现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ){v nmJJ%  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 dQ<EDtap  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 e.[h  

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第一篇光学多层膜设计 dP82bk/e  
第1章光学薄膜特性的理论计算 B{44|aq1|  
1.1单色平面电磁波 gD-<^Q-  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 dI`b AP;\  
1.3光学薄膜特性的理论计算 WkT4&|POJ  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 =7a9~&|  
习题 ]\{EUx9  
第2章光学薄膜的设计理论 DUaj]V{_^  
2.1矢量作图法 -0Ps.B  
2.2有效界面法 ?Pa5skqR  
2.3对称膜系的等效层 2vynz,^ET  
2.4导纳图解技术 )gZ yW  
习题 uKK+V6}!kj  
第3章光学薄膜系统的设计 `On%1%k8  
3.1减反射膜 ]`LMy
t0  
3.2分束镜 YM-,L-HMA  
3.3高反射膜  W+e  
3.4干涉截止滤光片 <%!EI@
N  
3.5带通滤光片 "
lB[IB)  
3.6特殊膜系 'Je;3"@  
习题 rAgb<D@,H  
参考文献 Wh,p$|vL  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 H?PaN)_6-+  
第4章薄膜制备技术 @,
$>H7o  
4.1真空淀积工艺 opd^|xx0  
4.2光学薄膜材料 ->d3FR  
4.3薄膜厚度监控艺术 Mp}U>+
8  
4.4膜层厚度的均匀性 s$A|>TOY  
习题 [:Sl^ Z&6M  
参考文献 rOX\rI%0+  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 b}WU  
5.1薄膜的形成过程 NbH;@R)L  
5.2薄膜的微观结构 k*J0K=U|  
5.3薄膜的成分 5LR k)@t  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 u{J$]%C   
5.5薄膜微观结构和改善 Nzf 
tc  
习题 "_W[X  
参考文献 ?|kwYA$4o  
第三篇光学薄膜检测技术 J
.$N<.  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ",Mr+;;:[  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 3v\}4)A[  
6.2薄膜反射率的测试 Ko:<@h  
6.3薄膜反射率的测量 m9 1Gc?c  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 4S5U|n  
6.5总结 Pd)mLs Jg  
习题 A{MMY{K3  
参考文献 ZwM(H[iqL  
第7章薄膜的吸收和散射测量 HQX.oW  
7.1激光量热计基本原理 yhc}*BMZ  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 !cW6dc^  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Qhy!:\&1  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 DZ"'GQSg  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 k..AP<hH  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 {u~JR(C:  
7.7总结 ?k@^U9?R  
习题 qz95)  
参考文献 VYbH:4K@%  
第8章薄膜光学常数的测量 |0OY>5  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 @q]4]U)  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 zncKd{Q\tP  
8.3薄膜波导法 _0}u0fk  
8.4光学薄膜厚度的测试 i]9C"Kw$L  
8.5总结 q#=HBSyM  
习题 /*P) C'_M  
参考文献 5:|9pe)  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 2ca#@??R  
9.1薄膜的力学特性检测技术 7vTzY%v  
9.2薄膜器件的环境试验 [n4nnmM  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 GHY+q{'#V_  
9.4总结 fJOwE g|  
习题 7>"dc+Fg  
参考文献 C~Hhi-Xl)  
附录 BMug7xl"  
附录A复数与复数运算 dIW@L  
A.1复数的概念 hi`[  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 `J]e.K  
A.3复数在物理中的运用 \#4mPk_"  
附录B矩陈及矩陈运算 ,BUrZA2\U$  
B.1矩陈的定义 't6l@_x  
B.2矩陈运算 z
zK<>@c  
附录C光的电磁理论基础 e>6|# d  
C.1振动与波 E5!vw@,  
C.2电磁波 _o[fjd  
C.3麦克斯韦方程 hjyM xg;Q?  
C.4平面电磁波 }{y)a<`  
C.5平面电磁波性质 djH&)&q!  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 v*[UG^+)  
附录D光的干涉 i\
<S ;  
D.1波的叠加原理 {0~\T[qm  
D.2杨氏干涉 4%2A
PvLW  
D.3平板的表面干涉 !c`&L_ "!  
D.4光的空间相干性和时间相干性 k@ <dru  
附录E光的偏振 DQ(0:r  
E.1自然光和偏振光 r0!')?#Z  
E.2偏振光与Jones矩陈 rY6x):sC  
E.3偏振光的获得 :s6aFiz  
E.4偏振光的检验 2xf#@`U  
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