现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 )9MmL-7K  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 >(S4h}^
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 )(~4fA5j)  
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第一篇光学多层膜设计 fu'iG7U M  
第1章光学薄膜特性的理论计算 9%WUh-|'p  
1.1单色平面电磁波 ."Wdpf`~  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ]\w0u7}  
1.3光学薄膜特性的理论计算 _" W<>  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 e^Q$Tog<  
习题 GY,l&.&  
第2章光学薄膜的设计理论 r,X5@/  
2.1矢量作图法 tp<uN~rTgh  
2.2有效界面法 JUXIE y^  
2.3对称膜系的等效层 RX8$&z  
2.4导纳图解技术 MEMD8:['  
习题 U.is:&]E  
第3章光学薄膜系统的设计 ]C_g:|q  
3.1减反射膜 @-nCK Yj  
3.2分束镜 ['ol
]ZJ  
3.3高反射膜 l:mC'aR  
3.4干涉截止滤光片 ,}2yxo;i  
3.5带通滤光片 eWzD'3h^  
3.6特殊膜系 Nq6~6Rr  
习题 [T#5$J  
参考文献 /1 lIV_Z  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 u,e'5,`N  
第4章薄膜制备技术 BTjfzfO"  
4.1真空淀积工艺 T`KH7y|bv  
4.2光学薄膜材料 FVM:%S JjT  
4.3薄膜厚度监控艺术 2-5AKm@K  
4.4膜层厚度的均匀性 3-#|6khqt  
习题 ,g2|8>sJP  
参考文献 /3->TS  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 E;$)Oz  
5.1薄膜的形成过程 :=vB|Ch:~  
5.2薄膜的微观结构 JF!?i6V  
5.3薄膜的成分 R2WEPMH%  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 }MAQhXI^O|  
5.5薄膜微观结构和改善 rOQhS]TP*  
习题 S'M=
P_-7  
参考文献 ks|[`FH  
第三篇光学薄膜检测技术 jV Yt=j*"V  
第6章薄膜透射率和反射率测量 834(kw+#9  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 e@'rY#:u  
6.2薄膜反射率的测试 @Aa$k:_  
6.3薄膜反射率的测量 Z&FC:4!!  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 &EKP93  
6.5总结 |d^r"wbs3  
习题 {Ts@#V=:  
参考文献 ^]c/hb|X  
第7章薄膜的吸收和散射测量 uU(G&:@  
7.1激光量热计基本原理 U;Z6o1G  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 wLwAtjW)  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Li~(kw3  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 x)0g31 49  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 csE 9N
s  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 "+3p??h%Rq  
7.7总结 'U ',9  
习题 nM:e<`r  
参考文献 pFi.
?|6"  
第8章薄膜光学常数的测量 =!7k/n';  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 fy04/_,q  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 xcdy/J&  
8.3薄膜波导法 PmOm>  
8.4光学薄膜厚度的测试 '7G'R  
8.5总结 2KVMQH`B9  
习题 x&9}] E^<  
参考文献 2%4dA$H#4w  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 mqgA  
9.1薄膜的力学特性检测技术 f`'?2  
9.2薄膜器件的环境试验 Eyi^N0  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 vaL+@Kq~&  
9.4总结 v#*9rNEj0  
习题 
z`UL)W  
参考文献 H_)\:gTG  
附录 vmdu9"H  
附录A复数与复数运算 @ hH;d\W#  
A.1复数的概念 ~_ss[\N  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ixF '-  
A.3复数在物理中的运用 yO E
d8  
附录B矩陈及矩陈运算 ZN>oz@jY  
B.1矩陈的定义 9bvzt8pc  
B.2矩陈运算 e! V`cg0  
附录C光的电磁理论基础 ~]f+  
C.1振动与波 kKr|PFz  
C.2电磁波 QA?e2kd  
C.3麦克斯韦方程 #4S">u  
C.4平面电磁波 rX*4$d0  
C.5平面电磁波性质 mh`~1aEr  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 u&Q2/Y  
附录D光的干涉 [=*c8  
D.1波的叠加原理 4mR{\ d  
D.2杨氏干涉 ,E,oz{,i(  
D.3平板的表面干涉 p12'^i |  
D.4光的空间相干性和时间相干性 55xaZ#|  
附录E光的偏振 zf-)c1$*r  
E.1自然光和偏振光 tDj~+lmdN  
E.2偏振光与Jones矩陈 _kUf[&  
E.3偏振光的获得 ozN#LIM>P  
E.4偏振光的检验 >DX\^86x  
…… u1K;{>4lx  
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