现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 )Cu2xRr^`  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 5'\detV_  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 R_W6}  

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第一篇光学多层膜设计 ?wP/l  
第1章光学薄膜特性的理论计算 `=V p 0tPI  
1.1单色平面电磁波 (/7b8)g  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 'Zs3b4n8  
1.3光学薄膜特性的理论计算 xv"v='  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 j(A>M_f;  
习题 6(=B`Z}a  
第2章光学薄膜的设计理论 mW2D"-s  
2.1矢量作图法 nz|6CP  
2.2有效界面法 W_L*S4 ~  
2.3对称膜系的等效层 |'Z+`HI  
2.4导纳图解技术 ayI<-s-  
习题 P!Brw72  
第3章光学薄膜系统的设计 sZI"2[bk  
3.1减反射膜 h0R.c|g[  
3.2分束镜 \o*w#e[M  
3.3高反射膜 IClw3^\l  
3.4干涉截止滤光片 a,36FF~&  
3.5带通滤光片 JC0#pU;  
3.6特殊膜系 Q6)?#7<jy  
习题 N5c*#lHI  
参考文献 
$DXO7;#  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性  ZC]|s[  
第4章薄膜制备技术 0W0GSDx  
4.1真空淀积工艺 Wv|CJN
;4  
4.2光学薄膜材料 o}DRp4;Ka  
4.3薄膜厚度监控艺术 4> uNH5  
4.4膜层厚度的均匀性 _TLspqi  
习题 +`bnQn]x+  
参考文献 eR4ib-nS  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 p>,D F9W`  
5.1薄膜的形成过程 W[I$([  
5.2薄膜的微观结构 #|K{txC   
5.3薄膜的成分 0C;Js\>3]  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ~/X8Hy!-  
5.5薄膜微观结构和改善 WMHYOJR  
习题 [n2zdiiBd  
参考文献 L(bDk'zi  
第三篇光学薄膜检测技术 X!:J1'FE  
第6章薄膜透射率和反射率测量 :pM)I5MN[  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 #K0/ >W  
6.2薄膜反射率的测试 <THwl/a  
6.3薄膜反射率的测量 oi]XSh[_s  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 %%F,G  
6.5总结 1.M<u)1GU  
习题 /O<~n%< G  
参考文献 #8sy QWlG  
第7章薄膜的吸收和散射测量 4qQE9fxdY  
7.1激光量热计基本原理 P4HoKoj2`  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 zJP jsD]  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 *xJ]e.  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 yUWc8]9\W  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 k,$/l1D  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 hP8w3gl
_  
7.7总结 Zr1"'+-  
习题 #q K.AZi  
参考文献 4evNZ Q  
第8章薄膜光学常数的测量 0J^Z)U>j  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 *Lxt{z`9  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 [) 0JI6  
8.3薄膜波导法 `y61B
z  
8.4光学薄膜厚度的测试 =dH=3iCG  
8.5总结 uB^"A ;0v  
习题 \#JX
ch  
参考文献 <p
 CD>  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 1TX3/]:  
9.1薄膜的力学特性检测技术 t{yj`Vg  
9.2薄膜器件的环境试验 ?A;RTM  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 X $V_  
9.4总结 C+P.7]?&  
习题 g)\Tex<  
参考文献 l?$X.CwX  
附录 p+<qI~  
附录A复数与复数运算 Kp*3:
XK  
A.1复数的概念 -<k)|]8  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 k~so+k&=b  
A.3复数在物理中的运用 EcX7wrl9x  
附录B矩陈及矩陈运算 Go1xyd:k  
B.1矩陈的定义 5=8v\q?)c  
B.2矩陈运算 5Pq6X  
附录C光的电磁理论基础 n-SO201[*  
C.1振动与波 WMnSkO  
C.2电磁波 PYC  
C.3麦克斯韦方程 @GD $KR9  
C.4平面电磁波 9(qoME}>=  
C.5平面电磁波性质 50|nQ:u,  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 (SQGl!Lai0  
附录D光的干涉 b$0;fEvIJn  
D.1波的叠加原理 /s%-c!o^  
D.2杨氏干涉 S"@6,  
D.3平板的表面干涉 :R=7dH~r  
D.4光的空间相干性和时间相干性 U+#^>}wc  
附录E光的偏振 43y@9P0  
E.1自然光和偏振光 fd #QCs  
E.2偏振光与Jones矩陈 
9{U@s  
E.3偏振光的获得 -(e=S^36  
E.4偏振光的检验 GOGS"q  
…… ^!C  
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