精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 Y4Jaw2b  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 UN6nh T  
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目录 |HTTTz9R.  
前言 C/z0/mk  
第1章绪论 {@67'jL  
1.1概述 ,h9N,bIQg  
1.2光学元件质量评价 Z=144n 1  
1.2.1表面质量评价 C1
(0jUz  
1.2.2亚表面质量评价 y}>bJ:  
1.3干涉测量基础知识 3Yf!H-(\uB  
1.3.1干涉原理 X_J(P?  
1.3.2典型干涉测量结构 ^14a[ta/'  
第2章子子L径拼接轮廓测量 5PT*b}g@  
2.1概述 oAq<ag\qV  
2.2圆形子孔径拼接 MryY<s  
2.2.1拼接原理 y[~w2a&+  
2.2.2拼接算法 _*dUH5  
2.3环形子孔径拼接 af;~<oa  
2.3.1孔径划分 hT$/B|  
2.3.2拼接原理 N:e5=;6s  
2.3.3拼接算法 wD`jks  
2.4广义子孔径拼接 jf~-;2  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 \~@a/J  
2.4.2计算机模拟 UNKr FYl  
2.5子孔径拼接优化算法 ^q)s  
2.5.1调整误差分量及其波像差 rh 7%<xb>  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型  Y.v. EZ  
2.5.3仿真研究 w4\g]\  
2.6测量系统 HD{2nZT  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 Ny)N  
2.6.2实验研究 <gbm 1iEe  
2.7超大口径拼接检测 e?)ic\K  
2.7.1方案设计 *Bm _  
2.7.2拼接算法 Jde@Th  
2.8小结 tc<ly{ 1c  
参考文献 l5esx#([*R  
第3章接触式轮廓测量  Oa/#2C~  
3.1概述 Sk|DVV$  
3.2测量理论基础 %Y*]eLT>  
3.2.1测量原理 t*{B
N>B  
3.2.2坐标系和坐标变换 Bi$nYV)-l  
3.2.3检测路径 B~t[Gy  
3.2.4二次曲面系数研究 IIIP<nyc  
3.2.5离轴镜测量模型 $`Hb-  
3.3测量系统 !,zRg5Wp4  
3.3.1测头系统 ]3bXJE  
3.3.2系统设计 1a>TJdoa  
3.4误差分析 #Qnl,lf  
3.4.1误差源分类 EX9os  
3.4.2固有误差 voJmNH  
3.4.3随机调整误差 o"-*,:Qe  
3.4.4接触力诱导误差 U+wfq%Fz  
3.4.5高阶像差误差分析 .`Rju|l  
3.5小结 W2W4w  
参考文献 ~|5B   
第4章结构光轮廓测量 D*o5fPvFO
 
4.1概述 |VxO ,[~  
4.2基于结构光原理的测量方法 nht?58  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 +(l(|lQy$  
4.2.2相位测量轮廓术 ipdGAG  
4.2.3莫尔测量轮廓术 N^;rLrm*  
4.2.4卷积解调法 eB,eu4+-  
4.2.5调制度测量轮廓术 t],5{UF  
4.3测量系统及其标定 Q8>  
4.3.1结构光三维测量系统 nkii0YB!  
4.3.2系统参数标定  mX&!/U  
4.3.3快速标定方法 t`oH7)nut  
4.4位相展开算法 :j}4F  
4.4.1位相展开的基本原理 tVFydN~  
4.4.2空间位相展开方法 z3l(4WP  
4.4.3时间位相展开方法 "nQ&~KQ  
4.4.4光栅图像采集与预处理 ~H1ZQ[  
4.5测量误差分析 |p\vH#6y+  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 $9}jU#Z|hd  
4.5.2非线性误差矫正方法 |O4LR,{G.w  
4.6小结 [JyhzYf\  
参考文献 Iq["(!7E5  
第5章亚表面损伤检测 aRE%(-5  
5.1概述 $3c9iVK~_  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 vn(ji=  
5.2.1产生机理 wpI_yp  
5.2.2表征方法 L=#nnj-  
5.3亚表面损伤检测技术 yi&6HNb  
5.3.1破坏性检测 lGZf_X)gA^  
5.3.2非破坏性检测 G%FLt[  
5.4工艺试验 J@lQzRqRb  
5.4.1亚表面损伤的测量 6i`Y]\X~#  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 :pXY/Pa  
5.4.3损伤抑制策略 %|AXVv7IN>  
5.5小结 +L U.QI'  
参考文献 rJK
a
c"{  
第6章其他测量技术  hSgH;k  
6.1移相干涉测量技术 )&vuT q'7'  
6.2动态干涉测量技术 R8bKE(*rxj  
6.3剪切干涉 
<19A=  
6.4点衍射干涉 Ls6C*<8  
6.5白光干涉测量技术 Xc8 XgZk  
6.6外差干涉测量技术 T-a[  
6.7补偿法检测非球面 5hj _YqQ7  
6.8计算全息法检测非球面 GFTOP%Tgl  
参考文献 twP%+/g]<  
文摘 7KJ%-&L^  
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