EMMI(微光显微镜)

发布:探针台 2019-08-07 10:46 阅读:1667
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EMMI(微光显微镜 %3M1zZY  
微光显微镜通过测量样品加偏压时所释放出来的光子来定位故障点。该仪器可以非常灵敏的测出微量光子,并且通过和背景图片重叠的方法来确定被测样品漏电的具体位置。微光显微镜已经成为失效分析定位里最为常见的分析手段。
优势局限
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- 使用相对简单 &!x!j ,nT  
- 可以检测pn结的漏电 \#?n'qyj  
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- 光子可能会被金属层挡住而无法显示 ]2`PS<a2  
- 无法测量金属层短路 tsaf|xe  
- 微光漏电光斑较大
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