现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 9m~p0ILh  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 5taT5?n2  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 p4 ^yVa  

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第一篇光学多层膜设计 *mvlb (' &  
第1章光学薄膜特性的理论计算 [%1CRk  
1.1单色平面电磁波 D7Q$R:6|  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 g&Vx:fOC  
1.3光学薄膜特性的理论计算 Q:d]imw!O  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Od,qbU4O  
习题 pYmk1!]/  
第2章光学薄膜的设计理论 :(*V?WI  
2.1矢量作图法 )cMh0SGcM1  
2.2有效界面法 &powy7rR  
2.3对称膜系的等效层 @>Km_Ax  
2.4导纳图解技术 3K0A)W/YEs  
习题 5f K_Aq{  
第3章光学薄膜系统的设计 Gm^U;u}=f  
3.1减反射膜 '$]97b7G  
3.2分束镜 6) [H?Q  
3.3高反射膜 N]=q|D  
3.4干涉截止滤光片 y(yHt=r  
3.5带通滤光片 v\%HPMlh  
3.6特殊膜系 [MM~H0=s  
习题 1JG'%8}#8  
参考文献 x@;m8z0  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 ^EQ<SCh  
第4章薄膜制备技术 ,G?WAOy,  
4.1真空淀积工艺 xHLlMn4M  
4.2光学薄膜材料 0)e\`
Bv  
4.3薄膜厚度监控艺术 tGE$z]1c@  
4.4膜层厚度的均匀性 aP
@N)"  
习题 9x9T<cx  
参考文献 2*l/3VW  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 h_3E)jc  
5.1薄膜的形成过程 M; tqp8  
5.2薄膜的微观结构 3J|F?M"N7  
5.3薄膜的成分 Q6!zZ))~  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 i^Y+?Sx  
5.5薄膜微观结构和改善 RmeD$>7  
习题 yfjWbW  
参考文献 ?(F6#"
/E  
第三篇光学薄膜检测技术 j[G  
第6章薄膜透射率和反射率测量 `V)8 QRN(  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 2,b(,3{`4:  
6.2薄膜反射率的测试 Kaqc74Mv  
6.3薄膜反射率的测量 pG^  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 _P 3G
  
6.5总结 lc1(t:"[  
习题 A,
Vu\3HS  
参考文献 CMG&7(MR  
第7章薄膜的吸收和散射测量 aU "8{  
7.1激光量热计基本原理 )9'K($  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 ;oKZ!ND  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 qJa H,  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 r|fL&dtr  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 m_
?~OL S  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ^?7-r6  
7.7总结 CR`Q#Yi  
习题 t?-n*9,#S  
参考文献 Fg5kX  
第8章薄膜光学常数的测量 bz2ztH9 n  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ;
!mzyb*  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 d *|Y o  
8.3薄膜波导法 r4XK{KHn  
8.4光学薄膜厚度的测试 Is)u }  
8.5总结 Hz1%x  
习题 +\c5]`  
参考文献 mAj?>;R2$2  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 +ocol6G7W  
9.1薄膜的力学特性检测技术 7uS~MW  
9.2薄膜器件的环境试验 +`7i'ff  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测
:uq\+(9  
9.4总结 Jr ,;>   
习题 XSe=s
HEI  
参考文献 p$NQyS5C"S  
附录 Pw7]r<Q  
附录A复数与复数运算 4$iz4U:P  
A.1复数的概念 LqoB 10Kc\  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 F3v!AvA|  
A.3复数在物理中的运用 B:;pvW]  
附录B矩陈及矩陈运算 ?wiCQ6*$  
B.1矩陈的定义 b9KP(
_  
B.2矩陈运算 3s,g*  
附录C光的电磁理论基础 ?cBwPetp  
C.1振动与波 W#4 7h7M  
C.2电磁波 \=?a/  
C.3麦克斯韦方程 @Q ]
=\N:  
C.4平面电磁波 l6T-}h:=  
C.5平面电磁波性质 *v jmy/3  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 )BZ.Sv  
附录D光的干涉 53;}Nt#R  
D.1波的叠加原理 |"X*@s\'  
D.2杨氏干涉 U3ADsdn  
D.3平板的表面干涉 AW%#O\N  
D.4光的空间相干性和时间相干性 67JA=,EE  
附录E光的偏振 fnjPSts0  
E.1自然光和偏振光 IXMop7~  
E.2偏振光与Jones矩陈 jH5 k  
E.3偏振光的获得 \%JgH=@ :=  
E.4偏振光的检验 =V,mtT  
…… EnKR%Ctw  
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