现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 mW=9WV  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ]%2y`Jrl^W  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 po@Agyg5  

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第一篇光学多层膜设计 *X /i<  
第1章光学薄膜特性的理论计算 |)*9BN  
1.1单色平面电磁波 ?0tm{qP  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 :MihVLF  
1.3光学薄膜特性的理论计算 RxE.t[  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ?*^HZ~O1  
习题 t{-*@8Ke  
第2章光学薄膜的设计理论 xzXNcQ  
2.1矢量作图法 ntQW+!s
;P  
2.2有效界面法 &~:+2  
2.3对称膜系的等效层 $ftxid8  
2.4导纳图解技术 _BoYyJQH  
习题 ]E$bK  
第3章光学薄膜系统的设计 *?pnTQs^  
3.1减反射膜 FQ"ED:lks  
3.2分束镜 #T=e p0  
3.3高反射膜 y!c<P,Lt3f  
3.4干涉截止滤光片 fTt\
@"V  
3.5带通滤光片 39~te%;C7  
3.6特殊膜系 u7SC_3R  
习题 eD|"?@cE  
参考文献 M5:j)oW  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 .I0M'L~!/L  
第4章薄膜制备技术 hmB`+?,z*  
4.1真空淀积工艺 qr(t_qR&  
4.2光学薄膜材料 P@5}}vwS  
4.3薄膜厚度监控艺术 ojyP.R  
4.4膜层厚度的均匀性 wf_ $#.;m  
习题 A=sz8?K+`  
参考文献 NiYT%K%  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 PJT$9f~3;.  
5.1薄膜的形成过程 mNlbiB  
5.2薄膜的微观结构 RI<&cgWn+<  
5.3薄膜的成分 |AXV4{j_i  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 0oe2X1.%  
5.5薄膜微观结构和改善 j\HZ5  
习题 |kY  
参考文献 P%;lHC #i  
第三篇光学薄膜检测技术 Aho-\9/x%  
第6章薄膜透射率和反射率测量 w"O{@2B3:H  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 g
'td(i[  
6.2薄膜反射率的测试 u2OrH3E4E3  
6.3薄膜反射率的测量 e8M0Lz#}  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 YU XxQ|  
6.5总结 < lUpvr  
习题 Uz=ol.E  
参考文献 rk47$36X  
第7章薄膜的吸收和散射测量 'w=aLu5dY  
7.1激光量热计基本原理 N8DouDq  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 E#Ol{
6  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 p,tkVedR  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 dA^{}zZu  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 R8 LHwRQ  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 }:Y)DH%u  
7.7总结 6E2#VT>@/  
习题 `(/xj{"Fr}  
参考文献 ;U3K@_  
第8章薄膜光学常数的测量 VUOe7c=  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 P$]
K  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 sm{/S*3  
8.3薄膜波导法 P@Fx6  
8.4光学薄膜厚度的测试 S|T_<FCY  
8.5总结 4|4 *rhwp  
习题 ^M\X/uq$E  
参考文献 jxZf,]>T  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 NZO86y
/  
9.1薄膜的力学特性检测技术 RY3=UeoF  
9.2薄膜器件的环境试验 `(DHa=s1  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 F&lH5  
9.4总结 }57Jn5&'  
习题 pWn]$HaoG  
参考文献 )3O#T$h  
附录 KE~.f(  
附录A复数与复数运算 ~'|^|*}~Dj  
A.1复数的概念  vY"I  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 VrWQ]L  
A.3复数在物理中的运用 'blMwD{0&\  
附录B矩陈及矩陈运算 DL d~
 
B.1矩陈的定义 _~'M
Q`P  
B.2矩陈运算  8hYl73#  
附录C光的电磁理论基础 %zo 6A1Q;  
C.1振动与波 =$%-RX7  
C.2电磁波 Qn~{TZz  
C.3麦克斯韦方程 DliDBArxZ  
C.4平面电磁波 9g# 6
2oIg  
C.5平面电磁波性质 Vk*XiEfKm>  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Y]^*mc0fE  
附录D光的干涉 XfflD9M  
D.1波的叠加原理 zqURnsJ  
D.2杨氏干涉 Ov4=!o=  
D.3平板的表面干涉 Udf\;G@  
D.4光的空间相干性和时间相干性 !Pt4\  
附录E光的偏振 L,!\PV|  
E.1自然光和偏振光 zo("v*d*q  
E.2偏振光与Jones矩陈 ,%qP   
E.3偏振光的获得 X]n`YF7  
E.4偏振光的检验 wp'[AR
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