现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 <yE  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 :s|" ZR  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 k4Ed7T-  

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第一篇光学多层膜设计 *V}T}nK7  
第1章光学薄膜特性的理论计算 {x$WBy9  
1.1单色平面电磁波 uEqL Dg  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 i!5zHn  
1.3光学薄膜特性的理论计算 zyb
>PEd.  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 0~2~^A#]\  
习题 \D Oqx  
第2章光学薄膜的设计理论 kOi@QLdN  
2.1矢量作图法 |/rms`
YQ  
2.2有效界面法 fX"cQ&  
2.3对称膜系的等效层 Kxs_R#k  
2.4导纳图解技术 K]5@bm  
习题 "SGq$3D  
第3章光学薄膜系统的设计 Ei@w*.3P<  
3.1减反射膜 $2lrP]`>j.  
3.2分束镜 T \d
-r#{  
3.3高反射膜 BC|=-^(  
3.4干涉截止滤光片 tS|gQUF17  
3.5带通滤光片 O2z{>\  
3.6特殊膜系 1
nHQ)od  
习题 EC
q(i(  
参考文献 1?k{jt~  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 z u53mZ  
第4章薄膜制备技术 -2Bkun4Pt  
4.1真空淀积工艺 $H}G'LqiG  
4.2光学薄膜材料 3-^z<*  
4.3薄膜厚度监控艺术 3QNu7oo  
4.4膜层厚度的均匀性 ']]Czze  
习题 9eG{"0)  
参考文献 U tb"6_   
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 UEkn@^&bg  
5.1薄膜的形成过程 K9\p=H^T7  
5.2薄膜的微观结构 t]dtBt].:  
5.3薄膜的成分 ([vyY}43h  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 TV&:`kH  
5.5薄膜微观结构和改善 O{YT6&.S0
 
习题 D}.Pk>5  
参考文献 Fog4m=b`g  
第三篇光学薄膜检测技术 6}b1*xQ  
第6章薄膜透射率和反射率测量 J/OG\}  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 :!',o]"4,k  
6.2薄膜反射率的测试 j6Msbq[  
6.3薄膜反射率的测量 !'yCB9]O  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 wlSl ~A/s  
6.5总结 z`)i"O]-K_  
习题 Pn&!C*,  
参考文献 v@_^h}h/,=  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ;!RS q'L1  
7.1激光量热计基本原理 F?h{IH f  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ;^fGQ]`4  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Gcu[G]D  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 S}mZU!  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 'aj97b;lpG  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 "e)C.#3  
7.7总结 S_ELZO#7  
习题 c4\N
uy  
参考文献 W>^WNo3YQ$  
第8章薄膜光学常数的测量 fLGZ@-qA0  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 c%?31t  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 E[IjeJB5  
8.3薄膜波导法 2=?:(e9  
8.4光学薄膜厚度的测试 /RWQ+Zf-Y]  
8.5总结 397IbZ\  
习题  SK6?;_  
参考文献 >0^oC[ B  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 gfr y5e  
9.1薄膜的力学特性检测技术 |+-D@22y  
9.2薄膜器件的环境试验 9V]{q  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 _lK+/"-l  
9.4总结 "xr=:[n[  
习题
\Uz7ar#,  
参考文献 sN"JVJXi  
附录 PM(M c]6  
附录A复数与复数运算 -a^%9 U  
A.1复数的概念 \E}YtN#  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 hN#A3FFo L  
A.3复数在物理中的运用 #L3heb&9  
附录B矩陈及矩陈运算 S)n+E\c  
B.1矩陈的定义 `jI$>{oa  
B.2矩陈运算 cN{(XmX5n  
附录C光的电磁理论基础 k'(d$;Jgr  
C.1振动与波 XA1gV>SJ  
C.2电磁波 L lNd97Z  
C.3麦克斯韦方程 ?QbxC,& i  
C.4平面电磁波 w6Owfq'v  
C.5平面电磁波性质 fV>12ici  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 [9-&Lq_ g  
附录D光的干涉 O7})1|>1  
D.1波的叠加原理 fN|'aq*Pd  
D.2杨氏干涉 neLQ>WT L  
D.3平板的表面干涉 ^yl)c \`  
D.4光的空间相干性和时间相干性 MS>QU@z7c  
附录E光的偏振 8.Z9 i  
E.1自然光和偏振光 EFk9G2@_  
E.2偏振光与Jones矩陈 $\9M6k'  
E.3偏振光的获得 >>>&{>}!  
E.4偏振光的检验  << X
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