现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 fH_l2b[-3@  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ]3='TN8aQF  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ?q Q.Wj6Mj  

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第一篇光学多层膜设计 X@Zt4)2#  
第1章光学薄膜特性的理论计算 %x@bP6d[  
1.1单色平面电磁波 3_boEYl0  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 *\}$,/m['  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ht6}v<x.eA  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 KQ6][2-  
习题 ?6ssSjR}  
第2章光学薄膜的设计理论 NYg&8s.  
2.1矢量作图法 nm%qm  
2.2有效界面法 lf KV%  
2.3对称膜系的等效层 33eOM(`D[  
2.4导纳图解技术 lFcHE c  
习题 l:u1P  
第3章光学薄膜系统的设计 y,1U]1TP  
3.1减反射膜 x5smJ__/  
3.2分束镜 hSAI G  
3.3高反射膜 4L`,G:J,;  
3.4干涉截止滤光片 -"2 t^Q  
3.5带通滤光片 FqnD"]A  
3.6特殊膜系 5&L*'k
V@  
习题 `}uM91;  
参考文献 8p}z~\J{a:  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 U61 LMH  
第4章薄膜制备技术 %G6x\[,  
4.1真空淀积工艺 "7Kw]8mRR  
4.2光学薄膜材料 fy$CtQM  
4.3薄膜厚度监控艺术 vlDA/( &  
4.4膜层厚度的均匀性 ?*kB>U9e  
习题 K%t&aRjS  
参考文献 SJLs3iz_)  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 n[y^S3}%;  
5.1薄膜的形成过程 I~p*~mLh'  
5.2薄膜的微观结构 2Q%M2Ua  
5.3薄膜的成分 fMW=ss^fu-  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 }z\t}lven  
5.5薄膜微观结构和改善 =c#mR" 1  
习题 fo/sA9  
参考文献 2Z<S^9O9  
第三篇光学薄膜检测技术 qQo*:3/];  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Pjvb}q=  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 =Ov,7<8o  
6.2薄膜反射率的测试 aYpc\jJ  
6.3薄膜反射率的测量 <j#IR  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 Vi'7m3&  
6.5总结 (~F}O  
习题 &\6(iL  
参考文献 g2LvojR  
第7章薄膜的吸收和散射测量 F>
[^m Xw  
7.1激光量热计基本原理 e,#5I(E  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 `2V{]F  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 "iK'O =M  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 tId,Q>zH  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 D0S^Msk9L  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 RCK*?\m5  
7.7总结 #jj(S\WY  
习题 lSd tw b  
参考文献 :l Z\=2D  
第8章薄膜光学常数的测量 @RoU
 
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 -{d(~XIo  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 94*MRn1E  
8.3薄膜波导法 7pep\  
8.4光学薄膜厚度的测试 AtAu$"ue  
8.5总结 c1*^ \  
习题 hA&m G33  
参考文献 Kh&a#~c  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 33hP/p%  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ^$oEM0h  
9.2薄膜器件的环境试验 9v ,y  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 E J6|y'  
9.4总结 iQCs8hIR  
习题 QOJ5  
参考文献 Xo.3OER  
附录 SST@   
附录A复数与复数运算 }>YEtA  
A.1复数的概念 >k/ rJ[Sc  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 S!JLy&@  
A.3复数在物理中的运用 pm=s  
附录B矩陈及矩陈运算 SEZ08:>x r  
B.1矩陈的定义 DC$> 5FDv  
B.2矩陈运算 vsI|HxpyC,  
附录C光的电磁理论基础 #xh
l@=W;  
C.1振动与波 !g~u'r'1  
C.2电磁波 $"Ci{iE  
C.3麦克斯韦方程 |*]<*qnZt  
C.4平面电磁波 4!'4 l=jO  
C.5平面电磁波性质 [,z>msEB.  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 !|"LAr9u  
附录D光的干涉 $B%3#-  
D.1波的叠加原理 &&96kg3  
D.2杨氏干涉 jgYe\dinM  
D.3平板的表面干涉 6gq`V,  
D.4光的空间相干性和时间相干性 v?DA>  
附录E光的偏振 k>\s6  
E.1自然光和偏振光 Nlm3RxSn  
E.2偏振光与Jones矩陈 np7!
y U  
E.3偏振光的获得 nqcD#HUv  
E.4偏振光的检验 W[73q>'  
…… 2>Kn'p  
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