现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 D~%h3HM  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 S|ADu]H(  
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第一篇光学多层膜设计 PiwI.c  
第1章光学薄膜特性的理论计算 @0q*50  
1.1单色平面电磁波 +jX.::UPm  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 \+sP<'~M  
1.3光学薄膜特性的理论计算 k%lz%r  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 w\ 7aAf3O  
习题 '} LAZQ"  
第2章光学薄膜的设计理论 8Wyv!tL  
2.1矢量作图法 fHwr6"DJ  
2.2有效界面法 /h73'"SpDy  
2.3对称膜系的等效层 @60/IE{-v  
2.4导纳图解技术 `?:X-dh_  
习题 bn<}  
第3章光学薄膜系统的设计 %q 7gl;'  
3.1减反射膜 NI?YUhg>  
3.2分束镜 !RwOUCk  
3.3高反射膜 pwO U6A!  
3.4干涉截止滤光片 {F+iL&e)  
3.5带通滤光片 ' fP`ET5  
3.6特殊膜系 :i:M7}r  
习题 j /=4f�  
参考文献 Nb@zn0A(;  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 QAh6!<.;@  
第4章薄膜制备技术 2s:$4]K D  
4.1真空淀积工艺 xBi``x2eY  
4.2光学薄膜材料 Qcr-|?5L  
4.3薄膜厚度监控艺术 S?Z"){  
4.4膜层厚度的均匀性 )s4a<Sc]  
习题 I<ta2<h  
参考文献 \4|o5,+(@  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Rck k  
5.1薄膜的形成过程
ThSB\  
5.2薄膜的微观结构 _-/<bO  
5.3薄膜的成分 rfS kQT  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 x>=8~wIK  
5.5薄膜微观结构和改善 9n[ovX 7n!  
习题 H '(Ky  
参考文献 /NFcIU  
第三篇光学薄膜检测技术 Sx3R2-!Z  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ;v^1V+1:z  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 k3B-;%3I;  
6.2薄膜反射率的测试 * >XmJ6w  
6.3薄膜反射率的测量 ^w|apI~HSE  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 41V}6+$g  
6.5总结 s5'So@L8  
习题 Fxr$j\bm  
参考文献 2{o eJ  
第7章薄膜的吸收和散射测量 i5 F9
*  
7.1激光量热计基本原理 d]6#pSE  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 5b^`M  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 fer~NlX  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 J<'I.KZ\z  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 d2e4=/A%  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 CsND:m  
7.7总结 +kK6G#c  
习题 vCh/%7+  
参考文献 x:O;Z~ |.  
第8章薄膜光学常数的测量 evBr{oi@  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 #n8jn#  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 3bW(VvgcL4  
8.3薄膜波导法 W;Ei>~E  
8.4光学薄膜厚度的测试 NJ{M-K%>  
8.5总结 4D-4BxN*  
习题 *U=%W4?W  
参考文献 ()>,L?y  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 nwm1YPs%v]  
9.1薄膜的力学特性检测技术 It/IDPx4ga  
9.2薄膜器件的环境试验 V 2WcPI^  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 w_hGWpm  
9.4总结 8#MiM . f  
习题 8XUm.nV  
参考文献 E{Ux|r~  
附录 _#8OHG.x  
附录A复数与复数运算 AGdFJ>/  
A.1复数的概念 "me a*-XB  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 8T#tB,<fFW  
A.3复数在物理中的运用 c)tG1|Og]  
附录B矩陈及矩陈运算 kr|u ||  
B.1矩陈的定义 ![,W?  
B.2矩陈运算 cj!Ew}o40D  
附录C光的电磁理论基础 U<*8KiI  
C.1振动与波 pGO)9?j_N  
C.2电磁波 NdW2OUxw"  
C.3麦克斯韦方程 J~jR`2+r  
C.4平面电磁波 UpU2H4  
C.5平面电磁波性质 ]8qFxJ+2^  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 > v~?Vd(  
附录D光的干涉 }RvP*i  
D.1波的叠加原理 %;r0,lN|II  
D.2杨氏干涉 9"H]zfW  
D.3平板的表面干涉 dSkW[r9Z%l  
D.4光的空间相干性和时间相干性 =V@5W[bV  
附录E光的偏振 |9F^"7Q~C  
E.1自然光和偏振光 !A\Qwg>  
E.2偏振光与Jones矩陈 [Ie;Jd>gG  
E.3偏振光的获得 Z7X_U`Q  
E.4偏振光的检验 [JY1|N  
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