现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 n[jyhBf\W  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 #d+bld\  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 L-7?:  

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第一篇光学多层膜设计 -Y#YwBy;M  
第1章光学薄膜特性的理论计算 Q@]QPpe  
1.1单色平面电磁波 {uO=Wkp~7  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 HPGMR4=ANS  
1.3光学薄膜特性的理论计算 g]^@bxdg  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 nf,R+oX  
习题 ar-N4+!@  
第2章光学薄膜的设计理论 ?Y:>Ouv*z'  
2.1矢量作图法 d ] J5c  
2.2有效界面法 ZK=`Y@  
2.3对称膜系的等效层 k"*A@  
2.4导纳图解技术 ac8+?FpK #  
习题 `lAe2l^  
第3章光学薄膜系统的设计 ^Ge3"^x1  
3.1减反射膜 +,`Cv_O  
3.2分束镜 ]8)nIT^EP  
3.3高反射膜 XBd/,:q
  
3.4干涉截止滤光片 Fa}3
UVm  
3.5带通滤光片 @dl{.
,J  
3.6特殊膜系 \>Y2I 4x<  
习题 i%jti6z$Hr  
参考文献 89*txYmx  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 =Q#} ,T  
第4章薄膜制备技术 ^_6.*Mvx  
4.1真空淀积工艺 muMb pF  
4.2光学薄膜材料 m+y5
Q&;f  
4.3薄膜厚度监控艺术 K`|%-k+D  
4.4膜层厚度的均匀性 tI2V)i!  
习题 I9xQ1WJc`  
参考文献 ,+0#.Ns$  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ^Ht!~So  
5.1薄膜的形成过程 ElJM. a  
5.2薄膜的微观结构 MeD}S@H  
5.3薄膜的成分 ^gP pmb<x  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Y?cdm}:Ou  
5.5薄膜微观结构和改善 ~Z74e>V%  
习题 %,HuG-L  
参考文献 I[mlQmwsL.  
第三篇光学薄膜检测技术 p.(8ekh  
第6章薄膜透射率和反射率测量 y|sU-O2}Dl  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Q\WH2CK  
6.2薄膜反射率的测试 4/6?wX  
6.3薄膜反射率的测量 :bJT2o[  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 A 9I5  
6.5总结 05]y
*I  
习题 $)UMRG  
参考文献 >LvQ&fAo  
第7章薄膜的吸收和散射测量 $yd "bJK  
7.1激光量热计基本原理 xq#YBi,  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 N~c Y~a  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 5u(,g1s}UZ  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 _g
AU`aO^  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 in>Os@e#  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 r]GG9si  
7.7总结 rA<>k/a  
习题 '@~\(SH  
参考文献
;,d^=:S6@  
第8章薄膜光学常数的测量 Dt)O60X3>  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 1N8:,bpsT  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 "])yV    
8.3薄膜波导法 $~$NQe!/  
8.4光学薄膜厚度的测试 7w}PYp1Z'~  
8.5总结 qfRsp rRI"  
习题 h'Gs$o7#P  
参考文献 Wt$" f  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 |f9fq~'1e  
9.1薄膜的力学特性检测技术 7/$r
  
9.2薄膜器件的环境试验 adi^*7Q] )  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 y7iHB k"^:  
9.4总结 @-^jbmu^ P  
习题 %E1_)^^  
参考文献 >bgx o<  
附录 n'WhCrW  
附录A复数与复数运算 h-0#h/u>M  
A.1复数的概念 0a1Vj56{)  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 S,Y\ox-  
A.3复数在物理中的运用 Qyh_o  
附录B矩陈及矩陈运算 l"T{!Oq  
B.1矩陈的定义 m%?+;V  
B.2矩陈运算 gb_r <j:w  
附录C光的电磁理论基础 J5i$D
0K[  
C.1振动与波 #YABbwH  
C.2电磁波 wD*z >v$  
C.3麦克斯韦方程 z}772hMB  
C.4平面电磁波 G<dWh.|`=  
C.5平面电磁波性质 pwu8LQ3b{O  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 )/32sz]~  
附录D光的干涉 P~6QRm  
D.1波的叠加原理 -XbO[_Wf  
D.2杨氏干涉 #b^x!lR  
D.3平板的表面干涉 rM|] }M=_V  
D.4光的空间相干性和时间相干性 5eP0W#  
附录E光的偏振 P#gY-k&Nr  
E.1自然光和偏振光 0j'H5>m"  
E.2偏振光与Jones矩陈 t<UtSkE1  
E.3偏振光的获得 ZUkrJ'  
E.4偏振光的检验 y2_^lW%  
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