现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 bwI"V
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 tL M@o|:  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 *i {e$Zv'  
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第一篇光学多层膜设计 n~ZZX={a  
第1章光学薄膜特性的理论计算 qERJEyU?  
1.1单色平面电磁波 n#
sK31;yb  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 =7[}:haB{  
1.3光学薄膜特性的理论计算 cRE6/qrXGg  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 S9[Y1qH>K  
习题 NA$%Up  
第2章光学薄膜的设计理论 ^kke  
2.1矢量作图法 \Hw*q|  
2.2有效界面法 p6&<eMwFA  
2.3对称膜系的等效层 OC)=KV@KE  
2.4导纳图解技术 DOOF--ua  
习题 j`#H%2W\;  
第3章光学薄膜系统的设计 ' g d=\gV  
3.1减反射膜 ix"BLn]YZ  
3.2分束镜 "wCx]{Di  
3.3高反射膜 [hV}$0#E[O  
3.4干涉截止滤光片 cl`7|;v|?  
3.5带通滤光片 WD1>{TSn  
3.6特殊膜系 I+( b!(H  
习题 4I9Yr
 
参考文献 z4(`>z2a  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 raZkH8  
第4章薄膜制备技术 =!)x`1j!S  
4.1真空淀积工艺 nzZs2  
4.2光学薄膜材料 9z`72(  
4.3薄膜厚度监控艺术 K'B*D*w  
4.4膜层厚度的均匀性 "MK2QIo  
习题 <{h\Msx%  
参考文献 OO</d:  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 9
Vl}f^Gn  
5.1薄膜的形成过程 _ gGA/   
5.2薄膜的微观结构 hAt4+O&P  
5.3薄膜的成分 ' 6)Yf}I  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响
my/KsB  
5.5薄膜微观结构和改善 'u%vpvF  
习题 l%xTF@4e  
参考文献 @6Lp$w  
第三篇光学薄膜检测技术 >I-rsw2  
第6章薄膜透射率和反射率测量 <Mu T7x-  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 KyQTrl.qdl  
6.2薄膜反射率的测试 fg lN_  
6.3薄膜反射率的测量 *3
]2vq  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ~0[(-4MA  
6.5总结 |~#A?mK
-  
习题 l*{Bz5hc  
参考文献 X,Rl&K\b"  
第7章薄膜的吸收和散射测量 C/QrkTi=  
7.1激光量热计基本原理 MPKrr  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 JH u>\{8V  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 \RtFF  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ^IyYck'y+  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 w~&#:F?
  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 a5aHv/W#P  
7.7总结 +SE\c  
习题 =qbN?a/?2  
参考文献 L8H:,} 2  
第8章薄膜光学常数的测量 FS=LpvOG)  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 PVIZ Y^64  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ~]].i~EV(  
8.3薄膜波导法 s:iBl/N}  
8.4光学薄膜厚度的测试 u+ hRaI;v  
8.5总结 ^)GaVL^"5  
习题 Z9MR"!0  
参考文献 ]Yf^O @<<>  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 !@wUARQ  
9.1薄膜的力学特性检测技术 U
|{4=[  
9.2薄膜器件的环境试验 Jw#7b[a  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 bBV03_*  
9.4总结 J}+N\V~
 
习题 "q1S.3V;  
参考文献 U&=pKbTe  
附录 UbGnU_}  
附录A复数与复数运算 N-t"CBTO  
A.1复数的概念 kM[!UOnC!<  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 |@d}O8  
A.3复数在物理中的运用 +IWf~|s  
附录B矩陈及矩陈运算 .t8hTlV?<B  
B.1矩陈的定义 ~ ^D2]j  
B.2矩陈运算 6k![v@
2R  
附录C光的电磁理论基础 mXS"nd30bD  
C.1振动与波 Qa\,)<'D:  
C.2电磁波  (:o:_U  
C.3麦克斯韦方程 N{ $?u  
C.4平面电磁波 VbMud]40F  
C.5平面电磁波性质 ~-y&C%  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Q+wO\TtE  
附录D光的干涉 J]w3iYK  
D.1波的叠加原理 T8)X?>CIW  
D.2杨氏干涉 + !"YC  
D.3平板的表面干涉 ~c] q:pU2  
D.4光的空间相干性和时间相干性 !`4ie  
附录E光的偏振 w{lj'3z I  
E.1自然光和偏振光 k.2GIc:5  
E.2偏振光与Jones矩陈
-3ANNj  
E.3偏振光的获得 l_$>$d  
E.4偏振光的检验 &<_q00F  
…… EVBOubV  
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