现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 f)b+>!  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 U?[_ d  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 yPmo@aw]1  
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第一篇光学多层膜设计 aQTISX;  
第1章光学薄膜特性的理论计算 !,0%ZG}]7  
1.1单色平面电磁波 e*Gt
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1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 vUNmN2pRJ  
1.3光学薄膜特性的理论计算 zQ=c6xvm8  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 /E32^o|,>  
习题 "B34+fOur  
第2章光学薄膜的设计理论 ox&PFI0Gn  
2.1矢量作图法 6`JY:~V"  
2.2有效界面法 ER'zjI>t@  
2.3对称膜系的等效层 F3Y/Miw  
2.4导纳图解技术 dU"ca|u  
习题 <8,,pOb  
第3章光学薄膜系统的设计 p7{%0
  
3.1减反射膜 [vV5@nP:  
3.2分束镜 A7c*qBt  
3.3高反射膜 u &qFE=5:  
3.4干涉截止滤光片 V0O6\)/.  
3.5带通滤光片 %vZTD+i  
3.6特殊膜系 v*[oe  
习题 k7cM.<s!  
参考文献 i .GJO +K  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 GX\6J]x=^2  
第4章薄膜制备技术 |H%[tkW6c  
4.1真空淀积工艺 `v"p""_H  
4.2光学薄膜材料 {Y7dE?!`7  
4.3薄膜厚度监控艺术 sPxDo?1x-  
4.4膜层厚度的均匀性 ^8q(_#w`K  
习题 9
!u&8#i  
参考文献 >
bUxb-8  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 xRp;y*  
5.1薄膜的形成过程 /T\'&s3D+  
5.2薄膜的微观结构 R<eD)+  
5.3薄膜的成分 N\nxo0sl  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 9:v0gE+.  
5.5薄膜微观结构和改善 W3M1> (  
习题 XN Gw@$  
参考文献 _B6W:k|-7l  
第三篇光学薄膜检测技术 ,"xr^@W
 
第6章薄膜透射率和反射率测量 $uj3W<iw3E  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 NSV;R~"  
6.2薄膜反射率的测试 ar[I| Q_  
6.3薄膜反射率的测量 M8y:FDX  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 =Y]'wb  
6.5总结 ;RUod .x  
习题 WV?3DzeR  
参考文献 sn.0`Stt  
第7章薄膜的吸收和散射测量 vjz 'y[D  
7.1激光量热计基本原理 S"Z.M _  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 eR|u']Em>T  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 E-v
#G~  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ]; Z[V  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 G}V5PEF]`  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 L}hc|(:  
7.7总结 >X58 zlxk  
习题 NfsF'v  
参考文献 @ i*It Hk  
第8章薄膜光学常数的测量 Bid+,,  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 hYSzr-)  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 [yn\O=%5  
8.3薄膜波导法 3[r9v!l  
8.4光学薄膜厚度的测试 0Bn35.K  
8.5总结 {Q~HMe`,  
习题 4^3lG1^YY  
参考文献 duq(K9S  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 N% !TFQf  
9.1薄膜的力学特性检测技术
;_iDiLC;  
9.2薄膜器件的环境试验 {Lg]chJq?  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 r-8fvBZ5  
9.4总结 S9kA69O  
习题 w,!IvDCAw  
参考文献 oU)Hco"_k  
附录 nAT,y9&  
附录A复数与复数运算 nmWo:ox4;(  
A.1复数的概念 g5@P  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 5D6 ,B  
A.3复数在物理中的运用 6qK`X  
附录B矩陈及矩陈运算 1a]QNl_x  
B.1矩陈的定义 y}*J_7-  
B.2矩陈运算 MJugno  
附录C光的电磁理论基础 T8W;Lb9hQ
 
C.1振动与波 {g7~e{2  
C.2电磁波 _uq[D`=  
C.3麦克斯韦方程 1haNpLfS>  
C.4平面电磁波 pQCocy  
C.5平面电磁波性质 )N3XbbV  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Ux-i iH#s  
附录D光的干涉 QruclNW{Bv  
D.1波的叠加原理 P<C=9@`!  
D.2杨氏干涉 n%K^G4k^  
D.3平板的表面干涉 L]Dq1q8`  
D.4光的空间相干性和时间相干性 e5$S2o~JF  
附录E光的偏振 bZlKy`Z  
E.1自然光和偏振光 m"f3hd4D_q  
E.2偏振光与Jones矩陈 ,!vI@>nhG  
E.3偏振光的获得 +[2ep"5H  
E.4偏振光的检验 K};~A?ET,h  
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