精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 2va[= >_  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 am5;B`}q  
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图片:搜狗截图_2014-11-27_17-46-53.jpg

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目录 \0}bOHqEH  
前言 Ro$*bN6p  
第1章绪论  3k6Dbz  
1.1概述 <au_S\n  
1.2光学元件质量评价 C4X3;l Z%S  
1.2.1表面质量评价 %eHr^j~w$  
1.2.2亚表面质量评价 r!{i2I|  
1.3干涉测量基础知识 p{qA%D  
1.3.1干涉原理 #Z]Cq0=  
1.3.2典型干涉测量结构 #l)o<Z  
第2章子子L径拼接轮廓测量 ,?K5/3ss  
2.1概述
[xfg6  
2.2圆形子孔径拼接 A Ef@o+A  
2.2.1拼接原理 MftaT5  
2.2.2拼接算法 x=
K'Jj  
2.3环形子孔径拼接 'YN:c
r,V  
2.3.1孔径划分 KIuj;|!q  
2.3.2拼接原理 k<
fR)o  
2.3.3拼接算法 hms Aim9i  
2.4广义子孔径拼接 Wvd-be  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 "E5=AWd  
2.4.2计算机模拟 \l[AD-CZPh  
2.5子孔径拼接优化算法 g~|x^d^;|  
2.5.1调整误差分量及其波像差 Kzt:rhiB  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 b<r*EY  
2.5.3仿真研究 U
b\&k[F  
2.6测量系统 # NK{]H$fd  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 <#Fex'4  
2.6.2实验研究 v7+|G'8M`  
2.7超大口径拼接检测 d`?EEO  
2.7.1方案设计 }
]=A:*jD  
2.7.2拼接算法 zuJ` 704  
2.8小结 `N7erM  
参考文献 7|J&fc5BP  
第3章接触式轮廓测量 z __#PQ,n  
3.1概述 ~d3BVKP5  
3.2测量理论基础 ](ztb)  
3.2.1测量原理 =AHV{V~  
3.2.2坐标系和坐标变换 Ra~:O\Z  
3.2.3检测路径 (a,`Y.  
3.2.4二次曲面系数研究 v<0S@9~  
3.2.5离轴镜测量模型 BNJG-b|g^  
3.3测量系统 *D7oHwDU  
3.3.1测头系统 HW6Cz>WxOW  
3.3.2系统设计  >qI:  
3.4误差分析 ~Ty6
]A  
3.4.1误差源分类 Jju?v2y`  
3.4.2固有误差 X5tV Xd  
3.4.3随机调整误差 s, #$o3  
3.4.4接触力诱导误差 Oh}@c~7;  
3.4.5高阶像差误差分析 M9yqJPS}B  
3.5小结 Z\?!&&  
参考文献 dt>!=<|k  
第4章结构光轮廓测量 wDh&S{N  
4.1概述 3fop.%(  
4.2基于结构光原理的测量方法 pAEJ=Te  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 l
nxA/[`a  
4.2.2相位测量轮廓术 ~vR<UQz  
4.2.3莫尔测量轮廓术 4x/u$Ixzh=  
4.2.4卷积解调法 PO2]x:  
4.2.5调制度测量轮廓术 (ub
K i[)  
4.3测量系统及其标定 J2`OJsMwWe  
4.3.1结构光三维测量系统 \>eFs} Y/  
4.3.2系统参数标定 %#]/]B/4  
4.3.3快速标定方法 *EtC4sP  
4.4位相展开算法 W
N#dR~>  
4.4.1位相展开的基本原理 twTRw:.!f  
4.4.2空间位相展开方法 5_L43-  
4.4.3时间位相展开方法 7nPm{=BG  
4.4.4光栅图像采集与预处理 Lhgs|*M  
4.5测量误差分析 ;Y &2G'  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 AWmJm)  
4.5.2非线性误差矫正方法 TF,a`?c`  
4.6小结 u-dF~.x  
参考文献 K*MI8')  
第5章亚表面损伤检测 Y9(BxDP_+Y  
5.1概述 D <Fl7QAb  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 Z
Ozyf/?.  
5.2.1产生机理 |VoYFoiQ  
5.2.2表征方法 
,!^w  
5.3亚表面损伤检测技术 :Z5kiEwYM  
5.3.1破坏性检测 ~HgN'
#Y?  
5.3.2非破坏性检测 D-5~CK4`  
5.4工艺试验 bNz2Uo!0K  
5.4.1亚表面损伤的测量 dU"C=c(w\  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 uFi[50  
5.4.3损伤抑制策略 ~_SVQ7P  
5.5小结 n~&e>_;(.  
参考文献 *WXqN!:  
第6章其他测量技术 Yf^/YLLS  
6.1移相干涉测量技术 Z@:R'u2Lk  
6.2动态干涉测量技术 V P4ToYc  
6.3剪切干涉 O/4)aW3B  
6.4点衍射干涉 7otqGE\2  
6.5白光干涉测量技术 B.[5N;c  
6.6外差干涉测量技术 KT
u&R6|  
6.7补偿法检测非球面 rxIYgh  
6.8计算全息法检测非球面 j: B,K.:  
参考文献 +&TcTu#.`  
文摘 [$GQ]Y  
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