现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 i\_LLXc  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 HUMy\u84H  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 z#Fel/L`O  
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第一篇光学多层膜设计 {_-T!yb  
第1章光学薄膜特性的理论计算 z{|0W!nHJ  
1.1单色平面电磁波 B~E">}=!  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 I eJI-lo  
1.3光学薄膜特性的理论计算 /7])]vZ_  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 E}KGZSj  
习题 ilde<!?  
第2章光学薄膜的设计理论 m94PFD@N  
2.1矢量作图法 Xy%||\P{)  
2.2有效界面法 =%<, ^2o  
2.3对称膜系的等效层 n?nzm "g  
2.4导纳图解技术 6}m`_d?  
习题 7)]boW~Q  
第3章光学薄膜系统的设计 Pjk2tf0j`  
3.1减反射膜 V'e%%&g~N  
3.2分束镜 sQ340!  
3.3高反射膜 mZ2CGOR  
3.4干涉截止滤光片 @!=Ds'MJC  
3.5带通滤光片 l;KrFJ6  
3.6特殊膜系 aXQS0>G%(  
习题 u178vby;l  
参考文献 .hu7JM+  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 U+*l!"O,  
第4章薄膜制备技术 -yB}(69  
4.1真空淀积工艺 A"ATtid  
4.2光学薄膜材料 MOK}:^bSu  
4.3薄膜厚度监控艺术 u3#+fn_  
4.4膜层厚度的均匀性 (BPO*'  
习题 T 5Zh2Q@  
参考文献 :>.{w$Ln%  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 jan}}7Dly  
5.1薄膜的形成过程 ]7
Du/)$  
5.2薄膜的微观结构 
C{}PO u  
5.3薄膜的成分 pJvPEKN  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 r@}`Sw]@  
5.5薄膜微观结构和改善 ij!d-eM/b  
习题 _\KFMe=PV  
参考文献 `@ YV  
第三篇光学薄膜检测技术 {daX?N|V  
第6章薄膜透射率和反射率测量 gkO^J{_@q  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 9c[X[Qc  
6.2薄膜反射率的测试 Bkd$'
7UT  
6.3薄膜反射率的测量 dkz% Y]  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 j
hm/<=  
6.5总结 IK\~0L;ozE  
习题 Sc]K-]1(H  
参考文献 3s/1\m%  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ",3v%$>  
7.1激光量热计基本原理 ?/OF=C#  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 5PO_qr=Hx  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 B;eka[xU  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 )`rD]0ua;  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 F|eWHw?t  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 TL2E|@k1]  
7.7总结 9tJ0O5  
习题 !nSa4U,$w<  
参考文献 n!4\w>h  
第8章薄膜光学常数的测量 {6H[[7i  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 >Xk42zvqn  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 sko7,&  
8.3薄膜波导法 0WC\uxT7  
8.4光学薄膜厚度的测试 xcr2|  
8.5总结 v1 8<~  
习题 x6`mv8~9Db  
参考文献 a~7D4G  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 #+1|O;PB#  
9.1薄膜的力学特性检测技术 u:f ]|Q
 
9.2薄膜器件的环境试验 `Y:]&w  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 i"}z9Ae~.  
9.4总结 04-_ K  
习题 Z?{\34lPj  
参考文献 q13fmK(n-5  
附录 Q4m> 3I  
附录A复数与复数运算 P)`^rJ6
 
A.1复数的概念 -`I|=lBz{H  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 A,.X  
A.3复数在物理中的运用 D_d>A+  
附录B矩陈及矩陈运算 K khuPBd2  
B.1矩陈的定义 OF7hp5  
B.2矩陈运算 qUd7O](b=?  
附录C光的电磁理论基础 kw$7G1Q  
C.1振动与波 S/XU4i:aV  
C.2电磁波 QEs$9a5TE  
C.3麦克斯韦方程 =\< 7+nv  
C.4平面电磁波 k`m7j[A]l  
C.5平面电磁波性质 %3a-@!|1<  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射  Lto*L X  
附录D光的干涉 m`-);y  
D.1波的叠加原理 N1ipK9a  
D.2杨氏干涉 "@&TC"YG0  
D.3平板的表面干涉 ekhv.;N~  
D.4光的空间相干性和时间相干性 *)Qv;'U=rn  
附录E光的偏振 %*gf_GeM  
E.1自然光和偏振光 :cC$1zv@
 
E.2偏振光与Jones矩陈 309
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E.3偏振光的获得 PT2;%=f
 
E.4偏振光的检验 0#8  
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