现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 K1P3 FfG  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 JsOu *9R  
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#+1*g4m~B  
第一篇光学多层膜设计 `_IgH  
第1章光学薄膜特性的理论计算 k5>K/;*9  
1.1单色平面电磁波 KcGM=z?:  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 EZm6WvlxSI  
1.3光学薄膜特性的理论计算 x)X=sX.  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 x5Sc+5?*  
习题 u&iMY3=  
第2章光学薄膜的设计理论 MDfE(cn2q  
2.1矢量作图法 G/F0
)M  
2.2有效界面法 6%mFiX  
2.3对称膜系的等效层 t~xp&LQiY  
2.4导纳图解技术 yDt3)fP#  
习题 [Z3B~c  
第3章光学薄膜系统的设计 ZMSP8(V  
3.1减反射膜 \O"EK~x}/  
3.2分束镜 4{d`-reHg  
3.3高反射膜 B}= WxG|)  
3.4干涉截止滤光片 H3=U|wr|  
3.5带通滤光片 |%F[.9Dp  
3.6特殊膜系 p;S<WJv k  
习题 oG! S(95  
参考文献 #+2|ZfCn%  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 N'L3Oa\%  
第4章薄膜制备技术
1/t}>>,M  
4.1真空淀积工艺 u`l1 zMk  
4.2光学薄膜材料 V 0<>Xo%  
4.3薄膜厚度监控艺术 4uUG0o  
4.4膜层厚度的均匀性 giy4<   
习题 +LwE=unS  
参考文献 mdu5aL  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Z/ "jLfP  
5.1薄膜的形成过程 mWUo:(U  
5.2薄膜的微观结构 &j@i>(7  
5.3薄膜的成分 _kR,R"lh  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 hWGCYkuW  
5.5薄膜微观结构和改善 QdM&M^  
习题
r5!I|E  
参考文献 !]tZE%?  
第三篇光学薄膜检测技术 :Mss"L820  
第6章薄膜透射率和反射率测量 3|/<
Pk  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ' LT6%<|  
6.2薄膜反射率的测试 *i[^-  
6.3薄膜反射率的测量 sR`WV6!9  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ^(p}hSLAfQ  
6.5总结 RlU=  
习题 O!!Ne'I  
参考文献 tlU&p'  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ER:)Fk>_  
7.1激光量热计基本原理 kcd~`+C  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 tA+ c  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 M[ea!an  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 u$c)B<.UR  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 LPgP;%ohO/  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 'kW'e  
7.7总结 b??k|q  
习题 q9j9"M'  
参考文献 m/"\+Hv  
第8章薄膜光学常数的测量 !BHIp7p  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 vb{+yEa  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 @P:  
8.3薄膜波导法 75`*aAZ3  
8.4光学薄膜厚度的测试 0zg\thL  
8.5总结 Az2HlKF"L  
习题 4'pg>;*.  
参考文献 |C9qM  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 |qS<{WZ!h  
9.1薄膜的力学特性检测技术 iVM{ L  
9.2薄膜器件的环境试验 |q?I(b4Q@  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 h<oQ9zW
)  
9.4总结 .S&S#}$/]  
习题 :('7ly!h  
参考文献 \*#9Ry^f  
附录 `F:PWG`  
附录A复数与复数运算 {q2H_H
  
A.1复数的概念 %=J<WA6\  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 %Uk]e5Hu  
A.3复数在物理中的运用 XJ;kyEx3=O  
附录B矩陈及矩陈运算 Pm]6E[zC  
B.1矩陈的定义 C%<[mM  
B.2矩陈运算 t@-:e^ v  
附录C光的电磁理论基础 6KmF 9  
C.1振动与波 M>df7.N7%P  
C.2电磁波 )B@veso{  
C.3麦克斯韦方程 /ey[cm2#[s  
C.4平面电磁波 K#g)t/SZ  
C.5平面电磁波性质 !7SZZz  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 pmAir:  
附录D光的干涉 K,YKU?z6  
D.1波的叠加原理 ,,r%Y&:`6  
D.2杨氏干涉 vv,OBL~{  
D.3平板的表面干涉 jcF/5u5e  
D.4光的空间相干性和时间相干性 f<ABs4w  
附录E光的偏振 ,D-VC{lj  
E.1自然光和偏振光 ='=\!md  
E.2偏振光与Jones矩陈 ~SkdP7 )  
E.3偏振光的获得 >\b=bT@iM  
E.4偏振光的检验 5Bw  
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