精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 yc3/5]E&  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 G93V=Bk=  
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目录 fu~iF  
前言 \yw5`5g  
第1章绪论 pA_u;*  
1.1概述
>%92,hg  
1.2光学元件质量评价 q|]CA  
1.2.1表面质量评价 A_U=`M=-  
1.2.2亚表面质量评价 W&9qgbO]  
1.3干涉测量基础知识 -o"b$[sf=Z  
1.3.1干涉原理 D-C]0Jf3  
1.3.2典型干涉测量结构 gvWgw7z  
第2章子子L径拼接轮廓测量 5&EBUl}  
2.1概述 g.`Ntsi$wI  
2.2圆形子孔径拼接 DDGDj)=`  
2.2.1拼接原理 08^f|K  
2.2.2拼接算法 vI(LIfe;  
2.3环形子孔径拼接 :nb|WgEc  
2.3.1孔径划分 nF]R"
 
2.3.2拼接原理 N.z2eo  
2.3.3拼接算法 S WTZ6(!oW  
2.4广义子孔径拼接 q#c+%,Z=C  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 4<UAT|L^`  
2.4.2计算机模拟 GEVDXx>@  
2.5子孔径拼接优化算法 .EHq.cd
e  
2.5.1调整误差分量及其波像差 v8 =#1YB;  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 9<3}zwJ  
2.5.3仿真研究 '9.@r\g  
2.6测量系统 hwe6@T.#  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 Gchs$^1`t  
2.6.2实验研究 n]4Elrxx  
2.7超大口径拼接检测 SODHn9)  
2.7.1方案设计 Lk
s+FW  
2.7.2拼接算法 wI 7gHp  
2.8小结 4l*cX1!  
参考文献 ?d?.&nt  
第3章接触式轮廓测量 ;g#nGs>  
3.1概述 ](s5;ta   
3.2测量理论基础 Wm"#"l4  
3.2.1测量原理 w<!,mL5 N  
3.2.2坐标系和坐标变换  9Ca0Tu  
3.2.3检测路径 ?nL
,
Otz  
3.2.4二次曲面系数研究 {#?|&n<  
3.2.5离轴镜测量模型 [+b8 !'|&  
3.3测量系统 G/3T0d+-  
3.3.1测头系统 7n8
4`|=  
3.3.2系统设计 s Adb0 A  
3.4误差分析 .Y7Kd+)s)L  
3.4.1误差源分类 d42Y`Wu  
3.4.2固有误差 .3_u5N|[=W  
3.4.3随机调整误差 ;?iu@h  
3.4.4接触力诱导误差 }L|B@fW  
3.4.5高阶像差误差分析 M'R ] ''  
3.5小结 Y[PC<-fyf  
参考文献 Q -$) H;,  
第4章结构光轮廓测量 x4LPrF1  
4.1概述 |dHt
v6I  
4.2基于结构光原理的测量方法 Zi]E!Tgn  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 5cA:;{z];g  
4.2.2相位测量轮廓术 K5`*Y@  
4.2.3莫尔测量轮廓术 G~&8/ s  
4.2.4卷积解调法 )n9,?F#l  
4.2.5调制度测量轮廓术 a"O;DYh  
4.3测量系统及其标定 ;q%z\gA  
4.3.1结构光三维测量系统 havmhS)O  
4.3.2系统参数标定 B<.\^fuS  
4.3.3快速标定方法 {)b  
4.4位相展开算法 mc2uI-W  
4.4.1位相展开的基本原理 E+<GsN]  
4.4.2空间位相展开方法 xuqG)HthRS  
4.4.3时间位相展开方法 KCZ<#ca^  
4.4.4光栅图像采集与预处理 Ug0c0z!b  
4.5测量误差分析 %o\+R0K  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 Mby4(M+&n  
4.5.2非线性误差矫正方法 Qp:m=f6@  
4.6小结 HWFTI /]  
参考文献 ps`j>vX*  
第5章亚表面损伤检测 e&!c8\F  
5.1概述 U8>4ClJ4  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 Hq>hnCT  
5.2.1产生机理 ]FvGAG.*  
5.2.2表征方法 6Xo"?f  
5.3亚表面损伤检测技术 3 .j/D^  
5.3.1破坏性检测  6; )5v  
5.3.2非破坏性检测 /G]/zlUE  
5.4工艺试验 * Z)j"i  
5.4.1亚表面损伤的测量 &F7_0iAP(  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 H*N{4zBB  
5.4.3损伤抑制策略 wRK27=\z  
5.5小结 I} Q+{/?/  
参考文献 hD?6RVfG  
第6章其他测量技术 UYy #DA  
6.1移相干涉测量技术 ra^%__N}  
6.2动态干涉测量技术 Fx1FxwIJ  
6.3剪切干涉 ;{R;lF,  
6.4点衍射干涉 |9FrVO$M  
6.5白光干涉测量技术 Vz-q7*o$S  
6.6外差干涉测量技术 ='1hvv/  
6.7补偿法检测非球面
}Cfl|t<5f  
6.8计算全息法检测非球面 s7:_!Nd@8  
参考文献 6#
jql  
文摘 E|RC|Sz=u  
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