现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 7nbB^2  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 iX'rU@C  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 %{3 aW>yx  
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第一篇光学多层膜设计 g}p;\o   
第1章光学薄膜特性的理论计算 pV6d Id  
1.1单色平面电磁波 J$~<V IX  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 J5h+s-'  
1.3光学薄膜特性的理论计算 1!pa;$L  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 9%*wb`&  
习题 F}"]92  
第2章光学薄膜的设计理论 ^kST  
2.1矢量作图法 0y&I/2  
2.2有效界面法 b':|uu*/  
2.3对称膜系的等效层 ZoKcJ
A  
2.4导纳图解技术 xEuN   
习题 7PR#(ftz  
第3章光学薄膜系统的设计 *9)SmSs  
3.1减反射膜 1 T130L  
3.2分束镜 0 ugT2%  
3.3高反射膜 #,{+3Y&5-+  
3.4干涉截止滤光片 JbB}y'c4}=  
3.5带通滤光片 R),zl_d_  
3.6特殊膜系 zqDR7+]  
习题 RE.r4uOJg  
参考文献 56l@a{  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 $+}+zZX5  
第4章薄膜制备技术 +n}$pM|NKU  
4.1真空淀积工艺 )otb>w5  
4.2光学薄膜材料 6h3HDFS7s  
4.3薄膜厚度监控艺术 8A{_GH{:  
4.4膜层厚度的均匀性 (Qgde6  
习题 kt4d;4n  
参考文献 ;,&8QcSVY  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 bqanFQj  
5.1薄膜的形成过程 #d{=\

$=  
5.2薄膜的微观结构 iqnJ~g  
5.3薄膜的成分 %AOIKK5  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ]nhr+;of/-  
5.5薄膜微观结构和改善 kj+
#TnF-  
习题 zi~5l#I  
参考文献 $8l({:*q0  
第三篇光学薄膜检测技术 `[zQf  
第6章薄膜透射率和反射率测量 pf4 ^Bk}e  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 iut`7  
6.2薄膜反射率的测试 ::n;VY2&  
6.3薄膜反射率的测量 t6c<kIQ:-O  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 o;b0m;~   
6.5总结 )Qm[[pnj  
习题 rQTr8DYH  
参考文献 C0=9K@FCb  
第7章薄膜的吸收和散射测量 5unG#szq  
7.1激光量热计基本原理 q_ =b<.;  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 xUF_1hY  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ;X,1&#I  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 {b]aC  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 tweY'x.{  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 sBv>E}*R  
7.7总结 [<`SfE  
习题 'gQidf  
参考文献 39{{7(hh  
第8章薄膜光学常数的测量 M.h`&8  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 tU"raP^=  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 2!N8rHRt  
8.3薄膜波导法 ,mPnQ?  
8.4光学薄膜厚度的测试 (BX83)  
8.5总结 )hwV`2>l  
习题 D .vw8H3  
参考文献 [nxE)D  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 @eqeN9e  
9.1薄膜的力学特性检测技术 {f9{8-W<u  
9.2薄膜器件的环境试验 .s/fhk,  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 wPbkUVO  
9.4总结 X5YiFLH>y\  
习题 d@mo!zu  
参考文献 ,_!6U  
附录 +Taa!hfys  
附录A复数与复数运算 dBO@6*N4c  
A.1复数的概念 KCe13!  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 bg|!'1bD`5  
A.3复数在物理中的运用 @|yeqy_:  
附录B矩陈及矩陈运算 doHF|<s  
B.1矩陈的定义 _<ut)G^9  
B.2矩陈运算 K[ .JlIP  
附录C光的电磁理论基础 9Pd*z>s  
C.1振动与波 EoX_KG{  
C.2电磁波 wx=0'T-[  
C.3麦克斯韦方程 57F%j3.|/  
C.4平面电磁波 ^EVc95|Z  
C.5平面电磁波性质 {#IPf0O  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 }~Q"s2  
附录D光的干涉 4VN aq<8  
D.1波的叠加原理 a)*6gf<5  
D.2杨氏干涉 ^GN8V-X4y  
D.3平板的表面干涉 5p?
!ni9  
D.4光的空间相干性和时间相干性 [%HIbw J  
附录E光的偏振 _RMQy~&b  
E.1自然光和偏振光 EjEFg
#q  
E.2偏振光与Jones矩陈 OH<?DcfeL  
E.3偏振光的获得 JM0I(%Z%  
E.4偏振光的检验 (yQ 5`  
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