现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 HJ!)&xT  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Y!|};  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 gK dNgU  
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第一篇光学多层膜设计 YsO`1D  
第1章光学薄膜特性的理论计算 PM {L}tEQ  
1.1单色平面电磁波 ~ r$I&8  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 qrt2uE{K  
1.3光学薄膜特性的理论计算 2fPMZ7Zd3  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 15DlD`QV  
习题 o i~,}E_  
第2章光学薄膜的设计理论 5=4-IO6W[]  
2.1矢量作图法 ' 94HVag  
2.2有效界面法 pcm1IwR`  
2.3对称膜系的等效层 91#n Aj%  
2.4导纳图解技术 UB%;P-RD  
习题 8R;E
+B{  
第3章光学薄膜系统的设计 dsbz\w3:  
3.1减反射膜 |txzIc.#  
3.2分束镜 q93V'[)F  
3.3高反射膜 i'#%t/ u  
3.4干涉截止滤光片 x6=tS  
3.5带通滤光片 i\MW'b  
3.6特殊膜系 %g4)f9>  
习题 2TaHWw<A  
参考文献 Aca?C  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 y|wR)\  
第4章薄膜制备技术 $g#d1u0q  
4.1真空淀积工艺 TR{dNO!q  
4.2光学薄膜材料 N=:xyv  
4.3薄膜厚度监控艺术 9AQ2FD  
4.4膜层厚度的均匀性 / pR,l5  
习题 |'#uV)b0@  
参考文献 =E8Kacu%  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 H329P*P  
5.1薄膜的形成过程 a\I`:RO=<Z  
5.2薄膜的微观结构 .fY$$aD$4  
5.3薄膜的成分 j7HOh
|q  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 %E2C4UbY  
5.5薄膜微观结构和改善 ra\|c>[%  
习题 K%vGfQ8Er-  
参考文献 ]O+Nl5*  
第三篇光学薄膜检测技术 /bqJ6$  
第6章薄膜透射率和反射率测量 i"hn%u$V  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 OL#RkD  
6.2薄膜反射率的测试 ;{cl*
EN  
6.3薄膜反射率的测量 #kQLHi3##  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 DAd$u1  
6.5总结 VH.}}RS%  
习题 Wy$Q!R=i  
参考文献 2l4`h)_q  
第7章薄膜的吸收和散射测量 5cl%>U  
7.1激光量热计基本原理 ]^l-k@  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 XpOQBXbt  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 gr$H?|n l  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 *(<3 oIRS  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 UX<0/"0
h  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 K+c>Cj}H  
7.7总结 k+cHx799  
习题 <4Cy U j  
参考文献 2O9OEZdKB  
第8章薄膜光学常数的测量 Bk~M^AK@~  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ia/_61%  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 y|Zj M  
8.3薄膜波导法 :~9F/Jx  
8.4光学薄膜厚度的测试 & |o V\L  
8.5总结 $d7{q3K&1  
习题 <3Hu(Jx<O  
参考文献 k$} 6Qd  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 \t@|-`  
9.1薄膜的力学特性检测技术 JTB5#S4W  
9.2薄膜器件的环境试验 (*YENT}  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 N DV_/BI  
9.4总结 %5H>tG`]  
习题 #/`V.jXt>  
参考文献 9Uh nr]J.  
附录 _qqJ>E<0  
附录A复数与复数运算 l,3[hx  
A.1复数的概念 uw@|Y{(K r  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 \<A@Nf"  
A.3复数在物理中的运用 m,]M_y\u  
附录B矩陈及矩陈运算 ub] w"N  
B.1矩陈的定义 7e&%R4{b  
B.2矩陈运算 Zx]"2U#  
附录C光的电磁理论基础 K<+h/Ok  
C.1振动与波 .oo>NS  
C.2电磁波 >j$CM:w  
C.3麦克斯韦方程 JEes'H}Y  
C.4平面电磁波 Gwkp(
9d  
C.5平面电磁波性质 FeFH_  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ?wx|n_3<:  
附录D光的干涉 07+Qai-]  
D.1波的叠加原理 Wc$1Re{z  
D.2杨氏干涉 dGz
Z_Vf  
D.3平板的表面干涉 6y9#am?  
D.4光的空间相干性和时间相干性 p(Q5!3C0q  
附录E光的偏振 3J}bI{3  
E.1自然光和偏振光 j7 D\O  
E.2偏振光与Jones矩陈 +d736lLe%  
E.3偏振光的获得 YvK8;<k@-?  
E.4偏振光的检验 cv["Ps#;`W  
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