现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 6-X?uaY)os  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 :kx#];2i  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 Y&Lk4  
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第一篇光学多层膜设计 8kc'|F\  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ,M h/3DPgE  
1.1单色平面电磁波 u[|S*(P  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 *4^]?Y\*  
1.3光学薄膜特性的理论计算 LLHOWD C(2  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 |M/ \'pOe  
习题 lg  
第2章光学薄膜的设计理论 UO!6&k>
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2.1矢量作图法 jp]geV54  
2.2有效界面法 z+D,:!yF  
2.3对称膜系的等效层 -*q2Y^A^l  
2.4导纳图解技术 '*ICGKoT  
习题 ;,})VoC\!  
第3章光学薄膜系统的设计 l(
#Y8  
3.1减反射膜 i8):0  
3.2分束镜 DJ[#H  
3.3高反射膜 [k=9 +0p  
3.4干涉截止滤光片 yaXa8v'oC  
3.5带通滤光片 :*+BBC  
3.6特殊膜系 BBJ]>lQ  
习题 $q$\GOQ 9  
参考文献 # %y{mn  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 `6sQlCOnF  
第4章薄膜制备技术 ![!b^:f  
4.1真空淀积工艺 ~+nSI-L  
4.2光学薄膜材料 Iw|[*Nu-  
4.3薄膜厚度监控艺术 e CUcE(  
4.4膜层厚度的均匀性 [=1?CD  
习题 q<uLBaL_]r  
参考文献 7CMgvH)O  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 oNsx Fi:  
5.1薄膜的形成过程 ^k<$N  
5.2薄膜的微观结构 p2vUt  
5.3薄膜的成分 (a
!,)  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 mT~>4xi0  
5.5薄膜微观结构和改善 #=#$b_6*  
习题 E d/O\v@  
参考文献 ;1k0o.3  
第三篇光学薄膜检测技术 _rJSkZO  
第6章薄膜透射率和反射率测量 :{uUc  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ?8}jJw2H  
6.2薄膜反射率的测试 SW'KYzn  
6.3薄膜反射率的测量 c
qyh#uWe  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 k$_]b0D{4  
6.5总结 G&3<rT3Ib  
习题 "FIx^  
参考文献 [eP]8G\ W  
第7章薄膜的吸收和散射测量
km^+ mK  
7.1激光量热计基本原理 ,VsCRp  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 BD#;3?|  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 L^
s;kkB  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 +`3ZH9  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ~(]DNXB8I`  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 V=MZOj6  
7.7总结 +rP<m  
习题 *)D*iU&  
参考文献 HZ=yfJs nc  
第8章薄膜光学常数的测量 |?=1tS{iT  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 S IK{GWX  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 'oL[rO~j  
8.3薄膜波导法 ahv=HWX k  
8.4光学薄膜厚度的测试 Tic9ri  
8.5总结 L1 VTq9[3  
习题 <F & hfy  
参考文献 N<(`+?  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 8E%*o  
9.1薄膜的力学特性检测技术 :/l  
9.2薄膜器件的环境试验 e'VXyf  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 vJUB;hD  
9.4总结 M?u)H&kEl  
习题 :+!b8[?Z  
参考文献 ra2q. H  
附录 Oh4WYDyT  
附录A复数与复数运算 CnYX\^Ow  
A.1复数的概念 iH0c1}<k$  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 <);u]0
  
A.3复数在物理中的运用 r1a
tyK  
附录B矩陈及矩陈运算 9ksrr{tW  
B.1矩陈的定义 lGhUfhk  
B.2矩陈运算 K_3ZJ  
附录C光的电磁理论基础 2]ljm]\l  
C.1振动与波 ?%ntO]  
C.2电磁波 qJj5J;k  
C.3麦克斯韦方程
)~(_[='  
C.4平面电磁波 P@?CQvMx  
C.5平面电磁波性质 `BD`pa7.%  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 kyB]fmS  
附录D光的干涉 ?0Zw ^a  
D.1波的叠加原理 mIodD)?{  
D.2杨氏干涉 {'kL]qLg  
D.3平板的表面干涉 i`L66uV  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ;A!i V|  
附录E光的偏振 yQ50f~9  
E.1自然光和偏振光 ^yTN(\9  
E.2偏振光与Jones矩陈 Yg.u8{H  
E.3偏振光的获得 RA/yvr  
E.4偏振光的检验 g\'84:*J\  
…… 92Iv'(1ba  
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