现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 "`Xbi/i  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 %?S[{ 4A&  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 e?]HNy  

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第一篇光学多层膜设计 -7Kstc-  
第1章光学薄膜特性的理论计算 =<ht@-1  
1.1单色平面电磁波 Vk76cV D  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ,1vFX$  
1.3光学薄膜特性的理论计算 N5xI;UV9'  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Q,ZV C  
习题 B.gEV*@  
第2章光学薄膜的设计理论 xa{.hp?  
2.1矢量作图法 MY(
51)*  
2.2有效界面法 |]Y6*uEX<  
2.3对称膜系的等效层 mQ
K3YoC)  
2.4导纳图解技术
GQE7P()  
习题 scrss  
第3章光学薄膜系统的设计 H87k1^}HV  
3.1减反射膜 m?
;/H  
3.2分束镜 /}5)[9GC  
3.3高反射膜 !!~r1)zN  
3.4干涉截止滤光片 hN!{/Gc|  
3.5带通滤光片 :8?l=B9("g  
3.6特殊膜系 O8LIKD_I[  
习题 +.m:-^9  
参考文献 kn&BGYt  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 6/Z_r0^O  
第4章薄膜制备技术 W&&C[@Jd3  
4.1真空淀积工艺 4:kDBV;v  
4.2光学薄膜材料 koj*3@\p/  
4.3薄膜厚度监控艺术 )31xl6@  
4.4膜层厚度的均匀性 F C=N}5u  
习题 ,V;HMF.  
参考文献 :n?rk/F  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 U1|{7.R  
5.1薄膜的形成过程 aQj6XGu  
5.2薄膜的微观结构 \GGyz{i  
5.3薄膜的成分 ~O3VX75f  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 N#X* 0i"  
5.5薄膜微观结构和改善 _) UnHp_^  
习题 Nlu]f-i':  
参考文献 [o 6  
第三篇光学薄膜检测技术 \+C0Rv^^  
第6章薄膜透射率和反射率测量 %e+*&Z',  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 iN5[x{^t  
6.2薄膜反射率的测试 * C
*aH6*  
6.3薄膜反射率的测量 -L wz T  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 (:}}p}u  
6.5总结 OM@z5UP  
习题 VpED9l]y  
参考文献 J{nA ?[  
第7章薄膜的吸收和散射测量 mCQ:<#  
7.1激光量热计基本原理 WkPT6d  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 5wv7]F<  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 z|$9%uz"  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 LK>;\BRe?  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 0XA0b1VX  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 6E_YUk?KW  
7.7总结 =L{-Hu/j  
习题 LeNSjxB  
参考文献 LFvZ 7M\\  
第8章薄膜光学常数的测量 In;+wFu;M  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Z!l]v.S  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 G"Hj$  
8.3薄膜波导法 ,!P}Y[|  
8.4光学薄膜厚度的测试 b]N&4t  
8.5总结 Qp>Z&LvC5  
习题 ylQ9Su>o  
参考文献 FRayB VHL  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 mR8tW"Z2  
9.1薄膜的力学特性检测技术 @Z<Z//^k  
9.2薄膜器件的环境试验 P4 #j;k4P  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 bP4}a!t+n  
9.4总结 sR)jZpmC(  
习题 v
XG?8Q  
参考文献 v8C4BuwA  
附录 d\r-)VWSr"  
附录A复数与复数运算 Fj"/jdM  
A.1复数的概念 y!_8m#n S  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 F;BCSoO4  
A.3复数在物理中的运用 (,cG+3r]  
附录B矩陈及矩陈运算 $\PU Y8  
B.1矩陈的定义 M6].V*k'2  
B.2矩陈运算 q*cEosi'F?  
附录C光的电磁理论基础 r4
b-.>w  
C.1振动与波 b|\dHi2FT  
C.2电磁波 f{P?|8u  
C.3麦克斯韦方程 4`")aM
 
C.4平面电磁波 6.6?Rp".  
C.5平面电磁波性质 8fPTxvXqL  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 rU1Ri  
附录D光的干涉 DZ9^>`*  
D.1波的叠加原理 ^@Z8_PZo  
D.2杨氏干涉 be?Bf^O>  
D.3平板的表面干涉 i>dFpJ  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Z{?T1 =n  
附录E光的偏振 Z_[L5B]Gwd  
E.1自然光和偏振光 %al 5 {  
E.2偏振光与Jones矩陈 )mjGHq2  
E.3偏振光的获得 [\&2&  
E.4偏振光的检验 d$Y_vX<  
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电子文档下载：http://www.opticsky.cn/read-htm-tid-44072.html