精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 4lF?s\W:  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 iig@$ i#  
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目录 SOo}}a0  
前言 (eF "[,z  
第1章绪论 "2J
2za  
1.1概述 )E(9 R(  
1.2光学元件质量评价 J:Ncy}AO  
1.2.1表面质量评价 '"o&BmF  
1.2.2亚表面质量评价 |GnqfD  
1.3干涉测量基础知识 u
(Y?2R
  
1.3.1干涉原理 4WZ"8  
1.3.2典型干涉测量结构 xE%sPWbj  
第2章子子L径拼接轮廓测量 /U =eB?>  
2.1概述 FW--|X]8  
2.2圆形子孔径拼接 #a=~a=c(^  
2.2.1拼接原理  N2Q%/}+,  
2.2.2拼接算法 x*2I]4  
2.3环形子孔径拼接 e95@4f^K2  
2.3.1孔径划分 $kCLS7 *  
2.3.2拼接原理 S 0L"5B@  
2.3.3拼接算法 8S*W+l19f  
2.4广义子孔径拼接 c6f[^Q%#j  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 KJ;N
cUq  
2.4.2计算机模拟 0z:BSdno  
2.5子孔径拼接优化算法 M~t;&po  
2.5.1调整误差分量及其波像差 @Zov&01  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 Fy
-N U  
2.5.3仿真研究 Y<EdFzle  
2.6测量系统 %+e% RZ3  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 QpC,komLJ  
2.6.2实验研究 <m!(eLm+B  
2.7超大口径拼接检测 QvjOOc@k~n  
2.7.1方案设计 >xJh!w<
pB  
2.7.2拼接算法 #>@~3kGg  
2.8小结 -P'KpX:]hd  
参考文献 FF7  
第3章接触式轮廓测量 Dhy@!EOS  
3.1概述 {Wp5Ane  
3.2测量理论基础 t;e+WZkV  
3.2.1测量原理 `oUuAL  
3.2.2坐标系和坐标变换 H|i39XV  
3.2.3检测路径 q=(.N>%  
3.2.4二次曲面系数研究 |'" 17c&  
3.2.5离轴镜测量模型 zOzobd  
3.3测量系统 +X&b  
3.3.1测头系统 "ZU CYYre  
3.3.2系统设计 Q1?09  
3.4误差分析 v?en-,{A  
3.4.1误差源分类 ap[{`u  
3.4.2固有误差 fF*{\  
3.4.3随机调整误差 N! N>/9  
3.4.4接触力诱导误差 DsZBhjCB  
3.4.5高阶像差误差分析 4W$t28)  
3.5小结 X[Q:c4'  
参考文献 FJl_2  
第4章结构光轮廓测量 }g\1JSJ%H  
4.1概述 X[{t
D#  
4.2基于结构光原理的测量方法 ]~H\X":[>  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 lE@ V>%b  
4.2.2相位测量轮廓术 C+=8?u<  
4.2.3莫尔测量轮廓术 =A< Fcl\Rz  
4.2.4卷积解调法 p^uX{!  
4.2.5调制度测量轮廓术 ~$\9T.tre2  
4.3测量系统及其标定 [^4)3cj7}  
4.3.1结构光三维测量系统 4I97<zmrT  
4.3.2系统参数标定 SlRQi:  
4.3.3快速标定方法 d|RqS`h ]  
4.4位相展开算法 E0o?rgfdq  
4.4.1位相展开的基本原理 ]s))O6^f  
4.4.2空间位相展开方法 Xi~%,~  
4.4.3时间位相展开方法 i G%h-  
4.4.4光栅图像采集与预处理 QSxR@hC  
4.5测量误差分析 Xbp~cn  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 t
Dk!]  
4.5.2非线性误差矫正方法 }KZt7)  
4.6小结 ,4&?`Q  
参考文献 v
==b. 2=  
第5章亚表面损伤检测 d@?++z  
5.1概述 [_pw|BGp  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 Jiv%Opo/|  
5.2.1产生机理 [m9Iz!E  
5.2.2表征方法 <HC5YA)4  
5.3亚表面损伤检测技术 |\W9$V  
5.3.1破坏性检测 x]=s/+Y  
5.3.2非破坏性检测 Pzl2X@{%  
5.4工艺试验 %gb4(~E+N  
5.4.1亚表面损伤的测量 sOY+X  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 v3ky;
~ke  
5.4.3损伤抑制策略 ..5rW0lr  
5.5小结 &Is}<Ew  
参考文献 \=yWJ  
第6章其他测量技术 g]V_)}
 
6.1移相干涉测量技术 kU {>hG4  
6.2动态干涉测量技术 {Hu@|Q\~&  
6.3剪切干涉 `pfZJ+  
6.4点衍射干涉 ls928  
6.5白光干涉测量技术 Uf ?._&:  
6.6外差干涉测量技术 Ac2,A>  
6.7补偿法检测非球面 ~.*G%TW &V  
6.8计算全息法检测非球面 dN%
*-p(  
参考文献 qz@k-Jqq d  
文摘 b-+~D9U<  
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