现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 X|q0m3jt  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ?PQiVL  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ]D]K_`!K  

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第一篇光学多层膜设计 .LS.Z 4@  
第1章光学薄膜特性的理论计算 T(}da**X  
1.1单色平面电磁波 SMy&K[hJ[  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 V('b|gsEo  
1.3光学薄膜特性的理论计算 [a Z)*L ;  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 QMsnfG  
习题 v m$v[  
第2章光学薄膜的设计理论 M<L<mP}  
2.1矢量作图法 xAO]u[J  
2.2有效界面法 [&4y@  
2.3对称膜系的等效层 i'u;"ot=  
2.4导纳图解技术 VuR BJ2D  
习题 :Oj+Tc9A  
第3章光学薄膜系统的设计 GkO6r'MVE  
3.1减反射膜 wb?hfe  
3.2分束镜 D|BN_ai9  
3.3高反射膜 ZN1p>+oY!  
3.4干涉截止滤光片 g[n8N
{s  
3.5带通滤光片 IpP0|:}  
3.6特殊膜系 [/kO>  
习题 V:+bq`  
参考文献 S`^W#,rj  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 iUKj:q:  
第4章薄膜制备技术 WT)")0)[  
4.1真空淀积工艺 4CCux4)N  
4.2光学薄膜材料 FSB$D)4z>b  
4.3薄膜厚度监控艺术 K_xOY *  
4.4膜层厚度的均匀性 &sWyh[`P  
习题 +Oscy-;  
参考文献 O^:h_L  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 r6)1Y`K=9  
5.1薄膜的形成过程 9..k/cH  
5.2薄膜的微观结构 ~_&.A*Jh  
5.3薄膜的成分 M}<=~/k`j
 
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Rb0{t[IU  
5.5薄膜微观结构和改善 -a[{cu{  
习题 O o:jP6r  
参考文献 *l^'v9  
第三篇光学薄膜检测技术 *LVM}| f  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Yp)U'8{h c  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 )X/Faje  
6.2薄膜反射率的测试 K_aN7?#.v`  
6.3薄膜反射率的测量 {|%O)fr,
 
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 #Q"vwek  
6.5总结 #jJcgR<  
习题 l_%~X9"  
参考文献 gK(4<PO'  
第7章薄膜的吸收和散射测量 dNobvK  
7.1激光量热计基本原理 a3 x~B=E  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 <7^~r(DP  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 H^g<`XEgw  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 &^H "T6  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ;cr6Xop#?  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 h"ylpv+  
7.7总结 }}_uN-m  
习题 m+UdT854  
参考文献 $%JyM  
第8章薄膜光学常数的测量 :ct+.#  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 (0Cszm.  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ,LZ:y1z'V-  
8.3薄膜波导法 L'Zud,JKg  
8.4光学薄膜厚度的测试 v~Qy{dn P  
8.5总结 clw91yrQn  
习题 f zO8by  
参考文献 R!,)?j;  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 r<v%Zp  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ~S6{VK.  
9.2薄膜器件的环境试验 ntV>m*^  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 D8Rmxq!  
9.4总结 oDUMoX%4s  
习题 %ZyPK,("  
参考文献 hH}/v0_jb  
附录 S$52KOo  
附录A复数与复数运算 b<AE}UK  
A.1复数的概念 @3c#\jx  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 E{s|#  
A.3复数在物理中的运用 bO
MP8{H,  
附录B矩陈及矩陈运算 Pfx71*u,  
B.1矩陈的定义 (N|xDl&;  
B.2矩陈运算 I;-5]/,  
附录C光的电磁理论基础 +3>/,w(x  
C.1振动与波 ; ZV^e  
C.2电磁波 HDyZzjgG  
C.3麦克斯韦方程 *hs<Ez.cC  
C.4平面电磁波 2TEeP7  
C.5平面电磁波性质 :QV6z*#zD  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 -/c1qLdQ  
附录D光的干涉 /'6[*]IZP  
D.1波的叠加原理 \)Z
X4rs{8  
D.2杨氏干涉 O^weUpe\  
D.3平板的表面干涉 43=-pyp  
D.4光的空间相干性和时间相干性 dY@Tt&k8E  
附录E光的偏振 cGta4;  
E.1自然光和偏振光 D{c>i`\G  
E.2偏振光与Jones矩陈 Z'dI!8(Nf  
E.3偏振光的获得 8M+F!1-#  
E.4偏振光的检验 P=[x!}.I  
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