现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 k g0Z(T:&8  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 mvlK~c8  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 Dm"GCV  
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%)?$82=2  
第一篇光学多层膜设计 83Bp_K2\  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ;HgV(d#X  
1.1单色平面电磁波 r[JgCj+$&  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 5<Xq7|Jt  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ie=tM'fb  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 b_z;^y~  
习题 >jq~5HN  
第2章光学薄膜的设计理论 $:t;WXc.<  
2.1矢量作图法 V2V^*9(wu@  
2.2有效界面法 4JT9EKo
 
2.3对称膜系的等效层 w-
"o?;)a  
2.4导纳图解技术 q;InFV3rv  
习题 GNT1FR  
第3章光学薄膜系统的设计 Ud\Jc:DG  
3.1减反射膜 $ GL$ iA  
3.2分束镜 P}KyT?X:  
3.3高反射膜 ZH~T'Bg  
3.4干涉截止滤光片 bH~ue5q  
3.5带通滤光片 =pF 6  
3.6特殊膜系 5NZob<<  
习题 OGzth$7A  
参考文献 '/Hx0]V  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 +Y0Wiwr'  
第4章薄膜制备技术 rH8w||S2U  
4.1真空淀积工艺 4M}u_}9  
4.2光学薄膜材料 ~Q0gSazXFt  
4.3薄膜厚度监控艺术 %
tN{  
4.4膜层厚度的均匀性 k"LbB#Q  
习题 S=n,unn#t  
参考文献 Y\Odj~Mj  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 YJ'h=!p}G  
5.1薄膜的形成过程 hp@giu7  
5.2薄膜的微观结构 9P#E^;L  
5.3薄膜的成分 #e((F,1z  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 >c|u|^3zt  
5.5薄膜微观结构和改善 
A<C`JN}  
习题 Ont4-AP   
参考文献 hCQzD2  
第三篇光学薄膜检测技术 "~jt0pp  
第6章薄膜透射率和反射率测量 k+f!)7_  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 #Wey)DI  
6.2薄膜反射率的测试 ~ou*' w@  
6.3薄膜反射率的测量 &~29%Ns  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 np}F [v  
6.5总结 L 5J=+k,  
习题 Hc ]/0:  
参考文献 ]!E|5=q  
第7章薄膜的吸收和散射测量 #(mm6dj  
7.1激光量热计基本原理 BQ2EDy=}6  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 CLg;  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 x JQde4  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 3)^-A4~E  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Uvgv<OR`_  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 rZ
/,^[T  
7.7总结 Vv~rgNh  
习题 <.s=)}'`P  
参考文献 )cNG)F  
第8章薄膜光学常数的测量 lX/6u E_%  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 7SE\(K=<%  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 *-(J$4RNz  
8.3薄膜波导法 7^4F,JuJO  
8.4光学薄膜厚度的测试 qsk8#  
8.5总结 ({ads_l  
习题 -x=abyD  
参考文献 QKDY:1]  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 D642}VD  
9.1薄膜的力学特性检测技术 I8;pMr6  
9.2薄膜器件的环境试验 q
OVs9'R  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Wky=]C%  
9.4总结 ?dP3tLR  
习题 )sWdN(E3  
参考文献 h7c8K)ntnf  
附录 Nc:, [8{l  
附录A复数与复数运算 4#MvOjA5[  
A.1复数的概念 7d*SZmD   
A.2复数的三角函数及指数表示方法 8`XT`H  
A.3复数在物理中的运用 QijEb  
附录B矩陈及矩陈运算 2T3v^
%%j  
B.1矩陈的定义 )T/"QF}<T  
B.2矩陈运算 RbKAB8  
附录C光的电磁理论基础 hPLQ)c?   
C.1振动与波 B.vg2N
 
C.2电磁波 P/5bNK!  
C.3麦克斯韦方程 pRe, B'&  
C.4平面电磁波 h~)oiT2v  
C.5平面电磁波性质 NTS tk{s,  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 u1s^AW8 y  
附录D光的干涉 SV}
q8z\  
D.1波的叠加原理 s7e)Mt  
D.2杨氏干涉 o65:)z u  
D.3平板的表面干涉 -e_IDE  
D.4光的空间相干性和时间相干性 uUu]JDdz  
附录E光的偏振 v_?0|Ei[  
E.1自然光和偏振光 ^=D=fX"8%  
E.2偏振光与Jones矩陈 gVjI1{WTK  
E.3偏振光的获得 0{#c  
E.4偏振光的检验 !7"-9n  
…… H6X]D"Y,  
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