现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 UL[uh@4  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 my]P_mE  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 9V.+U7\w  

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第一篇光学多层膜设计 aw]8V:)$J  
第1章光学薄膜特性的理论计算
DVbYShB  
1.1单色平面电磁波 &hO$4qtN  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 *XHj)DC;  
1.3光学薄膜特性的理论计算 @\+%GDv  
1.4光学多层膜内的电场强度分布 RZ<.\N (M  
习题 \_?yzgf  
第2章光学薄膜的设计理论 @}ZGY^  
2.1矢量作图法 t6j-?c('  
2.2有效界面法 3mybG%39  
2.3对称膜系的等效层 vu44!c@  
2.4导纳图解技术 ?~{rf:Y  
习题 tD865gi  
第3章光学薄膜系统的设计 1]HHe*'Z  
3.1减反射膜 y)IGTW o  
3.2分束镜 % /~os
2R  
3.3高反射膜 bKTqX[=  
3.4干涉截止滤光片 2lF WW(  
3.5带通滤光片 C"k2<IE  
3.6特殊膜系 GpScc'a7  
习题 SCqu,  
参考文献 HhzkMJR8  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 6V+V zDo  
第4章薄膜制备技术 2m|Eoc&M_  
4.1真空淀积工艺 { 576+:*  
4.2光学薄膜材料 hZ%2?v`  
4.3薄膜厚度监控艺术 6^WiZ^~  
4.4膜层厚度的均匀性 6Q?BwD+>  
习题 9fCiLlI  
参考文献 2-QuT"Gkd  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 }5QZ6i#  
5.1薄膜的形成过程 O}e|P~W  
5.2薄膜的微观结构 llHN2R%(  
5.3薄膜的成分
\dC.%#  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 "0!~g/X`rK  
5.5薄膜微观结构和改善 l# }As.o}  
习题 2*N&q|ED  
参考文献 i-|/2I9%  
第三篇光学薄膜检测技术 !."Izz/  
第6章薄膜透射率和反射率测量 zw}@nqp  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 ~W2:NQ>i  
6.2薄膜反射率的测试 b0!*mrF]6  
6.3薄膜反射率的测量 +oE7~64LL  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 Iq^~  
6.5总结 b5lk0jA  
习题 SJso'6 g  
参考文献 [Od>NO,n+]  
第7章薄膜的吸收和散射测量 BERn _5gb  
7.1激光量热计基本原理 H(  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 8XLxT(YFIs  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 Xw&QrTDS`  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 SD)5?{6<  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 F<6KaZ|  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 ;D%$Eh&oma  
7.7总结 rhlW  
习题 }|w=7^1z  
参考文献 nF|#@O`1  
第8章薄膜光学常数的测量 rD:gN%B=  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 _lP4ez Y  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 "`gfy  
8.3薄膜波导法 h;cB_6vt  
8.4光学薄膜厚度的测试 6ON  
8.5总结 ?$>u!V<'  
习题 DLwC5Iir  
参考文献 QO
1A976o  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 "Nk=g~|  
9.1薄膜的力学特性检测技术 j1'xp`jgv  
9.2薄膜器件的环境试验 DDqC}l_  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 )R [@G.  
9.4总结 _ Yb Eo+  
习题 -D.BJ(  
参考文献 YR^Ee8_H  
附录 l8hvq(,{  
附录A复数与复数运算 V0SW 5 m  
A.1复数的概念 N7RG5?  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 ae9k[=-  
A.3复数在物理中的运用 3Hb .ZLE#  
附录B矩陈及矩陈运算 .
N2nJ/  
B.1矩陈的定义 $sd3h\P&R  
B.2矩陈运算 ,d9%Ce.$2  
附录C光的电磁理论基础 =]5DYRhX]  
C.1振动与波 SK2J`*  
C.2电磁波 ~pX(w!^  
C.3麦克斯韦方程 }J'5EAp  
C.4平面电磁波 H{Y5YTg]  
C.5平面电磁波性质 V7KtbL#  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 nN_94 ZqS<  
附录D光的干涉 ims=-1,  
D.1波的叠加原理 } K+Q9<~u  
D.2杨氏干涉 Knw'h;,[  
D.3平板的表面干涉 dw{#||  
D.4光的空间相干性和时间相干性 D@sx`
H(  
附录E光的偏振 eMpEFY  
E.1自然光和偏振光 xVh\GU855  
E.2偏振光与Jones矩陈 ]ut-wqb{p  
E.3偏振光的获得 5'{qEZs^QU  
E.4偏振光的检验 4z-,M7iP  
…… .yFg$|yG  
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