现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 [ neXFp}S  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ? 81X  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 {OT:3SS7  

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第一篇光学多层膜设计 +c206.  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ID}
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1.1单色平面电磁波 {bF1\S]2  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 W(
*V2<$o  
1.3光学薄膜特性的理论计算 t~K%.|'0  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 RE46k`44  
习题 @?B6aD|jE  
第2章光学薄膜的设计理论 OIaYHA  
2.1矢量作图法 0?bA$y  
2.2有效界面法 m.%`4L^`T  
2.3对称膜系的等效层 Uhh l3%p  
2.4导纳图解技术 H5wb_yBQ+  
习题 `?s.\Dh  
第3章光学薄膜系统的设计 7CvD'QW /  
3.1减反射膜 c"gsB!xh  
3.2分束镜 #j@OLvXh  
3.3高反射膜 "Q+83adY4x  
3.4干涉截止滤光片 1H4fJ3-  
3.5带通滤光片 cep$_Ja  
3.6特殊膜系 c^I0y!  
习题 B(HT.%r^A  
参考文献 N=,j}FY  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 3" Vd==oK~  
第4章薄膜制备技术 "/x_>ui1F  
4.1真空淀积工艺 u@ N~1@RT|  
4.2光学薄膜材料 32XS`Z  
4.3薄膜厚度监控艺术 l\q} |o  
4.4膜层厚度的均匀性 AO0!liQ  
习题 Jj"HpK>[  
参考文献 W=-|`  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 2M6dMvS  
5.1薄膜的形成过程 9zKBO* p`  
5.2薄膜的微观结构 |w)5;uQ&\  
5.3薄膜的成分 k&s; {|!  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 -6EK#!+  
5.5薄膜微观结构和改善 [ x>  
习题 $Tl<V/  
参考文献 d!{7r7ob\  
第三篇光学薄膜检测技术 CJw$j`k  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Y_H/3?b%  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Up?=m^  
6.2薄膜反射率的测试 Q</h-skLZ  
6.3薄膜反射率的测量 yqcM(,0]  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 {7#03k  
6.5总结 3o8\/-*<  
习题 !L\'Mk/=A  
参考文献 $-G`&oT  
第7章薄膜的吸收和散射测量 l)@:T|)c  
7.1激光量热计基本原理 O*7i }\{  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 W,NL*($^  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ;) pl{_  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 jUY+3"?   
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 %!W%#U0  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 \|+/0USn  
7.7总结
M<oA<#IW  
习题 !Cb=B  
参考文献 *TnzkNN_,  
第8章薄膜光学常数的测量 8M
93cyX  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ! zfFt;  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 %8D?$v"#Z  
8.3薄膜波导法 <aVfJd/fT  
8.4光学薄膜厚度的测试 :W
X0,-Gn  
8.5总结 V*qY"[  
习题 8eX8IR!K9  
参考文献 !J#.!}3  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 Yo'K pdn  
9.1薄膜的力学特性检测技术 n6cq\@~A  
9.2薄膜器件的环境试验 >l2w
::l%  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 "?H+ u/8$  
9.4总结 (Jpm KO  
习题 ~07RFR  
参考文献 8A/>JD3^  
附录 oFyeH )!  
附录A复数与复数运算 Q7k.+2  
A.1复数的概念 b;{h?xc6  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 okDJ(AIV+  
A.3复数在物理中的运用 *<dHq
K`?C  
附录B矩陈及矩陈运算 ]L(54q;W  
B.1矩陈的定义 ;IhPvff  
B.2矩陈运算 3ZN>9`  
附录C光的电磁理论基础 u\5g3BH  
C.1振动与波 \^s2W:c  
C.2电磁波 0x#E4v(UA  
C.3麦克斯韦方程 ?pKN'`  
C.4平面电磁波 <ge}9pU)o^  
C.5平面电磁波性质 @YB85p"]J.  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ?Ccw4]YO,=  
附录D光的干涉 T9y768%  
D.1波的叠加原理 A^vvST%7  
D.2杨氏干涉 i* gKtjx  
D.3平板的表面干涉 w`Xg%*]}  
D.4光的空间相干性和时间相干性 v>:=w|.HC  
附录E光的偏振 Mk "vvk  
E.1自然光和偏振光 w`-$-4i  
E.2偏振光与Jones矩陈 }{=8&gA0  
E.3偏振光的获得 \CwtX(6.  
E.4偏振光的检验 N
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