现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 g4X,*H  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ,]mwk~HeF  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 VW
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第一篇光学多层膜设计 ([-=NT}Aq  
第1章光学薄膜特性的理论计算 `W n5 .V  
1.1单色平面电磁波 u&XkbPZ%4c  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 q4iD59yd)S  
1.3光学薄膜特性的理论计算 QP%Fz#u`  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 )
^Pvm  
习题 J\'5CG  
第2章光学薄膜的设计理论 l%(`<a]VIB  
2.1矢量作图法 t`,IW{  
2.2有效界面法 -<!17jy  
2.3对称膜系的等效层 %UQB?dkf$  
2.4导纳图解技术 }%ThnFFBw  
习题 ON0+:`3\  
第3章光学薄膜系统的设计 k)V%.Eobf  
3.1减反射膜 ^u!Tyb8Dk  
3.2分束镜 |S:!+[  
3.3高反射膜 FT>~ES]cQd  
3.4干涉截止滤光片 oB R(7U~0  
3.5带通滤光片 Xb-c`k~_  
3.6特殊膜系 q{/Jw"e  
习题 ;Ph)BY<  
参考文献 /2Lo{v=0[  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 :V~*vLvR  
第4章薄膜制备技术 t}k'Ba3]:Y  
4.1真空淀积工艺 ~h
sl
LUE  
4.2光学薄膜材料 :wZ`>,K"t>  
4.3薄膜厚度监控艺术 5MY}(w  
4.4膜层厚度的均匀性 Cw&D}  
习题 i:M*L< +  
参考文献 UX`DZb+^  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 4F,Ql"ae(  
5.1薄膜的形成过程 (TNY2Ke2 8  
5.2薄膜的微观结构 kj!7|1i2  
5.3薄膜的成分 Vnj/>e3  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Gj19KQ1G  
5.5薄膜微观结构和改善 /cC6qhkp%  
习题 KzX ,n_`an  
参考文献 J.mewD!%z  
第三篇光学薄膜检测技术 ]p&<nK,  
第6章薄膜透射率和反射率测量 AY'?Xt  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 -^4bA<dCCE  
6.2薄膜反射率的测试 V9j1j}  r  
6.3薄膜反射率的测量 } .3]   
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 MJK
l]&  
6.5总结 u] U)d$|  
习题 Lv
5X 'yM  
参考文献 ;xO=Yhc+  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ^b!7R <>~  
7.1激光量热计基本原理 +lgF/y6  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 2"+x(Ax  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 20l_ay  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 Y3$PQwn .P  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 XMEK5Z9Dd  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 I\rZk9F  
7.7总结 ^jha:d  
习题 g"]<J&  
参考文献 lIVxW+  
第8章薄膜光学常数的测量 ,+/9K)X  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 $FQcDo|[  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 +*_fN ]M  
8.3薄膜波导法 Z-t}6c'Kg  
8.4光学薄膜厚度的测试 K@jSr*\'  
8.5总结 yMbcFDlBr  
习题 EARfbb"SG7  
参考文献 ~+<xFi  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 #K#Mv/  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ,.oa,sku  
9.2薄膜器件的环境试验 PPCTc|G  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 $35,\ZO>  
9.4总结 q)?p$\  
习题 w.
D4dv_H  
参考文献 0ck&kpL:9  
附录 nGx ~)T  
附录A复数与复数运算 ~)wwX:;B_  
A.1复数的概念 =s0g2Zv"\  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Q)G!Y (g\  
A.3复数在物理中的运用 wrQydI  
附录B矩陈及矩陈运算 mX@j  
B.1矩陈的定义 oE!hF}O  
B.2矩陈运算 
nOoKGT  
附录C光的电磁理论基础 @TA8^ND  
C.1振动与波 ..jq[(;N  
C.2电磁波 #u8*CA9  
C.3麦克斯韦方程 #.)xm(Ys  
C.4平面电磁波 "u<jbD  
C.5平面电磁波性质 Bw3F7W~l  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 NWJcFj_  
附录D光的干涉 JlC<MQ?  
D.1波的叠加原理 '!
wPnYT@D  
D.2杨氏干涉 %Lp2jyv.  
D.3平板的表面干涉 DYo<5^0  
D.4光的空间相干性和时间相干性 [|a( y6Q  
附录E光的偏振 pxw{  
E.1自然光和偏振光 wTTTrk  
E.2偏振光与Jones矩陈 F2bm+0vOJ  
E.3偏振光的获得 +R "AA_A?  
E.4偏振光的检验 pXP
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