现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 8}'iEj^e  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 k~tEUsv  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 P6gkbtg  
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第一篇光学多层膜设计 'Ea3(OsuXn  
第1章光学薄膜特性的理论计算 !l'nX  
1.1单色平面电磁波 PL
:(Se%  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 gT)(RS`_)  
1.3光学薄膜特性的理论计算 Wmbc `XC  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 iuV4xyp  
习题 `cGks  
第2章光学薄膜的设计理论 DGTLlBkT  
2.1矢量作图法 mA(kq  
2.2有效界面法 TNu%_ 34  
2.3对称膜系的等效层 q%3VcR$J  
2.4导纳图解技术  /~"-q  
习题 ZdW+=;/#  
第3章光学薄膜系统的设计 3qWrSziD  
3.1减反射膜 5U
?
O1}P  
3.2分束镜 qYoW8e  
3.3高反射膜 <-`bWz=+  
3.4干涉截止滤光片 a ,mgM&yD  
3.5带通滤光片 (PpY*jKR  
3.6特殊膜系  Q6 *n'6  
习题 nDrRK  
参考文献 -h8mJ D%Oi  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 RRO@r}A!y  
第4章薄膜制备技术 >{^_]phlb  
4.1真空淀积工艺 
#aqnj+  
4.2光学薄膜材料 @[^ 3yC#  
4.3薄膜厚度监控艺术 ( fFrX_K]  
4.4膜层厚度的均匀性 IjhRSrCv  
习题 ]T
rJ*~  
参考文献 3U6QYD55]]  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 !WyJ@pFU^  
5.1薄膜的形成过程 lO@-*m$  
5.2薄膜的微观结构 I"]E}nd)  
5.3薄膜的成分 2tz4Ag  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 6C$+D  
5.5薄膜微观结构和改善 gc4o |x  
习题 rVabkwYD  
参考文献 W8<QgpV*  
第三篇光学薄膜检测技术 }cz
58%  
第6章薄膜透射率和反射率测量 0hS&4nW  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 KE\>T:  
6.2薄膜反射率的测试 {tVA(&\<  
6.3薄膜反射率的测量 l&H-<Z.8m  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 dwn|1%D  
6.5总结 kV8R.Baf3  
习题 i?_Q@uA~<:  
参考文献 o9sQ!gptw  
第7章薄膜的吸收和散射测量 8mr fs%_  
7.1激光量热计基本原理 i7H([b<_m  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 +HE,Q6-A  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 CX#d  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 )F9IzR-&m  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 MKtI3vi?  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 8z93ETv7`  
7.7总结 0+0Y$;<  
习题 P#pb48^-  
参考文献 5]
{rim  
第8章薄膜光学常数的测量 &Zz&VwWR  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 |(~IfSE2  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ,vR>hy
M  
8.3薄膜波导法 }5EH67  
8.4光学薄膜厚度的测试 2-S}#S}2C  
8.5总结 ^3HSw ?a"  
习题 T#E{d  
参考文献 e,XT(KY  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 &'\-M6GW  
9.1薄膜的力学特性检测技术 # l1*#Z  
9.2薄膜器件的环境试验 ;zqxDl_  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 qA}l[:F+#  
9.4总结 T c-fO /0  
习题 w[2E:Nj  
参考文献 _WV13pnRu  
附录 #~Kno@  
附录A复数与复数运算 5P*jGOg.  
A.1复数的概念 &IQNsJL!e  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 aeMj4|{\  
A.3复数在物理中的运用 P'}E
Z'  
附录B矩陈及矩陈运算 ZrYRLg  
B.1矩陈的定义 dsEvpa$
?  
B.2矩陈运算 )m-(-I  
附录C光的电磁理论基础 *h?*RUQ  
C.1振动与波 |$8N*7UD  
C.2电磁波 C B;j[.  
C.3麦克斯韦方程 lyowH{.N"3  
C.4平面电磁波 Z'AjeZyyE  
C.5平面电磁波性质 m%U=:u7#M  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 }lk9|U#6*`  
附录D光的干涉 UXa%$gwFw  
D.1波的叠加原理 i[/1AI  
D.2杨氏干涉 ;{m;CKHI  
D.3平板的表面干涉 BAqwYWdS  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ?zo7.R-Vac  
附录E光的偏振 |r*y63\T  
E.1自然光和偏振光 !ggHLZRlz  
E.2偏振光与Jones矩陈 1\jj3Y'i'  
E.3偏振光的获得 98}l`J=i  
E.4偏振光的检验 Nj;(QhYZ  
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