现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 <(i5hmuVd  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ~ 7<M6F  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ],Yy)<e.  

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第一篇光学多层膜设计 uF<?y0t  
第1章光学薄膜特性的理论计算 !;0K=~(Y^  
1.1单色平面电磁波 x_r*<?OZ  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 D"%>  
1.3光学薄膜特性的理论计算 BvUiH<-D  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 n#@Qd!uzM  
习题 m"QDc[^Ge  
第2章光学薄膜的设计理论 ?:G 3U\M  
2.1矢量作图法 $tej~xZK  
2.2有效界面法 RGrQ>'RL  
2.3对称膜系的等效层 bF5"ab0  
2.4导纳图解技术
:>U+HQll  
习题 dFyGI?  
第3章光学薄膜系统的设计 p}<60O"r$  
3.1减反射膜 4u+0 )<  
3.2分束镜 u1=K#5^  
3.3高反射膜 fH$#vRcq  
3.4干涉截止滤光片 _*MK"  
3.5带通滤光片 8:>V'j  
3.6特殊膜系 v*%52_
 
习题 w 5?D]u  
参考文献 PcqS#!t  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 6q6xqr:W  
第4章薄膜制备技术 I Zw  
4.1真空淀积工艺 %"eR0Lj+zq  
4.2光学薄膜材料 PjH'5Y  
4.3薄膜厚度监控艺术 ,[)l>!0\H  
4.4膜层厚度的均匀性 ?{e}ouKYX1  
习题 Hf\sF(, (  
参考文献 tRZ4\Bu  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 dvU{U@:sz  
5.1薄膜的形成过程 <fM}Kk  
5.2薄膜的微观结构 q=Vh"]0g  
5.3薄膜的成分 EO~L.E%W  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 D:f=Z?L)>  
5.5薄膜微观结构和改善 S0QLM)  
习题 &*%x]fQ@  
参考文献 uYWD.]X;[  
第三篇光学薄膜检测技术 Fx|`0LI+C  
第6章薄膜透射率和反射率测量 IWq#W(yM  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 m\X\Xp~A  
6.2薄膜反射率的测试 J=t}9.H~=  
6.3薄膜反射率的测量 L!lmy&1  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 =$fz</S=J  
6.5总结 .7  0  
习题 a4*976~![  
参考文献 M/dgW`c  
第7章薄膜的吸收和散射测量 %9a3$OGZX  
7.1激光量热计基本原理 }Sbk qd5  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 bWAa: r  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 r9OgezER  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 _p*8ke  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Uq
$/Q7  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 :C(/yg  
7.7总结 #Pp:H/b  
习题 )Wr_*>xj  
参考文献 D2kmBZ3  
第8章薄膜光学常数的测量 eNK[P=-  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 DZtpY{=Z  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法  d]`6N  
8.3薄膜波导法 _eOC,J<-~  
8.4光学薄膜厚度的测试 "`V@?+3  
8.5总结 9`*Eeb>  
习题 jD6HCIjd'  
参考文献 OyF=G^w  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 /HpM17   
9.1薄膜的力学特性检测技术 A*?PH`bY  
9.2薄膜器件的环境试验 b4i=%]v8  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Q(nTL WW  
9.4总结 j2<+[h-  
习题 TZ5TkE;1  
参考文献 e
IY`RMo (  
附录 YHQ]]#'  
附录A复数与复数运算 uR5+")r@S  
A.1复数的概念 ]s AuL
!  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ?$ e]K/
*  
A.3复数在物理中的运用 ,"(G  
附录B矩陈及矩陈运算 zR?R,k)m  
B.1矩陈的定义 3ai[ r  
B.2矩陈运算 w\o6G7  
附录C光的电磁理论基础 jJ$B^Y"4  
C.1振动与波 <@KIDZYC  
C.2电磁波 8%#8PLB2  
C.3麦克斯韦方程 9 A ?{}c  
C.4平面电磁波 0BlEt1e2T  
C.5平面电磁波性质 x?{UWh%  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 $h{m")]  
附录D光的干涉 >X$JeME3  
D.1波的叠加原理 ,r
w4Lo  
D.2杨氏干涉 +9b{Y^^~T  
D.3平板的表面干涉 _w4G|j$C  
D.4光的空间相干性和时间相干性 |VWT4*K  
附录E光的偏振 uI7n{4W*x  
E.1自然光和偏振光 >,{sFc  
E.2偏振光与Jones矩陈 hi1Ial\Y  
E.3偏振光的获得 U]sAYp^$  
E.4偏振光的检验 QPDh!A3T  
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