《现代
光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术,由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术,包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术,涵盖真空设备、薄膜
材料、制备
参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观
结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科,涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。
qt:->yiq+ 光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程,涉及光在传播过程中,通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。
hqds T 为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要,增加了一个附录,主要介绍几个数学物理基础理论。
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-qEr-[z l2v}PALs 第一篇光学多层膜设计
C`#N
Q*O 第1章光学薄膜特性的理论计算
6,h<0j{ 1.1单色平面电磁波
/vV 0$vg 1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射
B~ez>/H^ 1.3光学薄膜特性的理论计算
w[+!c-A:H 1.4光学多层膜内的电场强度分布
7,4x7! 习题
nSC>x:jY5/ 第2章光学薄膜的设计理论
.iYg RW=T 2.1矢量作图法
vJ'ho 2.2有效界面法
}rQ*!2Y? 2.3对称膜系的等效层
37[C^R!1c 2.4导纳图解技术
0IdD 习题
WE"'3u^k 第3章光学薄膜
系统的设计
y5ExEXa 3.1减反射膜
W6iIL:sp 3.2分束镜
B>mQ\Q 3.3高反射膜
3TtW2h>M 3.4干涉截止滤光片
HkN +: 3.5带通滤光片
*o#`l H 3.6特殊膜系
>6dgf`U 习题
4<Y?#bm' 参考文献
*,pqpD> 第二篇薄膜制备技术和微结构特性
**"P A8 第4章薄膜制备技术
?l (hS\N, 4.1真空淀积工艺
B::? 4.2光学薄膜材料
] QEw\4M?= 4.3薄膜厚度监控艺术
DXGO-]!!0 4.4膜层厚度的均匀性
:
L>d]Hn 习题
6{~I7!m" 参考文献
DNy)\+[
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响
FN
R&
: 5.1薄膜的形成过程
O`=Uq0Vv 5.2薄膜的微观结构
[Wh 43Z 5.3薄膜的成分
21[F%,{.), 5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响
]5\vYk 5.5薄膜微观结构和改善
Kv7NCpq' 习题
6xe
|L 参考文献
O+N-x8W{ 第三篇光学薄膜检测技术
smU+:~ 第6章薄膜透射率和反射率测量
0{yx*}. 6.1光谱分析测试系统的基本
原理 z|2liQrf+ 6.2薄膜反射率的测试
x,%&[6( 6.3薄膜反射率的测量
%([c4el>\F 6.4利用
激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗
iiTUhO ) 6.5总结
&)l:m. 习题
rUO{-R 参考文献
cPbz7 第7章薄膜的吸收和散射测量
W#[!8d35$ 7.1激光量热计基本原理
2~<0<^j/] 7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收
C0%%@
2+ 7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量
UPYM~c+} 7.4散射光的矢量理论和角分布测量
}0(
Na 7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法
kWd'gftQ 7.6薄膜导波传播衰减系数法
S(6ZX>wv: 7.7总结
7E95"B&w 习题
H.L@]~AyL 参考文献
{E/TC% 第8章薄膜光学常数的测量
GpL#,q Yc 8.1从透射、反射
光谱确定薄膜的光学常数
u_BSWhiW 8.2其他薄膜的光学常数测试方法
l_c?q"X 8.3薄膜波导法
Tt\w^Gv\d 8.4光学薄膜厚度的测试
UVK"%kW#( 8.5总结
g&>Hy!v, 习题
l+6(|"md 参考文献
sFQ|lU" n 第9章薄膜非光学特性的检测技术
ShpnFuH 9.1薄膜的力学特性检测技术
>$DqG$D 9.2薄膜器件的环境试验
(4LLTf0 9.3薄膜的微结构与化学成分检测
Pcs@`&}7r 9.4总结
V1.F`3h~ 习题
&[kgrRF@HU 参考文献
5WT\0]RUa 附录
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