现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 bz&9]%S<  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 .>`7d=KT  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 "{{@N4^  
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第一篇光学多层膜设计 8Z@O%\1x6  
第1章光学薄膜特性的理论计算 LGy!{c  
1.1单色平面电磁波 M~sP|Ha"+  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 8BIPEY -I?  
1.3光学薄膜特性的理论计算 )sEAPIka  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 (ds*$]  
习题 XF4NRs  
第2章光学薄膜的设计理论 7")&njQ/x  
2.1矢量作图法 ?!34qh  
2.2有效界面法 UR`pZ.U?  
2.3对称膜系的等效层 oRn5blj  
2.4导纳图解技术 5OFb9YX  
习题 Z${@;lgP  
第3章光学薄膜系统的设计 .|ZnU]~T  
3.1减反射膜 ,"5p=JX`  
3.2分束镜 Z}O0DfT;  
3.3高反射膜 Io;26F""  
3.4干涉截止滤光片 Z=?qf$.}  
3.5带通滤光片 !hPe*pPVV)  
3.6特殊膜系 g.EKdvY"%H  
习题 T/7[hj  
参考文献 [h :FJ  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 l5k]voG  
第4章薄膜制备技术 !P)7t`X  
4.1真空淀积工艺 TLzcQ|  
4.2光学薄膜材料 {QLqf  
4.3薄膜厚度监控艺术 %hzNkyD)Y  
4.4膜层厚度的均匀性 ;/nR[sibN  
习题 YwM;G g3  
参考文献 i `8Y/$aT  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 }S
b&ux  
5.1薄膜的形成过程 QeAkuqT'[  
5.2薄膜的微观结构 U#_rcu  
5.3薄膜的成分 fm% Y*<Y"  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 (au7wI{  
5.5薄膜微观结构和改善 785Y*.p  
习题 ?9H.JR2s%  
参考文献 vCNYqa)m:  
第三篇光学薄膜检测技术 QO~T
uC  
第6章薄膜透射率和反射率测量 cXokq  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 80M4
~'3  
6.2薄膜反射率的测试 0:Lm=9o  
6.3薄膜反射率的测量 fx4X!(w!B  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 mk~Lkwl  
6.5总结 Ec]cCLB  
习题 @{n2R3)k B  
参考文献 xF{<-b  
第7章薄膜的吸收和散射测量 xH8nn3U  
7.1激光量热计基本原理 :XZ  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 m;LeaD}0  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 LNU9M>  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 BO ^T :  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 o' DXd[y  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 P8s'e_t  
7.7总结 \h"QgHzp  
习题 yz2NB?)  
参考文献 dDk<J;~jGJ  
第8章薄膜光学常数的测量 !'C^qrh  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 [w)6OT  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 7[V'3  
8.3薄膜波导法 Z,,Wo %)o  
8.4光学薄膜厚度的测试 C`x>)wm:  
8.5总结 [H)p#x  
习题 18!0Hl>  
参考文献 %P9Zx!i>  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 B)
"WG7W E  
9.1薄膜的力学特性检测技术 |^@TA
=_  
9.2薄膜器件的环境试验 ;comL29l2`  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 ziy~~J  
9.4总结 fr\UX}o  
习题 66%kq[  
参考文献 BiHBu8
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附录 }qXi;u))  
附录A复数与复数运算 4//Ww6W:  
A.1复数的概念 0:n
QGX!N  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 M ~!*PCd5  
A.3复数在物理中的运用 c66Iy"  
附录B矩陈及矩陈运算 /^0Hi4+\  
B.1矩陈的定义 {{=7mbc  
B.2矩陈运算 c{#lKD<7  
附录C光的电磁理论基础 Y6fU;  
C.1振动与波 O`mW,  
C.2电磁波 ")(1z@  
C.3麦克斯韦方程 Fu m1w  
C.4平面电磁波 tL;;Yt  
C.5平面电磁波性质 K)0 6][,  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 fi#o>tVyJ  
附录D光的干涉 T.W/S0#j3  
D.1波的叠加原理 2&!G@5  
D.2杨氏干涉 e v?Hz8Q;(  
D.3平板的表面干涉 r"rID RQ"  
D.4光的空间相干性和时间相干性 .'7o,)pJ<  
附录E光的偏振 r0j:ll d  
E.1自然光和偏振光 bU:"dqRm<  
E.2偏振光与Jones矩陈 :d!.E$S  
E.3偏振光的获得 ZT_EpT=1  
E.4偏振光的检验 M6|Q~8$  
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