精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 j;<s!A#  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 W%1/:_  
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目录
8
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前言 %KPQ|^WE  
第1章绪论 mT>RQ.  
1.1概述 !ir%Pz^)  
1.2光学元件质量评价 ?jU
3%"  
1.2.1表面质量评价 gSHN,8. `  
1.2.2亚表面质量评价 6st^-L  
1.3干涉测量基础知识 R_=fH\c;  
1.3.1干涉原理 ?^ R"a##  
1.3.2典型干涉测量结构 dn&484  
第2章子子L径拼接轮廓测量 1XpqnyL&  
2.1概述 H~?7:K  
2.2圆形子孔径拼接 h05BZrE  
2.2.1拼接原理 g^{a;=  
2.2.2拼接算法 Ri3*au/
Q  
2.3环形子孔径拼接 yb-4[C:i  
2.3.1孔径划分 T5-Yqz  
2.3.2拼接原理 .7+"KP:  
2.3.3拼接算法 Z6
nQW53-  
2.4广义子孔径拼接 g77:92  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 <r)5jf  
2.4.2计算机模拟 ctPT=i60  
2.5子孔径拼接优化算法 g)}q3-<AK>  
2.5.1调整误差分量及其波像差 It]GlxM
X  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 `[h&Q0Du6  
2.5.3仿真研究 R*H-QH/H1  
2.6测量系统 iGBHlw;A  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 ";upu  
2.6.2实验研究 lm*C:e)4A  
2.7超大口径拼接检测 Z?qc4Cg  
2.7.1方案设计 y"iK)SH  
2.7.2拼接算法 D|2lBU  
2.8小结 I/zI\PP,  
参考文献 s6DPb_,  
第3章接触式轮廓测量 3
9x 4(  
3.1概述 '8LHX6FXK  
3.2测量理论基础 d>0 j!+s  
3.2.1测量原理 @P">4xVX{  
3.2.2坐标系和坐标变换 55Xfu/hQ  
3.2.3检测路径 8
mC$p6Okd  
3.2.4二次曲面系数研究 Z ?ATWCa  
3.2.5离轴镜测量模型 (rQ)0g@  
3.3测量系统 [;#^h/5E  
3.3.1测头系统 pS8`OBenA  
3.3.2系统设计 }vZTiuzC  
3.4误差分析 P!!:p2fo  
3.4.1误差源分类 r@Xh8 r;  
3.4.2固有误差 <!-#]6  
3.4.3随机调整误差 u&'&E   
3.4.4接触力诱导误差 ~7H?tp.Dw  
3.4.5高阶像差误差分析 Q) iN_|  
3.5小结 KssIoP
 
参考文献 %1M!4**W  
第4章结构光轮廓测量 w69G6G(  
4.1概述 "R[6Q ^vw  
4.2基于结构光原理的测量方法 7??j}ob>  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 Xe
XK~  
4.2.2相位测量轮廓术 CYNpbv  
4.2.3莫尔测量轮廓术 RohD.`D  
4.2.4卷积解调法 [ZETyM`  
4.2.5调制度测量轮廓术 Yt;@@xe&  
4.3测量系统及其标定 _m1WY7
  
4.3.1结构光三维测量系统 9!wm`'G8  
4.3.2系统参数标定 R[2h!.O8  
4.3.3快速标定方法 >H?~2O  
4.4位相展开算法 xKoNo^FF  
4.4.1位相展开的基本原理 Rp.FG   
4.4.2空间位相展开方法 e(k$k>?  
4.4.3时间位相展开方法 7P DD  
4.4.4光栅图像采集与预处理 gC/-7/}  
4.5测量误差分析 @"`{Sh`Y$  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 s`,.&  
4.5.2非线性误差矫正方法 g%d&>y?1r  
4.6小结 #J4,mFMr  
参考文献 <~Tfi*^+  
第5章亚表面损伤检测 po+1  
5.1概述 =Y5*J#  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 dUpOg{I.x  
5.2.1产生机理 )h(yh50 B  
5.2.2表征方法 4JjO.H  
5.3亚表面损伤检测技术 zyFbu=d|O:  
5.3.1破坏性检测 ,lw<dB@7"5  
5.3.2非破坏性检测 ?T:$:IHw  
5.4工艺试验 %suXp,j  
5.4.1亚表面损伤的测量 Y&DC5T]  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 9rQpKq:# E  
5.4.3损伤抑制策略 U_e e3KKA  
5.5小结 J""N:X!1  
参考文献 _:9-x;0H2  
第6章其他测量技术 ;?:X_C  
6.1移相干涉测量技术 \6v*c;ZF  
6.2动态干涉测量技术 V~qlg1h  
6.3剪切干涉 \JEI+A PY*  
6.4点衍射干涉 pi?U|&.1z  
6.5白光干涉测量技术 <S M%M?  
6.6外差干涉测量技术 5>[j^g+@  
6.7补偿法检测非球面 eVy\)dCsU  
6.8计算全息法检测非球面 W= \gPCo  
参考文献 !Pb39[f  
文摘 #-u?+Nk/  
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