现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 tp"eXA0n  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 >C5u>@%
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 zG%'Cw)8  

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第一篇光学多层膜设计 F0kAQgUv  
第1章光学薄膜特性的理论计算 LXth-j=]  
1.1单色平面电磁波 w xaMdA  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 fL-$wK<p<  
1.3光学薄膜特性的理论计算 +KTHZpp!c2  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Zv8GrkK  
习题 P*ZMbAf.  
第2章光学薄膜的设计理论 Z(LTHAbBk|  
2.1矢量作图法 \0e`sOS`L  
2.2有效界面法 Vkf{dHjW  
2.3对称膜系的等效层 :N_DJ51
 
2.4导纳图解技术 ^q|W@uG-(  
习题 =<K6gC27  
第3章光学薄膜系统的设计 iG=Di)O  
3.1减反射膜 ZhC,nbM  
3.2分束镜 ttBqp|.?S  
3.3高反射膜 U+["b-c  
3.4干涉截止滤光片 mO8/eVws[M  
3.5带通滤光片 <29K! [  
3.6特殊膜系 5x,/p  
习题 ]9W7]$  
参考文献 rJRg4Rog  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 P%!=Rj^2m  
第4章薄膜制备技术 PY+4OZ$  
4.1真空淀积工艺 V&Rwj_Y  
4.2光学薄膜材料 43O5|8o  
4.3薄膜厚度监控艺术 1FT3d  
4.4膜层厚度的均匀性 `'pAiu  
习题 -]n%+,3L  
参考文献 uZI7,t-7  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 {&6i
$4T  
5.1薄膜的形成过程 i;29*"  
5.2薄膜的微观结构 YJ~
mcaw  
5.3薄膜的成分 K7nyQGS  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 !*?9n^PaF  
5.5薄膜微观结构和改善 5
9+KOQul6  
习题 N8J(RR9O  
参考文献 h b8L[ 4  
第三篇光学薄膜检测技术 uW!saT5o  
第6章薄膜透射率和反射率测量 i1bmUKZ8'L  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 *O_^C  
6.2薄膜反射率的测试 ki1j~q  
6.3薄膜反射率的测量 )V_;]9<wt  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 _,d<9 Y)  
6.5总结 Ji6.
-[:  
习题 :l?mNm5  
参考文献 o-;/x)  
第7章薄膜的吸收和散射测量 64>CfU(  
7.1激光量热计基本原理 Sn' +~6i  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 j"VDqDDz  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 33&\E- Q>  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 i` ay9J8N  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 O}}rosA  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 <z>oY2%  
7.7总结 'G>9iw  
习题 KCH`=lX  
参考文献 pUW7
p  
第8章薄膜光学常数的测量 3=*ur( Qy  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Z/|=@gpw  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ^6LnB#C&  
8.3薄膜波导法 Ed2A\S6tl  
8.4光学薄膜厚度的测试 h ^s8LE3  
8.5总结 !+QfQghAT  
习题 WJ[>p ELT,  
参考文献 @7V~CNB+  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 aUA)p}/:  
9.1薄膜的力学特性检测技术 a#& ( i  
9.2薄膜器件的环境试验 nr,Z0  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 }d;6.~Gw  
9.4总结 Xil;`8h  
习题 g-]~+7LL  
参考文献 j]vEo~Bbh  
附录 )?c,&  
附录A复数与复数运算 ;-;lM6zP  
A.1复数的概念 <^_crJONom  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 gx?r8  
A.3复数在物理中的运用 "^
a"`?J  
附录B矩陈及矩陈运算 ;oDr8a<A  
B.1矩陈的定义 ()F{kM8  
B.2矩陈运算 qPN9Put  
附录C光的电磁理论基础 D{[{&1\)r  
C.1振动与波 Re %dNxJ=  
C.2电磁波 D!.1R!(Z  
C.3麦克斯韦方程 I3d}DpPx%  
C.4平面电磁波 qd#7A ksm  
C.5平面电磁波性质 {8`$~c  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ecR)8^1 '  
附录D光的干涉 sf->8  
D.1波的叠加原理 ?:-:m'jdU  
D.2杨氏干涉 "Aw)0a[j1  
D.3平板的表面干涉 AQT_s9"0  
D.4光的空间相干性和时间相干性 r\Yh'cRW{  
附录E光的偏振 CyW|k Dz  
E.1自然光和偏振光 =6"5kz10  
E.2偏振光与Jones矩陈 qMA-#  
E.3偏振光的获得 Au}l^&,zN  
E.4偏振光的检验 `|nCnT'  
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