精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 Hsp|<;Yg  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 ZJR{c5TE  
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目录 NA\,o;ka  
前言 ?hfosBn&[  
第1章绪论 W_iP/xL  
1.1概述 (\WePOy&  
1.2光学元件质量评价 Ch7eUTqA@  
1.2.1表面质量评价 3FX`dZ  
1.2.2亚表面质量评价 *}
mtVa_|  
1.3干涉测量基础知识 tH W"eag  
1.3.1干涉原理 ]}'WNy6c&x  
1.3.2典型干涉测量结构 1ViDS  
第2章子子L径拼接轮廓测量 "QiUuD=  
2.1概述 8,B9y
D  
2.2圆形子孔径拼接 Y61E|:fV!  
2.2.1拼接原理 uQ8
]j.0  
2.2.2拼接算法 8,['q~z  
2.3环形子孔径拼接 BA-n+WCWJ  
2.3.1孔径划分 
&VQwuO  
2.3.2拼接原理 -nHc52,  
2.3.3拼接算法 qa%g'sB-b  
2.4广义子孔径拼接 8eLNKgc  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 sZB$+~.:}  
2.4.2计算机模拟 W?6RUyMC$T  
2.5子孔径拼接优化算法 VF[]E0=u6  
2.5.1调整误差分量及其波像差 x&;{4F Nw  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 bgEUG  
2.5.3仿真研究 ,l@hhaLm?  
2.6测量系统 WcqYpPv  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 ~Q6ufTGhpM  
2.6.2实验研究
Ex<-<tY  
2.7超大口径拼接检测 y<#y3M!\  
2.7.1方案设计 T1e}WJbFE  
2.7.2拼接算法 ?[T&y ,ln  
2.8小结 <X;y 4lPZ  
参考文献 M)|}Vn;!  
第3章接触式轮廓测量 X59~)rH,  
3.1概述 9D 0ujup  
3.2测量理论基础 _{ ?1+  
3.2.1测量原理 *_^AK=i  
3.2.2坐标系和坐标变换 0}w>8L7i{  
3.2.3检测路径 .|o7YTcR
:  
3.2.4二次曲面系数研究 dc:|)bK M  
3.2.5离轴镜测量模型 o3uv"# C  
3.3测量系统 P/ug
'  
3.3.1测头系统 ?MN?.O9-  
3.3.2系统设计 "lUw{3  
3.4误差分析 ? ZN8Ku  
3.4.1误差源分类 %=_Iq\lC  
3.4.2固有误差 o"5R^a@  
3.4.3随机调整误差 ph3[}><6  
3.4.4接触力诱导误差 ?)JW}3<.  
3.4.5高阶像差误差分析 KDCq::P<  
3.5小结 Ai/ay# E  
参考文献 y]@_DL#J=  
第4章结构光轮廓测量 GJH6b7I  
4.1概述 tAaFIIvY  
4.2基于结构光原理的测量方法 RAxA H  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 }_Jai4O  
4.2.2相位测量轮廓术 < FN[{YsA  
4.2.3莫尔测量轮廓术 `Y$LXF~,Om  
4.2.4卷积解调法  LqU]&AAh  
4.2.5调制度测量轮廓术 RdvJA:;q  
4.3测量系统及其标定 ]@Zj-n8  
4.3.1结构光三维测量系统 uTn(fs)D  
4.3.2系统参数标定 OyTBgS G?a  
4.3.3快速标定方法 F"9qBl~  
4.4位相展开算法 7@C:4c@0  
4.4.1位相展开的基本原理 #~ /-n&#  
4.4.2空间位相展开方法 W;,Jte<'Nm  
4.4.3时间位相展开方法 ]D<r5P%  
4.4.4光栅图像采集与预处理 4Tq%V|5"&  
4.5测量误差分析 )eUb@Eu  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 6Zkus20  
4.5.2非线性误差矫正方法 .dl1sv U  
4.6小结 qzmY]N+w|  
参考文献 JYKaF6bx8  
第5章亚表面损伤检测 191O(
H  
5.1概述 HnU}Lhjzj  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 $|sRj!F  
5.2.1产生机理 Ro?4t
Gn  
5.2.2表征方法 8m-ryr)  
5.3亚表面损伤检测技术 !U*i13  
5.3.1破坏性检测 5\qoZs*e  
5.3.2非破坏性检测 \{abyi;  
5.4工艺试验 aS62S9nwX  
5.4.1亚表面损伤的测量 &]uhPx/  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 [@.%6aD  
5.4.3损伤抑制策略 whxE[Xnv  
5.5小结 &OWiA;e?f  
参考文献 \e( h6,@  
第6章其他测量技术 |W{z,e01x  
6.1移相干涉测量技术 J/ <[irC  
6.2动态干涉测量技术 .4.zy]I  
6.3剪切干涉 idGM%Faur  
6.4点衍射干涉 pSc<3OI  
6.5白光干涉测量技术 -/KVZ  
6.6外差干涉测量技术 t'FY*|xk  
6.7补偿法检测非球面 &Zq43~  
6.8计算全息法检测非球面 k
\1q Jr  
参考文献 n T\W|  
文摘 D4;V8(w=#  
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