现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 !4;A"B(  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 q,Oj  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 |l\!  
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第一篇光学多层膜设计 g5",jTn#  
第1章光学薄膜特性的理论计算 y4N8B:j%  
1.1单色平面电磁波 Rs$fNW@P  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 [N@t/^gRC  
1.3光学薄膜特性的理论计算 RSv?imi=  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 V(gmC%6%l*  
习题 ,\){-H/n  
第2章光学薄膜的设计理论 t(~V:+W9  
2.1矢量作图法 0iKSUwps  
2.2有效界面法 cd&^ vQL8  
2.3对称膜系的等效层 4*`AYx(  
2.4导纳图解技术 vJ +sdG  
习题 %|
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0p3  
第3章光学薄膜系统的设计 iX&eQ{LB  
3.1减反射膜 VL =19[  
3.2分束镜 ]VKM3[   
3.3高反射膜 \*a7o GyH>  
3.4干涉截止滤光片 xYmh{Vc8  
3.5带通滤光片 |_6V+/?"?`  
3.6特殊膜系 |\}&mBR  
习题 FRBW(vKE  
参考文献 Ee~<PDzB  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 @PQ% xcOC7  
第4章薄膜制备技术 [TW?sW^0  
4.1真空淀积工艺 6%-RKQi  
4.2光学薄膜材料 eq" eLk6h  
4.3薄膜厚度监控艺术 24g\xNnt  
4.4膜层厚度的均匀性 LL0Y$pHV  
习题 CI#6r8u  
参考文献 TmS-w  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ^y,E
x;6o  
5.1薄膜的形成过程 w$)NW57[|  
5.2薄膜的微观结构 pftnFOLO  
5.3薄膜的成分 =8o$  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ^@V;`jsll  
5.5薄膜微观结构和改善 i?3~Gog  
习题 aAbK{=/y_!  
参考文献 7^oO N+=d  
第三篇光学薄膜检测技术 74wDf  
第6章薄膜透射率和反射率测量 IgmCZ?l&0  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 LJ8 t@ui  
6.2薄膜反射率的测试 >eC>sTPQ{  
6.3薄膜反射率的测量 _Xqa_6+/  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 XfYbWR  
6.5总结 FHK{cE  
习题 69"4/n7B?  
参考文献 L*8U.{NY  
第7章薄膜的吸收和散射测量 i^SPNs=  
7.1激光量热计基本原理 o*t4zF&n  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 `;}w!U  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 C>:,\=y%  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ymW? <\AD,  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 -u$U~?|`  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 w paI}H#  
7.7总结 2JhE`EVH  
习题 kf:Nub+h t  
参考文献 L%`MoTpKq  
第8章薄膜光学常数的测量 jhJ'fI  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 RxYC]R^78  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 2CF5qn}T  
8.3薄膜波导法 Wt M1nnJp  
8.4光学薄膜厚度的测试 KaIkO8Dq0  
8.5总结 dFl8'D  
习题 . #FJM2Xk  
参考文献 W]oILL"d  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 Yh["IhjR  
9.1薄膜的力学特性检测技术 lD#S:HX  
9.2薄膜器件的环境试验 "(YfvO+  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 ZVyJ%"(E  
9.4总结 Vo;0i$  
习题 Pr_DMu  
参考文献 rU |%  
附录 <'N~|B/yZ  
附录A复数与复数运算 m7|S'{+!  
A.1复数的概念 d6f T  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 bIXD(5y
 
A.3复数在物理中的运用 ?dyt!>C  
附录B矩陈及矩陈运算 6W/uoH=;  
B.1矩陈的定义 ;r BbLM`  
B.2矩陈运算 ELZ@0,  
附录C光的电磁理论基础 9]^q!~u  
C.1振动与波 F|&
%Z(@a  
C.2电磁波 GD1L6kVd1  
C.3麦克斯韦方程 (XNd]G  
C.4平面电磁波 B.4Or]  
C.5平面电磁波性质 o&)v{q  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 N5b^  
附录D光的干涉 #OwxxUeZ  
D.1波的叠加原理 GQ0(
lS  
D.2杨氏干涉 ^8=e8O  
D.3平板的表面干涉 @;X#/dZe  
D.4光的空间相干性和时间相干性 0C4Os p  
附录E光的偏振 i.0d>G><@  
E.1自然光和偏振光 RN2z/FUf  
E.2偏振光与Jones矩陈 "#8I &xZK  
E.3偏振光的获得 tkP& =$  
E.4偏振光的检验 IqFmJs|C  
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