现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 /N'|Vs,X  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 5m e|dvk  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 v o9Fj  
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第一篇光学多层膜设计 p` '8M  
第1章光学薄膜特性的理论计算 u\,("2ZW9+  
1.1单色平面电磁波 ^{vf|zZ _  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 :W++`f&  
1.3光学薄膜特性的理论计算 Ul41RNy)  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ;is*[r\|1  
习题 ebuR-9  
第2章光学薄膜的设计理论 @H?_x/qBT  
2.1矢量作图法
_ zh>q4M  
2.2有效界面法 <Fc @T4Q,  
2.3对称膜系的等效层 0A7 qO1%xw  
2.4导纳图解技术 H /kSFf{  
习题 ^3qo%=i  
第3章光学薄膜系统的设计 :=I@<@82W  
3.1减反射膜 ]nEZQ+F  
3.2分束镜 ~BSE8M+r  
3.3高反射膜 `k>h2(@9S  
3.4干涉截止滤光片 RH+'"f  
3.5带通滤光片 hkh b8zS  
3.6特殊膜系 BgzER[g|q{  
习题 iyRB}[y  
参考文献 8\85Wk{b  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 &?-LL{W{  
第4章薄膜制备技术 D~< 3  
4.1真空淀积工艺 2I2#o9(Ar  
4.2光学薄膜材料 n$ri:~s  
4.3薄膜厚度监控艺术 RuW62QSq  
4.4膜层厚度的均匀性 41d,<E  
习题 Mk*&CNo3  
参考文献 Q|^TR__  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 QzzV+YG$(4  
5.1薄膜的形成过程 0S{dnp  
5.2薄膜的微观结构 ZW]Q|vPh4U  
5.3薄膜的成分 ;U +;NsCH  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 RawK9K_1  
5.5薄膜微观结构和改善 E>BP 
b  
习题 ~BNLzt3%O  
参考文献 \Lz2"JI  
第三篇光学薄膜检测技术
a!;]9}u7  
第6章薄膜透射率和反射率测量 XYKWOrkQqa  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 y5XHJUTu  
6.2薄膜反射率的测试 y11/:|  
6.3薄膜反射率的测量 Zl0Kv*S  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 L=. 4x=%%  
6.5总结 UeG$lMV  
习题 ?:Y0#Btj  
参考文献 !Cm<K*c"&E  
第7章薄膜的吸收和散射测量 /ry#q%?  
7.1激光量热计基本原理 h48JpZ"  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ^8mF
0K&  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 $GzTDq Y9@  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 4{:W5eT!/  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 5$r`e+Nf'  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 hrwQh2sm  
7.7总结 T;eA<,H  
习题 !bn
uCc  
参考文献 }),tk?\  
第8章薄膜光学常数的测量 ?UX
Ky  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 z2m%L0  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 iY=M67V  
8.3薄膜波导法 p0KkPE">p4  
8.4光学薄膜厚度的测试 $J/Z~(=JT  
8.5总结 OIF0X!  
习题 idwiM|.iU  
参考文献 [<)/ c>Y  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 Lp; {&=PIo  
9.1薄膜的力学特性检测技术 _Ee`Uk  
9.2薄膜器件的环境试验 &^ sgR$m  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 vG(Gs=.U  
9.4总结 Y$%/H"1bk  
习题 Md \yXp  
参考文献 })V9d  
附录 q16RPqfT  
附录A复数与复数运算 uiO7sf6  
A.1复数的概念 pV#~$e  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 +Y!9)~f}7X  
A.3复数在物理中的运用 ,x| 4nk_  
附录B矩陈及矩陈运算 DWB.dP *8  
B.1矩陈的定义 ~q]+\qty4  
B.2矩陈运算 SRl
:+!@.  
附录C光的电磁理论基础 i|X ;n  
C.1振动与波 Q 'R@'W9  
C.2电磁波 s(Of EzsH=  
C.3麦克斯韦方程 aU]A#g   
C.4平面电磁波 eRC /Pr  
C.5平面电磁波性质 0]l _qxv  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 :)v4:&do  
附录D光的干涉 n*6b*fl  
D.1波的叠加原理 +/60$60[z  
D.2杨氏干涉 n'D1s:W^B  
D.3平板的表面干涉 ]HP aM  
D.4光的空间相干性和时间相干性 qp*C%U  
附录E光的偏振 8LP L4l  
E.1自然光和偏振光 uBLI!N-G  
E.2偏振光与Jones矩陈 :\x)
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E.3偏振光的获得 w/r wE  
E.4偏振光的检验 <4z |"(  
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