现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ""LCyKu   
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 8WT^ES~C  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 <HReh>)[  

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第一篇光学多层膜设计 6g\SJO-;N  
第1章光学薄膜特性的理论计算 Dw\)!,,i7U  
1.1单色平面电磁波 ?9jl8r>  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射
g.3 . C?  
1.3光学薄膜特性的理论计算 BK,h$z7#6  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 O0|**Km\+  
习题 -p|JJx?r  
第2章光学薄膜的设计理论 H)#HK!F6f  
2.1矢量作图法 %Pl 7FHfB  
2.2有效界面法 W*D]?hXU;  
2.3对称膜系的等效层 P(H,_7 4  
2.4导纳图解技术 r3~~4Q4XI>  
习题 TRB)cJZ?  
第3章光学薄膜系统的设计 E:EXp7  
3.1减反射膜 0}(ZW~&1  
3.2分束镜 AGxtmBB;  
3.3高反射膜 SkGh@\  
3.4干涉截止滤光片 F_KPhe$  
3.5带通滤光片 <Q-Y$ ^\  
3.6特殊膜系 .23z\M8 -  
习题 .u
u[f2.N+  
参考文献 ;'^5$q  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 WD"3W)!  
第4章薄膜制备技术 <p_r{
  
4.1真空淀积工艺 z^tws*u],5  
4.2光学薄膜材料 Gp}:U>V)  
4.3薄膜厚度监控艺术 l)JNNcej  
4.4膜层厚度的均匀性
)(&Z&2~A  
习题 /jBjqE;_  
参考文献 #Y)Gos  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ym>>5(bni  
5.1薄膜的形成过程 fpj,~+  
5.2薄膜的微观结构 DA>_9o/l  
5.3薄膜的成分 ~g&Fe
Mo  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 @fDWp/  
5.5薄膜微观结构和改善 [&IJy  
习题 ?kOtK  
参考文献 *-KgU'u?  
第三篇光学薄膜检测技术 |nfFI  
第6章薄膜透射率和反射率测量 < 5%:/j  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 *3,GQ%~/z  
6.2薄膜反射率的测试 v37TDY3;  
6.3薄膜反射率的测量 iy{n"#uX  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 w!~%v #  
6.5总结 ?Hb5<,1u3  
习题 .}AzkKdd@  
参考文献 sbWen?  
第7章薄膜的吸收和散射测量 w Pk\dyP  
7.1激光量热计基本原理 ".n,R"EF  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 :/F=j;o  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 p i;,?p-  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 tbx* }uy2  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 %/b3G*$W  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 2WKYf0t  
7.7总结 }N^A (`L  
习题 b4l=Bg"  
参考文献 D..dGh.MY  
第8章薄膜光学常数的测量 <=]wh
|D  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数
AFd3_>h  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 =qQH,{]c6  
8.3薄膜波导法 {km~,]N
  
8.4光学薄膜厚度的测试 QkEIV<T&)l  
8.5总结 ^A4bsoW  
习题 %kod31X3<  
参考文献 -vRZCIj!  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 d0@&2hO  
9.1薄膜的力学特性检测技术 J%_m`?  
9.2薄膜器件的环境试验 +<
\)b(  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 W%3<"'eP  
9.4总结 ?`m#Y&O
i  
习题 >";I3S-t  
参考文献 .?16w`Y  
附录 {FIr|R&  
附录A复数与复数运算 K>!+5A$6i  
A.1复数的概念 F&ud|X=m  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 0^5*@vt  
A.3复数在物理中的运用 av}Giz  
附录B矩陈及矩陈运算 q
9cN2|:  
B.1矩陈的定义 S;!l"1[;  
B.2矩陈运算 \!+sL JP  
附录C光的电磁理论基础 H$M#+EfL  
C.1振动与波  j-H2h  
C.2电磁波 q%G"P*g$(  
C.3麦克斯韦方程 MF7q*f  
C.4平面电磁波 $#b@b[h<w  
C.5平面电磁波性质 XXx]~m  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 =/ b2e\  
附录D光的干涉 T
#HW{3  
D.1波的叠加原理 {S+ $C  
D.2杨氏干涉 2X:OS/  
D.3平板的表面干涉 )SX2%&N  
D.4光的空间相干性和时间相干性 \yQs[l%J  
附录E光的偏振 K2'Il[  
E.1自然光和偏振光 EAPLe{qw:q  
E.2偏振光与Jones矩陈 +,"O#`sy<  
E.3偏振光的获得 K\bA[5+N  
E.4偏振光的检验 ws^ 7J/8  
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