现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 A[)od  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 q/w<>u  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 =%P'?(o|  
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第一篇光学多层膜设计 *qdf?'R  
第1章光学薄膜特性的理论计算 AE0d0Y~9  
1.1单色平面电磁波 <q|IP_  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 7xz~%xC.  
1.3光学薄膜特性的理论计算 1&N|k;#QS  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 $Lg%CY  
习题 rw_T&>!  
第2章光学薄膜的设计理论 LoZ8;VU  
2.1矢量作图法 :a$ZYyD  
2.2有效界面法 Q-;ltJ  
2.3对称膜系的等效层 94C)63V  
2.4导纳图解技术 *AX)QKQ@  
习题 [GKSQt{)  
第3章光学薄膜系统的设计 tk3%0XZH  
3.1减反射膜 bU'{U0lM  
3.2分束镜 M7z>ugk"  
3.3高反射膜 +bK[3KG4F5  
3.4干涉截止滤光片 'A@[a_  
3.5带通滤光片 KQ'fp:5|/@  
3.6特殊膜系 k<W n  
习题 .s$#: ls?  
参考文献 dv3+x\`9  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 $__e7  
第4章薄膜制备技术 nsR^TD;  
4.1真空淀积工艺 lOp/kGmn+  
4.2光学薄膜材料 JmN,:bI  
4.3薄膜厚度监控艺术 yH_L<n  
4.4膜层厚度的均匀性 +
SCUS]  
习题 T{=.mW^ x  
参考文献 mw}obblR  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Zur7"OkQ  
5.1薄膜的形成过程 T8Sgu6:*R  
5.2薄膜的微观结构 G"!YV#"~  
5.3薄膜的成分 -
bL 7M5  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ^$3 ~;/|  
5.5薄膜微观结构和改善 PRmZ3  
习题 !1<x@%  
参考文献 ),`MAevp  
第三篇光学薄膜检测技术 3$f%{
~3  
第6章薄膜透射率和反射率测量 .UNh\R?r  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ~N+lI\K  
6.2薄膜反射率的测试 EN@LB2  
6.3薄膜反射率的测量 ^9T6Ix{=  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 'Rk~bAX  
6.5总结 $$YLAgO4  
习题 %8iA0t+  
参考文献 -,jJ{Y~  
第7章薄膜的吸收和散射测量
y@g{:/cmO  
7.1激光量热计基本原理 rXo2MX@u  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 X'N4a  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 !v\m%t|.  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 wqo2iRql  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 N>i1TM2  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 #|^7{TN   
7.7总结 -F,o@5W>Y  
习题 @ [_I|  
参考文献 QI>yi&t  
第8章薄膜光学常数的测量 ~D@p
k>I  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 V M[9!:  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 g#FqjE|mx  
8.3薄膜波导法 9[5NnRv$P  
8.4光学薄膜厚度的测试 fX G+88:2  
8.5总结 j}8IT  
习题 Y.rHl4  
参考文献 6Nx TW  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 e1{t qNJ  
9.1薄膜的力学特性检测技术 /b@0HL?  
9.2薄膜器件的环境试验 HC w$v#  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 v}dt**l  
9.4总结 ~
Av]LW  
习题 +Cx~4zEq  
参考文献 g=; rM8W  
附录 mm%w0dOb"  
附录A复数与复数运算 b0LjNO@<  
A.1复数的概念 "%ag^v9  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 XboOvdt^|  
A.3复数在物理中的运用 GN{\ccej  
附录B矩陈及矩陈运算 i2b\` 805  
B.1矩陈的定义 Cq1t[a  
B.2矩陈运算 eG# (9  
附录C光的电磁理论基础 Sw#Ez-X  
C.1振动与波 &nn!{S^  
C.2电磁波 _5M!ec  
C.3麦克斯韦方程 ;3\Fb3d  
C.4平面电磁波 &dvJg  
C.5平面电磁波性质 `ZN@L<I6  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 R#tz"T@  
附录D光的干涉 mL+}Ka  
D.1波的叠加原理 -a3+C,I8g  
D.2杨氏干涉 4M(w<f\5F  
D.3平板的表面干涉 4q@o4C<0  
D.4光的空间相干性和时间相干性 k}>l+_*+7  
附录E光的偏振 t,N-|  
E.1自然光和偏振光 #Vn=(U4}!_  
E.2偏振光与Jones矩陈 23+6u{   
E.3偏振光的获得 : ` F>B  
E.4偏振光的检验 EBzg<-?o  
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