现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 QMUmPx&  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 DbRq,T  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 QDO.
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第一篇光学多层膜设计 aj>
6q=R  
第1章光学薄膜特性的理论计算 _ISIq3A?  
1.1单色平面电磁波 :m~R<BQ"  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 -\ {.]KL  
1.3光学薄膜特性的理论计算 KxZup\\:v  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ma__LWKM,  
习题 PtR8m=O  
第2章光学薄膜的设计理论 tGq0f"}'J  
2.1矢量作图法 Ct-^-XD  
2.2有效界面法  Rd|#-7  
2.3对称膜系的等效层 rUJIf;Zwo  
2.4导纳图解技术 WS17DsWW  
习题 2`2S94'  
第3章光学薄膜系统的设计 j5eX?bi_v  
3.1减反射膜 b/>L}/^PM  
3.2分束镜 fa~4+jx>S  
3.3高反射膜 }:6$5/?  
3.4干涉截止滤光片 <d&9`e1Hc  
3.5带通滤光片 fpESuVKr  
3.6特殊膜系 CF|4, K)  
习题 {3s=U"\  
参考文献 t@hE}R  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ~yrEB:w`_  
第4章薄膜制备技术 h!>K[*  
4.1真空淀积工艺 |}hV
_  
4.2光学薄膜材料 >m66j2(H*Z  
4.3薄膜厚度监控艺术 H_ecb;|mP  
4.4膜层厚度的均匀性 mpcO-%a  
习题 S.^/Cl;aj  
参考文献 sr|afqjXD  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响
D\"F?>  
5.1薄膜的形成过程 ?+^vU5b1u  
5.2薄膜的微观结构 m :M=De  
5.3薄膜的成分 )I/K-zj  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 3b9SyU2  
5.5薄膜微观结构和改善 57nSyd]PR  
习题 [\41  
参考文献 BH@b]bEJ  
第三篇光学薄膜检测技术 nqnVFkGd9  
第6章薄膜透射率和反射率测量 SuorCp
]  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 !:zWhu,  
6.2薄膜反射率的测试 _s(izc  
6.3薄膜反射率的测量 *=b#>//  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ;";#{B:  
6.5总结 iS/faXe5  
习题 .|Ee,Un  
参考文献 `XmT)C  
第7章薄膜的吸收和散射测量 klUW_d-  
7.1激光量热计基本原理 L("zS%qr  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 sTmY'5ry  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 =zetZJg  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ~a5-xWEZ  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 KMU2PoqD  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 T?!D?YV  
7.7总结 0\/cTNN  
习题 y,YK Mc  
参考文献 bOvMXj/HV=  
第8章薄膜光学常数的测量
3$~6+i  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 *{#l0My  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 :\Pk>a  
8.3薄膜波导法 &I=27!S  
8.4光学薄膜厚度的测试 v"Z`#Bi  
8.5总结 vc r5  
习题 K0YUN^St  
参考文献 . #7B10  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 <E&[sQ|3  
9.1薄膜的力学特性检测技术 Iz^lED  
9.2薄膜器件的环境试验 >U%:Nfo3  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 4I
q-4IG(  
9.4总结 7K.in3M(  
习题 >}?4;:.=  
参考文献 KeIk9T13O  
附录 |o5F%1o  
附录A复数与复数运算 q%rfKHMA50  
A.1复数的概念 S2!$  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 .5ItH^  
A.3复数在物理中的运用 reU*apZ/  
附录B矩陈及矩陈运算 p,cw-lN  
B.1矩陈的定义 8B|qNf `Yi  
B.2矩陈运算 Z'@a@Y+  
附录C光的电磁理论基础 Y)7LkZO(y  
C.1振动与波 Y, ?- []  
C.2电磁波 ophQdJM  
C.3麦克斯韦方程 H
HZGu8tzt  
C.4平面电磁波 /-mo8]J#2~  
C.5平面电磁波性质 3P&K<M#\  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 R, J(]ew  
附录D光的干涉 =Y-ZI  
D.1波的叠加原理 5PCMxjon  
D.2杨氏干涉 CnvM>]  
D.3平板的表面干涉 3WTNWz#h  
D.4光的空间相干性和时间相干性 n>5/y c"/q  
附录E光的偏振 j/h>G,>T=  
E.1自然光和偏振光 "=/YPw^0  
E.2偏振光与Jones矩陈 ivi,/~L  
E.3偏振光的获得 -$Ad#Eu]M  
E.4偏振光的检验 :VB{@ED  
…… ,[j'OyR  
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