现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 H^PqYLjN  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 E,D:D3O  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 G<^]0`"+)t  

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第一篇光学多层膜设计 Wt)SdF=U/  
第1章光学薄膜特性的理论计算 Z(k\J|&9C  
1.1单色平面电磁波 c<h!Q
nJ  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 L^ #<HQ  
1.3光学薄膜特性的理论计算 51ajE2+X&  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 )Rhff$  
习题 _z(5e  
第2章光学薄膜的设计理论 ?y*+^E0  
2.1矢量作图法 'K@{vB  
2.2有效界面法 ,7fc41O3V  
2.3对称膜系的等效层 e9Ul A  
2.4导纳图解技术 q~Q)'*m  
习题 qv0 DrL,3  
第3章光学薄膜系统的设计 ~ S?-{
X+  
3.1减反射膜 $uFh$f  
3.2分束镜 EB29vHAt~  
3.3高反射膜 ]zvVY:v  
3.4干涉截止滤光片 9"HmHy&:E  
3.5带通滤光片 #[U9(44,  
3.6特殊膜系 O{B e )E~  
习题 aO^:dl5  
参考文献 (+gL#/u  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 l\=-+'Y  
第4章薄膜制备技术 -#S)}NEn  
4.1真空淀积工艺 Vh#Mp!  
4.2光学薄膜材料 Rgfc29(8  
4.3薄膜厚度监控艺术 ANFg]g.Az  
4.4膜层厚度的均匀性 o1#:j?sN  
习题 E&];>3C  
参考文献 /J[H5uA  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 RhV:Z3f`6  
5.1薄膜的形成过程 $p0 /6c  
5.2薄膜的微观结构 Q9yGQu  
5.3薄膜的成分 %7NsBR!y  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ie$`pyj!x  
5.5薄膜微观结构和改善 4j=<p@  
习题 Q_QKm0!  
参考文献 CCW%G,$U9  
第三篇光学薄膜检测技术 0j{F^rph  
第6章薄膜透射率和反射率测量 WG8iTVwx  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 F%PwIB~cy  
6.2薄膜反射率的测试 7ZV~op2Q  
6.3薄膜反射率的测量 p- "Z'$A`  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 42V,PH6o  
6.5总结 {y
wXz|TP  
习题 GJIWG&C03  
参考文献 "xDx/d8B  
第7章薄膜的吸收和散射测量 B=Zl&1  
7.1激光量热计基本原理 jJ*@5?A  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ^nHB1"OCV  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Q5p+W  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 mfeMmKFu\  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ?~aZ#%*i8  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 <2)s<S.;  
7.7总结 uq!;  
习题 _e?q4>B)c  
参考文献 ^s^JzFw  
第8章薄膜光学常数的测量 @cuD8<\i  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 49+ >f
 
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 E\]OySC%C$  
8.3薄膜波导法 2SDh0F  
8.4光学薄膜厚度的测试 fg9?3x Z  
8.5总结 J$#h(D%  
习题 y:[BP4H?y  
参考文献 ;dqk@@O"(  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 JkSdLj  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ~Na=+}.q_  
9.2薄膜器件的环境试验 x],8yR)R  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 ?
w+ QbT  
9.4总结 !;o\5x<'$O  
习题 M11"<3]D  
参考文献 r-RCe3%g%  
附录 *2JH_Cj`  
附录A复数与复数运算 ds*m6#1b  
A.1复数的概念 ,c4c@|Bh?  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 *:=];1O  
A.3复数在物理中的运用 I86e&"40  
附录B矩陈及矩陈运算 xn(+G$m  
B.1矩陈的定义 D9qX->p  
B.2矩陈运算 *0%4l_i  
附录C光的电磁理论基础 5/& 1Oxo  
C.1振动与波 ss?]  
C.2电磁波 5cD XWF  
C.3麦克斯韦方程 XzlKP;r0  
C.4平面电磁波 t*{,Gk  
C.5平面电磁波性质 9o-!ecx}  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 )46 0Ed  
附录D光的干涉 \\=.6cg<K  
D.1波的叠加原理 UdT&cG  
D.2杨氏干涉 5^)?mA  
D.3平板的表面干涉 [f<"p[  
D.4光的空间相干性和时间相干性 BJ~ivT<  
附录E光的偏振 cyW;,uT)D  
E.1自然光和偏振光 K*_-5e  
E.2偏振光与Jones矩陈 ?VFM]hO  
E.3偏振光的获得 ?22d},.  
E.4偏振光的检验 f?,-j>[.=f  
…… TE3*ktB{N
 
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