现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 OL4z%mDZi  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 h-iJlm  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 <ZU=6Hq  

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第一篇光学多层膜设计 THmb
6^  
第1章光学薄膜特性的理论计算 j*~T1i
 
1.1单色平面电磁波 <uj8lctmP  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 J2uZmEt  
1.3光学薄膜特性的理论计算 AwQ?l(iZ"p  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 MZmb`%BZ  
习题 zYl#4O`=c  
第2章光学薄膜的设计理论 7G
DHz.IX  
2.1矢量作图法 V5}B:SUB  
2.2有效界面法 t&?im<  
2.3对称膜系的等效层 yf&7P;A  
2.4导纳图解技术 5`f@>r?  
习题 $-[CG7VgX%  
第3章光学薄膜系统的设计 cQ9q;r`%  
3.1减反射膜 o)'y.-@Q  
3.2分束镜 5dZ|!  
3.3高反射膜 r|,i'T  
3.4干涉截止滤光片 N!*_La=TuH  
3.5带通滤光片 Z@hD(MS(C  
3.6特殊膜系 aZ\UrV4,  
习题 fu~+8CE.  
参考文献 ;5@ t[r  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 SNY~9:;]f  
第4章薄膜制备技术 WxF:~{  
4.1真空淀积工艺 7RZh<A>m  
4.2光学薄膜材料 #r3l[bKK  
4.3薄膜厚度监控艺术 .^b;osAU  
4.4膜层厚度的均匀性 Wb S4pdA  
习题 8i?l02  
参考文献 y\&>ZyOY  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 52o x`t|  
5.1薄膜的形成过程 *OQG4aWy  
5.2薄膜的微观结构 o/ui)U_  
5.3薄膜的成分 *5xJv  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 +f[ED4E>'(  
5.5薄膜微观结构和改善 02Ia2e.f  
习题 vf8\i-U=  
参考文献 *cyeO*  
第三篇光学薄膜检测技术 NKQOUw:qn  
第6章薄膜透射率和反射率测量 j2 !3rI  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 1T:Y0  
6.2薄膜反射率的测试 3"rzb]=R  
6.3薄膜反射率的测量 -j&Tc`j_  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 5Ba[k[b^  
6.5总结 ^FnfJ:  
习题 29reG,>  
参考文献 t=xOQ8  
第7章薄膜的吸收和散射测量 r7Ya\0gU  
7.1激光量热计基本原理 _D|^.)=U|  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 \Y{k7^G}A  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ><=gV~7lx  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 /EG~sR
vl}  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 <7Ae-!>x  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 /<rt1&0  
7.7总结 5Vi>%5A>l  
习题 A19;1#$=  
参考文献 O iFS}p  
第8章薄膜光学常数的测量 HOBP`lf  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 u a\,->  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 }6 K^`!  
8.3薄膜波导法 3"{.37Q  
8.4光学薄膜厚度的测试 ~,2/JDVJ5-  
8.5总结 iPrLwheb  
习题 mg,j
:,  
参考文献 c5mZG7-  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 x
zx$TUL  
9.1薄膜的力学特性检测技术 w;l<[q?_  
9.2薄膜器件的环境试验 C{d7J'Avk  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 I<A6Z&*un  
9.4总结 JCW\ *R  
习题 |`jjHuQ;  
参考文献 l{D'uI[&  
附录 ){Ob,LEU&  
附录A复数与复数运算 ox ;  
A.1复数的概念 5 QO34t2  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 \Vl`YYjZ  
A.3复数在物理中的运用 M5x U9]B  
附录B矩陈及矩陈运算 [{X^c.8G)  
B.1矩陈的定义 S~Id5T:,  
B.2矩陈运算 yZ!T8"mz{  
附录C光的电磁理论基础 YX*Qd$chZ  
C.1振动与波 }ZqW@-  
C.2电磁波 RW P<B0)  
C.3麦克斯韦方程 bz| D-.  
C.4平面电磁波 Sua[O$  
C.5平面电磁波性质 m
:hY`[ f6  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Zo{$  
附录D光的干涉 ce6__f5?  
D.1波的叠加原理 \8uIER5)  
D.2杨氏干涉 vip~'  
D.3平板的表面干涉 D?Ux[Ozb  
D.4光的空间相干性和时间相干性 $O^v]>h  
附录E光的偏振 5 B=^v#m  
E.1自然光和偏振光 HfLLlH<L`&  
E.2偏振光与Jones矩陈 8?FbtBAn  
E.3偏振光的获得 m5Tr-w$QY  
E.4偏振光的检验 $mCarFV-T  
…… [7YP
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