现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 A[)od  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 k]?M^jrm  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 |`d,r.+P7  

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第一篇光学多层膜设计 ^T*^L=L_(  
第1章光学薄膜特性的理论计算 $Lg%CY  
1.1单色平面电磁波 :aHD'K  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 eLE9-K+  
1.3光学薄膜特性的理论计算 tKg\qbY&
 
1.4光学多层膜内的电场强度分布 DwM4/m  
习题 L(tS]yWHw  
第2章光学薄膜的设计理论 %
SORs(4  
2.1矢量作图法 v\7k  
2.2有效界面法 \;AW/&Ea  
2.3对称膜系的等效层 kw)@[1U  
2.4导纳图解技术 L$zI_ z  
习题 KY'"Mg^!  
第3章光学薄膜系统的设计 GBOz,_pw  
3.1减反射膜 HRS|VC$tz  
3.2分束镜 Jg#L8>p1  
3.3高反射膜 d.y2`w
T  
3.4干涉截止滤光片 r"#h6lYK&  
3.5带通滤光片 04-phEA2Q  
3.6特殊膜系 lOp/kGmn+  
习题 JmN,:bI  
参考文献 N!" ]e*q  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 H{|a+  
第4章薄膜制备技术 47I5Y5  
4.1真空淀积工艺 UJ' +Z6d  
4.2光学薄膜材料 ^aVoH/q*C  
4.3薄膜厚度监控艺术 _nu %`?Va  
4.4膜层厚度的均匀性 +js3o@Ku{\  
习题 
5wX
e^G  
参考文献 *8k`m)h26  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Ycb<'M*jE  
5.1薄膜的形成过程 !NuYx9L?L  
5.2薄膜的微观结构 w7\:S>;(O"  
5.3薄膜的成分 v8g3]MVj3  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 6w{^S~rqo  
5.5薄膜微观结构和改善 q|m8G  
习题 wP3PI.g-g  
参考文献 Zrfp4SlZZ  
第三篇光学薄膜检测技术 g3{)AX[Uy  
第6章薄膜透射率和反射率测量 #|^7{TN   
6.1光谱分析测试系统的基本原理 U,/NygB~  
6.2薄膜反射率的测试 ;cZ9C 1  
6.3薄膜反射率的测量 2L.UEAt  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 g#FqjE|mx  
6.5总结 g-xbb&]  
习题 M"F?'zTkJ  
参考文献 X?$Eb  
第7章薄膜的吸收和散射测量 Lc^nNUzPo  
7.1激光量热计基本原理 )>at]mH  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 'T[=Uuj"  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 %kD WUJZ  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 KmV#% d  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 9,5v%HZ  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 +AyQ4Q(-o  
7.7总结 Y5LESZWo  
习题 P,AS`=z  
参考文献 pfg"6P  
第8章薄膜光学常数的测量 rPK?pJ  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 y5?T`ts,#  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 eG# (9  
8.3薄膜波导法 P&| =  
8.4光学薄膜厚度的测试 0<{/T*AU:  
8.5总结 lsW.j#yE!  
习题 5WP[-J)  
参考文献 'N='B<^;%  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 Hk2@X(  
9.1薄膜的力学特性检测技术 x=1G|<z%  
9.2薄膜器件的环境试验 M@!Gk  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 H*|Bukgt/M  
9.4总结 Cd#*Wp)s  
习题 'DsfKR^s  
参考文献 s5|LD'o!  
附录 [gzU/:  
附录A复数与复数运算 f]$g9H  
A.1复数的概念 _KmpC>J+  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 9YHSL[  
A.3复数在物理中的运用 EN.yU!N.4  
附录B矩陈及矩陈运算 UkNC|#l)  
B.1矩陈的定义 H?40yu2m5  
B.2矩陈运算 hl}#bZ8]  
附录C光的电磁理论基础 ?O4Dhu  
C.1振动与波 i[3$Wi$  
C.2电磁波 qa^x4xZM  
C.3麦克斯韦方程 9ciL<'H\  
C.4平面电磁波 c}Z,xop<P{  
C.5平面电磁波性质 U YUIpe  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 m)_1->K  
附录D光的干涉 w0/W=!_  
D.1波的叠加原理 ]CC~Eo-%-  
D.2杨氏干涉 ?2EzNNcS  
D.3平板的表面干涉 qx0o,oZN!  
D.4光的空间相干性和时间相干性
N0 ?O*a  
附录E光的偏振 ~w]1QHA'f  
E.1自然光和偏振光 4Hzbb#  
E.2偏振光与Jones矩陈 MW*}+ PC
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E.3偏振光的获得 Ur&: Rr  
E.4偏振光的检验 k})9(Sy~  
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