现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 k[;(@e@c  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 c^BeT;  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 YDo,9  

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第一篇光学多层膜设计 }TAHVcX*p  
第1章光学薄膜特性的理论计算 X4:SH>U!  
1.1单色平面电磁波 73'.TReK  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 wUbL
w  
1.3光学薄膜特性的理论计算 "r.eN_d  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 =[V  
习题 d(j|8/tpA  
第2章光学薄膜的设计理论 pbb6?R,  
2.1矢量作图法 A;#GU`  
2.2有效界面法 9W@Tf  
2.3对称膜系的等效层 !Typ_Cs  
2.4导纳图解技术 XveG#oyiU  
习题 %y}l^P5z  
第3章光学薄膜系统的设计 Qg4g(0E@  
3.1减反射膜 Y'%k
G5nF  
3.2分束镜 zWEt< `1M  
3.3高反射膜
0'.
7dzz  
3.4干涉截止滤光片 / qo`vk A  
3.5带通滤光片 !aub@wH3  
3.6特殊膜系 ^\zf8kPti  
习题 60&4?<lR4  
参考文献 ~J,e^$u  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 SRf.8j  
第4章薄膜制备技术 q2KWSh
5  
4.1真空淀积工艺 #9)D.d|5  
4.2光学薄膜材料 9Wi+7_)  
4.3薄膜厚度监控艺术 vx8-~Oq{|;  
4.4膜层厚度的均匀性 a)GT\1q  
习题 6t(I.>-  
参考文献 @G;\gJT*  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 fA>FU/r  
5.1薄膜的形成过程 wth*H$iF  
5.2薄膜的微观结构 F
lQ(iv)P  
5.3薄膜的成分 i VIpe  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 dF/HKBJ  
5.5薄膜微观结构和改善 8o4?mhqV  
习题 c-{;P>L  
参考文献 ' ;PHuMY#X  
第三篇光学薄膜检测技术 >*aqYNft  
第6章薄膜透射率和反射率测量 49m}~J=*  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 e+=P)Zp/  
6.2薄膜反射率的测试 ^|0>&sTHOH  
6.3薄膜反射率的测量 jvfQG:F }  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 '-[~I>o%  
6.5总结 =-U8^e_Y  
习题 :pZWFJ34{  
参考文献 t*'U|K4L/  
第7章薄膜的吸收和散射测量 R8<'m
 
7.1激光量热计基本原理 4q7hL  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 v{dvB:KP5X  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 BE]PM nI  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 bAa+MB#A  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 pZv>{=2hOS  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 9L^:N)-  
7.7总结 CnA
0^JX  
习题 6
#rj3^]  
参考文献 $yA2c^QS  
第8章薄膜光学常数的测量 )HN,Az"  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 )m7 Yo  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ;5fq[v^P:  
8.3薄膜波导法 <CnTiS#  
8.4光学薄膜厚度的测试 .}.63T$h9  
8.5总结 ^cy.iolt  
习题 0=^A{V!m  
参考文献 yxt`  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 }.j09[<  
9.1薄膜的力学特性检测技术
L~])?d  
9.2薄膜器件的环境试验 e:&(y){n(  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 pl{Pur ;i  
9.4总结 7u9!:}Tu  
习题 `>mT/Rmb@  
参考文献 ,`ZIW  
附录 Kq*D_Rh2  
附录A复数与复数运算 CI };$4W~  
A.1复数的概念 \:/:S"-  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 JNYFu0  
A.3复数在物理中的运用 aF~ 0\XC  
附录B矩陈及矩陈运算 },G>+ s8h  
B.1矩陈的定义 '[nH]N  
B.2矩陈运算 `zJTVi4  
附录C光的电磁理论基础 `V1D&}H+G  
C.1振动与波 U[Pll~m2b  
C.2电磁波 LmKG6>Q1#1  
C.3麦克斯韦方程 _ IqUp Y  
C.4平面电磁波 i9FHEu_  
C.5平面电磁波性质 E4nj*Lp~+  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 85Hb~|0  
附录D光的干涉 UF)4K3X  
D.1波的叠加原理 BrQXSN$i  
D.2杨氏干涉 P;#}@/E  
D.3平板的表面干涉  OEN!~-u  
D.4光的空间相干性和时间相干性 +4,v.B@  
附录E光的偏振 )OAd[u<  
E.1自然光和偏振光 p+;[i%`  
E.2偏振光与Jones矩陈 ^\X-eeA  
E.3偏振光的获得 -R[ *S "  
E.4偏振光的检验 `]{/(pIgW;  
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