[求助]吸收怎么调整？从哪些方面入手呢？ [复制链接]

如图，比如说TI3O5短波吸收那么大，应该从哪些方面入手调整？恳请给些详细的见解 n+rM"Gxz  

一般是杂质或者膜质不均匀造成的。 7&foEJ3q  
杂质是膜料问题，膜质不均匀是工艺问题，另外Ti2O5本身在短波就有吸收。 ~)?|J  
充氧可以解决部分膜质不均匀的问题，最好是用射频离子源辅助镀膜。
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离子源能量不够容易造成发雾（散射），这是晶格尺寸造成的。 N
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调整温度可以改善，但是最简单的方法就是提高离子源能量。

我是高温镀的TI3O5，设定320°，射频离子源能量1100、1200。高温镀TI3O5，测试片表面蒙蒙的，是不是产生了结晶

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杂质是膜料问题，膜质不均匀是工艺问题，另外Ti2O5本身在短波就有吸收。 %{'4. ,  
充氧可以解决部分膜质不均匀的问题，最好是用射频离子源辅助镀膜。 vpLMhf`  
离子源能量不够容易造成发雾（散射），这是晶格尺寸造成的。 D#0O[F@l##  
调整温度可以改善，但是最简单的方法就是 .. (2025-12-18 20:48)  I$j|Rq  

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我是高温镀的TI3O5，设定320°，射频离子源能量1100、1200。高温镀TI3O5，测试片表面蒙蒙的，是不是产生了结晶。。

建议降低温度，调节充氧量试试

温度太高了。降到200°以下试试。离子源本来就有加热作用。

钛的镀膜温度250℃左右比较合适，吸收的话可通过调节充氧量，调节离子源参数，调节蒸发速度等来进行解决，但要做到无吸收基本上不可能，如果需要尽量小的吸收，Ta2O5材料更合适，虽然折射率会小不少。