现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 r$G;^  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 tul5:}x3
 
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 \muyL?  

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第一篇光学多层膜设计 1B,RRHXn6  
第1章光学薄膜特性的理论计算 LW ntZ.  
1.1单色平面电磁波 $].< /  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 _EjS(.e/=  
1.3光学薄膜特性的理论计算 z$%ntN#eNA  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 VUagZ7p  
习题 vJmE}  
第2章光学薄膜的设计理论 <bIAq8  
2.1矢量作图法 Z~muQ c?  
2.2有效界面法 tGv4 S\  
2.3对称膜系的等效层 S WYiI  
2.4导纳图解技术 +#'exgGU^[  
习题 ;h0?o*i_  
第3章光学薄膜系统的设计 "1h|1'S50?  
3.1减反射膜 {jggiMwo.v  
3.2分束镜 N ?0V0B  
3.3高反射膜 8~}Ti*Urc  
3.4干涉截止滤光片 %|l*=v  
3.5带通滤光片 rf^1%Zo:  
3.6特殊膜系 t4F1[P  
习题 7NoB   
参考文献 !mq+Oz~  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 jNrGsIY$  
第4章薄膜制备技术 eX;"kO  
4.1真空淀积工艺 ~(4cnD
)BO  
4.2光学薄膜材料 iMJjWkk  
4.3薄膜厚度监控艺术 @Je{;1  
4.4膜层厚度的均匀性 wArNWBM  
习题 #{i\t E  
参考文献 ?ry`+nx  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 {@B<$g   
5.1薄膜的形成过程 el-%#0
  
5.2薄膜的微观结构
IuB0C!'  
5.3薄膜的成分 8 :Z3Q  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 }$81FSKh  
5.5薄膜微观结构和改善 S :9zz  
习题 f>l}y->-Ug  
参考文献 8[2^`g  
第三篇光学薄膜检测技术 ;`s/|v  
第6章薄膜透射率和反射率测量 @/B&R^aVZ  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 LUw0MW(Moi  
6.2薄膜反射率的测试 VY Va8[}  
6.3薄膜反射率的测量 e"[o2=v;5  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 SP5/K3t-*  
6.5总结 Dgp"RUP  
习题 3 LoB-4u?  
参考文献 a&wl-  
第7章薄膜的吸收和散射测量 v7xc01x  
7.1激光量热计基本原理 ]NG`MZ  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ),dXaP[  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 J?u@' "u  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 *,@dt+H!y  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 
h ej  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 !W .ooy5(  
7.7总结 l*b3Mg  
习题 ` *h-j/M  
参考文献 }(20MW8rMc  
第8章薄膜光学常数的测量 EcBSi995dj  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 wM_k D  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ^hR
os  
8.3薄膜波导法 56d,Sk)  
8.4光学薄膜厚度的测试 -~]*)&  
8.5总结 7 45Uo'  
习题 "qR qEpD%  
参考文献 }_:^&cT  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 W@JmG`Sy  
9.1薄膜的力学特性检测技术 W32bBzhL  
9.2薄膜器件的环境试验 GC~Tfrf=r  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 f9X*bEl9;`  
9.4总结 a 0Hzf  
习题 |SQ5Sb  
参考文献 lLS`Ln)"  
附录 O-}{%)[ F  
附录A复数与复数运算 gGH<%nHW1  
A.1复数的概念 H'&x
4[J:  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 j#Bea ,  
A.3复数在物理中的运用 _Cj u C`7  
附录B矩陈及矩陈运算 V)f/umT%g  
B.1矩陈的定义 j%#n}H  
B.2矩陈运算 L6J=m#Ld  
附录C光的电磁理论基础 nO,<`}pV  
C.1振动与波 *'1qA0Xc  
C.2电磁波 E5/-?(N  
C.3麦克斯韦方程 A"2k,{d  
C.4平面电磁波 +F]X  
C.5平面电磁波性质
XjuAVNY  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 - b:&ACY  
附录D光的干涉 a=.A/;|0*  
D.1波的叠加原理 Y2"X;`<  
D.2杨氏干涉 =*~]lz__M  
D.3平板的表面干涉 )F8G q,  
D.4光的空间相干性和时间相干性 $NWXn,Y'  
附录E光的偏振 p.SEW5  
E.1自然光和偏振光 TG=) KS  
E.2偏振光与Jones矩陈 F)z]QJOw  
E.3偏振光的获得 %D)W~q-g  
E.4偏振光的检验 FI`][&]V  
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