现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 K]0JC/R6(@  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 [F6U+1n8e  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 Uh):b%bS;J  

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第一篇光学多层膜设计 (X3Tav  
第1章光学薄膜特性的理论计算 )(384@'"u  
1.1单色平面电磁波 ptZ <ow&  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 6'Worj  
1.3光学薄膜特性的理论计算 [6XF=L,!  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 fV'ZsJ N  
习题 csW43&  
第2章光学薄膜的设计理论 u2?|Ue@[  
2.1矢量作图法 Y*vW!yu  
2.2有效界面法 Ot6aRk  
2.3对称膜系的等效层 MfWyc_  
2.4导纳图解技术 S-|)QGxV6  
习题 `,(,t
n_  
第3章光学薄膜系统的设计 !74S  
3.1减反射膜 5X:*/FuS@  
3.2分束镜 G%W8S \  
3.3高反射膜 j?x>_#tIY  
3.4干涉截止滤光片 @dPTk"P  
3.5带通滤光片 sv&;Y\2c  
3.6特殊膜系 )j0TeE1R  
习题 <yNM%P<Oy  
参考文献 [c|]f_ZdK  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ikvWh<=>H  
第4章薄膜制备技术 5jgR4a*_v  
4.1真空淀积工艺 5?F__Hx*2  
4.2光学薄膜材料 ap+JQ@b  
4.3薄膜厚度监控艺术 +N:o-9  
4.4膜层厚度的均匀性 3GhRWB-U  
习题 \}"$ ?d'f  
参考文献 OZ~5*v  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 9E"vN  
5.1薄膜的形成过程 "q.\>MCv  
5.2薄膜的微观结构 .xm.DRk3  
5.3薄膜的成分 V#S9H!hm$  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 K)DDk9*  
5.5薄膜微观结构和改善 P>NF.BCq  
习题 a@UZb  
参考文献 SfaQvs
tN  
第三篇光学薄膜检测技术 n T{3o;A  
第6章薄膜透射率和反射率测量 |m^k_d!d  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 M$>1L  
6.2薄膜反射率的测试 xgKdMW'%g:  
6.3薄膜反射率的测量 65#'\+  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 fj;y}t1E]  
6.5总结 1Y7Eajt-5  
习题 hM6PP7XH  
参考文献 ]);%wy{Ho  
第7章薄膜的吸收和散射测量 zGAq-<  
7.1激光量热计基本原理
7G}2,ueI  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 3 I@}my1  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 t>`asL  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 $JMXV  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 \%f q  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 `\#B18eU  
7.7总结 pu 7{a  
习题 lFV N07hG  
参考文献 4GY[7^  
第8章薄膜光学常数的测量 LXC9I/j/  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 =E.t`x=  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ujR_"r|l  
8.3薄膜波导法 i*Sqda $  
8.4光学薄膜厚度的测试 LE9(fe) fe  
8.5总结 B"TAjB& *  
习题 UQC=g  
参考文献 7b;I+q  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 UBaAx21x  
9.1薄膜的力学特性检测技术 C9n?@D;S  
9.2薄膜器件的环境试验 =}DR) 9  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 V C24sU  
9.4总结 w[S pw<Z  
习题 QgU8s'e  
参考文献 %S*{9hm/  
附录 zMm#Rhn  
附录A复数与复数运算 :y%/u%L  
A.1复数的概念 D6>2s\:>vp  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 &]v4@%<J  
A.3复数在物理中的运用 k@f g(}6  
附录B矩陈及矩陈运算 mpuq 9)6  
B.1矩陈的定义 u'|4?"
uz  
B.2矩陈运算 r&R B9S@*h  
附录C光的电磁理论基础 GT}F9F~  
C.1振动与波 XWS%zL
aK  
C.2电磁波 ,9}h  
C.3麦克斯韦方程 A+"ia1p,}  
C.4平面电磁波 {|&5_][  
C.5平面电磁波性质 GqaDL3Niqs  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 _aad=BrMK  
附录D光的干涉 5Iy;oZ  
D.1波的叠加原理 f]`#J%P  
D.2杨氏干涉 njScz"L~  
D.3平板的表面干涉 &,c``z  
D.4光的空间相干性和时间相干性 oX S1QT`B  
附录E光的偏振
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E.1自然光和偏振光 T
Z(cu>  
E.2偏振光与Jones矩陈 w)kNkD  
E.3偏振光的获得 5NS[dQG5  
E.4偏振光的检验 K?B{rE Lp  
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