现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 a{-}8f6  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 IGbQ L  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 6~2
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第一篇光学多层膜设计 7,(:vjI
Xd  
第1章光学薄膜特性的理论计算 XGO_n{x  
1.1单色平面电磁波 |~Z+Xla  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 0<P -`|X  
1.3光学薄膜特性的理论计算 :|fzG
f  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Y]Xal   
习题 A46y?"]/30  
第2章光学薄膜的设计理论 |\b*p:el  
2.1矢量作图法 -Ol/r=/&  
2.2有效界面法 N}^\$
sVu_  
2.3对称膜系的等效层 p oNQ<ijK  
2.4导纳图解技术 k'S/n
F A  
习题 mk0rAN  
第3章光学薄膜系统的设计 G_X'd  
3.1减反射膜 e
vn ]n  
3.2分束镜 ,I)/ V>u  
3.3高反射膜 XLzHm&;  
3.4干涉截止滤光片 0mCrA|A.  
3.5带通滤光片 tt`b+NOH>  
3.6特殊膜系 8WaVs6  
习题 <)"Mi}Q[)p  
参考文献 fc&4e:Ve  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 Rr:,'cXGi  
第4章薄膜制备技术 cQN}z Ke  
4.1真空淀积工艺 cl{;%4$9  
4.2光学薄膜材料 )WBTqML[  
4.3薄膜厚度监控艺术 M#2DI?S@  
4.4膜层厚度的均匀性 3g} ]nj:N  
习题 CM~)\prks  
参考文献 OHH wcJ7N  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 )TV'eq  
5.1薄膜的形成过程 d7l0;yR&+  
5.2薄膜的微观结构 x==%BBnO%  
5.3薄膜的成分 IF@)L>-%  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 #,$d!l @  
5.5薄膜微观结构和改善 i"zWv@1z  
习题 6R#f 8  
参考文献 sH#UM(N  
第三篇光学薄膜检测技术 k+%6:r,r&  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ` 8.d  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 A<AZs~f  
6.2薄膜反射率的测试 ?mrG^TV^+r  
6.3薄膜反射率的测量 LiiQ;x  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ~u-mEdu3C  
6.5总结 _kgw+NA&-H  
习题 {bl^O  
参考文献 NCd_h<}|6F  
第7章薄膜的吸收和散射测量 >H?8?a D  
7.1激光量热计基本原理 p)Z$q2L  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 YW0UIO  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 @ Al\:  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 }<A\>  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Svy bP&i|  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 jsc1B  
7.7总结 I=|b3-  
习题 leX&py  
参考文献 yp_:]RE  
第8章薄膜光学常数的测量 i,Yv  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 IIs'm!"Y>  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 (*BQd1Z  
8.3薄膜波导法 05.^MU?^U  
8.4光学薄膜厚度的测试 wjQu3 ,Cj  
8.5总结 )<t5' +d%  
习题 CR&v z3\Q  
参考文献 GnkNoaU  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 3<CCC+47  
9.1薄膜的力学特性检测技术 > QDmSy*&  
9.2薄膜器件的环境试验 Hh4$Qr;R  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 X^eTf-*T  
9.4总结 +|KnO  
习题 -6(C^X%  
参考文献 (n|PLi  
附录 @|idlIey  
附录A复数与复数运算 +r"{$'{^  
A.1复数的概念 }RDGk+x7|  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 j0~]o})@i  
A.3复数在物理中的运用 u4, p.mZtb  
附录B矩陈及矩陈运算 E~3wdOZv1  
B.1矩陈的定义 y08.R. l  
B.2矩陈运算 00[Uk'Q*5  
附录C光的电磁理论基础 5O%Q*\(  
C.1振动与波 D({%FQ"  
C.2电磁波 @GK0j"_  
C.3麦克斯韦方程 pMe'fC~*  
C.4平面电磁波 -uHD| }  
C.5平面电磁波性质 {.K>9#^m  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 T'"aStt6  
附录D光的干涉 DKx8<yEky  
D.1波的叠加原理 540-lMe  
D.2杨氏干涉 `<cB 6  
D.3平板的表面干涉 "k o?AUt  
D.4光的空间相干性和时间相干性 =c"`>Vi@d  
附录E光的偏振 yO;r]`j0  
E.1自然光和偏振光 [kM)K'-  
E.2偏振光与Jones矩陈 NiQ`,Q$B  
E.3偏振光的获得 6-c3v  
E.4偏振光的检验 ]v{f!r=}  
…… l\I#^N  
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