精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 I%xJ)fIK  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 C =U4|h~W  
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图片:搜狗截图_2014-11-27_17-46-53.jpg

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目录 H:6$)#  
前言 2_v>8B  
第1章绪论 m,O!Mt  
1.1概述 b"9,DQB=i  
1.2光学元件质量评价 s6uAF(4,  
1.2.1表面质量评价 z& jDOex  
1.2.2亚表面质量评价 ;_\P;s  
1.3干涉测量基础知识 \>k+Oyj  
1.3.1干涉原理 X.<R['U&\  
1.3.2典型干涉测量结构 Y1IlH8+0  
第2章子子L径拼接轮廓测量 ~yN,FpD  
2.1概述 2=EKAg=S  
2.2圆形子孔径拼接 <X*8Xz
mv  
2.2.1拼接原理 <^{:K`  
2.2.2拼接算法 gZv<_0N  
2.3环形子孔径拼接 ;"z>p25=T  
2.3.1孔径划分 X3yr6J[ ^  
2.3.2拼接原理 :~Y$\Ww(~  
2.3.3拼接算法 ow"Xv  
2.4广义子孔径拼接 7/L7L5h<  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 P+h&tXZn8  
2.4.2计算机模拟 OFv} jT  
2.5子孔径拼接优化算法 `m^OnH  
2.5.1调整误差分量及其波像差 qzz'v  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 ri ~2t3gg  
2.5.3仿真研究 g_U6
9 z  
2.6测量系统 4^&vRD,  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 #C^m>o~R  
2.6.2实验研究 ig{5]wZ(  
2.7超大口径拼接检测 C+5nft6:  
2.7.1方案设计 605|*(  
2.7.2拼接算法 q0wVV  
2.8小结 2X_ef  
参考文献 T!bu}KO  
第3章接触式轮廓测量 jLSZ#H  
3.1概述 R8l9i2  
3.2测量理论基础 nmr>Aj8[  
3.2.1测量原理 Df (6DuW  
3.2.2坐标系和坐标变换 C#>C59  
3.2.3检测路径 cht#~d  
3.2.4二次曲面系数研究 Q1z04m1_y[  
3.2.5离轴镜测量模型 [@6iStRg7  
3.3测量系统 @#apOoVW>  
3.3.1测头系统 %L3]l  
3.3.2系统设计 }JD(e}8$!  
3.4误差分析 ?}[keSEh>  
3.4.1误差源分类 F*f)Dv$p  
3.4.2固有误差 .+>}},  
3.4.3随机调整误差 _q 8m$4  
3.4.4接触力诱导误差 n>WS@b/o  
3.4.5高阶像差误差分析 ~ 4aaJ0  
3.5小结 YbKW;L&Ff  
参考文献 Cp%|Q.?  
第4章结构光轮廓测量 8{C3ijR  
4.1概述 $4&Ql  
4.2基于结构光原理的测量方法 (P?
9Jct  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 Ju<D7  
4.2.2相位测量轮廓术 {/ta1&xyG  
4.2.3莫尔测量轮廓术 2xX7dl(cC  
4.2.4卷积解调法 #^Y,,GA  
4.2.5调制度测量轮廓术 yWzTHW`)Mr  
4.3测量系统及其标定 kbY@Y,:w  
4.3.1结构光三维测量系统 VZ8L9h<{"  
4.3.2系统参数标定 jkq+j^  
4.3.3快速标定方法 $dR%8@.H  
4.4位相展开算法 9L}
;vkYk#  
4.4.1位相展开的基本原理 Ero3A'f  
4.4.2空间位相展开方法 G;e}z&6<k  
4.4.3时间位相展开方法 Y*Pr

 
4.4.4光栅图像采集与预处理 >KE(%9y~  
4.5测量误差分析 5 F-Q&  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 {-xnBx  
4.5.2非线性误差矫正方法 GOt@x9%  
4.6小结 uyj5}F+O  
参考文献 i+;EuHf  
第5章亚表面损伤检测 gP3[=a"\  
5.1概述 tVOx  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 P1t5-q  
5.2.1产生机理 r$KDNa$/a  
5.2.2表征方法 /SiQw7yp%  
5.3亚表面损伤检测技术 yC[}gHv  
5.3.1破坏性检测 gnQd#`  
5.3.2非破坏性检测 9g7T~|P  
5.4工艺试验  Dg@6o  
5.4.1亚表面损伤的测量 /=N`P &R#  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 'Gk|&^  
5.4.3损伤抑制策略 7$'ja  
5.5小结 @bZb#,n]  
参考文献 fc91D]c  
第6章其他测量技术 wNlp4Z'[  
6.1移相干涉测量技术 }sFHb[I &  
6.2动态干涉测量技术 [(C lvGx  
6.3剪切干涉 ?^dyQhb  
6.4点衍射干涉 4 QWHGh"  
6.5白光干涉测量技术 q bo`E!K  
6.6外差干涉测量技术 Px<;-H`  
6.7补偿法检测非球面 R&?p^!`%  
6.8计算全息法检测非球面 9I,Trk@&  
参考文献 gY%-0@g  
文摘 aePk^?KbB  
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