现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 tH!z7VZ  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 a"N_zGf2$  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 |pg5m*h  

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第一篇光学多层膜设计 a OHAG  
第1章光学薄膜特性的理论计算 6lFsN2  
1.1单色平面电磁波 q+Q)IVaU81  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 4x>e7Kf  
1.3光学薄膜特性的理论计算 .U {JI\  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 /PS]AM  
习题 pr?(5{BL  
第2章光学薄膜的设计理论 Q)8t;Kx
  
2.1矢量作图法 (\ %y)  
2.2有效界面法 nwVtfsb  
2.3对称膜系的等效层 PUArKBYM-  
2.4导纳图解技术 $cCB%}  
习题 yh!vl&8M  
第3章光学薄膜系统的设计 14zzWzKx  
3.1减反射膜 HN)QS5  
3.2分束镜 osI(g'Xb  
3.3高反射膜 ,iy   
3.4干涉截止滤光片 zD|W3hL2&  
3.5带通滤光片 |-<L :%  
3.6特殊膜系 8tk`1E8!j  
习题
$Q4b~  
参考文献 C I0^eaFs  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 .? /J  
第4章薄膜制备技术 p^!p7B`qe.  
4.1真空淀积工艺 :r=_\?  
4.2光学薄膜材料 0:p#%Nvg  
4.3薄膜厚度监控艺术 nrS_t y  
4.4膜层厚度的均匀性 a#=-Aj-  
习题 Uk4">]oct  
参考文献 ozG:f*{T  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 tp
&iOP6O  
5.1薄膜的形成过程 ,)G,[ih  
5.2薄膜的微观结构 `$HO`d@0*R  
5.3薄膜的成分 NST6pu\,U  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ^(3k uF  
5.5薄膜微观结构和改善 RB!E>]   
习题 L&%iY7sC`  
参考文献 +V^_
ksi\  
第三篇光学薄膜检测技术 29oEkaX2o  
第6章薄膜透射率和反射率测量 V}?5=f'  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 g11K?3*%Q  
6.2薄膜反射率的测试 E83nEUs  
6.3薄膜反射率的测量 v;7u"9t  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 bcG-js-  
6.5总结 he#iWD'  
习题 3-5lO#&#  
参考文献 |)?T([  
第7章薄膜的吸收和散射测量 kLP^q+$u)!  
7.1激光量热计基本原理 :C5N(x  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 G 2##M8:U0  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 fz*6 B NJ  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 _JS'~JO3{  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 o\N}?Z,Kk  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 \9DTf:!4Z  
7.7总结 \
T?O.  
习题 "]<Ut{Xb  
参考文献 J4<*KL~a  
第8章薄膜光学常数的测量 s#ykD{Z  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 (0r6_8e6xv  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ' BpRiN  
8.3薄膜波导法 P%c<0y"O:>  
8.4光学薄膜厚度的测试 >8Y >B)  
8.5总结  <_~`)t  
习题 9TLP(  
参考文献 OB%y'mo7]  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 lq~n*uwO}t  
9.1薄膜的力学特性检测技术 SL*(ZEn"  
9.2薄膜器件的环境试验 })Jp5vv  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 ;FUd.vg{  
9.4总结 `Cc<K8s8  
习题 ;%}  
参考文献 w[iQndu  
附录 %PpB$  
附录A复数与复数运算 <Ip}uy[Y  
A.1复数的概念 YL]x>7T~4t  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 1<*-,f  
A.3复数在物理中的运用 )u$A!+fo  
附录B矩陈及矩陈运算 s$Mj4_p3l  
B.1矩陈的定义 I/adzLQ  
B.2矩陈运算 &^Io\  
附录C光的电磁理论基础 <_5z^@N3$  
C.1振动与波 Kxq~,g=t  
C.2电磁波 fqi584  
C.3麦克斯韦方程 @m6E*2Gg  
C.4平面电磁波 BN=,>-O%  
C.5平面电磁波性质 ]du pU"VV  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 lH[N*9G(  
附录D光的干涉 jm!G@k6TA  
D.1波的叠加原理 <H.Ml>q:r  
D.2杨氏干涉 j JW
0a\0  
D.3平板的表面干涉 j$,`EBf`:<  
D.4光的空间相干性和时间相干性 8p5
u1 ;2  
附录E光的偏振 IzG7!K  
E.1自然光和偏振光 Ky+TgR  
E.2偏振光与Jones矩陈 ,,?t>|3  
E.3偏振光的获得 _.j KcDf  
E.4偏振光的检验 ~o+u:]  
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