现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 !]"T`^5,Y  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 8'f:7KF  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 g.veHh|;_  

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第一篇光学多层膜设计 2AdV=n6Z  
第1章光学薄膜特性的理论计算 T%:}/@
 
1.1单色平面电磁波 1_F2{n:yp  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 p{88v3b6  
1.3光学薄膜特性的理论计算 3vMfms  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 "d{ |_Cf  
习题 U/TF,JUI  
第2章光学薄膜的设计理论 QYg2'`(  
2.1矢量作图法 O* 7"Q&  
2.2有效界面法 O8M;q!)y  
2.3对称膜系的等效层 =i `o+H  
2.4导纳图解技术 d^,u"Z9P  
习题 T[c;},  
第3章光学薄膜系统的设计 []'BrG)!  
3.1减反射膜 |J8c|h<  
3.2分束镜 %SIbpk%  
3.3高反射膜 jy6% CSWQ  
3.4干涉截止滤光片 _57i[U r  
3.5带通滤光片 {6RT&w  
3.6特殊膜系 4D0"Y#&G  
习题 !x&/M*nBE  
参考文献 8*lVO2  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 $2\OBc=  
第4章薄膜制备技术 +$P0&YaQ  
4.1真空淀积工艺 h19c*,0z!  
4.2光学薄膜材料 rry 33  
4.3薄膜厚度监控艺术 Fd0R?d  
4.4膜层厚度的均匀性 3!#d&  
习题 Kc0KCBd8];  
参考文献 1_f(;WOg  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 p'!cGJL  
5.1薄膜的形成过程 3g)pLW  
5.2薄膜的微观结构 Hh,q)(Wo  
5.3薄膜的成分 EW|bs#l  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 PjDYdT[  
5.5薄膜微观结构和改善 >DPC}@Wl  
习题 m{;2!  
参考文献 }c^`!9  
第三篇光学薄膜检测技术 %r?Y!=0  
第6章薄膜透射率和反射率测量 }H\wed]F/  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 l7nc8K  
6.2薄膜反射率的测试 gm(`SC?a  
6.3薄膜反射率的测量 oBpHm
MzA  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 G-~+FnUC  
6.5总结 T5Yu+>3  
习题 j0>Q:hn  
参考文献 Nxp7/Nn3  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ~4<xTP\*  
7.1激光量热计基本原理 t[Qf|#g  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 S&q@M  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 9-5H~<}fF  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 lmfvT}$B  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 Il`35~a  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ~ep-XO  
7.7总结 A_i=
hj2f  
习题 f,9/Yg_  
参考文献 ]MKW5
Kq  
第8章薄膜光学常数的测量 )w4i0Xw^C:  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 >^=upf/  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 &gR)Y3  
8.3薄膜波导法 ]r
i5mnB  
8.4光学薄膜厚度的测试 !:]CKbG  
8.5总结 !{>'jvH  
习题 bbCH(fYbu  
参考文献 Arc6d5Q  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 clV3x`z  
9.1薄膜的力学特性检测技术 zmB6Y t  
9.2薄膜器件的环境试验 P%2aOsD0  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 TF R8  
9.4总结 NwP!.  
习题 B:J([@\'  
参考文献 piULIZ0  
附录 H65><38X/  
附录A复数与复数运算 ]Dec/Nnj  
A.1复数的概念 W|'7)ph  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 /N'0@q  
A.3复数在物理中的运用 \MI2^JN  
附录B矩陈及矩陈运算 3Xcjr2]~  
B.1矩陈的定义 3dheT}XV?p  
B.2矩陈运算 X$BN&DD  
附录C光的电磁理论基础 <hkSbJF  
C.1振动与波 3b{ 7Z 2  
C.2电磁波 +-2o b90_m  
C.3麦克斯韦方程 ,Pi!%an w  
C.4平面电磁波 Y&wtF8  
C.5平面电磁波性质 CiF(   
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 EdcbWf7  
附录D光的干涉 aG_@--=  
D.1波的叠加原理 8L1vtYz  
D.2杨氏干涉 SbLm  
D.3平板的表面干涉 *^aEUp6&  
D.4光的空间相干性和时间相干性 C-h9_<AwJQ  
附录E光的偏振 >f$NG  
E.1自然光和偏振光 fVJlA  
E.2偏振光与Jones矩陈 LY:%k|L9  
E.3偏振光的获得 3']a1\sy^  
E.4偏振光的检验 vG'6?%38  
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