现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 RPu-E9g@  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 Q\Eq(2p  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 slbV[xR  

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1,E/So   
第一篇光学多层膜设计 Ic*Q(X  
第1章光学薄膜特性的理论计算 e)M1$  
1.1单色平面电磁波 F&Gb[Q&a8  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 K(?7E6\vO  
1.3光学薄膜特性的理论计算 NNT9\JRv_  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 z{ 8!3>:E  
习题 Kt-@a%O0  
第2章光学薄膜的设计理论 ;AaF;zPV  
2.1矢量作图法 R*U>
T$  
2.2有效界面法 31}6dg8?n  
2.3对称膜系的等效层 eP)RP6ON{  
2.4导纳图解技术 |7argk+  
习题 vc<8ApK3V  
第3章光学薄膜系统的设计 rr*IIG&.5  
3.1减反射膜 eNNK;xXe#  
3.2分束镜 lxeolDl  
3.3高反射膜 U*Q$:%72vO  
3.4干涉截止滤光片 #KIHq2:.4  
3.5带通滤光片 SFjN5u  
3.6特殊膜系 nm)F tX|A  
习题 l"+=z.l6;  
参考文献 \%)p7PNY  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 #>0nNR[$Y  
第4章薄膜制备技术 1@am'#<  
4.1真空淀积工艺 '&`Zy pq  
4.2光学薄膜材料 }*%
%GPJ  
4.3薄膜厚度监控艺术 ^^v!..V]J  
4.4膜层厚度的均匀性 a^22H  
习题 ;RR)C@n1  
参考文献 7L!k9"X`0F  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 qU"+0t4  
5.1薄膜的形成过程 Co'dZd(  
5.2薄膜的微观结构 z:w7e0  
5.3薄膜的成分 O_E[FE:+  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 (qaY,>je]D  
5.5薄膜微观结构和改善 G B15  
习题 Z'\_YbB  
参考文献 5yry$w$G)  
第三篇光学薄膜检测技术 $+tkBM  
第6章薄膜透射率和反射率测量 0j*8|{|  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 &ha39&I  
6.2薄膜反射率的测试 O@l`D`  
6.3薄膜反射率的测量 7&X^y+bMe6  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 4u<oe_n
 
6.5总结 >Zr`9$i  
习题 C&Rv)
j  
参考文献 !nTq"d%(W  
第7章薄膜的吸收和散射测量 +;vfn>^!b  
7.1激光量热计基本原理 RsE+\)  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 V< J~:b1V  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 _W$4Qn+f  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 
;lP)  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Ef#%4ky  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 uoF9&j5E@Z  
7.7总结 $Q62 7  
习题 :B
l $c,J  
参考文献 F77~156  
第8章薄膜光学常数的测量 :}Z+K*%o-  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 <jxTI%'f59  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 z7NaW e  
8.3薄膜波导法 =>4,/g3  
8.4光学薄膜厚度的测试  MgA6/k  
8.5总结 w* v%S  
习题 cBU>/ zIp  
参考文献  75%!R  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 _Nw-
|N.  
9.1薄膜的力学特性检测技术 sq*sbdE  
9.2薄膜器件的环境试验 lE /"  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 SFTThM]8M1  
9.4总结 pVLfZ?78  
习题 z1s9[5  
参考文献 {eS!cZJ  
附录 7,Nd[ oL*7  
附录A复数与复数运算 41$7P[M;  
A.1复数的概念 68d(6?OgW  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 p5E|0
p  
A.3复数在物理中的运用 LvB-%@n  
附录B矩陈及矩陈运算 \ 3ha  
B.1矩陈的定义 7u0!Q\  
B.2矩陈运算 hmQD-E{Ab  
附录C光的电磁理论基础 p,U.5bX  
C.1振动与波 !RAyUfS  
C.2电磁波 rT <=`9^{  
C.3麦克斯韦方程 j$BM$q/c  
C.4平面电磁波 VDBP]LRF  
C.5平面电磁波性质 !DXKn\aQf  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 I
X$ $pdQ  
附录D光的干涉 )/UPDdO  
D.1波的叠加原理 UfXqcyY(  
D.2杨氏干涉 <Xv]Ih?@f`  
D.3平板的表面干涉 Sky!ZN'I  
D.4光的空间相干性和时间相干性 >tYptRP  
附录E光的偏振 [Cvo^cC  
E.1自然光和偏振光 5)nm6sf  
E.2偏振光与Jones矩陈 (eF
HMRMv~  
E.3偏振光的获得 *o`bBdZ  
E.4偏振光的检验 t /1KKEZM  
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