现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 nO;*Peob  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 85{2TXQ^%=  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 #saK8; tp  
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第一篇光学多层膜设计 
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A9-F  
第1章光学薄膜特性的理论计算 T> < Vw  
1.1单色平面电磁波 \N|ma P  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 = n>aJ(=Pd  
1.3光学薄膜特性的理论计算 BdMmeM2h  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 'gD,HX  
习题 MJyz0.9c  
第2章光学薄膜的设计理论 M
94zlW<  
2.1矢量作图法 NP+*L|-;  
2.2有效界面法 __mnz``/Y  
2.3对称膜系的等效层 \gU=B|W  
2.4导纳图解技术 &x mYpQ  
习题 :6T8\W  
第3章光学薄膜系统的设计 @nNhW  
3.1减反射膜 =!R+0  
3.2分束镜 K|a^<| S  
3.3高反射膜 S
Wq5=h  
3.4干涉截止滤光片 5YG%\  
3.5带通滤光片 Y%GIKtP  
3.6特殊膜系 H?H(=  
习题 q8=hUD%5C  
参考文献 I\y=uC  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性  ?|$IZ9
 
第4章薄膜制备技术 gK%^}xU+  
4.1真空淀积工艺 pD@2Mt0|]=  
4.2光学薄膜材料  f3E%0cg  
4.3薄膜厚度监控艺术 12olVTuw  
4.4膜层厚度的均匀性 [t{ed)J  
习题 MJ%gF=$X  
参考文献 e/J|wM9Ak  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 (\qO~)[0  
5.1薄膜的形成过程 8lJMD %Df:  
5.2薄膜的微观结构 J]"IT*-Ht  
5.3薄膜的成分 5 0KB:1(g  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 =Z~nzyaN  
5.5薄膜微观结构和改善 l,w$!FnmR  
习题 cs\/6gSCo  
参考文献 iC`mj  
第三篇光学薄膜检测技术 wF\5 X  
第6章薄膜透射率和反射率测量 m Bc2x8g)  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 :}n\ r/i  
6.2薄膜反射率的测试 tUr
wg  
6.3薄膜反射率的测量 D,( "3zx  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 ,x]xtg?  
6.5总结 "'9[c"Iz  
习题 +`p@md
2L1  
参考文献 \~4IOu  
第7章薄膜的吸收和散射测量 Z{p)rscX  
7.1激光量热计基本原理 M#'j7EMu
 
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 gQ8FjL6?  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 /t$J<bU  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ),%(A~\  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 {zmh0c;|  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 PSR21;
 
7.7总结 sSdnH_;&  
习题 >`S $(f  
参考文献 4],*y`& g  
第8章薄膜光学常数的测量 '0MH-M  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 ^:Hx.  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 gd=gc<zYP  
8.3薄膜波导法 Q[Xh{B  
8.4光学薄膜厚度的测试 y$h.k"
x`  
8.5总结 qHtonJc  
习题 na)-'  
参考文献 :Y\!~J3W  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 VAL]\@Q}  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ?ZS/`P0}[  
9.2薄膜器件的环境试验 N#!**Q 0  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 NKX62 ZC  
9.4总结 dF#`_!4pbf  
习题 Z H1UAf  
参考文献 xJemc3]2  
附录
NB@TyU  
附录A复数与复数运算 7{f
Oo%(7  
A.1复数的概念 R8(Bt73  
A.2复数的三角函数及指数表示方法  |tVWmm^m  
A.3复数在物理中的运用 2]i>k
V/,0  
附录B矩陈及矩陈运算 WNo",Vc  
B.1矩陈的定义 vk>EFm8l  
B.2矩陈运算 =o? Q0  
附录C光的电磁理论基础 5k]xi)%  
C.1振动与波 iFBH;O_~  
C.2电磁波  8-.jf  
C.3麦克斯韦方程 Zy+EIx  
C.4平面电磁波 3~5%6`  
C.5平面电磁波性质 = 3("gScUj  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 //
O9}-  
附录D光的干涉 |Js?@  
D.1波的叠加原理 {S*:pG:+q  
D.2杨氏干涉 '}pe$=  
D.3平板的表面干涉 7~H.\4HB  
D.4光的空间相干性和时间相干性 <JkmJ/X  
附录E光的偏振 "'zVwU  
E.1自然光和偏振光 Uk0Fo(HY  
E.2偏振光与Jones矩陈 ;mtv  
E.3偏振光的获得 Hi5}s  
E.4偏振光的检验 W%,h{  
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电子文档下载：http://www.opticsky.cn/read-htm-tid-44072.html