现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 >M
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 @*N)i?>  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 u),Qa=Wp  

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第一篇光学多层膜设计 stl 1QO(h  
第1章光学薄膜特性的理论计算 " }gVAAvc7  
1.1单色平面电磁波 .V9e=yW!*  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 }H4=HDO  
1.3光学薄膜特性的理论计算 3 vP(SIF  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 PALl sGlf  
习题 eg"Gjp-4=  
第2章光学薄膜的设计理论 y@bcYOh3  
2.1矢量作图法 _?7#MWe&  
2.2有效界面法 g_*T?;!.U  
2.3对称膜系的等效层 ^ OJyN,A  
2.4导纳图解技术 lor8@Qz  
习题 *MNHT`Y^o  
第3章光学薄膜系统的设计 "i.r@<)S  
3.1减反射膜 1xNVdI  
3.2分束镜 BIaDY<j90  
3.3高反射膜 QlFZO4 P3|  
3.4干涉截止滤光片 <BWkUZz\P|  
3.5带通滤光片 /5AW?2)  
3.6特殊膜系 ub0zJTFJ#  
习题 Mkp/0|Q*  
参考文献 1RLY $M  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 <O?y-$~  
第4章薄膜制备技术 FFhtj(hVgc  
4.1真空淀积工艺 ;wiao(t>4N  
4.2光学薄膜材料 1PaUI#X"2F  
4.3薄膜厚度监控艺术 ^da44Qqu  
4.4膜层厚度的均匀性 HC {XX>F^  
习题 mAgF73,3  
参考文献 O40+M)e]  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 wmNHT _  
5.1薄膜的形成过程 4Ph0:^i_  
5.2薄膜的微观结构 +`mGK:>  
5.3薄膜的成分 80}+MWdo  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 MOn,Db$  
5.5薄膜微观结构和改善 4:3rc
7_ 1  
习题 F+UG'4%  
参考文献 e
/_C  
第三篇光学薄膜检测技术 >!e<}84b  
第6章薄膜透射率和反射率测量 .%EL\2  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 CDj~;$[B  
6.2薄膜反射率的测试 ubMOD<  
6.3薄膜反射率的测量 Mpue   
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 RhI;;
Y#@  
6.5总结 B@Co'DV[/]  
习题 _3iHkQr  
参考文献 ubsSa}$q  
第7章薄膜的吸收和散射测量 i>L+gLW  
7.1激光量热计基本原理 O-vGyNxP|  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 P;ZU-G4@  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 lv0nEj8F  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 :pX`?Ew`g  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 %A1@&xrbl  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 #TK~eHi  
7.7总结 eO=s-]mk  
习题 L(S'6z~_9  
参考文献 wCs^J48=  
第8章薄膜光学常数的测量 a/Q$cOs  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 z@|dzvjl Q  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 &adI (s~  
8.3薄膜波导法 V!%jf:k  
8.4光学薄膜厚度的测试 &K_)#v`|  
8.5总结 0Q,g7K<d  
习题 v dbO(  
参考文献 M4LP$N  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ;rI@*An  
9.1薄膜的力学特性检测技术 p?[Tm*r  
9.2薄膜器件的环境试验 k-V,~c  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 %)jxW
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9.4总结 !1T\cS#1%  
习题 A,CW_  
参考文献 [u@Jc,  
附录 G
2 ]H6G$M  
附录A复数与复数运算 A61^[Y,dX_  
A.1复数的概念 UsGa  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 @}_WE,r  
A.3复数在物理中的运用 T#%/s?_>.  
附录B矩陈及矩陈运算 mOpTzg@  
B.1矩陈的定义 OV2-8ERS  
B.2矩陈运算 #&<)! YY5  
附录C光的电磁理论基础 cEW0;\
$  
C.1振动与波 wHZW `  
C.2电磁波 2n><RZ/9  
C.3麦克斯韦方程 eg<bi@C1|  
C.4平面电磁波 fy@avo9  
C.5平面电磁波性质 |yyO q  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 "q}FPJ^l_N  
附录D光的干涉 (Q[fS:U  
D.1波的叠加原理 g,`A[z2  
D.2杨氏干涉 %:>3n8n  
D.3平板的表面干涉 h'J|K^na  
D.4光的空间相干性和时间相干性 O1%pxX'`S  
附录E光的偏振 nMDxH$O  
E.1自然光和偏振光 xX3'bsN  
E.2偏振光与Jones矩陈 ?1L
.:CS  
E.3偏振光的获得 U~{du;\  
E.4偏振光的检验 bn 6WjJ~Z+  
…… 4${jr\q]  
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