现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 9K;g\? 3  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 TS`m&N{i")  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 7^V`B^Vu  
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第一篇光学多层膜设计 V["'
eJA,,  
第1章光学薄膜特性的理论计算 '9'f\  
1.1单色平面电磁波 _
>a`dp.19  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 aTfc>A;  
1.3光学薄膜特性的理论计算  #]QS   
1.4光学多层膜内的电场强度分布 /eT9W[a  
习题 .AQTUd(_  
第2章光学薄膜的设计理论 h@]{j_$u  
2.1矢量作图法 l*(L"]  
2.2有效界面法 WL|71?@C  
2.3对称膜系的等效层 <>(v~a]  
2.4导纳图解技术 2kOaKH[(q  
习题 KYyoN  
第3章光学薄膜系统的设计 I]HLWF  
3.1减反射膜 o6RT4`  
3.2分束镜 *%\Xw*\0  
3.3高反射膜 %__ @G_M  
3.4干涉截止滤光片 nTw:BU4jd  
3.5带通滤光片 M?Fv'YE  
3.6特殊膜系 '"XVe+.O  
习题 A6+qS [  
参考文献 >0u*E *Y  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 eY%Ep=J  
第4章薄膜制备技术 q,_EHPc  
4.1真空淀积工艺 tKeozV[V  
4.2光学薄膜材料 ?9 W2ax-4  
4.3薄膜厚度监控艺术 EiP N44(  
4.4膜层厚度的均匀性 |9F-ZH~6  
习题 aO}p"-'  
参考文献 vXZP>  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 (uX"n`Dk  
5.1薄膜的形成过程 I.Xbowl  
5.2薄膜的微观结构 unRFcjEa  
5.3薄膜的成分 \II^&xSF  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 *>!-t   
5.5薄膜微观结构和改善 1d842pt  
习题 fB&i{_J  
参考文献 Z"KrirZ  
第三篇光学薄膜检测技术 foBF]7Bz?  
第6章薄膜透射率和反射率测量 DZ $O%  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 OlptO60{ ]  
6.2薄膜反射率的测试 l^%52m@{  
6.3薄膜反射率的测量  z).&0K  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 \ [M4[Qlq  
6.5总结 KZ1m2R}'  
习题 o.Bbb=*rZ  
参考文献 0'Qvis[kt  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ug'^$geM  
7.1激光量热计基本原理 Z^
Wv(:Nr  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 /!.]Y8yEH  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量  ;5  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 M$Rh]3vqR  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 O;&5> W,Z  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 #Uep|A  
7.7总结 XWX]/j2jA  
习题 jwuSne  
参考文献 @7;}6,)  
第8章薄膜光学常数的测量 naA8RD5/  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ~ 588md :  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 pV!WZUfg  
8.3薄膜波导法 LF)wn-C}  
8.4光学薄膜厚度的测试 {lUaN0O:  
8.5总结 ;>fM?ae5  
习题 R:ecLbC  
参考文献 '|*e4n  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 bPkz=^-  
9.1薄膜的力学特性检测技术 g $^Yv4  
9.2薄膜器件的环境试验 >5TXLOYZ  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 YN7OQqa  
9.4总结 d/@P;YN!  
习题 cXr_,>k  
参考文献 dDAl n+  
附录 6\v4#  
附录A复数与复数运算 2z AxGX  
A.1复数的概念 e~9g~k]s  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 E8t{[N6d  
A.3复数在物理中的运用 5^CWF|  
附录B矩陈及矩陈运算 S)'&+HamI  
B.1矩陈的定义 L)S V?FBx  
B.2矩陈运算 aWP9i&  
附录C光的电磁理论基础 \.GA"_y  
C.1振动与波 l1 _"9a%H  
C.2电磁波 MX+gc$Y O  
C.3麦克斯韦方程 Po.by~|  
C.4平面电磁波 ?%D nIl>  
C.5平面电磁波性质 rd24R
-6  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ,w=u?  
附录D光的干涉 cK\?wZ| Y  
D.1波的叠加原理 fEtBodA
)  
D.2杨氏干涉 G,1g~h%I$  
D.3平板的表面干涉 A!uiM*"W  
D.4光的空间相干性和时间相干性 IJ:JH=8  
附录E光的偏振 0,8RA_Ca}  
E.1自然光和偏振光 Qw"%Xk  
E.2偏振光与Jones矩陈 LWN9 D  
E.3偏振光的获得 l&mY}k  
E.4偏振光的检验 H:WuMwD4  
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