现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 fkbHfBp[(A  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 gi\2bzWkbX  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 XHKiz2Pc1  
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第一篇光学多层膜设计 .0+=#G>  
第1章光学薄膜特性的理论计算 T#KF@8'-  
1.1单色平面电磁波 6Lj=%&  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 O<[h  
1.3光学薄膜特性的理论计算 xMsSZ{j%5  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 }-4@EC>  
习题 Xo[j*<=0  
第2章光学薄膜的设计理论 8S/SXyS  
2.1矢量作图法 #[ZToE4  
2.2有效界面法 g^ .g9"  
2.3对称膜系的等效层 69/aP=  
2.4导纳图解技术 {,xI|u2R  
习题 J< Ljg<t+  
第3章光学薄膜系统的设计 9j<qi\SSI  
3.1减反射膜 qw?#~"Ca.  
3.2分束镜 $1lI6 = ,  
3.3高反射膜 M~/7thP{  
3.4干涉截止滤光片 11Sflj  
3.5带通滤光片 T6mbGE*IeE  
3.6特殊膜系 -7-r~zmr  
习题 A.-j5C4  
参考文献 QiO4fS'~W  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 0APh=Alq  
第4章薄膜制备技术 ^V6cx2M  
4.1真空淀积工艺 5\!t!FL_  
4.2光学薄膜材料 GO&~)Vh&7  
4.3薄膜厚度监控艺术 "- 2HKs  
4.4膜层厚度的均匀性 .h c-uaL  
习题 nUb0R~wr$G  
参考文献 x;N@_FZ7KY  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 J n>3c  
5.1薄膜的形成过程 <e&88{jJ  
5.2薄膜的微观结构 -nK\+bTL}  
5.3薄膜的成分 fGdT2}gd  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 \iL{q^Im  
5.5薄膜微观结构和改善 B|I9Ex~L  
习题 M$J{clr  
参考文献 Z01BzIsR  
第三篇光学薄膜检测技术 '0b!lVe  
第6章薄膜透射率和反射率测量 t.\<Q#bN#  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 mH`K~8pRg  
6.2薄膜反射率的测试 [pY1\$,  
6.3薄膜反射率的测量 srL|Y&8p  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 4e`GMtp  
6.5总结 r<MW8  
习题 9N[(f-`  
参考文献 WR|n>i@m  
第7章薄膜的吸收和散射测量 7=3'PfS  
7.1激光量热计基本原理 };{Qx  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 +4 W6
{`  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 <ztcCRov  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 sOVbz2\yb  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 EN2H[i+,  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 bT>1S2s  
7.7总结 VZz>)Kz:  
习题 Q$bi:EyJXc  
参考文献 ]nIH0k3y  
第8章薄膜光学常数的测量 f[ 'uka.U  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 fvE:'( #?  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 }+@GgipyO.  
8.3薄膜波导法 ?zpN09e  
8.4光学薄膜厚度的测试 w|,BTM:e  
8.5总结 B0+r  
习题 l/i7<q  
参考文献 5mqwNAv  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 9cqq"-$G`  
9.1薄膜的力学特性检测技术 c3__=$)'kP  
9.2薄膜器件的环境试验 #@UzOQ>  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 0Z4o3r
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9.4总结 kVRh/<s  
习题 e+~Q58oD  
参考文献 P->.eo#VG  
附录 ,&F4|{  
附录A复数与复数运算 c0U=Hj@@  
A.1复数的概念  rYI7V?  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 x{_3/4  
A.3复数在物理中的运用 EEJ OJ<  
附录B矩陈及矩陈运算 %G`GdG}T  
B.1矩陈的定义 |& Pa`=sp  
B.2矩陈运算 z)_h"y?H{%  
附录C光的电磁理论基础 }7HR<%<7  
C.1振动与波 0ZAT;eaB  
C.2电磁波 U(6=;+q  
C.3麦克斯韦方程 \- f^C}m  
C.4平面电磁波 'D
dR2  
C.5平面电磁波性质 Yw6^(g8  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 uGz>AW8a3  
附录D光的干涉 Oz1S*<]=,~  
D.1波的叠加原理 @%b
&(x^UD  
D.2杨氏干涉 7#[8td  
D.3平板的表面干涉 /H'F4->  
D.4光的空间相干性和时间相干性 +:ih`q][b  
附录E光的偏振 V`& O`  
E.1自然光和偏振光 1m4Xl%KS>  
E.2偏振光与Jones矩陈 D!WyT`T  
E.3偏振光的获得 lF#p1H>\  
E.4偏振光的检验 !mIr_d2"  
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