现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 w`77E=  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ]Zj6W9]m  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 :'t+*{ff  

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第一篇光学多层膜设计 ?puZqVu5  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ~I_v {  
1.1单色平面电磁波 V*|#j0}b  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 60A E~  
1.3光学薄膜特性的理论计算 MmvMuX]#)  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 e@GR[0~  
习题 M<sY_<z  
第2章光学薄膜的设计理论 }'FNGn.~#  
2.1矢量作图法 m V U(b,  
2.2有效界面法 ,J(+%#$UT  
2.3对称膜系的等效层 dWCUZ,6}  
2.4导纳图解技术 I|{A&G}|q  
习题 H=f'nm]dQ  
第3章光学薄膜系统的设计 D+y_&+&,t  
3.1减反射膜 <gdKuoY  
3.2分束镜 !aVwmd'9  
3.3高反射膜 Qxvj`Ge  
3.4干涉截止滤光片 SvE|"  
3.5带通滤光片 z@_9.n]  
3.6特殊膜系 #]BpTpRAe<  
习题 w^.^XK4v.  
参考文献 TDMyZ!d  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 xz#.3|_('  
第4章薄膜制备技术 Ke_&dgsq  
4.1真空淀积工艺 j.5;0b_L^  
4.2光学薄膜材料 Fp`MX>F  
4.3薄膜厚度监控艺术 K)h\X~s  
4.4膜层厚度的均匀性 :*{>=BD  
习题 Tt0:rQ.  
参考文献
C
US^j  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 <Bmqox0  
5.1薄膜的形成过程 }iK_7g`yKa  
5.2薄膜的微观结构 !A6l\_  
5.3薄膜的成分 \[-z4Fxg|'  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 E2PMcT{)_  
5.5薄膜微观结构和改善 A(xCW+h@)  
习题 Gob;dku  
参考文献 `F#<qZSR  
第三篇光学薄膜检测技术 >/kwy2  
第6章薄膜透射率和反射率测量 5&uS700  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Od>^yhn  
6.2薄膜反射率的测试 4sVr]p`  
6.3薄膜反射率的测量
Cw=wU/)  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 (f5v{S6b(  
6.5总结 +hz^( I7  
习题 &I[ITp6y0  
参考文献 ATeXOe
 
第7章薄膜的吸收和散射测量 }x[d]fcC  
7.1激光量热计基本原理 s1[_Pk;!  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 4zF|}aiQ  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 (N etn&  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ]Tje6iF  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 t*fG;YOg  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 `VT0wAe2;  
7.7总结 ~)S Q{eK?&  
习题 A0NNB%4|/  
参考文献  9"@P.8_  
第8章薄膜光学常数的测量 yqg&dq  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 C~
2/ 5  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 >PsP y.  
8.3薄膜波导法 "4{_amgm&<  
8.4光学薄膜厚度的测试 (okCZ-_Jn  
8.5总结 IZm_/  
习题 2C@hjw(
 
参考文献 cU y,q]PO  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 Y:nF.An3  
9.1薄膜的力学特性检测技术 !Q,A#N(  
9.2薄膜器件的环境试验 c=YJ:&/5&  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 sP0pw]!  
9.4总结 xHml"Y1  
习题 ~YIGOL"?  
参考文献
N.J;/!%!  
附录 @17hB h  
附录A复数与复数运算 AUloP?24  
A.1复数的概念 CS 7"mE`{  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 !;SpQ28  
A.3复数在物理中的运用 eJMD8#  
附录B矩陈及矩陈运算 vT<q zN  
B.1矩陈的定义 CfMq?.4%E}  
B.2矩陈运算 !b O8apn  
附录C光的电磁理论基础 tQ7DdVdix  
C.1振动与波 #5?Q{ORN o  
C.2电磁波 :<%q9)aPf`  
C.3麦克斯韦方程 5zlgmCGow  
C.4平面电磁波 Sx,O)  
C.5平面电磁波性质 Lw=.LN  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 J&{qe@
^
 
附录D光的干涉 W{OlJRX8  
D.1波的叠加原理 }2Lh'0 xY  
D.2杨氏干涉 XpzdvR1  
D.3平板的表面干涉 bQ-5uFe~$B  
D.4光的空间相干性和时间相干性 5Wj+ey^^w  
附录E光的偏振 PN{l)&K2.  
E.1自然光和偏振光 oZO6J-ea  
E.2偏振光与Jones矩陈 ^4LkKYMS  
E.3偏振光的获得 _nR8L`l*z  
E.4偏振光的检验 H_'i.t 'SS  
…… ~U:{~z  
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