现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 7Rq;V=2YV  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 z"R-Sme  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 2 3
P7~S  

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第一篇光学多层膜设计 Cdc6<8  
第1章光学薄膜特性的理论计算 B;L~hM  
1.1单色平面电磁波 :o=[Zp~B4d  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 3nxJ`W5j  
1.3光学薄膜特性的理论计算 &c0U\G|j  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 |eJ4"OPC  
习题 
&+u$96  
第2章光学薄膜的设计理论 7\eN8+  
2.1矢量作图法 &p0*:(j  
2.2有效界面法 5
9IxY
?  
2.3对称膜系的等效层 nxCwg>  
2.4导纳图解技术 8 yQjB-,#  
习题 eQNo'cz  
第3章光学薄膜系统的设计 }h>QkV,{2  
3.1减反射膜 GAV|x]R  
3.2分束镜 Zn|vT&:Hg  
3.3高反射膜 q@H?ohIH  
3.4干涉截止滤光片 "^yTH/m  
3.5带通滤光片 xn}sh[<:P  
3.6特殊膜系 -ZBk^p  
习题 Xh;Pbm|K  
参考文献 94LFElE3  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ._Wm%'uX  
第4章薄膜制备技术 \XD&0inv  
4.1真空淀积工艺 )k{zRq:d  
4.2光学薄膜材料
Q&rpW:^v  
4.3薄膜厚度监控艺术 t L}i%7  
4.4膜层厚度的均匀性 TdlF~ca|  
习题 s9?klJg  
参考文献 Tt<Ry'Z$3  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 TIYI\/a\;  
5.1薄膜的形成过程  Q47Rriw  
5.2薄膜的微观结构 s`U.h^V  
5.3薄膜的成分 aPWlV= oG  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 cK"b0K/M?B  
5.5薄膜微观结构和改善 L]I)E`s  
习题 QG$LbuZ`  
参考文献 d~u+:[\=/  
第三篇光学薄膜检测技术 iZyhj%#  
第6章薄膜透射率和反射率测量 !inonR  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 =r
FgOdj  
6.2薄膜反射率的测试 R&PQU/t)  
6.3薄膜反射率的测量 q4C$-W%rj  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 t ]7>' U  
6.5总结 =
0cyGo  
习题 be}^
}w=  
参考文献 8&\<p7}=h  
第7章薄膜的吸收和散射测量 >LRt,.hy6  
7.1激光量热计基本原理 :''^a  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 Yh\} i  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 "JzQCY^C  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 /:iO:g1  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 7g^=   
7.6薄膜导波传播衰减系数法 Pfj{TT.#L  
7.7总结 `}Ssc-A  
习题 =yJJq=!  
参考文献 +ffs{g{  
第8章薄膜光学常数的测量 /~Zxx}<;  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 zc%#7"FM  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 why;1z>V  
8.3薄膜波导法 |#fqHON  
8.4光学薄膜厚度的测试 nSdta'6  
8.5总结 PBc.}TSGj  
习题 `VM@-;@w  
参考文献 l$=Y(Xk  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 R]L|&{  
9.1薄膜的力学特性检测技术 7vax[,aI  
9.2薄膜器件的环境试验 of!Bz  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 cPZD#";f  
9.4总结 -*t4(wT|j  
习题 1'@/jR  
参考文献 P]hS0,sE<(  
附录 `],'fT|,S  
附录A复数与复数运算 8T6.Zhv  
A.1复数的概念 Op%}.9ed  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 _
7
Z|=)  
A.3复数在物理中的运用 Pi7vuOJr8  
附录B矩陈及矩陈运算 vs}_1o  
B.1矩陈的定义 s_xWvx8?4.  
B.2矩陈运算 /ZlPEs)  
附录C光的电磁理论基础 AdMA|!|:hc  
C.1振动与波 R1u1  
C.2电磁波 7)aitDD  
C.3麦克斯韦方程 bAS('R;4  
C.4平面电磁波 MM8@0t'E  
C.5平面电磁波性质 f Glvx~  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 GAG=4g  
附录D光的干涉 }#va#Nb(,  
D.1波的叠加原理 Y?G\@6  
D.2杨氏干涉 B@XnHh5y  
D.3平板的表面干涉 O&h3=?O&B  
D.4光的空间相干性和时间相干性 b/65Q&g'  
附录E光的偏振 Ln-/ 9'^  
E.1自然光和偏振光 |eH>55 b  
E.2偏振光与Jones矩陈 g#b[-)Qx  
E.3偏振光的获得 rK 9  
E.4偏振光的检验 #'m&<g,  
…… )pELCk  
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