精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 I5[HD_g:  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 E<u6 js,  
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图片:搜狗截图_2014-11-27_17-46-53.jpg

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目录 dtHB@\1  
前言 ~(Wq 5<v  
第1章绪论 i7hWBd4wK  
1.1概述 (~6oA f  
1.2光学元件质量评价 8KH|:>s=  
1.2.1表面质量评价 |KF_h^  
1.2.2亚表面质量评价 Fk01j;k.H  
1.3干涉测量基础知识 @LQe[`  
1.3.1干涉原理 [ +w=  
1.3.2典型干涉测量结构 WCc7 MK  
第2章子子L径拼接轮廓测量 .xnJT2uu'  
2.1概述 <Co\?h/<  
2.2圆形子孔径拼接 Gt>*y.]  
2.2.1拼接原理 cB,O"-
  
2.2.2拼接算法 HE>6A|rgDr  
2.3环形子孔径拼接 mQ# 0c_  
2.3.1孔径划分 oC"1{ybyl  
2.3.2拼接原理 .UJp#/EHs  
2.3.3拼接算法 ?];?
3X~|  
2.4广义子孔径拼接 ''Lf6S`4X~  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 Tf[o'=2  
2.4.2计算机模拟 hzG+s#  
2.5子孔径拼接优化算法 @)"= b!q=  
2.5.1调整误差分量及其波像差 ;JQ:S~K9  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 BhJag L ^o  
2.5.3仿真研究 (-'Jf#&X^  
2.6测量系统 -?T:> *]p  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 }@R*U0*E  
2.6.2实验研究 ^*!Tq&Dst|  
2.7超大口径拼接检测 ;8!L*uMI  
2.7.1方案设计 B.O &KRo  
2.7.2拼接算法 IrIF 853g  
2.8小结 ;;r}=0V*=  
参考文献 14U:.
Q  
第3章接触式轮廓测量 FVi7gg.?  
3.1概述 /)Ga<  
3.2测量理论基础 }q-*Ls~  
3.2.1测量原理 ^5{M@o  
3.2.2坐标系和坐标变换 Ft} h&aYP  
3.2.3检测路径 VV'K$v3'N8  
3.2.4二次曲面系数研究 G)
|s(C!  
3.2.5离轴镜测量模型 9c `Vrlu  
3.3测量系统 tQTVP2:Y  
3.3.1测头系统 ~57.0?IK  
3.3.2系统设计 uH"W07  
3.4误差分析 (P=q&]l[  
3.4.1误差源分类 wtm=  
3.4.2固有误差 &\w:jI44Bs  
3.4.3随机调整误差 =Fu~ 0Wc  
3.4.4接触力诱导误差 o3=2`BvJ  
3.4.5高阶像差误差分析 c-?2>%;(V  
3.5小结 eaNMcC1  
参考文献 f9ziSD#  
第4章结构光轮廓测量 g#??Mz  
4.1概述 vh29mzum  
4.2基于结构光原理的测量方法 C71\9K*X  
4.2.1傅里叶变换轮廓术  OhNEt>  
4.2.2相位测量轮廓术 5!tiu4LU  
4.2.3莫尔测量轮廓术 s,~p}A%0  
4.2.4卷积解调法 m+3U[KKvG  
4.2.5调制度测量轮廓术 r
]6X  
4.3测量系统及其标定 !Z0p94L  
4.3.1结构光三维测量系统 5Xe1a'n5]  
4.3.2系统参数标定 v;=|-y  
4.3.3快速标定方法 RWfC2$z  
4.4位相展开算法 ,)u7PMs  
4.4.1位相展开的基本原理 G; onJ>  
4.4.2空间位相展开方法 /8$*{ay  
4.4.3时间位相展开方法 :3oLGiL  
4.4.4光栅图像采集与预处理 K |Z]  
4.5测量误差分析 0P?\eoB@8  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 z8n=\xL  
4.5.2非线性误差矫正方法 cz{5-;$9Z  
4.6小结 .UdoB`@!v=  
参考文献 ZvSWIQ6  
第5章亚表面损伤检测 DrY5Q&S  
5.1概述 Zo12F**{  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 {Xj2c]A1  
5.2.1产生机理 = nI
l$9  
5.2.2表征方法 krt8yAkG  
5.3亚表面损伤检测技术 \H6[6*JuB  
5.3.1破坏性检测 f\/'Fy0  
5.3.2非破坏性检测 . #7B10  
5.4工艺试验 MhaoD5*9  
5.4.1亚表面损伤的测量 #<4/ *< 5  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 H.H$5(?O  
5.4.3损伤抑制策略 Ho_ 2zx:8b  
5.5小结 >sfH[b  
参考文献 6`V2-zv$  
第6章其他测量技术 :)PAj  
6.1移相干涉测量技术 =xf7lN'  
6.2动态干涉测量技术 "i5Rh^  
6.3剪切干涉 cD!yd^QE  
6.4点衍射干涉 xklXV  
6.5白光干涉测量技术 M8,_E\*  
6.6外差干涉测量技术 .5ItH^  
6.7补偿法检测非球面 reU*apZ/  
6.8计算全息法检测非球面 p,cw-lN  
参考文献 8B|qNf `Yi  
文摘 Z'@a@Y+  
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