现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 {yTpRQN~  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 V- /YNRV  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 5PDSA*  

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第一篇光学多层膜设计 "3wv:BL  
第1章光学薄膜特性的理论计算 Zd$JW=KR]l  
1.1单色平面电磁波 z4bN)W )p  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 eIsT!V"7  
1.3光学薄膜特性的理论计算 Y|_O8[  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 X PA0m  
习题 B@"J]S  
第2章光学薄膜的设计理论 02(h={  
2.1矢量作图法 )y`i@S}J  
2.2有效界面法 rmsQt  
2.3对称膜系的等效层 g &*mozs  
2.4导纳图解技术 P8<hvMF  
习题 b;*c:{W)  
第3章光学薄膜系统的设计 i*'Z3Z)  
3.1减反射膜
|U EC  
3.2分束镜 a_MFQf&KV  
3.3高反射膜 VtWT{y5Ec  
3.4干涉截止滤光片 `UQEXoB)  
3.5带通滤光片 WtVf wC_  
3.6特殊膜系 2[ksi51y  
习题 oPsK:GC`U  
参考文献 *!w25t  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 Ev{MCu1!6  
第4章薄膜制备技术 (n,N8k;  
4.1真空淀积工艺 @y5=J`@=  
4.2光学薄膜材料 _$5@uL{n"^  
4.3薄膜厚度监控艺术 C B/r]+4  
4.4膜层厚度的均匀性 -x{&an=  
习题 or!!s 5[d  
参考文献 hl<y4y&|  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ws[/  
5.1薄膜的形成过程 r8,om^N6  
5.2薄膜的微观结构 TM-Fu([LMV  
5.3薄膜的成分 kM;o0wi  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 Mb.4J2F?  
5.5薄膜微观结构和改善 `BjR.xMv  
习题 +?Ez} BP  
参考文献 toIYE*ocv=  
第三篇光学薄膜检测技术 IJ_ m  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Z9VR]cf?  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 1x{kl01m%  
6.2薄膜反射率的测试 :BD>yOlG  
6.3薄膜反射率的测量 1O0X-C,wo$  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 #A )Ab%r8"  
6.5总结
QZ~0o7  
习题 mf9hFy*<4  
参考文献 WqQU@sA  
第7章薄膜的吸收和散射测量 7 >bMzdH  
7.1激光量热计基本原理 i
D714+N(  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 V&iS~V0.  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 |IN[uQ  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 j^nu|  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ~b6GrY"vB  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 %Kl(>{N  
7.7总结 e2wvc/gG6  
习题 V%51k{  
参考文献 Y{+3}drJE  
第8章薄膜光学常数的测量 G "brT5:  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 \z:<DsQ&  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Y[um|M315  
8.3薄膜波导法 PI
xjM>  
8.4光学薄膜厚度的测试 *|KVN&#  
8.5总结 UP8{5fx'  
习题 bLlH//ZRH  
参考文献 esI'"hVJ  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 f3#X0.':  
9.1薄膜的力学特性检测技术 SiTe
B)/  
9.2薄膜器件的环境试验 cz(G]{N  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 6 64q~_@B1  
9.4总结 12OlrU  
习题 oKa>.e7.  
参考文献 ;==j|/ERe  
附录 4Jykos2  
附录A复数与复数运算 Y.-S=Y   
A.1复数的概念 no&-YktP}  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 T8Na]V5  
A.3复数在物理中的运用 JC2*$qu J  
附录B矩陈及矩陈运算 +zp0" ,2B  
B.1矩陈的定义 0OW
L  
B.2矩陈运算 $.8
H>c  
附录C光的电磁理论基础 %/pc=i|+  
C.1振动与波 |}Ph"g2D,  
C.2电磁波 ti2  
C.3麦克斯韦方程 =/}X$,@2  
C.4平面电磁波 HeozJ^u\?  
C.5平面电磁波性质 mb{q(WEPP  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 @GeHWv  
附录D光的干涉 <5IQc[3]aP  
D.1波的叠加原理 Uk'U?9O  
D.2杨氏干涉 :<utq|#s  
D.3平板的表面干涉 iLtc HpN  
D.4光的空间相干性和时间相干性 niWx^gKb$  
附录E光的偏振 <\aU"_D   
E.1自然光和偏振光 ,LUTHWEo"I  
E.2偏振光与Jones矩陈 C}Qt "-%  
E.3偏振光的获得 >| m.?{^  
E.4偏振光的检验 bEI!Ja  
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