现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 [vv $"$z  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 !ZxK+Xqx[  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 :/A7Z<u,  

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第一篇光学多层膜设计 5aZbNV}-  
第1章光学薄膜特性的理论计算 @T.+:U@S  
1.1单色平面电磁波 ^(F@#zN}  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 b-8}TTL>  
1.3光学薄膜特性的理论计算 r>ziQq8C&  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 j+"w2  
习题 |hl:!j.t  
第2章光学薄膜的设计理论 Am ~P$dN  
2.1矢量作图法 xeNj@\jdC5  
2.2有效界面法 *Jwx,wF}4  
2.3对称膜系的等效层 B6kc9XG  
2.4导纳图解技术 6 2:FlW>  
习题 ?3 S{>+'  
第3章光学薄膜系统的设计 OLS/3c z  
3.1减反射膜 !i>d04u`%  
3.2分束镜 c7~'GXxQ2  
3.3高反射膜 /
hN;\Z[@  
3.4干涉截止滤光片 fI v?HD:j  
3.5带通滤光片 a%nf )-}|  
3.6特殊膜系 c_4
K  
习题 zq(4@S-TU  
参考文献 }]i.z:7+  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 8IkmFXj  
第4章薄膜制备技术 !8e;3W  
4.1真空淀积工艺 OwCbv j0#  
4.2光学薄膜材料 k{F]^VXQ  
4.3薄膜厚度监控艺术 ID: tTltcc  
4.4膜层厚度的均匀性 +OI<0  
习题 w,i?e\5  
参考文献 $\+x7"pI  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 j7BLMTF3v  
5.1薄膜的形成过程 9OYyR  
5.2薄膜的微观结构 jiejs*  
5.3薄膜的成分 uH&B=w  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ^H0#2hFa  
5.5薄膜微观结构和改善 j
1rR3)oP  
习题 B*(BsXQLY  
参考文献 HLkI?mW<  
第三篇光学薄膜检测技术 A$M8w9  
第6章薄膜透射率和反射率测量 yJ/YK  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 >4#:qIU  
6.2薄膜反射率的测试 D0Mxl?S?  
6.3薄膜反射率的测量 G?v!Uv8O  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 Q=61.lP6  
6.5总结 5Gs>rq" #  
习题 7YxVtN  
参考文献 YkFAu8b>  
第7章薄膜的吸收和散射测量 )@ofczl6  
7.1激光量热计基本原理 {O:{F?  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 eEBo:Rc9  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 n2can  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 +[R^ ?~VK  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 eBH:_Ls_-^  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 's.e"F#  
7.7总结 %JHv2[r^P  
习题 O/U?Wq  
参考文献 tI@aRF=p]2  
第8章薄膜光学常数的测量 '4Jf[  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 q_6fr$-Qh  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 TQu.jC  
8.3薄膜波导法 'ieTt_1.G  
8.4光学薄膜厚度的测试 \%&A? D  
8.5总结 ?YMBZ   
习题 74ho=  
参考文献 XG*>
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第9章薄膜非光学特性的检测技术 Lk!m1J5  
9.1薄膜的力学特性检测技术 dk^jv +  
9.2薄膜器件的环境试验 O,Tp,wT  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 \WBO(,]V  
9.4总结 Dw/vXyZ  
习题 b*Q3j}cZ  
参考文献 z#Fel/L`O  
附录 P z~jW):E  
附录A复数与复数运算 }K={HW1>  
A.1复数的概念 7H09\g&  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 $E&T6=Wn  
A.3复数在物理中的运用 j^5YFUwsQg  
附录B矩陈及矩陈运算 eKy!Pai  
B.1矩陈的定义 tkH]_cH'w  
B.2矩陈运算 cxQAp  
附录C光的电磁理论基础 I eJI-lo  
C.1振动与波 /7])]vZ_  
C.2电磁波 E}KGZSj  
C.3麦克斯韦方程 ilde<!?  
C.4平面电磁波 OPzudO  
C.5平面电磁波性质 &TY74w*  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 !d<R=L  
附录D光的干涉 f=k#o2  
D.1波的叠加原理 ZG0^O"B0  
D.2杨氏干涉 bZ1*
:k2  
D.3平板的表面干涉 `kJ)E;v;3  
D.4光的空间相干性和时间相干性 :'B(DzUR  
附录E光的偏振 _7\`xU  
E.1自然光和偏振光 Arg/g
e.y  
E.2偏振光与Jones矩陈 >O<a9wz  
E.3偏振光的获得 I5q$QQK  
E.4偏振光的检验 `kuu}YUi  
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