现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 WYwzo V-  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 #"Eks79s  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 UsLh)#}h  
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第一篇光学多层膜设计 Job/@> ;  
第1章光学薄膜特性的理论计算 "H5&3sF2  
1.1单色平面电磁波 ATMc`z:5T  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 >"cr-LB  
1.3光学薄膜特性的理论计算 rD0k%-{{  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 M4TrnZ1D}
 
习题 PM~bM3Ei  
第2章光学薄膜的设计理论 #04{(G|~+E  
2.1矢量作图法 "?i>p z  
2.2有效界面法 0=OD?48<  
2.3对称膜系的等效层 M0O>Ljo4RN  
2.4导纳图解技术 lir&e 9I+  
习题 'rS'B.D  
第3章光学薄膜系统的设计 iY0,WT}&n  
3.1减反射膜 R'G'&H{N  
3.2分束镜 0SJ{@*  
3.3高反射膜 |yLk5e~@-  
3.4干涉截止滤光片 ':,>eL#+uV  
3.5带通滤光片 \HCOR, `T  
3.6特殊膜系 `6rrXU6|  
习题 uyL72($  
参考文献  LsQs:O  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 
7}<Sg  
第4章薄膜制备技术 M'^(3#ZU  
4.1真空淀积工艺 mYjf5  
4.2光学薄膜材料 jo_o`j  
4.3薄膜厚度监控艺术 |xq}'.C  
4.4膜层厚度的均匀性 Jf
_]Z  
习题 q z=yMIy=  
参考文献 XK1fHfCEa  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 >RM 0=bO  
5.1薄膜的形成过程 DXKyRkn6e  
5.2薄膜的微观结构 0;vtdM[_  
5.3薄膜的成分 GSQfg  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 c2/FHI0J;  
5.5薄膜微观结构和改善 --Oprl  
习题 gk"mr_03  
参考文献 (Ar?QwP9>  
第三篇光学薄膜检测技术 yHl@_rN sC  
第6章薄膜透射率和反射率测量 ?LM:RADCm  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 /[0F6  
6.2薄膜反射率的测试 DX|uHbGg  
6.3薄膜反射率的测量 aJI>FTdK  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 7k>zuzRyF  
6.5总结 ;JYoW{2  
习题 pNuqT*  
参考文献 Wt(Kd5k0'2  
第7章薄膜的吸收和散射测量 /;DjJpwf0  
7.1激光量热计基本原理 ^ b@!dS  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 /n(9&'H<  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 hPcS, p{%  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 >Z}@7$(7!~  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 VW{,:Ya  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 Ga.0Io&}C  
7.7总结 Cgo9
rC~]  
习题 l7ZB3'  
参考文献 $cq!RgRn  
第8章薄膜光学常数的测量 dnix:'D1  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 N50fL  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 `y'aH 'EEd  
8.3薄膜波导法 )R~a;?T_c0  
8.4光学薄膜厚度的测试 am2a#4`  
8.5总结 (X*9w##x(  
习题 =w6}\ 'X  
参考文献 q=njKC  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 au}s=ua~i  
9.1薄膜的力学特性检测技术 Ym'7vW#~  
9.2薄膜器件的环境试验 +uELTHH=  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 bhn5Lz$z  
9.4总结 w m19T7*L  
习题 C*a,<`
  
参考文献 ":V%(c  
附录 X3AwM%,!  
附录A复数与复数运算 b) Ux3PB  
A.1复数的概念
 b)Tl*  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 nz[ m3]  
A.3复数在物理中的运用 Y!M~#oqio  
附录B矩陈及矩陈运算 AO $Wy
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B.1矩陈的定义 !j{CuA/  
B.2矩陈运算 W=3? x  
附录C光的电磁理论基础 } #qQ2NCH  
C.1振动与波 4b=
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C.2电磁波 w [L&*
 
C.3麦克斯韦方程 %;tJQ%6-.S  
C.4平面电磁波 ).Q[!lly  
C.5平面电磁波性质 8]HY. $E  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 pD[pTMG@$  
附录D光的干涉 ^(DL+r,  
D.1波的叠加原理 G~(&3  
D.2杨氏干涉 K>$qun?5  
D.3平板的表面干涉 $,@JYLC2  
D.4光的空间相干性和时间相干性 Wa<-AZn
h  
附录E光的偏振 HJ",Sle  
E.1自然光和偏振光 e:BDQU  
E.2偏振光与Jones矩陈 u3ST;  
E.3偏振光的获得 L/%Y#  
E.4偏振光的检验  jC4O`  
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