现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 vGOO"r(xL  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ANfy+@  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 >3}N
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第一篇光学多层膜设计 6n;? :./  
第1章光学薄膜特性的理论计算 5=b6B=\*~  
1.1单色平面电磁波 
Qn.3B  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 f ~bgZ  
1.3光学薄膜特性的理论计算 h gu\~}kD  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ^])s\a$  
习题 t#%J=zF{  
第2章光学薄膜的设计理论 !}sF#  
2.1矢量作图法 v5&W)F  
2.2有效界面法 N36B*9m&p  
2.3对称膜系的等效层 cM\BEhh  
2.4导纳图解技术 Kw2]J)TO
 
习题 ENI|e,'[  
第3章光学薄膜系统的设计 )-h{0o  
3.1减反射膜 ]=59_bkD:s  
3.2分束镜 9i D&y)$"  
3.3高反射膜 E(&zH;?_  
3.4干涉截止滤光片 [[xnp;-;  
3.5带通滤光片 h>p,r\X  
3.6特殊膜系 2`> (LH  
习题 F"QJ)F  
参考文献 HZjuL.Tj  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 7PwH&rI  
第4章薄膜制备技术 k=G c#SD5_  
4.1真空淀积工艺 _Fe=:q  
4.2光学薄膜材料 V;Q@'<w  
4.3薄膜厚度监控艺术 m>?|*a,  
4.4膜层厚度的均匀性 {:KPEN  
习题 foB&H;A4oC  
参考文献 F~~9/#  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 {bG.X?b  
5.1薄膜的形成过程 D |fo:Xp,  
5.2薄膜的微观结构 @Y<fj^]k  
5.3薄膜的成分 ~f( #S*Ic  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ~M1T @Mv  
5.5薄膜微观结构和改善 %d<UMbS^  
习题 cVYu(ssC4  
参考文献 ad9u;uS  
第三篇光学薄膜检测技术 6/vMK<Fz9  
第6章薄膜透射率和反射率测量 C%j@s|  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 r{_1M>F D!  
6.2薄膜反射率的测试 yo$A0Ti!w  
6.3薄膜反射率的测量 ywB0 D`s'  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 |tz{Es<`B  
6.5总结 S
pOS
Upl%  
习题 C4t~
k  
参考文献 }=.C~f]A  
第7章薄膜的吸收和散射测量 QUg<~q)Oq  
7.1激光量热计基本原理 L
`fT;2  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 nA%8 bZ+  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Y&y<WN}Q  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 vV*/"'>  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 `6LVXDR  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ldc`Y/:{  
7.7总结 !!mGsgnW  
习题 Ik@MIxLK  
参考文献 ey\(*Tu9  
第8章薄膜光学常数的测量 }uO2x@  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 pW>.3pj  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 dEor+5}  
8.3薄膜波导法 ZmI#-[/  
8.4光学薄膜厚度的测试 ,4}s 1J#  
8.5总结 +eop4
|Z  
习题 \lyHQ-gWhc  
参考文献 <l>L8{-3  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ?ZkVk=t?  
9.1薄膜的力学特性检测技术 pBn;:  
9.2薄膜器件的环境试验 'C;KNc  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 -qLNs_ _k  
9.4总结 k9c`[M  
习题 $. sTb  
参考文献 Tc|+:Usy  
附录 M?kXzb\O  
附录A复数与复数运算 @v.?z2h  
A.1复数的概念 -Byl~n3*D  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 MW=rX>tE  
A.3复数在物理中的运用 /)rv Ndn  
附录B矩陈及矩陈运算 .e}`n)z  
B.1矩陈的定义 HDz"i  
B.2矩陈运算 ;)sC{ "Jb  
附录C光的电磁理论基础 2#'"<n,G
 
C.1振动与波 ENf(E
9O  
C.2电磁波 :%U lNk  
C.3麦克斯韦方程 Xj:\B] v]  
C.4平面电磁波 Ac/LNqIs  
C.5平面电磁波性质 nzU0=w}V  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ZKi?;ta=  
附录D光的干涉 8P2_/)|  
D.1波的叠加原理 (&/~q:a>  
D.2杨氏干涉 v,US4C|^3i  
D.3平板的表面干涉 0iz\<' p  
D.4光的空间相干性和时间相干性 q-e3;$  
附录E光的偏振 cQ0+kX<  
E.1自然光和偏振光 K=dG-
+B~}  
E.2偏振光与Jones矩陈 7}tXF  
E.3偏振光的获得 ZZ>(o d!B  
E.4偏振光的检验 1NK,:m  
…… ]_4HtcL4  
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