现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 zM(-f|wVI)  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ~"\WV4}`v  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 6V"uovN2  

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第一篇光学多层膜设计 ,c-*/{3  
第1章光学薄膜特性的理论计算 m] yUcj{F  
1.1单色平面电磁波 }d>X
h8:%)  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 @u`W(Ow  
1.3光学薄膜特性的理论计算 3 l}9'j  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 j sD]v)LB  
习题 ?lfyC/  
第2章光学薄膜的设计理论 [W*M#00_&4  
2.1矢量作图法 Ir-QD!!<  
2.2有效界面法 E=CAWj\  
2.3对称膜系的等效层 Cn{v\Q~.4
 
2.4导纳图解技术 ~]#-S20  
习题 (7N!Jvg9  
第3章光学薄膜系统的设计 m+(g.mvK>  
3.1减反射膜 *>"NUHq  
3.2分束镜 g4Q' Fub+I  
3.3高反射膜 "O-X*>?f  
3.4干涉截止滤光片 Phk3Jv  
3.5带通滤光片 }!{R;,5/n  
3.6特殊膜系 4F9!3[}qF  
习题 ';Q8x?BS  
参考文献 ',xUU{5?  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 jl>TZ)4}V  
第4章薄膜制备技术 pW@W-k:u  
4.1真空淀积工艺 kW2DKr-[  
4.2光学薄膜材料 I*^t!+q$  
4.3薄膜厚度监控艺术 |U;O HS  
4.4膜层厚度的均匀性 U]gUGD!5x  
习题 B @QWr;  
参考文献 49M1^nMvoo  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 q4Wr$T$gs=  
5.1薄膜的形成过程 gSw4\R  
5.2薄膜的微观结构 M;Pry3J  
5.3薄膜的成分 Ky"FL  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 &PRoT#,  
5.5薄膜微观结构和改善 `7w-_o %  
习题 I=#`8deH(  
参考文献 {pH#zs4Y  
第三篇光学薄膜检测技术 "Kp#Lx  
第6章薄膜透射率和反射率测量 'nGUm
[vh  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 bA,Zfsr6#  
6.2薄膜反射率的测试 Nj3iZD|  
6.3薄膜反射率的测量 3.?be.cq  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 5]LWWjT  
6.5总结 qE[YZ(/f0&  
习题 Rr%x;-  
参考文献 (1[59<cg]  
第7章薄膜的吸收和散射测量 jw=PeT|  
7.1激光量热计基本原理 -grf7w^  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 @9KW ]7  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 hI!BX};+}  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 `8W HVC$  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法
wxo  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 C$6FI
`J  
7.7总结 LZe)_9$  
习题 A\Ib  
参考文献 &N/t%q  
第8章薄膜光学常数的测量 I*
 C~w  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 K#wA ;  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 }l7+W4~  
8.3薄膜波导法 4G(7V:  
8.4光学薄膜厚度的测试 O[ird`/  
8.5总结 tn'Jkwp  
习题 L/tn;0  
参考文献 Y)X7*iTi'j  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 H\ejW@<;h  
9.1薄膜的力学特性检测技术 mg'q-G`\<  
9.2薄膜器件的环境试验 (4R(5t  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 |^1U<'oM#  
9.4总结 g;63$_
<  
习题 ?ZRF]\dP]  
参考文献 ResU5Ce~  
附录 [v"Z2F<.=  
附录A复数与复数运算 K4!-%d$  
A.1复数的概念 %f1%9YH  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 j HHWq>=d  
A.3复数在物理中的运用  l!|c_  
附录B矩陈及矩陈运算 Y7}>yC/GY  
B.1矩陈的定义 (G"'Fb6d  
B.2矩陈运算 %PYl  
附录C光的电磁理论基础 e,p"=/!aY  
C.1振动与波 j~qm$'H  
C.2电磁波 lnZ{Ryo(  
C.3麦克斯韦方程 6L<:>55  
C.4平面电磁波 RehmVkT  
C.5平面电磁波性质 i<Vc~!pT  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 q
9/v\~m  
附录D光的干涉
\Z]+j@9  
D.1波的叠加原理 ")|/\ w,  
D.2杨氏干涉 @YI{E*?S  
D.3平板的表面干涉 J6Z[c*W  
D.4光的空间相干性和时间相干性 7AqgX0)  
附录E光的偏振 W>@ti9\t  
E.1自然光和偏振光  q#K{~:  
E.2偏振光与Jones矩陈 Dh I{&$O/  
E.3偏振光的获得 Vm[Rp,"  
E.4偏振光的检验 Y=mr=]q  
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