现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 y)F!c29  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ;:m&#YJV  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 2BzqY`O  
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第一篇光学多层膜设计 ~@8+hnE]  
第1章光学薄膜特性的理论计算 (P==VZQg  
1.1单色平面电磁波 ,PWj_}|L[  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 &!35/:~uD  
1.3光学薄膜特性的理论计算 !6w{(Rc(C  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Icp0A\L@  
习题 dZ:r&Qa  
第2章光学薄膜的设计理论 &HM-g7|C0E  
2.1矢量作图法 tLcEl'Eo  
2.2有效界面法 s%;<O:x8o  
2.3对称膜系的等效层 Poa?Ej  
2.4导纳图解技术 ,M3z!=oIGn  
习题 :k46S<RE  
第3章光学薄膜系统的设计 J
fcMca  
3.1减反射膜 eSl-9 ^  
3.2分束镜 -c
Nx1et  
3.3高反射膜 FoPginZ]J  
3.4干涉截止滤光片 G5Q!L;3HZ  
3.5带通滤光片 
8o)L,{yl  
3.6特殊膜系 m%QqmTH  
习题 )Mz
t3u  
参考文献 >Csbjf6  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 X9~m8c){z  
第4章薄膜制备技术 f|xLKcOP  
4.1真空淀积工艺
z^sST  
4.2光学薄膜材料 ${U6=  
4.3薄膜厚度监控艺术 J-J3=JG  
4.4膜层厚度的均匀性 b"8FlZ$  
习题 H?}wl%  
参考文献 Fc0jQ@4=  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 /~}_hO$S  
5.1薄膜的形成过程 {Iy7.c8S  
5.2薄膜的微观结构 yBz>0I3  
5.3薄膜的成分 7tH]*T9e>  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Goj4`Hc  
5.5薄膜微观结构和改善 i=QqB0  
习题  qtSs)n  
参考文献
Xyv8LB  
第三篇光学薄膜检测技术 eX<K5K.B  
第6章薄膜透射率和反射率测量 w)S;J,Hv  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Rlw9$/D!Z  
6.2薄膜反射率的测试 R'EW7}&  
6.3薄膜反射率的测量 sT<{SmBF  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 =|y|P80w  
6.5总结 - 8syjKTg  
习题 3kLOoL?  
参考文献 R}J-nJlb  
第7章薄膜的吸收和散射测量 @;9()ad  
7.1激光量热计基本原理 "d?f:x3v^  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 v#=ayWgk  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 3.)_uo0;o  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 >=!AL,:  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Pi%tsKk%  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ug6r]0]  
7.7总结 96W4c]NT  
习题 u[t>Tg2R  
参考文献 Tcs3>lJ}  
第8章薄膜光学常数的测量 P$h;SK  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 < EXWWrm  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Cnur"?w@o  
8.3薄膜波导法 y@9Y,ZR*  
8.4光学薄膜厚度的测试 Kcn\g.  
8.5总结 fjkT5LNxk  
习题 zXgkcq)  
参考文献 |p'i,.(c_W  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 yGV{^?yoP  
9.1薄膜的力学特性检测技术 u'@Ely  
9.2薄膜器件的环境试验 tG 7+7Z=  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 t/Z!O z6ZE  
9.4总结 <t6d)mJ%  
习题 [i9[Mj  
参考文献 xL&PJ /'  
附录 ~}%&p& p  
附录A复数与复数运算 ork|yj/A  
A.1复数的概念 K|~AA"I;  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 g!`BXmW  
A.3复数在物理中的运用 #f9qlM32  
附录B矩陈及矩陈运算 7+S44)w}~  
B.1矩陈的定义 ZX]
A )5G  
B.2矩陈运算 ZW2s[p r  
附录C光的电磁理论基础 !ZA}b[  
C.1振动与波 #,Bj!'Q'-  
C.2电磁波 fSC.+,qk  
C.3麦克斯韦方程 0sabh`iQ^  
C.4平面电磁波 ,A?v,Fs>O[  
C.5平面电磁波性质 jQIV2TY[  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 QZYM9a>  
附录D光的干涉 #[(0tc/  
D.1波的叠加原理 (o{)>D  
D.2杨氏干涉 z{V8@q/  
D.3平板的表面干涉 ,|QU] E @  
D.4光的空间相干性和时间相干性 @_uFX!;  
附录E光的偏振 2E([#Pzb  
E.1自然光和偏振光 +TW
JNI  
E.2偏振光与Jones矩陈 j>g9\i0O1  
E.3偏振光的获得 M->Kz{h?j  
E.4偏振光的检验 6fQ*X~| p  
…… 2?pM5n  
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