现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 @F%H 1  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 M@ t,P?  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ,<!_MNw[  

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第一篇光学多层膜设计 $Hh3*reSg-  
第1章光学薄膜特性的理论计算 vu-QyPnS|w  
1.1单色平面电磁波 >*rH Nf  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 >U?HXu/TJr  
1.3光学薄膜特性的理论计算 Hyx%FN=  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 R
RR'azT  
习题 8#b>4Dx  
第2章光学薄膜的设计理论 #!!Ea'3Iq  
2.1矢量作图法 MDI[TNYG  
2.2有效界面法 )xwWig.  
2.3对称膜系的等效层 I[E/)R{\  
2.4导纳图解技术 Huzw>
 
习题 .b'hVOs{  
第3章光学薄膜系统的设计 \@6PA  
3.1减反射膜 I`"B<=zi  
3.2分束镜 2O}UVp>  
3.3高反射膜 lrQ +G@#  
3.4干涉截止滤光片 B^`'2$3  
3.5带通滤光片 M8j%bmd(,  
3.6特殊膜系 QJ1_LJ4)a  
习题 $42%H#  
参考文献 ~{MmUp rS  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 $7 1(g$6#  
第4章薄膜制备技术 mqPV
 Eo  
4.1真空淀积工艺 DY]\@<ez  
4.2光学薄膜材料 :{2exu  
4.3薄膜厚度监控艺术 'fB/6[bd  
4.4膜层厚度的均匀性 TXx%\V_6  
习题 `}uOlC]I  
参考文献 1QkAFSl3  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 'U=D6X%V9m  
5.1薄膜的形成过程 0{u31#0j
 
5.2薄膜的微观结构 *oR`l32O0z  
5.3薄膜的成分 -UgD  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 z=q   
5.5薄膜微观结构和改善 5\1C@d  
习题 +Ja9p  
参考文献 w s(9@  
第三篇光学薄膜检测技术 CYlZ<W'  
第6章薄膜透射率和反射率测量 
5G-)>  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 dno=C  
6.2薄膜反射率的测试 WPbWG$Li  
6.3薄膜反射率的测量 n- cEa/g  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 i^hgs`hvU  
6.5总结 \g|u|Y.2[  
习题 B/@9.a.c  
参考文献 l+$e|F  
第7章薄膜的吸收和散射测量 !L5[s  
7.1激光量热计基本原理 u[25U;xo  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 f#9DU}2m  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 N[G<&f9  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 {UX[SAQ  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 etbB;!6  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 $O|J8;"v  
7.7总结 X8U._/'N  
习题 ba_T:;';0  
参考文献 Q=hf,
/N  
第8章薄膜光学常数的测量 n[2[V*|mI  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 **jD&h7$s-  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 >{_`J  
8.3薄膜波导法 !M]_CPh]  
8.4光学薄膜厚度的测试 ((BuBu>  
8.5总结 N?j,'gy4  
习题 w`~j(
G4N  
参考文献 )KvQaC  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 X2#;1 ku  
9.1薄膜的力学特性检测技术 U4hsbraz  
9.2薄膜器件的环境试验 lW F=bz0  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 z1oikg:?4  
9.4总结 "WKE%f  
习题 m<ZwbD  
参考文献 ;D5B$ @W>  
附录 <fY<.X  
附录A复数与复数运算 ebF},Q(48  
A.1复数的概念 wA`A+Z2*?  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 WFBg3#p  
A.3复数在物理中的运用 (0%0+vY  
附录B矩陈及矩陈运算 L@rKG~{Xy  
B.1矩陈的定义 qx! NU}6  
B.2矩陈运算 $;<h<#_n;  
附录C光的电磁理论基础 pH&Q]u;O  
C.1振动与波 maANxSzi  
C.2电磁波 2fc8w3  
C.3麦克斯韦方程 4i'2~w{/  
C.4平面电磁波 ^
0t81,`  
C.5平面电磁波性质 
C3`2{1  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 6"Tr$E  
附录D光的干涉 mea]m)P  
D.1波的叠加原理 ,wmPK;j  
D.2杨氏干涉 htg+V-,  
D.3平板的表面干涉 l'N>9~f  
D.4光的空间相干性和时间相干性 wL 5p0Xl  
附录E光的偏振 ilv6A9/  
E.1自然光和偏振光 SJVqfi3A  
E.2偏振光与Jones矩陈 DBi3 j  
E.3偏振光的获得 Rs;,_  
E.4偏振光的检验 Tr}@fa  
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