现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 cn:VEF:l  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 h
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 "O "@HVF@  

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第一篇光学多层膜设计 {*9i}w|2  
第1章光学薄膜特性的理论计算 v^G5 N)F  
1.1单色平面电磁波 b\Ub<pE  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 t+ ]+Gn  
1.3光学薄膜特性的理论计算 5Ncd1  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 \gpKQt0  
习题 S:s^si2/  
第2章光学薄膜的设计理论 o9>X"5CmX  
2.1矢量作图法 Qafg/JU  
2.2有效界面法 zu%pr95U  
2.3对称膜系的等效层 CuNHDYQ&3  
2.4导纳图解技术 b}*hodzF  
习题 QNFrkel  
第3章光学薄膜系统的设计 *p^MAk9=  
3.1减反射膜 }=FQKqtC  
3.2分束镜 ?M2@[w8_  
3.3高反射膜 qFk(UazN  
3.4干涉截止滤光片 5hMiCod  
3.5带通滤光片 [&:oS35O  
3.6特殊膜系 CjGI}t  
习题 +qec>ALAg  
参考文献 x;Q2/YZ#  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 PYe>`X?  
第4章薄膜制备技术 R?Qou!*
]  
4.1真空淀积工艺 Tw5BvB1  
4.2光学薄膜材料 ;r']"JmF,  
4.3薄膜厚度监控艺术 ~-/AKaK}  
4.4膜层厚度的均匀性 , +^db)  
习题 CiSG=obw  
参考文献 @ 2_&ti  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 =
g:\R$lQ  
5.1薄膜的形成过程 .9ne'Ta  
5.2薄膜的微观结构 I1,?qr"Zr  
5.3薄膜的成分 9^tyjX2  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 j>iM(8`t1  
5.5薄膜微观结构和改善 q8J/tw?%v  
习题 \+\h<D-5  
参考文献 `U
R.Rn/x  
第三篇光学薄膜检测技术 0% /M& N  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Fh'Jb*|Q  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 MgekLP)&  
6.2薄膜反射率的测试 eu=2a>  
6.3薄膜反射率的测量 Tp7?:YY|  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 EbQ}w"{  
6.5总结 DH%X+r  
习题 sMx\WTyz  
参考文献 :lAR;[WFS  
第7章薄膜的吸收和散射测量 >+r2I%  
7.1激光量热计基本原理 tj3p71%  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 y~fy0P:T  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 M<nn+vy`  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 vuf|2!kh/  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 nL?B  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 @WmB0cc_  
7.7总结 o>YRKb  
习题 =6$(m}(74  
参考文献 g;pFT  
第8章薄膜光学常数的测量 1^COR+>L  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Sv ,_G'  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ~VK
w%WK  
8.3薄膜波导法 iq#Z\Y(  
8.4光学薄膜厚度的测试 gS%J`X$  
8.5总结 "O4Z).5q3  
习题 ;p/@tr9  
参考文献 [,dsVd  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 epnDvz\  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ?=,tcN  
9.2薄膜器件的环境试验 SO)??kQ{U  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 4ZIXG,@mZJ  
9.4总结 p82qFzq#  
习题 iAN#TCwLT7  
参考文献 K"#}R<k8:A  
附录 D"MNlm  
附录A复数与复数运算 Ah,Zm4:  
A.1复数的概念 7Q
`4*H6  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 .f}I$ "2  
A.3复数在物理中的运用 ?@
nu]~  
附录B矩陈及矩陈运算 cH#`f4  
B.1矩陈的定义 u1uY*p  
B.2矩陈运算 (w.B_9#  
附录C光的电磁理论基础 B 5?(gb"  
C.1振动与波 r~sGot+sQA  
C.2电磁波 O@[q./VV,  
C.3麦克斯韦方程 8wBns)wy@  
C.4平面电磁波 4l|Am3vzX  
C.5平面电磁波性质 dL"v*3Fy  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 4avM:h  
附录D光的干涉 {E9Y)Z9  
D.1波的叠加原理 GXAcyOV  
D.2杨氏干涉 f /jN$p  
D.3平板的表面干涉 c[5>kQ-nq  
D.4光的空间相干性和时间相干性 8S0)_L#S  
附录E光的偏振 K= 69z  
E.1自然光和偏振光 /ZczfM\  
E.2偏振光与Jones矩陈 Z5+0?X0i  
E.3偏振光的获得 = *sP, 6  
E.4偏振光的检验 pY2nv/  
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