现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 Iqo4INGIi  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 YQ
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 C{Npipd}v  

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第一篇光学多层膜设计 Jnv91*>h8  
第1章光学薄膜特性的理论计算 A?6b)B/e?  
1.1单色平面电磁波 0HG*KW  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 i-&kUG_X  
1.3光学薄膜特性的理论计算 |4-
Ey! P  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 <pPI:D@G  
习题 i
km4Y`c  
第2章光学薄膜的设计理论 MK=:L  
2.1矢量作图法 t/q\Ne\\,  
2.2有效界面法 Gm.v-T$  
2.3对称膜系的等效层 :l*wf/&z  
2.4导纳图解技术 ][qZOIk@  
习题 %oN^1a'&)  
第3章光学薄膜系统的设计 |/r@z[t  
3.1减反射膜 y0=BL  
3.2分束镜 L!e@T'  
3.3高反射膜 I98wMV8  
3.4干涉截止滤光片 !
)&-\!M>  
3.5带通滤光片 N*o+
m~:y  
3.6特殊膜系 <vb
k@d  
习题 [!aHP?-  
参考文献 TYLf..i<  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 6|9];)  
第4章薄膜制备技术 8I~H1  
4.1真空淀积工艺 H[6d@m- Z  
4.2光学薄膜材料 + ^~n09  
4.3薄膜厚度监控艺术 lz# inC|  
4.4膜层厚度的均匀性 %0"o(y+zt  
习题 2@A7i<p  
参考文献 k"L_0HK  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 2f~s$I&l#  
5.1薄膜的形成过程 9Uk9TG5  
5.2薄膜的微观结构 12k)Ek9  
5.3薄膜的成分 4I2ppz   
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ,sJ{2,]~  
5.5薄膜微观结构和改善 '9RHwKu&s  
习题
tU?lfU[7  
参考文献 5a_K|(~3I  
第三篇光学薄膜检测技术 OO\UF6MCU  
第6章薄膜透射率和反射率测量 '3<YZWS  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 B|!YGfL  
6.2薄膜反射率的测试 [c3hwogf:  
6.3薄膜反射率的测量 V:l; 2rW  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 jPbL3"0A&  
6.5总结 4\-kzGgmo  
习题 2>s:wABb /  
参考文献 wGbD%=  
第7章薄膜的吸收和散射测量 vbA9V<c&  
7.1激光量热计基本原理 BfhOe~+i  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 /S|Pq!4<  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Q OdvzVy<  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 cL`l1:j\}  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 2#|Q=rWB  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 beO*|  
7.7总结 2"%d!"  
习题 Bv/v4(G5g  
参考文献 i%-c/ lop  
第8章薄膜光学常数的测量 "*TnkFTR  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 HW{+THNj  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 HgG"9WBe%  
8.3薄膜波导法 I,q3J1K  
8.4光学薄膜厚度的测试 KqB(W,$  
8.5总结 :a`l_RMU  
习题 <;_X=s`f,  
参考文献 JkpA \<  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 vbh\uv&  
9.1薄膜的力学特性检测技术 T#h`BtET[  
9.2薄膜器件的环境试验 CJ%7M`zy  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 O^`Y>>a  
9.4总结 n {^D_S  
习题 VIynlvy  
参考文献 ]k>S0  
附录 X;zy1ZH  
附录A复数与复数运算 h!MZ6}zb)  
A.1复数的概念 XB^z' P{-Y  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 j>P>MdZtk  
A.3复数在物理中的运用 lgre@M]mg  
附录B矩陈及矩陈运算 o
3%Gc/6%  
B.1矩陈的定义 et)A$'Q  
B.2矩陈运算 ?1?m4i  
附录C光的电磁理论基础 l$.C40v  
C.1振动与波 _`ot||J  
C.2电磁波 l"O=xt`m{  
C.3麦克斯韦方程 ]LNP"vi;  
C.4平面电磁波 /|hKZTZJdN  
C.5平面电磁波性质 -YRF^72+  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 l
wjg57  
附录D光的干涉 lZE x0  
D.1波的叠加原理 "EHwv2Hm>  
D.2杨氏干涉 qDL9  
D.3平板的表面干涉 7pr@aA"vgj  
D.4光的空间相干性和时间相干性 S,qsCnz  
附录E光的偏振 yg/.=M  
E.1自然光和偏振光 9<,\+}^{  
E.2偏振光与Jones矩陈 MJDFm,  
E.3偏振光的获得 NcFHvK  
E.4偏振光的检验 >CNH=  
…… ~?S/0]?c  
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