现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 snt(IJQ  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 xwH?0/  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 D>!6,m2  

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第一篇光学多层膜设计 0iZGPe~  
第1章光学薄膜特性的理论计算 n6(.{M;  
1.1单色平面电磁波 > QFHm5Jw  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 q,2]5'  
1.3光学薄膜特性的理论计算 oiH|uIsqR  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 8V-\e?&^  
习题 cFagz* !  
第2章光学薄膜的设计理论 Bv
U"4d;x  
2.1矢量作图法 lI/0:|l  
2.2有效界面法 Z.wA@ ~e  
2.3对称膜系的等效层 &|<xqt  
2.4导纳图解技术 \Yoa:|%*y  
习题 ]}UgS+g>$  
第3章光学薄膜系统的设计 -[Qvg49jy  
3.1减反射膜 XIWm>IQ[)  
3.2分束镜 <q,+ON\'  
3.3高反射膜 SjEdyN#  
3.4干涉截止滤光片 9%IlW  
3.5带通滤光片 Oc&),ru2l  
3.6特殊膜系 ]p~IYNl2%j  
习题 F#{gf
h  
参考文献  j4R 4H;  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 |fHB[ W#  
第4章薄膜制备技术 FhIqy %X  
4.1真空淀积工艺 b59{)u4F  
4.2光学薄膜材料 .!}hhiF,Z  
4.3薄膜厚度监控艺术 &l}?v@@+_  
4.4膜层厚度的均匀性 ? &zQaxD  
习题 XW L^  
参考文献 'ho{eR@d  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 M"_FrIO  
5.1薄膜的形成过程 MbXq`%  
5.2薄膜的微观结构 t!_x(u  
5.3薄膜的成分 ^\:2}4Uj_  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 qXXGF_Q  
5.5薄膜微观结构和改善 M_``'gw  
习题 +^6}   
参考文献 y@wF_WX2  
第三篇光学薄膜检测技术 }xFi& <  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Vdn.)ir~P  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 y5m!*=`l`  
6.2薄膜反射率的测试
 <1&Ke  
6.3薄膜反射率的测量 o7+>G~i  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ^t[HoFRa  
6.5总结 2*U.^]~"{  
习题 3hq1yyec  
参考文献 <E
\V`g  
第7章薄膜的吸收和散射测量 (RXS~8  
7.1激光量热计基本原理
yoqa@V  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 2@vj!U8  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ;TZGC).6  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 !ax;5@J  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 v&3O&y/1v  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 &C-;Sa4  
7.7总结 z#<P}}  
习题 %d: A`7x  
参考文献 xfSG~csoz  
第8章薄膜光学常数的测量 HBLWOQab  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 gY`Nr!O  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 J?P]EQU  
8.3薄膜波导法 jiIST^Zq#t  
8.4光学薄膜厚度的测试 Xz;b,C&*t  
8.5总结 #1$}S=8*f  
习题 W'_/6_c$!  
参考文献 G+)?^QTn  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 dyQh:u -  
9.1薄膜的力学特性检测技术 C]`eH*z~8  
9.2薄膜器件的环境试验 `HUf v@5  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 {TZE/A3D,  
9.4总结 b2h":G|s  
习题  }sMW3'V  
参考文献 Kla
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附录 Ohl} X 1  
附录A复数与复数运算 )-&nxOP  
A.1复数的概念 FsCwF&/q  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 =sQ(iso%f  
A.3复数在物理中的运用 ID
8k/t!  
附录B矩陈及矩陈运算 _g6m=N4  
B.1矩陈的定义 E!aq?`-'!  
B.2矩陈运算 L2Ux9_S  
附录C光的电磁理论基础
Xyv8LB  
C.1振动与波 eX<K5K.B  
C.2电磁波 |l90g|is
J  
C.3麦克斯韦方程 wL<j:>Ke[3  
C.4平面电磁波 R'EW7}&  
C.5平面电磁波性质 sT<{SmBF  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 :'w?ye[e  
附录D光的干涉 J5T=!wF (  
D.1波的叠加原理 o`%I{?UCDJ  
D.2杨氏干涉 XUsy.l/  
D.3平板的表面干涉 9YSVK\2$  
D.4光的空间相干性和时间相干性 umDtp\  
附录E光的偏振 Js}tZ\+P75  
E.1自然光和偏振光 -,>:DUN2  
E.2偏振光与Jones矩陈 ",Wf uz  
E.3偏振光的获得 U5rxt^  
E.4偏振光的检验 k.Zll,s  
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