现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 f`9rTc  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 6P*)rye  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 QV H'06"{  

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第一篇光学多层膜设计 /L|}Y242  
第1章光学薄膜特性的理论计算 LjQ1ar\  
1.1单色平面电磁波   [aS)<^  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 w%o4MFK=!  
1.3光学薄膜特性的理论计算 f93X5h
FnF  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 uF3p1by  
习题 5B.??;xtaV  
第2章光学薄膜的设计理论 ])wMUJWg2  
2.1矢量作图法 y0&HXX#\  
2.2有效界面法 5 EuJ  
2.3对称膜系的等效层 3F'dT[;  
2.4导纳图解技术 q\HBAry  
习题 ]ifHA# z`~  
第3章光学薄膜系统的设计 ,WDAcQ8\  
3.1减反射膜 -0r"#48(%  
3.2分束镜 5NF&LM;i(  
3.3高反射膜 MJ"Mn^:/  
3.4干涉截止滤光片 }NBJ T4R  
3.5带通滤光片 !6/IKh`J  
3.6特殊膜系 4"X>_Nt6  
习题 VUv.Tx]Z[  
参考文献 K<w5[E9V.  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 k`~br249  
第4章薄膜制备技术 e/Oj T  
4.1真空淀积工艺 S2 h  
4.2光学薄膜材料 'sQO0611S  
4.3薄膜厚度监控艺术 PRlo"kN  
4.4膜层厚度的均匀性 P_g0G#`4  
习题 ,0~ {nQj]  
参考文献 .z>." `  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 {uM{5GSL  
5.1薄膜的形成过程 $)7f%II  
5.2薄膜的微观结构 rLVc<595  
5.3薄膜的成分 ~0'l,  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 u
lSTR f  
5.5薄膜微观结构和改善 }0nB'0|y  
习题 U?ic$J]N  
参考文献 RH4n0=2  
第三篇光学薄膜检测技术 ,L:)ZZgN  
第6章薄膜透射率和反射率测量 +}0*_VW  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 :(p rx   
6.2薄膜反射率的测试 r=||sZs  
6.3薄膜反射率的测量 *Z2Q]?:{ i  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 m.a
1  
6.5总结 lKwT5ma7  
习题 RR[TW;  
参考文献 %R"/`N9R,  
第7章薄膜的吸收和散射测量 #R PB;#{  
7.1激光量热计基本原理 zwrZ^  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ;k%sKVP  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 a[cH@7W.#  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ~JPzjE  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 \ g(#)f  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 *K.7Zf0  
7.7总结 y]Tn#4 ,/  
习题 j2qfEvU  
参考文献 :tG".z  
第8章薄膜光学常数的测量 ;Hr@0f  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 4H=sD t  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 UnF4RF:A2&  
8.3薄膜波导法 xa0%;nFKe  
8.4光学薄膜厚度的测试 H 7F~+Q-}  
8.5总结 3}1+"? s  
习题 FEmlC,%  
参考文献 ZxPAu%Y  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 DmPsltpzQ  
9.1薄膜的力学特性检测技术 6i9I 4*'  
9.2薄膜器件的环境试验 _-\{k
J  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 (4{9 QO  
9.4总结 {$:13AnK  
习题 esFL<T  
参考文献 &.4_4"l(  
附录 =~m"TQv  
附录A复数与复数运算 13kb~'+&r  
A.1复数的概念 d$~b`  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 PQ1NQy8  
A.3复数在物理中的运用 '="){  
附录B矩陈及矩陈运算 N,Bs% p#1  
B.1矩陈的定义 9cj-v}5j  
B.2矩陈运算 B:.;:AEbT  
附录C光的电磁理论基础 R_&z2I  
C.1振动与波 B8Zd#.6]  
C.2电磁波 oXkhj,{y5  
C.3麦克斯韦方程 EC#10.  
C.4平面电磁波 .Q)"F /  
C.5平面电磁波性质 @il}0  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 O^%ace1  
附录D光的干涉 .WE0T|qDX  
D.1波的叠加原理 94@
!.11  
D.2杨氏干涉 Hv*O9!cC  
D.3平板的表面干涉 >G~;2K[  
D.4光的空间相干性和时间相干性 io3'h:+9s  
附录E光的偏振 +0 |0X {v  
E.1自然光和偏振光 @cGql=
t  
E.2偏振光与Jones矩陈 :+!b8[?Z  
E.3偏振光的获得 ra2q. H  
E.4偏振光的检验 Oh4WYDyT  
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