现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 Kk>DYHZ6y  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 u]SZ{[e  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 {yU0D*#6  

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第一篇光学多层膜设计 P]-#wz=S  
第1章光学薄膜特性的理论计算 :^5>wD
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1.1单色平面电磁波 G4O3h Y.`  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 g kn)V~ij  
1.3光学薄膜特性的理论计算 n@_)fFD%  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 xlk5Gob*  
习题 ]An_5J  
第2章光学薄膜的设计理论 }q]jjs  
2.1矢量作图法 9LHa&""  
2.2有效界面法 5DUi4 Cbgy  
2.3对称膜系的等效层 IBDVFA  
2.4导纳图解技术 N|o>%)R  
习题 Z"]xdOre  
第3章光学薄膜系统的设计 8M~u_`6  
3.1减反射膜 i
!tc  
3.2分束镜 Eh:yRJ_8  
3.3高反射膜 1B(G]o_>!  
3.4干涉截止滤光片 yj'Cy8  
3.5带通滤光片 kM,@[V  
3.6特殊膜系 fmBkB8  
习题 =8@RKG`>;  
参考文献 -&$%|cyThQ  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 $.;iu2iyo  
第4章薄膜制备技术 ]M uF
9={  
4.1真空淀积工艺 ;tm3B2  
4.2光学薄膜材料 +hZ] B<$  
4.3薄膜厚度监控艺术 aw]8V:)$J  
4.4膜层厚度的均匀性
DVbYShB  
习题 &hO$4qtN  
参考文献 *XHj)DC;  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 $@68=  
5.1薄膜的形成过程 RZ<.\N (M  
5.2薄膜的微观结构 \_?yzgf  
5.3薄膜的成分 @}ZGY^  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 t6j-?c('  
5.5薄膜微观结构和改善 3mybG%39  
习题 vu44!c@  
参考文献 ?~{rf:Y  
第三篇光学薄膜检测技术 2UQN*_  
第6章薄膜透射率和反射率测量 `..EQBM  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 a$A2IkD  
6.2薄膜反射率的测试 d4Ixuux<3  
6.3薄膜反射率的测量 ]Kof sU_{  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 aD0Q0C+  
6.5总结 ~0av3G  
习题 wE)] ah:  
参考文献 Rz)v-Yu  
第7章薄膜的吸收和散射测量 r}Ltv?4  
7.1激光量热计基本原理 L(W%~UGN V  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收
B$@1QG  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 \MF3CK@/  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 !'+\]eA  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 D\@e{.$MZ|  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 w 7Cne%J8  
7.7总结 dvC0 <*V  
习题 H^ESAs6  
参考文献 7?+5%7-  
第8章薄膜光学常数的测量 5aa}FdUq  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 KsZ@kTs  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 7sCR
!0  
8.3薄膜波导法 &~z+R="=  
8.4光学薄膜厚度的测试 8.:B=A  
8.5总结 +Kxe ymwr2  
习题 Z3OZPxm  
参考文献 y?[5jL|Ue  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 od;Bb  
9.1薄膜的力学特性检测技术 bXa %EMF  
9.2薄膜器件的环境试验 USlF+RY@3L  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 dl7Riw-J  
9.4总结 ,w,ENU0~f  
习题 1'(_>S5CG  
参考文献 `i"$*4#<  
附录 K(%dcUGDK>  
附录A复数与复数运算 ^vYVl{$bT  
A.1复数的概念 z4 GN8:~x  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 iK$Vd+Lgc  
A.3复数在物理中的运用 .CIbpV?T  
附录B矩陈及矩陈运算 r))$XM  
B.1矩陈的定义 A@9U;8k  
B.2矩陈运算 |Ba4 G`
 
附录C光的电磁理论基础 Fr1;)WV  
C.1振动与波 lCM6T;2ID  
C.2电磁波 |#Yu.c*  
C.3麦克斯韦方程 \]tq7  
C.4平面电磁波 j<`I\Pmv  
C.5平面电磁波性质 ]2hF!{wc  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 0IoXDx  
附录D光的干涉 Z!q2F%02FO  
D.1波的叠加原理 M Ak-=?t  
D.2杨氏干涉 DLwC5Iir  
D.3平板的表面干涉 L7~+x^kw  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Dme(Knly  
附录E光的偏振 /\IAr,w[  
E.1自然光和偏振光 I!C(K^  
E.2偏振光与Jones矩陈 )R [@G.  
E.3偏振光的获得 jKY Aid{-  
E.4偏振光的检验 g=8|z#S  
…… ]be0I)  
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