现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 lq`7$7-4  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 k@n L(2  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 4-'0# a  
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第一篇光学多层膜设计 a #p`l>rx  
第1章光学薄膜特性的理论计算 &js$qgY  
1.1单色平面电磁波 =R9`to|  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 e(DuJ-  
1.3光学薄膜特性的理论计算 /9P7;1?  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 7Ot&]M
 
习题 ?h#F& y  
第2章光学薄膜的设计理论 Z~|%asjFE  
2.1矢量作图法 fG.6S"|M  
2.2有效界面法 ~Z#\f5yv@  
2.3对称膜系的等效层 SwrzW'%A  
2.4导纳图解技术  _qt  
习题 a~-k} G5  
第3章光学薄膜系统的设计 )B~{G\jS  
3.1减反射膜 q="ymx~  
3.2分束镜 2U+Fat@  
3.3高反射膜 y=SpIbn{  
3.4干涉截止滤光片 7vGAuTfi/@  
3.5带通滤光片 =G'J@[d{d  
3.6特殊膜系 =3;! 5P  
习题
~1,$  
参考文献 "zFTPL"  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 iZ ;562Mo  
第4章薄膜制备技术 !g~u'r'1  
4.1真空淀积工艺 &oK&vgcj  
4.2光学薄膜材料 8<EU|/O  
4.3薄膜厚度监控艺术 jz
ZE
P4  
4.4膜层厚度的均匀性 Wp^|=  
习题 #.OCoc  
参考文献 "*d%el\63  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 V`feUFw3  
5.1薄膜的形成过程 |hu9)0P  
5.2薄膜的微观结构 scd}{Y  
5.3薄膜的成分 =}SC .E\  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 LN'})CI8m  
5.5薄膜微观结构和改善 T^Xum2Ec  
习题 JVPLE*T  
参考文献 <2I<Z'B,e  
第三篇光学薄膜检测技术 \9:IL9~F  
第6章薄膜透射率和反射率测量 D;DI8.4`N  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 #CB`7}jq  
6.2薄膜反射率的测试 09Z\F^*$F  
6.3薄膜反射率的测量 3.?oG5P#  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 h61BIc@>  
6.5总结 6a{b%e`  
习题 >T29kgF2  
参考文献 0IbR>zFg.  
第7章薄膜的吸收和散射测量 K!!#";Eo  
7.1激光量热计基本原理 M_;hfpJZ  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 nh"LdHqiDB  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 PV/hnVUl  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 "/\-?YJjw  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Qu|<1CrZj]  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 tW3Nry  
7.7总结 `ItPTSOi  
习题 gBXbB9  
参考文献 5jcy*G}[  
第8章薄膜光学常数的测量 `g(r.`t^  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 )TkXdA?.  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 0 |Rmb  
8.3薄膜波导法 cbX<  
8.4光学薄膜厚度的测试 L'x[wM0w;  
8.5总结 <%LN3T  
习题 gG,gL9o  
参考文献 m'L8z fX  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 SA-r61  
9.1薄膜的力学特性检测技术 9m2Yrj93  
9.2薄膜器件的环境试验 |-vn,zpe  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 EwOi` g  
9.4总结 9%bqY9NFd  
习题 uhr&P4EW  
参考文献 h%%dRi  
附录 um mkAeWb  
附录A复数与复数运算 ! d" i  
A.1复数的概念 ,Je9]XT  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ADlLodG  
A.3复数在物理中的运用 EY.Z.gMZI(  
附录B矩陈及矩陈运算 ?C|b>wM/  
B.1矩陈的定义 +"SYG  
B.2矩陈运算 vsCy?  
附录C光的电磁理论基础 VaFv%%w  
C.1振动与波 An3%@;  
C.2电磁波 Kd^,NAg  
C.3麦克斯韦方程 .s>PDzM$  
C.4平面电磁波 Hd0?}w\  
C.5平面电磁波性质 FTZaN1%`  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Eza B}BLQ9  
附录D光的干涉 rtgu{m02  
D.1波的叠加原理 m<e-XT  
D.2杨氏干涉 :~dI2e\:  
D.3平板的表面干涉 dfA4OZ&  
D.4光的空间相干性和时间相干性 8>~\R=SC  
附录E光的偏振 '?v-o)X  
E.1自然光和偏振光 >KnXj7  
E.2偏振光与Jones矩陈 *D$Hd">X  
E.3偏振光的获得 Z3Y(g  
E.4偏振光的检验 BJI"DrF  
…… FaE,rzn)iD  
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