现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 "kg$s5o  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 E\N=p&g$  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 wdV?&W+  

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第一篇光学多层膜设计 `\0a5UFR  
第1章光学薄膜特性的理论计算 "uC*B4`  
1.1单色平面电磁波 B9-[wg#0G  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 04d$_1:}a  
1.3光学薄膜特性的理论计算 cN>i3}fq  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 e.^9&Fk"N  
习题 X5<.%@Z  
第2章光学薄膜的设计理论 c3t8yifQ  
2.1矢量作图法 1hS~!r'qqv  
2.2有效界面法 c/U6K yiK  
2.3对称膜系的等效层 ,4,c-   
2.4导纳图解技术 I!O S&8:u  
习题 !l^AKn|  
第3章光学薄膜系统的设计 <J`xCm K  
3.1减反射膜 mIo7 K5z{  
3.2分束镜 l$9,  
3.3高反射膜 jtY~-@*  
3.4干涉截止滤光片 -=IM8Dny  
3.5带通滤光片 uJ\Nga<?  
3.6特殊膜系 *)I1gR~  
习题 W2N7  
参考文献 Uroj%xN  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 #wiP{+%b  
第4章薄膜制备技术 r ngw6?`n-  
4.1真空淀积工艺 1D6O=
j\  
4.2光学薄膜材料 AMz=HN  
4.3薄膜厚度监控艺术 A,)ELVk1F  
4.4膜层厚度的均匀性 ?Fpl.t~  
习题 <DS6-y  
参考文献 p]eD@3Wz  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ;~1JbP  
5.1薄膜的形成过程 +Bfi/>  
5.2薄膜的微观结构 "M &4c:cz  
5.3薄膜的成分 a6P.Zf7  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 fk1f'M)/8  
5.5薄膜微观结构和改善 -~fI|A^  
习题 ,[L$  
参考文献 q04Dj-2<  
第三篇光学薄膜检测技术 -+_&#twU  
第6章薄膜透射率和反射率测量 3PffQ,c[~  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 p\S3A(  
6.2薄膜反射率的测试 )7J>:9h  
6.3薄膜反射率的测量 $uhDBmb  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 Bx4GFCdifC  
6.5总结 Ao$z)<d'  
习题 G- WJlu  
参考文献 V0i$"|F+E  
第7章薄膜的吸收和散射测量 AAgA]OD,  
7.1激光量热计基本原理 NhX.yLb$   
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 KL]!E ~i  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 z?[DW*  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 _9r
{W65s  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ,O$C9pH9  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 KW^aARJ)  
7.7总结 IIiN1 Lu,5  
习题 B$EP'5@b  
参考文献 |0p'p$%  
第8章薄膜光学常数的测量 ?UDO%`X  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 x$DJ  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Uiw7Y\Im|  
8.3薄膜波导法 MX,0gap  
8.4光学薄膜厚度的测试 GJPZ[bo  
8.5总结 TVwYFX  
习题 P^W47 SO  
参考文献 =]"|x7'!  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 )W|jt
/  
9.1薄膜的力学特性检测技术 [)n}!5fE  
9.2薄膜器件的环境试验 >/bK?yT<  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 ><c5Humr  
9.4总结 7!wnx.  
习题 Un{ln*AR\  
参考文献 0u2uYiE-l  
附录 QPE.b-S  
附录A复数与复数运算 tC-KW~&  
A.1复数的概念 k|'Mh0G0  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 [)vwg`]  
A.3复数在物理中的运用 ~1sl.8tF  
附录B矩陈及矩陈运算 N)WG~=Gi  
B.1矩陈的定义 UROi.976D  
B.2矩陈运算 :/%xK"  
附录C光的电磁理论基础 ?ovGYzUZ  
C.1振动与波 tdF[2@?+  
C.2电磁波 RGI6W{\  
C.3麦克斯韦方程 BK SK@OV  
C.4平面电磁波 |9$'?4F  
C.5平面电磁波性质 Wb
4{*~  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 9Ib(x0_  
附录D光的干涉 iDc|9"|Tf3  
D.1波的叠加原理 6FMW g:{  
D.2杨氏干涉 u?Mu*r?  
D.3平板的表面干涉 eH/\7
)z  
D.4光的空间相干性和时间相干性 pY#EXZ#   
附录E光的偏振 2_b'mepV  
E.1自然光和偏振光 N==_'`O1Q0  
E.2偏振光与Jones矩陈 G$uOk?R#5c  
E.3偏振光的获得 UVUO}B@[S  
E.4偏振光的检验 l{m~d!w`a  
…… {b
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