现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 P:N1#|g  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 R%c SJ8O#  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 dS5a  

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第一篇光学多层膜设计 + Q6l*:<|c  
第1章光学薄膜特性的理论计算 ^'ryNa;"  
1.1单色平面电磁波 w$u3W*EoU^  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 Q pmsOp|  
1.3光学薄膜特性的理论计算 e A}%C.ZR  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 <$hu   
习题 4DOK4{4?5  
第2章光学薄膜的设计理论 zH*KYB  
2.1矢量作图法 fks)+L'  
2.2有效界面法 E~a3r]V/  
2.3对称膜系的等效层 jH6&q
~#  
2.4导纳图解技术 +EAT:,  
习题 d` [HT``  
第3章光学薄膜系统的设计 ku..aG`  
3.1减反射膜 q`G,L(  
3.2分束镜 ]7Z{ 8)T  
3.3高反射膜 e0$=!QlPr  
3.4干涉截止滤光片 qBT.x,$  
3.5带通滤光片 %.z,+Zz?  
3.6特殊膜系 HdLH2+|P;D  
习题 G
lpe/At  
参考文献 DSj(]U~r  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 {H{X[p8  
第4章薄膜制备技术 a<h1\ `H7  
4.1真空淀积工艺 N72Yq)(  
4.2光学薄膜材料 +z$pg  
4.3薄膜厚度监控艺术 "t0kAG  
4.4膜层厚度的均匀性 +nT'I!//  
习题 Tdc3_<1  
参考文献 E!O\87[  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 Kn?lHH*w7  
5.1薄膜的形成过程 Jx=hJ-FY  
5.2薄膜的微观结构 ez9q7SpA  
5.3薄膜的成分 H&yD*@  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 ys#i@  
5.5薄膜微观结构和改善 l]]l  
习题 ?}B:  
参考文献 \t|M-%&)4  
第三篇光学薄膜检测技术 VG>vn`x>a  
第6章薄膜透射率和反射率测量 :F?x)"WoQ+  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ${8?N:>t  
6.2薄膜反射率的测试 OK{xuX8u  
6.3薄膜反射率的测量 =GXu 5 8  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 u1c%T@w>Lz  
6.5总结 sk|=% }y  
习题 /N-_FMl?  
参考文献 dHk
{.n^p  
第7章薄膜的吸收和散射测量 s-ZI ^I2\  
7.1激光量热计基本原理 c~o+WI Ym  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 rP(eva  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 @K:N,@yq  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 cGwf!hA  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 |~ _'V "  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 Ei2%DMN7)  
7.7总结 8/"fWm
/  
习题 u(!&:A9JFd  
参考文献 A$WZF/x  
第8章薄膜光学常数的测量 BQ jK8c<  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 [0UGuj
  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 Pe2wsR"_U  
8.3薄膜波导法 Cb:gH}j  
8.4光学薄膜厚度的测试 178Mb\8  
8.5总结 -<#!DjV6(  
习题 Ap$y%6  
参考文献 ++Ww88820  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 >Ng)k]G  
9.1薄膜的力学特性检测技术 j8K,jZ  
9.2薄膜器件的环境试验 wl1m*`$  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 Y[SU&LM  
9.4总结 fKtV'/X;Q  
习题 n& $^04+i  
参考文献 Xe+,wW3YF  
附录 jn.C|9/mj  
附录A复数与复数运算 gip/(/NX  
A.1复数的概念 &5t :H 8b  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 0ji q-3V)  
A.3复数在物理中的运用 5yVkb*8HS  
附录B矩陈及矩陈运算 ~l~Tk6EM  
B.1矩陈的定义 [\Qr. 2  
B.2矩陈运算 HvxJj+X9  
附录C光的电磁理论基础 tU/k-W3X
 
C.1振动与波 $t-n'Qh^2  
C.2电磁波 S.|FL%;  
C.3麦克斯韦方程 a8AYcEb  
C.4平面电磁波 u z\0cX_  
C.5平面电磁波性质 Pj?Dmk~   
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 y]e>E  
附录D光的干涉 4ujvD^  
D.1波的叠加原理 jKIc09H|  
D.2杨氏干涉 y}08~L?2  
D.3平板的表面干涉 k8]O65t|  
D.4光的空间相干性和时间相干性 9PUes3"v  
附录E光的偏振 N]YtLa,t  
E.1自然光和偏振光 9F;S+)H4  
E.2偏振光与Jones矩陈 z{]?h cY  
E.3偏振光的获得 Qju`e Eo  
E.4偏振光的检验 <ale$[  
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