[求助]光学薄膜实际膜厚测量 [复制链接]

镀的AR膜，想要测试薄膜的实际镀膜厚度和实际的材料折射率；实际镀膜厚度使用的台阶仪进行测量的，但测量出来的曲线不理想，差距也很大，想问下大家都是用的什么设备来测试的啊~ vIzREu|5  
本来是准备实际膜厚出来以后再用椭偏仪测试实际的材料折射率的，结果第一步就卡住了~ E^K<b7  

镀厚一点的单层然后测，再和水晶膜厚比对一下。 XK+" x!   
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实际上层和层之间是有过渡的， j:>_1P/  
层开始和结束的时候因为速率不稳会也导致折射率变化。 7$zeRYD+  
所以求个大概就可以了。 {wL30D^  

版主说的对，先做单层膜。 {9 .sW/  
用光谱仪测光谱，然后用光学薄膜软件模拟出折射率和厚度。大多数这样做。 o)]mJb~XG-  

ouyuu:镀厚一点的单层然后测，再和水晶膜厚比对一下。
实际上层和层之间是有过渡的， y!M# #K*  
层开始和结束的时候因为速率不稳会也导致折射率变化。 NCa3")k  
所以求个大概就可以了。 /<VR-yr  
....... (2025-02-20 11:31)  mJ>msI @  

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我是做的单层膜，多个样，厚度从薄到厚（从几十到数百纳米），因为我担心随厚度的加厚差异值是不是呈线性关系； N;` jz(r  
所以不用考虑线性非线性影响，镀单层较厚的膜做比较对比就可以了是吗

morningtech:版主说的对，先做单层膜。 DQ@M?~1hp  
用光谱仪测光谱，然后用光学薄膜软件模拟出折射率和厚度。大多数这样做。 'cqY-64CJZ  
 (2025-02-20 13:14)  twhT6wz"  

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JPz|  
我的是AR膜，单层膜的话一般镀多厚呢？还是都可以不影响，如果是光谱仪测光谱的话（用分光光度计？）

几百nm.  分光光度计

白光干涉仪

感兴趣的话，可以留言给我。我们这边有个老师有这款产品，性价比很高