现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 v:veV.y  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 FylWbQU9  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。
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第一篇光学多层膜设计 ;f".'9 l^
 
第1章光学薄膜特性的理论计算 < 72s7*Rv  
1.1单色平面电磁波 F* 3G_V  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 '^Pq(b~  
1.3光学薄膜特性的理论计算 wUru1_zjO  
1.4光学多层膜内的电场强度分布  &7L~PZ  
习题 $:f
.Krj  
第2章光学薄膜的设计理论 ov\Ct%]  
2.1矢量作图法 jo,6Aog|u  
2.2有效界面法 9nng}em>.  
2.3对称膜系的等效层 z3^RUoGU  
2.4导纳图解技术 WdTbt  
习题 #joF{M{  
第3章光学薄膜系统的设计 V.K70)]  
3.1减反射膜 n\Z^K  
3.2分束镜 n!UMU^  
3.3高反射膜 =gW"#ZjL){  
3.4干涉截止滤光片 3 R5%N ~  
3.5带通滤光片 9M1a*f
rxZ  
3.6特殊膜系 wD<vg3e[H  
习题 ~8jThi U  
参考文献 D-Bv(/Pz]$  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 -/M9 vS  
第4章薄膜制备技术 JZ %`%rA  
4.1真空淀积工艺 beJZpg  
4.2光学薄膜材料 ..??O^  
4.3薄膜厚度监控艺术 <8iYL`3  
4.4膜层厚度的均匀性 H,(F1+~d  
习题 6b%`^B\  
参考文献 !?BW_vY  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 kjx>  
5.1薄膜的形成过程 @kwLBAK}@  
5.2薄膜的微观结构 bHO7*E  
5.3薄膜的成分 fkW3~b  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Ezi' 2S
c  
5.5薄膜微观结构和改善 ~J%R-{U9  
习题 rQ=xcn[A  
参考文献 G{F6  
第三篇光学薄膜检测技术 M{*kB2jr  
第6章薄膜透射率和反射率测量 lN);~|IOv7  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 U^B"|lc:[  
6.2薄膜反射率的测试 '/Cg*o/  
6.3薄膜反射率的测量 s0gJ f[  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗
K1;zMh  
6.5总结 3|q2rA  
习题 &K06}[J  
参考文献 vkd *ER^  
第7章薄膜的吸收和散射测量 Er`TryN|}  
7.1激光量热计基本原理 W7%p^;ZQ$  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 :[L{KFQU  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 1lbwJVY[  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 xy2\'kS`G  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 -_s%8l^  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 d "2wO[  
7.7总结 =nLO?qoe  
习题 mRwXN*Izw  
参考文献 s5Pq$<  
第8章薄膜光学常数的测量 E yd$fcRK  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 M#ZT2~+CT  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 >g=^,G}y  
8.3薄膜波导法 uH$oGY  
8.4光学薄膜厚度的测试 OO-_?8I}  
8.5总结 pV8[l)J  
习题 5$anqGw  
参考文献 P=2wkzeJj  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 T&]Na  
9.1薄膜的力学特性检测技术 xf'LR[M  
9.2薄膜器件的环境试验 -48`#"xy  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 %WZ$]M?q  
9.4总结 P%iP:16  
习题 5;}2[3}[  
参考文献 hMv2"V-X  
附录 Ih; aBS  
附录A复数与复数运算 nZ~kZ |VS  
A.1复数的概念 [@ILc*2O  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ^,LtEwd~Y  
A.3复数在物理中的运用 )W#T2Z>N1  
附录B矩陈及矩陈运算 *E.LP1xP  
B.1矩陈的定义 B4@fY

 
B.2矩陈运算 g#w`J\iz  
附录C光的电磁理论基础 ;"D~W#0-v  
C.1振动与波 -=5EbNPwG  
C.2电磁波 xF&6e&nv  
C.3麦克斯韦方程 vlvvi()  
C.4平面电磁波 _wmI(+_  
C.5平面电磁波性质 <o2,HTWNPS  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ^1R"7h  
附录D光的干涉 Mw+v"l&mU  
D.1波的叠加原理 3\1#eK'TK.  
D.2杨氏干涉 -ovoRI^6`}  
D.3平板的表面干涉 B& "RS  
D.4光的空间相干性和时间相干性 d)\2U{  
附录E光的偏振 hzv3F9.x  
E.1自然光和偏振光 .wP/ai>}  
E.2偏振光与Jones矩陈 ;ed#+$Na  
E.3偏振光的获得 w~]T<^fW~  
E.4偏振光的检验 as(;]  
…… vG2.]?  
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