现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 7~XC_Yc1  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ;_bRq:!j;  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 J 4gtm"2)  
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第一篇光学多层膜设计 xT+_JT65  
第1章光学薄膜特性的理论计算 hQ@k|3=Re  
1.1单色平面电磁波 +|LM"  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 TTVmm{6  
1.3光学薄膜特性的理论计算 \\dUp>1=  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 vS8&,wJ!  
习题 ^`kwSC  
第2章光学薄膜的设计理论 _^BA;S@  
2.1矢量作图法 \|0z:R;X  
2.2有效界面法 X}Oe'y  
2.3对称膜系的等效层 c~vhkRA  
2.4导纳图解技术 j,j|'7J%  
习题 eNd&
47lJ  
第3章光学薄膜系统的设计 t<UJR*R=L  
3.1减反射膜 uY.Ns ?8  
3.2分束镜 tB4mhX|\  
3.3高反射膜 }nlS&gew^  
3.4干涉截止滤光片 g!XC5*}  
3.5带通滤光片 =@!t/LR7kg  
3.6特殊膜系 6M >@DRZ'|  
习题 u!K1K3T6k  
参考文献 8* A%k1+  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 !i
"zM}
 
第4章薄膜制备技术 M.Yp
'Av  
4.1真空淀积工艺 P PJ^;s  
4.2光学薄膜材料 OyO]; Yk  
4.3薄膜厚度监控艺术 i47LX;}  
4.4膜层厚度的均匀性 R;!,(l  
习题 w^0hVrws=,  
参考文献 Or? )Nlg6x  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响  tKV,  
5.1薄膜的形成过程 (\F9_y,6*\  
5.2薄膜的微观结构 VW\S>=O99  
5.3薄膜的成分 -Rpra0o. C  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 LFax$CZ
c  
5.5薄膜微观结构和改善 e{E\YEc  
习题 :(A&8<}-6  
参考文献 NA0
nF8ek  
第三篇光学薄膜检测技术 i%FC lMF  
第6章薄膜透射率和反射率测量 vc
lc%ws  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 2K9X(th1  
6.2薄膜反射率的测试 xE8?%N U  
6.3薄膜反射率的测量 *\XOQWrF  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 1b~21n  
6.5总结 ?b+Y])SJK  
习题 xq((]5Py  
参考文献 !.'D"Me>  
第7章薄膜的吸收和散射测量 D3C7f'  
7.1激光量热计基本原理 )h,yQ`.  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 T_S3_-|{==  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 -~]H5er`  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 #uU(G\^T  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 (vG*)a  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 S($/Ov  
7.7总结 g[(@@TiG  
习题 e6taQz@}  
参考文献 I,h
w0e  
第8章薄膜光学常数的测量 dcY(1p)  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 DO
(};R%=  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Oo :Dt~Ib  
8.3薄膜波导法 KVOV<uDCj  
8.4光学薄膜厚度的测试 O]tR~a  
8.5总结 Ca0s
m  
习题 &\9%;k  
参考文献 ?+Gt?-! 5q  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 xS1|t};  
9.1薄膜的力学特性检测技术 )Jjp^U3Ub  
9.2薄膜器件的环境试验 J!l/.:`6  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 qHub+"2  
9.4总结 nz3*s#k\-  
习题 84WDR?  
参考文献 Ro]Z9C>1o  
附录 bW=q G  
附录A复数与复数运算 (?Mn_FNE|  
A.1复数的概念 %4LoEm=U  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 Ss%Cf6qdWL  
A.3复数在物理中的运用 V| V9.  
附录B矩陈及矩陈运算 )Dz]Pv]H'  
B.1矩陈的定义 mS'Ad<  
B.2矩陈运算 OWibmX
 
附录C光的电磁理论基础 [P+kQBLpL  
C.1振动与波 !\7M7  
C.2电磁波 0;
l~B  
C.3麦克斯韦方程 NVx>^5QV  
C.4平面电磁波 @/^<9  
C.5平面电磁波性质 ?xqS#^Z  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 `o{ Z;-OF  
附录D光的干涉 \ UrD%;sq  
D.1波的叠加原理 X|a{Z*y;r*  
D.2杨氏干涉 nriSVG
i  
D.3平板的表面干涉 th73eC'  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ~2k.x*$  
附录E光的偏振 i?!9%U!z4  
E.1自然光和偏振光 r<ww%2HTS
 
E.2偏振光与Jones矩陈 p/(Z2N"  
E.3偏振光的获得 c[ZrQJ  
E.4偏振光的检验 D \i]gfu8W  
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