现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 czT2f  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 9fs-|E[5  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 SAitufS  
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第一篇光学多层膜设计 a-S tOO5s  
第1章光学薄膜特性的理论计算 V'RbTFb9Z  
1.1单色平面电磁波 PRUl-v  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 \}4*}Lr  
1.3光学薄膜特性的理论计算 XUVj<U  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 KX;JX*)J  
习题 2[(~_VJ  
第2章光学薄膜的设计理论 IUEpE9_  
2.1矢量作图法 zjow %  
2.2有效界面法 j `!Ge  
2.3对称膜系的等效层 ){)
-}M  
2.4导纳图解技术 L#'XN H"  
习题 a}FY^4hl+  
第3章光学薄膜系统的设计 Id`V`|q  
3.1减反射膜 5_](N$$  
3.2分束镜 Iw.!*0$
 
3.3高反射膜 hi$AZ+  
3.4干涉截止滤光片 N2HD=[*cr  
3.5带通滤光片 iFI+W<QR  
3.6特殊膜系 _x""-X~OL  
习题 &L+.5i  
参考文献 W 2[]m>;  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 KIv_ AMr  
第4章薄膜制备技术 ZCZ@ZN  
4.1真空淀积工艺 sCt)Yp+8}B  
4.2光学薄膜材料 `V<jt5TS  
4.3薄膜厚度监控艺术 5rbb ,*  
4.4膜层厚度的均匀性 bW! &n  
习题 (p12=EB<  
参考文献 :] U\{;q2  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 0,m]W)  
5.1薄膜的形成过程 +'5I8FE-  
5.2薄膜的微观结构 8kdJtEW3  
5.3薄膜的成分 vK+reXE  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 EZjtZMnj  
5.5薄膜微观结构和改善 Bf#cBI  
习题 >w7KOVbN3  
参考文献 ZQf
PDH=  
第三篇光学薄膜检测技术 -L]-u6kC[  
第6章薄膜透射率和反射率测量 Mh~}RA"H  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 T_D] rMl  
6.2薄膜反射率的测试 _ {wP:dI "  
6.3薄膜反射率的测量 |BZrV3;H  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 2'-"&d+O  
6.5总结 ojlyW})$%  
习题 2YKa <?_  
参考文献 `?N0?;  
第7章薄膜的吸收和散射测量 N
2'aC} I  
7.1激光量热计基本原理 &*7KQd  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 z
#o''  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量
M$Z2"F;  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 @j}%{Km]Y  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 X|Y(*$?D7  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 E}S%yD[  
7.7总结 hPNMp@Nm6  
习题 I-r+1gty  
参考文献 EmcLW74  
第8章薄膜光学常数的测量 300w\9fn&  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 <C(o0u&/  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 f4Y)GO<R]  
8.3薄膜波导法  HrsG^x  
8.4光学薄膜厚度的测试 r#4/~a5i~  
8.5总结 UWKgf? _  
习题 rq8 d}wj  
参考文献 C[ mTVxd  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 PgK7CG7G  
9.1薄膜的力学特性检测技术 _7;:*'>a4  
9.2薄膜器件的环境试验 jmkOu
5@  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 '-RacNY  
9.4总结 < z2wt  
习题 =8?Kn@nMN  
参考文献 9)'f)60^  
附录 ;50&s .gZ  
附录A复数与复数运算 1\&j)3mC  
A.1复数的概念 m:?"|.]  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 kc^,V|Nbq6  
A.3复数在物理中的运用 0(eaVi-%D  
附录B矩陈及矩陈运算 esnq/  
B.1矩陈的定义 PZusYeV8b  
B.2矩陈运算 w(6n  
附录C光的电磁理论基础 l^Rb%?4Z  
C.1振动与波 y')OmR2h  
C.2电磁波 E(PBV  
C.3麦克斯韦方程 87 s*lS  
C.4平面电磁波 P$z_A8}  
C.5平面电磁波性质 g5@g_~ g  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 R03 Te gwA  
附录D光的干涉 :HO5 T  
D.1波的叠加原理 m<-ShRr*b  
D.2杨氏干涉 =,(TP  
D.3平板的表面干涉 ~x9]?T  
D.4光的空间相干性和时间相干性 a9.yuSzL  
附录E光的偏振 ?FAI@
4  
E.1自然光和偏振光 erUYR"  
E.2偏振光与Jones矩陈 \uJRjw+  
E.3偏振光的获得 kJ_8|  
E.4偏振光的检验 rKrHd  
…… PVo7Sy!'H  
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