现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ?i\B^uB  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ln*icaDqf  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 R`Aj|C z  

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第一篇光学多层膜设计 -
N>MBn  
第1章光学薄膜特性的理论计算 MJ<Jb,D1  
1.1单色平面电磁波 u/
b7Z`yX}  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 j83? m  
1.3光学薄膜特性的理论计算 +1C3`0(  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 6Q4X6U:WB  
习题 V{-AP=C7  
第2章光学薄膜的设计理论 `"yxdlXA  
2.1矢量作图法 %x;x_  
2.2有效界面法 \2[<XG(^  
2.3对称膜系的等效层 \u-0v.+|  
2.4导纳图解技术 75!9FqMZ}  
习题 6[qA`x#  
第3章光学薄膜系统的设计 yAT^VRbv  
3.1减反射膜 Gz I~TWc+G  
3.2分束镜 )/ Ud^wi  
3.3高反射膜 CDj~;$[B  
3.4干涉截止滤光片 ubMOD<  
3.5带通滤光片 Mpue   
3.6特殊膜系 %U7.7dSOI;  
习题 7T``-:`[  
参考文献 seFGJfN\?f  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 &hHW3Q(1  
第4章薄膜制备技术 {3a&1'a0g  
4.1真空淀积工艺 %z]U LEYrZ  
4.2光学薄膜材料 R9We/FhOY  
4.3薄膜厚度监控艺术 g3n'aD@'x  
4.4膜层厚度的均匀性 S 6,4PP  
习题 6\7ncFO3  
参考文献 h/eR  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 6dH }]~a  
5.1薄膜的形成过程 Jo(`zuLJ  
5.2薄膜的微观结构 |LG4=j.l  
5.3薄膜的成分 !{et8F@d|  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 :nHKl  
5.5薄膜微观结构和改善 Kr'f-{  
习题 uf<@ruN  
参考文献 mpC`Yk  
第三篇光学薄膜检测技术 b2(RpY
2Y  
第6章薄膜透射率和反射率测量 m~#!  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 oeSN9O  
6.2薄膜反射率的测试 ;DA8B'^>  
6.3薄膜反射率的测量 ~fl@ 2  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ^VW PdH/Fe  
6.5总结 rVvR!"//yH  
习题
hDP/JN8y  
参考文献 bUV >^d  
第7章薄膜的吸收和散射测量 U/ V  
7.1激光量热计基本原理 gXT9 r' k  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 +:=(#Y  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 m`#Od^vk  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 yw[#  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 7 J^rv9i4  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 5*PYT=p}  
7.7总结 exh/CK4
;  
习题 pA.J@,>`}  
参考文献 $CTSnlPq  
第8章薄膜光学常数的测量 8,D 2^Gg  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 T J^u"j-'  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 uY_SU-v  
8.3薄膜波导法 R2etB*k6[  
8.4光学薄膜厚度的测试 ;Mm7n12z C  
8.5总结 ^m#-9-`  
习题 "xcX'F^  
参考文献 \y6OUM2y  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 2 &/v]  
9.1薄膜的力学特性检测技术 65z"  
9.2薄膜器件的环境试验 Y^Nuz/  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 waX>0e  
9.4总结 v}@xlB=  
习题 ~
vLW.:  
参考文献 rn DCqv!'P  
附录 ?oZR.D|SZ  
附录A复数与复数运算 7e7 M@8+4  
A.1复数的概念 Er/bO  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ~pa!w?/bQ  
A.3复数在物理中的运用 ~/NKw:  
附录B矩陈及矩陈运算 ZnFi<@UB)  
B.1矩陈的定义 ]&Z))H  
B.2矩陈运算 f~E*Zz`;  
附录C光的电磁理论基础 R [H+qr  
C.1振动与波 `&0Wv0D0  
C.2电磁波 !$2Z-!  
C.3麦克斯韦方程 Nu8Sr]p  
C.4平面电磁波 i'stw6*J  
C.5平面电磁波性质 MT(o"ltQ  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 NmK8<9`u  
附录D光的干涉 gOgps:  
D.1波的叠加原理 8x`.26p  
D.2杨氏干涉 Bwr3jV?S  
D.3平板的表面干涉 yx V:!gl  
D.4光的空间相干性和时间相干性 q'pK,uNW  
附录E光的偏振 R1&unm0  
E.1自然光和偏振光 Y_`-9'&  
E.2偏振光与Jones矩陈 Y`+=p@2O2o  
E.3偏振光的获得 e\O/H<  
E.4偏振光的检验 f%5zBYCgC  
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