现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 h:
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Trpgx  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 k2pT1QZnt  
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第一篇光学多层膜设计 V>
AS%lXj  
第1章光学薄膜特性的理论计算 2g0K76=Co:  
1.1单色平面电磁波 XYMxG:  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 L -YNz0A  
1.3光学薄膜特性的理论计算 IOX:yxj  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 o7J{+V  
习题 EPv%LX_j  
第2章光学薄膜的设计理论 2!BsEvB(  
2.1矢量作图法 sx:Hv1d  
2.2有效界面法 3Mur*tj#  
2.3对称膜系的等效层 G#|Hu;C6"  
2.4导纳图解技术 $Vsy%gA<  
习题 J,9%%S8/C  
第3章光学薄膜系统的设计 X'jr|s^s  
3.1减反射膜 7r['  
3.2分束镜 fw
y"w  
3.3高反射膜 v:?o3 S  
3.4干涉截止滤光片 j6HR&vIM  
3.5带通滤光片 Hl/7(FJqc>  
3.6特殊膜系 {79qtq%W{  
习题 1!d)PK>1$  
参考文献 sSz%V[XWL  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 =D}4X1l  
第4章薄膜制备技术 ",T`\8&@e  
4.1真空淀积工艺 i2`#   
4.2光学薄膜材料 -IbbPuRq  
4.3薄膜厚度监控艺术 *<UGgnmLE  
4.4膜层厚度的均匀性 Y|:YrZSC  
习题 UTvs |[  
参考文献 VE*j*U j  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 uS&LG#a  
5.1薄膜的形成过程 &lq^dFP&Su  
5.2薄膜的微观结构 LfHzT<)|  
5.3薄膜的成分 A*Rn<{U  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ]
{Z8  
5.5薄膜微观结构和改善 qrpb[)Ll  
习题 5=Suj*s{D#  
参考文献 KI`11lJW~  
第三篇光学薄膜检测技术 SD^E7W$?  
第6章薄膜透射率和反射率测量 F(;jM(  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ^j
[Ku  
6.2薄膜反射率的测试 o(zTNk5d  
6.3薄膜反射率的测量 /z
#F,NB  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 E0<)oQ0Xa>  
6.5总结 N2[jO+6  
习题 w2C&%Xk  
参考文献   Y<aO  
第7章薄膜的吸收和散射测量 qF'~F`6  
7.1激光量热计基本原理 0 7\02f  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 %Lyz_2q
A  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 vlu$!4I  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 -p]>Be+^x  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法
nc&Jmo7  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 |Q5+l.%  
7.7总结 WcU@~05b  
习题 Xo8DEr  
参考文献 q1w|'V  
第8章薄膜光学常数的测量 A4 5m)wQ  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ewym1}o  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 u1N1n;#  
8.3薄膜波导法 VKNp,Lf  
8.4光学薄膜厚度的测试 .&PzkqWZ  
8.5总结 [Y$V\h=V  
习题 Z(`r-}f I  
参考文献 @/ k x er  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 f1J%]g!  
9.1薄膜的力学特性检测技术 6g~+( ({lQ  
9.2薄膜器件的环境试验 ;iQ
p7aW{$  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 GG+5/hU  
9.4总结 Z\'wm'  
习题 {>h97}P  
参考文献 }PZ=`w*O  
附录 'W(xgOP1  
附录A复数与复数运算 !UcOl0"6  
A.1复数的概念 4w;~4#ZPp  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 rREzM)GA  
A.3复数在物理中的运用 <s
c\EK  
附录B矩陈及矩陈运算 nP;;MX:B  
B.1矩陈的定义 -X8eabb  
B.2矩陈运算 LipxAE?O  
附录C光的电磁理论基础 k}U JVH21k  
C.1振动与波 )88nMH-  
C.2电磁波 \K}aQKB/j  
C.3麦克斯韦方程 SOj`Y|6^:  
C.4平面电磁波 Wcn[gn<  
C.5平面电磁波性质 3S;N(A4  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 lQL:3U0DjU  
附录D光的干涉 +Vy_9I(4Z  
D.1波的叠加原理 :XYy7xz<  
D.2杨氏干涉 1eD.:_t4  
D.3平板的表面干涉 /PW&$P1.]"  
D.4光的空间相干性和时间相干性 S=PJhAF  
附录E光的偏振 6c&Y  
E.1自然光和偏振光 :Eo8v$W\RB  
E.2偏振光与Jones矩陈 -TS? fne)  
E.3偏振光的获得 R04J3D|  
E.4偏振光的检验 /WYh[XKe  
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