现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 uJ=d!Kn  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 f*:N*cC  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 Ga+Cb2$  

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第一篇光学多层膜设计 [0 rH/{  
第1章光学薄膜特性的理论计算 MskOPg  
1.1单色平面电磁波 L
r20xm  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 W6`_lGTj  
1.3光学薄膜特性的理论计算 +vH#xc\'  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 @=}NMoNH  
习题 c(29JZ  
第2章光学薄膜的设计理论 4`'Rm/)  
2.1矢量作图法 'K}2m  
2.2有效界面法 C
8i4z  
2.3对称膜系的等效层 aK(e%Ed t"  
2.4导纳图解技术 [vz2< genn  
习题 _v8u%  
第3章光学薄膜系统的设计 3''Uxlo\  
3.1减反射膜 xOr"3;^  
3.2分束镜 gK"(;Jih$  
3.3高反射膜 eL'fJcjw<  
3.4干涉截止滤光片 Ted tmX$  
3.5带通滤光片 Pf;RJeD  
3.6特殊膜系 z =\ENG|x#  
习题 tR4+]K  
参考文献 xIV#}z0  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 |MN2v[y  
第4章薄膜制备技术 [S-#}C?~  
4.1真空淀积工艺 + rM]RFi  
4.2光学薄膜材料 3g56[;Up?  
4.3薄膜厚度监控艺术 WRRR"Q$  
4.4膜层厚度的均匀性 RQu[FZT,  
习题 8
M,z#DF  
参考文献 6-\' *5r  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 hD7vjg&Z  
5.1薄膜的形成过程 &h
.?~Ri  
5.2薄膜的微观结构 EP90E^v^  
5.3薄膜的成分 l)~$/#k  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 KxBvL[/  
5.5薄膜微观结构和改善 +QOK]NJN  
习题 n 4cos  
参考文献 Qs?p)3qp  
第三篇光学薄膜检测技术 ({$rb-  
第6章薄膜透射率和反射率测量 56u_viZ=8  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 +.rE|)BPy  
6.2薄膜反射率的测试 (dy:d^  
6.3薄膜反射率的测量 7VdxQ T  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 bYX.4(R  
6.5总结 snNB;hkj  
习题 A;6ew
4  
参考文献 C1qlB8(Wh>  
第7章薄膜的吸收和散射测量 J l{My^I5  
7.1激光量热计基本原理 32y 9
rz  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 8A/rkoht*  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 )nq(XM7  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 >wFn|7\)s>  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 t!u>l  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 cxFyN;7  
7.7总结 ccx0aC3@I  
习题 S\GxLW@x  
参考文献 ka{!' ^  
第8章薄膜光学常数的测量 I>6zX  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 h2= wC.  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 w'y,$gtX/  
8.3薄膜波导法 sXT8jLIf  
8.4光学薄膜厚度的测试 - (q7"h  
8.5总结 @3U=kO(^+\  
习题 r^ '
 
参考文献 h&!$ `)  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 79k+R9m  
9.1薄膜的力学特性检测技术 y@AUSh;  
9.2薄膜器件的环境试验 G,1g~h%I$  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 5`i+aH(  
9.4总结 6(Ntt  
习题 KFaYn  
参考文献 Hq?dqg'%~  
附录 H:WuMwD4  
附录A复数与复数运算  aN6HO  
A.1复数的概念 xK5~9StP  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 N| P?!G-=  
A.3复数在物理中的运用 C}pQFL{B5  
附录B矩陈及矩陈运算 a1QW0d  
B.1矩陈的定义 [9F  
B.2矩陈运算 T&:~=  
附录C光的电磁理论基础 rd=+[:7L  
C.1振动与波 0xaK"\Q  
C.2电磁波 PIoBKCJ  
C.3麦克斯韦方程 |eJR
3o  
C.4平面电磁波 \>{;,f  
C.5平面电磁波性质 0< }BSv  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ()n2 KT  
附录D光的干涉 MlW*Tugg  
D.1波的叠加原理 pTncx%!W5  
D.2杨氏干涉 "x0KiIoPk  
D.3平板的表面干涉 QNxxW2+  
D.4光的空间相干性和时间相干性 YTr+"\CkA  
附录E光的偏振 CAN1~  
E.1自然光和偏振光 %&s4YD/{  
E.2偏振光与Jones矩陈 F%O+w;J4  
E.3偏振光的获得 5ci1ce  
E.4偏振光的检验 j6L(U~%  
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