现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 L<cx:Vz  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ?=msH=N<l  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ! I:%0
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第一篇光学多层膜设计 |3b^~?S  
第1章光学薄膜特性的理论计算 3pROf#M  
1.1单色平面电磁波 QVT5}OzMt  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 a5^]20
Fa  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ~vhE|f  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 %\#8{g  
习题 u~:y\/Y6  
第2章光学薄膜的设计理论 FX&~\kmV'j  
2.1矢量作图法 eQm
1cgMdz  
2.2有效界面法  qA7>vi%  
2.3对称膜系的等效层 :S83vE81WK  
2.4导纳图解技术 S3%FHS  
习题 ,-LwtePJ0  
第3章光学薄膜系统的设计 >2)OiQ`zg  
3.1减反射膜 r+i($jMs  
3.2分束镜 O63<AY@  
3.3高反射膜 qr^3R&z!}  
3.4干涉截止滤光片 CsR$c,8X.  
3.5带通滤光片 ^/>(6>S^M  
3.6特殊膜系 f}ji?p  
习题 re?,Wext\  
参考文献 =o(5_S.u;  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 XEp{VC@=  
第4章薄膜制备技术 !Pvf;rNI1T  
4.1真空淀积工艺 0S_~\t  
4.2光学薄膜材料 %XDc,AR[  
4.3薄膜厚度监控艺术 8W(*~}ydYY  
4.4膜层厚度的均匀性 ~H_/zK6e  
习题 TER=*"!  
参考文献 ? (Oy\  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 7>0o&  
5.1薄膜的形成过程 z, )6"/;  
5.2薄膜的微观结构 \ZFGw&yN  
5.3薄膜的成分 k,6f &#x  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 jD]~ AwRJ  
5.5薄膜微观结构和改善 H5B:;g@  
习题 .G
XBc  
参考文献 wk D^r(hiH  
第三篇光学薄膜检测技术 iN\4gQ!  
第6章薄膜透射率和反射率测量 34O `@j0-3  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 6:5I26  
6.2薄膜反射率的测试 8 +/rlHp  
6.3薄膜反射率的测量 x,+{9  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 %P/Jq#FE.  
6.5总结 )p0^zv{  
习题 G@\1E+Ip  
参考文献 %6,SKg p  
第7章薄膜的吸收和散射测量 L(<*)No  
7.1激光量热计基本原理 K`WywH3-  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 rS
k>  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 T^t# c  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 DB|Y  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ;O6;.5q&  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 B$ PP&/  
7.7总结 K~{$oD7!  
习题 `Bp.RXsd*  
参考文献 e7Z32P0ls  
第8章薄膜光学常数的测量 e0zq1XcZ  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 $E~`\o%Ev  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法
&*,#5.  
8.3薄膜波导法 )3}9K ^jS  
8.4光学薄膜厚度的测试 I\{ 1u  
8.5总结 7 :xfPx  
习题 ~{g [<Qi  
参考文献 @7]yl&LZ  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 5E;qM|Ns  
9.1薄膜的力学特性检测技术 -t'jNR'  
9.2薄膜器件的环境试验 xb~yM%*c  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 EStB#V^  
9.4总结 ,X-bJA@(  
习题 O)*+="Rg  
参考文献 9gDkTYkj  
附录 2B[X,rL.pX  
附录A复数与复数运算 ?m}
s4a  
A.1复数的概念 @[<><uTH  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 nu[ML  
A.3复数在物理中的运用 L-WT]&n_  
附录B矩陈及矩陈运算 m@2QnA[4  
B.1矩陈的定义 Smn;(K  
B.2矩陈运算 Uw. `7b>B  
附录C光的电磁理论基础 Nho>f  
C.1振动与波 >}8j+t&T  
C.2电磁波 rdP[<Y9  
C.3麦克斯韦方程 -`kW&I0  
C.4平面电磁波 9@(PWz=`?  
C.5平面电磁波性质 x7&B$.>3  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 t ;;U}
 
附录D光的干涉 RQ'9m^  
D.1波的叠加原理 3*"WG O5  
D.2杨氏干涉 w!-gJmX>  
D.3平板的表面干涉 2\MT;;ZTZ  
D.4光的空间相干性和时间相干性 rNWw?_H-H(  
附录E光的偏振 %9F([K  
E.1自然光和偏振光 u<tbbKM  
E.2偏振光与Jones矩陈 WUe{vV#S'0  
E.3偏振光的获得 +US!YU  
E.4偏振光的检验 6 l|DU7i  
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