现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 <NZ^*]  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 YUU|!A8x  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 /` 891(f,  

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第一篇光学多层膜设计 bfy `UZr  
第1章光学薄膜特性的理论计算 yQ5&S]Xk$$  
1.1单色平面电磁波 rqbX9M^  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ]H<5]({F  
1.3光学薄膜特性的理论计算 l*_%K}%?V  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 5$Lo]H*  
习题 T&Z%=L_Q  
第2章光学薄膜的设计理论 tZ,vt7  
2.1矢量作图法 r \+&{EEG  
2.2有效界面法 eQ_dO]Q  
2.3对称膜系的等效层 8}9|hT;  
2.4导纳图解技术 v$c*3H.seM  
习题 d#
P3 <  
第3章光学薄膜系统的设计 [SGt ~bRJ  
3.1减反射膜 9s\(yC8h  
3.2分束镜 1-[~}  
3.3高反射膜 t I}@1  
3.4干涉截止滤光片 09z%y[z  
3.5带通滤光片 *)0bifw$&  
3.6特殊膜系 td!WgL,m  
习题 l9"4"+?j<  
参考文献 q>:>f+4  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 (O{5L(  
第4章薄膜制备技术 <tkxE!xF`J  
4.1真空淀积工艺 F[PIo7?K  
4.2光学薄膜材料 bl@0+NiM  
4.3薄膜厚度监控艺术 /N6sH!w  
4.4膜层厚度的均匀性 ~XAtt\WS  
习题 ]"bkB+I  
参考文献 9Fb|B  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 }YUUCq&  
5.1薄膜的形成过程 Zwy8SD'L  
5.2薄膜的微观结构 [P,YW|:n  
5.3薄膜的成分 Hik8u!#P  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 n+Ofbiz@  
5.5薄膜微观结构和改善 l{oAqTN  
习题 /3|uU  
参考文献 sVP[7&vr~  
第三篇光学薄膜检测技术 3=o^Vv  
第6章薄膜透射率和反射率测量 i!8 o(!I  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 
7tWt3  
6.2薄膜反射率的测试 Fx#0 :p  
6.3薄膜反射率的测量 0l-m:6
 
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 mNkS!(L6  
6.5总结 Mda~@)7$  
习题 5Pmmt&#/Z  
参考文献 X
E8~R5  
第7章薄膜的吸收和散射测量 wI'8B{[  
7.1激光量热计基本原理 4T#B7wVoM  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 |lH~nU.*  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 dm3cQ<
0  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 Mf0!-bu  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 K07SbL7g!p  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 }`k >6B  
7.7总结 gQy{OU  
习题 mq~rD)T  
参考文献 ;)Rvk&J5  
第8章薄膜光学常数的测量 QuFcc}{<]  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 {2kw*^,l  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 WK7=z3mu  
8.3薄膜波导法 LL,&!KW[S  
8.4光学薄膜厚度的测试 z9mmZqhK\  
8.5总结 Bi?.w5  
习题 y[7*^9J  
参考文献 Jp)>Wd  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 bA]/p%rZ8  
9.1薄膜的力学特性检测技术 &.k'Dj2hf  
9.2薄膜器件的环境试验 MGn:Gj"d  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 KQsS)ju  
9.4总结 bni :B?#  
习题 Id8^6FLw  
参考文献 S-^y;#=  
附录 I!bzvPJ]xc  
附录A复数与复数运算 ;u;YfOr  
A.1复数的概念 oQJK}9QR  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 #;. tVo I  
A.3复数在物理中的运用 f(q
^R  
附录B矩陈及矩陈运算 :nki6Rkowt  
B.1矩陈的定义 $LUNA.  
B.2矩陈运算 ,ry2J,IT7  
附录C光的电磁理论基础 =IBdnEz:M  
C.1振动与波 dP0!?J Y  
C.2电磁波 B.2F\ub g  
C.3麦克斯韦方程 MsOO''o  
C.4平面电磁波 Zf;1U98oC  
C.5平面电磁波性质 ]>h2h?2te  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 `X?l`H;#  
附录D光的干涉 _%Q\G,a;  
D.1波的叠加原理 rtcY(5Q  
D.2杨氏干涉 2%g)0[1  
D.3平板的表面干涉 [sG=(~B
U  
D.4光的空间相干性和时间相干性 /$zYSP)YT  
附录E光的偏振 b{H&%Jx)  
E.1自然光和偏振光 k>#,1GbNZy  
E.2偏振光与Jones矩陈 'qBg^c  
E.3偏振光的获得 CFD& -tED&  
E.4偏振光的检验 <rc3&qmd  
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