现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 jNbVp{%/S}  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ['>ZC3?"h  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ;/NC[:'$D  

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第一篇光学多层膜设计 zWPX  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ,g'>
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1.1单色平面电磁波 /IcGJ&;  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 _{):w~zi  
1.3光学薄膜特性的理论计算 7Z9'Y?[m  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 d&G]k!|\  
习题 z\FBN=54z  
第2章光学薄膜的设计理论 _KloX{a  
2.1矢量作图法 Qu<6X@+5  
2.2有效界面法 AP z"k?D0  
2.3对称膜系的等效层 #Fo#f<bp  
2.4导纳图解技术 /\Cf*cJ  
习题 ;4dFL\KU  
第3章光学薄膜系统的设计 kE6/
d,
 
3.1减反射膜 erv94acq  
3.2分束镜 VJ h]j(  
3.3高反射膜 pC,Z=+:  
3.4干涉截止滤光片
ObZhQ.&  
3.5带通滤光片 E"[p_ALdC  
3.6特殊膜系 !m))Yp-"H  
习题 ?=)lbSu K  
参考文献 dHAT($QG  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 H9'psv  
第4章薄膜制备技术 Kt qOA[6  
4.1真空淀积工艺 ?zP 2   
4.2光学薄膜材料 s[eSPSFZ  
4.3薄膜厚度监控艺术 vC1fKo\p  
4.4膜层厚度的均匀性 yX*$PNL5w  
习题 3st?6?7|  
参考文献 GwXhn2  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 jLn#%Ia}  
5.1薄膜的形成过程 RIUJX{?  
5.2薄膜的微观结构 u,:hT] ~+  
5.3薄膜的成分 i@D4bd9lR  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 oR8'^G0<  
5.5薄膜微观结构和改善 ->OVNmCB`+  
习题 EF$ASN
h"  
参考文献 z.(DDj  
第三篇光学薄膜检测技术 ^AI02`c.  
第6章薄膜透射率和反射率测量 og8hc~:ro  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 *MlEfmB(  
6.2薄膜反射率的测试 LRWM}'.s  
6.3薄膜反射率的测量 IP{$lC  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 qGhg?u"n:  
6.5总结 5~UW=   
习题 ]8"U)fzmc.  
参考文献 aso8,mpZuA  
第7章薄膜的吸收和散射测量 7jxx,#I:  
7.1激光量热计基本原理 bbjEQby  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 8G$BQ  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 8JQ\eF$ma  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 7l/ZRz}1  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ZXo;E  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 "doiD=b  
7.7总结 0=U|7%dOL  
习题 &RbPN^  
参考文献 ?zC{T*a  
第8章薄膜光学常数的测量 1_!?wMo:f  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 qe(gKKA%q  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 /9gn)q2f(  
8.3薄膜波导法 }pf|GdL  
8.4光学薄膜厚度的测试 qAd=i0{N  
8.5总结 }=\?]9`  
习题 | @ ut/  
参考文献 rZ n@i  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 )HI
\T];  
9.1薄膜的力学特性检测技术 nql9SQ'\\  
9.2薄膜器件的环境试验 .Mb0++% W  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 {9{X\|  
9.4总结 /TPtPq<7:#  
习题 ' =5B  
参考文献 :JX2GRL4  
附录 PW5)") z  
附录A复数与复数运算 =NY55t.  
A.1复数的概念 X=1o$:7  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 $mAC8a_Zu  
A.3复数在物理中的运用 'ZI8nMY  
附录B矩陈及矩陈运算 $v#`2S(7  
B.1矩陈的定义 }[lP^Qs  
B.2矩陈运算 W,H8B%e  
附录C光的电磁理论基础 EAXl.Y. $  
C.1振动与波 sCt)Yp+8}B  
C.2电磁波 `V<jt5TS  
C.3麦克斯韦方程 ORF:~5[YS`  
C.4平面电磁波 bW! &n  
C.5平面电磁波性质 (p12=EB<  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 :] U\{;q2  
附录D光的干涉 | ?vm.zp  
D.1波的叠加原理 L~;(M6Jp  
D.2杨氏干涉 8kdJtEW3  
D.3平板的表面干涉 -8FUR~WJ  
D.4光的空间相干性和时间相干性 6|B9kh}  
附录E光的偏振 w< Xwz`O  
E.1自然光和偏振光 ^Y+
C!I  
E.2偏振光与Jones矩陈 @q>Hl`a  
E.3偏振光的获得 `#l3a
 
E.4偏振光的检验 x$o^;2Z  
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