现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 Jgv Mx  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 o 2Nu@^+  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 Tc/^h4xH  

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第一篇光学多层膜设计 BV B2$&eJ  
第1章光学薄膜特性的理论计算 (|K+1R  
1.1单色平面电磁波 Qdq;C,}Ai.  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 xqzeBLU  
1.3光学薄膜特性的理论计算 M5ZH6X@5  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 5[jcw`  
习题 7K\
v=  
第2章光学薄膜的设计理论 VKD
OM0{V  
2.1矢量作图法 P!W%KobZ7|  
2.2有效界面法 z3uR1vF'  
2.3对称膜系的等效层 ^)~Smj^d  
2.4导纳图解技术 x 4+WZYv3  
习题 -/pz3n  
第3章光学薄膜系统的设计 }ouGxs+^[  
3.1减反射膜 f%,S::%Ea  
3.2分束镜 ] #@:VR  
3.3高反射膜 /e0B$UymFu  
3.4干涉截止滤光片 T;92M}\  
3.5带通滤光片 v:P]o9Oj8  
3.6特殊膜系 >+a\BK"k  
习题 BA c+T
 
参考文献 /P*XB%y  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ChTq!W  
第4章薄膜制备技术 "Xv} l@  
4.1真空淀积工艺 .jCGtR )%  
4.2光学薄膜材料 |reA`&<q  
4.3薄膜厚度监控艺术 ; BN81;  
4.4膜层厚度的均匀性 o99ExQ.  
习题 fEZuv?@  
参考文献 L;RE5YrH%6  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ~#sD2b`0  
5.1薄膜的形成过程 /aI@2]|~  
5.2薄膜的微观结构 \#HW.5  
5.3薄膜的成分 {$z54nvw$  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 2R&\qZ<  
5.5薄膜微观结构和改善 hI:.Qp`r  
习题 uvbVb"\"Yk  
参考文献 bFG~08Z ,d  
第三篇光学薄膜检测技术 '5BD%#[  
第6章薄膜透射率和反射率测量 TmG)
;B}  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 y|6n:<o  
6.2薄膜反射率的测试 ddfGR/1X  
6.3薄膜反射率的测量 a<<4gXx  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 NfvPE]S  
6.5总结 *6/IO&y1a  
习题 )%K<pIk  
参考文献 c*)T4n[e  
第7章薄膜的吸收和散射测量 MT-T
t  
7.1激光量热计基本原理 9-;-jnDy   
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 s(=wG|  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 (bb!VVA  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ^O_Z5NbC3  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 |(.\J`_e  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 /}m)FaAi  
7.7总结 Te-p0x?G.  
习题 PR@6=[|d  
参考文献 62sl6WWS3  
第8章薄膜光学常数的测量 (03/4*g_s  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 OIP]9lM$nC  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Y:!L  
8.3薄膜波导法
XQy`5iv  
8.4光学薄膜厚度的测试 1p}Wj*mc  
8.5总结  gHe:o`  
习题 gK rUv0&F  
参考文献 R(wUu#n$  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 oPKLr31zt  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ?8-Am[xH  
9.2薄膜器件的环境试验 " @D  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Y*NzY*V\  
9.4总结 KnG7w^  
习题 no*)M7  
参考文献 T?7u [D[[  
附录 aFTWzz  
附录A复数与复数运算 O52/fGt  
A.1复数的概念 8}0wSVsxV$  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 7zG r+Px  
A.3复数在物理中的运用 }X)vktE+|  
附录B矩陈及矩陈运算 cXb*d|-|N  
B.1矩陈的定义 1@|+l!rYF  
B.2矩陈运算 A8m06  
附录C光的电磁理论基础 fu5L)P^T  
C.1振动与波
a:cci?cb  
C.2电磁波 bT,_=7F  
C.3麦克斯韦方程 p[Po*c.b  
C.4平面电磁波 @su<h\)  
C.5平面电磁波性质 iXMJ1\!q\|  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 i\sBey ND"  
附录D光的干涉 8c9HJ9vk  
D.1波的叠加原理 {M**a  
D.2杨氏干涉 &r1(1<  
D.3平板的表面干涉 ,31 ? Aa  
D.4光的空间相干性和时间相干性 83vMj$P  
附录E光的偏振  cyl%p$  
E.1自然光和偏振光 \BnU?z  
E.2偏振光与Jones矩陈 : B^"V\WE  
E.3偏振光的获得 kq}byv}3I  
E.4偏振光的检验 ;5tOQ&p%v  
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