现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 cK,&huk  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 *^iSP(dg
 
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 19:1n]*X<  
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第一篇光学多层膜设计 k/M{2Po+
 
第1章光学薄膜特性的理论计算 kZ0z]Y  
1.1单色平面电磁波 JkEITuTth  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 y[/:?O}g4  
1.3光学薄膜特性的理论计算 mYqLqezAA  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 N>iNz[a q  
习题 ~uG/F?= Q:  
第2章光学薄膜的设计理论 g'9~T8i& ^  
2.1矢量作图法 \"X_zM  
2.2有效界面法 ,E8g~ZUY9  
2.3对称膜系的等效层 J
F'<""  
2.4导纳图解技术 [M#(su0fv  
习题 gX`C76P!  
第3章光学薄膜系统的设计 s)+] pxV0-  
3.1减反射膜 ~"Su2{"8B  
3.2分束镜 RJ-J/NhWyI  
3.3高反射膜 P=a&
>i  
3.4干涉截止滤光片 L=5Y^f'aU  
3.5带通滤光片 BO+to.  
3.6特殊膜系 %"ehZd0r  
习题 Of-8n-  
参考文献 <
.{OIIuk  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 7
HJH9@8V  
第4章薄膜制备技术 s~A:*2\  
4.1真空淀积工艺 `,Fc271`  
4.2光学薄膜材料 EvT"+;9/p  
4.3薄膜厚度监控艺术
\1eWI  
4.4膜层厚度的均匀性 QS@eqN  
习题 0S\HO<~k  
参考文献 PB#EU9  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 \SBAk h  
5.1薄膜的形成过程 qykI[4  
5.2薄膜的微观结构 QrLXAK\5  
5.3薄膜的成分 zpy&\#Vc  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 eI@G B  
5.5薄膜微观结构和改善 WHr:M/qD  
习题 1i#U&  
参考文献 miV8jaV  
第三篇光学薄膜检测技术 S-79
uo  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Pa{b
kr  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 aW#^@||B  
6.2薄膜反射率的测试 {~V_6wY g  
6.3薄膜反射率的测量 [9Hrpo]tU:  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ;I>77gi`]  
6.5总结 +$R%Vbd  
习题 b(A;mt#N  
参考文献 GPAz#0p  
第7章薄膜的吸收和散射测量 p]6/1&t="  
7.1激光量热计基本原理 F~3 &@TWi  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 kZQ$Iv+^(  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 rUmnv%qTS  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ,%KMi-w]q,  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 R7Ns5s3X  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 9abn6S(XpJ  
7.7总结 _<jccQ  
习题 XRn+6fn|  
参考文献 G 'CYvV  
第8章薄膜光学常数的测量 >+S* Wtm5  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ;zo?o t/  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 2vW@d[<J  
8.3薄膜波导法 nVk]Qe  
8.4光学薄膜厚度的测试 ,]=Qgn  
8.5总结 TzrU |D?  
习题 X6oY-4O  
参考文献 tmC9p6%  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 {6*{P!H  
9.1薄膜的力学特性检测技术 :LB< z#M  
9.2薄膜器件的环境试验 WhL1OG  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 mh~n#bah  
9.4总结 fG /wU$B  
习题 3M{b:|3/q  
参考文献 :yAvo4)  
附录 mGUl/.;yp-  
附录A复数与复数运算 pl.=u0 *  
A.1复数的概念 R(HW0@R@w  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 0Y\7A  
A.3复数在物理中的运用 D"n
3If%  
附录B矩陈及矩陈运算 ?Tk4Vt  
B.1矩陈的定义 >V3pYRA   
B.2矩陈运算 I[I]C9D  
附录C光的电磁理论基础 kN$L8U8f  
C.1振动与波 l7GLN1#m  
C.2电磁波 mQt?d?6  
C.3麦克斯韦方程 A\<WnG>xjP  
C.4平面电磁波 3WF6bJN  
C.5平面电磁波性质 FZtILlw  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 7 m!e\x8  
附录D光的干涉 (?zZvW8  
D.1波的叠加原理 )IZ~!N|-w  
D.2杨氏干涉 x20s
B  
D.3平板的表面干涉 (`Q_^Bfyl  
D.4光的空间相干性和时间相干性 5P < F  
附录E光的偏振 %GDs/9  
E.1自然光和偏振光 N @sVA%L.  
E.2偏振光与Jones矩陈 7ip(-0  
E.3偏振光的获得 w~=@+U$f  
E.4偏振光的检验 Z=P=oldH  
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