现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 T`j{2  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 \p}GW  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 js;YSg{m  
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第一篇光学多层膜设计 vfj{j= G  
第1章光学薄膜特性的理论计算
hT_Q_1,  
1.1单色平面电磁波 S76MY&Vx23  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 pRxVsOb  
1.3光学薄膜特性的理论计算 DzA'MX  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 X{i>Q_8>  
习题 'byTM?Sp{  
第2章光学薄膜的设计理论 R}3th/qf  
2.1矢量作图法 =d<~
:!)  
2.2有效界面法 1#;^Z3  
2.3对称膜系的等效层 .X(qs1  
2.4导纳图解技术 ?-o_]!*v0/  
习题 KRn[(yr`%  
第3章光学薄膜系统的设计 ">h$(WCK  
3.1减反射膜 ndT_;==  
3.2分束镜 z{PPPFk4J  
3.3高反射膜 -$#2?/uqC  
3.4干涉截止滤光片 ZQir?1=  
3.5带通滤光片 y=+OC1k\8  
3.6特殊膜系 0t"Iq71/  
习题 0 |?N  
参考文献 t5i58@{~  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 l_9ZzN  
第4章薄膜制备技术 VK,{Mu=.9  
4.1真空淀积工艺 3m4 sh~  
4.2光学薄膜材料 "|Yy"iB[  
4.3薄膜厚度监控艺术 @x A^F%(  
4.4膜层厚度的均匀性 "+`u ]  
习题 ^r(]S%  
参考文献 v$JW7CKA  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 _*{Lha  
5.1薄膜的形成过程 Z5P4 H  
5.2薄膜的微观结构 j"pyK@v2B  
5.3薄膜的成分 E;'{qp  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 .!lLj1?p  
5.5薄膜微观结构和改善 XhWo~zh"  
习题 lt]&o0>  
参考文献 S1~K.<B  
第三篇光学薄膜检测技术 Y[>h |@  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ZFH-srs{  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 o@[o6.B<  
6.2薄膜反射率的测试 L})*ck
 
6.3薄膜反射率的测量 =(P$P  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 /F|VYl^_  
6.5总结 nra)t|m  
习题 <4@8T7  
参考文献 |)0Ta9~  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ;l0%yg/}  
7.1激光量热计基本原理 Zy?!;`c*{  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 h#)\K| qs  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 FzCXA=m  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 2~ETu&R:  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 FjiIB1 T  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 9&C8c\Y  
7.7总结 0
8k  
习题 pEN`6*  
参考文献 %1{O  
第8章薄膜光学常数的测量 vo)W ziHh  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 OUO'w6m!  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 saQo]6#  
8.3薄膜波导法 <HS{A$]  
8.4光学薄膜厚度的测试 Vu4LC&q  
8.5总结 =,qY\@fq  
习题 0jxXUWO  
参考文献 ZJhI|wRwD  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 e.XD5~Ax  
9.1薄膜的力学特性检测技术 jeA2yjAC  
9.2薄膜器件的环境试验 >f-RzQ k  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 /n$R-Q  
9.4总结 on5\rY<I:@  
习题 Iue=\qUK^  
参考文献 #}~?8/h!  
附录 @7Ln1v  
附录A复数与复数运算 M_cm,|FF  
A.1复数的概念 S+mBVk"-~S  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 (sH4T>  
A.3复数在物理中的运用 6L Fhhl^  
附录B矩陈及矩陈运算 O ]-8 %  
B.1矩陈的定义 a~JZc<ze  
B.2矩陈运算 ;yjw(OAI*  
附录C光的电磁理论基础 86?~N  
C.1振动与波 k{lXK\zN  
C.2电磁波 *&h]PhY  
C.3麦克斯韦方程 cf"!U+x
  
C.4平面电磁波 8 K)GH:a  
C.5平面电磁波性质 I)r6*|mz  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 MAX?,-x  
附录D光的干涉
meThjC
C  
D.1波的叠加原理 <1x u&Z7  
D.2杨氏干涉 /Zx"BSu
 
D.3平板的表面干涉 2pSp(@N3  
D.4光的空间相干性和时间相干性 L7xiq{t`Y  
附录E光的偏振 B(eiRr3  
E.1自然光和偏振光 =dQF}-{!  
E.2偏振光与Jones矩陈 **1=|aa:  
E.3偏振光的获得 !Bg
^-F:N  
E.4偏振光的检验 5*90t{#  
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