现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 Xb{ [c+.  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 YN`H BFH  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 q~3,yyu  

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第一篇光学多层膜设计 qEpi]=|  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ADpmvW f?  
1.1单色平面电磁波 ]`&Yqg  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 R}lsnX<  
1.3光学薄膜特性的理论计算 KuMF^0V%c  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 )('%R|$ /  
习题 z)9wXo#~  
第2章光学薄膜的设计理论 wi4=OU1L)a  
2.1矢量作图法 GDD '[;  
2.2有效界面法 \ gLHi~  
2.3对称膜系的等效层 4\6N~P86  
2.4导纳图解技术 'B@e8S)y  
习题 DwrO JIy  
第3章光学薄膜系统的设计 emdoA:w+   
3.1减反射膜 P#fM:z@[  
3.2分束镜 rMUT_^  
3.3高反射膜 -u?S=h}  
3.4干涉截止滤光片 x\J#]d.  
3.5带通滤光片 6IWxPt~  
3.6特殊膜系 OtGb<v<_H  
习题 'JNElXqrv  
参考文献 >2]JXLq  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 VY)9|JJCO  
第4章薄膜制备技术 fH)YFn/  
4.1真空淀积工艺 F0:A]`|  
4.2光学薄膜材料 DSt]{fl`P  
4.3薄膜厚度监控艺术 RB+N IoQQ|  
4.4膜层厚度的均匀性 xia|+  
习题 cIp D~0\  
参考文献 h}]fnA  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Pv<24:ao  
5.1薄膜的形成过程 3"G>>nC&  
5.2薄膜的微观结构 de>v  
5.3薄膜的成分 (s{RnD  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 6%fKuMpK(  
5.5薄膜微观结构和改善 S-YM%8A[  
习题 XK: 9r{r{  
参考文献 HO[wTB|D]  
第三篇光学薄膜检测技术 C-Ht(x|  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ^|TG$`M(w
 
6.1光谱分析测试系统的基本原理 SF5@Vg  
6.2薄膜反射率的测试 q+[SbG&  
6.3薄膜反射率的测量 c wOJy>  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 :"l-KQ0  
6.5总结 ^;Sy. W&`  
习题 9Ffp2NW`;  
参考文献 ;\[(- )f!=  
第7章薄膜的吸收和散射测量 fm^@i;D  
7.1激光量热计基本原理 mWyqG*-Hb  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 k<cgO[m  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ONCnVjZ  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 *FmTy|  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 MdXchO-Lyc  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 O)Y?=G)  
7.7总结 P0$e~=Q^4  
习题 "3<da*D1  
参考文献 &`fhEN  
第8章薄膜光学常数的测量 $DZHQH  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 #Jna6  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 JMVNmq&0  
8.3薄膜波导法 Q6X
RsFc  
8.4光学薄膜厚度的测试 bcAvM;  
8.5总结 NuYkz"O]  
习题 V~ TWKuR  
参考文献 JkGnKm9G  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 lhi_6&&[8  
9.1薄膜的力学特性检测技术 >y}M.Mm  
9.2薄膜器件的环境试验 f}L*uw  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 (E,Yo  
9.4总结 UK{irU|\  
习题 VL[kJi   
参考文献 ru`U'  
附录 3mSXWl^?  
附录A复数与复数运算 $z$u{  
A.1复数的概念 r@{~ 5&L  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 YhRWz=l  
A.3复数在物理中的运用 0x9x@gF  
附录B矩陈及矩陈运算 4pln5v=  
B.1矩陈的定义 i@][rdhT  
B.2矩陈运算 k2xHH$+{#=  
附录C光的电磁理论基础 {VP$J"\e  
C.1振动与波 .)+hH y  
C.2电磁波 5o/&T"]@  
C.3麦克斯韦方程 ~h"/Tce  
C.4平面电磁波 !bC+TYsU  
C.5平面电磁波性质 zSE<"(a  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 /1 RAAa  
附录D光的干涉 1RKW2RCaW_  
D.1波的叠加原理 } %'bullT  
D.2杨氏干涉 )I\=BPo|B  
D.3平板的表面干涉 vm'5s]kdh
 
D.4光的空间相干性和时间相干性 ;r/;m\V  
附录E光的偏振 )?2e  
E.1自然光和偏振光 (Z}>1WRju  
E.2偏振光与Jones矩陈 9z I.pv+]  
E.3偏振光的获得 z`6fotL  
E.4偏振光的检验 O8]'o*<]  
…… fA=#Fzk2  
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