现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 h4qR\LX  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 GawO>7w8  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 Ue8D:CM  
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第一篇光学多层膜设计 b5|p#&YK~  
第1章光学薄膜特性的理论计算 -Q@d  
1.1单色平面电磁波 kC k-  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 {S}@P~H=  
1.3光学薄膜特性的理论计算 q kKABow  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Sy'>JHx  
习题 {DK:"ep  
第2章光学薄膜的设计理论
^~aSrREo  
2.1矢量作图法 4eEs_R  
2.2有效界面法 =_H39)|
T  
2.3对称膜系的等效层 OZ" <V^"`  
2.4导纳图解技术 KwHOV
$lD;  
习题 nGbrWu]w  
第3章光学薄膜系统的设计 O9_YVE/-]  
3.1减反射膜 uUe\[-~  
3.2分束镜 uqUo4z5T  
3.3高反射膜 kYs|")isj  
3.4干涉截止滤光片 qLP+@wbJ  
3.5带通滤光片 Pc7:hu  
3.6特殊膜系 XZInu5(  
习题 PsgzDhRv  
参考文献 oW[,EW+u  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 wuk7mIJ  
第4章薄膜制备技术 )|{{}w~`  
4.1真空淀积工艺 o.5j@dr  
4.2光学薄膜材料 5);#\&B  
4.3薄膜厚度监控艺术 %p9bl ,x  
4.4膜层厚度的均匀性 a 98  
习题 !{Y#<tG]  
参考文献 ]#$kA9  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Q]wM/7  
5.1薄膜的形成过程 m%[t&^b}T  
5.2薄膜的微观结构 =5ih,>>g  
5.3薄膜的成分 FZ9<Q  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 R`Lm"5w  
5.5薄膜微观结构和改善 qX(%Wn;n  
习题 $3TTHS o  
参考文献 )sf~l6  
第三篇光学薄膜检测技术 0 MIMs#  
第6章薄膜透射率和反射率测量 JF*g!sV%  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 F[EblJ  
6.2薄膜反射率的测试 Oez}C,0  
6.3薄膜反射率的测量 B`scuLl3  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 6^|6V  
6.5总结 \.c )^QQ  
习题 x+cF1N2.  
参考文献 GC[{=]}9U  
第7章薄膜的吸收和散射测量 @vYmkF`  
7.1激光量热计基本原理 !C#RW=h9  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 `yAo3A9vk  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 QYgN39gp  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 _vdxxhJ=P3  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Ix
Z.2 67  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 #/Fu*0/)`  
7.7总结 38rZ`O*D  
习题 D:E~yh)$-  
参考文献 0f%:OU5Y  
第8章薄膜光学常数的测量 =&pN8PEn\  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 cN7z(I0[  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Qc;[mxQe  
8.3薄膜波导法 i
g}e@]  
8.4光学薄膜厚度的测试 1Wk EPj,  
8.5总结 A{I a21T7  
习题 yim$y,=d  
参考文献 ms7 7{A3  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 P\4tK<P|  
9.1薄膜的力学特性检测技术 huJq#5?  
9.2薄膜器件的环境试验 =Rx?6%  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Bh,)5E^m  
9.4总结 +MZO%4  
习题 /iy*3P,`  
参考文献 5^K#Tj ;2  
附录 ~H|LWCU)K8  
附录A复数与复数运算 g]<Z]R`  
A.1复数的概念 CQHp4_  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 O^Vy"8Ji}y  
A.3复数在物理中的运用 rz}l<t~H  
附录B矩陈及矩陈运算 4l}M i  
B.1矩陈的定义 D}/=\J/  
B.2矩陈运算 Q|B|#?E==  
附录C光的电磁理论基础 Q 95
 
C.1振动与波 O*03PF^  
C.2电磁波 5o| !f  
C.3麦克斯韦方程 y3nm!tjyM  
C.4平面电磁波 @B'8SLoP  
C.5平面电磁波性质 G0QXf  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 tnF9Vj[#%_  
附录D光的干涉 L%K_.!d^  
D.1波的叠加原理 tOM3Gs~o6z  
D.2杨氏干涉 <W51oO  
D.3平板的表面干涉 =x0"6gTz>  
D.4光的空间相干性和时间相干性 KTK6#[8A  
附录E光的偏振 V2s}<uG  
E.1自然光和偏振光 sRyw\v-=P  
E.2偏振光与Jones矩陈 {,f!'i&b@  
E.3偏振光的获得 UW/3{2  
E.4偏振光的检验 R;E"Qdt  
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