精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 m7dpr$J  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 Mx-? &  
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图片:搜狗截图_2014-11-27_17-46-53.jpg

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目录 5hhiP2q  
前言 4t C-msTf  
第1章绪论 $ 8"we  
1.1概述 t)#dR._q  
1.2光学元件质量评价 i8h(b2odQ  
1.2.1表面质量评价 c `[,>  
1.2.2亚表面质量评价 7o+JQ&fF;  
1.3干涉测量基础知识 @ij8AGE:  
1.3.1干涉原理 yN'<iTh  
1.3.2典型干涉测量结构 S!LLC{  
第2章子子L径拼接轮廓测量 uG5RE  
2.1概述 O^Y}fo'  
2.2圆形子孔径拼接 %=ZN2)7{  
2.2.1拼接原理 8+7n"6GY2/  
2.2.2拼接算法 xSf&*wLE  
2.3环形子孔径拼接 fXL&?~fS  
2.3.1孔径划分 !!{!T;)l  
2.3.2拼接原理 5B|&+7dCw  
2.3.3拼接算法 ;s^br17z~  
2.4广义子孔径拼接 4R c_C0O  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 Czl4^STiC  
2.4.2计算机模拟 IIn
sq  
2.5子孔径拼接优化算法 FnZMW, P  
2.5.1调整误差分量及其波像差 Hm>7|!  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 Z(|@C(IL0\  
2.5.3仿真研究 N7wKaezE  
2.6测量系统 [Iwb7a0p  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 0h3-;%  
2.6.2实验研究 tny^sG/'  
2.7超大口径拼接检测 hc2AGeZr  
2.7.1方案设计 $!'S7;*uW  
2.7.2拼接算法 z1K}] z%  
2.8小结 OI8Hf3d=  
参考文献 #mK/xbW  
第3章接触式轮廓测量 Y=NXfTc
 
3.1概述 ~.:9~(2;  
3.2测量理论基础 LR(
Q.x  
3.2.1测量原理 ms(Z1ix^  
3.2.2坐标系和坐标变换 /'[m6zm]  
3.2.3检测路径 eU*0;#  
3.2.4二次曲面系数研究 x)]_]_vX  
3.2.5离轴镜测量模型 tx+KxOt9Y  
3.3测量系统 M%3P@GRg  
3.3.1测头系统 MV(Sb:RZ  
3.3.2系统设计 nfldj33*  
3.4误差分析 F2N)|C<  
3.4.1误差源分类 M*+MhM-  
3.4.2固有误差 k2-:!IE  
3.4.3随机调整误差 rnkq.  
3.4.4接触力诱导误差 Au=9<WB%H  
3.4.5高阶像差误差分析 kPuI'EPK  
3.5小结 5z T~/6-(  
参考文献 vMlT  
第4章结构光轮廓测量 O(_a6s+m  
4.1概述 K> rZJ[a  
4.2基于结构光原理的测量方法 K1_]ne)  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 San=E@3}v!  
4.2.2相位测量轮廓术 @W|N1,sp  
4.2.3莫尔测量轮廓术 eZck$]P(6H  
4.2.4卷积解调法 21LJ3rW_  
4.2.5调制度测量轮廓术 u2FD@Xq
?  
4.3测量系统及其标定 +=N!37+G  
4.3.1结构光三维测量系统 ycPGv.6  
4.3.2系统参数标定 ='\Di '*  
4.3.3快速标定方法 2#XYR>[  
4.4位相展开算法 _MI8P/  
4.4.1位相展开的基本原理 i3SrsVSG  
4.4.2空间位相展开方法 wnPg).  
4.4.3时间位相展开方法 0DZ}8"2  
4.4.4光栅图像采集与预处理 17..  
4.5测量误差分析 p'fD:M:  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 M'gL_Xsei  
4.5.2非线性误差矫正方法 +HpPVuV  
4.6小结 ,$,c<M  
参考文献 J8
;lG  
第5章亚表面损伤检测 )5j1;A:gr  
5.1概述 nYvx[ zq?^  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 Ofm?`SE*|  
5.2.1产生机理 SKUri  
5.2.2表征方法 MT3TWWtZ:  
5.3亚表面损伤检测技术 &yabxl_  
5.3.1破坏性检测 Ld9YbL:  
5.3.2非破坏性检测 Hf#VW^  
5.4工艺试验 J}{a&3@Hm  
5.4.1亚表面损伤的测量 2C&G'@>  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 Nr(t5TP^  
5.4.3损伤抑制策略 h,palP6^  
5.5小结 jMAZ4M  
参考文献 X9S`#N  
第6章其他测量技术 ~CRd0T[^  
6.1移相干涉测量技术 *Bm7>g6  
6.2动态干涉测量技术 \I[f@D-J  
6.3剪切干涉 *URBx"5XZ  
6.4点衍射干涉 #J):N  
6.5白光干涉测量技术 gR]NH  
6.6外差干涉测量技术 JHvawFBN<u  
6.7补偿法检测非球面 nl\l7/}6  
6.8计算全息法检测非球面 !%lcn O  
参考文献 26D,(Y$*  
文摘 DDwj[' R  
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