EMMI（微光显微镜）

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EMMI（微光显微镜） ZR-s{2sl  
微光显微镜通过测量样品加偏压时所释放出来的光子来定位故障点。该仪器可以非常灵敏的测出微量光子，并且通过和背景图片重叠的方法来确定被测样品漏电的具体位置。微光显微镜已经成为失效分析定位里最为常见的分析手段。

优势	局限
E,D:D3O   - 使用相对简单 ~eV!!38 J   - 可以检测pn结的漏电 MLD>"W	s@)"IdSA(   - 光子可能会被金属层挡住而无法显示 Vkvb=   - 无法测量金属层短路 0.BUfuuh   - 微光漏电光斑较大