精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 &WsDYov?  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 U24?+/5D]  
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图片:搜狗截图_2014-11-27_17-46-53.jpg

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目录 %]  
前言 ZRcY; ?  
第1章绪论 4d6F4G4U  
1.1概述 Yo:>m*31  
1.2光学元件质量评价 nc&V59*   
1.2.1表面质量评价 zf2]|]*xz  
1.2.2亚表面质量评价 YMJjO0  
1.3干涉测量基础知识 {]|};E[}m  
1.3.1干涉原理 oIbd+6>f  
1.3.2典型干涉测量结构 6)DYQ^4y  
第2章子子L径拼接轮廓测量 yjN|PqtSV  
2.1概述 }R.cqk\qa^  
2.2圆形子孔径拼接 \Fc"Q@.u  
2.2.1拼接原理 J}<k`af  
2.2.2拼接算法 9-)oA+$  
2.3环形子孔径拼接 tS`fG;  
2.3.1孔径划分 gxL5%:@  
2.3.2拼接原理 !XgkK k  
2.3.3拼接算法 I_Oa<J\+  
2.4广义子孔径拼接 ks'25tv}F  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 '&s:,o-p  
2.4.2计算机模拟 2rD`]neA  
2.5子孔径拼接优化算法 6P+8{?V&  
2.5.1调整误差分量及其波像差 VU)y
wIs  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 QJ pUk%Wj  
2.5.3仿真研究 1kTJMtZG~  
2.6测量系统 0nA17^W  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 v,1.n{!;  
2.6.2实验研究 (~/D*<A  
2.7超大口径拼接检测 8M:;9a8fh  
2.7.1方案设计 nG{jx_{`  
2.7.2拼接算法 sa*]q~a  
2.8小结 %,>> <8  
参考文献 :S?'6lOc(  
第3章接触式轮廓测量 f{5)yZ`J*  
3.1概述 'J]V"Z)  
3.2测量理论基础 "hpK8vQ  
3.2.1测量原理 T4qbyu
i{  
3.2.2坐标系和坐标变换 ~])\xC  
3.2.3检测路径 Y@RPQPmIQ  
3.2.4二次曲面系数研究 D='/-3f!F]  
3.2.5离轴镜测量模型 B2&fvv?  
3.3测量系统 jw#'f%*  
3.3.1测头系统 jlzqa7  
3.3.2系统设计 =^=9z'u"=  
3.4误差分析 }=7tGqfw  
3.4.1误差源分类 H6r
Wb6i  
3.4.2固有误差 .U9NQwd  
3.4.3随机调整误差 [-1
Nn}  
3.4.4接触力诱导误差 ]@M$.msg@  
3.4.5高阶像差误差分析 U}7$:hO"dX  
3.5小结 :]e:-JbT4z  
参考文献 }"Y]GH4Y  
第4章结构光轮廓测量 -Qqb/y  
4.1概述 #.a4}ya19  
4.2基于结构光原理的测量方法 3"!2C,3c#  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 XQ,IEj|  
4.2.2相位测量轮廓术 5K{(V^88F  
4.2.3莫尔测量轮廓术 %+FM$xyJ  
4.2.4卷积解调法 KdYT5VUM/  
4.2.5调制度测量轮廓术 6+m
)   
4.3测量系统及其标定 +JBhw4et;.  
4.3.1结构光三维测量系统 w0tlF:Eg  
4.3.2系统参数标定 @wZ`;J%  
4.3.3快速标定方法 h'w9=Pk~6y  
4.4位相展开算法 Lg_y1Mu7o  
4.4.1位相展开的基本原理 @+B .<@V  
4.4.2空间位相展开方法 E^#|1Kpq  
4.4.3时间位相展开方法 44RZk|U1J{  
4.4.4光栅图像采集与预处理 U-X  
4.5测量误差分析 :h*20iP  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 09%q
/-$  
4.5.2非线性误差矫正方法 W&BwBp]K  
4.6小结 htlsU*x  
参考文献 BAg*zYV7  
第5章亚表面损伤检测 @MAk/mb&  
5.1概述 @l>\vs<  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 ]Fl+^aLS  
5.2.1产生机理 G-bG}9vc]  
5.2.2表征方法 ^yH|k@y  
5.3亚表面损伤检测技术 -!(3fO:  
5.3.1破坏性检测 B;hc|v{(  
5.3.2非破坏性检测 zO9|s}J8q  
5.4工艺试验 z=BX-)  
5.4.1亚表面损伤的测量 Rb\=\  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 t
G{e(  
5.4.3损伤抑制策略 w0^(jMQe^  
5.5小结 /Eh\07p  
参考文献 BAdHGwomh  
第6章其他测量技术 0MrtJNF]_O  
6.1移相干涉测量技术 ?VS {,"X  
6.2动态干涉测量技术 JR'Q Th:z  
6.3剪切干涉 )|uPCZdLZ  
6.4点衍射干涉 dUOjPq97  
6.5白光干涉测量技术 eey <:n/Z  
6.6外差干涉测量技术 ?ti7iBz?  
6.7补偿法检测非球面 5j{o0&=_$  
6.8计算全息法检测非球面 !+9H=u  
参考文献 0f;L!.eP  
文摘 ' OdZ[AN  
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