现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 :`D'jF^S  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 g^1r0.Sp{8  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 cv3L&zg M  

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1Yud~[c  
第一篇光学多层膜设计 &GuF\wJ{7  
第1章光学薄膜特性的理论计算 VSh!4z1  
1.1单色平面电磁波 .>P~uZiX!  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 *xPB<v2N:P  
1.3光学薄膜特性的理论计算 @|DmE!)  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 qk&gA}qF  
习题 o~= iy  
第2章光学薄膜的设计理论 hGvqT,'  
2.1矢量作图法 h0|[etaf  
2.2有效界面法 D}MoNE[r  
2.3对称膜系的等效层 <KtBv Ip]  
2.4导纳图解技术 _74UdD{^o  
习题 R;r|cep  
第3章光学薄膜系统的设计 KGu= ;  
3.1减反射膜 wS V@=)H\:  
3.2分束镜 _ \l HI  
3.3高反射膜 ZW>o5x__b  
3.4干涉截止滤光片 S
Z/(\kQ6  
3.5带通滤光片 pw=F' Y@N  
3.6特殊膜系 #pX8{
Tf[  
习题 glx2I_y  
参考文献 ! tGiTzzp  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 n'yl)HA~>`  
第4章薄膜制备技术 yxvjg\!&  
4.1真空淀积工艺 k{a)gFH O  
4.2光学薄膜材料 YZ< NP  
4.3薄膜厚度监控艺术 'j}g  
4.4膜层厚度的均匀性 G]-%AO{K  
习题 MI\]IQU  
参考文献 `gI~|A4  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 9\AS@SH{^T  
5.1薄膜的形成过程 (xL :;  
5.2薄膜的微观结构 iT.|vr1HG  
5.3薄膜的成分 \n_3Bwd~  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 jB!W2~Z  
5.5薄膜微观结构和改善 +8f>^*:u
 
习题 d@ZoV  
参考文献 HyEa_9  
第三篇光学薄膜检测技术 I
r27ZP  
第6章薄膜透射率和反射率测量 `E W
!-v)  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 frc{>u~t  
6.2薄膜反射率的测试 D"cKlp-I6|  
6.3薄膜反射率的测量 zw]3Vg{T  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 Y%g "Y  
6.5总结 cz#_<8'N  
习题 Q2"WV  
参考文献 '0RRFO  
第7章薄膜的吸收和散射测量 yp p4L|R  
7.1激光量热计基本原理 akC>s8tqlA  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 Y 9i][  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 MtUY?O.P2  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 6.'$EtH  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 y"-{$N  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 q`^3ov^</  
7.7总结 |{f~Ks%  
习题 (B:uc_+  
参考文献 2h)8Fq_"  
第8章薄膜光学常数的测量 BC({ EE~R)  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 >S'>
!w  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 4.Z(:g  
8.3薄膜波导法 ~KRnr0  
8.4光学薄膜厚度的测试 K2HvI7$-  
8.5总结 3]^'  
习题 @6b[GekZ<  
参考文献 *S4aF*Qk  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 :Fw?{0  
9.1薄膜的力学特性检测技术  hgO?+x  
9.2薄膜器件的环境试验 Dx3%KS  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 l3p3tT3+  
9.4总结 3gc"_C\
$  
习题 D0ruTS  
参考文献 wAh#   
附录 Q#pnj thM  
附录A复数与复数运算 <KLg0L<W  
A.1复数的概念 oy5+}`  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 7`fY*O6  
A.3复数在物理中的运用 q- :4=vkn  
附录B矩陈及矩陈运算 +"uwV1)b"  
B.1矩陈的定义 tS<h8g_  
B.2矩陈运算 %S`ik!K"I  
附录C光的电磁理论基础 Hf%_}Du /`  
C.1振动与波 C[8KlD  
C.2电磁波 {ma;G[!  
C.3麦克斯韦方程 lzDdD3Ouc  
C.4平面电磁波 ug#<LO-.Rd  
C.5平面电磁波性质 $.:3$et@/  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 tD-gc''H  
附录D光的干涉 nxQ}&n  
D.1波的叠加原理 !SF^a6jT  
D.2杨氏干涉 Yy h=G  
D.3平板的表面干涉 jczq`yW  
D.4光的空间相干性和时间相干性 _Adsq8sFW  
附录E光的偏振 ]:et~pfW  
E.1自然光和偏振光 jBpVxv  
E.2偏振光与Jones矩陈
5v9uHxy  
E.3偏振光的获得 d#\W hRE  
E.4偏振光的检验 kcS6_l  
…… /9_#U#vhY  
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