现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 W=+AU!%  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 NM),2%<  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 -Q Mwtr#q}  
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第一篇光学多层膜设计 PGxv4(%  
第1章光学薄膜特性的理论计算 {|<r7K1<  
1.1单色平面电磁波 #n.v#FyNx  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 %z[=T@  
1.3光学薄膜特性的理论计算 IIXA)b!  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 D,FgX/&i/  
习题 ~p{YuW[e  
第2章光学薄膜的设计理论 !nsr( 7X2  
2.1矢量作图法 A(BjU:D(Oj  
2.2有效界面法 Yh"9,Z&wiR  
2.3对称膜系的等效层 UL&>]aQ  
2.4导纳图解技术 vmfFR  
习题 (M{wkQTO  
第3章光学薄膜系统的设计 }7{(o-  
3.1减反射膜 :nqDX  
3.2分束镜
|FlB#  
3.3高反射膜 =Y!.0)t;*  
3.4干涉截止滤光片 3^q9ll7Op  
3.5带通滤光片 &+oJPpHi\  
3.6特殊膜系 Y4,p_6aKJ]  
习题 CV{ZoY  
参考文献 JW2f 6!b  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 [rAi9LSO"  
第4章薄膜制备技术 /Hm/%os  
4.1真空淀积工艺 P$AHw;n[R  
4.2光学薄膜材料 )G]J@36  
4.3薄膜厚度监控艺术 g3%x"SlIU  
4.4膜层厚度的均匀性 t)k;5B`> &  
习题 AOL=;z9c#  
参考文献 7hMh%d0d(_  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 )ytP$,r![S  
5.1薄膜的形成过程 }y+a)2  
5.2薄膜的微观结构 4-'0# a  
5.3薄膜的成分 sMJa4P>O@  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 "av/a  
5.5薄膜微观结构和改善 mN R}%s  
习题 o2]Np~`g,  
参考文献 -H_#et3&i  
第三篇光学薄膜检测技术 r
<P?F  
第6章薄膜透射率和反射率测量 z?`7g%Z?{  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 KiC,O7&<  
6.2薄膜反射率的测试 ]:?hU^H]<  
6.3薄膜反射率的测量 6BQq|:U  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 YxU->Wi]G  
6.5总结 [,~;n@jz  
习题 Y1qbu~!  
参考文献 #q&Nd2y  
第7章薄膜的吸收和散射测量 es+ZPX>Y  
7.1激光量热计基本原理 |-GbHfz  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 bsI?=lO  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 -I#<?=0B  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 wn<k"6x  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 =PjdL32  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 K3rsew n  
7.7总结 5Go@1X]I  
习题 Tn>L?  
参考文献 _R ;$tG,  
第8章薄膜光学常数的测量 .0X 5Vy  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 U}<zn+SI#V  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 4Xn-L&0z  
8.3薄膜波导法 ;'<SsI  
8.4光学薄膜厚度的测试 ,|UwZ_.  
8.5总结 D42!#  
习题 [Mv'*.7  
参考文献 N#:W#C{16w  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 Zjc0R   
9.1薄膜的力学特性检测技术 $V_w4!:Q  
9.2薄膜器件的环境试验 hrfSe$8  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 2&o3OKt  
9.4总结 b|@f!lA  
习题 v}^uN+a5  
参考文献 "#%9dWy  
附录 10_@'N  
附录A复数与复数运算  /zir$  
A.1复数的概念 `
n e9&+  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Y#U0g|UDn  
A.3复数在物理中的运用 kH62#[J)yM  
附录B矩陈及矩陈运算 }.<]A  
B.1矩陈的定义 h>|IA@;|f  
B.2矩陈运算 ?V)M
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附录C光的电磁理论基础 vFgnbWxG  
C.1振动与波 x$b
Cbg  
C.2电磁波 !T]bz+  
C.3麦克斯韦方程 M>jk"*hA|  
C.4平面电磁波 7 /DDQ  
C.5平面电磁波性质 xw1n;IO4  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 [;7$ 'lr%D  
附录D光的干涉 *{e,< DV  
D.1波的叠加原理 `hU2Ss~  
D.2杨氏干涉 G\r>3Ys  
D.3平板的表面干涉 QWwEfL  
D.4光的空间相干性和时间相干性 `u;4Z2Lr0  
附录E光的偏振 1tCe#*|95  
E.1自然光和偏振光 U {sT %G  
E.2偏振光与Jones矩陈 Aq&H-g]s  
E.3偏振光的获得 MrS~u  
E.4偏振光的检验 6 &MATMR  
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