现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 o!_
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 0|+hm^'_  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 z1KC$~{O  

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第一篇光学多层膜设计 Px?A
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第1章光学薄膜特性的理论计算 AYQh=$)(  
1.1单色平面电磁波 RO3e  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 &8YI)G%  
1.3光学薄膜特性的理论计算 yLa5tv/  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ,["|wqM  
习题 SIBIh-L  
第2章光学薄膜的设计理论 <IkD=X  
2.1矢量作图法 K}*p(1$u  
2.2有效界面法 1X_!%Z  
2.3对称膜系的等效层 wTAEJ{p  
2.4导纳图解技术 r L|BkN  
习题 k49n9EX  
第3章光学薄膜系统的设计 SVEA  
3.1减反射膜 lJQl$Wx^  
3.2分束镜 mbG^fy'  
3.3高反射膜 AeQ&V d|  
3.4干涉截止滤光片 N*)8L[7_;  
3.5带通滤光片 y42T.oK8c  
3.6特殊膜系 g:6}zHK  
习题 Ty`=U>K|  
参考文献 L5|;VH  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 27i<6PAC[A  
第4章薄膜制备技术 M #RuI%  
4.1真空淀积工艺 KdQ|$t  
4.2光学薄膜材料 kk./-G  
4.3薄膜厚度监控艺术 GN"LU
>9|  
4.4膜层厚度的均匀性 Gg,k  
习题 d1_*!LW$  
参考文献 0J,d9a [1  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 !Fs)"?  
5.1薄膜的形成过程 _I"<?sh3  
5.2薄膜的微观结构 ~5qZs"ks  
5.3薄膜的成分 :qKY@-t7H  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ZaV66Y>  
5.5薄膜微观结构和改善 [?o vJ  
习题 gK_[3FiKt  
参考文献 FNRE_83  
第三篇光学薄膜检测技术 il
l'KPy  
第6章薄膜透射率和反射率测量 6D]G*gwk[  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 >!.lr9(l  
6.2薄膜反射率的测试 &zDFf9w2{  
6.3薄膜反射率的测量 +GtGyp  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 %SFR.U0}yK  
6.5总结 -.3k vL  
习题 _@?Jx/`;bk  
参考文献 yFtf~8s3  
第7章薄膜的吸收和散射测量 n&&U9sf?  
7.1激光量热计基本原理 nk.Eq[08  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 H LGy"P  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 *J5euA5=  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 e[o ;l  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 9uoj3Rh<  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 k$- q;VI  
7.7总结 9 9BK/>R  
习题 N>
\?Aeh  
参考文献 >x0lSL0y  
第8章薄膜光学常数的测量 p arG  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ``CADiM:S  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 >5W"a?(  
8.3薄膜波导法 N2Hb19/k  
8.4光学薄膜厚度的测试 [,X,2  
8.5总结 q9]L!V9Rv  
习题 m3e49 bP  
参考文献 Tz~ftf  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 !Hj)S](F  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ?E@[~qq_  
9.2薄膜器件的环境试验 glIIJ5d|,  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 K
<(sqH  
9.4总结 .?]_yX  
习题 Ka2tr]+s  
参考文献 ?MB nnyo6  
附录 Lxrn#Z eM  
附录A复数与复数运算 =%G[vm/-)  
A.1复数的概念 'mR+W{r  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 $oH,:x?}  
A.3复数在物理中的运用 C{^@.8:  
附录B矩陈及矩陈运算 =_3qUcOP  
B.1矩陈的定义 ~[6|VpGc:  
B.2矩陈运算 #E)]7!_XG  
附录C光的电磁理论基础 feHAZ.8rp+  
C.1振动与波 YJsi5  
C.2电磁波 6GvnyJ{[  
C.3麦克斯韦方程
IbwRb  
C.4平面电磁波 KK|Jach  
C.5平面电磁波性质 54%}JA][  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 }Cf[nGh|B  
附录D光的干涉 x*)O<K  
D.1波的叠加原理 8 \Oiv$r  
D.2杨氏干涉 Fowh3go  
D.3平板的表面干涉 4N: ;Mo&B  
D.4光的空间相干性和时间相干性 . %7A
7a  
附录E光的偏振 1^dWmxUZH  
E.1自然光和偏振光 eQj/)@B:V  
E.2偏振光与Jones矩陈 WQ`T'k#ESW  
E.3偏振光的获得 \ }f*  
E.4偏振光的检验 ^123.Ru|t  
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