现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 jW_FaPW(p  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 C07U.nzh  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 $rz'Ybs  

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第一篇光学多层膜设计 T>pz?e^5&  
第1章光学薄膜特性的理论计算
3dC;B@  
1.1单色平面电磁波 Q)}z$h55  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 1IV R4:a  
1.3光学薄膜特性的理论计算 GYNLyd)  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 a1# 'uS9W  
习题 /S&8%fb  
第2章光学薄膜的设计理论 {Qj7?}xW  
2.1矢量作图法 y,=TB#  
2.2有效界面法 +@5*_n\e`  
2.3对称膜系的等效层 xsSX~`  
2.4导纳图解技术 JM Ikr9/$  
习题 HU+zzTgI  
第3章光学薄膜系统的设计 A0 1D-)  
3.1减反射膜 (Y$48@x  
3.2分束镜 q.NvwJ  
3.3高反射膜 ouR(l;  
3.4干涉截止滤光片 rty&\u@}  
3.5带通滤光片 odC}RdN  
3.6特殊膜系 P0XVR_TJf  
习题 #[ch?K  
参考文献 UqZ#mKi  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 !0 -[}vvU  
第4章薄膜制备技术 yaKw/vV  
4.1真空淀积工艺 ad[oor/7|  
4.2光学薄膜材料 ]~-
vU{  
4.3薄膜厚度监控艺术 ;OfZEy>7  
4.4膜层厚度的均匀性 YR}By;Bq  
习题 .>{I S4  
参考文献 e&J_uG  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 (k&r^V/=  
5.1薄膜的形成过程 4m3pF0k  
5.2薄膜的微观结构 52d8EGC  
5.3薄膜的成分 \]+57^8r  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 (GI]Uyn  
5.5薄膜微观结构和改善 f!aE/e\  
习题 ;f)o_:(JJ  
参考文献 >gLLr1L\  
第三篇光学薄膜检测技术 ;IX*4E'4
s  
第6章薄膜透射率和反射率测量 B!zqvShF  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 O)Mf/P'  
6.2薄膜反射率的测试 ^NPbD<~Lb  
6.3薄膜反射率的测量 @%sr#YqY  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 _F9O4Q4  
6.5总结 "[BDa}Il  
习题 FkJ
X)  
参考文献 K7N.gT*4  
第7章薄膜的吸收和散射测量 q^k]e{PD  
7.1激光量热计基本原理 ;5
wr5H3  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 &b7i> ()  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 [Y=X^"PF  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 F_&bE@k  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Oe[qfsdW  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ~ GW8|tw  
7.7总结 &\/b(|>  
习题 duk:: |{F  
参考文献 Om=*b#k  
第8章薄膜光学常数的测量 lYMNx|PF  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 4]/i0\Vbam  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ;&%G)f  
8.3薄膜波导法 d$(>=gzBQ  
8.4光学薄膜厚度的测试 SS/t8Y4W  
8.5总结 9x40  
习题 2>bV+[@B  
参考文献 gYy9N=f+  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 J
$Qm:DC5  
9.1薄膜的力学特性检测技术 /K@{(=n  
9.2薄膜器件的环境试验 oz- k_9%
 
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 (ATCP#lF  
9.4总结 QP?Deltp  
习题 j |tu|Q  
参考文献 r!7e:p JLO  
附录 _noQk
3N  
附录A复数与复数运算 p!~{<s]  
A.1复数的概念
f;"6I  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 }&mFpc  
A.3复数在物理中的运用 g}]EIv{  
附录B矩陈及矩陈运算 3]9twfF 'J  
B.1矩陈的定义 _7M!b9oA  
B.2矩陈运算 ,LHQ@/}A C  
附录C光的电磁理论基础 njy^<7;  
C.1振动与波 8{GRrwQ>  
C.2电磁波 !&Z,ev  
C.3麦克斯韦方程 WZ<kk T  
C.4平面电磁波 Hw"UJP  
C.5平面电磁波性质 gxku3<S  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 *KXg;777  
附录D光的干涉 k9^Vw+$m  
D.1波的叠加原理 M5Twulz/w  
D.2杨氏干涉 f @cs<x  
D.3平板的表面干涉 DB>Y#2j4h  
D.4光的空间相干性和时间相干性 u8wZ2j4S  
附录E光的偏振 /@H2m\vBX  
E.1自然光和偏振光 OZ$"P<X_"  
E.2偏振光与Jones矩陈 ab=s+[r1  
E.3偏振光的获得 ;|hEXd?b  
E.4偏振光的检验 5w#*JK  
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