精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 VCvf'$4
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《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 Z$zX%w  

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目录 X-J85b_e  
前言 zL'S5'<F|  
第1章绪论 $8SSu|O+x  
1.1概述 y,w_x,m  
1.2光学元件质量评价 $RUK<JN$6  
1.2.1表面质量评价 c;zk{dP   
1.2.2亚表面质量评价 ixE w!t  
1.3干涉测量基础知识 kp#XpcS  
1.3.1干涉原理 $xcZ{C  
1.3.2典型干涉测量结构 qk(bA/+e  
第2章子子L径拼接轮廓测量 M0OIcMTv  
2.1概述 s!>9od6^  
2.2圆形子孔径拼接 =%s6QFR  
2.2.1拼接原理 gyhy0  
2.2.2拼接算法
=K}T; c  
2.3环形子孔径拼接 iSg0X8J)  
2.3.1孔径划分 $: |`DCC  
2.3.2拼接原理 Ge7B%p8  
2.3.3拼接算法 Hi*|f!,H?  
2.4广义子孔径拼接 eKZS_Qd  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 AlkHf]oB  
2.4.2计算机模拟 5)5yH bS  
2.5子孔径拼接优化算法 #z7yoP  
2.5.1调整误差分量及其波像差 e,lLHg  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 7S=,#  
2.5.3仿真研究 4jZB%tH  
2.6测量系统 N Z,}v3  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台  yK$aVK"  
2.6.2实验研究 OhlK;hvdB*  
2.7超大口径拼接检测 fNfa.0s  
2.7.1方案设计 R0LWuE%eD  
2.7.2拼接算法 _*b`;{3  
2.8小结 ]cVDXLj$  
参考文献 E'5KJn;_7  
第3章接触式轮廓测量 pZ3sp!  
3.1概述 =1'WZp}D5  
3.2测量理论基础 o>bi~(H  
3.2.1测量原理 96J]g*o(uU  
3.2.2坐标系和坐标变换 65*Hf3~~  
3.2.3检测路径 ?~E"!  
3.2.4二次曲面系数研究 Q w - z  
3.2.5离轴镜测量模型 {9.UeVz  
3.3测量系统 o4Cq  /K  
3.3.1测头系统 _VTpfeL@n  
3.3.2系统设计 &m  GU  
3.4误差分析 r/"^{0;F{W  
3.4.1误差源分类 K<`W>2"  
3.4.2固有误差 )+=Kh$VbS  
3.4.3随机调整误差  7Z<GlNv  
3.4.4接触力诱导误差 sUK|*y  
3.4.5高阶像差误差分析 |5X59! JL  
3.5小结 Aq$1#1J  
参考文献 cMnN} '  
第4章结构光轮廓测量 dqo-
.,=  
4.1概述 P1B=fgT  
4.2基于结构光原理的测量方法 ` aF8|tc_  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 `'k2gq&  
4.2.2相位测量轮廓术 PAtv#)h  
4.2.3莫尔测量轮廓术 TW70z]B  
4.2.4卷积解调法 ' i<4;=M&  
4.2.5调制度测量轮廓术 >goHQ30:  
4.3测量系统及其标定 8oXp8CC  
4.3.1结构光三维测量系统 .Dl ?a>I  
4.3.2系统参数标定 qu dY9_  
4.3.3快速标定方法 r|jM;  
4.4位相展开算法 ZGsd cnz  
4.4.1位相展开的基本原理 V2M4g  
4.4.2空间位相展开方法 m%>}T75C^  
4.4.3时间位相展开方法 O8_!!Qd  
4.4.4光栅图像采集与预处理 qSG0TWD!pq  
4.5测量误差分析 }4H}*P>+  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 "#-iD  
4.5.2非线性误差矫正方法 )*{B_[  
4.6小结 +`>E_+
Mp  
参考文献 xpo^\E?2  
第5章亚表面损伤检测 8"g+ k`PRy  
5.1概述 47Bg[  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 F4WX$;1  
5.2.1产生机理 JtxVF!v  
5.2.2表征方法 R8eBIJ/@_  
5.3亚表面损伤检测技术 ~gGkw#  
5.3.1破坏性检测 #N>66!/V  
5.3.2非破坏性检测 6NhGTLI  
5.4工艺试验 J:>o\%sF  
5.4.1亚表面损伤的测量 K[0z$T\  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 u a_w5o7  
5.4.3损伤抑制策略 T4"D&~3 3q  
5.5小结 ;v2eAe@7  
参考文献 8wOscL f:  
第6章其他测量技术 Y)1J8kq_  
6.1移相干涉测量技术 ]&q<O0^'  
6.2动态干涉测量技术 -WF((s;<#  
6.3剪切干涉 ]4c+{  
6.4点衍射干涉 r<!nU&FPD:  
6.5白光干涉测量技术 j4=iHnE;  
6.6外差干涉测量技术 #{J~ km/  
6.7补偿法检测非球面 aGi`(|shW  
6.8计算全息法检测非球面 JJ}DYv  
参考文献 H)gc"aRe;Y  
文摘 Z
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