精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 8|"26UwD/  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 %tE#%;Z  
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图片:搜狗截图_2014-11-27_17-46-53.jpg

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目录 6Mj
(B*c  
前言 0
! W$Cz[  
第1章绪论 n/6qc3\5i  
1.1概述 ubQbEv{(,  
1.2光学元件质量评价 *}P=7TuS  
1.2.1表面质量评价 S]x\Asj;w  
1.2.2亚表面质量评价 ls@j8bVv^  
1.3干涉测量基础知识 bzWWW^kNL  
1.3.1干涉原理 aGml!N5'  
1.3.2典型干涉测量结构 ED;rp9(  
第2章子子L径拼接轮廓测量 R_zQiSwG<  
2.1概述 '* eeup  
2.2圆形子孔径拼接 Bln($lOz  
2.2.1拼接原理 wj{[g^y%  
2.2.2拼接算法 | zyO;  
2.3环形子孔径拼接 /wX5>^  
2.3.1孔径划分 'JRYf;9c  
2.3.2拼接原理 {g]Mx|5Q  
2.3.3拼接算法 Fl}{"eCF8  
2.4广义子孔径拼接 *A([1l&]i  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 0}3Xry,{  
2.4.2计算机模拟 'Z8=y[l  
2.5子孔径拼接优化算法 %F
}i2!\<L  
2.5.1调整误差分量及其波像差 $.F.xYS9IJ  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 DLH|y%"  
2.5.3仿真研究 l2ARM3"  
2.6测量系统 #oD;?Mi  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 ku5vaP(  
2.6.2实验研究 KQTv5|$?  
2.7超大口径拼接检测 G@+R!IG  
2.7.1方案设计 ~zYk,;m  
2.7.2拼接算法 EdTR]}8  
2.8小结 +A-z>T(  
参考文献 `LOW)|6r`  
第3章接触式轮廓测量
X]4j&QB  
3.1概述 OsV'&@+G>  
3.2测量理论基础 `{1~]?-&  
3.2.1测量原理 t`")Re_j  
3.2.2坐标系和坐标变换 vLs*}+f  
3.2.3检测路径 s3[\&zt  
3.2.4二次曲面系数研究 rHp2I6.0a  
3.2.5离轴镜测量模型 V [Wo9Y\  
3.3测量系统 yHf:/8Z  
3.3.1测头系统 o/hj~;(]  
3.3.2系统设计 LUzn7FZk  
3.4误差分析 c<ORmg6  
3.4.1误差源分类 WXQ+`OH7  
3.4.2固有误差 (>SucUU  
3.4.3随机调整误差 9UCA&n  
3.4.4接触力诱导误差 vMzBp
#MT  
3.4.5高阶像差误差分析 oV'G67W  
3.5小结 L./{^)  
参考文献 ^Rb*m
I  
第4章结构光轮廓测量 Om(Ir&0  
4.1概述 qH(HcsgD  
4.2基于结构光原理的测量方法 ZkryoIQ%=  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 $kBcnk  
4.2.2相位测量轮廓术 J^-a@'`+  
4.2.3莫尔测量轮廓术 2j&0U!DX  
4.2.4卷积解调法 OCELG~  
4.2.5调制度测量轮廓术 [nf5<  
4.3测量系统及其标定 }`y%*--  
4.3.1结构光三维测量系统 L
T#EYnG  
4.3.2系统参数标定 t 7D~JAx6  
4.3.3快速标定方法 gu"@*,hL  
4.4位相展开算法 Gdz*  
4.4.1位相展开的基本原理 g?N^9B,$2  
4.4.2空间位相展开方法 p"0Dl9  
4.4.3时间位相展开方法 Pq,iR J  
4.4.4光栅图像采集与预处理 ~;}uYJ  
4.5测量误差分析 ,uPN\`.u8  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 ?&=JGk^eJ  
4.5.2非线性误差矫正方法 q1Ad"r
m  
4.6小结 |W*5<2Q9  
参考文献 S1#5oy2  
第5章亚表面损伤检测 yN/g;bQ  
5.1概述 aVZ/e^kk-  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 +ryB
*nT  
5.2.1产生机理 FXul u6"SX  
5.2.2表征方法 *i {e$Zv'  
5.3亚表面损伤检测技术 Xp9] 9H.  
5.3.1破坏性检测 kqjj&{vPFJ  
5.3.2非破坏性检测 yO` |X  
5.4工艺试验 Fj46~#ZZ  
5.4.1亚表面损伤的测量 6mqp`x`  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 (7ujJ}#,  
5.4.3损伤抑制策略 [#(',~lN7  
5.5小结 &W3Hj$>  
参考文献 QO:Z8{21So  
第6章其他测量技术 ?R_fg  
6.1移相干涉测量技术 M)~sL1)  
6.2动态干涉测量技术 1amEQ  
6.3剪切干涉 6xFchdMG{m  
6.4点衍射干涉 ~])Q[/=p  
6.5白光干涉测量技术 &eb8k2S  
6.6外差干涉测量技术 5Z
:T9F4  
6.7补偿法检测非球面 @Z5,j)  
6.8计算全息法检测非球面 ^<_rE-k  
参考文献 KquuM ]5S  
文摘 =@c;%
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