现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 kMJf!%L(  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 NFYo@kX> G  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 8
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第一篇光学多层膜设计 |IN{8  
第1章光学薄膜特性的理论计算 nu=yE$BN{  
1.1单色平面电磁波 /y2)<{{I  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 H{tG:KH  
1.3光学薄膜特性的理论计算 9n\b
!*x  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 &>jSuvVT  
习题 seNJ6p=`  
第2章光学薄膜的设计理论 ET2^1X#j  
2.1矢量作图法 LtJl\m.th  
2.2有效界面法 `<cnb!]  
2.3对称膜系的等效层 Un~ }M/  
2.4导纳图解技术 !@.9>"FU  
习题 ?.*^#>
-  
第3章光学薄膜系统的设计 Xyz w.%4c  
3.1减反射膜 pbXh}YJ&  
3.2分束镜 J>o%6D  
3.3高反射膜 f3[/zcm;  
3.4干涉截止滤光片 Tgf\f%,h  
3.5带通滤光片 AlVBhR`  
3.6特殊膜系 >14x.c  
习题 mi`jY0e2  
参考文献 w$`[C+L  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 CyHaFUbZ  
第4章薄膜制备技术 6=aXz2.f  
4.1真空淀积工艺 b235Zm  
4.2光学薄膜材料 %U<1
]  
4.3薄膜厚度监控艺术 /Wx({N'
h$  
4.4膜层厚度的均匀性 QDHTP|2e  
习题 o@5zf{-  
参考文献 Z)Zc9SVC  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 +N3f{-{"Yo  
5.1薄膜的形成过程 &"R`:`XF  
5.2薄膜的微观结构 nt
Zl(]l  
5.3薄膜的成分 =sIkA)"!=  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 y\C_HCU H  
5.5薄膜微观结构和改善 W Z_yaG$U  
习题 w4<n=k  
参考文献 F5+)=P#  
第三篇光学薄膜检测技术 u]<_6;_  
第6章薄膜透射率和反射率测量 h!zev~u1)`  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 %fF0<c^-U  
6.2薄膜反射率的测试 =N~*`5|rk  
6.3薄膜反射率的测量 R?Dc*,  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 'v~%rhq3  
6.5总结 lL$no7HBy  
习题 #X`qkW.T<  
参考文献 Wcf;ZX
  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ==ZL0 ][  
7.1激光量热计基本原理 phc9esz  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 K|ZB!oq  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 <rbzsn"a  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 "<=HmE-;  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法  y
h'uH  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 R2Y.s^  
7.7总结 yh'P17N|q  
习题 r9vO(m~  
参考文献 {;2Gl$\r  
第8章薄膜光学常数的测量 >u0B ~9_E  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 H[e=^JuD  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 )J>-;EYb8  
8.3薄膜波导法 _@/nc:)H  
8.4光学薄膜厚度的测试 nX>HR
dC  
8.5总结 p_:bt7 B  
习题 fgW>~m.W  
参考文献 IwZe2$f  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 U(~d^9/#  
9.1薄膜的力学特性检测技术 .dQEr~f#}  
9.2薄膜器件的环境试验 5<RZht$i  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 wj$WE3Y  
9.4总结 D>`lN  
习题 _9B ^@~  
参考文献 5f-eWW]!  
附录 Fs 95^T  
附录A复数与复数运算 ;W2Rl%z88  
A.1复数的概念 z:JQ3D7/we  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 "74Rn"d5  
A.3复数在物理中的运用 U^~jB= =]  
附录B矩陈及矩陈运算 =K8z8K?  
B.1矩陈的定义 &~&nJr  
B.2矩陈运算 RbN# dI'  
附录C光的电磁理论基础 6)#=@i` \  
C.1振动与波 C#tY};
t  
C.2电磁波 hTS?+l  
C.3麦克斯韦方程 abw7{%2  
C.4平面电磁波 Gi7p`F.  
C.5平面电磁波性质 RKtU@MX49  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 vNIQ1x5Za  
附录D光的干涉 T*bBw  
D.1波的叠加原理 nm{J  
D.2杨氏干涉 0NFYFd-50  
D.3平板的表面干涉 LR:meCOI  
D.4光的空间相干性和时间相干性 VPI;{0kh  
附录E光的偏振 w\`u|f;Aq  
E.1自然光和偏振光 4cQ|"sOzD  
E.2偏振光与Jones矩陈 V'm4DR#M  
E.3偏振光的获得 1@6FV x  
E.4偏振光的检验 -d8U Hc  
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