现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 K4~dEZ   
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 .%o:kq@B  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 8EQ;+V  
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第一篇光学多层膜设计 B}p/
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第1章光学薄膜特性的理论计算 wI:oe`?H  
1.1单色平面电磁波 ie)Qsw@  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 H74hv`G9  
1.3光学薄膜特性的理论计算 MFVFr "  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 {.ph)8  
习题 /dO&r'!:  
第2章光学薄膜的设计理论 `7NgQ*g.d/  
2.1矢量作图法 WH!<Z=#c}  
2.2有效界面法 3Xy>kG}  
2.3对称膜系的等效层 db`<E <  
2.4导纳图解技术 9P]TIV.  
习题 Z@>>ZS1Do  
第3章光学薄膜系统的设计 SngV<J>zR  
3.1减反射膜 Zhw _L  
3.2分束镜 g&"Nr aQM9  
3.3高反射膜 'lWNU  
3.4干涉截止滤光片 D/U o?,>8  
3.5带通滤光片 V[%r5!83H  
3.6特殊膜系 BD#4=u  
习题 0-QkRr_I  
参考文献 HtMlSgx,8>  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ;@sxE}`?g  
第4章薄膜制备技术 SU*P@?:/}  
4.1真空淀积工艺 <ioX|.7ZX  
4.2光学薄膜材料 Lbd_L  
4.3薄膜厚度监控艺术 r`lgK2r\  
4.4膜层厚度的均匀性 ivt\| >  
习题 4>(?R[:p)  
参考文献 "?]5"lNC|  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 0KEytm]  
5.1薄膜的形成过程  /8.;  
5.2薄膜的微观结构 :D(:(`A=  
5.3薄膜的成分 3p7*UVR"  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 OuX/BMG  
5.5薄膜微观结构和改善 7IHWj<  
习题 }3@`'i7  
参考文献
kG%<5QH  
第三篇光学薄膜检测技术 "5{\0CfS  
第6章薄膜透射率和反射率测量 A:N!H_x  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ImgKqp0Z  
6.2薄膜反射率的测试 CnAhEf)b  
6.3薄膜反射率的测量 rq$%  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 u{J:wb  
6.5总结 o#;w>-  
习题 `OduBUI]]  
参考文献
B} &C h  
第7章薄膜的吸收和散射测量 +1e*>jE  
7.1激光量热计基本原理 S!rUdxO  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 T `N(=T^*  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 X~lOFH;}q  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 u6I# D _  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 XfB;^y=u8  
7.6薄膜导波传播衰减系数法
&H*F  
7.7总结 .3$iOMCH  
习题 S&|$F2M  
参考文献 #LF_*a0v  
第8章薄膜光学常数的测量 brZ3T`p+.P  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 <OpiD%Ctx  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Dz.U&+*  
8.3薄膜波导法 y![h  
8.4光学薄膜厚度的测试 =PXNg!B}D*  
8.5总结 Rnj2Q!C2  
习题 0\u_\%[  
参考文献 iPxSVH[  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ARslw*SJ  
9.1薄膜的力学特性检测技术 x%LWcT/  
9.2薄膜器件的环境试验 p_tMl%K  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 @Yy
=HV  
9.4总结 7v1}8Uk  
习题 mh|M O(  
参考文献 5JQq?e)n  
附录 ""TRLs!:M  
附录A复数与复数运算 ^]OD+
v  
A.1复数的概念 9'O<d/xj/  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 }k'8*v}8  
A.3复数在物理中的运用 \\)3:1X  
附录B矩陈及矩陈运算 &AA u:  
B.1矩陈的定义 _Tev503  
B.2矩陈运算 8> Gp #T  
附录C光的电磁理论基础 3
vDV   
C.1振动与波 NeUpl./b  
C.2电磁波 VM|8HR7U  
C.3麦克斯韦方程 Q"%L  
C.4平面电磁波 <4^a(Zh  
C.5平面电磁波性质 fFMG9]*  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 v^JyVf>  
附录D光的干涉 >KC*xa"  
D.1波的叠加原理 h1J-AfV  
D.2杨氏干涉  ,8@@r7  
D.3平板的表面干涉
|(Io(e  
D.4光的空间相干性和时间相干性 _/7[=e}y  
附录E光的偏振 wXfy,W  
E.1自然光和偏振光 iQS?LksQX  
E.2偏振光与Jones矩陈 RQv`D&u_  
E.3偏振光的获得 to+jQ9q8  
E.4偏振光的检验 7-bU9{5  
…… P6;L\9=H<  
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