现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 f5Hv![x  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 [4hi/60  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 UcKVLzKs  
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第一篇光学多层膜设计 qj/Zk[  
第1章光学薄膜特性的理论计算 AmZW=n2^  
1.1单色平面电磁波 `fOp>S^Q4  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 %^d<go^  
1.3光学薄膜特性的理论计算 Fi'ZId  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 |~ytAyw  
习题 Zd'Yu{<_2N  
第2章光学薄膜的设计理论 w59q* 2  
2.1矢量作图法 I4|"Ztw  
2.2有效界面法 @^<&LG5^  
2.3对称膜系的等效层 )4h|7^6ji  
2.4导纳图解技术 !Eg2#a?  
习题 P3IBi_YyG1  
第3章光学薄膜系统的设计 PJ4/E  
3.1减反射膜 PhPe7^  
3.2分束镜 _^eiN'B  
3.3高反射膜 mK/E1a)AG3  
3.4干涉截止滤光片 d!46`b$rd  
3.5带通滤光片 Bd 0oA )i  
3.6特殊膜系 0y t36Du  
习题 Qv`: E   
参考文献 MkHkM  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 c|(J%@B)  
第4章薄膜制备技术 Lq$ig8V:O7  
4.1真空淀积工艺 $P#x>#+[A  
4.2光学薄膜材料 ,(-V<>/*.|  
4.3薄膜厚度监控艺术  4Y}Nu  
4.4膜层厚度的均匀性 .vctuy&  
习题 4x&Dz0[[S  
参考文献 }K@m4`T  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ^pH8'^n  
5.1薄膜的形成过程 mQ<4(qd)  
5.2薄膜的微观结构 Phk3Jv  
5.3薄膜的成分 H3*]}=  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 zc=G4F01  
5.5薄膜微观结构和改善 !H@HgJ -  
习题 V9SL96'[I  
参考文献 )/vom6y*   
第三篇光学薄膜检测技术 sp:4b$zX  
第6章薄膜透射率和反射率测量 N UvVhy]{  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 7y3WV95Z\  
6.2薄膜反射率的测试 \+nV~Pi"A  
6.3薄膜反射率的测量 $./aKJ1B  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 /V{UTMSz  
6.5总结 Zj-U^6^L  
习题 :*&c'  
参考文献 l*OR{!3H$  
第7章薄膜的吸收和散射测量 RD"-(T  
7.1激光量热计基本原理 j{r@>g;3  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 6WT3-@d  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Ihf)gfHj  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 akNqSZwj  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 {J izCUo_'  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 fz`)CWo:  
7.7总结 9Q}g Vqn  
习题 q4Wr$T$gs=  
参考文献 hrq% {!Z  
第8章薄膜光学常数的测量 .{c7 I!8  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 FG[rH]  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 i0$*):b  
8.3薄膜波导法 O1c:X7lHc  
8.4光学薄膜厚度的测试 1P[x.t#  
8.5总结 zG<<MR/<  
习题 yc~<h/}#  
参考文献 P{UV3ZA%  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 $l"%o9ICG  
9.1薄膜的力学特性检测技术 xSd&xwP  
9.2薄膜器件的环境试验 k9OGnCW\  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 {pH#zs4Y  
9.4总结 YPI,u7-  
习题 xx>hJ!  
参考文献 _qf39fM;\  
附录 ZSK_Lux>  
附录A复数与复数运算 d8vf kVB  
A.1复数的概念 z2t+1In,  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Nj3iZD|  
A.3复数在物理中的运用 iLZY6?_^  
附录B矩陈及矩陈运算 N10U&L'w  
B.1矩陈的定义 ws5Ue4g|  
B.2矩陈运算 Z3hZy&_I  
附录C光的电磁理论基础 3k9n*jY0  
C.1振动与波 rkR5>S( 2M  
C.2电磁波 qjhV/fsfb  
C.3麦克斯韦方程 {CI4AT!?W  
C.4平面电磁波 !2.BLJE>  
C.5平面电磁波性质 DbH;DcV7  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 /Yp#`}Ii  
附录D光的干涉 hI!BX};+}  
D.1波的叠加原理 vuPNru" 2  
D.2杨氏干涉 $~.YB\3  
D.3平板的表面干涉 9D1WUUa  
D.4光的空间相干性和时间相干性 |K Rt$t  
附录E光的偏振 C$6FI
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E.1自然光和偏振光 LZe)_9$  
E.2偏振光与Jones矩陈 0?>(H(D^/  
E.3偏振光的获得 y0mND
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E.4偏振光的检验 \(P?=] -  
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