现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 )zn`qaHK@e  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 LGuK@^  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 $o}Ao@WkO  
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第一篇光学多层膜设计 XM?>#^nC?u  
第1章光学薄膜特性的理论计算 EGJ d:>k  
1.1单色平面电磁波 T'C^,,if  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 tE=;V) %we  
1.3光学薄膜特性的理论计算 e"g=A=S  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 PqUjBP\  
习题 %BBM%Lj  
第2章光学薄膜的设计理论 ArK%?*`5  
2.1矢量作图法 iG+hj:5  
2.2有效界面法 9feVy\u  
2.3对称膜系的等效层 ZH<:g6  
2.4导纳图解技术 e97Ll=>  
习题 *m$lAWB5D  
第3章光学薄膜系统的设计 )(CZK&<  
3.1减反射膜 cl,\N\  
3.2分束镜
z.d1>w  
3.3高反射膜 bn*SLWWQ.3  
3.4干涉截止滤光片 ;-]' OiS;  
3.5带通滤光片 1 >}x9D  
3.6特殊膜系 kfc5ra>&  
习题 FUTD/y]Lu  
参考文献 @*>kOZ(3  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 yq7gBkS  
第4章薄膜制备技术 Q3h_4{w  
4.1真空淀积工艺 `PoFKtVXM  
4.2光学薄膜材料 E^K<b7  
4.3薄膜厚度监控艺术 M_BG:P5  
4.4膜层厚度的均匀性 "39\@Ow  
习题 r3
;@  
参考文献 F x4s)(  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Wxeg(L}E  
5.1薄膜的形成过程 ;URvZ! {/Z  
5.2薄膜的微观结构 >(.GIR  
5.3薄膜的成分 A.YXK%A%  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Q%T[&A}3B  
5.5薄膜微观结构和改善 84U?\f@u  
习题 Sdo mG?;kV  
参考文献 Ez)hArxns  
第三篇光学薄膜检测技术 D,hZVKa  
第6章薄膜透射率和反射率测量 @'AjEl:&-_  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 fV(WUN+  
6.2薄膜反射率的测试 :@~W$f\y  
6.3薄膜反射率的测量 \>]C  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 '((pW  
6.5总结 I5%#A/|z  
习题 j0wpaIp  
参考文献
R`HC EX)  
第7章薄膜的吸收和散射测量 D\H;_k8  
7.1激光量热计基本原理 14DHU  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 tEam6xNf,  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 DWwPid} "  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ]_5qME#N  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 =:"wU  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 3QF/{$65!  
7.7总结 ^Ay>%`hf*  
习题 uB@~xQ_V  
参考文献 \#(tI3  
第8章薄膜光学常数的测量 eJ ;a}{ 4%  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 })F.Tjf*  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ?h|&kRq  
8.3薄膜波导法 :3N&&
]
  
8.4光学薄膜厚度的测试 Abc%V
RsT  
8.5总结 @,^c?v  
习题 1Qk]?R/DN  
参考文献 *ufVZzP(  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ?se\?q  
9.1薄膜的力学特性检测技术 y>! 8mDvZ  
9.2薄膜器件的环境试验 (ebC80M  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 x@LNjlP  
9.4总结 2{}8_G   
习题 q]2t3aY%  
参考文献 GoUsB|-\  
附录
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附录A复数与复数运算 f`vu+nw  
A.1复数的概念 n@te.,?A"  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 T B(K&3_D  
A.3复数在物理中的运用 `i5\(cdl  
附录B矩陈及矩陈运算  -]. a0  
B.1矩陈的定义 Y a/+|mv  
B.2矩陈运算 "$krK7Z  
附录C光的电磁理论基础 |>zYUT[V  
C.1振动与波 +l27y0>t  
C.2电磁波 $n=w  
C.3麦克斯韦方程 zI.%b7wq  
C.4平面电磁波 H3>49;`  
C.5平面电磁波性质  NIh?2w"\  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 }bZb8hiG  
附录D光的干涉 s+<`iH9Hm  
D.1波的叠加原理 M.oH,Kd6  
D.2杨氏干涉 "$#<+H>O  
D.3平板的表面干涉 y!M# #K*  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ^61;0   
附录E光的偏振 ?1.WF}X'  
E.1自然光和偏振光 q}|_]R_y  
E.2偏振光与Jones矩陈 s H(io  
E.3偏振光的获得 hX)PdRk#  
E.4偏振光的检验 V\nj7Gr:sF  
…… ,(3oAj\  
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