现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。
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光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 pL'+sW  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 [)p>pA2GZj  
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第一篇光学多层膜设计 $]]|#}J  
第1章光学薄膜特性的理论计算 .37Jrh0Iv  
1.1单色平面电磁波 arj?U=zy  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 -6>T0-  
1.3光学薄膜特性的理论计算 I.}E#f/A'  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 6M_,4> -  
习题 Hk|wO:7
Be  
第2章光学薄膜的设计理论 ~Wj. 4b*  
2.1矢量作图法 b\Gw|?Rv  
2.2有效界面法 kC-OZVoO  
2.3对称膜系的等效层 PzDekyl  
2.4导纳图解技术 [E|%  
习题 <-m[0zgq  
第3章光学薄膜系统的设计 *5|q_K Pt  
3.1减反射膜 ;JQ;LbEn  
3.2分束镜 c'~6 1HA<  
3.3高反射膜 uz;z+Bd^  
3.4干涉截止滤光片 =?gB@vS  
3.5带通滤光片 0T7""^'&  
3.6特殊膜系 7gcJ.,Z.  
习题 r5g:#m
F"  
参考文献 z#elwL6  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 g O ;oM?|  
第4章薄膜制备技术 j]'7"b5  
4.1真空淀积工艺 :NPnwX8w  
4.2光学薄膜材料 hUGP3ExC*  
4.3薄膜厚度监控艺术 jLG Q^v"  
4.4膜层厚度的均匀性 h"DxgG  
习题 FpM0%   
参考文献 yd4\%%]  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 s xp>9&  
5.1薄膜的形成过程 \bPSy0  
5.2薄膜的微观结构 pw5uH  
5.3薄膜的成分 3c.,T  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 \_J;i[
  
5.5薄膜微观结构和改善 )4BLm  
习题 '6zD`Q  
参考文献 TY6Q;BTU  
第三篇光学薄膜检测技术 #?EmC]N7  
第6章薄膜透射率和反射率测量 %^CoWbU  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 SV0h'd(b  
6.2薄膜反射率的测试 w5uOkz #  
6.3薄膜反射率的测量 RO+N>Wkt  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 %RS8zN  
6.5总结 a08`h.dyN  
习题 qmx4hs8sh  
参考文献 FH}2wO~_  
第7章薄膜的吸收和散射测量 hFp\,QSx  
7.1激光量热计基本原理 )D"E]  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 txp^3dZ`^  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 9#X"m,SB  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 [uD G;We=  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 :sL?jGk\
 
7.6薄膜导波传播衰减系数法 78fFAN`  
7.7总结 VHihC]ks,  
习题 mxfmK +'_  
参考文献 KrDG  
第8章薄膜光学常数的测量 H%z9VJ*!0  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 K~ob]I<GiB  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 +#V.6i  
8.3薄膜波导法 zt|DHVy  
8.4光学薄膜厚度的测试 oW \k%Vj  
8.5总结 gJC~$/2  
习题 Ufr,6IX  
参考文献 U8
gf_R'  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 b>Em~NMu_  
9.1薄膜的力学特性检测技术 Z_.xglq{  
9.2薄膜器件的环境试验 dFVx*{6  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 f5ttQ&@FF  
9.4总结
GI _.[  
习题 #l?E2 U4WL  
参考文献 #Li6RSeW  
附录 O-jpS?@  
附录A复数与复数运算 l1I
\kh
S  
A.1复数的概念 [;RO=  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 o;5ns  
A.3复数在物理中的运用 \\UO
p
l  
附录B矩陈及矩陈运算 ,\Uc/wR  
B.1矩陈的定义 /c:78@  
B.2矩陈运算 Yw_^]:~  
附录C光的电磁理论基础 r&_bk Y%  
C.1振动与波 L }L"BY3$  
C.2电磁波 ')#!M\1,HQ  
C.3麦克斯韦方程 F9PXQD(  
C.4平面电磁波 xjK@Q1MJ  
C.5平面电磁波性质 gHmy?+)  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 KqhE=2,  
附录D光的干涉 sRKoM  
D.1波的叠加原理 
dp DPSI  
D.2杨氏干涉 W|-<ekH_u  
D.3平板的表面干涉 cfhiZ~."T  
D.4光的空间相干性和时间相干性 &\>.j|  
附录E光的偏振 Pof]9qE-y  
E.1自然光和偏振光 *1c1XN<7  
E.2偏振光与Jones矩陈 6h9Hf$'  
E.3偏振光的获得 ;&i4QAo-  
E.4偏振光的检验 jWNF3\  
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