现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 H#ncM~y*  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 KIWe@e  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 __.+s32SS$  
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第一篇光学多层膜设计 v;)..X30  
第1章光学薄膜特性的理论计算 4t)/  
1.1单色平面电磁波 |6<p(i7  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 &%-73nYw  
1.3光学薄膜特性的理论计算 y99mC$"Ee`  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 o]opdw  
习题 gg8Uo G  
第2章光学薄膜的设计理论 $*?,#ta  
2.1矢量作图法 KY~-;0x  
2.2有效界面法 >FkWH7  
2.3对称膜系的等效层 K>{T_){  
2.4导纳图解技术 s)pbS}L  
习题 9yfJVg  
第3章光学薄膜系统的设计 87YyDWTn  
3.1减反射膜 Bs?^2T~%{  
3.2分束镜 }I>tO9M  
3.3高反射膜 Ywwu0.H<  
3.4干涉截止滤光片 L+i(TM=  
3.5带通滤光片 >:b Q  
3.6特殊膜系 y~\oTJb  
习题 LSRk7'0  
参考文献 *Em,*!  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 *I0T{~  
第4章薄膜制备技术 g pOC`=  
4.1真空淀积工艺 1aTB%F  
4.2光学薄膜材料 %QP0  
4.3薄膜厚度监控艺术 `V04\05  
4.4膜层厚度的均匀性 w.TuoWo>  
习题 qXwPDq/  
参考文献 kbe-1 <72  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 0ik7v<:  
5.1薄膜的形成过程 t)}scf&^x  
5.2薄膜的微观结构 ^t#&@-'(d  
5.3薄膜的成分 a5TioQ  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 l~$+,U&XNe  
5.5薄膜微观结构和改善 %B.yW`,X  
习题 J G{3EWXR  
参考文献 )'+8}T]xQ  
第三篇光学薄膜检测技术 k-^mIJo}  
第6章薄膜透射率和反射率测量 w}YlVete  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 =aTv! 8</  
6.2薄膜反射率的测试 m*kl  
6.3薄膜反射率的测量 2V#>)R#k  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 N <Xq]! K-  
6.5总结 m+T;O/lG0{  
习题 =7m)sxj]w  
参考文献 "9Q40w\  
第7章薄膜的吸收和散射测量 Fkd+pS\9g~  
7.1激光量热计基本原理 c$yk s  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 z+n,uHs  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 SR|`!  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 Vo'T!e- B  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 }xh$T'M8  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 i=oU;7~zK  
7.7总结 m()RU"WY  
习题 !*B'?|a<\  
参考文献
9~/J35  
第8章薄膜光学常数的测量 ia+oX~W!VR  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 lUMS;H(  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 4?q
<e*W  
8.3薄膜波导法 KJaXg;,H  
8.4光学薄膜厚度的测试 4p,EBn9(  
8.5总结 =E#%'/ A;c  
习题 J`].:IOh  
参考文献 8&qZ0GLaT  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 .Z `av n  
9.1薄膜的力学特性检测技术 1oWED*B  
9.2薄膜器件的环境试验 GQUe!G9  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 .7avpOfz  
9.4总结 EWkLXU6t  
习题 _8F`cuyW  
参考文献 Ssou  
附录 '9 [vDG~  
附录A复数与复数运算 jk[1{I/  
A.1复数的概念 &&8IU;J  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 zGkS^Z=(  
A.3复数在物理中的运用 QLiu2U o  
附录B矩陈及矩陈运算 'R'*kxf  
B.1矩陈的定义 nz=GlO'[  
B.2矩陈运算 b)qo
h^  
附录C光的电磁理论基础 K1+)4!}%U  
C.1振动与波 "AsKlKz{B  
C.2电磁波 SBfT20z[  
C.3麦克斯韦方程 DN-+o
sPi  
C.4平面电磁波 ?IqQ-C)6D  
C.5平面电磁波性质 R\G0'?h >  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 sHt]
.gZ  
附录D光的干涉 2q=AEv/  
D.1波的叠加原理 zck#tht4 n  
D.2杨氏干涉 g4=pnK8  
D.3平板的表面干涉 aJbO((%$|u  
D.4光的空间相干性和时间相干性 :*Z4yx  
附录E光的偏振 {E9+WFz5  
E.1自然光和偏振光 Ez fN&8E  
E.2偏振光与Jones矩陈 }Mp:JPH&S4  
E.3偏振光的获得 ;Q OBBF3HG  
E.4偏振光的检验 >_-s8t=|  
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