现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 +6$-"lf  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 X6_ RlV]Sk  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ww[|| =  
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第一篇光学多层膜设计 pLCS\AUTsv  
第1章光学薄膜特性的理论计算 <m\<yZ2aa  
1.1单色平面电磁波 0rz1b6F5,  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 H1L)9oa  
1.3光学薄膜特性的理论计算 !]Qk?T~9-  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 VBS}2>p  
习题 60cQ3.e  
第2章光学薄膜的设计理论 *uf)t,%  
2.1矢量作图法 "\T-r2  
2.2有效界面法 =wW M\f`=  
2.3对称膜系的等效层 S'W,AkT  
2.4导纳图解技术 ^suQ7#g  
习题 43-Bx`6\  
第3章光学薄膜系统的设计 g5"I{ol5T~  
3.1减反射膜 I8% -ii  
3.2分束镜 9_F&G('V{a  
3.3高反射膜 BDzAmrO<  
3.4干涉截止滤光片 ,4`Vl<6  
3.5带通滤光片 7R m\#  
3.6特殊膜系 G
e=^q.  
习题 J~4mp\4b  
参考文献 WT")tjVKA  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 U<Qi`uoj!  
第4章薄膜制备技术 >)='.aR<  
4.1真空淀积工艺 85)C7tJ-g  
4.2光学薄膜材料 u\= 05N6G  
4.3薄膜厚度监控艺术 O[eU{;P  
4.4膜层厚度的均匀性 r@]`#PL  
习题 d>W#c8X>  
参考文献 .-![ ra  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 db8vm4  
5.1薄膜的形成过程
ujkWVE'  
5.2薄膜的微观结构 U`8Er48X  
5.3薄膜的成分 q_`j-!  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 S[yrGX8lu  
5.5薄膜微观结构和改善 i+in?!@G:  
习题 T3<1{"&  
参考文献 Ejr'Yzl3_  
第三篇光学薄膜检测技术 Lu:*nJ%1[  
第6章薄膜透射率和反射率测量 o<txm?+N  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 %
4F\#" A  
6.2薄膜反射率的测试 [tJn!cMs  
6.3薄膜反射率的测量 OFmHj]I7=  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 xV`l6QS  
6.5总结 7&wxnxSk^  
习题 q5hE S  
参考文献 ,!alNNY  
第7章薄膜的吸收和散射测量 }CMGK
{  
7.1激光量热计基本原理 vu.?@k@  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 U^ ,!  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 dlCiqY:}  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 RSbq<f>BFo  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 jP_s(PQ  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 UcD<vg"p  
7.7总结 )u28:+8  
习题 IHi[3xf<  
参考文献 WQ8 "Jj?k6  
第8章薄膜光学常数的测量 vqQ)Pu?T  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ,dK)I1"C  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 p=A,yGDV  
8.3薄膜波导法 cN?/YkW?]  
8.4光学薄膜厚度的测试 j<~T:Tk  
8.5总结 D}X6I#U'/  
习题 sR83e|4I  
参考文献 yEbo`/ ]b  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 4%8den,|  
9.1薄膜的力学特性检测技术 *c=vEQn-  
9.2薄膜器件的环境试验 _>;MQ)Km~  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 kSc~gJrne  
9.4总结 mIDV
N  
习题 @R%qP>_  
参考文献 O$e"3^Pa  
附录 f.^|2T I1g  
附录A复数与复数运算
X=abaKl  
A.1复数的概念
vk X+{n  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 &g5PPQ18  
A.3复数在物理中的运用 4@Db $PHs  
附录B矩陈及矩陈运算 7%? bl  
B.1矩陈的定义 3imsIBr  
B.2矩陈运算 Ai[@2AyU  
附录C光的电磁理论基础 -ZSN0Xk  
C.1振动与波 |te=DCO  
C.2电磁波 jVN06,3z  
C.3麦克斯韦方程 ]dJ"_  
C.4平面电磁波 Z : xb8]y  
C.5平面电磁波性质 G rU`;M"  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Fp@>(M#3  
附录D光的干涉 d_pIB@J  
D.1波的叠加原理 (tVT&eO  
D.2杨氏干涉 qWWt5rJ  
D.3平板的表面干涉 Gds(.]_  
D.4光的空间相干性和时间相干性 $H)!h^7^9  
附录E光的偏振 )fIG4#%\  
E.1自然光和偏振光 ^t7u4w!  
E.2偏振光与Jones矩陈 .uS`RS8JM  
E.3偏振光的获得 3T0-RP*  
E.4偏振光的检验 zng.(]U/?H  
…… *U$]U0M  
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