现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 sY?sQ'E2]  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 +R"n_6N  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 BJ{?S{"6%G  

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第一篇光学多层膜设计 Mo4c8wp&SM  
第1章光学薄膜特性的理论计算 A>\3FeU>UC  
1.1单色平面电磁波 <eZrb6a'  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ,Bj]j -\Y  
1.3光学薄膜特性的理论计算 =nlj|S ~3  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 $paE6X^  
习题 qos/pm$
&i  
第2章光学薄膜的设计理论 Fzz9BEw(i  
2.1矢量作图法 V(Oi!(H;v  
2.2有效界面法 Omph(
  
2.3对称膜系的等效层 [YJ*zO  
2.4导纳图解技术 ajX] ui  
习题 EF;B)y=  
第3章光学薄膜系统的设计 Wj, {lJ,  
3.1减反射膜 #;UoZJ B  
3.2分束镜 FA;B:O@:'  
3.3高反射膜 }TDq7-(g  
3.4干涉截止滤光片 wV,=hMTd&\  
3.5带通滤光片  JY_!G  
3.6特殊膜系 MPLeqk$;  
习题 PmT<S,}L  
参考文献 |C>\ku*  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 2hTsjJ!'  
第4章薄膜制备技术 wd
1>L) T  
4.1真空淀积工艺 jRxzZt4  
4.2光学薄膜材料 <ILi38%Y  
4.3薄膜厚度监控艺术 muO;g&  
4.4膜层厚度的均匀性 l I2UpfkBP  
习题 ,? Q1JZPy@  
参考文献 {fMo#`9=  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 |WW'qg]Uu  
5.1薄膜的形成过程 l s%
'\}  
5.2薄膜的微观结构 :^]FpUY  
5.3薄膜的成分 jI$7vmO  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 N5b&tJbM0  
5.5薄膜微观结构和改善 eGo$F2C6E  
习题 ~xc0Ky?8  
参考文献 S(:|S(  
第三篇光学薄膜检测技术
b)T6%2  
第6章薄膜透射率和反射率测量 G
z7,g Y  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 H-8_&E?6m  
6.2薄膜反射率的测试 8'u,}b)  
6.3薄膜反射率的测量 
GD!!xt  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 d!"gb,ec  
6.5总结 lT'V=,Y t  
习题 u3HaWf3  
参考文献 $[b1_Db  
第7章薄膜的吸收和散射测量 yaAg!mW  
7.1激光量热计基本原理 #?~G\Ux0/  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 .iST!nh  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 3)XS^WG  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 g5 y*-t  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 *k0;R[IAV  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 %}{.U  
7.7总结 KCn#*[  
习题 cN)noGkp  
参考文献 ,;yaYF6|/  
第8章薄膜光学常数的测量 %gTY7LIe1z  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 &cf_?4  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 f1t?<=3Ek<  
8.3薄膜波导法 d)0 hAdh  
8.4光学薄膜厚度的测试 M*F`s&vM  
8.5总结 Y }8HJTMB  
习题 Dj w#{WR  
参考文献 07Oagq(  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 %3q7i`AZ  
9.1薄膜的力学特性检测技术 Bc}e ??F  
9.2薄膜器件的环境试验 P}-S[[b73s  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 '@#l/9
 
9.4总结 M\kct7Y  
习题 pFEU^]V3*  
参考文献 EtDzmpJR>  
附录 ?#L5V'ZZ*  
附录A复数与复数运算 'he&h4fm  
A.1复数的概念 83Fmu/(  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 P2 +^7x?  
A.3复数在物理中的运用 /-g%IeF  
附录B矩陈及矩陈运算 "=0JYh)%_  
B.1矩陈的定义 mMad1qCi7  
B.2矩陈运算 wA6<BujD  
附录C光的电磁理论基础 jDW$}^ 6  
C.1振动与波 b>|d Q  
C.2电磁波 _Tf0L<A'R  
C.3麦克斯韦方程 {|tMN,Z  
C.4平面电磁波 9RY}m7
 
C.5平面电磁波性质 Y>K3.*.  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 (M%ZSF V  
附录D光的干涉 J(`(PYo\i  
D.1波的叠加原理 ~<=wTns!  
D.2杨氏干涉 =`wnng5m  
D.3平板的表面干涉 ]$A6krfh|  
D.4光的空间相干性和时间相干性 M_\)<a(8  
附录E光的偏振 lUHpGr|U%  
E.1自然光和偏振光 %X(|Z4dL  
E.2偏振光与Jones矩陈 0j[%L!hny  
E.3偏振光的获得 @34CaZ$k  
E.4偏振光的检验 \eS-wO7%  
…… $p.0[A(N  
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