现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 K lPm=  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 N+ak[axN  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 4u7c7K>\Y  

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第一篇光学多层膜设计 DX]z=d)tc  
第1章光学薄膜特性的理论计算 cYBrRTrI#  
1.1单色平面电磁波 hhN(;.  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 tsCz+MP  
1.3光学薄膜特性的理论计算 8 ))I$+  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 *Cc$eR]-  
习题 [YL sEo=  
第2章光学薄膜的设计理论 @^w!% ?J  
2.1矢量作图法 8^&fZL',  
2.2有效界面法 #g5't4zqx  
2.3对称膜系的等效层 Zw3hp,P]  
2.4导纳图解技术 nS?S6G5h  
习题 PX+"" #  
第3章光学薄膜系统的设计 C.DoXE7  
3.1减反射膜 %D%e:se  
3.2分束镜 /v<e$0~s<  
3.3高反射膜 EBN]>zz  
3.4干涉截止滤光片 o(S^1j5  
3.5带通滤光片 6%Cna0x:&  
3.6特殊膜系 8' WLm  
习题 {
EiG23!qV  
参考文献 *,Aa9wa{  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 si+5h6I.}  
第4章薄膜制备技术 ^MF=,U'8  
4.1真空淀积工艺 &q"uy:Rd  
4.2光学薄膜材料 dja9XWOg  
4.3薄膜厚度监控艺术 % B7?l  
4.4膜层厚度的均匀性 o =jX  
习题 :6HiP&<  
参考文献 &**.naSo  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 $n_sGr  
5.1薄膜的形成过程 kC,DW%Ls  
5.2薄膜的微观结构 DVeF(Y3&  
5.3薄膜的成分 btkMY<o7  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 }J4BxBuV8  
5.5薄膜微观结构和改善 }&'yt97+  
习题 t's5~  
参考文献 {#d
`&]  
第三篇光学薄膜检测技术 [{Klv&>_/  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ]2u7?l  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 0Zp<=\!;  
6.2薄膜反射率的测试 +eH=;8  
6.3薄膜反射率的测量 QvyUd%e'5A  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 g*\v}6 h  
6.5总结 ).@)t:uNa  
习题 +LU).  
参考文献 07E".T%Ts  
第7章薄膜的吸收和散射测量 iI/'!85  
7.1激光量热计基本原理 j2C^1:s@m  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 `cy"-CJS  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ,m_&eF  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 '~!l(&X  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Qr xO erp  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 Luu-c<*M  
7.7总结 jDkc~Wwa  
习题 >O[^\H!\  
参考文献 {U2|):  
第8章薄膜光学常数的测量 LVz%$Cq,0  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 22H=!.DJ  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 1tK6lrhj  
8.3薄膜波导法 ;Ef)7GE@\[  
8.4光学薄膜厚度的测试 ,YuWz$aF{  
8.5总结 WLA_YMlA  
习题 Q'V,?#  
参考文献 1OJD\wc  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 1QdB`8in  
9.1薄膜的力学特性检测技术 OYCFx2{  
9.2薄膜器件的环境试验 }j5@\c48  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 S4AB tKG  
9.4总结 aWi]
t'_  
习题 j$/uJ`  
参考文献 1pBsr(  
附录 eWt>^]H~  
附录A复数与复数运算 "NI>H
O.U  
A.1复数的概念 _}%#Yz  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ^IegR>  
A.3复数在物理中的运用 97@?QI}  
附录B矩陈及矩陈运算 rD)v%vvr&`  
B.1矩陈的定义 H0Gp mKYW  
B.2矩陈运算 .J! $,O@  
附录C光的电磁理论基础 TuhL:  
C.1振动与波 ;`Ch2b1+  
C.2电磁波 0}3'h#33=  
C.3麦克斯韦方程 nJ`a1L{N  
C.4平面电磁波 J!
gWRw5  
C.5平面电磁波性质 2nz'/G  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 y8 u)Q  
附录D光的干涉 IF21T  
D.1波的叠加原理 d}G."wnG9,  
D.2杨氏干涉 V?pO~qo  
D.3平板的表面干涉 $@!&ML  
D.4光的空间相干性和时间相干性 dg@/HLZ  
附录E光的偏振 Bwvc@(3v  
E.1自然光和偏振光 JqhVD@1{  
E.2偏振光与Jones矩陈 h]z|OhG  
E.3偏振光的获得 ktJLpZ<0O  
E.4偏振光的检验 ]3cf}Au  
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