现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 x8x8T$  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 g^ .g9"  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 w*#B_6bG  

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第一篇光学多层膜设计 oHh~!#u  
第1章光学薄膜特性的理论计算 w1U2cbCr/  
1.1单色平面电磁波 T6mbGE*IeE  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 r'*x><m'  
1.3光学薄膜特性的理论计算 X?'ShXI  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Xf 0)i  
习题 } V *  
第2章光学薄膜的设计理论 '^mCLfo0}  
2.1矢量作图法 st4z+$L  
2.2有效界面法 ^i+ d3  
2.3对称膜系的等效层 'C[{cr.`  
2.4导纳图解技术 n1!hfu7@s  
习题 .kwz$b+h  
第3章光学薄膜系统的设计 WX~:Y,l+u  
3.1减反射膜 V Ioqn$  
3.2分束镜 w1;:B%!H  
3.3高反射膜 -%f$$7  
3.4干涉截止滤光片 P'}WmE'B}F  
3.5带通滤光片 ''D\E6c\  
3.6特殊膜系 lQ&"p+n  
习题 80m<OW1  
参考文献 py|ORVN(Z  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 Z2P DT  
第4章薄膜制备技术 +>bm~6  
4.1真空淀积工艺 oyw*Z_9~  
4.2光学薄膜材料 )}!Z^ND*  
4.3薄膜厚度监控艺术 ]F'o  
4.4膜层厚度的均匀性 >;qAj!'  
习题 ?58,Ja  
参考文献 )\aCeY8o  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 qe/dWJBa  
5.1薄膜的形成过程 xgp 6lO[  
5.2薄膜的微观结构 vD-m FC)  
5.3薄膜的成分 t@(:S6d  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 LI~ofCp  
5.5薄膜微观结构和改善 3[{RH*nHD  
习题 2.p?gRO  
参考文献 vQH6CB"  
第三篇光学薄膜检测技术 FH3^@@Y%  
第6章薄膜透射率和反射率测量 >PbB /->  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Ty&O
k*  
6.2薄膜反射率的测试 #3~hF)u&/  
6.3薄膜反射率的测量 =# /BCL7  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ;6)Onwx  
6.5总结 57|RE5]|!  
习题 <Jc :a?ICe  
参考文献 QH5[}zs8  
第7章薄膜的吸收和散射测量 x& a<u@[wa  
7.1激光量热计基本原理 e'l@M$^  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 y1qJ  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 qrr[QEFW  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 PKjM1wqaG@  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 <sncW>?!~  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 90Sp(  
7.7总结 [`n)2} k  
习题  j1~'[  
参考文献 ?9Hs,J  
第8章薄膜光学常数的测量 P:OI]x4  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 \cx==[&(  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 p)e?0m26  
8.3薄膜波导法 Pd8zdzf{  
8.4光学薄膜厚度的测试 x=I|O;"><  
8.5总结 `b:yW.#w3l  
习题 360b`zS  
参考文献 +tCNJ<S@l$  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 y_:~  
9.1薄膜的力学特性检测技术 o4t6NDa  
9.2薄膜器件的环境试验 ~PZIYG"D  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 u*6Y>_iA  
9.4总结 Vh}F#~BrI  
习题 8!XK[zL  
参考文献 rtn.^HF  
附录 WKvG|YRDq  
附录A复数与复数运算 'D
dR2  
A.1复数的概念 ^q}cy1"j"  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ($T
"m-e  
A.3复数在物理中的运用 dWi:V7t+  
附录B矩陈及矩陈运算 Fzz
V%  
B.1矩陈的定义 FoKAF &h7  
B.2矩陈运算 "CTK%be{q/  
附录C光的电磁理论基础 E[a|.lnV  
C.1振动与波 |aX1PC)o_  
C.2电磁波 X3zpU7`Av+  
C.3麦克斯韦方程 Z=.$mFE\  
C.4平面电磁波 H"vkp~u]I  
C.5平面电磁波性质
|r<#>~*  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 -d)+G%{  
附录D光的干涉 !v\_<8  
D.1波的叠加原理 MO%kUq|pg  
D.2杨氏干涉 \r`><d
 
D.3平板的表面干涉 SCL8.%z D  
D.4光的空间相干性和时间相干性 +i@{h9"6g  
附录E光的偏振 I3hN7  
E.1自然光和偏振光 y!u=]BE  
E.2偏振光与Jones矩陈 6F:<c  
E.3偏振光的获得
lO/?e!$  
E.4偏振光的检验 (iJ9ekB  
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