现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

发布:cyqdesign 2010-01-06 15:14 阅读:30297
《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术,由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术,包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术,涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科,涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 n&E/{o(  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程,涉及光在传播过程中,通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 nwJc%0  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要,增加了一个附录,主要介绍几个数学物理基础理论。 Z}>+!Z  
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第一篇光学多层膜设计 "I3&a1*  
第1章光学薄膜特性的理论计算 "':SWKuMx  
1.1单色平面电磁波 V&d?4i4/Q  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 Rm@F9D[,  
1.3光学薄膜特性的理论计算 1tH#QZIT  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 9|>5;Ej  
习题 Kxsj_^&|i  
第2章光学薄膜的设计理论 >yr3C  
2.1矢量作图法 N 0(($8G  
2.2有效界面法 <-!' V,c  
2.3对称膜系的等效层 U,,rB(  
2.4导纳图解技术 A~'p~ @L  
习题 s1zkkLw`*  
第3章光学薄膜系统的设计 dg;E,'e_ p  
3.1减反射膜 liTAV9<  
3.2分束镜 > V@,K z1  
3.3高反射膜 a0cW=0l=  
3.4干涉截止滤光片 ~h444Hp=  
3.5带通滤光片 Cta!"=\  
3.6特殊膜系 pEiq;2{~Yn  
习题 `,6^eLU  
参考文献 g)iw.M2  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 6X$iTJ[\x  
第4章薄膜制备技术 x_x|D|@wM  
4.1真空淀积工艺 Y1 6pT  
4.2光学薄膜材料 Y\{lQMCy  
4.3薄膜厚度监控艺术 ~;nW+S$o  
4.4膜层厚度的均匀性 GoG_4:^#h  
习题 ,CnUQx0  
参考文献 |( R[5q  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 s _`y"' ^  
5.1薄膜的形成过程 20mZ{_%  
5.2薄膜的微观结构 6bt{j   
5.3薄膜的成分 b]\V~ZaXG  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 )"y]_}  
5.5薄膜微观结构和改善 B4;P)\ 2  
习题 2pAshw1G  
参考文献 L&~>(/*7U  
第三篇光学薄膜检测技术 ]\:l><  
第6章薄膜透射率和反射率测量 )jN fQ!?/  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 x:IY6  l  
6.2薄膜反射率的测试 ZQrgYeQl"  
6.3薄膜反射率的测量 ?a-}1A{  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 w7h=vy n?  
6.5总结 SlUt&+)  
习题 O; <YLS^|6  
参考文献 rD U"l{cg  
第7章薄膜的吸收和散射测量 DZ0\pp?S  
7.1激光量热计基本原理 .s<tQU  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 , MU9p*  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 SQx:`{O  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 BGVy \F<  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 9i#K{CkC|  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ]lzOz<0q  
7.7总结 DX#F]8bWl  
习题 0B~Q.tyP  
参考文献 =u]FKY  
第8章薄膜光学常数的测量 2E}^'o  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 *gXm&/2*  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ~b{j`T  
8.3薄膜波导法 60Obek`  
8.4光学薄膜厚度的测试 TVFxEV7Fx  
8.5总结 RlTVx :  
习题 f*~z|  
参考文献 jRIm_)  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 d@t3C8  
9.1薄膜的力学特性检测技术 &,@wLy^ T  
9.2薄膜器件的环境试验 )Z2t=&Nw  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 WP0{%  
9.4总结 mPo].z  
习题 f^X\N/  
参考文献 MOW {g\{\  
附录 9CTvG zkw  
附录A复数与复数运算 \:wLUGFl 5  
A.1复数的概念 {01wW1  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 >zAI#N4  
A.3复数在物理中的运用 7?JcB?G4  
附录B矩陈及矩陈运算 > jDx-H.N  
B.1矩陈的定义 1 +'HKT}  
B.2矩陈运算 ;]^JUmxU[d  
附录C光的电磁理论基础 da&f0m U  
C.1振动与波 i<Be)Y-'  
C.2电磁波 in6iJ*E@'  
C.3麦克斯韦方程 .U !;fJ9  
C.4平面电磁波 emI]'{_G  
C.5平面电磁波性质 wc'K=;c  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 d\ Z#XzI8  
附录D光的干涉 oxPb; %  
D.1波的叠加原理 @*c ) s_  
D.2杨氏干涉 F- n1J?4b  
D.3平板的表面干涉 I"=XM   
D.4光的空间相干性和时间相干性 \;A\ vQ[  
附录E光的偏振 J ;wA  
E.1自然光和偏振光  VgNt  
E.2偏振光与Jones矩陈 }`9}Q O  
E.3偏振光的获得 V-w[\u  
E.4偏振光的检验 2v<[XNX  
…… o^! Zt 9  
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最新评论

zouzili 2020-01-19 14:49
非常好的书籍,非常感谢
努力成为技术工 2022-11-01 18:39
非常需要 谢谢楼主
ccbao 2023-02-22 13:53
xuyao ,xiexiefenxiang
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