现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 QT/TZ:  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 #uJGXrGt=  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 zJS,f5L6)  
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第一篇光学多层膜设计 Fn*clx<  
第1章光学薄膜特性的理论计算 w@7NoD=  
1.1单色平面电磁波 SLO;c{EFH  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 g5/%}8[- 2  
1.3光学薄膜特性的理论计算 CZv.$H"lW  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Me[T=Tt`@w  
习题 -J4?Km  
第2章光学薄膜的设计理论 #Yi,EwD  
2.1矢量作图法
RG|]Kt8  
2.2有效界面法 l2KR=&SX/  
2.3对称膜系的等效层 ]Qe;+p9vU  
2.4导纳图解技术 1SeDrzLA  
习题 .?9+1.`
 
第3章光学薄膜系统的设计 {XiBRs e  
3.1减反射膜 TLzg*  
3.2分束镜 v:(_-8:F  
3.3高反射膜 N7k<q=r-  
3.4干涉截止滤光片 8SK}#44Xz  
3.5带通滤光片 O`U&0lKi'  
3.6特殊膜系 @47MJzC  
习题 o0^'xVv  
参考文献 \[oU7r}?/V  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 !EuU @+  
第4章薄膜制备技术 H[ocIw  
4.1真空淀积工艺 JzMPLmgG/  
4.2光学薄膜材料 FqAW><  
4.3薄膜厚度监控艺术 Q^4j  
4.4膜层厚度的均匀性 Ks:~Z9r}  
习题 8;/`uB:zV  
参考文献 VYI%U'9Q  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 X6%w6%su5  
5.1薄膜的形成过程 o&)O&bNJ  
5.2薄膜的微观结构 Es6b~#  
5.3薄膜的成分 <@ D`16%&  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 c%c/mata?  
5.5薄膜微观结构和改善 <_-&{Pv  
习题 +ia  F$  
参考文献 1ux~dP  
第三篇光学薄膜检测技术 {@1.2AWg  
第6章薄膜透射率和反射率测量 iJuh1+6:c9  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 od!"?F  
6.2薄膜反射率的测试 Au &NQ+  
6.3薄膜反射率的测量 ZYZQ?
FN  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 G^
]T  
6.5总结 T1m'+^?"  
习题 4thLK8/c5g  
参考文献 o-2FGM`*VB  
第7章薄膜的吸收和散射测量 gBz$RfyF  
7.1激光量热计基本原理 bs$x%CR  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 rXXIpQRi$S  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 /-JBzU$  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 XbdoTriE  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 e|u|
b  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ).@8+}`  
7.7总结 4$J:A~2H]  
习题 ysD@yM,  
参考文献 I`w1IIY?m  
第8章薄膜光学常数的测量 /*s:ehj  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 h"/FqO  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法  ::Y  
8.3薄膜波导法 `'9Kj9}  
8.4光学薄膜厚度的测试 w_|R.T\7  
8.5总结 Z\6&5r=  
习题 BUB#\v#a  
参考文献 c0jdZ#H  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 xevG)m  
9.1薄膜的力学特性检测技术 z:<mgp&/<  
9.2薄膜器件的环境试验 *f|9A/*B3  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Dv?'(.z  
9.4总结 Z#YkAQHv5  
习题 ?F'gh4  
参考文献 #=/eu=  
附录 (v(!l=3  
附录A复数与复数运算 &\8.y2=9p  
A.1复数的概念 l4u@0;6P  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 &RP!9{F<  
A.3复数在物理中的运用 bA\TuB  
附录B矩陈及矩陈运算 q#
wg2  
B.1矩陈的定义 9'F-D  
B.2矩陈运算 5g  ,
u\`  
附录C光的电磁理论基础 6He
7A@Eh  
C.1振动与波 2xRb$QF  
C.2电磁波 %0T/>:1[E  
C.3麦克斯韦方程 iOz<n z  
C.4平面电磁波 <Ur(< WTV  
C.5平面电磁波性质 2Cn^<(F^4I  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 JG&`l{c9  
附录D光的干涉 %||}WT-wv  
D.1波的叠加原理 B%!z7AT  
D.2杨氏干涉 7cin?Z1  
D.3平板的表面干涉 |5)~WoV/G  
D.4光的空间相干性和时间相干性 RbX!^v<0f6  
附录E光的偏振 mMmzi4HL  
E.1自然光和偏振光 2f\;#-  
E.2偏振光与Jones矩陈 8;9GM^L  
E.3偏振光的获得 tdg.vYMDPC  
E.4偏振光的检验 6ae  
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