现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 bg. KkJMrR  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 }u)GERWO  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 !|QeYGnq6  
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第一篇光学多层膜设计 ^aoLry&i=  
第1章光学薄膜特性的理论计算 >#|Q,hVU5  
1.1单色平面电磁波 /;ITnG  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 ![n`n(oN  
1.3光学薄膜特性的理论计算 / /rWc,c  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 nuA!Jln_  
习题 o~
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第2章光学薄膜的设计理论 aN3{\^  
2.1矢量作图法 C#
0Wo  
2.2有效界面法 ^}L$[P  
2.3对称膜系的等效层 6K0*?j{;"  
2.4导纳图解技术 g?M69~G$:x  
习题 u^p[zepW\  
第3章光学薄膜系统的设计 FvP1;E  
3.1减反射膜 bV,R*C  
3.2分束镜 #pFybk  
3.3高反射膜 M 4?3l  
3.4干涉截止滤光片 9q{dRS[A  
3.5带通滤光片 @jeV[N,0  
3.6特殊膜系 )HE yTHLtJ  
习题 Z&!$G'X  
参考文献 s[bK
Gn@  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 gk
`.8o  
第4章薄膜制备技术 ~ $&  
4.1真空淀积工艺 K.7gd1I  
4.2光学薄膜材料 U7=Z.*/62  
4.3薄膜厚度监控艺术 95&HsgdxJ  
4.4膜层厚度的均匀性 P.7B]&T6  
习题 c6|&?}F  
参考文献 \I]'6N=  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 tDkqwF),  
5.1薄膜的形成过程 =;T[2:JUu  
5.2薄膜的微观结构 _,Y79 b6  
5.3薄膜的成分 KS_d5NvYl  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 lHXH03  
5.5薄膜微观结构和改善 VGIc|Q=F  
习题 mt'#j"mU  
参考文献 V5MbWXgR  
第三篇光学薄膜检测技术 V ZGhF!To  
第6章薄膜透射率和反射率测量 %Et]w  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 6qf`P!7d]M  
6.2薄膜反射率的测试 /-lmfpT  
6.3薄膜反射率的测量 *UC^&5:  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 E{J
;-+t  
6.5总结 c,^-nH'X>  
习题 3u<2~!sR  
参考文献 ?9"glzxr  
第7章薄膜的吸收和散射测量 E~ kmU{D  
7.1激光量热计基本原理 &s5*akG  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 =JkSq J)?  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 '%N p9Iqt  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 8iRQPV-"_  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 V96BtVsB  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 WRCi!  
7.7总结 +W`~bX+  
习题 e{=$4F  
参考文献 KtE`L4tW6  
第8章薄膜光学常数的测量 J2rH<Fd[up  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 0OXd*  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 q$P"o].EK  
8.3薄膜波导法 gqG"t@Y+  
8.4光学薄膜厚度的测试 y\x<!_&D  
8.5总结 JYq} YG=%  
习题 aUV>O`|_  
参考文献 "2-TtQV!  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 e_SlM=_u  
9.1薄膜的力学特性检测技术 hS  Sq=(S  
9.2薄膜器件的环境试验 9]iDNa/D  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 tq[C"| dH  
9.4总结 0Sk{P>A  
习题 O?_'6T  
参考文献 [}D)73h`  
附录 %?seX+ne  
附录A复数与复数运算 Q
k= w ,`  
A.1复数的概念 iBCM?RiG  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 @Hzsud  
A.3复数在物理中的运用 i~4Kek6,I  
附录B矩陈及矩陈运算 -kO=pYP*O  
B.1矩陈的定义 4'M#m|V  
B.2矩陈运算 HhO$`YZ%>  
附录C光的电磁理论基础 O`eNuQSv  
C.1振动与波 1EN5Z
N,  
C.2电磁波 |zf||ju  
C.3麦克斯韦方程 pR$c<p  
C.4平面电磁波 zI(Pti  
C.5平面电磁波性质 eUl[gHP  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 ^,3 >}PU  
附录D光的干涉 IKt9=Tx  
D.1波的叠加原理 ;iEqa"gO  
D.2杨氏干涉 =o {`vv  
D.3平板的表面干涉 "3K0 wR5  
D.4光的空间相干性和时间相干性 F~:5/-zs  
附录E光的偏振 &8N\ 6K=  
E.1自然光和偏振光 :?,&u,8  
E.2偏振光与Jones矩陈 ,F1$Of/'@\  
E.3偏振光的获得 `JC!uc  
E.4偏振光的检验 WJ%b9{<  
…… r=vE0;7  
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