精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 =SdWU}xn2  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 'FVT"M~  
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目录 )CB?gW  
前言 ZO`d  
第1章绪论 {kzM*!g  
1.1概述 h~1QmEat  
1.2光学元件质量评价 {Xp.}c  
1.2.1表面质量评价 S\,{qhd  
1.2.2亚表面质量评价 4S=lO?\"A  
1.3干涉测量基础知识 `bm-O
NK  
1.3.1干涉原理 E|TzrH  
1.3.2典型干涉测量结构 @!S$gTz  
第2章子子L径拼接轮廓测量 [ M'1aBx^  
2.1概述 N.<hZ\].=
 
2.2圆形子孔径拼接 #=tWCxf=  
2.2.1拼接原理 r
 {8  
2.2.2拼接算法 Xnh1pwDhe<  
2.3环形子孔径拼接 7-LeJRB
 
2.3.1孔径划分 UvI!e4_  
2.3.2拼接原理 -7`J(f.rYC  
2.3.3拼接算法 V]AL'}( 0  
2.4广义子孔径拼接 |WX4L7yrhK  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 `3OGCy  
2.4.2计算机模拟 ,&9|Ac?$  
2.5子孔径拼接优化算法 N3?d?+A$  
2.5.1调整误差分量及其波像差 ]]7T5'.  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 o]Ki+ U  
2.5.3仿真研究 3)ip@29F  
2.6测量系统 Nt'5}  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 XVfQscZe  
2.6.2实验研究 fP|\1Y?CS  
2.7超大口径拼接检测 IlrmXSr  
2.7.1方案设计 W1s|7  
2.7.2拼接算法 t0q@] 0B5  
2.8小结 RoTT%c P_  
参考文献 +R_U  
第3章接触式轮廓测量 AM[:Og S  
3.1概述 4L0LT>'M\  
3.2测量理论基础 +D@R'$N  
3.2.1测量原理 G$j8I~E@  
3.2.2坐标系和坐标变换 _e'mG'P(  
3.2.3检测路径 K+\hv~+@  
3.2.4二次曲面系数研究 p5KNqqZZ  
3.2.5离轴镜测量模型 _=]
FJhO  
3.3测量系统 .EdV36$n  
3.3.1测头系统 8M|Q^VeT,1  
3.3.2系统设计 l.BNe)1!22  
3.4误差分析 I?"5i8E  
3.4.1误差源分类 bo2Od  
3.4.2固有误差 m";gD[m  
3.4.3随机调整误差 4Y!v$r  
3.4.4接触力诱导误差 UXP;
'  
3.4.5高阶像差误差分析 lySaJd  
3.5小结 .phQ7":`  
参考文献 iH>djGhTh  
第4章结构光轮廓测量 ($s{em4L  
4.1概述 2Kidbf  
4.2基于结构光原理的测量方法 Oc.>$  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 =N c`hP  
4.2.2相位测量轮廓术 3Z0\I\E  
4.2.3莫尔测量轮廓术 0 Yp;?p^  
4.2.4卷积解调法 UU/|s>F  
4.2.5调制度测量轮廓术 v4$,Vt:7  
4.3测量系统及其标定 `9-Zg??8r  
4.3.1结构光三维测量系统 wOOPWwk  
4.3.2系统参数标定 b~gF,^w  
4.3.3快速标定方法 `Nn?G  
4.4位相展开算法 7r>W r#  
4.4.1位相展开的基本原理 W}RR_Gu  
4.4.2空间位相展开方法 5 %Gf?LyO  
4.4.3时间位相展开方法 0YL0Oa+7  
4.4.4光栅图像采集与预处理 #k)\e;,X  
4.5测量误差分析 =S,<yQJ  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 U4gwxK  
4.5.2非线性误差矫正方法 ${wE5^ky  
4.6小结 H~Cfni;  
参考文献 m!_ghD{5h  
第5章亚表面损伤检测 Xhi?b|  
5.1概述 :X f3wP=  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 [78 .%b'  
5.2.1产生机理 wNZ7(W.U  
5.2.2表征方法 LnGSYrx1  
5.3亚表面损伤检测技术 7Cf(y'w^  
5.3.1破坏性检测 B
*IDx`^Y  
5.3.2非破坏性检测
U4gJ![>5j  
5.4工艺试验 z3]U%y(,  
5.4.1亚表面损伤的测量 Ne 4*MwK  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 SO/]d70HG  
5.4.3损伤抑制策略 CvJEY  
5.5小结 7krA+/Qr(  
参考文献 +bW|Q>u  
第6章其他测量技术 (rn x56I$  
6.1移相干涉测量技术 4)I#[&f  
6.2动态干涉测量技术 yxbTcZ  
6.3剪切干涉 U@nwSfp:G  
6.4点衍射干涉 JuSS5_&  
6.5白光干涉测量技术 ;kBies>V  
6.6外差干涉测量技术 [<QWTMjR  
6.7补偿法检测非球面 GwBQ pNjy  
6.8计算全息法检测非球面 \<**SSN  
参考文献 G,*s9P]1  
文摘 R:?vY!  
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