精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 (jYs_8;  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 L7%'Y}1e.  
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图片:搜狗截图_2014-11-27_17-46-53.jpg

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目录 @#H{nj Z  
前言 L{fP_DIa  
第1章绪论 .Na>BR\F  
1.1概述 3]Lk}0atpL  
1.2光学元件质量评价
-{b1&  
1.2.1表面质量评价 d8RpL{9\7  
1.2.2亚表面质量评价 c)6Y.[
).  
1.3干涉测量基础知识 L kq>>?T=  
1.3.1干涉原理 c8"I]Qc7  
1.3.2典型干涉测量结构 j*:pW;)^  
第2章子子L径拼接轮廓测量 kdYl>M  
2.1概述 UXk8nH  
2.2圆形子孔径拼接 5!ReW39c;  
2.2.1拼接原理 kyo ,yD  
2.2.2拼接算法 dju&Ku  
2.3环形子孔径拼接 C aJ
D*  
2.3.1孔径划分 2aje$w-  
2.3.2拼接原理 nG%j4r ;  
2.3.3拼接算法 #Aanv  
2.4广义子孔径拼接 l*:p==  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 P/
PS(`  
2.4.2计算机模拟 I3x}F$^  
2.5子孔径拼接优化算法 &s<  
2.5.1调整误差分量及其波像差 =W|Q0|U  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 uATBt  
2.5.3仿真研究 -<O:isB  
2.6测量系统 `(a^=e5  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 e#OU {2X  
2.6.2实验研究 +Ae.>%}  
2.7超大口径拼接检测 ::`j@ ]  
2.7.1方案设计 3z#;0n
}  
2.7.2拼接算法 Mk9kGP%  
2.8小结 t2SZ]|C  
参考文献 Elq8WtS  
第3章接触式轮廓测量 T?ZMmUE  
3.1概述 5Q}@Y3 i=  
3.2测量理论基础 H= y-Y_R  
3.2.1测量原理 zXCIn  
3.2.2坐标系和坐标变换 ;hZ@C!S:  
3.2.3检测路径 -oo=IUk  
3.2.4二次曲面系数研究 *sG<w%%  
3.2.5离轴镜测量模型 '} kq@  
3.3测量系统 3U`.:w`  
3.3.1测头系统 gPi_+-@  
3.3.2系统设计 |#B"j1D,H  
3.4误差分析 z} \9/`  
3.4.1误差源分类 }00e@a  
3.4.2固有误差 ,i,=LGn  
3.4.3随机调整误差 ,'673PR  
3.4.4接触力诱导误差 h5gXYmk  
3.4.5高阶像差误差分析 W*m[t&;  
3.5小结 >dl!Ep  
参考文献 K]oPh:E  
第4章结构光轮廓测量 HlSuhbi'@  
4.1概述 ;~bn@T-  
4.2基于结构光原理的测量方法 `+o.w#cl  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 ;hvXFU  
4.2.2相位测量轮廓术 31C]TdJ  
4.2.3莫尔测量轮廓术 ZkJM?Fzq  
4.2.4卷积解调法 ("oA{:@d  
4.2.5调制度测量轮廓术 8(D}y\  
4.3测量系统及其标定 7e<Q{aB  
4.3.1结构光三维测量系统 +*DX(v"BH  
4.3.2系统参数标定 9wAc&nl-Y  
4.3.3快速标定方法 Q=8 cBRe  
4.4位相展开算法 OQQ9R?Ll{  
4.4.1位相展开的基本原理 @7=D]yu  
4.4.2空间位相展开方法 S8RB0^Q7  
4.4.3时间位相展开方法 h'x~"k1  
4.4.4光栅图像采集与预处理 PpRO7(<cD  
4.5测量误差分析 9%qMZP0]  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 Q2NnpsA^6  
4.5.2非线性误差矫正方法 d/>,U7eS[+  
4.6小结 QO.gt*"  
参考文献 ? ^CGJ1  
第5章亚表面损伤检测 C(|5,P#5  
5.1概述 03o3[g?  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 m4wTg 8LJ  
5.2.1产生机理 Ol9fwd  
5.2.2表征方法 RKkI/Z0  
5.3亚表面损伤检测技术 b2e  a0  
5.3.1破坏性检测 ha=z<Q  
5.3.2非破坏性检测 Zg&\K~OC  
5.4工艺试验 zYdtQ
jv  
5.4.1亚表面损伤的测量 WN#lfn8 7  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 X^5"7phI@  
5.4.3损伤抑制策略 }Xi#x*-D  
5.5小结 @t8kN6.  
参考文献 ] <3?=$  
第6章其他测量技术 q'U5QyuC  
6.1移相干涉测量技术 b H_pNx81  
6.2动态干涉测量技术 f](uc(8Z  
6.3剪切干涉 &R*5;/ !  
6.4点衍射干涉 ';,Bn9rv  
6.5白光干涉测量技术 +~Ay h[V  
6.6外差干涉测量技术 @a\SR'8  
6.7补偿法检测非球面 xPup?oP >  
6.8计算全息法检测非球面 ~vV)|  
参考文献 JvL'gJ$70  
文摘 f<:U"E.  
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