现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 )\p@E3Uxf  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 QD7>S(p  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 ]5c|  
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第一篇光学多层膜设计 %xL3=4\  
第1章光学薄膜特性的理论计算 2uV=kqnO  
1.1单色平面电磁波 cND2(<jx:  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 6]na#<  
1.3光学薄膜特性的理论计算 hnL(~  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 yU&A[DZQ  
习题 E/Y.f  
第2章光学薄膜的设计理论 /TS>I8V!  
2.1矢量作图法 M`AbH19  
2.2有效界面法 WF_G GF{  
2.3对称膜系的等效层 RQv`D&u_  
2.4导纳图解技术 to+jQ9q8  
习题 7-bU9{5  
第3章光学薄膜系统的设计 -x5^>+Y4  
3.1减反射膜 7?b'"X"  
3.2分束镜 BB=%tz`B  
3.3高反射膜 BwrMRMq"  
3.4干涉截止滤光片 ,odjL6u  
3.5带通滤光片 ,NKDEcw]  
3.6特殊膜系 uflp4_D   
习题 u]CW5snz  
参考文献 QfRt3\^`  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 t~gnai  
第4章薄膜制备技术 no^I![_M  
4.1真空淀积工艺 (~,Q-w"  
4.2光学薄膜材料 '^}l|(  
4.3薄膜厚度监控艺术 Aln\:1MU  
4.4膜层厚度的均匀性 (8k3z`  
习题 TC"mP!1  
参考文献 q48V|6X'q  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 A.*}<  
5.1薄膜的形成过程 dorZ O2Uc  
5.2薄膜的微观结构 *}cF]8c5W  
5.3薄膜的成分 wQ@@|Cj4L  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 bZ:w_z[3=  
5.5薄膜微观结构和改善 592q`m\  
习题 X|@|ZRN  
参考文献 i$"B  
第三篇光学薄膜检测技术 !Vv$  
第6章薄膜透射率和反射率测量 !&ac}uD^g  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 EivZI<<a  
6.2薄膜反射率的测试 {>>f5o3  
6.3薄膜反射率的测量 XEY((
VL0  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 u%3Z +[  
6.5总结 {BDp`uZ  
习题 a*KB'u6
&  
参考文献 r4D6g>)h1q  
第7章薄膜的吸收和散射测量 @va)j   
7.1激光量热计基本原理 bs
R
&%C  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 @tRq(*(/:  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 jo0p/5;  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 )nTOIfP2  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 R/A40i  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 >Ix)jSNLgo  
7.7总结 @ 4j#X  
习题 dEJ>8e
8  
参考文献 -D`*$rp,  
第8章薄膜光学常数的测量 X#Ajt/XQ  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 sq\oatMw[  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 j ]F  Zy  
8.3薄膜波导法 #p6#,PZ  
8.4光学薄膜厚度的测试 ^t?P32GJ  
8.5总结 tAPqbi$a  
习题 a<rk'4,8a  
参考文献 f'TdYG  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 C$b$)uI;  
9.1薄膜的力学特性检测技术 xW#r)aN]p  
9.2薄膜器件的环境试验 ccZ A  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 -_4U+Cfmtl  
9.4总结 =VH, i/@  
习题 hF.9\X]  
参考文献 k#w[GL|T  
附录 ,ZC^,Vq  
附录A复数与复数运算 AFF7fK  
A.1复数的概念 +i!/J  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ZS4lb=)G  
A.3复数在物理中的运用 .3t[M0sd  
附录B矩陈及矩陈运算 BOoLs(p  
B.1矩陈的定义 6&`.C/"2  
B.2矩陈运算 ~ubGx  
附录C光的电磁理论基础 )?:V5UO\  
C.1振动与波 XA-
DJ  
C.2电磁波 "'~'xaU!=a  
C.3麦克斯韦方程 W52AX.Nm  
C.4平面电磁波 %
tN{  
C.5平面电磁波性质 k"LbB#Q  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 S=n,unn#t  
附录D光的干涉 Y\Odj~Mj  
D.1波的叠加原理 YJ'h=!p}G  
D.2杨氏干涉 hp@giu7  
D.3平板的表面干涉 9P#E^;L  
D.4光的空间相干性和时间相干性 #e((F,1z  
附录E光的偏振 wyMj^+ 2m  
E.1自然光和偏振光 [ft#zxCJ  
E.2偏振光与Jones矩陈 x24  
E.3偏振光的获得 l23_K7  
E.4偏振光的检验 "~jt0pp  
…… k+f!)7_  
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