现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 TOoQZTI  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 T}4/0yR2  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 c wOJy>  
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第一篇光学多层膜设计 \TF!S"V  
第1章光学薄膜特性的理论计算 #?XQ7Im  
1.1单色平面电磁波 3q`)*  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 8P"_#M?!  
1.3光学薄膜特性的理论计算
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1.4光学多层膜内的电场强度分布 BSkDpr1C
 
习题 gt/zpiKmV  
第2章光学薄膜的设计理论 ,9P:Draxs`  
2.1矢量作图法 Zr-U&9.`  
2.2有效界面法 j~FD{%4N  
2.3对称膜系的等效层 tOOchu?=  
2.4导纳图解技术 V13BB44  
习题 uio@r^Xz  
第3章光学薄膜系统的设计 P)uDLFp]  
3.1减反射膜 a&k_=/X&  
3.2分束镜 \'M3|w`f  
3.3高反射膜 ]XTu+T.aT  
3.4干涉截止滤光片 z Nl ,  
3.5带通滤光片 Nx-uQ^e*1  
3.6特殊膜系 w=}uwvn NX  
习题 e5OsIVtjr  
参考文献 CT\;xt,S  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 @o-B{EH8  
第4章薄膜制备技术 Z(ZiFPx2Z  
4.1真空淀积工艺 3 E3qd'  
4.2光学薄膜材料 YOrrkbJ(  
4.3薄膜厚度监控艺术 ?h0X,fl3  
4.4膜层厚度的均匀性 $-c!W!H  
习题 t!2(7=P30(  
参考文献 Dk='+\  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 )NO<s0?&  
5.1薄膜的形成过程 I"1;|`L~:  
5.2薄膜的微观结构 T2D<UhP  
5.3薄膜的成分 cS.-7  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 >5wx+n)/)  
5.5薄膜微观结构和改善 6&
!&\  
习题 n3lE,b  
参考文献 Lgz$]Jbl8  
第三篇光学薄膜检测技术 3&x-}y~sg  
第6章薄膜透射率和反射率测量 k@ K
7yK  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 !I\!;b  
6.2薄膜反射率的测试 Nk[2n
yeO>  
6.3薄膜反射率的测量 \@>b;4Fb+N  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 o0ZM[0@j  
6.5总结 <jS~ WI@  
习题 xP=/N!,#  
参考文献 Z--@.IYoJ  
第7章薄膜的吸收和散射测量 }@+NN ?P  
7.1激光量热计基本原理 kqb0>rYa   
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 $HG}[XD?  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ?go:e#  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 zd_HxYrN  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 KIeT!kmDl  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 DOz\n|8S  
7.7总结 m>}8'N)  
习题 {}o>{&X  
参考文献 'u4ezwF;  
第8章薄膜光学常数的测量 ~O 3D[PNW~  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 j,d*?'X  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 CAT.4GM  
8.3薄膜波导法 5/QRL\  
8.4光学薄膜厚度的测试 9]'($:LF08  
8.5总结 "C?5f]T  
习题 \7z^!m  
参考文献 .d?%;2*{q  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 _al|'obomy  
9.1薄膜的力学特性检测技术 ICB~_O5  
9.2薄膜器件的环境试验 0GDvwy D1  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 0Y
]0!}  
9.4总结 L&-hXGx=7  
习题 y[@\j9Hq  
参考文献 ^+SkCO  
附录 #,(sAj  
附录A复数与复数运算 fnCItK~y  
A.1复数的概念 O9(r{Vu7u  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 as+GbstN  
A.3复数在物理中的运用 zNSu  
附录B矩陈及矩陈运算 K1?Gmue#I  
B.1矩陈的定义 %g]vxm5?  
B.2矩陈运算 (!5LW'3B  
附录C光的电磁理论基础 7*wVI+  
C.1振动与波 QHBtWQgS  
C.2电磁波 +KEkmXZ  
C.3麦克斯韦方程 fQnwy!-\  
C.4平面电磁波 o$.e^XL  
C.5平面电磁波性质 !5}l&7:(MN  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 hIJ)MZU|  
附录D光的干涉 6 fz
}  
D.1波的叠加原理 utlpY1#q/  
D.2杨氏干涉 ?yXAu0  
D.3平板的表面干涉 /q\_&@  
D.4光的空间相干性和时间相干性 ~Z$bf>[(R7  
附录E光的偏振 BsZ{|,oQnZ  
E.1自然光和偏振光
d h^^G^  
E.2偏振光与Jones矩陈 ~9Cz6yF  
E.3偏振光的获得 1on'^8]0  
E.4偏振光的检验 +~sd"v6  
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