现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 aSn0o_4bD  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 jHs<s`#h  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 WpXODkQL  

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第一篇光学多层膜设计 K)yCrEZ  
第1章光学薄膜特性的理论计算 a/`c ef  
1.1单色平面电磁波 <bEN8b  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 c'4>D,?1  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ) 1lJ<g#  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 /Oq1q._9F  
习题 *]{9K  
第2章光学薄膜的设计理论 &,W_#l{  
2.1矢量作图法 "\VW.S  
2.2有效界面法 }ZEfT]  
2.3对称膜系的等效层 1Pud,!\%q  
2.4导纳图解技术 LVPt*S=/  
习题 ,H.(\p_N  
第3章光学薄膜系统的设计 Ybs=W<-  
3.1减反射膜 1_Dn?G^H  
3.2分束镜 Ck ~V5  
3.3高反射膜 }4bB7,
j  
3.4干涉截止滤光片 LP5eFl`|T  
3.5带通滤光片 >uBV  
3.6特殊膜系 J{nyo1A  
习题 pr0@sri@  
参考文献 h]J&A  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 Nw9-pQ  
第4章薄膜制备技术 tz\+'6NpOb  
4.1真空淀积工艺 8w{#R{w  
4.2光学薄膜材料 eh({K;>  
4.3薄膜厚度监控艺术 Z$OF|ZZQ  
4.4膜层厚度的均匀性 q|47;bK'  
习题 Gt\K Ln  
参考文献 ,z?<7F1q=  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 *_4n2<W$  
5.1薄膜的形成过程 dO 1-c`  
5.2薄膜的微观结构 37:b D  
5.3薄膜的成分 U/1[~429  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 eZN3H
"H  
5.5薄膜微观结构和改善 A@@)lD.  
习题 2FZ0c/[&  
参考文献 L}e"nzTE6I  
第三篇光学薄膜检测技术 2fj0 I  
第6章薄膜透射率和反射率测量 }5o~R~H  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 j=xtnIq  
6.2薄膜反射率的测试 3<zTkI  
6.3薄膜反射率的测量 'f=)pc#&g  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 _V_8p)%  
6.5总结 5UrXVdP  
习题 H0D>A<Ue  
参考文献 W%cj39$  
第7章薄膜的吸收和散射测量 5CY@R  
7.1激光量热计基本原理 X%4uShM  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 c:?#zX  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 IS0HV$OI  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 @n~>j&Kp  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 |l6<GWG+  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 NgE&KPj\  
7.7总结 5I8FD".i  
习题 s%L" c  
参考文献 xu%! b0  
第8章薄膜光学常数的测量 )
5GdvqA  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 I |<+'G  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 7U{b+=,wK  
8.3薄膜波导法 )F%wwc^r  
8.4光学薄膜厚度的测试 rx}ujjx  
8.5总结 -~<q,p"e  
习题 x;ICV%g/  
参考文献 FfD ,cDs  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 =& Tu`m  
9.1薄膜的力学特性检测技术 #U!(I#^3  
9.2薄膜器件的环境试验 U<gUX07  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 ~*' 8=D?)  
9.4总结 c5=v
`hv  
习题 Cdt,//xrz  
参考文献 T4Ho
Sei  
附录 VJ6>3  
附录A复数与复数运算 j?f,~Y<k  
A.1复数的概念 *&hXJJ[+  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ^EuyvftZ  
A.3复数在物理中的运用 /8$1[[[  
附录B矩陈及矩陈运算 F)E7(Un`8  
B.1矩陈的定义 I*vj26qvg  
B.2矩陈运算 <D;H}ef  
附录C光的电磁理论基础 CYFas:rPLT  
C.1振动与波 Kc9mI>uH  
C.2电磁波 NqQ(X'W7
 
C.3麦克斯韦方程 CQ8o9A/  
C.4平面电磁波 #)PGQ)(  
C.5平面电磁波性质 /SqFP L]  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 DX%8.@  
附录D光的干涉 WfTdD.Xx  
D.1波的叠加原理 a_pCjG89  
D.2杨氏干涉 DETajf/<F  
D.3平板的表面干涉 <_sT]?N#  
D.4光的空间相干性和时间相干性 *nsnX/e(-  
附录E光的偏振 2LxVt@_R!%  
E.1自然光和偏振光 ~kj(s>xP  
E.2偏振光与Jones矩陈 %8}ksl07  
E.3偏振光的获得 LG&Q>pt.  
E.4偏振光的检验 , R.+-X  
…… Z'>eT)  
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