现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 X GhV? tA  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 cPL]
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 fD:>cje  

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JAA{5@ST  
第一篇光学多层膜设计 Qk_`IlSd  
第1章光学薄膜特性的理论计算 @w]z"UCwV@  
1.1单色平面电磁波 w\f>.N  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ^+)q@{\8Y  
1.3光学薄膜特性的理论计算 rh%-va9  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 b( qO fek  
习题 Pcox~U/j  
第2章光学薄膜的设计理论 `kERM-@A  
2.1矢量作图法 7x ?2((  
2.2有效界面法 ulzQ[?OMl  
2.3对称膜系的等效层 *k%3J9=-1  
2.4导纳图解技术 $GcVI;a  
习题 ;s(ua
C3  
第3章光学薄膜系统的设计 $k=5nJ  
3.1减反射膜 tUR9ti  
3.2分束镜 n;+e(ob;;  
3.3高反射膜 sH}q
&=  
3.4干涉截止滤光片 y5AJ1A6?E  
3.5带通滤光片 E 02l=M  
3.6特殊膜系 ,O[Maj/ch  
习题 V`;$Ua;y  
参考文献 +&:?*(?Q  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 us,1:@a)a  
第4章薄膜制备技术 P O{1u%P  
4.1真空淀积工艺 u^{6U(%  
4.2光学薄膜材料 IC:wof
"  
4.3薄膜厚度监控艺术 yk<$XNc  
4.4膜层厚度的均匀性 !"e~HZmr  
习题 Jfkdiyy"  
参考文献 5HAIK
c  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 vKC
gtk  
5.1薄膜的形成过程 7:>VH>?D  
5.2薄膜的微观结构 Y3J;Kk#AH  
5.3薄膜的成分 V7qc9Gd@I  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 5W29oz}-S  
5.5薄膜微观结构和改善 aTx*6;-PH  
习题 \h&ui]V  
参考文献 %j*i=  
第三篇光学薄膜检测技术 ,*w  
第6章薄膜透射率和反射率测量 V&>\U?q:  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ZJ7<!?6  
6.2薄膜反射率的测试 %}*0l8y  
6.3薄膜反射率的测量 G L> u3K  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 0/F/U=Z!  
6.5总结 .;'3Roi  
习题 3n=`SLj/a  
参考文献 cIIt ;q[  
第7章薄膜的吸收和散射测量 k;?Oi?]  
7.1激光量热计基本原理 dT9ekNQB  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 0B;cQSH!q  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 H"g$qSx  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 q:9#Vcw  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 clwJ+kku@  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 YsHZFF  
7.7总结 i(k]}Di:  
习题 c T!L+zg  
参考文献 RRBok
j)]  
第8章薄膜光学常数的测量 vFL\O  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 p`i_s(u  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 =c>w  
8.3薄膜波导法 {D(_"  
8.4光学薄膜厚度的测试 bxS+ R\  
8.5总结 3N]  
习题 /W6r{Et  
参考文献 71h?t`N  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 u*<G20~A  
9.1薄膜的力学特性检测技术 0H6^
2T<  
9.2薄膜器件的环境试验 0K&\5xXM  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 A?q9(n|A"  
9.4总结 NNt,J;  
习题 =eXJZPR  
参考文献 }5)sS}C  
附录 e[lRY>Pe5  
附录A复数与复数运算 ZN:~etd  
A.1复数的概念 "F*'UfOwrZ  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Wy'H4Rg8  
A.3复数在物理中的运用 INyakAmJ}-  
附录B矩陈及矩陈运算 y'9 bs  
B.1矩陈的定义 ]/p)XH
Ko  
B.2矩陈运算 G(puC4 "&  
附录C光的电磁理论基础 ?Q< o-o;B  
C.1振动与波 6L~tUe.G  
C.2电磁波 J:YFy-[w(  
C.3麦克斯韦方程 WaVP+Ap  
C.4平面电磁波 }/%(7Ff{  
C.5平面电磁波性质 }wJDHgt]-p  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 <V3N!H_d  
附录D光的干涉 H n
Rd  
D.1波的叠加原理 ;(kU:b|j  
D.2杨氏干涉 AU@XpaPWh  
D.3平板的表面干涉 *Q<%(JJ  
D.4光的空间相干性和时间相干性 39W6"^q"o  
附录E光的偏振 %EZG2JjO)  
E.1自然光和偏振光 !zw)! rV=  
E.2偏振光与Jones矩陈 8%UI<I,  
E.3偏振光的获得 y<G@7?  
E.4偏振光的检验 1|L3} 2  
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