现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

发布:cyqdesign 2010-01-06 15:14 阅读:29805
《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术,由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术,包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术,涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科,涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 GO"|^W  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程,涉及光在传播过程中,通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 iZn0B5]ikj  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要,增加了一个附录,主要介绍几个数学物理基础理论。 uG7]s]Wdz;  
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L/:l>Ko>7  
第一篇光学多层膜设计 +I3Vfv  
第1章光学薄膜特性的理论计算 o664b$5nsI  
1.1单色平面电磁波 J;_4 3eS  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 4aOz=/x2  
1.3光学薄膜特性的理论计算 aNu.4c/5  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 gEk;Tj  
习题 EX_j|/&tZ  
第2章光学薄膜的设计理论 7e+C5W*9b  
2.1矢量作图法 $t%IJT  
2.2有效界面法 EF :g0$  
2.3对称膜系的等效层 {`SMxDevc}  
2.4导纳图解技术 N[W#wYbH  
习题 !rRBy3&  
第3章光学薄膜系统的设计 _:9}RT?  
3.1减反射膜 XF(D%ygeC  
3.2分束镜 Vpg>K #w  
3.3高反射膜 *MmH{!=  
3.4干涉截止滤光片 eB#I-eD  
3.5带通滤光片 $}su 'EIo  
3.6特殊膜系 Ds(Z.  
习题 ]\^O(BzB  
参考文献 &'fER-  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 <w^u^)iLy1  
第4章薄膜制备技术 9o>D Uc  
4.1真空淀积工艺 %mmV#vwp  
4.2光学薄膜材料 ]?(kaNQ "D  
4.3薄膜厚度监控艺术 +45SKu=  
4.4膜层厚度的均匀性 GV0@We~  
习题 vgy.fP"@  
参考文献 D-{*3?x  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 j#p;XI  
5.1薄膜的形成过程 m)L50ot:/  
5.2薄膜的微观结构 ZJ%NZAxy  
5.3薄膜的成分 2|bt"y-5r  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 < ?B3^z$  
5.5薄膜微观结构和改善 l[i4\ CT  
习题 0~U%csPHt  
参考文献 W2X`%Tx0  
第三篇光学薄膜检测技术 ~b]enG5xS4  
第6章薄膜透射率和反射率测量 oVK:A;3T|  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 )$TN%hV!  
6.2薄膜反射率的测试 y]yl7g =~  
6.3薄膜反射率的测量  E& cC2(w  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 f>6{tI 5X  
6.5总结 H[.)&7M\  
习题 b, a7XANsh  
参考文献 *4 LS``  
第7章薄膜的吸收和散射测量 crv#IC2  
7.1激光量热计基本原理 `\VtTS  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 mBwz.KEm<  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 t>"`rcg  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 e;XRH<LhAU  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 3=n6N TL  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 0+iRgnd9?  
7.7总结 KMi$0+  
习题 15jQ87)  
参考文献 v K{2  
第8章薄膜光学常数的测量 .9x* YS  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 0qNk.1pv  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 W<)nC_$  
8.3薄膜波导法 a&JY x  
8.4光学薄膜厚度的测试 V7U*09 0*5  
8.5总结 GkU_01C  
习题 `0ym3}(O  
参考文献 4eB'mPor  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 4)e1K/PJ)  
9.1薄膜的力学特性检测技术 n`Z}tQ%)o  
9.2薄膜器件的环境试验 RTlC]`IGT  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 b|AjB:G  
9.4总结 >/\TG8t,f  
习题 T`@brL  
参考文献 1P"7.{  
附录 MuWZf2C  
附录A复数与复数运算 J\+fkN<.  
A.1复数的概念 qZ!kVrmg&  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ng+sK  
A.3复数在物理中的运用 >8{w0hh;  
附录B矩陈及矩陈运算 xKE=$SV(  
B.1矩陈的定义 fSd|6iFH  
B.2矩陈运算 O$,  
附录C光的电磁理论基础 F#|y,<}<  
C.1振动与波 &v0]{)PO  
C.2电磁波 g8E5"jpXx3  
C.3麦克斯韦方程 pBe1:  
C.4平面电磁波 NpGi3>5  
C.5平面电磁波性质 `scW.Vem  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 sT1k]duT  
附录D光的干涉 $s=` {vv  
D.1波的叠加原理 nmn/4>  
D.2杨氏干涉 Q0"?TSY  
D.3平板的表面干涉 %Y0lMNP  
D.4光的空间相干性和时间相干性 M{orw;1Isy  
附录E光的偏振 CRCy)AS,t  
E.1自然光和偏振光 6t7FklM%  
E.2偏振光与Jones矩陈 lS Y "  
E.3偏振光的获得 L *\[;.mk  
E.4偏振光的检验 %?n=I n(F  
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最新评论

zouzili 2020-01-19 14:49
非常好的书籍,非常感谢
努力成为技术工 2022-11-01 18:39
非常需要 谢谢楼主
ccbao 2023-02-22 13:53
xuyao ,xiexiefenxiang
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