.1复数的概念 q;:6_Qr  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Dr~=o%  
A.3复数在物理中的运用 2Gs$?}"a  
附录B矩陈及矩陈运算 pMJ1v  
B.1矩陈的定义 Na\WZSu'"  
B.2矩陈运算 NcAp_q? 4  
附录C光的电磁理论基础 LsM7hLy  
C.1振动与波 {q3H5csFq  
C.2电磁波 SgEBh  
C.3麦克斯韦方程 R+~cl;#G6  
C.4平面电磁波 ~Gqno  
C.5平面电磁波性质 !P$'#5mr  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ZK'-U,Y.H7  
附录D光的干涉 uyF|O/FC  
D.1波的叠加原理 "z*:'8;E  
D.2杨氏干涉 _NcYI  
D.3平板的表面干涉 EOoZoVdzx  
D.4光的空间相干性和时间相干性 jkF8\dR  
附录E光的偏振 $j5,%\4<  
E.1自然光和偏振光 nSCWg=E^  
E.2偏振光与Jones矩陈 D5an\gE  
E.3偏振光的获得 =5sF"L;b  
E.4偏振光的检验 /V?H4z[G  
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