现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 H4 =IY  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 :v#8O~
  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 A]#_"fayo  
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第一篇光学多层膜设计 ^(J-dK  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ?`"<DH~:0B  
1.1单色平面电磁波 &*jixqzvn
 
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 %uW<  
1.3光学薄膜特性的理论计算 =/m}rcDN  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 9!c
W  
习题 3}yraX6r!  
第2章光学薄膜的设计理论 g&P9UW>qS  
2.1矢量作图法 =^by0E2  
2.2有效界面法 bje'Oolc  
2.3对称膜系的等效层 Nl=+.d6Qo  
2.4导纳图解技术 pRmEryR(U  
习题 [XxA.S)x3  
第3章光学薄膜系统的设计 ^&HI+M  
3.1减反射膜 9'l.TcVm`,  
3.2分束镜 . rRc  
3.3高反射膜
u>1v~3,r#  
3.4干涉截止滤光片 aK-N}T  
3.5带通滤光片 WVj&0  
3.6特殊膜系 )2/b$i,JKk  
习题 80cm6?,xu  
参考文献 (Y&R0jt  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性  eMztjN  
第4章薄膜制备技术 !SN6 ?Xy  
4.1真空淀积工艺 :3:)E  
4.2光学薄膜材料 W%w82@'  
4.3薄膜厚度监控艺术 N#mK7|\c?:  
4.4膜层厚度的均匀性 WI%zr
2T  
习题 D=<t;+|  
参考文献 i;gw=Be  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 XPrY`,kN  
5.1薄膜的形成过程 EccFx7h  
5.2薄膜的微观结构 ?! !;XW
 
5.3薄膜的成分 MV7}  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 8}]l9"q(  
5.5薄膜微观结构和改善 CRP
7U  
习题 9.^-us1  
参考文献 DM+sjn  
第三篇光学薄膜检测技术 Q^\{Zg)p  
第6章薄膜透射率和反射率测量 dV'6m@C
 
6.1光谱分析测试系统的基本原理 F@oT7NB/n  
6.2薄膜反射率的测试 @:I\\S@bN  
6.3薄膜反射率的测量 34HFrMi  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 3~#ZE;>#  
6.5总结 *vEU}SxRuv  
习题 jp"XS  
参考文献 Ey 0>L  
第7章薄膜的吸收和散射测量 XT\Td}>  
7.1激光量热计基本原理 DX7Ou%P,mg  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 A632 :V  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 8.6no  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 EG8%~k+R  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 o<9yaQ;  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 KBp!zSl  
7.7总结 qQ3]E][/  
习题 BHIZHp  
参考文献 ;2+FgOj  
第8章薄膜光学常数的测量 6yV5Yjs  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 bgkbwE  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 30wYc &H  
8.3薄膜波导法 hlYS=cgY=  
8.4光学薄膜厚度的测试 U0lqGEZ  
8.5总结 `HMligT  
习题 cN0~;!{i  
参考文献 :Q0?ub]  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ZdJVs/33Vn  
9.1薄膜的力学特性检测技术 )m$1al  
9.2薄膜器件的环境试验 9u-M! $  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 S}XB |  
9.4总结 &VtWSq-)  
习题 QH~8 aE_i  
参考文献 N>uZt2  
附录 Xuz8"b5^Zx  
附录A复数与复数运算 N?Z+zN&P  
A.1复数的概念 a,F8+ Pb>  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 bqf]$}/8k  
A.3复数在物理中的运用 4okHAv8;  
附录B矩陈及矩陈运算 I\F=s-VVY  
B.1矩陈的定义 y&KoL\  
B.2矩陈运算 fD]An<  
附录C光的电磁理论基础 HZ[68T[8b  
C.1振动与波 QBN=l\m+  
C.2电磁波 *;V2_fWJ@  
C.3麦克斯韦方程 .j+2x[`l  
C.4平面电磁波 o{
YW  
C.5平面电磁波性质 ,& \&::R  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 q_%w l5\F  
附录D光的干涉 W? 6  
D.1波的叠加原理 kOlI?wc  
D.2杨氏干涉 N'Z_
6A*-  
D.3平板的表面干涉 XQ+-+CD  
D.4光的空间相干性和时间相干性  \!' {-J  
附录E光的偏振 PEwW*4Xo  
E.1自然光和偏振光 KqG$zC^N  
E.2偏振光与Jones矩陈 }SJLBy0  
E.3偏振光的获得 ZQJw2LAgO  
E.4偏振光的检验 [W8iM7D  
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