现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 Kg8n3pLAX  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 n^[VN[VC  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 6j2mr6o  
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第一篇光学多层膜设计 h85kQ^%  
第1章光学薄膜特性的理论计算 'lWgHmE  
1.1单色平面电磁波 {e]ktj#+{  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 j3t,Cx  
1.3光学薄膜特性的理论计算 k`(Cwp{Oc  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 r)]8zK4;=  
习题 %mFZ!(  
第2章光学薄膜的设计理论 xq@_' 3X  
2.1矢量作图法 Od]B;&F  
2.2有效界面法 BbCaIt  
2.3对称膜系的等效层 oVAY}q|wU  
2.4导纳图解技术 Oaj$Z- f  
习题 3'jH,17lWV  
第3章光学薄膜系统的设计 v$d^>+Y#  
3.1减反射膜 O[<YYL0  
3.2分束镜 1}/37\  
3.3高反射膜 -\I".8"YE  
3.4干涉截止滤光片 8M6wc394  
3.5带通滤光片 <FofRFaS  
3.6特殊膜系 {lO>i&mx  
习题 D/oO@;`'c  
参考文献 aGs\zCAP  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 Ox%.We5  
第4章薄膜制备技术 '7yVvd  
4.1真空淀积工艺 h8 !(WO!  
4.2光学薄膜材料 "lnI@t{o  
4.3薄膜厚度监控艺术 U UY
x-x  
4.4膜层厚度的均匀性 fN_Ilg)t?5  
习题 6` 4,  
参考文献 c2~oPUj  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 `gE_u  
5.1薄膜的形成过程 w|[{xn^R  
5.2薄膜的微观结构 L7"B`oa(p  
5.3薄膜的成分 +Ua.\1"6  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 q]rqFP0C  
5.5薄膜微观结构和改善 IfzW%UL  
习题 ;=lQMKx0  
参考文献 J`'wprSBb  
第三篇光学薄膜检测技术 OhiY <  
第6章薄膜透射率和反射率测量 /I~(*X  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ,8&ND864v  
6.2薄膜反射率的测试 j<PpCL_8%  
6.3薄膜反射率的测量 Xf%wW[~  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 j}aU*p~N  
6.5总结 +2JC**)I
 
习题 #
McX  
参考文献 X*< !_3  
第7章薄膜的吸收和散射测量 /#Lm)-%G  
7.1激光量热计基本原理 EXizRL-9o  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 Z_(P^/  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Cm%xI&Y  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 $0,lE+7*  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 hwi$:[  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 lnWscb3t  
7.7总结 u,`cmyZ  
习题  I#U)  
参考文献 !)HB+yr  
第8章薄膜光学常数的测量
Ocf:73t  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 HSlAm&Y\  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 9/dI 6P7  
8.3薄膜波导法 XLj|y#h  
8.4光学薄膜厚度的测试 PwS7!dzH-  
8.5总结 rOTxD/  
习题 3Q2z+`x'  
参考文献 ;t\C!A6  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 I.{%e;Reg  
9.1薄膜的力学特性检测技术 rtT*2k*  
9.2薄膜器件的环境试验 m/p:W/0L  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 :89AYqT"  
9.4总结 c;doxNd6  
习题 qMmhVUx  
参考文献 _qjkiKm?1F  
附录 Z ItS(oJ.  
附录A复数与复数运算 >*"1`vcxF  
A.1复数的概念 S&{#sl#e  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 dw3H9(-lp  
A.3复数在物理中的运用 _KAg1Ww  
附录B矩陈及矩陈运算 3}nkTZG  
B.1矩陈的定义 I`S?2i2H  
B.2矩陈运算 ,A;wLI  
附录C光的电磁理论基础 <4RP:2#  
C.1振动与波 C o,"  
C.2电磁波 #OVS]Asn}  
C.3麦克斯韦方程 ]?UK98uS\A  
C.4平面电磁波 gbT1d:T  
C.5平面电磁波性质 *B%ulsm  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 j7 \y1$w  
附录D光的干涉 r(p@{L185  
D.1波的叠加原理 0<u
(!iL  
D.2杨氏干涉 #8i9@w  
D.3平板的表面干涉 !H4C5wDu  
D.4光的空间相干性和时间相干性 bI+ TFOP  
附录E光的偏振 6a4-VX5  
E.1自然光和偏振光 &m{vLw  
E.2偏振光与Jones矩陈 :\IZ-  
E.3偏振光的获得 +.IncY8C$  
E.4偏振光的检验 3\H0Nkubts  
…… Zz^!QlF  
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