形貌观察SEM扫描电镜

主要用途 ^~$\ g]  
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观察样品表面微观形貌，进行尺寸及深度进行测量，能谱元素分析。 cWMUj K/N  
[dB$U}SEj  
性能参数 k$N0lR4:p  
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a)二次电子分辨率：1.0nm（加速电压15kV，WD=4mm） |7"$w%2  
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b)放大倍数 100~800000（照片倍率）； e_.Gw"/Yl  
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            400~2000000（实际显示倍率） /7D<'MF  
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应用范围 "Y;}GlE  
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1.提供表面及横截面微细结构观察及分析； _V2xA88
 
s$w;q\1z  
2.对多层结构样品提供精准的膜厚量测及标示； 3BdX  
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3.借由低能量的电子束扫描做被动式影像对比(PVC)对于不良漏电或接触不良的组件损坏可以精准的定位，提供异常分析之判断； o.m:3!RW  
vDFGd-S  
4.样品借由层次去除技术(Delayers)，提供SEM做电路自动连拍拼接生成的图文件，可以与光学显微镜生成的图像做纵向连结，提供电路还原逆向工程之参考