现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 kT{d pGU9  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Hz3KoO &  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 {rZ )!  
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第一篇光学多层膜设计 z] teQaUZ  
第1章光学薄膜特性的理论计算 U_C1GT-|  
1.1单色平面电磁波 nfjwWDH  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 y[sO0u\  
1.3光学薄膜特性的理论计算 i;}mIsNBY  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 \TXCq@  
习题 $"]*,=-X  
第2章光学薄膜的设计理论 Kh2!c+Mw  
2.1矢量作图法 .Zv uhOn^  
2.2有效界面法 \#)w$O  
2.3对称膜系的等效层 A"~4|`W  
2.4导纳图解技术 G^/8lIj  
习题 :B]yreg  
第3章光学薄膜系统的设计 K-drN)o  
3.1减反射膜 5\eM3w'd  
3.2分束镜 YhNO{4D  
3.3高反射膜 @a}jnl(2  
3.4干涉截止滤光片 uu+)r  
3.5带通滤光片 *k ^?L  
3.6特殊膜系 ?mJ&zf|B8  
习题 I9;,qd%<T  
参考文献 &S+ooj  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 $:SSm$k  
第4章薄膜制备技术 rRzc"W}K+  
4.1真空淀积工艺 lcYjwA  
4.2光学薄膜材料 rc+}KO  
4.3薄膜厚度监控艺术 ?hS&OtW   
4.4膜层厚度的均匀性 'PVxc%[  
习题 79O'S du@  
参考文献 8xN+LL'T{  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 aJ^RY5  
5.1薄膜的形成过程 \t^h|<`  
5.2薄膜的微观结构 $c<NEt_\  
5.3薄膜的成分 xb~8uD5  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 .-HwT3  
5.5薄膜微观结构和改善 #1oyRD-  
习题 jM!Q 04(  
参考文献 W 2.Ap  
第三篇光学薄膜检测技术 7F@#6  
第6章薄膜透射率和反射率测量 9B<aYp)  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 38l 8n.  
6.2薄膜反射率的测试 
.bvEE  
6.3薄膜反射率的测量 {f:%+h  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ;"Q.c#pA$g  
6.5总结 K@>($BX]  
习题 R7ze~[oF  
参考文献 e'0BP,\f_}  
第7章薄膜的吸收和散射测量 * faG0le  
7.1激光量热计基本原理 #)PAvBJ;m  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 4(D/~OG-6  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 5Sv;a(}  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 WCUaXvw  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 SA[wFc  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ?3=y]Vb+  
7.7总结 N83c+vs%c  
习题 Hx#1TqC/  
参考文献 K|
sk]2.  
第8章薄膜光学常数的测量 5~GH*!h%;  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 BOdd~f%&tn  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ) o`ep{<t  
8.3薄膜波导法 V18A|]k  
8.4光学薄膜厚度的测试 c%@< h6  
8.5总结 IB\O[R$x  
习题 PB(I3R9  
参考文献 v1}9i3Or#  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 F0x'^Z}Q;  
9.1薄膜的力学特性检测技术 'B yB1NL  
9.2薄膜器件的环境试验 A} v;uNS]  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 _2 oZhJ  
9.4总结 :Fh#"<A&&  
习题 {j[a'Gb  
参考文献 hnBX enT6  
附录 JpE7"Z"~MS  
附录A复数与复数运算 K;j0
cxl  
A.1复数的概念 n4InZ!)
 
A.2复数的三角函数及指数表示方法 tg6iHFa  
A.3复数在物理中的运用 {L/hhKT  
附录B矩陈及矩陈运算 e82xBLxR%  
B.1矩陈的定义 Lq2ZgKd!  
B.2矩陈运算 jG["#5<?  
附录C光的电磁理论基础 @id!F<+%oD  
C.1振动与波 ex6QHUQ  
C.2电磁波 F4DJM
L-(  
C.3麦克斯韦方程 ,{2= nb[  
C.4平面电磁波 QERj`/
g  
C.5平面电磁波性质 ;u;_\k<qK  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 9%Qlg4~<s  
附录D光的干涉 :Lu 9w0>f  
D.1波的叠加原理 F4PWL|1  
D.2杨氏干涉 &oxHVZJ  
D.3平板的表面干涉 ~@mN
R^W-W  
D.4光的空间相干性和时间相干性 21[=xboU  
附录E光的偏振 @Nn'G{8OG  
E.1自然光和偏振光 t?wVh0gT  
E.2偏振光与Jones矩陈 7:e5l19 uI  
E.3偏振光的获得 [JYy  
E.4偏振光的检验 z1nKj\AM2  
…… L$6W,D  
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