现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ! B)Em  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 B
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 6(ja5)sn*  

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第一篇光学多层膜设计 eN jC.w9  
第1章光学薄膜特性的理论计算 jliKMd<?  
1.1单色平面电磁波 e@Mm4&f[p  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 %|,j'V$  
1.3光学薄膜特性的理论计算 \<z{@  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 \j K?R 6  
习题 C(gH}N4  
第2章光学薄膜的设计理论 J\ 3~  
2.1矢量作图法 v1)jZ.:  
2.2有效界面法 ^AEg?[q  
2.3对称膜系的等效层 E26ZVFg  
2.4导纳图解技术 ^|gN?:fA}  
习题 4`*jF'N[  
第3章光学薄膜系统的设计 f8uVk|a  
3.1减反射膜 wPG3Ap8L  
3.2分束镜 q+m&V#FT%  
3.3高反射膜 8"S0E(,mu  
3.4干涉截止滤光片 7tt&/k?Q  
3.5带通滤光片 *?i~AXJm  
3.6特殊膜系 9h9Y:i*Gh5  
习题 xwz2N5  
参考文献 lFRgyEPH  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 h
y6px  
第4章薄膜制备技术 -EL"Sv?  
4.1真空淀积工艺 thq(tK7  
4.2光学薄膜材料 :z^c<KFX  
4.3薄膜厚度监控艺术 r\em-%:  
4.4膜层厚度的均匀性 s=KA(4p  
习题 F!N
x^M1  
参考文献 &Wn!W  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 U:IQWlC  
5.1薄膜的形成过程 ,':?3| $c  
5.2薄膜的微观结构 b2:CFtH5  
5.3薄膜的成分 GadD*psD2  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 <K2 )v~  
5.5薄膜微观结构和改善 #%E~IA%  
习题 Q4Cw{2r  
参考文献 *d)B4qG  
第三篇光学薄膜检测技术 wtRAq/  
第6章薄膜透射率和反射率测量 TT29LC@  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 o 0fsM;K  
6.2薄膜反射率的测试 OvQG%D}P=  
6.3薄膜反射率的测量 6rR}qV,+{  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 RJSNniYr7  
6.5总结 JZai{0se  
习题 |qZ4h
7wL  
参考文献 'Z;R!@Dm  
第7章薄膜的吸收和散射测量 zR]l2zL3  
7.1激光量热计基本原理 (Kx3:gs  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 `A?/Ww>;  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 i\N,4Fdor  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 sx|=*j,_  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ,.DU)Wi?}  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 t*n!kXa  
7.7总结 Wny{qj)=  
习题 V<(cW'zA/  
参考文献 Z(CzU{7c  
第8章薄膜光学常数的测量 ?L7z\b"_~  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 bY]aADv\  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 KZ&8aulP  
8.3薄膜波导法 ^F
_c
'  
8.4光学薄膜厚度的测试 %m{h1UQQ+  
8.5总结 gX]?`u  
习题 2}hEBw68  
参考文献 f`vB$r>  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ,@(lYeD
"  
9.1薄膜的力学特性检测技术 -R|v&h%T  
9.2薄膜器件的环境试验 *\-6p0~A  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 @#;~_?$?C  
9.4总结 Y+lZT4w  
习题 JrS|Ib)6  
参考文献 8*6U4R  
附录 .y|*  
附录A复数与复数运算 EtKy?]i  
A.1复数的概念 ,uK }$l  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 %nT!u!#  
A.3复数在物理中的运用  ig jr=e  
附录B矩陈及矩陈运算 ?3"lI,!0  
B.1矩陈的定义 A"d=,?yE  
B.2矩陈运算 51l:  
附录C光的电磁理论基础 {0QNqjue  
C.1振动与波 }-!0d*I  
C.2电磁波 r m\]  
C.3麦克斯韦方程 8)/d8@  
C.4平面电磁波 ;MR8E9  
C.5平面电磁波性质 9K~X}]u  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 "! m6U#^  
附录D光的干涉 GK~uoz:^O  
D.1波的叠加原理 (HDR}!.E  
D.2杨氏干涉 yIA-+# r[  
D.3平板的表面干涉 X8"4)IZ3  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ]]V|[g&aJ  
附录E光的偏振 u{o3  
E.1自然光和偏振光 ;y/&p d+  
E.2偏振光与Jones矩陈 2V:`':  
E.3偏振光的获得 #;z;8q  
E.4偏振光的检验 $mgW|TBXCQ  
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