现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 W is_N3M  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 zhbp"yju7  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 wt4uzg8  
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第一篇光学多层膜设计 wkK61ah6  
第1章光学薄膜特性的理论计算 [H5TtsQ[  
1.1单色平面电磁波 sw{,l"]<  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 PDaHY  
1.3光学薄膜特性的理论计算 f?T6Ne'  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 LC/9)Sh_n  
习题 N!>Gg|@~  
第2章光学薄膜的设计理论 |e@9YDZ  
2.1矢量作图法 pqO}=*v@  
2.2有效界面法 ((wG K|d  
2.3对称膜系的等效层 i.Iiwe0G  
2.4导纳图解技术 A-e#&pJ  
习题 Ml)~%ZbF  
第3章光学薄膜系统的设计 OI"vC1.5  
3.1减反射膜 <:)T7yVq  
3.2分束镜 pIdJ+gu(s  
3.3高反射膜 R4G$!6Ld  
3.4干涉截止滤光片 :9N~wd  
3.5带通滤光片 ',k0_n?t  
3.6特殊膜系 (#FWA<o  
习题 bj4cW\b(  
参考文献 ^& ZlV  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 uj|{TV>v9  
第4章薄膜制备技术 1UX"iOx(  
4.1真空淀积工艺 y#
8| @?  
4.2光学薄膜材料 09<O b[%h  
4.3薄膜厚度监控艺术 (KR$PLxDK  
4.4膜层厚度的均匀性 es@_6ol.@  
习题 u"r~5  
参考文献 \D(6
t!Ox  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 PLR[nB7K  
5.1薄膜的形成过程 RWtD81(oC'  
5.2薄膜的微观结构 ]5W0zNb*  
5.3薄膜的成分 a9PSg/p  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 PVvN
u5k  
5.5薄膜微观结构和改善 BsiHVr  
习题 Wf/Gt\?  
参考文献 &gxRw l  
第三篇光学薄膜检测技术 #4"(M9kf  
第6章薄膜透射率和反射率测量 @O9.~6  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Q{6Bhx *>  
6.2薄膜反射率的测试 P]:r'^Yn  
6.3薄膜反射率的测量 <CIJ
g*  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 UR6.zE4=_  
6.5总结 {aP5Mem  
习题 IBWUXG;  
参考文献 P.
mz$M  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ,-^Grmr4M  
7.1激光量热计基本原理 o5KpiibFM  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 }I<r=?  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 (3YCe{  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 6KPM4#61o  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 =jIB5".  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 7?<.L  
7.7总结 rtf\{u9 }g  
习题
n[ip'*2L  
参考文献 2='gC|&s6  
第8章薄膜光学常数的测量 3Z#k9c_b  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 d;O16xcM/  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 <a7y]Py  
8.3薄膜波导法 KB49~7XjQ@  
8.4光学薄膜厚度的测试
a5jc8S>  
8.5总结 g*69TqO^  
习题 Br.$:g#  
参考文献 -L@4da[]i  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 %Cbqi.iuQ  
9.1薄膜的力学特性检测技术 wJM})O%SQ  
9.2薄膜器件的环境试验 |?{3&'`J8w  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Q!8AFLff4  
9.4总结 o-\ K]  
习题 .&dW?HS  
参考文献 k4jZu?\C]  
附录 '<_nL8A^  
附录A复数与复数运算 ]vRte!QJ;  
A.1复数的概念 [:<CgU9C  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 =TKu2  
A.3复数在物理中的运用 `>&V_^y+  
附录B矩陈及矩陈运算 `Yn:fL7S  
B.1矩陈的定义 |kJ'FZZd  
B.2矩陈运算 8A/"ia  
附录C光的电磁理论基础 6Mu_
9UAl`  
C.1振动与波 sFv68Ag+  
C.2电磁波 <uZ r.X  
C.3麦克斯韦方程 eMyh&@7(F  
C.4平面电磁波 |?k3I/;  
C.5平面电磁波性质 ZHT_o\  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ;sd[Q01  
附录D光的干涉 HwTb753  
D.1波的叠加原理 !h3$C\  
D.2杨氏干涉 F N6GV  
D.3平板的表面干涉 CY~]lQ  
D.4光的空间相干性和时间相干性 5%,5Xe4p  
附录E光的偏振 D^ZG-WR  
E.1自然光和偏振光 ;8\w$SPP  
E.2偏振光与Jones矩陈 ssaEAm:  
E.3偏振光的获得 u6^cLQO+  
E.4偏振光的检验 _N!L?b83P  
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