现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 1JZhcfG  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 TrBtTqH)  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 q[c^`5  
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第一篇光学多层膜设计 ~_ko$(;A  
第1章光学薄膜特性的理论计算 4cDe'9 LA  
1.1单色平面电磁波 <M\#7.](  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 MFqb_q+  
1.3光学薄膜特性的理论计算 L"( {6H  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 /=KE
M gI?  
习题 4"Mq]_D  
第2章光学薄膜的设计理论 t5EYu*  
2.1矢量作图法 mA5sK?W  
2.2有效界面法 COA>y?  
2.3对称膜系的等效层 hdYd2 j  
2.4导纳图解技术 SI7r`'7A'  
习题 \sS0@gnDI  
第3章光学薄膜系统的设计 U+VyH4"  
3.1减反射膜 ?F|F~A8dr  
3.2分束镜 ex|h&Vma2V  
3.3高反射膜 ne=C
N!=  
3.4干涉截止滤光片 ~FnY'F<35  
3.5带通滤光片 E+Dcw  
3.6特殊膜系 {%6g6?=j  
习题
KR>o 2  
参考文献  Bm&6  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 &cy<"y  
第4章薄膜制备技术 "FLiSz%ME  
4.1真空淀积工艺 ccy q~  
4.2光学薄膜材料 TmJXkR.5  
4.3薄膜厚度监控艺术 >&Y\g?Z6G  
4.4膜层厚度的均匀性 Z5[g[Q  
习题 Uf~5Fc1d =  
参考文献 A1B%<$|pz  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 f
iLlOr%r  
5.1薄膜的形成过程 eCG{KCM~_Z  
5.2薄膜的微观结构 Sp[]vm8N  
5.3薄膜的成分 0+KSD{  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 $rPQ%2eF4  
5.5薄膜微观结构和改善  Rp6q)  
习题 '-P+|bZW4  
参考文献 MaZS|Zei[  
第三篇光学薄膜检测技术 YAd%d|Q  
第6章薄膜透射率和反射率测量 n39EKH rm%  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 5JS*6|IbD{  
6.2薄膜反射率的测试 ."ytBF  
6.3薄膜反射率的测量 l6.&<0pLT  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 l$m}aQ%h  
6.5总结 S]Aaf-X_  
习题 40 zO4  
参考文献 0KjCM4t  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ]2MX7  
7.1激光量热计基本原理 n'!x"O7  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 Nf}i/  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 T5wVJgN>  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 %{0F.  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Us% _'}(/U  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 Op hD_^  
7.7总结 sk@aOv'*(  
习题 ul!q)cPb{  
参考文献 \!IEZ  
第8章薄膜光学常数的测量 o 80x@ &A:  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 aTs9lr:  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 xsU3c0wbr8  
8.3薄膜波导法 N3wy][bo  
8.4光学薄膜厚度的测试 x\YVB',h  
8.5总结 NosOd*S  
习题 7yOBxb   
参考文献 w4l]r
H  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ?
5ws
gP^  
9.1薄膜的力学特性检测技术 bl\;*.s'  
9.2薄膜器件的环境试验 f,ql8q(|J  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 QRwOv  
9.4总结 o8SP#ET"n  
习题 W3n[qVZIC  
参考文献 ..=lM:13|  
附录 %
Lq}5zB  
附录A复数与复数运算 Y\F4  
A.1复数的概念 ;s#]."v_=  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 NWj4U3x  
A.3复数在物理中的运用 SBY0L.  
附录B矩陈及矩陈运算 y(=0  
B.1矩陈的定义 .I%B$eH  
B.2矩陈运算 T#HF!GH]  
附录C光的电磁理论基础 X7?j90tH  
C.1振动与波 CjJ n  
C.2电磁波 7**zO3 H  
C.3麦克斯韦方程 n;y[%H!g  
C.4平面电磁波 SKGnx  
C.5平面电磁波性质 #hXuGBZEI  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 M{p9b E[j  
附录D光的干涉 &LQfs4}a,  
D.1波的叠加原理 Zt 1n
H  
D.2杨氏干涉 kRH D{6mol  
D.3平板的表面干涉 qipS`:TER  
D.4光的空间相干性和时间相干性 !. :b}t  
附录E光的偏振 Bo ??1y  
E.1自然光和偏振光 C}\kp0mz  
E.2偏振光与Jones矩陈 JC}T*h>Ee  
E.3偏振光的获得 %h v-3L#V  
E.4偏振光的检验 EW/NH&{  
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