现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 - s}
 
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 }r+(Z.BHM  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 `~0^fSww  

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第一篇光学多层膜设计 wOlnDQs  
第1章光学薄膜特性的理论计算 323zR*\m  
1.1单色平面电磁波 \$iU#Z  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 y,.X5#rnX*  
1.3光学薄膜特性的理论计算 s.zfiJ
 
1.4光学多层膜内的电场强度分布 b%TS37`^[  
习题 _
gGI&0(VM  
第2章光学薄膜的设计理论 x$
6`k  
2.1矢量作图法 Xq"_^  
2.2有效界面法 ;`{PA !>  
2.3对称膜系的等效层 =Fd!wkB'{  
2.4导纳图解技术 g?}$"=B   
习题 (D?%(f  
第3章光学薄膜系统的设计 (F<VcB  
3.1减反射膜 y,i ~w |4  
3.2分束镜 o`]o(OP  
3.3高反射膜 BJ c'4>  
3.4干涉截止滤光片 E!,+#%O>  
3.5带通滤光片 V[w Y;wj  
3.6特殊膜系 w`N|e0G@  
习题 #)qn$&.H  
参考文献 2i~tzo  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 hJkSk;^  
第4章薄膜制备技术 zm&D#)  
4.1真空淀积工艺 ;T9u$4<  
4.2光学薄膜材料 =u*\P!$  
4.3薄膜厚度监控艺术 $RFy9(>  
4.4膜层厚度的均匀性 5`!Bj0Uf  
习题 udEJo~u  
参考文献 /uh?F  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 'V*ixK8R0  
5.1薄膜的形成过程 !zu YO3:  
5.2薄膜的微观结构 015 ;'V#we  
5.3薄膜的成分 gJ; *?Uq(  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 {pV\]E\]  
5.5薄膜微观结构和改善 e(5:XHe  
习题  .IO_&^  
参考文献 eaG_)y  
第三篇光学薄膜检测技术 ke+3J\;>  
第6章薄膜透射率和反射率测量 S\,~6]^T  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 U#u=9%'  
6.2薄膜反射率的测试 :c*_W /  
6.3薄膜反射率的测量 P0Q]Ds|  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ,n}h_ct  
6.5总结 (O&R-5m  
习题 4TPAD)C  
参考文献 rx
$B(z(c  
第7章薄膜的吸收和散射测量 r I-A)b4  
7.1激光量热计基本原理 V!|:rwG2  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 /K@_O\+;Q
 
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 UdIl5P  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 !LG 5q/}&  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 feSj3,<!  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 "vH>xBR[%  
7.7总结 EAdr}io  
习题  3ih3O  
参考文献 ~]d3 f  
第8章薄膜光学常数的测量 ~6<'cun@x  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Dc2U+U(J  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 |4slG  
8.3薄膜波导法 jMpV c E#  
8.4光学薄膜厚度的测试 !xIK<H{*  
8.5总结 r Ljb'\<*  
习题 &|d6  
参考文献 bh[`uRC}  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 F*0rpQ,*  
9.1薄膜的力学特性检测技术 {mkD{2)KQ  
9.2薄膜器件的环境试验 e"
){B  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 w
;p:4`  
9.4总结 G1X${x7  
习题 <r8sZrY  
参考文献 4@Q`8N.  
附录 bXx2]E227  
附录A复数与复数运算 R
TLA*  
A.1复数的概念 ]"*sp  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 60iMfcT  
A.3复数在物理中的运用 "8NhrUX  
附录B矩陈及矩陈运算 snH9@!cG8  
B.1矩陈的定义 LE'8R~4.<  
B.2矩陈运算 $GMva}@G`  
附录C光的电磁理论基础 `veq/!  
C.1振动与波 si!jB%^  
C.2电磁波 0-=PP@W  
C.3麦克斯韦方程 iB1+4wa  
C.4平面电磁波 ?}n\&|+  
C.5平面电磁波性质 5LkpfmR  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 .#4;em%7  
附录D光的干涉 odm!}stus  
D.1波的叠加原理 R9!GDKts%  
D.2杨氏干涉 Yp;6.\Z8[  
D.3平板的表面干涉 Hy*_4r  
D.4光的空间相干性和时间相干性 t=6[FK  
附录E光的偏振 $Y\-X<gRH  
E.1自然光和偏振光 H[u
[3  
E.2偏振光与Jones矩陈 J/{!_M-  
E.3偏振光的获得 Q&@~<!t  
E.4偏振光的检验 : U Yn  
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