现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 {S=gXIh(y  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 1Yb9ILX[J  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 1u\kxlZ  
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第一篇光学多层膜设计 F?!  
第1章光学薄膜特性的理论计算 4}>1I}!k  
1.1单色平面电磁波 Da WzQe=  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ja|XFs~  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ?ybX&V  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 #{L !o5  
习题 Xy'qgK?  
第2章光学薄膜的设计理论 9CW
8l0  
2.1矢量作图法 RI2Or9.  
2.2有效界面法 t 9Dr%#  
2.3对称膜系的等效层 y+ZCuX  
2.4导纳图解技术 z,#3YC{'  
习题 dtT2h>h9  
第3章光学薄膜系统的设计 Hz] p]  
3.1减反射膜 |Sf` Cs  
3.2分束镜 A[
.5Bi  
3.3高反射膜 va_TC!{;  
3.4干涉截止滤光片 ( O>oN~  
3.5带通滤光片 H%:u9DlEK/  
3.6特殊膜系 &ivPY  
习题 fX 41o#
 
参考文献 FeM,$&G:  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 7Yjxx+X9  
第4章薄膜制备技术 T1}9^3T?{  
4.1真空淀积工艺 S3(2.c~  
4.2光学薄膜材料 !1M=9 ~$!  
4.3薄膜厚度监控艺术 e2xqKG  
4.4膜层厚度的均匀性 mlmXFEC  
习题 !Ho=(6V  
参考文献 4{1.[##]o  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 x# &ZGFr~  
5.1薄膜的形成过程 al3[Ph5G  
5.2薄膜的微观结构 +^6v%z  
5.3薄膜的成分 xp>p#c  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 <Gr775"  
5.5薄膜微观结构和改善 }M I9?\"q  
习题 ?8LRd5LH  
参考文献 yv!,iK9  
第三篇光学薄膜检测技术 +J~q:
b.  
第6章薄膜透射率和反射率测量 !"Q8KV  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 @$(/6]4p  
6.2薄膜反射率的测试  xedbr  
6.3薄膜反射率的测量 7v~\c%1V  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 =k
(~PB^>  
6.5总结 s: .5S  
习题 #VwA?$4g`  
参考文献 [-bT_X  
第7章薄膜的吸收和散射测量 r|WoM39bp  
7.1激光量热计基本原理 %joIe w]V3  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 M!s@w
%0?'  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Odo"S;)  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 F;IG@ &  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 zJfoU*G/B  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 I2!0,1Q  
7.7总结 5[Ryc[  
习题 Bkn- OG  
参考文献 ?CQ\94kO  
第8章薄膜光学常数的测量 f]BG`rJX  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 &!3=eVg  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 cJ%u&2J_  
8.3薄膜波导法 oj7X9~ nd  
8.4光学薄膜厚度的测试 SRN:!-  
8.5总结 04
2sjt  
习题 ezt_ct/Z  
参考文献 jG3}V3|.  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 R;X8%'  
9.1薄膜的力学特性检测技术 +McKyEa  
9.2薄膜器件的环境试验 FRicHs n  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 %^l77:O  
9.4总结 Cl;B%5yl  
习题 xy%lp{  
参考文献 Hy<4q^3$G  
附录 <:u)C;  
附录A复数与复数运算 W"rX$D[Le  
A.1复数的概念 A}#@(ma7  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 <[^nD>t_  
A.3复数在物理中的运用 X,/@#pSOz  
附录B矩陈及矩陈运算 n ?%3
=~9  
B.1矩陈的定义 DlR&Lnv  
B.2矩陈运算 4[]R?lL  
附录C光的电磁理论基础 Q~4o{"3.'  
C.1振动与波 [H#I:d-+\  
C.2电磁波 NA`3  
C.3麦克斯韦方程 gFvFd:"uZ  
C.4平面电磁波 DU7kZ  
C.5平面电磁波性质 J,fXXi)J  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 oy'Q#!  
附录D光的干涉 E0c5c  
D.1波的叠加原理 [Bp[=\  
D.2杨氏干涉 %HuQc^  
D.3平板的表面干涉 [&rW+/  
D.4光的空间相干性和时间相干性 :y'D] ,_  
附录E光的偏振 x#e(&OjN7  
E.1自然光和偏振光 0+O)~>v  
E.2偏振光与Jones矩陈 VG'oy  
E.3偏振光的获得 jow^~  
E.4偏振光的检验 Zg7~&vs$  
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