现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 -==qMrKP  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 y32++b!  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 >Ryss@o  

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第一篇光学多层膜设计 *P R_Y=v%  
第1章光学薄膜特性的理论计算 L?27q  
1.1单色平面电磁波 6//FZ:q  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ^;$a_$|  
1.3光学薄膜特性的理论计算 }FiN 7#  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 +c8AbEewg  
习题 p_qm}zp  
第2章光学薄膜的设计理论 iEVA[xy=D  
2.1矢量作图法 pJIE@Q|hi  
2.2有效界面法 Vt=(2d5:p  
2.3对称膜系的等效层 ob0 8xGj  
2.4导纳图解技术 b]<HhU  
习题 j'Y"/<  
第3章光学薄膜系统的设计 JkDPuTXD  
3.1减反射膜 U+PCvl=x  
3.2分束镜 8$v zpu  
3.3高反射膜 OZ'
.}((?n  
3.4干涉截止滤光片 fj-pNl6Gf  
3.5带通滤光片 20l_ay  
3.6特殊膜系 [TK? P0  
习题 bV$8 >[`  
参考文献 Rw}2*5#y  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 6{+_T  
第4章薄膜制备技术 B >u,)  
4.1真空淀积工艺 '"w}gx  
4.2光学薄膜材料 vDW&pF_eI>  
4.3薄膜厚度监控艺术 ]\RSHz  
4.4膜层厚度的均匀性 Km9}^*Mo%  
习题 ]bN&5.|  
参考文献 `e?;vA&  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ?D(FNd  
5.1薄膜的形成过程 EARfbb"SG7  
5.2薄膜的微观结构 m c\
C  
5.3薄膜的成分 #K#Mv/  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 BLwfm+ m"  
5.5薄膜微观结构和改善 ;Lsjh#  
习题 $35,\ZO>  
参考文献 q)?p$\  
第三篇光学薄膜检测技术 uGa(_ut  
第6章薄膜透射率和反射率测量 VPM|Rj:d  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Wg`+u  
6.2薄膜反射率的测试 QP$nDK<  
6.3薄膜反射率的测量 7~ *;=,mw  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 r}R^<y@I  
6.5总结 AJ\VY;m7F  
习题 niYz9YX  
参考文献 i'!jx.  
第7章薄膜的吸收和散射测量 CO:*x,6au  
7.1激光量热计基本原理 t}]9VD9  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 |I}A>XG  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量
K}PvrcO1  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 t&R!5^R  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 nY{i>Y  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 -_2Dy1  
7.7总结 m3xz=9Ve  
习题 N b3I%r  
参考文献 ~VqFZasV  
第8章薄膜光学常数的测量 H_?;h-Y]  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ka2F!  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 _8[UtZYG  
8.3薄膜波导法 WYwzo V-  
8.4光学薄膜厚度的测试 *|];f#^9  
8.5总结 X)Dqeb6  
习题 v9E+(4I9_  
参考文献 |?x^8e<*  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 0 &*P}U}Uc  
9.1薄膜的力学特性检测技术 E\R raPkQT  
9.2薄膜器件的环境试验 0rku4T  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 /rIm7FW)  
9.4总结 Job/@> ;  
习题 "H5&3sF2  
参考文献 ATMc`z:5T  
附录 csK>iN  
附录A复数与复数运算 Z$!C=  
A.1复数的概念 M4TrnZ1D}
 
A.2复数的三角函数及指数表示方法 PM~bM3Ei  
A.3复数在物理中的运用 e
> ar  
附录B矩陈及矩陈运算 Q&u>7_, Du  
B.1矩陈的定义 99F>n[5  
B.2矩陈运算 M0O>Ljo4RN  
附录C光的电磁理论基础 lir&e 9I+  
C.1振动与波 [urH a  
C.2电磁波 PqT"jOF]n  
C.3麦克斯韦方程 7^B3lC)  
C.4平面电磁波 i[^k.W3gf  
C.5平面电磁波性质 UskZ%J  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Ab*]dn`z  
附录D光的干涉 T|;^.TZ  
D.1波的叠加原理 shM{Y9~O9&  
D.2杨氏干涉 UUl*f!&
o  
D.3平板的表面干涉 ]KsGkAG  
D.4光的空间相干性和时间相干性 H \r`
7  
附录E光的偏振 +->\79<#V(  
E.1自然光和偏振光 cICHRp&&  
E.2偏振光与Jones矩陈 N\_( w:q  
E.3偏振光的获得 BiA>QQ  
E.4偏振光的检验 :tKbz nd/  
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