现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 :>m67Zq  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Jw -3G3h  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ~:"//%M3l  
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第一篇光学多层膜设计 0hOps5c8=  
第1章光学薄膜特性的理论计算 @@#h-k%k-  
1.1单色平面电磁波 bm-&H  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 l[b`4  
1.3光学薄膜特性的理论计算 Dq9*il;'  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 C\gKJW^]y@  
习题 uwWKsZ4:ij  
第2章光学薄膜的设计理论 PI$K+}E  
2.1矢量作图法 C5EaP%s  
2.2有效界面法 G Y+li{  
2.3对称膜系的等效层 {*K7P>&  
2.4导纳图解技术 9wP,Z"  
习题 =]W[{@P  
第3章光学薄膜系统的设计 g,}_&+q:.M  
3.1减反射膜 A$W~R  
3.2分束镜 \vqqs  
3.3高反射膜 D[p`1$E-1v  
3.4干涉截止滤光片 J*+[?FXRL  
3.5带通滤光片 Apc!!*7  
3.6特殊膜系 `E8D5'tt  
习题 _.^`DP>  
参考文献 j4}Q  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 H[U"eS."  
第4章薄膜制备技术 ~r?VXO p"  
4.1真空淀积工艺 `clp#l.ii  
4.2光学薄膜材料 DN;3VT.-  
4.3薄膜厚度监控艺术 K5}0!_)G  
4.4膜层厚度的均匀性 hf< [$B  
习题 Nh"U~zlh  
参考文献 OzUo}QN  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Nd%j0lj  
5.1薄膜的形成过程 Mk!bmFZOZ  
5.2薄膜的微观结构 WSOz^]  
5.3薄膜的成分 J)P7QTC  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 IRT0   
5.5薄膜微观结构和改善 1SSS0&  
习题 z2[{3Kd*  
参考文献 X \qG WpN%  
第三篇光学薄膜检测技术 :*WiswMFm  
第6章薄膜透射率和反射率测量 "43F.!P  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ZMO ym=  
6.2薄膜反射率的测试 _[$,WuG1  
6.3薄膜反射率的测量 c[a^fu!  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 1;eWnb(  
6.5总结 ayQ2#9
X}  
习题 '>[Ut@l
T;  
参考文献 W(Rp@=!C  
第7章薄膜的吸收和散射测量 59BB-R,V  
7.1激光量热计基本原理 R$i-
%3  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 1\-r5e; BE  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 eD!mR3Ai@D  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 d8K|uEHVz  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 QM@zy  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 BRXD
E7vw  
7.7总结 "D'"uMS`H  
习题 ji.T7wn1u  
参考文献 C!)ZRuRv  
第8章薄膜光学常数的测量 XvVi)`8!u  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 BJKv9x1jK  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法  Lr0:yo  
8.3薄膜波导法 st)qw]Dn;Y  
8.4光学薄膜厚度的测试 !wTrWD!  
8.5总结 |!{Y:f;  
习题 "v/Yw'! )  
参考文献 5}Z>N,4  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 vQ,<Ke+d  
9.1薄膜的力学特性检测技术 0[E\h   
9.2薄膜器件的环境试验 L}rYh`bUP[  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 DhXV
=Qw  
9.4总结 iw%""q(`  
习题 6B+?X5-6DH  
参考文献 Vllxv6/_  
附录 IZs&7  
附录A复数与复数运算 _ Y7Um  
A.1复数的概念 _{$<s[S  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 VxtX%McK  
A.3复数在物理中的运用 hDXaCift  
附录B矩陈及矩陈运算 t
XcZl!3x  
B.1矩陈的定义 Up0kTL  
B.2矩陈运算 !,]2.:{0z  
附录C光的电磁理论基础 n'[>h0  
C.1振动与波 Xyjd7"  
C.2电磁波 5+yy:#J]  
C.3麦克斯韦方程 A?ho<@^  
C.4平面电磁波 NS-0-o|4#  
C.5平面电磁波性质 S0M i  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ~RLWr.pK  
附录D光的干涉 ld3H"p rR  
D.1波的叠加原理 3)I]bui  
D.2杨氏干涉 F}=_"IkZ  
D.3平板的表面干涉 Mfnfp{.)  
D.4光的空间相干性和时间相干性 gegM&Xo  
附录E光的偏振 >Y(JC#M;  
E.1自然光和偏振光 bo1J'pU  
E.2偏振光与Jones矩陈 -ijzo%&qA  
E.3偏振光的获得 #8zC/u\`=  
E.4偏振光的检验 %7QSBL  
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