现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 \Y+")  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 p=H3Q?HJ}  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 >:%BNeO  
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第一篇光学多层膜设计 UoHd-  
第1章光学薄膜特性的理论计算 EZ/^nG  
1.1单色平面电磁波 7LfcF  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 !3@{U@*Z]  
1.3光学薄膜特性的理论计算 drI\iae{^  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 St+ "ih%  
习题 $T?]+2,6;  
第2章光学薄膜的设计理论 +mLD/gK`  
2.1矢量作图法 zSKKr?{  
2.2有效界面法 JYQ.EAsr!  
2.3对称膜系的等效层 >nK%^T  
2.4导纳图解技术 Y[@0qc3UO  
习题 O>%$q8x@i  
第3章光学薄膜系统的设计 9n"V\e_R  
3.1减反射膜 D#ZPq,f  
3.2分束镜 %A)538F  
3.3高反射膜 Z%OW5]q  
3.4干涉截止滤光片 e^8BV;+c  
3.5带通滤光片 r%|A$=[Q  
3.6特殊膜系 7E\g &R.  
习题 4gb'7'  
参考文献 AuXs B  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 (0R2T"/  
第4章薄膜制备技术 +(&|uq^  
4.1真空淀积工艺 l|q%%W0  
4.2光学薄膜材料 p?kvW42/  
4.3薄膜厚度监控艺术 ceG&,a$\  
4.4膜层厚度的均匀性 Bzw19S6y
 
习题 KUFz:&wK  
参考文献 ^Q\XGl  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 K"w%n[u)  
5.1薄膜的形成过程 ~)?|J  
5.2薄膜的微观结构 #q;z8 @  
5.3薄膜的成分 #x)8f3I  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Mg\TH./Y:  
5.5薄膜微观结构和改善 $UC{"0  
习题 =k_UjwgN^  
参考文献 ]-bQNYKX  
第三篇光学薄膜检测技术 {m[Wyb(  
第6章薄膜透射率和反射率测量 kC`Rd:5  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 1qZG`Vz  
6.2薄膜反射率的测试 |'$ l7  
6.3薄膜反射率的测量 P,ydt  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 V%51k{  
6.5总结 Y{+3}drJE  
习题 G "brT5:  
参考文献 S3y246|4  
第7章薄膜的吸收和散射测量 CmHyAw(  
7.1激光量热计基本原理 oM-[B h]A  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 m#n]Wgp'  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 p9iu:MucD<  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 )4m_A
p\  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ;_N5>3C:  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ]
\dHU.i  
7.7总结 J@Yj\9U  
习题 gr+Pl>C{  
参考文献 ]r959+\$  
第8章薄膜光学常数的测量 x.UaQ |F  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 h.}u?{  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 oY.\)eJ~>  
8.3薄膜波导法 H=<LutnZ  
8.4光学薄膜厚度的测试 +`}o,z/^  
8.5总结 FmD +8=  
习题 W;TJenv  
参考文献 P
=gJAE5  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 x0<^<D&Q  
9.1薄膜的力学特性检测技术 FN\GE\H  
9.2薄膜器件的环境试验 Q0>q:aj\  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 1-o V-K  
9.4总结 0Oap39  
习题 1EsqQz*$u  
参考文献 n&d/?aJ7a\  
附录 /b%Q[ Ck_  
附录A复数与复数运算 $[z<oN_Q  
A.1复数的概念 "~\*If  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Ep ">v>"  
A.3复数在物理中的运用 (Ilsk{aB;A  
附录B矩陈及矩陈运算 vpLMhf`  
B.1矩陈的定义 doLNz4W  
B.2矩陈运算 "DpKrVuG  
附录C光的电磁理论基础 nzuF]vo  
C.1振动与波 #PFO]j!_b  
C.2电磁波 k|B2@{  
C.3麦克斯韦方程 >nM%p4E  
C.4平面电磁波 28UVDG1?  
C.5平面电磁波性质 >r}Vf9 5[N  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ^
yVl"/  
附录D光的干涉 zP nC=h|g  
D.1波的叠加原理 ChE_unw  
D.2杨氏干涉 ?,XC=}  
D.3平板的表面干涉 :Q-F9o J  
D.4光的空间相干性和时间相干性 {Hk/1KG>  
附录E光的偏振 0roCP=;  
E.1自然光和偏振光 u-.L^!k  
E.2偏振光与Jones矩陈 4f {+pf^R  
E.3偏振光的获得 LNiS`o\  
E.4偏振光的检验 /gw Cwyo  
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