现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 euRss#;  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 i1*C{Lf;%)  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 [$:,-Q@  

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第一篇光学多层膜设计 mX_)b>iW  
第1章光学薄膜特性的理论计算 L4974E?S  
1.1单色平面电磁波 n E:'Zxj  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 X\2_;zwf  
1.3光学薄膜特性的理论计算 ,7/ _T\d<  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 k&Jo"[i&WO  
习题 tP'GNsq+m  
第2章光学薄膜的设计理论 >[K?fJ$+  
2.1矢量作图法 2;(W-]V?  
2.2有效界面法 ;w6s<a@Zh  
2.3对称膜系的等效层 Xz1c6mX|o  
2.4导纳图解技术 mZoD033H  
习题 Z.jCera.  
第3章光学薄膜系统的设计 3z,2utH  
3.1减反射膜 Z] {@H  
3.2分束镜 jb@\i@-  
3.3高反射膜 "\T"VS^pd  
3.4干涉截止滤光片 ;~ee[W$1  
3.5带通滤光片 >}]H;& l  
3.6特殊膜系 y_%&]/%  
习题 _"f<Ol[!  
参考文献 K`+vfqX  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 uB+9dQ  
第4章薄膜制备技术 R7K  
4.1真空淀积工艺 -uR{X G. D  
4.2光学薄膜材料 u8uW9 <  
4.3薄膜厚度监控艺术 ZrcPgcF  
4.4膜层厚度的均匀性 N{pa) /  
习题 ~= 9Vv  
参考文献 wiV&
xl  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 d=nh  
5.1薄膜的形成过程 sMJ#<w}Q  
5.2薄膜的微观结构 HD|sr{Z%  
5.3薄膜的成分 w|G~Il  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 jeFN*r_  
5.5薄膜微观结构和改善 # ITLz!gE  
习题 9S"N4c>  
参考文献 sA2o2~AmM  
第三篇光学薄膜检测技术
E!YmcpCl  
第6章薄膜透射率和反射率测量 /,t| !)\]  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 <j"O%y.  
6.2薄膜反射率的测试 MgP{W=h2  
6.3薄膜反射率的测量 2mOfsn d@  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 7jR7  
6.5总结 :~r#LRgc  
习题 [Yoa"K  
参考文献 Ns
~g+C9  
第7章薄膜的吸收和散射测量 ;_bq9x  
7.1激光量热计基本原理 pP oxVvG{  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 |+mOH#Aty  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 "S|(4BUJ(  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 ,*w>z  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 #mTMt;x  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 r&/D~g\"|[  
7.7总结 6NSO>/E  
习题 *vXDuhQ  
参考文献 {"}+V`O{  
第8章薄膜光学常数的测量 9<~,n1b>x  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 {Ot[WF  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 clC~2:  
8.3薄膜波导法 .Wh6(LDY(  
8.4光学薄膜厚度的测试 -YAO3  
8.5总结 %N1T{   
习题 +E)e1:8  
参考文献 O{*GW0}55  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 5bF5~D(E  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ;\q<zO@x  
9.2薄膜器件的环境试验 r5Wkc$  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 w[M5M2CF  
9.4总结 'bG1U`v=3  
习题 6O]Xhe0d@  
参考文献 [I_BCf  
附录 6J]~A0vsi}  
附录A复数与复数运算 0rGj|@+;  
A.1复数的概念 ,&4zKm  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ul}
4p{ m[  
A.3复数在物理中的运用 8[f8k3g  
附录B矩陈及矩陈运算 i{4'cdr?  
B.1矩陈的定义 d7\k gh  
B.2矩陈运算 US"2O!u  
附录C光的电磁理论基础 `7F@6n
 
C.1振动与波 <&*#famX  
C.2电磁波 rR3m'[  
C.3麦克斯韦方程 r$Yh)rp
t:  
C.4平面电磁波
/1H9z`qV  
C.5平面电磁波性质
<b3x(/  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 [Aa[&RX+9  
附录D光的干涉 tc!!W9{69  
D.1波的叠加原理 Am]2@ESUP  
D.2杨氏干涉 ]gjr+GV  
D.3平板的表面干涉 eR(\s_`  
D.4光的空间相干性和时间相干性 #R5we3&p  
附录E光的偏振 4|I7:~  
E.1自然光和偏振光 C8!8u?k  
E.2偏振光与Jones矩陈 b"`ru~]  
E.3偏振光的获得 5+J64_  
E.4偏振光的检验 0@JilGk1u  
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