现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 .Y
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 TFfV?rBI  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 d8)ps,  
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第一篇光学多层膜设计 cuw 7P  
第1章光学薄膜特性的理论计算 b7^Db6qu  
1.1单色平面电磁波 '-,$@l#  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 F K7cDaI  
1.3光学薄膜特性的理论计算 2`|gnVw  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ;+Dq3NE  
习题 N$!aP/b  
第2章光学薄膜的设计理论 @5["L  
2.1矢量作图法 9}[
UZN6  
2.2有效界面法 G!u+~{g  
2.3对称膜系的等效层 *]7$/%.D  
2.4导纳图解技术 ]+"25V'L  
习题 |Ix{JP"Lk  
第3章光学薄膜系统的设计 Kl Kk?6>  
3.1减反射膜 zu,F 0;De  
3.2分束镜 s|`ZV^R  
3.3高反射膜 iL$~d@AEn  
3.4干涉截止滤光片 &'V1p4'  
3.5带通滤光片 5LF&C0v  
3.6特殊膜系 <Jf[N=  
习题 QX`T-)T e  
参考文献 %W(/W9B$/F  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 Uhw:XV@m  
第4章薄膜制备技术 ^t$xR_  
4.1真空淀积工艺 j;MQ_?"iN  
4.2光学薄膜材料 ~pC\"LU`  
4.3薄膜厚度监控艺术 {vhP'!a6W  
4.4膜层厚度的均匀性 {!L25  
习题 5r)]o'?s  
参考文献 SSAf<44e  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 '!DS3zEeLS  
5.1薄膜的形成过程 .eHOG]H  
5.2薄膜的微观结构  z@8W  
5.3薄膜的成分 rRQKW_9mB  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 fvi8+3A&  
5.5薄膜微观结构和改善 6Mj
(B*c  
习题 &)$}Nk  
参考文献 S8dX8,qg  
第三篇光学薄膜检测技术 W\pO`FL  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ln2lFfz
 
6.1光谱分析测试系统的基本原理 QFNw2:)  
6.2薄膜反射率的测试  Tb[1\  
6.3薄膜反射率的测量 >Y6iLQ$X  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 "g%=FH3e  
6.5总结 YAsE,M+  
习题 cuoZ:
Wh  
参考文献 y2o~~te  
第7章薄膜的吸收和散射测量 V#,jUH|  
7.1激光量热计基本原理 )j+G4  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 N\t( rp  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 =L]GQ=d  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 c9:8KMF)  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 6%B)  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 _*.ImD  
7.7总结 Fz{T;  
习题 mHF?t.y  
参考文献 eUVhNg  
第8章薄膜光学常数的测量 ~wFiq)v(  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 od-yVE
&  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 fc<~R  
8.3薄膜波导法 \(&UDG$  
8.4光学薄膜厚度的测试 f 0r?cZ  
8.5总结 @#2KmM~I  
习题  va[r~  
参考文献 U}R(  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 {fI"p;|  
9.1薄膜的力学特性检测技术 mlO\wn-F  
9.2薄膜器件的环境试验 bV&"
jjEx  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 sXwa`_{  
9.4总结 ]S 3l' "  
习题  =$-+~  
参考文献 Q;?rqi ,  
附录 "O/ 6SV  
附录A复数与复数运算 yi;pn Z  
A.1复数的概念 NHQi_U  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ez14f$cJ+  
A.3复数在物理中的运用 85_Qb2<'r  
附录B矩陈及矩陈运算 dT7!+)s5-  
B.1矩陈的定义 [.'9Sw  
B.2矩陈运算 Tn"^`\m  
附录C光的电磁理论基础 g`(3r  
C.1振动与波 dUH+7.\  
C.2电磁波 `hf`l
q^  
C.3麦克斯韦方程 `t#9 yN  
C.4平面电磁波 rcz9\@M  
C.5平面电磁波性质 Wi@YJ  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ?UV|m  
附录D光的干涉 2QgD<  
D.1波的叠加原理 im@QJ:  
D.2杨氏干涉 9~{,Hj1xE  
D.3平板的表面干涉 k`BS{,=  
D.4光的空间相干性和时间相干性 1G8,Eah  
附录E光的偏振 )I"I[jDw  
E.1自然光和偏振光 y&(pt!I  
E.2偏振光与Jones矩陈 U&W/Nj  
E.3偏振光的获得 )fl+3!tq  
E.4偏振光的检验 no(or5UJ  
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