现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 (4M#(I~cE  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ]P(Eo|)
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 Zs+6Zd4f  

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4yRT!k}o  
第一篇光学多层膜设计 rZJp>Q)s  
第1章光学薄膜特性的理论计算 bI]1!bi]i  
1.1单色平面电磁波 eDaVoc3  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 %3xH<$Gq5  
1.3光学薄膜特性的理论计算 T]CvfvO
5  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Ao{wd1  
习题 aMv  
第2章光学薄膜的设计理论 }[AIE[  
2.1矢量作图法 ]NTHit^EX  
2.2有效界面法 *ArzXhs[  
2.3对称膜系的等效层 kZz;l(?0  
2.4导纳图解技术 HD=WHT&  
习题 K\?vTgc(  
第3章光学薄膜系统的设计 ?)]sfJG  
3.1减反射膜 50_%Tl[  
3.2分束镜 q#OLb"bTr  
3.3高反射膜 =@3Qsd  
3.4干涉截止滤光片 9oc[}k-M  
3.5带通滤光片 Bct>EWQ  
3.6特殊膜系 .YS[Md{  
习题 yD(/y"P,9  
参考文献 :&_@U$  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 CZ]+B8Pl(x  
第4章薄膜制备技术 .>}we ~O  
4.1真空淀积工艺 :M=!MgD3w  
4.2光学薄膜材料 3l4k2  
4.3薄膜厚度监控艺术 l l&iMj]  
4.4膜层厚度的均匀性 [;|g2\  
习题 i&_sb
Q^  
参考文献 :$P <e~z'  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 "B+M5B0Z  
5.1薄膜的形成过程 QF%@MK0zC  
5.2薄膜的微观结构 zlSwKd(  
5.3薄膜的成分 ]&}?J:+?0E  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 (%I`EAR  
5.5薄膜微观结构和改善 'BUdySng  
习题 J3q}DDnEo  
参考文献 iT.hXzPzr*  
第三篇光学薄膜检测技术 ENqJ9%sk7  
第6章薄膜透射率和反射率测量 2H]&3kM3X  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 C}+(L3Z  
6.2薄膜反射率的测试 Dhef|E<  
6.3薄膜反射率的测量 VaQ}XM  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 :=~([oSNW"  
6.5总结 R \`,Q'3  
习题 Dm4\Rld{  
参考文献 CrqWlO  
第7章薄膜的吸收和散射测量 7&T1RB'>  
7.1激光量热计基本原理 0|4XV{\qT$  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 O"Xjv`j:  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 T[<9Ty'^  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 u
4)i7  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 .^Ek1fi.  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 4|Z3;;%+  
7.7总结 ,&l>^w/  
习题 YpNTq_S1,  
参考文献 bLf }U9  
第8章薄膜光学常数的测量 W6wgX0H  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 Kq.)5%~>  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 /u#uC(Uwl  
8.3薄膜波导法 d_]MqH>R\  
8.4光学薄膜厚度的测试 tSQ>P -O  
8.5总结 wt)tLMEv  
习题 %Xp}d5-  
参考文献 B-eYWt8s  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 L*L3;y|  
9.1薄膜的力学特性检测技术 t@!oc"z}@  
9.2薄膜器件的环境试验 iL5+Uf)E3  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Ng;E]2"  
9.4总结 }hl# e[$  
习题 %} \@Wk~  
参考文献 T.&^1qWWA  
附录 4'_uN$${$  
附录A复数与复数运算 srC'!I=s>8  
A.1复数的概念 eR5swy&  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 *=r,V  
A.3复数在物理中的运用 ^
*Rrx  
附录B矩陈及矩陈运算 mtJI#P  
B.1矩陈的定义 ]A!Gr(FHQ  
B.2矩陈运算 JY%c<  
附录C光的电磁理论基础 yNI}=Z  
C.1振动与波 !&19%C4  
C.2电磁波 yQCfn1a)  
C.3麦克斯韦方程 %]  
C.4平面电磁波 ZRcY; ?  
C.5平面电磁波性质 4d6F4G4U  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Yo:>m*31  
附录D光的干涉 >F@7}Y(  
D.1波的叠加原理 -*tP_=-Dg  
D.2杨氏干涉 (MbI8B>  
D.3平板的表面干涉 <PJwBA%{  
D.4光的空间相干性和时间相干性 6)DYQ^4y  
附录E光的偏振 3pq&TYQU  
E.1自然光和偏振光 ##yi^;3Y  
E.2偏振光与Jones矩陈 Ku&0bXP  
E.3偏振光的获得 AA yzT*^  
E.4偏振光的检验 O7q-MeMM  
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