精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 &9RH}zv6  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 sr\cVv")  
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目录 yX`#s]M  
前言 Wj&nUp{  
第1章绪论 vTdUuj3N  
1.1概述 sMP:sCRC  
1.2光学元件质量评价 &Y+e=1a+  
1.2.1表面质量评价 {#N%Bq}  
1.2.2亚表面质量评价 n,CD  
1.3干涉测量基础知识 +s ULo  
1.3.1干涉原理 "v5ElYG  
1.3.2典型干涉测量结构 rkq#7  
第2章子子L径拼接轮廓测量 tj[c#@[B  
2.1概述 i0\)%H:z
 
2.2圆形子孔径拼接 iA9 E^  
2.2.1拼接原理 E4=qh1d  
2.2.2拼接算法 ;=a_B1"9u  
2.3环形子孔径拼接 uxb:^d?D!  
2.3.1孔径划分 q(gjT^aN  
2.3.2拼接原理 z|I0-1tAK  
2.3.3拼接算法 Fwb5u!_,  
2.4广义子孔径拼接 :> SLQ[1  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 `^x9(i/NE  
2.4.2计算机模拟 K3L"^a  
2.5子孔径拼接优化算法 t{zBC?cR  
2.5.1调整误差分量及其波像差 ~ltg  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 uaaf9SL?  
2.5.3仿真研究 P3!Atnv2  
2.6测量系统 =G4u#t)  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 9Sz7\W0  
2.6.2实验研究 6T_K9  
2.7超大口径拼接检测 GWdSSr>  
2.7.1方案设计 &))\2pl  
2.7.2拼接算法 tb,9a!?  
2.8小结 IX
WQ)  
参考文献 6Hk="$6K  
第3章接触式轮廓测量 _w>uI57U  
3.1概述 %m`zWg-  
3.2测量理论基础 $Asr`Q1i   
3.2.1测量原理 WI&lj<*  
3.2.2坐标系和坐标变换 xzr<k S
p  
3.2.3检测路径 LTXz$Z]  
3.2.4二次曲面系数研究 w#9_eq|3  
3.2.5离轴镜测量模型 |cgui  
3.3测量系统 Ys3uPs  
3.3.1测头系统 ezUQ> e  
3.3.2系统设计 ;|HL+je;Z  
3.4误差分析 lL0M^Nv  
3.4.1误差源分类 U*\17YU6h  
3.4.2固有误差 ~x#vZ=]8  
3.4.3随机调整误差 OhFW*v  
3.4.4接触力诱导误差 y3JMbl[S0  
3.4.5高阶像差误差分析 64umul  
3.5小结 A[)C:q,  
参考文献 4x=(Zw_X  
第4章结构光轮廓测量 X{\jK]O  
4.1概述 QIK 9  
4.2基于结构光原理的测量方法 N=~~EtX  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 |##GIIv;i  
4.2.2相位测量轮廓术 ^~1<f1
(  
4.2.3莫尔测量轮廓术 + >nr.,qo3  
4.2.4卷积解调法 gCJIIzl%Bh  
4.2.5调制度测量轮廓术 u-:Ic.ZV  
4.3测量系统及其标定 2hq\n<  
4.3.1结构光三维测量系统 >{nH v)  
4.3.2系统参数标定 q7_+}"i  
4.3.3快速标定方法 Wekqn!h  
4.4位相展开算法 "@yyXS r  
4.4.1位相展开的基本原理 24B<[lSK  
4.4.2空间位相展开方法 h/m6)m.D  
4.4.3时间位相展开方法 Bm/
YgQi  
4.4.4光栅图像采集与预处理 ].mqxf  
4.5测量误差分析 N'?u1P4G  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 *x(Jq?5O7X  
4.5.2非线性误差矫正方法 Cy@ cLdV  
4.6小结 :NE/Ddgc'  
参考文献 }r3~rG<D71  
第5章亚表面损伤检测
yWb4Ify  
5.1概述 J=H)JH3  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 H=~9CJ+tc  
5.2.1产生机理 /tj$luls5  
5.2.2表征方法 Ia4)uV8  
5.3亚表面损伤检测技术 8ObeiVXf)  
5.3.1破坏性检测 tC)6  
5.3.2非破坏性检测 /.Q4~Hw%}  
5.4工艺试验 G%{0i20_  
5.4.1亚表面损伤的测量 D$q'FZH  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 @dEiVF`4:  
5.4.3损伤抑制策略 H"Dn]$Q\Z  
5.5小结 #g9ZX16}  
参考文献 ;rR/5d1!  
第6章其他测量技术 r:g9Z_  
6.1移相干涉测量技术 |"Z{I3Umg  
6.2动态干涉测量技术 $k%Z$NSN=  
6.3剪切干涉 $[ z y  
6.4点衍射干涉 i$uN4tVKT  
6.5白光干涉测量技术 (.23rVvnT@  
6.6外差干涉测量技术 5v _P Oq  
6.7补偿法检测非球面 y7lWeBnC  
6.8计算全息法检测非球面 )jDJMi_[  
参考文献 c0rk<V%5+  
文摘 go'j/4Tp  
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