精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 H^B/ '#mO  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 enO5XsIc  

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目录 ORA+>  
前言 [q?{
e1  
第1章绪论 +'N?`l6<  
1.1概述 <nvz*s  
1.2光学元件质量评价 /V2I
h  
1.2.1表面质量评价 U9y[b82  
1.2.2亚表面质量评价 hof:36 <  
1.3干涉测量基础知识 R}#?A%,*  
1.3.1干涉原理 <I&X[Sqp  
1.3.2典型干涉测量结构 rMH\;\ I|U  
第2章子子L径拼接轮廓测量 TF^Rh4  
2.1概述 E-MEMran4  
2.2圆形子孔径拼接 =BMON{K  
2.2.1拼接原理 {qp XzxV  
2.2.2拼接算法 ,&Gn7[<  
2.3环形子孔径拼接 Eii)zo8Xd  
2.3.1孔径划分 dTB^6>H  
2.3.2拼接原理 Cz+`C9#  
2.3.3拼接算法 \{\*h/m  
2.4广义子孔径拼接 0%<Fc9#  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 2h@/Q)z  
2.4.2计算机模拟 >j4;{r+eQw  
2.5子孔径拼接优化算法 q$yTG!q*  
2.5.1调整误差分量及其波像差 O8wR#(/  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 & VJ+X|Z  
2.5.3仿真研究 Ty}'A(U  
2.6测量系统 [GyW1-p33w  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 >KNiMW^V  
2.6.2实验研究 /3Zo8.  
2.7超大口径拼接检测 ;/XWX$G@  
2.7.1方案设计 X/}kNW!q  
2.7.2拼接算法 &u&/t?  
2.8小结 (OLjE]9;  
参考文献 pi*cO  
第3章接触式轮廓测量 +g(>]!swb  
3.1概述 'P0:1
">  
3.2测量理论基础 NoB)tAvw  
3.2.1测量原理 3,8<5)ds*  
3.2.2坐标系和坐标变换 *?zmo
@-  
3.2.3检测路径 ~Y7>P$G)  
3.2.4二次曲面系数研究 V8@VR`!'  
3.2.5离轴镜测量模型 }xk85*V  
3.3测量系统 FO<PMK  
3.3.1测头系统 66(|3DX  
3.3.2系统设计 W4%I%&j  
3.4误差分析 )\s{\u \  
3.4.1误差源分类 x"9`w42\r  
3.4.2固有误差 s!:'3[7+  
3.4.3随机调整误差 <wfPbzs-V  
3.4.4接触力诱导误差 ]0p] u d&  
3.4.5高阶像差误差分析 V^
;2u  
3.5小结 5Tag-+  
参考文献 fd!bs*\X  
第4章结构光轮廓测量 pX8TzmIB0  
4.1概述 Xia4I* *  
4.2基于结构光原理的测量方法 {$-lXw4  
4.2.1傅里叶变换轮廓术  Sg  
4.2.2相位测量轮廓术 t1}R#NB  
4.2.3莫尔测量轮廓术 wXZ"}uT<}  
4.2.4卷积解调法 ~_6~Fi  
4.2.5调制度测量轮廓术 L1ro\H  
4.3测量系统及其标定 |(u6xPs;P  
4.3.1结构光三维测量系统 \5M1;  
4.3.2系统参数标定 8JYU1Ew  
4.3.3快速标定方法 *eL&fC  
4.4位相展开算法 #J~   
4.4.1位相展开的基本原理 !0!m |^c5  
4.4.2空间位相展开方法 K~Nx;{{d  
4.4.3时间位相展开方法 _zt)c!  
4.4.4光栅图像采集与预处理 sB`.G  
4.5测量误差分析
GB,f'Afl  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 3w!8PPl  
4.5.2非线性误差矫正方法 RT`.S uN  
4.6小结 zW#P ~zS  
参考文献 v+d} _rCT  
第5章亚表面损伤检测 CGw,RNV  
5.1概述 3MX&%_wUhB  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 %4'<0  
5.2.1产生机理 Cq8.^=}_  
5.2.2表征方法 PtsQV
!  
5.3亚表面损伤检测技术 _Ns/#Xe/  
5.3.1破坏性检测 USd7gOq(  
5.3.2非破坏性检测 \.ukZqB3 0  
5.4工艺试验 .ni<'  
5.4.1亚表面损伤的测量 T,@s.v  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 gZq_BY_U  
5.4.3损伤抑制策略 t
E'^O< K  
5.5小结 R*0]*\C z  
参考文献 jRiXN%  
第6章其他测量技术 p{|!LcSU$2  
6.1移相干涉测量技术 ]QC9y:3  
6.2动态干涉测量技术 .>#X*u  
6.3剪切干涉 sg`  
6.4点衍射干涉 V#X#rDfJZ  
6.5白光干涉测量技术 MHj RPh  
6.6外差干涉测量技术 #{_iNra9  
6.7补偿法检测非球面 iq^F?$gFk  
6.8计算全息法检测非球面 ci 4K Nv;  
参考文献 w.VjGPp  
文摘 ,>+B>lbJ*  
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