现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 $aP(|!g  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 "'tRfB  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 _N#&psQzw  

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第一篇光学多层膜设计 ]n v( aM?d  
第1章光学薄膜特性的理论计算 Fvl`2W94;  
1.1单色平面电磁波 d/
U."
V}  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 jPJAWXB4a  
1.3光学薄膜特性的理论计算 .b>TK  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 %|IUqjg  
习题 M7dU@Ag  
第2章光学薄膜的设计理论 SgM.B  
2.1矢量作图法 W{Q)-y  
2.2有效界面法
~brFo2  
2.3对称膜系的等效层 "QY1.:o<(  
2.4导纳图解技术 /9hR  
习题 zK5bO=0j  
第3章光学薄膜系统的设计 b`~wGe  
3.1减反射膜 \V%_hl  
3.2分束镜 8tc*.H{^+  
3.3高反射膜 (xT*LF+  
3.4干涉截止滤光片 fE;Q:# Z.  
3.5带通滤光片
q-AN[_@  
3.6特殊膜系 7TWNB{ K_  
习题 <Oz66bTze  
参考文献 3LK%1+)4  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 =uV,bG5V1  
第4章薄膜制备技术 h4`9Cfrq,  
4.1真空淀积工艺 Zhi})d3l  
4.2光学薄膜材料 "4 k-dj  
4.3薄膜厚度监控艺术  ?J&)W,~  
4.4膜层厚度的均匀性 kBsXfVs
9  
习题 1y[B[\  
参考文献 7_)|I? =0d  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 '"xiS$b(  
5.1薄膜的形成过程 =3'(A14C=  
5.2薄膜的微观结构 Fdt}..H%  
5.3薄膜的成分 wK*PD&nN  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 `deYi2z  
5.5薄膜微观结构和改善 S+I^!gT  
习题 optBA3@e!  
参考文献 j\2[H^   
第三篇光学薄膜检测技术 l5J.A@0  
第6章薄膜透射率和反射率测量 `wO}H
z  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 iuAq.$oi{  
6.2薄膜反射率的测试 [.cq{6-
  
6.3薄膜反射率的测量 |*\C{
b  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ElR)Gd_8  
6.5总结 bkv/I{C>?  
习题 `,#!C`E 9  
参考文献 +{-]P\oc  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ->oz#   
7.1激光量热计基本原理 w|Q
d`  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 _z"o1`{w  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 P. V\ov7m2  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 %z)EO9vtr  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 EXbTCT}`x  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 #PAU'u 3{/  
7.7总结 {LB`)Kuu  
习题 Zu#<  
参考文献 r+\/G{+=}  
第8章薄膜光学常数的测量 =5s$qb?#  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 lB:l)!]||=  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 !J^tg2M8:  
8.3薄膜波导法 ^k72{ 3N(  
8.4光学薄膜厚度的测试 {ymb\$f  
8.5总结 O E|+R4M  
习题 Pj!%ym3A  
参考文献 hyu}}0:  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 UR:n5V4  
9.1薄膜的力学特性检测技术 L@A9{,9Pl  
9.2薄膜器件的环境试验 z,+m[x=/N  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 >\bPZf)tJ)  
9.4总结 x# 8IZ  
习题 8=4^Lm  
参考文献 ;=p;v .l  
附录 k3yxx]Rk/  
附录A复数与复数运算 ^!uO(B&  
A.1复数的概念 1t2cY;vJ  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 i+ic23$4M  
A.3复数在物理中的运用 aBlbg3q  
附录B矩陈及矩陈运算 k?-S`o%Q  
B.1矩陈的定义 i./Y w
 
B.2矩陈运算 e"_"vbk  
附录C光的电磁理论基础 P^4'|#~2T  
C.1振动与波 9::YR;NY  
C.2电磁波 L>:FGNf^H  
C.3麦克斯韦方程 7}07Pit  
C.4平面电磁波 k2
uBaj]  
C.5平面电磁波性质 n/-N;'2J  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 _IKQ36=  
附录D光的干涉 a71}y;W  
D.1波的叠加原理 )"~=7)~<^  
D.2杨氏干涉 4K #^dJnC  
D.3平板的表面干涉 (WMLNv  
D.4光的空间相干性和时间相干性 _z%\
'(l+  
附录E光的偏振 4Q&mC"  
E.1自然光和偏振光 y`+<X{V5L  
E.2偏振光与Jones矩陈 V*uEJ6T  
E.3偏振光的获得 b,vL8*  
E.4偏振光的检验 u[J7Y  
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