现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 E0QrByr_  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 b*w izd  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 xu9K\/{7  
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第一篇光学多层膜设计 )U0`?kD  
第1章光学薄膜特性的理论计算 O ;,BzA-n  
1.1单色平面电磁波 ]hY'A>4Uq  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 4D(5WJ&  
1.3光学薄膜特性的理论计算 yn=BO`sgW  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 LbX>@2(&  
习题 @H%)!f]zWt  
第2章光学薄膜的设计理论 E`68Z/%  
2.1矢量作图法 07pASZ;~  
2.2有效界面法 B3 fKb#T  
2.3对称膜系的等效层 ,z A9*  
2.4导纳图解技术
._2#89V  
习题 #6O<!{PH6  
第3章光学薄膜系统的设计 UYJMW S=  
3.1减反射膜 .f)&;Af^  
3.2分束镜 t"[xx_i  
3.3高反射膜 t[$C r;  
3.4干涉截止滤光片 nT.i|(xd.  
3.5带通滤光片 LLp/ SWe  
3.6特殊膜系 v%gkQa
 
习题 N]gJ(g  
参考文献 8nCw1  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 YC(7k7  
第4章薄膜制备技术 "9W]TG  
4.1真空淀积工艺 iZsZSW \  
4.2光学薄膜材料 qPle=6U[IL  
4.3薄膜厚度监控艺术 9t)A_}O  
4.4膜层厚度的均匀性 BPgY_f  
习题 OCR`1  
参考文献 (C{l4  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 M*XAyo4fI  
5.1薄膜的形成过程 y.h2hv]Bc  
5.2薄膜的微观结构 }4'5R  
5.3薄膜的成分 qfJi[8".  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 bs_>!H1  
5.5薄膜微观结构和改善 1<gY  
习题 J+hiz3N  
参考文献 5q<cZ)v#&  
第三篇光学薄膜检测技术 &<??,R14  
第6章薄膜透射率和反射率测量 L'1!vu *Rg  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 Vl"20):  
6.2薄膜反射率的测试 25e*W>SLw  
6.3薄膜反射率的测量 *`D}voU  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 c~1+5&  
6.5总结 O9%`G  
习题 ;U+4!N  
参考文献 l(&3s:Ud  
第7章薄膜的吸收和散射测量 (2 nSZRB  
7.1激光量热计基本原理 S*"uXTS  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 FA5|`  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 jh7-Fl
`  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 AkMP)\Q  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 6z-ZJ|?  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 gX29
c  
7.7总结 ,|5|aVfh  
习题 g=G>4Ua3  
参考文献 :V,agAMn  
第8章薄膜光学常数的测量 /x2-$a:<  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 IKaa=r~  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 sd5%Szx  
8.3薄膜波导法 aMU0BS"  
8.4光学薄膜厚度的测试 FX
1[ 2\  
8.5总结 _E\Cm  
习题 +(Q$GO%  
参考文献 0^lCZ,uq;  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 >z #^JR\6  
9.1薄膜的力学特性检测技术 /RG
>n  
9.2薄膜器件的环境试验 =6.4  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 zD"n7;  
9.4总结 pL [JGn  
习题 ,J*C'#sW  
参考文献 ey/{Z<
D  
附录 .z+S@s[O  
附录A复数与复数运算 "O}u2B b  
A.1复数的概念 Am'%tw ~  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 jw 4B^2}  
A.3复数在物理中的运用 ?hC,49  
附录B矩陈及矩陈运算 ax)>rP,V  
B.1矩陈的定义 $@Bd}35 J  
B.2矩陈运算 VTUY#+3  
附录C光的电磁理论基础 #fGI#]SG?  
C.1振动与波 C%RYQpY*c  
C.2电磁波 W(#u^,$e[  
C.3麦克斯韦方程 !"d"3coQ?  
C.4平面电磁波 
ur$=%3vM  
C.5平面电磁波性质 5^5hhm4  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 m;4qs#qCg?  
附录D光的干涉 -~_[2u^3  
D.1波的叠加原理 0s$;3qE  
D.2杨氏干涉 `=Z3X(Kc  
D.3平板的表面干涉 GQH15_  
D.4光的空间相干性和时间相干性 @sdHB./  
附录E光的偏振 e,K.bgi  
E.1自然光和偏振光 mu*RXLai  
E.2偏振光与Jones矩陈 jLM}hwJ8  
E.3偏振光的获得 btR~LJb  
E.4偏振光的检验 Q"vhl2RX  
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