现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 b"aF-,M>  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 dF[|9%)  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 %JHv2[r^P  

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第一篇光学多层膜设计 :c|Om{;  
第1章光学薄膜特性的理论计算 \HIBnkj)3n  
1.1单色平面电磁波 :C>iV+B j  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ohbU~R3{U  
1.3光学薄膜特性的理论计算 U)xebU.!S  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ,]@K,|pC)  
习题 E~#G_opQA  
第2章光学薄膜的设计理论 K&n-(m%  
2.1矢量作图法 q9dplEe5  
2.2有效界面法 2i0;b|-=  
2.3对称膜系的等效层 n"`V| UTHP  
2.4导纳图解技术 -uxU[E  
习题 41]a{A
7q  
第3章光学薄膜系统的设计 L2p?]:-  
3.1减反射膜 sE'c$H  
3.2分束镜 c:e3hJ  
3.3高反射膜 F3qCtx*N  
3.4干涉截止滤光片 ^r-d.1  
3.5带通滤光片 -b iE  
3.6特殊膜系 _|4R^*/4  
习题 "P0!cY8r  
参考文献 `<|tC#<z  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 %*szB$[3  
第4章薄膜制备技术 D+v?zQw  
4.1真空淀积工艺 n 7i5A:  
4.2光学薄膜材料 #6vf:94  
4.3薄膜厚度监控艺术 up+0-!AH  
4.4膜层厚度的均匀性 =%<, ^2o  
习题 5+11J[~{  
参考文献 ]\KVA)\  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 1I`F?MT  
5.1薄膜的形成过程 >SLQW  
5.2薄膜的微观结构 Ufl\ uq3'H  
5.3薄膜的成分 z bYv}q  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 &9^4-5]  
5.5薄膜微观结构和改善 .CnZMw{'  
习题 Ovc9x\N  
参考文献 9DJ&J{2W  
第三篇光学薄膜检测技术 VsJ+-IHm  
第6章薄膜透射率和反射率测量 xhbN=L  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 nhdZC@~E0  
6.2薄膜反射率的测试 ~h_ _Y>  
6.3薄膜反射率的测量 faDS!E' +  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 T 5Zh2Q@  
6.5总结 :>.{w$Ln%  
习题 jan}}7Dly  
参考文献 g=[OH  
第7章薄膜的吸收和散射测量 F$DA/{.D  
7.1激光量热计基本原理 iMJt8sd  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ;YR/7  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 [:.wCG5  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 'x{oAtCP9  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 e2v`   
7.6薄膜导波传播衰减系数法 J/'Fj?
 
7.7总结 ~1D^C |%  
习题 SFRP ?s  
参考文献 z`IW[N7Z
 
第8章薄膜光学常数的测量 >U,&V%y  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ru@#s2  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 a51e~mg Z`  
8.3薄膜波导法 'o6}g p)  
8.4光学薄膜厚度的测试 72d|Jbd  
8.5总结 !Ztqh Xr  
习题 kW)3naUf<  
参考文献 z'm}p  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 !h4T3sO  
9.1薄膜的力学特性检测技术 o[cOL^Xd1  
9.2薄膜器件的环境试验 f]8MdYX(  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Tk?uJIS :  
9.4总结 +Q u.86dH  
习题 ]B,tCBt  
参考文献 ##6\~!P  
附录 S~);   
附录A复数与复数运算 a5pl/d  
A.1复数的概念 wHbkF#[:i  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 86OrJdD8  
A.3复数在物理中的运用 ?OFa Q  
附录B矩陈及矩陈运算 _K9`o^g%PJ  
B.1矩陈的定义 sN
Do@u7  
B.2矩陈运算 e&;e<6l&{  
附录C光的电磁理论基础 04-_ K  
C.1振动与波 Z?{\34lPj  
C.2电磁波 y017 B<Ou  
C.3麦克斯韦方程 :oZ<[#p"*  
C.4平面电磁波 3<&:av3  
C.5平面电磁波性质 ?9()ya-TE  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 \W.CHSD  
附录D光的干涉 d}4NL:=&  
D.1波的叠加原理 :s_>y_=g  
D.2杨氏干涉 U`qkeNd  
D.3平板的表面干涉 QT,T5Q%JP:  
D.4光的空间相干性和时间相干性 _=~u\$  
附录E光的偏振 P:'wSE91  
E.1自然光和偏振光 3P6O]x<-?  
E.2偏振光与Jones矩陈 H ni^S  
E.3偏振光的获得 mcV<)UA}  
E.4偏振光的检验 9,'m,2%W  
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