现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 w|6?A-  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 =Ti@Y  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 o0F,!}  

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第一篇光学多层膜设计 ,UC|[-J  
第1章光学薄膜特性的理论计算 "VHT5k  
1.1单色平面电磁波 [\ Sd*-  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 !>ZBb\EyK  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ?azLaAG  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 \CE+P5  
习题 KF@%tR}V{  
第2章光学薄膜的设计理论 VAjl?\}6  
2.1矢量作图法 6/Yo0D>M$  
2.2有效界面法 PX0N7L  
2.3对称膜系的等效层 8.^`~ta  
2.4导纳图解技术 /.rj\,  
习题 6vxRam6[??  
第3章光学薄膜系统的设计 " W{rS4L  
3.1减反射膜 c+7I  
3.2分束镜 [`E_/95  
3.3高反射膜 l-20X{$m:  
3.4干涉截止滤光片 -^t.eZ*|  
3.5带通滤光片 GUM-|[~  
3.6特殊膜系 Wd(|w8J{a  
习题 8 $H\b &u  
参考文献 [+CFQf>  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 3D5adI<aq"  
第4章薄膜制备技术 N%q{CYF6  
4.1真空淀积工艺 :SO4@JT{W  
4.2光学薄膜材料 xC=$ym]  
4.3薄膜厚度监控艺术 zVe,HKF/  
4.4膜层厚度的均匀性 Oml3=TV  
习题 nGK=Nf.5  
参考文献 x
*tCm8`{  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 oRcP4k;d=  
5.1薄膜的形成过程 $AvaOI.l  
5.2薄膜的微观结构 'Z,7{U1P  
5.3薄膜的成分 /#"9!8%V  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 W>?aZv  
5.5薄膜微观结构和改善 S;iD~>KP  
习题 |F'eT 4  
参考文献 RtxAIMzh?  
第三篇光学薄膜检测技术 KyDd( 'i  
第6章薄膜透射率和反射率测量 0$Zh4Y  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 )' ,dP)b  
6.2薄膜反射率的测试 p
14$XV  
6.3薄膜反射率的测量 : 4lR`%  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 Rf>V]R  
6.5总结 p<Tg}fg  
习题 yDe*-N\'W  
参考文献 =*6frC~  
第7章薄膜的吸收和散射测量 i?#U>0!  
7.1激光量热计基本原理 0|0IIgy  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 j\Fbi3H  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 -
)bu&  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 zH~g5xgh  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 @^-f+o  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 )liNjY@  
7.7总结 |\"%Dy[m  
习题 K&dc< 4DC  
参考文献 K7(GdKZe  
第8章薄膜光学常数的测量 X.q#ZpK  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 eUgKwu;  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 y|9 LtQ  
8.3薄膜波导法 #a8i($k{e  
8.4光学薄膜厚度的测试 -A:'D8o#f  
8.5总结 ,s@S`KS0  
习题 d)$seZB  
参考文献 5$$]ZMof  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 Ur""&@  
9.1薄膜的力学特性检测技术 F:0 E- z'  
9.2薄膜器件的环境试验 b+CvA(*  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Na.e1A&?j  
9.4总结 )^E6VD&6  
习题  M[R'  
参考文献 RcI0n"Gi_  
附录 (t,|FkVLV  
附录A复数与复数运算 Fy_~~nI0  
A.1复数的概念 x^pHP
|<3`  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 tf9a- s  
A.3复数在物理中的运用 UC00zW<Z@"  
附录B矩陈及矩陈运算 Ye>+  
B.1矩陈的定义 oOQ0f |MGp  
B.2矩陈运算 9!D c=  
附录C光的电磁理论基础 =A"z.KfV  
C.1振动与波 G#'G9/Tm  
C.2电磁波 AIA4c"w.EO  
C.3麦克斯韦方程 pSpxd|k  
C.4平面电磁波 {UhpN"'"n  
C.5平面电磁波性质 sNC~S%[  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 S8]YS@@D   
附录D光的干涉 uv7tbI"r  
D.1波的叠加原理 %9t=Iu*  
D.2杨氏干涉 MPsm)jq
X  
D.3平板的表面干涉 LQ"xm  
D.4光的空间相干性和时间相干性 %-NG eN8  
附录E光的偏振 $[(FCS  
E.1自然光和偏振光 qKuHd~M{ 1  
E.2偏振光与Jones矩陈 mi sPJO&QD  
E.3偏振光的获得 L i`OaP$  
E.4偏振光的检验 \3j4=K'nE  
…… 93Qx+oK]  
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