现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 <&Xl b0  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 /V09Na,N  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 =s":Mx,o  
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第一篇光学多层膜设计 O Ol:  
第1章光学薄膜特性的理论计算 :=y5713  
1.1单色平面电磁波 ;ZUj2WxE  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 s>o#Ob@4'  
1.3光学薄膜特性的理论计算 SbGdcCB  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 T='uqKW\  
习题 y@l&B+2ks  
第2章光学薄膜的设计理论 0Qa0  
2.1矢量作图法 AC1RP`c  
2.2有效界面法 BJwuN  
2.3对称膜系的等效层 %Zk6K!MY#  
2.4导纳图解技术 OiQf=Uz\  
习题 1l$C3c  
第3章光学薄膜系统的设计 $,@}%NlHc  
3.1减反射膜 zQulPU  
3.2分束镜 f2x!cL|Kx?  
3.3高反射膜 3
bWGWI  
3.4干涉截止滤光片 pi"M*$  
3.5带通滤光片 (*$F7oO<  
3.6特殊膜系
H9)n<r  
习题 Is4,QnY_[  
参考文献 Cg]|x+  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 I9zs  
第4章薄膜制备技术 '(@q"`n  
4.1真空淀积工艺 g6%]uCFB  
4.2光学薄膜材料 ns>$  
4.3薄膜厚度监控艺术 3`yO&upk  
4.4膜层厚度的均匀性 3h:~NL  
习题 X3G593ts  
参考文献 =F$?`q`  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 eZOR{|z  
5.1薄膜的形成过程 4&cQW)  
5.2薄膜的微观结构 pL1ABvBB  
5.3薄膜的成分 %3qjgyLZ|  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 c`;oV-f  
5.5薄膜微观结构和改善 ,Suk
_aX>  
习题 ?pZU'5le`  
参考文献 G^t)^iI"'  
第三篇光学薄膜检测技术 56z>/`=  
第6章薄膜透射率和反射率测量 kMCP .D45;  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Zq85q  
6.2薄膜反射率的测试 cxs@ph&Wk  
6.3薄膜反射率的测量 fE~KWLm  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 )).=MTk  
6.5总结 `[5xncZ-  
习题 `.J)Z=o  
参考文献 g7]S  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ru 6`Z+p  
7.1激光量热计基本原理 IrL7%?  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 +@?Q"B5u}  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 8%CznAO"?W  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 N62;@Z\7  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 e#Ao]gc  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 "}Om0rB}1  
7.7总结 KsOSPQDGE  
习题 [T r7SU#x  
参考文献 x
F!IT"5D  
第8章薄膜光学常数的测量 +h"i6`g  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 zK~8@{l}_"  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 0]7jb_n1  
8.3薄膜波导法 g/.FJ-I*  
8.4光学薄膜厚度的测试 =F_uK7W  
8.5总结 #).^k-
  
习题 DGGySO6=$e  
参考文献 2x<BU3  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 XA#qBxp/h  
9.1薄膜的力学特性检测技术 Wd7*7']  
9.2薄膜器件的环境试验 L;opQ~g  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 LmJjO:W}^y  
9.4总结 4ct-K)Ris  
习题 .\oW@2,RA9  
参考文献 A x8>  
附录 0J'^<GTL  
附录A复数与复数运算 |.Vgk8oTl  
A.1复数的概念 OE(y$+L3_I  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 @@\qso  
A.3复数在物理中的运用 }Q:
CZ  
附录B矩陈及矩陈运算 aQ(P#n>a2  
B.1矩陈的定义 Se!w(Y&  
B.2矩陈运算 m#BXxS#B<_  
附录C光的电磁理论基础 ,|RKM  
C.1振动与波 ub8d]GZJ  
C.2电磁波 cZN<}n+q  
C.3麦克斯韦方程 uB
"B{:Kz  
C.4平面电磁波 fGV'l__\\  
C.5平面电磁波性质 #@HlnF}T  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 )8^E{w^D}  
附录D光的干涉 bJMsB|r  
D.1波的叠加原理 HR?T  
D.2杨氏干涉 !:\0}w$-  
D.3平板的表面干涉 ef*Z;HI0  
D.4光的空间相干性和时间相干性 |e#W;q$v  
附录E光的偏振 &V+_b$  
E.1自然光和偏振光 tF,`v{-up  
E.2偏振光与Jones矩陈 *^@b0f~vj  
E.3偏振光的获得 OH>Gc-V  
E.4偏振光的检验 ?wkT=mv  
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