现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 QO&{Jx.^[  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 *@1(!A  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 &uMx*TTY  

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第一篇光学多层膜设计 YooPHeQ  
第1章光学薄膜特性的理论计算 1](PuQm7+  
1.1单色平面电磁波 BD.>aAi!  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 vi1 D<  
1.3光学薄膜特性的理论计算 dvX
[,*wz  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 "z6xS;  
习题 n
;+`%;6  
第2章光学薄膜的设计理论 K275{ydN  
2.1矢量作图法 C^^AN~ZD  
2.2有效界面法 BGOajYD  
2.3对称膜系的等效层 :FN-.1C  
2.4导纳图解技术 , R;k>'.  
习题 H,q-*Kk  
第3章光学薄膜系统的设计 \)'5V!B|s  
3.1减反射膜 bK69Rb@\A  
3.2分束镜 gx ]5)O  
3.3高反射膜 5ca!JLs  
3.4干涉截止滤光片 7]`l"=/z  
3.5带通滤光片 Zk:_Yiki&  
3.6特殊膜系 ]H$Trf:L  
习题 ARd*c?Om  
参考文献 m<liPl uv  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 /a7N:Z_Bz  
第4章薄膜制备技术 W Yo>Md 8  
4.1真空淀积工艺 \'9(zbvz9  
4.2光学薄膜材料 vBLs88  
4.3薄膜厚度监控艺术 ?l>Ra0  
4.4膜层厚度的均匀性 dzRnI*  
习题 ]VcuD05"C  
参考文献 b'1m 9T780  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 bHK[Z5  
5.1薄膜的形成过程 =_=0l+\}  
5.2薄膜的微观结构 o5;|14O  
5.3薄膜的成分 3'zL,WW  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 jb83Y>  
5.5薄膜微观结构和改善 &WJ;s*  
习题 Min{&?a  
参考文献 'Y22HVUX  
第三篇光学薄膜检测技术 %$6?em_  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ,~G:>q$ad  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 K +l-A>Ic  
6.2薄膜反射率的测试 8JojKH  
6.3薄膜反射率的测量 U:q4OtiP  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 9yYNX;C  
6.5总结 !IC@^kkh{  
习题 KSve_CBOh  
参考文献 1deK}5'  
第7章薄膜的吸收和散射测量 J;S Z"I'  
7.1激光量热计基本原理 XES$V15  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 /:ju/~R}  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 R+5yyk\  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 eHc.#OA&  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 08_<G`r  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 TdL/tg!  
7.7总结 nU23D@l  
习题 vs2xx`Y<Lq  
参考文献 l(Y\@@t1  
第8章薄膜光学常数的测量 lGXr-K?+Y  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 z0 J:"M  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 30{+gYA  
8.3薄膜波导法 TeHxqWx  
8.4光学薄膜厚度的测试 nkkUby9  
8.5总结 *t bgIW+h  
习题 xgJyG.?  
参考文献 ,veo/k<"r8  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 `,s0^?_  
9.1薄膜的力学特性检测技术 4Ix~Feuph  
9.2薄膜器件的环境试验 `{&l _  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 ,!bcm  
9.4总结 )VeeAu)p  
习题 *qKf!&  
参考文献 0IxHB|^$  
附录 J:dNV<A^  
附录A复数与复数运算 l:(?|1_  
A.1复数的概念 \79aG3MyK  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 2#Y5*r's\  
A.3复数在物理中的运用 X<uH [  
附录B矩陈及矩陈运算 .#_g.0<  
B.1矩陈的定义 uWkuw5;  
B.2矩陈运算 ?jn";:  
附录C光的电磁理论基础 ]//Dd/L6  
C.1振动与波 =`t%p1   
C.2电磁波 A&`7 l5~X  
C.3麦克斯韦方程 jF6[+bW<  
C.4平面电磁波 6Z!OD(/e  
C.5平面电磁波性质 %iD'2e:  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 v;:. k,E0  
附录D光的干涉 Bw4PxJs-  
D.1波的叠加原理 e$4l[&kH_  
D.2杨氏干涉 eXCH*vZY  
D.3平板的表面干涉 p}lFV,V  
D.4光的空间相干性和时间相干性 18JAca8Zs  
附录E光的偏振 x<>In"QV
 
E.1自然光和偏振光 E|ZLz~  
E.2偏振光与Jones矩陈 ePY69!pO5e  
E.3偏振光的获得 J72YZrc  
E.4偏振光的检验 'cf8VD  
…… q&V=A[<rz  
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