现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 =5jX#Dc5.+  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 bi bjFg  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 S]3t{s#JW7  

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第一篇光学多层膜设计 m]$!wp  
第1章光学薄膜特性的理论计算 z17x%jXy  
1.1单色平面电磁波 >?q()>l  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 mh"&KX86W  
1.3光学薄膜特性的理论计算 G:QaWqUb  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 9air"4  
习题 S3u>a\  
第2章光学薄膜的设计理论 |*Dklo9{  
2.1矢量作图法 Q0I22
?  
2.2有效界面法 8-c1q*q)  
2.3对称膜系的等效层 X9#;quco@  
2.4导纳图解技术 I_
IDrS)O  
习题 Ms.1RCup  
第3章光学薄膜系统的设计 Q&;dXE h  
3.1减反射膜 |>(;gr/5(  
3.2分束镜 t3.;W/0_  
3.3高反射膜 X/fk&Cp  
3.4干涉截止滤光片 w^?uBeqR  
3.5带通滤光片 (7G5y7wI"  
3.6特殊膜系 Cyg\FHs  
习题 -aPvls   
参考文献 ,mR$YT8  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 'Jww}^h1  
第4章薄膜制备技术 #y"EhwF  
4.1真空淀积工艺 'PF?D
~  
4.2光学薄膜材料 vd>X4e^j  
4.3薄膜厚度监控艺术 _6"!y ]Q  
4.4膜层厚度的均匀性 qr[H0f]  
习题 z^to"j  
参考文献 ixZ w;+h  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Gk0f#;  
5.1薄膜的形成过程 <GI{`@5C  
5.2薄膜的微观结构 sG`:mc~0  
5.3薄膜的成分 GtRc7,  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 !SAjV)  
5.5薄膜微观结构和改善 gwtR<2,p  
习题 tY^MP5*  
参考文献 [!B($c|\  
第三篇光学薄膜检测技术 J fFOU!F\  
第6章薄膜透射率和反射率测量 `VT[YhO#}  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 y| *X  
6.2薄膜反射率的测试 
!N--  
6.3薄膜反射率的测量 a,3} o:f  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 D/C)Rrq"a  
6.5总结 fGDR<t3yiQ  
习题 l(D
kmt>^  
参考文献 6vySOVMj  
第7章薄膜的吸收和散射测量 (a0q*iC%  
7.1激光量热计基本原理 3VZeUOxY\W  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 '`$z!rA  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 X(nbfh?n  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 7yGc@kJ?  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ~wmc5L/!?  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 b13XHR)0  
7.7总结 kZXsL
 
习题 #gzY _)E  
参考文献 O`_!G`E  
第8章薄膜光学常数的测量 1Uzsw  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Ww&~ZZZ {  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 T2
-n;8t  
8.3薄膜波导法
WV]%llj^  
8.4光学薄膜厚度的测试 <u2rb6  
8.5总结 cs[_5r&:  
习题 @giJ&3S,  
参考文献 GMqeC  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 MYgh^%w:  
9.1薄膜的力学特性检测技术 f$Fa*O-  
9.2薄膜器件的环境试验 ;fL
YO6  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 i`-,=RJ  
9.4总结 #p@8m_g  
习题 "L'
0"  
参考文献 VPG+]>*  
附录 xxWrSl`fB  
附录A复数与复数运算 dLb9p"EE#  
A.1复数的概念 (\^| @  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ^V]DQ%v"I  
A.3复数在物理中的运用 J ik+t\A  
附录B矩陈及矩陈运算 <T?H H$es)  
B.1矩陈的定义 "J|_1!9  
B.2矩陈运算 WqX#T  
附录C光的电磁理论基础 aChyl;#E  
C.1振动与波 am
>X7  
C.2电磁波 EugQr<sM#  
C.3麦克斯韦方程 ~Pq(Ta  
C.4平面电磁波 X2>qx^jT  
C.5平面电磁波性质 T~B'- >O  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Hgs=qH  
附录D光的干涉 M{#  
D.1波的叠加原理 K:Mm?28s  
D.2杨氏干涉 TEC'
}%   
D.3平板的表面干涉 |3\$\qa  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Sn 3@+9J  
附录E光的偏振 "Uy==~  
E.1自然光和偏振光 }1<_  
E.2偏振光与Jones矩陈 q:A{@kFq_  
E.3偏振光的获得 `uRf*-   
E.4偏振光的检验 oNV5su  
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