现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 :(@P *"j  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 AH_qZTv0{Q  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 %m+7$iD  

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第一篇光学多层膜设计 6b9J3~d\E  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ,RW`9+gx  
1.1单色平面电磁波 LR';cR;  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 .h\Py[h<^  
1.3光学薄膜特性的理论计算 D$@2H>.-  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 %k~ezn  
习题 xP/q[7>#Q  
第2章光学薄膜的设计理论 hRMya#%-  
2.1矢量作图法 Io[NN aF|  
2.2有效界面法 [A~ Hl  
2.3对称膜系的等效层 vn!3Z!dm(  
2.4导纳图解技术 EiG5k.C@  
习题 BMdZd5!p&  
第3章光学薄膜系统的设计 dFA1nn6{  
3.1减反射膜 r?!:%L  
3.2分束镜 WA0D#yuJ/  
3.3高反射膜 k/sfak{Q  
3.4干涉截止滤光片 7?{y&sf  
3.5带通滤光片 %V+"i_{m  
3.6特殊膜系 SN]g4}K-  
习题 ('AAHq/  
参考文献 -/V(Z+dj  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 A=IpP}7J  
第4章薄膜制备技术 x/wgD'?  
4.1真空淀积工艺 V )1.)XC  
4.2光学薄膜材料 vB}c6A4'U  
4.3薄膜厚度监控艺术 Ga-cto1Y  
4.4膜层厚度的均匀性 h(<>s#=E  
习题 ^9]iUx  
参考文献 =,h'}(z_  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 4 Y
v:\c  
5.1薄膜的形成过程 T\g+w\N  
5.2薄膜的微观结构 841y"@*BY  
5.3薄膜的成分 ,.}%\GhY  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 wc.=`Me  
5.5薄膜微观结构和改善 x
)GheM^  
习题 AI|+*amTd  
参考文献 O5Z9`_9<  
第三篇光学薄膜检测技术 ^g5E&0a`g  
第6章薄膜透射率和反射率测量 EwkSUA>Tm  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 $;'M8L  
6.2薄膜反射率的测试 .a7RGT3]m  
6.3薄膜反射率的测量 miu?X!  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 =B5{7g\  
6.5总结 U$~6V%e  
习题 GBT|1c'i  
参考文献 `GdH ,:S>  
第7章薄膜的吸收和散射测量 K3M.ZRh\;`  
7.1激光量热计基本原理 ^D
6TeH  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 q7f`:P9~  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 4(LLRzzW  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 GK!@|Kk8q7  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 xr7}@rq"U<  
7.6薄膜导波传播衰减系数法  WZY+c
 
7.7总结 ENIg_s4  
习题 BV:Ca34&  
参考文献 s)`(@"{  
第8章薄膜光学常数的测量 ()bQmNqmO=  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 [l3\0
e6-/  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 5RFro^S9E  
8.3薄膜波导法 , ?U)mYhI  
8.4光学薄膜厚度的测试 {H)hoAenA  
8.5总结 !%ju.Xs8  
习题 EJ#I7_  
参考文献 1n[)({OQ  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 Nr~!5XO  
9.1薄膜的力学特性检测技术 z<%bNnSO  
9.2薄膜器件的环境试验 z!O;s ep?/  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 &1yJrj9y  
9.4总结 hxH6Ii]\  
习题 D 5n\h5  
参考文献 1W{oj  
附录 &K[sb%  
附录A复数与复数运算 TB* t^E  
A.1复数的概念 G)%V 3h  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Zk((VZ(y  
A.3复数在物理中的运用 }P0bNY5?%  
附录B矩陈及矩陈运算 Z@Zg3AVU  
B.1矩陈的定义 ]tN)HRk1  
B.2矩陈运算 Gd_0FF.  
附录C光的电磁理论基础 g9|OhymB  
C.1振动与波 ">CRFee0  
C.2电磁波 &q
G/\  
C.3麦克斯韦方程 T`":Q1n  
C.4平面电磁波 F:T(-,  
C.5平面电磁波性质 Rw{' O]Q*  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 j \jMN*dmV  
附录D光的干涉 1F,U^O  
D.1波的叠加原理 c-(RjQ~M5  
D.2杨氏干涉 :_6o|9J\t  
D.3平板的表面干涉 Os'E7;:1h  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Y3DqsZ@  
附录E光的偏振 SyVXXk 0  
E.1自然光和偏振光 <efO+X!  
E.2偏振光与Jones矩陈 Lw,}wM5X  
E.3偏振光的获得 [mu8V+8@d4  
E.4偏振光的检验 EQ,`6UT>  
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