精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 r9%W?fEBp  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 +:t1PV;l  
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图片:搜狗截图_2014-11-27_17-46-53.jpg

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目录 q4Z\y  
前言 FHD6@{{Gp"  
第1章绪论 f;b(W  
1.1概述 G ;z2}Ei  
1.2光学元件质量评价 vSX 6~m  
1.2.1表面质量评价 4j | vzyc  
1.2.2亚表面质量评价 NBeGmC|  
1.3干涉测量基础知识 m
}XI?[!s  
1.3.1干涉原理 ~/NA?E
-c  
1.3.2典型干涉测量结构 ?;*mSQA`J  
第2章子子L径拼接轮廓测量 Mz06cw&  
2.1概述 =DtM.oQ>  
2.2圆形子孔径拼接 ^fx9R5E$:  
2.2.1拼接原理 /M#A[tZ3  
2.2.2拼接算法 !~ZL  
2.3环形子孔径拼接 n8iN/Y<%U  
2.3.1孔径划分 qV^H vZJ  
2.3.2拼接原理 XGUF9arN  
2.3.3拼接算法 ,wq.C6;&  
2.4广义子孔径拼接 % va/x]K  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 9(iJ=ao (  
2.4.2计算机模拟 h?TE$&CL?  
2.5子孔径拼接优化算法 KavRW.
w  
2.5.1调整误差分量及其波像差
:;JJvYIs  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 qH-dT,`"{  
2.5.3仿真研究 )kkO:j  
2.6测量系统 k_^d7yH  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 b\^.5SEw  
2.6.2实验研究 c#l (~g$D+  
2.7超大口径拼接检测 _2TIan}  
2.7.1方案设计 BBp
Hp  
2.7.2拼接算法 eAl&[_o|S  
2.8小结 @z2RMEC~  
参考文献 H,uOshR  
第3章接触式轮廓测量 #v`G
4d
 
3.1概述 2V  
3.2测量理论基础 W0?yPP=.  
3.2.1测量原理 o30
PI  
3.2.2坐标系和坐标变换 ~gV
|_G  
3.2.3检测路径 *mBEF"  
3.2.4二次曲面系数研究 <:ZN  
3.2.5离轴镜测量模型 VE GUhI/d  
3.3测量系统 
r67 3+  
3.3.1测头系统 ;%%=G;b9  
3.3.2系统设计 5%W3&F6%  
3.4误差分析 \V&ly/\ )  
3.4.1误差源分类 s{CSU3vYmi  
3.4.2固有误差 S>'wb{jj!  
3.4.3随机调整误差 H\ NO4
=  
3.4.4接触力诱导误差 PL VF  
3.4.5高阶像差误差分析 SQliF[-  
3.5小结 )`U T#5  
参考文献 (C. 1'<]  
第4章结构光轮廓测量 \F<]l6E  
4.1概述 IP~g7`Y  
4.2基于结构光原理的测量方法 xXyzzr1[  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 ^%_LA't'R  
4.2.2相位测量轮廓术 ?n_Y_)9  
4.2.3莫尔测量轮廓术 #7g~Um%p  
4.2.4卷积解调法 0">#h  
4.2.5调制度测量轮廓术 k|BEAdQ%M  
4.3测量系统及其标定 ^beW*
O!  
4.3.1结构光三维测量系统 _o`'b80;  
4.3.2系统参数标定 )\s:.<?EQ  
4.3.3快速标定方法 OCX?U50am  
4.4位相展开算法 V6Q[Y>84~a  
4.4.1位相展开的基本原理 aoC
yYnZD  
4.4.2空间位相展开方法 K{0mb  
4.4.3时间位相展开方法 @5kN L~2  
4.4.4光栅图像采集与预处理 tw.%'oJ7  
4.5测量误差分析 M,<%j  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 m@yaF: R  
4.5.2非线性误差矫正方法 Pl 5+Oo  
4.6小结 mT~:k}u~W  
参考文献 1*=[% d7  
第5章亚表面损伤检测 <x1(}x:u`  
5.1概述
j7i[z>:Y  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 *ZY{^f  
5.2.1产生机理 6vmkDL8{A8  
5.2.2表征方法 dz7*a{  
5.3亚表面损伤检测技术 5[I9/4,  
5.3.1破坏性检测  m>a6,#I  
5.3.2非破坏性检测 fXL$CgXG\x  
5.4工艺试验 =JEnK_@?K\  
5.4.1亚表面损伤的测量 } #$Y^ +UN  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 9}":}!  
5.4.3损伤抑制策略 9m8`4%y=  
5.5小结 ^D6JckW  
参考文献 HeR-;L  
第6章其他测量技术 }-Zfljj  
6.1移相干涉测量技术 ,g/UPK8K=  
6.2动态干涉测量技术 &;,w})  
6.3剪切干涉 f)*}L?  
6.4点衍射干涉  g\n@(T$)  
6.5白光干涉测量技术 dp+wwNe  
6.6外差干涉测量技术 w\85D|u  
6.7补偿法检测非球面 :JPI#zZun  
6.8计算全息法检测非球面 `33+OW  
参考文献 %1e`R*I  
文摘 0WQ0-~wx  
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