现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 */xI#G,O+  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 9oS\{[x.  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 T:x5 ,vpM  

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第一篇光学多层膜设计 _m;cX!+~_  
第1章光学薄膜特性的理论计算 iQ*JU2;7t  
1.1单色平面电磁波 0TU~Q  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 {y<[1Pms  
1.3光学薄膜特性的理论计算
l)D18  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 )/2* <jr  
习题 R?+Eo(0q,  
第2章光学薄膜的设计理论 VuFMjY  
2.1矢量作图法 td4*+)'FY  
2.2有效界面法 #O]F5JB  
2.3对称膜系的等效层 TveCy&  
2.4导纳图解技术 N'Va&"&73>  
习题 rgILOtk[  
第3章光学薄膜系统的设计 C.@R#a'  
3.1减反射膜 N J:]jd  
3.2分束镜 oju/%ieh  
3.3高反射膜 <oV _EZ  
3.4干涉截止滤光片 U6FM`w<  
3.5带通滤光片 hbR;zV|US  
3.6特殊膜系 }aXc,;
Ps  
习题 srx`" :  
参考文献 ttLChL  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 a}`4BMi3  
第4章薄膜制备技术 0sVCTJ@  
4.1真空淀积工艺 iKV;>gF,)v  
4.2光学薄膜材料 #!h
:w  
4.3薄膜厚度监控艺术 ;3Fgy8T  
4.4膜层厚度的均匀性 <;#d*&]  
习题 fMwJwMT8  
参考文献 nXK"BYe  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 eOy{]<l3  
5.1薄膜的形成过程 8gJ"7,}-'  
5.2薄膜的微观结构 JO5~Vj_"  
5.3薄膜的成分 +Es3iE @  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 NWwfNb>  
5.5薄膜微观结构和改善 MR%M[SK1  
习题 `kyr\+hp  
参考文献 N4!YaQQ;}  
第三篇光学薄膜检测技术 C2AP   
第6章薄膜透射率和反射率测量 9%oLv25{)  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 TuwH?{ FzK  
6.2薄膜反射率的测试 U/yYQZ\)  
6.3薄膜反射率的测量 B
9iH+ ]W  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 T{]Tb=  
6.5总结 Y%p"RB[  
习题 9+@_ZI-  
参考文献 {i~qm4+o  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ^w^cYM,  
7.1激光量热计基本原理 k<"ZNQm$.  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ~t<BZu  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Ee9u7TFT  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 "My \&0-  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 &k&tkE  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 %&Z!-k(  
7.7总结 -}2q-  
习题 :CSys62
 
参考文献 #PoUCRR
C  
第8章薄膜光学常数的测量 ~yt+xWV  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 E~2}rK+#)  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 7R<<}dA]  
8.3薄膜波导法 4xT(Uj  
8.4光学薄膜厚度的测试 p}R)qz-=5U  
8.5总结 e.\d7_T+  
习题 4&K~EX"^T  
参考文献 .pu]21m=  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 {qx}f^WV  
9.1薄膜的力学特性检测技术 93)&  
9.2薄膜器件的环境试验 eXnMS!g%Z  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 cli
P+#  
9.4总结 p8[Z/]p  
习题 jFw?Ky2  
参考文献 0u QqPF t  
附录 L2P~moVIi  
附录A复数与复数运算 .cQwjL  
A.1复数的概念 }UHuFff,  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 -nN}8&l  
A.3复数在物理中的运用 Nk86Y2h  
附录B矩陈及矩陈运算 vhTte |(  
B.1矩陈的定义 H~J#!3  
B.2矩陈运算 mcb0%  
附录C光的电磁理论基础 1A< O Z>  
C.1振动与波 j9) Z'L  
C.2电磁波
G~8C7$0z  
C.3麦克斯韦方程 %1@+pf/  
C.4平面电磁波 3@KX|-  
C.5平面电磁波性质 $eX; 2  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 $}aLFb  
附录D光的干涉 /=lrdp!a  
D.1波的叠加原理 +x-n,!(  
D.2杨氏干涉 53=s'DZ  
D.3平板的表面干涉 bf'@sh%W  
D.4光的空间相干性和时间相干性 >7@F4a  
附录E光的偏振 5=.,a5  
E.1自然光和偏振光 _Wk!d3bsx  
E.2偏振光与Jones矩陈 rQ;m|@  
E.3偏振光的获得 )<1M'2  
E.4偏振光的检验 72&xEx  
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