现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 +=fKT,-*G!  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 GjQfi'vCk  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ]((i?{jb(  

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第一篇光学多层膜设计 v'9m7$  
第1章光学薄膜特性的理论计算 2{o10eL  
1.1单色平面电磁波 RU_L<Lpi  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 "JhimgwvY  
1.3光学薄膜特性的理论计算 :pZ}
*?\  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 XAD3Z?  
习题 fI:H8  
第2章光学薄膜的设计理论 2*OxA%QELM  
2.1矢量作图法 O|z%DkH[  
2.2有效界面法 x)viY5vjH  
2.3对称膜系的等效层 x ^vt; $  
2.4导纳图解技术 S/Oxr%H  
习题 Pes =aw  
第3章光学薄膜系统的设计 ExrY>*v  
3.1减反射膜 2P
}bG>M  
3.2分束镜 T.Zz;2I  
3.3高反射膜 gGfq6{9g  
3.4干涉截止滤光片 &]NZvqdj.]  
3.5带通滤光片 GU6qIz|  
3.6特殊膜系 E(Gr0#8  
习题 5~}!@yzc  
参考文献 )I9aC~eAD  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 0m=(W^c  
第4章薄膜制备技术 nVOqn\m-  
4.1真空淀积工艺 Y!n'" *J>  
4.2光学薄膜材料 dR[o|r  
4.3薄膜厚度监控艺术 kL;t8{n  
4.4膜层厚度的均匀性 AQh["1{yJ  
习题 8/q*o>[?  
参考文献 U[fSQ`&D  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 3$_2weZxYn  
5.1薄膜的形成过程 fVUKvZ}P*  
5.2薄膜的微观结构 W_J
hNe  
5.3薄膜的成分 fPz=KoN  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 |- OHve4A  
5.5薄膜微观结构和改善 l l:jsm  
习题 t9D S]Li  
参考文献 F#1kZ@nq  
第三篇光学薄膜检测技术 RKe?
.  
第6章薄膜透射率和反射率测量 5$^c@ 0  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 q/'MS[C  
6.2薄膜反射率的测试 pqfT\Kb>  
6.3薄膜反射率的测量 fsI`DjKi)  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 az bUc4M  
6.5总结 ^[TOZXL`:  
习题 cx:jUsb6  
参考文献 zJ_My&~  
第7章薄膜的吸收和散射测量 l $Zs~@N  
7.1激光量热计基本原理 *vs~SzF$  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 "1%*'B^}bw  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 v=MzI#0L  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 0UjyMEiK  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 R=8
6w_  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 C->[$HcRa  
7.7总结 8Mb$+^zU  
习题 R
`Q?J[e  
参考文献 yu_g
Nro L  
第8章薄膜光学常数的测量 7b,AQ9  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 {~1M  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Dauo(Uhuo  
8.3薄膜波导法 ^Kum%<[i  
8.4光学薄膜厚度的测试 =U_@zDD@V  
8.5总结 d<?X3&J  
习题 x`3.Wu\  
参考文献 !Iko0#4i  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 U]mO7HK  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ]E..43  
9.2薄膜器件的环境试验 yh$ ~*UV  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 qKx59  
9.4总结 JrxP,[qJG  
习题 y|LXDq4Wj  
参考文献 #PPsRKj3c  
附录 ugRV5bUk  
附录A复数与复数运算 KK .cDAR  
A.1复数的概念 /Sh4pu"'  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 n('VQ0b  
A.3复数在物理中的运用 z22N7W=7  
附录B矩陈及矩陈运算 >:fJhF@  
B.1矩陈的定义 +@^47Xu^  
B.2矩陈运算 yT2vO_rH  
附录C光的电磁理论基础 GZ.?MnG  
C.1振动与波 GMt)}Hz  
C.2电磁波 a1_o.A  
C.3麦克斯韦方程 @]<DR*<  
C.4平面电磁波 f`bIQ9R  
C.5平面电磁波性质 LsUFz_  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 2/UI>@By  
附录D光的干涉 w7Pe  
D.1波的叠加原理 #C'o'%!(  
D.2杨氏干涉 ^>t-v  
D.3平板的表面干涉 5auL<Pq  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ?|gGsm+  
附录E光的偏振 .v$ue`  
E.1自然光和偏振光 <w%Yq?^  
E.2偏振光与Jones矩陈 JO]`LF]  
E.3偏振光的获得 Sk!v,gx  
E.4偏振光的检验 J
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