现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 s|3@\9\  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 yX:A?U  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 a'R)3:S  

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第一篇光学多层膜设计 KM$5Zb
CF:  
第1章光学薄膜特性的理论计算 5+
U2@XV  
1.1单色平面电磁波 Y-(),k_Q:  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 nnBgTtsC]  
1.3光学薄膜特性的理论计算 |7IlYy&:  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 2u9^ )6/  
习题 <:#O*Y{  
第2章光学薄膜的设计理论 p/V  
2.1矢量作图法 X|.M9zIx  
2.2有效界面法 1](5wK-Z  
2.3对称膜系的等效层 zGz^T  
2.4导纳图解技术 x?Wt\<|h!  
习题 /a7tg+:  
第3章光学薄膜系统的设计 e2#"o{+@  
3.1减反射膜 >:l;W4j  
3.2分束镜 A`4Di8'Me  
3.3高反射膜 t3 AZS0  
3.4干涉截止滤光片 'BT}'qN  
3.5带通滤光片 }g WSV  
3.6特殊膜系 T!6H5>zA  
习题 8kZ~  
参考文献 &fBLPF%6  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 yHW=,V.  
第4章薄膜制备技术 O[RmQ
8ll  
4.1真空淀积工艺 a!"81*&4#  
4.2光学薄膜材料 Y""-U3;T~  
4.3薄膜厚度监控艺术 w>I>9O}(`  
4.4膜层厚度的均匀性 7e&R6j  
习题 :"Z
H  
参考文献 ]d"4G7mu`l  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 hq9b  
5.1薄膜的形成过程 m:TS .@p  
5.2薄膜的微观结构 & -  
5.3薄膜的成分 mi|O)6>8n  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ok5 {c  
5.5薄膜微观结构和改善 v _B
u  
习题 dN>XZv  
参考文献 UTQ$sg|7p  
第三篇光学薄膜检测技术 cOUsbxYTD  
第6章薄膜透射率和反射率测量 fys@%PZq  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 [KkLpZG  
6.2薄膜反射率的测试 6G"AP~|0  
6.3薄膜反射率的测量 Egt;Bj#%  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 Ah)OyO6  
6.5总结 {+f@7^/i.  
习题 LGT\1u  
参考文献 (]0$^!YK  
第7章薄膜的吸收和散射测量 |0(Z)s,  
7.1激光量热计基本原理 F#_7mC  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 lj.z>  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 DLE|ctzj[7  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 a
Kaqi}IT  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 JGIN<J85e  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 NFGC.<  
7.7总结 c=H(*#  
习题 zW%-Z6%D  
参考文献 } oJ+2OepN  
第8章薄膜光学常数的测量 Ze~ a+%Sb  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 7dX1.}M<(  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 /s6':~4  
8.3薄膜波导法 mLD0Lu_Ob3  
8.4光学薄膜厚度的测试 }M f}gCEW  
8.5总结 ld94ek  
习题 =HP_IG_  
参考文献 ,*0>CBJvv  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 -;T>4B=  
9.1薄膜的力学特性检测技术 +8
[h&  
9.2薄膜器件的环境试验 C 0*k@kGy  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 mBc;^8I?23  
9.4总结 D`e!CprF  
习题 r4NI(\gU  
参考文献 ;: Hfkyy]  
附录 8_f0P8R!y  
附录A复数与复数运算 -w 2!k  
A.1复数的概念 RrLQM!~  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 yVQqz  
A.3复数在物理中的运用 <PW*vo9v  
附录B矩陈及矩陈运算 e`R*6^e  
B.1矩陈的定义 >;o^qi_$  
B.2矩陈运算 Pf)<6?T  
附录C光的电磁理论基础 1SkGG0 W  
C.1振动与波 *%ZfE,bu8<  
C.2电磁波 {^9,Dy_D  
C.3麦克斯韦方程 KBzEEvx/$  
C.4平面电磁波 yqlkf$?  
C.5平面电磁波性质 e@p` -;<  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 \ ;Hj,z\  
附录D光的干涉 +Qu~UK\  
D.1波的叠加原理 jb)z[!FbM  
D.2杨氏干涉 6,_CLM  
D.3平板的表面干涉 3w{4G<I  
D.4光的空间相干性和时间相干性 _w+sx5  
附录E光的偏振 *|$s0ga C  
E.1自然光和偏振光  2b1LC!'U  
E.2偏振光与Jones矩陈 ;^}cZ  
E.3偏振光的获得 o'myo.k{  
E.4偏振光的检验 {FQ dDIj#  
…… 3`#sXt9C  
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