现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 OLo?=1&;;  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 eX1_=?$1P  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 M@JW/~p'  
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第一篇光学多层膜设计 jn`5{ ]D  
第1章光学薄膜特性的理论计算 O`$\Plt|v  
1.1单色平面电磁波 +:W/=C d(h  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 &c}2[=  
1.3光学薄膜特性的理论计算 1BgHkDW  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 %k<+#j6ZH  
习题 ?D|kCw69SE  
第2章光学薄膜的设计理论 "!_vQ^y  
2.1矢量作图法 Kn1T2WSAg  
2.2有效界面法 U&43/;<,  
2.3对称膜系的等效层 ?gBFfi  
2.4导纳图解技术 Qsw
.429t  
习题 IwBO#HR
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第3章光学薄膜系统的设计 Khl0~  
3.1减反射膜 2I|lY>Z  
3.2分束镜 M)U)Sc zHO  
3.3高反射膜 g6+5uvpd  
3.4干涉截止滤光片 Nf)SR#;  
3.5带通滤光片  [aG   
3.6特殊膜系 zKI1  
习题 :;c`qO4  
参考文献 bN6i*)}  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 qQIX:HWDKZ  
第4章薄膜制备技术 O\gVB!x  
4.1真空淀积工艺 jcjl q-x  
4.2光学薄膜材料 %%#bTyF  
4.3薄膜厚度监控艺术 A2p%Y},  
4.4膜层厚度的均匀性 kkW}:dBl  
习题 9-vQn/O^D  
参考文献 CMyz!jZ3  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Q,Y^9g"B`~  
5.1薄膜的形成过程 %eh.@8GL`  
5.2薄膜的微观结构 HGDiwA  
5.3薄膜的成分 I0><IaFy  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 sCmN|Q  
5.5薄膜微观结构和改善 hd,O/-m#  
习题 -r]L MQ  
参考文献 7G7"Zule*j  
第三篇光学薄膜检测技术 ~]`U)Aw  
第6章薄膜透射率和反射率测量  -PU.Uw]  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 OOXP1L  
6.2薄膜反射率的测试 jP0TyhM  
6.3薄膜反射率的测量  DF=Rd#  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 K`j:F>b  
6.5总结 .XVL JJ#  
习题 JS
tEOQF4  
参考文献 dc_2nF  
第7章薄膜的吸收和散射测量 2aX{r/Lc  
7.1激光量热计基本原理 5iI(A'R[7  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 "c?31$6  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 E$&bl  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 7TU xdI  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 vP+qwvpGr  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 $dWYu"2CD  
7.7总结 .,U4 ATO  
习题 "!fwIEG  
参考文献 8H T3C\$s  
第8章薄膜光学常数的测量 A_e5Vb,u.  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 aR'~=t&;z1  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 "zzb`T[8  
8.3薄膜波导法 'm"Ez'sS  
8.4光学薄膜厚度的测试 P}>>$$b\Yi  
8.5总结 sTep2W.9  
习题 ]0SqLe  
参考文献 3OY(L`  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 0%Y}CDn_  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ?<5KLvGv  
9.2薄膜器件的环境试验 H0yM`7[y  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 $9xp@8b\_  
9.4总结 baL<|& c  
习题 ZG{#CC
=  
参考文献 WS?Y8~+{5  
附录 _^ic@h3'X~  
附录A复数与复数运算 B-"F67:  
A.1复数的概念 2$VSH&  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 e**'[3Y  
A.3复数在物理中的运用 #?e
MEws  
附录B矩陈及矩陈运算 >6@,L+-6r  
B.1矩陈的定义 `2^(Ss#)  
B.2矩陈运算 rW_cLdh]#  
附录C光的电磁理论基础 #l.s>B4  
C.1振动与波 T|j=,2_  
C.2电磁波 V$oj6i{ky  
C.3麦克斯韦方程 ~2yhZ  
C.4平面电磁波 57]La^#  
C.5平面电磁波性质 L/%{,7l<^?  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Fg}t{e]3a  
附录D光的干涉 }
W[=O:p  
D.1波的叠加原理 OsVz[wN  
D.2杨氏干涉 J4z&J SY  
D.3平板的表面干涉 s8qpK; O  
D.4光的空间相干性和时间相干性 h0$ \JXk  
附录E光的偏振 'z)cieFKP  
E.1自然光和偏振光 <X
5ge>.  
E.2偏振光与Jones矩陈 >IA1 \?(  
E.3偏振光的获得 E9t8SclV  
E.4偏振光的检验 -7o-d-d F  
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