现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 \;+TZ1i_  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 #z61I"k
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为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 0Of6$`  

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第一篇光学多层膜设计 C1uV7t*\  
第1章光学薄膜特性的理论计算 <M,<|Y*)  
1.1单色平面电磁波 ,z01*Yx  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 uf1s}/M  
1.3光学薄膜特性的理论计算 q8)wAl  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 ;v!Ef"E|cV  
习题 BS2'BS8  
第2章光学薄膜的设计理论 3T /_#=9TV  
2.1矢量作图法 E&ReQgBf
t  
2.2有效界面法 ',1[rWyc  
2.3对称膜系的等效层 t9.| i H  
2.4导纳图解技术 EeQ2\'t  
习题 ZkBWVZb  
第3章光学薄膜系统的设计 3fUiYI|&7  
3.1减反射膜 UJuz  
3.2分束镜 ?r}2JHvN  
3.3高反射膜 g^{a;=  
3.4干涉截止滤光片 Ri3*au/
Q  
3.5带通滤光片 yb-4[C:i  
3.6特殊膜系 T5-Yqz  
习题 .7+"KP:  
参考文献 Z6
nQW53-  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 g77:92  
第4章薄膜制备技术 <r)5jf  
4.1真空淀积工艺 fjMmlp  
4.2光学薄膜材料 / <+F/R'=O  
4.3薄膜厚度监控艺术 k_nQmU>  
4.4膜层厚度的均匀性 M}`T-"
qf  
习题 FzF#V=9lP  
参考文献 psuK\s  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 )K]<\Q[  
5.1薄膜的形成过程 |+Xh ^E  
5.2薄膜的微观结构 4j(*%da  
5.3薄膜的成分 k&:~l@?O  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 h(i_'P?  
5.5薄膜微观结构和改善 i&-g  
习题 RLO<5L  
参考文献 +1K=]#a  
第三篇光学薄膜检测技术 T#KVN{O  
第6章薄膜透射率和反射率测量 paUJq?Af  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 z"*3p8N  
6.2薄膜反射率的测试 a_zf*;  
6.3薄膜反射率的测量 Z ?ATWCa  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 u~!Pzz3"  
6.5总结 keJ-ohv)  
习题 !>fi3#Fi  
参考文献 16"L;r  
第7章薄膜的吸收和散射测量 [4-u{Tu  
7.1激光量热计基本原理 } :T}N]  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 wsj5;(f+  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 +D?Re%HI  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 KcM+8W\  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 91ec^g  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 o}Zl/&(  
7.7总结 Hiih$O+  
习题 6-\C?w A  
参考文献 -AXMT3p=1  
第8章薄膜光学常数的测量 ?Hbi[YD  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 w!RJ8  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 5IP@_GV|  
8.3薄膜波导法 ^ lG^.  
8.4光学薄膜厚度的测试 
P9]95.j  
8.5总结 zeuSk|O  
习题 iJk/fvi  
参考文献 ?xt
${?KP  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 \V*E:_w*  
9.1薄膜的力学特性检测技术 8u Z4[  
9.2薄膜器件的环境试验 V6b)  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Ws[d.El  
9.4总结 )J&!>GP  
习题 c#pVN](?  
参考文献 wtQ(R4  
附录 J|b:Zo9<f"  
附录A复数与复数运算 {\kDu#18Ld  
A.1复数的概念 u &{|f  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 e{,[\7nF  
A.3复数在物理中的运用 leEzfbb{'.  
附录B矩陈及矩陈运算 Ec['k&*7,  
B.1矩陈的定义 Y0nuwX*{  
B.2矩陈运算 BYs^?IfW  
附录C光的电磁理论基础 @3>nVa  
C.1振动与波 nb|"dK|  
C.2电磁波 |)Sx"B)  
C.3麦克斯韦方程 m}nA-*  
C.4平面电磁波 }{e7wqS$&,  
C.5平面电磁波性质 2 Xc,c*r  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 #e;\Eap  
附录D光的干涉 H@8 ;6D  
D.1波的叠加原理 /J'dG%  
D.2杨氏干涉 <*&2b  
D.3平板的表面干涉 Ps{}SZn  
D.4光的空间相干性和时间相干性 <txzKpM  
附录E光的偏振 |p+ xM  
E.1自然光和偏振光 7 m!e\x8  
E.2偏振光与Jones矩陈 (?zZvW8  
E.3偏振光的获得 )IZ~!N|-w  
E.4偏振光的检验 x20s
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