现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 qA/#IUi)1  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Ty3CBR{6  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 6!+X.+  

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第一篇光学多层膜设计 1Sg|3T8bGT  
第1章光学薄膜特性的理论计算 N )zPxQ  
1.1单色平面电磁波 ]eYd8s+  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 )C>}"#J>  
1.3光学薄膜特性的理论计算 >'aG/(  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 =Y&9 qt  
习题 x*me'?q  
第2章光学薄膜的设计理论 m!5HRjOO  
2.1矢量作图法 9DOkQnnc  
2.2有效界面法 Ak5[PBbW  
2.3对称膜系的等效层 >-5td=:Z  
2.4导纳图解技术 jq57C}X}2  
习题 \fK47oV  
第3章光学薄膜系统的设计 ZD5I5  
3.1减反射膜 d"B@c;dD  
3.2分束镜 3s`V)aXP  
3.3高反射膜 5^i.;>(b  
3.4干涉截止滤光片 |*^8~u3J"  
3.5带通滤光片 4llD6&%  
3.6特殊膜系 /"""z=q  
习题 &|Lh38s@$#  
参考文献 m$fQ`XzU  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 q
DnCn H  
第4章薄膜制备技术 n1QEu"~Zj  
4.1真空淀积工艺 :`0'GM" `  
4.2光学薄膜材料 v:rD3=M-  
4.3薄膜厚度监控艺术 .E+OmJwD  
4.4膜层厚度的均匀性 h6u2j p(+  
习题 }#yU'#|d  
参考文献 |',M_ e]  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 K;oV"KRK  
5.1薄膜的形成过程 P<%v+O  
5.2薄膜的微观结构 /8xH$n&xoC  
5.3薄膜的成分 w&p~0cA~  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 JY{X,?s  
5.5薄膜微观结构和改善 [IiwNqZ[~  
习题 +J|+es  
参考文献 5;W\2yj
 
第三篇光学薄膜检测技术 vO\:vp4fH  
第6章薄膜透射率和反射率测量 a9[mZVMgUK  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Ri|k<io  
6.2薄膜反射率的测试 m_a^RB(  
6.3薄膜反射率的测量 XZ.7c{B<  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 C<_Urnmn  
6.5总结 (O$}(Tn  
习题 1p8:.1)q  
参考文献 ]>5T}h  
第7章薄膜的吸收和散射测量 zhNQuK,L  
7.1激光量热计基本原理 }FrEF\}]_7  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ]?[zx'|  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量
?TDvCL  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量
R7lYu\mA  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 v@VLVf)>9^  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 i8K_vo2Z)  
7.7总结 (Aorx #z  
习题 6DB0ni  
参考文献 o&~dGG4J  
第8章薄膜光学常数的测量 _ w/_(k  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Us'Cs+5XcG  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 # Mu<8`T-  
8.3薄膜波导法 kP@HG<~  
8.4光学薄膜厚度的测试 `%e|$pK  
8.5总结 gNqAj# m  
习题 +jUgx;u,  
参考文献 !x>,N%~  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 vd`O aM}#U  
9.1薄膜的力学特性检测技术 6,X+1EXY  
9.2薄膜器件的环境试验 ML=eL*}l  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 a"x}b
  
9.4总结 !v0"$V5+i  
习题 "?35C !  
参考文献 D&/I1=\(  
附录 rvwa!YY}  
附录A复数与复数运算 Nb0Ik/:<  
A.1复数的概念 '3^Q14`R  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 %
,0%NjK  
A.3复数在物理中的运用 k0JW[04j  
附录B矩陈及矩陈运算 ?-f,8Z|h  
B.1矩陈的定义 oe9lF*$/  
B.2矩陈运算 !}_b|  
附录C光的电磁理论基础 GF*>~_Yr  
C.1振动与波 >%u@R3PH]  
C.2电磁波 h h"h j  
C.3麦克斯韦方程 28a$NP\KW  
C.4平面电磁波 ZWS2q4/S  
C.5平面电磁波性质 }AlYNEY  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 \8e2?(@"k  
附录D光的干涉 )n>+m|IqY(  
D.1波的叠加原理 V4|uas{0I:  
D.2杨氏干涉 Lkn4<'un  
D.3平板的表面干涉 *$S#o#5  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Huc|6~X  
附录E光的偏振 Zyu/|Og  
E.1自然光和偏振光 ^XG*z?Tt  
E.2偏振光与Jones矩陈 E;9>ePd@  
E.3偏振光的获得 ZIDbqQu  
E.4偏振光的检验 7
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