现代光学薄膜技术(作者:唐晋发,顾培夫等)

《现代光学薄膜技术》第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术，由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术，包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术，涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科，涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。 ,s? dAy5  
光学薄膜是一门综合性非常强的工程技术科学。它的理论基础是电磁场理论和麦克斯韦方程，涉及光在传播过程中，通过分层介质的反射、透射和偏振特性等。 o^PuhVu  
为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习《现代光学薄膜技术》的需要，增加了一个附录，主要介绍几个数学物理基础理论。 k<Oy%+C  

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第一篇光学多层膜设计 ,D8&
q?a  
第1章光学薄膜特性的理论计算 %,;gP.dh7  
1.1单色平面电磁波 1RA }aX  
1.2平面电磁波在单一界布的反射和折射 MCHOK=G  
1.3光学薄膜特性的理论计算 -lnevrl   
1.4光学多层膜内的电场强度分布 2L[l'}  
习题 OQ
c{ V  
第2章光学薄膜的设计理论 J{!'f| J  
2.1矢量作图法 6KB^w0oA  
2.2有效界面法 en%B>]QI  
2.3对称膜系的等效层 DO%Pwfk
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2.4导纳图解技术 :iEAUM  
习题 ',#  
第3章光学薄膜系统的设计 6=3(oUl  
3.1减反射膜 `:gYXeR  
3.2分束镜 jYk5~<\k  
3.3高反射膜 %-r?=L  
3.4干涉截止滤光片 NQ{-&#@/v  
3.5带通滤光片 %r P !  
3.6特殊膜系 LUG9 #.  
习题 Se/ss!I
f  
参考文献 Of&"U/^  
第二篇薄膜制备技术和微结构特性 HT-PWk>2  
第4章薄膜制备技术 22'vm~2E  
4.1真空淀积工艺 r},lu=em  
4.2光学薄膜材料 b?>VPuyBb  
4.3薄膜厚度监控艺术 j"0rkN3$J  
4.4膜层厚度的均匀性 H\d;QN9Q;  
习题 5f{wJb2  
参考文献 !^-OfqIHfV  
第5章制备条件寺薄膜微观结构和成分的影响 <k5`&X!+  
5.1薄膜的形成过程 7P c(<Ui+  
5.2薄膜的微观结构 fOLnK y#  
5.3薄膜的成分 jf8w7T  
5.4微观结构和成分对薄膜特性的影响 vuW-}fY;  
5.5薄膜微观结构和改善 6qf-Y!D5  
习题 -`g J  
参考文献 1Df,a#,y"  
第三篇光学薄膜检测技术 IE}Sdeqi)  
第6章薄膜透射率和反射率测量 .=CH!{j  
6.1光谱分析测试系统的基本原理 p$X
nOh  
6.2薄膜反射率的测试 hu&n=6  
6.3薄膜反射率的测量 <irpmRQr  
6.4利用激光谐振腔测量激光高反射镜的反射率与损耗 '?b\F~$8  
6.5总结 N-xnenci  
习题 -FaaFw:Z;A  
参考文献 *cPN\Iu.W  
第7章薄膜的吸收和散射测量 .}`V I`z*  
7.1激光量热计基本原理 }\EL;sT  
7.2光声、光热偏转法测量薄膜吸收 w7r'SCVh3+  
7.3薄膜散射的标量理论和总积分散射测量 ,k\/]9  
7.4散射光的矢量理论和角分布测量 Zq^^|[)bA  
7.5谐振腔衰荡薄膜损耗检测法 nqrDT1b**  
7.6薄膜导波传播衰减系数法 w~p4S+k&  
7.7总结 >ks3WMm  
习题 i:{:xKiCa  
参考文献 AT-0}9z{  
第8章薄膜光学常数的测量 DgVyy&7>  
8.1从透射、反射光谱确定薄膜的光学常数 y=wdR|b  
8.2其他薄膜的光学常数测试方法 ss*5.(y  
8.3薄膜波导法 Y1|^>C#
a  
8.4光学薄膜厚度的测试 vWuyft*  
8.5总结 JLml#Pu4  
习题 fs7~NY
 
参考文献 k,AM]H  
第9章薄膜非光学特性的检测技术 ^^7gDgT  
9.1薄膜的力学特性检测技术 0:jsV|5B8  
9.2薄膜器件的环境试验 5
R)[Ou.  
9.3薄膜的微结构与化学成分检测 y _6r/z^  
9.4总结 t Z+0}d  
习题 MV9r5|3-  
参考文献 s* @QT8%  
附录 =1eV   
附录A复数与复数运算 a!&bc8J7  
A.1复数的概念 1R*1BStc  
A.2复数的三角函数及指数表示方法 { qjUI  
A.3复数在物理中的运用 xiEcEz'lk  
附录B矩陈及矩陈运算 W%=Zdm rv  
B.1矩陈的定义 \G]K,TG  
B.2矩陈运算 58 kv#;j  
附录C光的电磁理论基础 I.UjST  
C.1振动与波 EkDws`@  
C.2电磁波 ,#=eu85'  
C.3麦克斯韦方程 $tEdBnf^ca  
C.4平面电磁波 kja4!_d  
C.5平面电磁波性质 =7#u+*Yr9  
C.6电磁波在介质表面的反射和折射 Sb^add0dT  
附录D光的干涉 hZ%2?v`  
D.1波的叠加原理 /@6E3lhS  
D.2杨氏干涉 t$tsWAmiA[  
D.3平板的表面干涉 p!C_:Z5i  
D.4光的空间相干性和时间相干性 e
og\pMv  
附录E光的偏振 =CWc`  
E.1自然光和偏振光 k>7gy?Y!K<  
E.2偏振光与Jones矩陈 pHigxeV2  
E.3偏振光的获得 "4KkKi  
E.4偏振光的检验 ,"x23=]  
…… 6Wf*>G*h  
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