[求助]zns表面破损/脱膜 [复制链接]

使用阻蒸在GE基底镀一层ZNS的单层膜，镀膜温度170℃。 Sfvi|kZX  
超声清洗后对ZNS膜层进行检测，发现存在白点和破损（如图），尺寸都是um量级。 ;9prsvf  
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对白点进行了成分分析，是ZNS膜料。破损是什么原因造成的？破损的位置是否是大颗粒的ZNS点在超声过程中脱膜导致？如何改善？ %!eK"DKG^  
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emmm，这个我这镀膜也有，咱们的异常一模一样，我现在也在想解决这个，目前只能做到减少，不能完全消除掉，还是得去找大佬问问。 YJ:CqTy  
我怀疑溅料、底部脏污，腔体环境，但不知道对不对 D|+H!f{k  

飞奔的牛:emmm，这个我这镀膜也有，咱们的异常一模一样，我现在也在想解决这个，目前只能做到减少，不能完全消除掉，还是得去找大佬问问。 fHwh6|  
我怀疑溅料、底部脏污，腔体环境，但不知道对不对
FUHa"$Bg  
 (2026-07-17 14:24)  4jar5Mz  

mu:Q2t^  
底部脏污导致的脱膜是从基底开始的吧。我们切片分析，发现一部分是基底脱膜，又有一部份是膜层中间脱落。 SX*os$  
另外对白点切片分析，有部分白点是膜层中间存在空鼓，导致突起。 A03PEaZO  
调整zns膜料装舟时的排列紧密度会不会对溅料产生改善 )V9$ P)  
a{]1H4+bQ  

nailiang:底部脏污导致的脱膜是从基底开始的吧。我们切片分析，发现一部分是基底脱膜，又有一部份是膜层中间脱落。 2|Tt3/Rn  
另外对白点切片分析，有部分白点是膜层中间存在空鼓，导致突起。 \ iP[iE=  
调整zns膜料装舟时的排列紧密度会不会对溅料产生改善
....... (2026-07-17 15:33)  Y&gfe8%5N  

G+5G,|}  
调整装料方式可以验证一下，我在其他途径了解到的方法： SuuWrt}5  
1.有的老师傅是压成块状的ZNS放在钼舟里，他们的缺陷就少 0A}'.LI  
2.底层用ZNS旧料，然后在上面铺设新料 Jl5<9x  
3.降低速率，防止蒸发过快 gg8T],s1!a  
前两条没试过，最后一条刚验证，确实可以减少这种节瘤缺陷 Q/0}AQO  
你可以先验证一下，或者有其他思路也可以说一下，咱们一起验证

飞奔的牛:调整装料方式可以验证一下，我在其他途径了解到的方法： bqLv81V  
1.有的老师傅是压成块状的ZNS放在钼舟里，他们的缺陷就少 Bq2}nDP  
2.底层用ZNS旧料，然后在上面铺设新料 Z1OcGRN!  
3.降低速率，防止蒸发过快 8zY)0  
....... (2026-07-20 14:01)  F,EHZ,<V  

lX7#3ti:  
我们之前用过方形的ZNS料，在底部排布的稍微规则一些，但是做出来的产品良率也没有明显提升。你说的压成块的硫化锌，意思是在舟底部一整块吗？那膜料的内外温度岂不是差异挺大

nailiang:我们之前用过方形的ZNS料，在底部排布的稍微规则一些，但是做出来的产品良率也没有明显提升。你说的压成块的硫化锌，意思是在舟底部一整块吗？那膜料的内外温度岂不是差异挺大 (2026-07-30 13:44)  M$?~C~b!*  

AU7c = H:?  
你说的温度差，我觉得可以调整镀膜前预熔时间。 fNlUc  
这个缺陷，我在单镀ZNS层出现的，我感觉在蒸发过程中产生的，如：蒸发溅射，蒸发的速率曲线，蒸发的分子附着不规整，基底温度的不均匀，腔体环境，物料的洁净度，这些都有可能，但是不知道怎么去验证，每一锅的机台状态又不一样。