现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 6<s(e_5f  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 3aO;@GNJ  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 &*aer5?`  

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第一篇光学多层膜设计 7~ *;=,mw  
第1章光学薄膜特性的理论计算 r}R^<y@I  
1.1单色平面电磁波 DhWWN>I  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射
13.{Y)  
1.3光学薄膜特性的理论计算 18.Y/nZAgQ  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 
x[PEn  
习题 t}]9VD9  
第2章光学薄膜的设计理论 |I}A>XG  
2.1矢量作图法 x/%7%_+'  
2.2有效界面法 :'d76pM-  
2.3对称膜系的等效层 t&R!5^R  
2.4导纳图解技术 +MNSZLP]  
习题 QJ a4R  
第3章光学薄膜系统的设计 p*pn@z  
3.1减反射膜 0 OAqA?Z  
3.2分束镜 |"CJ  
3.3高反射膜 $/[Gys3"  
3.4干涉截止滤光片 _\,rX\  
3.5带通滤光片 (B>)2:T1  
3.6特殊膜系 k;;nE o~6
 
习题 >`hSye{  
参考文献 3VcT7y*{P  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 rWoe ?g  
第4章薄膜制备技术 OgEUq''  
4.1真空淀积工艺 S9G8aea/  
4.2光学薄膜材料 rDIhpT)a  
4.3薄膜厚度监控艺术 :%/\1$3P  
4.4膜层厚度的均匀性 _kn]#^ucCe  
习题 R=\v
3m  
参考文献 ^273l(CZ1  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 t/JOERw  
5.1薄膜的形成过程 n 5~=qQK2  
5.2薄膜的微观结构 j:HH#U  
5.3薄膜的成分 9U2Px$E  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 CV!;oB&  
5.5薄膜微观结构和改善 x1Nme%%&  
习题 I:F'S#  
参考文献 h`?y2?O  
第三篇光学薄膜检测技术 ,dHP`j ?  
第6章薄膜透射率和反射率测量 4id3P{aU  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 H9%l?r5  
6.2薄膜反射率的测试 tgO+*q5B  
6.3薄膜反射率的测量 cwu$TP A>  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 n&_YYEHx  
6.5总结 } c{Fa&  
习题 `0yb?Nk `:  
参考文献 R]CZw;zS_  
第7章薄膜的吸收和散射测量 8W-]t1O%!  
7.1激光量热计基本原理 ?N4A9W9  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 McEmd.S<n  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 =MMCf0  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 j
EZ "  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 8]My k>  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 -&trk  
7.7总结 Dp!;7e s|  
习题 S\B5&W  
参考文献 "3@KRb4f  
第8章薄膜光学常数的测量 Ru)(dvk
}S  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 "\`>2  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 LL{t5(- _  
8.3薄膜波导法 w3<Z?lj:  
8.4光学薄膜厚度的测试 h=hoV5d@  
8.5总结 6yN" l Q7  
习题 -<O JqB  
参考文献 'yE*|Sx  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 /M 0 p_4  
9.1薄膜的力学特性检测技术 F b1EMVu  
9.2薄膜器件的环境试验 ,MRvuw0P  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 @|^jq  
9.4总结 ]yo_wGiwY  
习题 (%i!%{!]  
参考文献
B9wp*:.  
附录 fzl=d_  
附录A复数与复数运算 K~USK?Q%  
A.1复数的概念 NzAQ@E2d:  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 P!5Z]+B#  
A.3复数在物理中的运用 %Hh3u$Y,  
附录B矩陈及矩陈运算 1sD~7KPg?  
B.1矩陈的定义 Pfm*<,'x"[  
B.2矩陈运算 vsH3{:&;"P  
附录C光的电磁理论基础 n-d:O\]  
C.1振动与波 VW{,:Ya  
C.2电磁波 {-Yee[d<
?  
C.3麦克斯韦方程 7 xUE,)?  
C.4平面电磁波 l7ZB3'  
C.5平面电磁波性质 $cq!RgRn  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 dnix:'D1  
附录D光的干涉 t7&Dwmck9  
D.1波的叠加原理 ^dh=M5xz)  
D.2杨氏干涉 gNTh% e  
D.3平板的表面干涉 ^=k{~  
D.4光的空间相干性和时间相干性
_y>}#6B  
附录E光的偏振 =w6}\ 'X  
E.1自然光和偏振光 q=njKC  
E.2偏振光与Jones矩陈 au}s=ua~i  
E.3偏振光的获得 Ym'7vW#~  
E.4偏振光的检验 +uELTHH=  
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