现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 _9=cxwi<w  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 EpT^r8I  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 C%%gCPI^y  

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第一篇光学多层膜设计 Q7zpu/5?  
第1章光学薄膜特性的理论计算 NTGWI$  
1.1单色平面电磁波 _K!)0p  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 SpIiMu(  
1.3光学薄膜特性的理论计算 6#:V3 ;  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 BNO+-ob-  
习题 q&:%/?)x  
第2章光学薄膜的设计理论 ,t*H:
*  
2.1矢量作图法 "ChJR[4@  
2.2有效界面法 d&ff1(j(  
2.3对称膜系的等效层 pI_:3D xe  
2.4导纳图解技术 pOB<Bx5t  
习题 e?o/H  
第3章光学薄膜系统的设计 0\k{v  
3.1减反射膜 +T,0,^*  
3.2分束镜 DdeKZ)8  
3.3高反射膜 b`GKGqbJ  
3.4干涉截止滤光片 05jjLM'e  
3.5带通滤光片 `4Fw,:+e  
3.6特殊膜系 xlsAct:  
习题 IO2@^jup  
参考文献 7?vj+1;  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 & \C1QkI  
第4章薄膜制备技术 yI-EF)A@;  
4.1真空淀积工艺 <a+@4d;  
4.2光学薄膜材料 >I;.q|T  
4.3薄膜厚度监控艺术 (*T$:/zIS  
4.4膜层厚度的均匀性 j(>xP*il  
习题 q}z`Z/`/  
参考文献 V8pZr+AJ  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响  Oe "%v;-  
5.1薄膜的形成过程 93,7yZ5#  
5.2薄膜的微观结构 4l>d^L  
5.3薄膜的成分 S C}@eA'  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 5Z:qU{[  
5.5薄膜微观结构和改善 C/9]TkX}q  
习题 NE Zu?g  
参考文献 *dC&*6Rx  
第三篇光学薄膜检测技术 u&o$2 '8  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Ef@Et(f_mQ  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 >4+KEK  
6.2薄膜反射率的测试 o?IrDQ2gmh  
6.3薄膜反射率的测量 \#N?  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 e:rbyzf#  
6.5总结 I;G(Wj  
习题 _S-@|9\&#  
参考文献
T_9o0Qk  
第7章薄膜的吸收和散射测量 e3[Q6d&|  
7.1激光量热计基本原理 D O||o&u  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 1FT3d  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 `'pAiu  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 L gy^^.  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 zXbA$c  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 AYp~;@  
7.7总结 P>
`|.@  
习题 vWa\8yf  
参考文献 )ac!@slb^7  
第8章薄膜光学常数的测量 M23r/eg]  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 <zAYq=IU  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 vF[ 4kDHk  
8.3薄膜波导法 dB:c2  
8.4光学薄膜厚度的测试 cz|?j  
8.5总结 {9^p3Q+:P  
习题 ;&O *KhLH  
参考文献 ki1j~q  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 f=S2O_Ee  
9.1薄膜的力学特性检测技术 {.y_{yWo  
9.2薄膜器件的环境试验 7QoMroR  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 $3%+N|L  
9.4总结 '6*9pG
-  
习题 OEC/'QOae  
参考文献 x]3[0K5;  
附录 T4[/_;1g  
附录A复数与复数运算  =+q\Jh  
A.1复数的概念 "7jE&I  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 j9vK~_?;  
A.3复数在物理中的运用 AD@ {7  
附录B矩陈及矩陈运算 $TK= :8HY  
B.1矩陈的定义 /{W6]6^  
B.2矩陈运算 tE-g]y3  
附录C光的电磁理论基础 (Q8r2*L  
C.1振动与波 eg1F[~YL/  
C.2电磁波 W,_2JqQp  
C.3麦克斯韦方程 sH >zsc  
C.4平面电磁波 HIC!:|  
C.5平面电磁波性质 I`i"*z  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 1-&L-c.  
附录D光的干涉 1i'y0]f  
D.1波的叠加原理 vJV/3-yX  
D.2杨氏干涉 l\uNh~\  
D.3平板的表面干涉 |{_>H'  
D.4光的空间相干性和时间相干性 <iGW~COd  
附录E光的偏振 evNe6J3  
E.1自然光和偏振光 ]]3rSXs2}J  
E.2偏振光与Jones矩陈 (Nv-wU  
E.3偏振光的获得 *;~u 5y2b  
E.4偏振光的检验 YhqMTOw  
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