现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 %5RYa<oP  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ;?;D(%L  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 U-TwrX  

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第一篇光学多层膜设计 lg;Y}?P  
第1章光学薄膜特性的理论计算 u0$7k9mE  
1.1单色平面电磁波 [p@NzS/  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 S$]:3  
1.3光学薄膜特性的理论计算 y{ 90A  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 c}mJ6Pt  
习题 `.%;|"xR  
第2章光学薄膜的设计理论 ?w# >Cs(  
2.1矢量作图法 GT%V,OJ  
2.2有效界面法 7V0:^Jov  
2.3对称膜系的等效层 Wnl8XHPn  
2.4导纳图解技术 ?9
vBn  
习题 #`GW7(M  
第3章光学薄膜系统的设计 oAWk<B(@  
3.1减反射膜 1s\10 hK1c  
3.2分束镜 1:7>Em<s  
3.3高反射膜 T-&CAD3 ,O  
3.4干涉截止滤光片 -7ct+3"J  
3.5带通滤光片 d5A!kU _.  
3.6特殊膜系 D0i84I`Z%  
习题 .EloBP  
参考文献 &t%CuU]/@  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 SX^fh
.  
第4章薄膜制备技术 dGIu0\J\$  
4.1真空淀积工艺 d(wqKiGwe  
4.2光学薄膜材料 ejo4mQ]a  
4.3薄膜厚度监控艺术 *"fg@B5  
4.4膜层厚度的均匀性 .F#mT h  
习题 d?N"NqaN  
参考文献 ![Ip)X OG  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 v/+dx/  
5.1薄膜的形成过程 ?%Y?z]L#  
5.2薄膜的微观结构 q'(WIv@  
5.3薄膜的成分 HC{|D>x.  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 )SA$hwR  
5.5薄膜微观结构和改善 &K>]!yn   
习题 9^a>U
(,  
参考文献 YfMe69/0I  
第三篇光学薄膜检测技术 y^@%Xrs  
第6章薄膜透射率和反射率测量 V2VsJ  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 8@hzw~>  
6.2薄膜反射率的测试 mApn(&  
6.3薄膜反射率的测量 2zFdKs,  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ]nX.zE|F  
6.5总结 jLQjv  
习题 "rX=G=  
参考文献 3]N}k|lb%  
第7章薄膜的吸收和散射测量 h*MR5qa  
7.1激光量热计基本原理 S_bay8L1  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 W$'pUhq\H  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 kl
f<=V  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 CzvlZDo  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ,o9)ohw  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 H&03>.b  
7.7总结 p1?}"bHk  
习题 k5/nAaiVE  
参考文献 g~B@=R  
第8章薄膜光学常数的测量 'oT}jI
 
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 _23sIUN c3  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 0'py7  
8.3薄膜波导法 awkVjyqX  
8.4光学薄膜厚度的测试 UkqLLzL  
8.5总结 (VOKa  
习题 mSj
[t 
  
参考文献 ]UgAz  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 `|/|ej]$P  
9.1薄膜的力学特性检测技术 h[Iu_#HMa  
9.2薄膜器件的环境试验 N!h>fE`  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 o[v`Am?v  
9.4总结 y:42H tS  
习题 }TF<C!]  
参考文献 /vPb
 
附录 <rC#1wR4  
附录A复数与复数运算 jSG jv>  
A.1复数的概念 he+[  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 XS!ZTb>[  
A.3复数在物理中的运用 @wFm])}0  
附录B矩陈及矩陈运算 6sZRR{'  
B.1矩陈的定义 ttsB'|ps  
B.2矩陈运算 I2W2B3D` c  
附录C光的电磁理论基础 ^&6NB)6  
C.1振动与波 pc.0;gN  
C.2电磁波 \ yOZ&qU  
C.3麦克斯韦方程 m
CE})S  
C.4平面电磁波 ^LNc  
C.5平面电磁波性质 OK)0no=OAK  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 c|.:J]  
附录D光的干涉 }2r08,m  
D.1波的叠加原理 sN g"JQ  
D.2杨氏干涉 B_&PK7vA  
D.3平板的表面干涉 sY6'y'a95  
D.4光的空间相干性和时间相干性 'pe0Q-  
附录E光的偏振 !6%G%ZG@3-  
E.1自然光和偏振光 ZF t^q/pw  
E.2偏振光与Jones矩陈 q@sH@-z4]  
E.3偏振光的获得 z<fEJN  
E.4偏振光的检验 x$Oz0[  
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