现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 )=E~CpKV  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 '<&EPUO  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 7vpN6YP  

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第一篇光学多层膜设计 B3>Uba*-)}  
第1章光学薄膜特性的理论计算 KM5DYy2 A6  
1.1单色平面电磁波 : \:~y9X0  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 mfngbFa1  
1.3光学薄膜特性的理论计算 9]L!.  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 MLt'YW^  
习题 S#h'\/S  
第2章光学薄膜的设计理论 5hJYy`h~  
2.1矢量作图法 2z.8rNwT  
2.2有效界面法 uRm_  
2.3对称膜系的等效层 =X`]Ct8Z  
2.4导纳图解技术 l$-=Pqb  
习题 -eR!qy:.]5  
第3章光学薄膜系统的设计 gVa+.x]  
3.1减反射膜 q: TT4MUj<  
3.2分束镜 H-_^TB  
3.3高反射膜 Ig02M_  
3.4干涉截止滤光片 &Mhv XHI  
3.5带通滤光片 NMl ?Y uEv  
3.6特殊膜系 jSie&V@px  
习题 x
&R9${e%  
参考文献 KUp  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 pkXfsi-Nu  
第4章薄膜制备技术 >[|GC/
C  
4.1真空淀积工艺 :dY.D|j*  
4.2光学薄膜材料 29a_ZU7e6
 
4.3薄膜厚度监控艺术 obAs<nk  
4.4膜层厚度的均匀性 HJfQ]p'nK2  
习题 qe5tcv}u  
参考文献 .'^6QST  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 @V* ju  
5.1薄膜的形成过程 lL(p]!K'  
5.2薄膜的微观结构 I|g@
W_  
5.3薄膜的成分 z^gQ
\\,4  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 r~$}G-g  
5.5薄膜微观结构和改善 c~gNH%1XN  
习题 #Mj$o;SX  
参考文献 R`@8.]cpPy  
第三篇光学薄膜检测技术 ]aC':55(  
第6章薄膜透射率和反射率测量 @<D'-mMt  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 gp~yt0A
U  
6.2薄膜反射率的测试 a=J@yK  
6.3薄膜反射率的测量 ;x:k-s2-  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 /h}PEu3y  
6.5总结 cWN d<=Jp  
习题 J3/\<=Qh  
参考文献
@Jb@L  
第7章薄膜的吸收和散射测量 zwM"`z  
7.1激光量热计基本原理 r{t.c?/  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ,|T*|2Gm  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 xwTijSj  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 S}oG.r 9  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 pU?{0xZH  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 wGEWr2$  
7.7总结 %f3c7\=C  
习题 H$z>OS_6U  
参考文献 e>L5.~i  
第8章薄膜光学常数的测量 q';&SR#"`K  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 zKIGWH=qqm  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 F(Lb8\to\M  
8.3薄膜波导法 WGH%92  
8.4光学薄膜厚度的测试 y;Qy"-)qb  
8.5总结 W|)GV0YM  
习题 @GN(]t&3  
参考文献 3jvx2  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 QCeMKjCmY  
9.1薄膜的力学特性检测技术 fNmE,~
 
9.2薄膜器件的环境试验 R[x7QlA;  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 2dHM  
9.4总结 OENzG~  
习题 2]L=s3  
参考文献 R'rTE  
附录 ;tJWOm  
附录A复数与复数运算 %lN2n,AK  
A.1复数的概念 /_]ltXD  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 IikG/8lP  
A.3复数在物理中的运用 L ;6b+I  
附录B矩陈及矩陈运算 +"jl(5Q  
B.1矩陈的定义 ?nQ_w0j  
B.2矩陈运算 $z*@2Non  
附录C光的电磁理论基础 a "R7JjH  
C.1振动与波 eymi2-a<  
C.2电磁波 H5~1g6b@  
C.3麦克斯韦方程 59V#FW
e-  
C.4平面电磁波 O/mR9[}  
C.5平面电磁波性质 ]JH64~a  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 "[k1D_PZ  
附录D光的干涉 TYYp"wx  
D.1波的叠加原理 *D2Nm9sl  
D.2杨氏干涉 WrNLGkt  
D.3平板的表面干涉 X4a^mw\"  
D.4光的空间相干性和时间相干性 M|d={o9Hp  
附录E光的偏振 IE2CRBfs  
E.1自然光和偏振光 ]fj-`==  
E.2偏振光与Jones矩陈 KE<kj$  
E.3偏振光的获得 "jT#bIm  
E.4偏振光的检验 _IWxYp  
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