现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

发布:cyqdesign 2010-01-06 15:14 阅读:29491
《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术,由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术,包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术,涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科,涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 fo63H'7  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程,涉及光在传播过程中,通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 nSH A,c  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要,增加了一个附录,主要介绍几个数学物理基础理论。 hZ0p /Bdv  
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第一篇光学多层膜设计 ]h0Fv-[A  
第1章光学薄膜特性的理论计算 >n,RBl  
1.1单色平面电磁波 pWo`iM& F  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 jr@u  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ]=A=VH&  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 JTcK\t8  
习题 >G`=8Ku  
第2章光学薄膜的设计理论 6d~[My  
2.1矢量作图法 S>~QuCMY  
2.2有效界面法 7 4rmxjiN  
2.3对称膜系的等效层 8Z;wF  
2.4导纳图解技术 vkmTd4g  
习题 %G9: M;|'  
第3章光学薄膜系统的设计 q2VQS1R`8  
3.1减反射膜 ien >Ou  
3.2分束镜 n7~!klF-  
3.3高反射膜 <UJgl{ -  
3.4干涉截止滤光片 #4h_(Y  
3.5带通滤光片 (5@9j  
3.6特殊膜系 5TlPs_o  
习题 <fX]`57Dc`  
参考文献 o[AQS`  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 yb BLBJb  
第4章薄膜制备技术 &wj;:f  
4.1真空淀积工艺 x Z2 }1D  
4.2光学薄膜材料 A(y^1Nm  
4.3薄膜厚度监控艺术 9F~U% >GX  
4.4膜层厚度的均匀性 D$k40Mz  
习题 XZhX%OT!  
参考文献 ?'H);ou-p  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 DJ"O`qNV3  
5.1薄膜的形成过程 2#Fc4RR;  
5.2薄膜的微观结构 ;$W/le"Xr  
5.3薄膜的成分 aK'`yuN  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 )I<p<HQD  
5.5薄膜微观结构和改善 T:Dp+m!\{  
习题 LP bZ.  
参考文献 _%Ay\4H^\  
第三篇光学薄膜检测技术 pfW0)V1t  
第6章薄膜透射率和反射率测量 _5Q?]-M  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 jqHg'Fq  
6.2薄膜反射率的测试 }'{39vc .  
6.3薄膜反射率的测量 _H|c _  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 70! &  
6.5总结 q#B^yk|Y  
习题 gkS#=bv9e@  
参考文献 *a Y`[,4#$  
第7章薄膜的吸收和散射测量 P[PBoRd2  
7.1激光量热计基本原理 k))*Sg  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 s)%RmsdL  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ' >[KVvm  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 42LlR 0  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 iZ+\vO?|  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 1E!0N`E  
7.7总结 xKKL4ws  
习题 S1^u/$*6  
参考文献 dwks"5l  
第8章薄膜光学常数的测量 O4FW/)gq  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ann!"s_  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ((rk)Q+;v  
8.3薄膜波导法 vTYI ez`g  
8.4光学薄膜厚度的测试 8Dpf{9Y-E  
8.5总结 #V[ ?puE@  
习题 -CW&!oW  
参考文献 Lys4l$J]  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 k;:v~7VF  
9.1薄膜的力学特性检测技术 "Iu[)O%  
9.2薄膜器件的环境试验 p8y_uN QE  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 +uW$/_Y$  
9.4总结 i%H_ua  
习题 /B"h #v-o  
参考文献 $enh>!mU  
附录 #"d.D7nA  
附录A复数与复数运算 ,-A8;DW]^J  
A.1复数的概念 }(O/y-  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ZC3b9:tk  
A.3复数在物理中的运用 ]aq!@rDX  
附录B矩陈及矩陈运算 iC&=-$vu  
B.1矩陈的定义 XhFa9RC  
B.2矩陈运算 u3kK!2cdP  
附录C光的电磁理论基础 zLXmjrC  
C.1振动与波 mnL \c'  
C.2电磁波 "+s#!Fh *  
C.3麦克斯韦方程 :7p0JGd  
C.4平面电磁波 a&)0_i:r  
C.5平面电磁波性质 OlhfBu)~  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 A|tee@H*0  
附录D光的干涉 ` =dD6r  
D.1波的叠加原理 6cSMKbgZJ  
D.2杨氏干涉 |x["fWK  
D.3平板的表面干涉 rq9{m(  
D.4光的空间相干性和时间相干性 v vlfL*f  
附录E光的偏振 Vn? %w~0!  
E.1自然光和偏振光 FCQoz"M  
E.2偏振光与Jones矩陈 3tI=? E#  
E.3偏振光的获得 r9@O`i  
E.4偏振光的检验 .%`|vGF  
…… +Uq9C-Iu  
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最新评论

zouzili 2020-01-19 14:49
非常好的书籍,非常感谢
努力成为技术工 2022-11-01 18:39
非常需要 谢谢楼主
ccbao 2023-02-22 13:53
xuyao ,xiexiefenxiang
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