现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 [O_5`X9|  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 K*Ba;"Ugeg  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 'J&R=MD  

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第一篇光学多层膜设计 RF2I_4  
第1章光学薄膜特性的理论计算 q
lPIxd  
1.1单色平面电磁波 :/][ n9J^  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 Nes|4Z<  
1.3光学薄膜特性的理论计算 V!]|u ^4I  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 AtHkz|sl  
习题 5X];?(VTsb  
第2章光学薄膜的设计理论 /K!f3o+  
2.1矢量作图法 Ei]SksV>*  
2.2有效界面法 ;DZj.|Sj+  
2.3对称膜系的等效层 'M?ptu?f  
2.4导纳图解技术 #G
0'Q2  
习题 .,S`VNU  
第3章光学薄膜系统的设计 1 <T|  
3.1减反射膜 GcO:!b*YMp  
3.2分束镜 {*hGe_^  
3.3高反射膜 GK11fZpO:i  
3.4干涉截止滤光片 X[w]aJnAr  
3.5带通滤光片 ^P [#
YO  
3.6特殊膜系 jc>B^mqx  
习题 /:\27n  
参考文献 VpbJe@*D  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 FoYs<aER  
第4章薄膜制备技术 a.O"I3{?h  
4.1真空淀积工艺 (A}c22qe  
4.2光学薄膜材料 wLO"[,  
4.3薄膜厚度监控艺术 6b`
Jq>v  
4.4膜层厚度的均匀性 eo!+UFZbY  
习题 NX;{L#lQ  
参考文献 wax^iL!  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Zcc7 7dRA  
5.1薄膜的形成过程 :=q9ay  
5.2薄膜的微观结构 9/&1lFKJ  
5.3薄膜的成分 l:#'i`;  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 <X1[j9Qtv0  
5.5薄膜微观结构和改善 s1%2({wP  
习题 R iLq
MSq  
参考文献 Ia^/^>  
第三篇光学薄膜检测技术 j6 _w2  
第6章薄膜透射率和反射率测量 3],(oQq^  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 RBr  
6.2薄膜反射率的测试 I
@cKiB  
6.3薄膜反射率的测量 yGgHd=?  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 a$#,'UB  
6.5总结 ~c ;7me.  
习题 %r6LU<;1@  
参考文献 ;w4rwL  
第7章薄膜的吸收和散射测量 8>j+xbw  
7.1激光量热计基本原理 "V~U{(Z  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 /r@P\_  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ]=9%fA  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 <<(~'$~,L  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 =N<Hc:<t4  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ;5my(J*b  
7.7总结 i3: sV5  
习题 ( NjX?^  
参考文献 h1fJ`WT6,  
第8章薄膜光学常数的测量 C,]Q/6'>  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 mwbkXy;8  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 s`C#=l4  
8.3薄膜波导法 (n"M)  
8.4光学薄膜厚度的测试 3I:DL#f  
8.5总结 wgLS9.  
习题 -#<,i'  
参考文献 .%->  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 SKLQAE5  
9.1薄膜的力学特性检测技术 $ }B"u;:SU  
9.2薄膜器件的环境试验 XF^c(*5  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 !}1n?~]`  
9.4总结 42z9N\ f  
习题 JB%6G|Z  
参考文献 _tjFb_}Q  
附录 J)jiI>  
附录A复数与复数运算 TlBLG.-^  
A.1复数的概念 @Zq,mPaR$  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 OPKX&)SE-  
A.3复数在物理中的运用 WM@uxe,  
附录B矩陈及矩陈运算 cK-!Evv  
B.1矩陈的定义 H>DJ-lG(  
B.2矩陈运算 ~MhPzu&B  
附录C光的电磁理论基础 -w@fd]g  
C.1振动与波 n]j(tP  
C.2电磁波 %mcuYR'D}  
C.3麦克斯韦方程 7#g C(&\A  
C.4平面电磁波 efbt\j6@%2  
C.5平面电磁波性质 $%t{O[(  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 3c9[FZ@ya  
附录D光的干涉
uWfse19  
D.1波的叠加原理 6=')*_~/  
D.2杨氏干涉 !Uj !Oy  
D.3平板的表面干涉 RK'( {1  
D.4光的空间相干性和时间相干性 a"&Z!A:Z=  
附录E光的偏振 ]&r/
H17  
E.1自然光和偏振光 g{D&|qWj  
E.2偏振光与Jones矩陈 uY;/3?k&  
E.3偏振光的获得 \`XJz{Lm]  
E.4偏振光的检验 C/cGr)|8%  
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