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    [求助]吸收怎么调整？从哪些方面入手呢？ [复制链接]

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    离线tfcalc68
    实习生
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 昨天 14:28
    如图，比如说TI3O5短波吸收那么大，应该从哪些方面入手调整？恳请给些详细的见解 \6R,Nq  
     
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    离线ouyuu
    论坛版主
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    光券
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    只看该作者 1楼 发表于: 昨天 20:48
    一般是杂质或者膜质不均匀造成的。 :cF[(i/k4  
    杂质是膜料问题，膜质不均匀是工艺问题，另外Ti2O5本身在短波就有吸收。 9{ >Ui  
    充氧可以解决部分膜质不均匀的问题，最好是用射频离子源辅助镀膜。 .P[ _<8  
    离子源能量不够容易造成发雾（散射），这是晶格尺寸造成的。 S/9DtXQ  
    调整温度可以改善，但是最简单的方法就是提高离子源能量。
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