现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 D)Zv  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 /SiQw7yp%  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 Wh,kJis<  
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第一篇光学多层膜设计 ps2C8;zT  
第1章光学薄膜特性的理论计算 n3(HA  
1.1单色平面电磁波 2h=RNU|  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 L,i-T:Z~=  
1.3光学薄膜特性的理论计算 0^+W"O  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Jps!,Mflc  
习题 FQ5# v{  
第2章光学薄膜的设计理论 \?j
(U8mB>  
2.1矢量作图法 e*tOXXY1  
2.2有效界面法 v[m>;Ubg&  
2.3对称膜系的等效层 PYZ8@G  
2.4导纳图解技术 H_{Yr+p  
习题 Q-\: u~  
第3章光学薄膜系统的设计 1peN@Yk2W  
3.1减反射膜 C-8@elZ1  
3.2分束镜 =#W6+=YN8  
3.3高反射膜 &:rf80`z.  
3.4干涉截止滤光片 5lT lZRH1  
3.5带通滤光片 G]{)yZ'}  
3.6特殊膜系 n}"MF>zDK  
习题 e.[h  
参考文献 zR%#Q_  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 r_QWt1K  
第4章薄膜制备技术 c5JxKU_  
4.1真空淀积工艺 kp[Jl0K5  
4.2光学薄膜材料 +7=3[K  
4.3薄膜厚度监控艺术 .A E(D7d6  
4.4膜层厚度的均匀性 C[75!F   
习题 3oh(d.Z  
参考文献 xu3qX"  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 s\@
!J.Da  
5.1薄膜的形成过程 xT%CY(:9X  
5.2薄膜的微观结构 +B
ESO  
5.3薄膜的成分 G=DRz F  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 L9T|*?||  
5.5薄膜微观结构和改善 0L'h5i>H)  
习题 4oJ0,u  
参考文献 &Mol8=V)  
第三篇光学薄膜检测技术 _f/6bpv  
第6章薄膜透射率和反射率测量 &T{+B:*v  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 2TdcZ<k}J  
6.2薄膜反射率的测试 -{^Gzui  
6.3薄膜反射率的测量 Au9Rr3n  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 u-D%: lz85  
6.5总结 GujmBb  
习题 PAJt M  
参考文献 o<Q~pd#Ip,  
第7章薄膜的吸收和散射测量 )Zox;}WK+  
7.1激光量热计基本原理 Uo# Pe@ieQ  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 Bx)4B
PaN  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 @I9A"4Im  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 yN9/'c~  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 }}<^fM  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 _G@)Bj^*  
7.7总结 fnB[b[  
习题 Y-v6xUc{F  
参考文献 C1hp2CW$5/  
第8章薄膜光学常数的测量 04o(05K  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 qeypa!  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 X-=49)  
8.3薄膜波导法 jx J5F3d  
8.4光学薄膜厚度的测试 V3 2F  
8.5总结 12.|Ed*72  
习题 ) }(Po_  
参考文献 `ml  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 _vm~yKId  
9.1薄膜的力学特性检测技术 b-,4< H8m  
9.2薄膜器件的环境试验 ,XU<2jv]  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 R10R,*6>  
9.4总结 iU+O(vi  
习题 ka0MuQM  
参考文献 y2KR^/LN|Y  
附录 4S5U|n  
附录A复数与复数运算 Pd)mLs Jg  
A.1复数的概念 A{MMY{K3  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ZwM(H[iqL  
A.3复数在物理中的运用 HQX.oW  
附录B矩陈及矩陈运算 yhc}*BMZ  
B.1矩陈的定义 !cW6dc^  
B.2矩陈运算 EV/DJ$C }  
附录C光的电磁理论基础 NYw>Z>TD8c  
C.1振动与波 %g:6QS|  
C.2电磁波 fS?}(7  
C.3麦克斯韦方程 }2
0~5!  
C.4平面电磁波 kntYj}F(  
C.5平面电磁波性质 9eBD)tnw  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 [>![ViX  
附录D光的干涉 E6XDn`:  
D.1波的叠加原理 zcGmru|k  
D.2杨氏干涉 H\R
ejGR  
D.3平板的表面干涉 jl9hFubwW  
D.4光的空间相干性和时间相干性 5If.[j{  
附录E光的偏振 >e>%AMzo[  
E.1自然光和偏振光 w{mw?0  
E.2偏振光与Jones矩陈 Y \Gx|  
E.3偏振光的获得 gWQ(
B  
E.4偏振光的检验 tTOBKA89  
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