现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 .ev?"!Vpp9  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Za1QC;7  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。  5~>z h  
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第一篇光学多层膜设计 %^ !,t:d  
第1章光学薄膜特性的理论计算 >Z'NXha  
1.1单色平面电磁波  |'B7v i)  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 .=s&EEF  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ;IZwTXu!S  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 [D\k^h  
习题 AJF#Aw `o  
第2章光学薄膜的设计理论 /w}u3|L$  
2.1矢量作图法 e]zBf;9J  
2.2有效界面法 y~U #veY  
2.3对称膜系的等效层 ppVHLrUh  
2.4导纳图解技术 % ~H=sjg  
习题 H" 3fT0  
第3章光学薄膜系统的设计 ,Ge
"anO  
3.1减反射膜 |R/%D%_g  
3.2分束镜
"i[@P)  
3.3高反射膜 nH[yJGZYSA  
3.4干涉截止滤光片 q1d}{DU  
3.5带通滤光片 ;z$(nhJ  
3.6特殊膜系 Z/Dx,zIR  
习题 ?iWi  
参考文献 n<z[J=I  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 rWR}Stc@
]  
第4章薄膜制备技术 >JFO@O5  
4.1真空淀积工艺 rrik,qyv6  
4.2光学薄膜材料 1SCR.@k<  
4.3薄膜厚度监控艺术 Ac2n  
4.4膜层厚度的均匀性 2y;Skp  
习题 YUtC.TR1  
参考文献 '!
!CeDy  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 __G?0*3G  
5.1薄膜的形成过程 5YeM%%-S  
5.2薄膜的微观结构 gG(fQ 89U"  
5.3薄膜的成分 P2#XKG  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 i:Y^{\Z?V  
5.5薄膜微观结构和改善 1mOh{:1u  
习题 7QiIiWqIWC  
参考文献 vqDu(6!2  
第三篇光学薄膜检测技术 o,AAC
  
第6章薄膜透射率和反射率测量 @#T|Y&  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 \`~Ly-  
6.2薄膜反射率的测试 oAODp!_c  
6.3薄膜反射率的测量 '7hu 2i5  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 Czs8!S  
6.5总结 ,Z&xNBX  
习题 0zmE>/O+
 
参考文献 ;-~B)M_S`  
第7章薄膜的吸收和散射测量 w0rRSD4S8B  
7.1激光量热计基本原理 8lvV4
yb  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 u8&Z!p\  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 gY/"cq  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 nP$Ky1y G  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 . qO@Q=  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 C~,a!qY  
7.7总结 5F)C  jQ  
习题 +" .X )avF  
参考文献 %*A0#F  
第8章薄膜光学常数的测量 KX,S  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Dp,L/1GQ8  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 LM~[@_j  
8.3薄膜波导法 e^6)Zz1\  
8.4光学薄膜厚度的测试 /M1ob:m  
8.5总结 +h|`/ &,  
习题 Ns
>- o  
参考文献 1H? u Qy  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 I8
hz(2jI  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ElcjtYu4  
9.2薄膜器件的环境试验 4KhV|#-;k  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 CGW.I$u  
9.4总结 3`t#UY).F  
习题 cLpYW7vZ[  
参考文献 [+2[`K c]  
附录 ##,a0s^  
附录A复数与复数运算 XKj|f`  
A.1复数的概念 n\Z!ff/  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 g
X@HO|.t  
A.3复数在物理中的运用 ] {RDVA=]  
附录B矩陈及矩陈运算 c69C  
B.1矩陈的定义 b|l:fT?&  
B.2矩陈运算 0fb2;&pUa  
附录C光的电磁理论基础 EizKoHI-z  
C.1振动与波 tU}h~&M  
C.2电磁波 M'?,] an  
C.3麦克斯韦方程 2V- 16Q'%  
C.4平面电磁波 !`Fx
a4i>  
C.5平面电磁波性质 *'
Sd/%8{  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 5;tD"/nz  
附录D光的干涉 N({MP
O9  
D.1波的叠加原理 yr)G]K[/  
D.2杨氏干涉 u@Ih GME  
D.3平板的表面干涉 dP9qSwTa  
D.4光的空间相干性和时间相干性 >:74%D0UF  
附录E光的偏振 u1J0$  
E.1自然光和偏振光 ^n*)7K[  
E.2偏振光与Jones矩陈 "@e3EX7h  
E.3偏振光的获得 Sj%u)#Ub  
E.4偏振光的检验 kvL=> A  
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