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    [求助]吸收怎么调整?从哪些方面入手呢? [复制链接]

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    离线tfcalc68
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2025-12-18
    如图,比如说TI3O5短波吸收那么大,应该从哪些方面入手调整?恳请给些详细的见解 (Y8 LyY  
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    离线ouyuu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2025-12-18
    一般是杂质或者膜质不均匀造成的。 V$O6m|q  
    杂质是膜料问题,膜质不均匀是工艺问题,另外Ti2O5本身在短波就有吸收。 ZfH>UHft  
    充氧可以解决部分膜质不均匀的问题,最好是用射频离子源辅助镀膜。 .P/0 `A{&  
    离子源能量不够容易造成发雾(散射),这是晶格尺寸造成的。 9__B!vw:  
    调整温度可以改善,但是最简单的方法就是提高离子源能量。
    离线tfcalc68
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    只看该作者 2楼 发表于: 2025-12-19
    我是高温镀的TI3O5,设定320°,射频离子源能量1100、1200。高温镀TI3O5,测试片表面蒙蒙的,是不是产生了结晶
    离线tfcalc68
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    只看该作者 3楼 发表于: 2025-12-19
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:一般是杂质或者膜质不均匀造成的。 =<p=?16 x  
    杂质是膜料问题,膜质不均匀是工艺问题,另外Ti2O5本身在短波就有吸收。 P(b[|QF  
    充氧可以解决部分膜质不均匀的问题,最好是用射频离子源辅助镀膜。 d 94k  
    离子源能量不够容易造成发雾(散射),这是晶格尺寸造成的。 dhLR#m30T  
    调整温度可以改善,但是最简单的方法就是 .. (2025-12-18 20:48)  YX-j|m|  
    ."^\1N(.n  
    我是高温镀的TI3O5,设定320°,射频离子源能量1100、1200。高温镀TI3O5,测试片表面蒙蒙的,是不是产生了结晶。。
    离线度魔银
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    只看该作者 4楼 发表于: 2025-12-20
    建议降低温度,调节充氧量试试
    离线ouyuu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2025-12-23
    温度太高了。降到200°以下试试。离子源本来就有加热作用。