现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 %ua5T9H Z  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 @1X1E 2:  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 =i<(hgD  

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第一篇光学多层膜设计 epe}^Pl  
第1章光学薄膜特性的理论计算 oZw#Nd  
1.1单色平面电磁波 53
xq%  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 SJe;T  
1.3光学薄膜特性的理论计算 u{^Kyo#v  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 )`0 j\  
习题 `UPmr50Wq  
第2章光学薄膜的设计理论 HX^ P9jXT  
2.1矢量作图法 YzVLa,[  
2.2有效界面法 )HcC\[  
2.3对称膜系的等效层 M1\/ueOe  
2.4导纳图解技术 21Opx~T3  
习题 &-tf/qJ  
第3章光学薄膜系统的设计 gE#,QOy  
3.1减反射膜 J(GLPCO$K  
3.2分束镜 
tcZ~T  
3.3高反射膜 uLht;-`{n  
3.4干涉截止滤光片 F[Up  
3.5带通滤光片 cgAcAcmY  
3.6特殊膜系 6IH^rSUSK  
习题 ':
@qE\(  
参考文献 0>Nq$/!  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 :}-[%LSV  
第4章薄膜制备技术 [0emOS  
4.1真空淀积工艺 nXjUTSGa)  
4.2光学薄膜材料 ,\IZ/1  
4.3薄膜厚度监控艺术 L|Iq#QX|  
4.4膜层厚度的均匀性 I_Qnq4Sk(  
习题 x~.U,,1  
参考文献 8V=o%[t  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 7y3; F7V  
5.1薄膜的形成过程 _BV:i:z  
5.2薄膜的微观结构 a6OT2B  
5.3薄膜的成分 kzT'  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 i)ctrdP-  
5.5薄膜微观结构和改善 ,\i q'}i  
习题 nEYJ?_55  
参考文献 &3efJ?8  
第三篇光学薄膜检测技术 _!ed.h.r:  
第6章薄膜透射率和反射率测量  '}=M~
 
6.1光谱分析测试系统的基本原理 J^T66}r[f,  
6.2薄膜反射率的测试 kaLRI|hC  
6.3薄膜反射率的测量 ]n_A~Yr  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 n1|%xQBU@  
6.5总结 Et(prmH  
习题 P!/8   
参考文献 qA42f83  
第7章薄膜的吸收和散射测量 SF7Kb`>Y  
7.1激光量热计基本原理 _
rv_-n]"o  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 bPEAG=l"-  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 0NGokaD)H  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 l)Hu.1~  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 *MNY1+RJ  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 >4c 1VEi  
7.7总结 FVHL;J]nf1  
习题 }z[se)s  
参考文献 8I'?9rt2M  
第8章薄膜光学常数的测量 :c>,=FUT  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 vzU%5,  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 U"Y$7
~  
8.3薄膜波导法 Tr8+E;;  
8.4光学薄膜厚度的测试 7?
4>'  
8.5总结 2WoB;=  
习题 8{RiaF8  
参考文献 KK?}`o  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 [":x   
9.1薄膜的力学特性检测技术 5R4 dN=L*1  
9.2薄膜器件的环境试验 ZO,]h9?4  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Ugn"w E  
9.4总结 KLk37IY2\  
习题 $I'ES#8P6  
参考文献 cG<?AR?wDT  
附录 1DX=\BWp  
附录A复数与复数运算 c09uCito  
A.1复数的概念 q#Bdq8  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 xc!"?&\*  
A.3复数在物理中的运用 ;tHF$1!J  
附录B矩陈及矩陈运算 /1Eg6hf9B  
B.1矩陈的定义 C$P3&k#W  
B.2矩陈运算 w/&#UsEIr  
附录C光的电磁理论基础 '&`Zy pq  
C.1振动与波 }*%
%GPJ  
C.2电磁波 ^^v!..V]J  
C.3麦克斯韦方程 bV"0}|A~K  
C.4平面电磁波 gG}<l ':  
C.5平面电磁波性质 b@7 ItzD  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ^71sIf;+
 
附录D光的干涉 <v\
|@@X  
D.1波的叠加原理 "m!Cl-+u  
D.2杨氏干涉 UZyo:*yB  
D.3平板的表面干涉 ]'"$qm:  
D.4光的空间相干性和时间相干性 mGIS[_dcs  
附录E光的偏振 51~:t[N|  
E.1自然光和偏振光 H*Yyo?  
E.2偏振光与Jones矩陈 {h
2D}F  
E.3偏振光的获得 _^KD&t%!+y  
E.4偏振光的检验 ^P[-HA|  
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