现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 o*WY=  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 ?BA]7M(,4  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 XfPFo6  

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第一篇光学多层膜设计 N6K*d` o  
第1章光学薄膜特性的理论计算 +T/FeVQ  
1.1单色平面电磁波 32DbNEk  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 PyVC}dUAX  
1.3光学薄膜特性的理论计算 SIO&rrT.  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 Y8M]Lwj  
习题 'c2W}$q  
第2章光学薄膜的设计理论 S/|,u`g-  
2.1矢量作图法
NBl+_/2'w  
2.2有效界面法 f-DL:@crU  
2.3对称膜系的等效层 *e
I)Z=8  
2.4导纳图解技术 )?_#gLrE6  
习题 H]Hv;fcC  
第3章光学薄膜系统的设计 !!@A8~H  
3.1减反射膜 ah
x>q  
3.2分束镜 mxor1P#|  
3.3高反射膜 !cKz7?w  
3.4干涉截止滤光片 Lg8nj< TF  
3.5带通滤光片 S$
KFf=0  
3.6特殊膜系
_zlqtO  
习题 V5+SWXZ  
参考文献 J>fQNW!{  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 n]8<DX99Q0  
第4章薄膜制备技术 DN4$Jva  
4.1真空淀积工艺 YK|bXSA[  
4.2光学薄膜材料 /mo(_  
4.3薄膜厚度监控艺术 {U&.D [{&  
4.4膜层厚度的均匀性 ~y=T5wt  
习题 $w"$r$K9K  
参考文献 9x,RvWTb  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 ^C2\`jLMY  
5.1薄膜的形成过程 [+O"
<Ua  
5.2薄膜的微观结构 \*=7#Vd  
5.3薄膜的成分 ge]STSM0n7  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 EC
v)v  
5.5薄膜微观结构和改善 '_|h6<.k[  
习题 L^Jk=8  
参考文献 pp9Zb.D\  
第三篇光学薄膜检测技术 1lv2@QH9  
第6章薄膜透射率和反射率测量 bn |zl!Pq  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 f/CuE%7BR  
6.2薄膜反射率的测试 ^eW}XRI  
6.3薄膜反射率的测量 $9?cP`hmi  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ?%H):r  
6.5总结 0uBl>A7qhn  
习题 JxyB(
 
参考文献 asJ)4ema  
第7章薄膜的吸收和散射测量 eh"3NRrN  
7.1激光量热计基本原理 DxJX+.9K9  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 g-Pwp[!qkf  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 z=$jGL  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 =4h+ M$2  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 ?yh}/T\qp  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 *Q1~S]g  
7.7总结 aL\nT XakX  
习题 0OGCilOb*  
参考文献 HF3f)}l$  
第8章薄膜光学常数的测量 :O5og[;b  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 fxgr`nC  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法  &y<ZE  
8.3薄膜波导法   zxp`  
8.4光学薄膜厚度的测试 ;E'"Ks[GH  
8.5总结 o/ui)U_  
习题 {
[+2n]f_G  
参考文献 $8a(
veXd  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 < y*x]}  
9.1薄膜的力学特性检测技术 |ae975  
9.2薄膜器件的环境试验 <8,cuX\  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 OQ9x*TmK  
9.4总结 L<fvKmo(fw  
习题 !+:ov'F  
参考文献 Iy }:F8F>g  
附录 o=nsy]'&  
附录A复数与复数运算 Xt#1Qs  
A.1复数的概念  x]z2Z*  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 p019)X|vx  
A.3复数在物理中的运用 Oh4AsOj@  
附录B矩陈及矩陈运算 ] Eh}L  
B.1矩陈的定义 +*_5tWAc  
B.2矩陈运算 ]D,MiDph  
附录C光的电磁理论基础
GIAc?;zY  
C.1振动与波 vVE7f
q3  
C.2电磁波 Pzb|t+"$  
C.3麦克斯韦方程 +&["HoKg}&  
C.4平面电磁波 Zk[&IBE_  
C.5平面电磁波性质 wfjnA~1h  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 G}9=)  
附录D光的干涉 D$JHs4  
D.1波的叠加原理 ZNx$r]4nF  
D.2杨氏干涉 ]~\sA
  
D.3平板的表面干涉 57 #6yXQ  
D.4光的空间相干性和时间相干性 F-*2LMe  
附录E光的偏振 WQHd[2Z#e  
E.1自然光和偏振光 Vrvic
4  
E.2偏振光与Jones矩陈 vp.ZK[/`  
E.3偏振光的获得 wM|"I^[  
E.4偏振光的检验 /6_|]ijc  
…… 2W$cFC  
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