现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 W%P&o}'  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 y8L:nnSj  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 j@Dy
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第一篇光学多层膜设计 LOA 90.D  
第1章光学薄膜特性的理论计算 }PXWRv.gW  
1.1单色平面电磁波 MMf6QxYf  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ``SjALf  
1.3光学薄膜特性的理论计算 0Zq"-  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 zx!1jS  
习题 f`cz@  
第2章光学薄膜的设计理论 
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2.1矢量作图法 v!x[1[  
2.2有效界面法 1a'JNe$  
2.3对称膜系的等效层 sJD"u4#y  
2.4导纳图解技术 WULj@ds\~
 
习题 -P?} qy^j(  
第3章光学薄膜系统的设计 Ik,w3}*P*  
3.1减反射膜 ?SpI^Wn)[  
3.2分束镜 P8EGd}2{8  
3.3高反射膜 )SQ g  
3.4干涉截止滤光片 YlA=? X  
3.5带通滤光片 q^Z\V?  
3.6特殊膜系 6y0C  
习题 (lm/S_U$  
参考文献 i^> RjR  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 OJK/>  
第4章薄膜制备技术 Nr)(&c8  
4.1真空淀积工艺 C{Zv.
+F  
4.2光学薄膜材料 GZ e )QH  
4.3薄膜厚度监控艺术 (u_sz  
4.4膜层厚度的均匀性 ZO`d  
习题 (-#{qkA  
参考文献 zf!c  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 4S=lO?\"A  
5.1薄膜的形成过程 Hy6Np62  
5.2薄膜的微观结构 _&M>f?l  
5.3薄膜的成分 N.<hZ\].=
 
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 *vb)
d0}P  
5.5薄膜微观结构和改善 F&P)mbz1  
习题 7-LeJRB
 
参考文献 `7j,njCX.  
第三篇光学薄膜检测技术 M(BZ<,9V  
第6章薄膜透射率和反射率测量 pxF!<nN1,  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ,>^~u  
6.2薄膜反射率的测试 Q4x71*vy  
6.3薄膜反射率的测量 @|@43}M]C-  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 YU`{  
6.5总结 usA!MMH4  
习题 f[RnL#*xJU  
参考文献 cwroG#jGT  
第7章薄膜的吸收和散射测量
\5Jv;gc\\  
7.1激光量热计基本原理 v\Hyu1;8  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 _e'mG'P(  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Ixw,$%-]y6  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 W@tLT[}CG  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 tu'MYY  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 (tgaH,G  
7.7总结 !8g y)2  
习题 EkX6> mo  
参考文献 cMv3` $  
第8章薄膜光学常数的测量 R4/@dA0  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 -}J8|gwwp  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 F0\ry "(t  
8.3薄膜波导法 ,zFN3NLtA  
8.4光学薄膜厚度的测试 S&*pR3,u  
8.5总结 AMdS+(J  
习题 Fo#*_y5\  
参考文献 To`?<]8  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 K="+2]{I  
9.1薄膜的力学特性检测技术 UL%ihWq  
9.2薄膜器件的环境试验 3[0:,^a  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 q4{tH  
9.4总结 ;j=1 oW  
习题 [_d*J/X  
参考文献 F!{SeH:  
附录 `vw.~OBl  
附录A复数与复数运算 1*h7L<#|mQ  
A.1复数的概念 %Qq)=J<H;  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 N3p3"4_]fy  
A.3复数在物理中的运用 Mk[`HEO  
附录B矩陈及矩陈运算 3iw9jhK!W  
B.1矩陈的定义  Dfia=1A  
B.2矩陈运算 =*jcO119L  
附录C光的电磁理论基础 yxbTcZ  
C.1振动与波 Y=Qf!Cq]  
C.2电磁波 ".f:R9-  
C.3麦克斯韦方程 @XC97kGWp  
C.4平面电磁波 <J-Z;r(gQN  
C.5平面电磁波性质 "'Uk0>d=_I  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 lvi:I+VgA  
附录D光的干涉 ,~(}lvqVH  
D.1波的叠加原理 0h4}RmS  
D.2杨氏干涉 1o>R\g3  
D.3平板的表面干涉 -^v}T/Kl#  
D.4光的空间相干性和时间相干性 dRm'$ G9  
附录E光的偏振 3:lp"C51  
E.1自然光和偏振光 [dlH t;S  
E.2偏振光与Jones矩陈 7"ps#)O  
E.3偏振光的获得 C)s1' =TZ  
E.4偏振光的检验 [oLQd-+  
…… K-C
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