现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 h0F=5| B  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 )@!fLAT  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ,!Wo6{'  

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第一篇光学多层膜设计 3EYEd39E  
第1章光学薄膜特性的理论计算 L2@:?WW[  
1.1单色平面电磁波 uO4 LD}A  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 2TGND-(j  
1.3光学薄膜特性的理论计算
@|A!?}  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ZX/FIxpy  
习题 ;Z*rY?v  
第2章光学薄膜的设计理论 M6wH$!zRa  
2.1矢量作图法 Q0xGd(\  
2.2有效界面法 `)cI^!  
2.3对称膜系的等效层 +2MF#{ tS  
2.4导纳图解技术 l~$)>?ZD  
习题 <VZ43I  
第3章光学薄膜系统的设计 g;Ugr8  
3.1减反射膜 syu/"KY^!  
3.2分束镜 M"*NV(".g  
3.3高反射膜 w6Gez~8  
3.4干涉截止滤光片 4D&L]eJ  
3.5带通滤光片 ;?u cC@  
3.6特殊膜系 y],opG6  
习题 |mMsU,*gB  
参考文献 =mLp g4  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 &en2t=a  
第4章薄膜制备技术 }"+"nf5h  
4.1真空淀积工艺 xY?p(>(  
4.2光学薄膜材料 g7323m1=  
4.3薄膜厚度监控艺术 (A=PDjP!  
4.4膜层厚度的均匀性 !,ODczWvh  
习题 TDw~sxtv&  
参考文献 >V8!OaY5n  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 A$p&<#  
5.1薄膜的形成过程 }Bv1fbD4U  
5.2薄膜的微观结构 rhLhFN{h  
5.3薄膜的成分 L4^/O29
 
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 $-/-%=  
5.5薄膜微观结构和改善 yLf9cS6=  
习题  IZrcn  
参考文献 9]N{8  
第三篇光学薄膜检测技术 }t#|
+T2f  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Pfs_tu  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 2XL^A[?   
6.2薄膜反射率的测试 &'`C#-e@  
6.3薄膜反射率的测量 oaha5aWH  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 Q"s6HZ"YI  
6.5总结 F4~OsgZ'N  
习题 @5&57R3>  
参考文献 . AA# G  
第7章薄膜的吸收和散射测量 g@x72$j  
7.1激光量热计基本原理 tX% C5k  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ()j)}F#Z`  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ts&\JbL  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 i|<wnJu  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 =W2.Nc  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 o_\vudXK  
7.7总结 E`LaO  
习题 t ^>07#z  
参考文献 `hY%HzV
=  
第8章薄膜光学常数的测量 4 dHGU^#WZ  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 DNj<:Pdd)  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 CD`6R.  
8.3薄膜波导法 g_ep 5#\D  
8.4光学薄膜厚度的测试 N6kMl  
8.5总结 d$o m\@  
习题 3<.DiY  
参考文献 Q(x=;wf5r  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 n[y=DdiKGS  
9.1薄膜的力学特性检测技术 aPe*@py3T  
9.2薄膜器件的环境试验 p-"wY?q  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 ~{g/  
9.4总结 I;AS.y  
习题 Y,mo}X<>  
参考文献 c>
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附录 9FC_B+7  
附录A复数与复数运算 us5Zi#}  
A.1复数的概念 `r&Ui%fk;0  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 "=%YyH~WY  
A.3复数在物理中的运用 qDg`4yX.}  
附录B矩陈及矩陈运算 .rg "(I  
B.1矩陈的定义 +R$;LtR  
B.2矩陈运算 ^4JK4+!Zfq  
附录C光的电磁理论基础 rx]Q,;"  
C.1振动与波 h`Ej>O7m  
C.2电磁波 6qV1_M#  
C.3麦克斯韦方程 rY&lx}  
C.4平面电磁波 MS2/<LD3d  
C.5平面电磁波性质 6V9r[,n  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 FME,W&_d  
附录D光的干涉 {?w*n_T.  
D.1波的叠加原理 |]:6IuslJ  
D.2杨氏干涉 |VE.khq#  
D.3平板的表面干涉 q}'<[Wg  
D.4光的空间相干性和时间相干性 R/B/|x  
附录E光的偏振 7"eIZ  
E.1自然光和偏振光 u ?F},VL;  
E.2偏振光与Jones矩陈 \2f?)id~  
E.3偏振光的获得 yq2AZ@}"  
E.4偏振光的检验 -NzOX"V]3  
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