现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 #?M[
Q:  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 qzY:>>d'  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 Or/YEt}  
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第一篇光学多层膜设计 V?MaI.g
j  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ]*DIn1C^  
1.1单色平面电磁波 L e
Up!  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 0a?[@ -Sz  
1.3光学薄膜特性的理论计算 5 a&a-(  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 F ww S[3  
习题 jxw8jo06:  
第2章光学薄膜的设计理论 V,7Xeh(+5L  
2.1矢量作图法
[A uA<  
2.2有效界面法 slA~k;K:_  
2.3对称膜系的等效层 {R~L7uR@O  
2.4导纳图解技术 U z)G Y  
习题 r_^
]5C\  
第3章光学薄膜系统的设计 -k,}LJj
o  
3.1减反射膜 d8jP@
>  
3.2分束镜 mk-L3H1@J3  
3.3高反射膜 @!\l
t$  
3.4干涉截止滤光片 on\ahk, y]  
3.5带通滤光片 5n2}|V$VqP  
3.6特殊膜系 z\J#d 1e  
习题 :$^sI"hO  
参考文献 rj eKG-Z@  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 r)w]~)8  
第4章薄膜制备技术 "y .(E7 6  
4.1真空淀积工艺 (aq^\#9btO  
4.2光学薄膜材料 <ot%>\C  
4.3薄膜厚度监控艺术 h
_t<J
l  
4.4膜层厚度的均匀性 Ga"<qmLMc  
习题 A@EUH  
参考文献 ?P2d 9b  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 0j-;4>p  
5.1薄膜的形成过程 `yb,z  
5.2薄膜的微观结构 (@*#Pn|A  
5.3薄膜的成分 !B*d,_9c  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 %lK]m`(  
5.5薄膜微观结构和改善 WB|SXto%4D  
习题 z:tu_5w!,  
参考文献 ZsDn
`8  
第三篇光学薄膜检测技术 ~ @s$  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ?37Kc,o  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 TCO^9RP<  
6.2薄膜反射率的测试 I^y,@EHR  
6.3薄膜反射率的测量 cM+s)4TPL  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ki_Py5  
6.5总结 Zh.9j7 >p  
习题 |(1z ?Spbe  
参考文献 cd*F;h  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ^,Y#_$oR  
7.1激光量热计基本原理 sJ/?R:  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 bX]$S 5c_u  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 a@WSIcX*W  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 }3mIj<I1;  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 9/S-=VOe.t  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 M&O .7B1}  
7.7总结 JS1''^G&.  
习题 oBTRO0.s+  
参考文献 6tmn1:  
第8章薄膜光学常数的测量 xk5
Z&z  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 liq9P,(  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 s5ddGiZnBT  
8.3薄膜波导法 U.QjB0;  
8.4光学薄膜厚度的测试 6~0.YZ9  
8.5总结 t.oP]_mI  
习题 =h2zIcj  
参考文献 !pLQRnI}6  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 lGZ^ 8  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ]`Y;4XR  
9.2薄膜器件的环境试验 5*pCb,z>q  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 vL7JzSU_  
9.4总结 R nf$  
习题 5rpTR  
参考文献 q\g|K3V)  
附录 f=Rx8I  
附录A复数与复数运算 Ey
!+rq}  
A.1复数的概念 ']ussFaQ  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 bO%bMZWB!y  
A.3复数在物理中的运用 ;u0MY  
附录B矩陈及矩陈运算 !bG%@{WT  
B.1矩陈的定义 %g4G&My@J  
B.2矩陈运算 hqVFb.6[  
附录C光的电磁理论基础 Fh4kd>1D  
C.1振动与波 r4h4A w{  
C.2电磁波 Zg/ra1n  
C.3麦克斯韦方程 0x\bDWZ_  
C.4平面电磁波 |%R}!O<.c  
C.5平面电磁波性质 B6iH[dTy
_  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 q8{)27f,  
附录D光的干涉 A~6:eappH  
D.1波的叠加原理 h$EH|9HAb  
D.2杨氏干涉 |A#pG^  
D.3平板的表面干涉 @exeHcW61  
D.4光的空间相干性和时间相干性 pAo5c4y!4  
附录E光的偏振 hX~d1.]Y  
E.1自然光和偏振光 x_vaYUl)  
E.2偏振光与Jones矩陈 -Fe))Y'=  
E.3偏振光的获得 I|*w?i*  
E.4偏振光的检验 Re{vO&.  
…… 3U0>Y%m|,  
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