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案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
发布:
piaodongdewo
2014-10-28 13:33
阅读:
1424
案例:
LED
和准分子
激光
的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射
光学
照明
M?I^`6IOc8
微光学元件的分析和设计
V|pO";%>,
微
透镜
阵列
C%"aj^u
√
BKu<p<
Pe`jNiI
E+Dcw
[vxHsY3z
蝇眼聚光镜
a!,X@5
√
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RHmT$^=
1/c+ug!y
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衍射扩散器
>&Y\g?Z6G
√
VBK |*Tl
U=[isi+7
√
z]!w@:
[NbW"Y7
单元阵列 光栅单元阵列
0m4'm<2m
5`q#~fJ2
√
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√
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棱镜单元阵列
5X:3'*
S(_DR8
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√
vZXdc+2l
反射镜单元阵列
Fp>nu _-"
NdC5w-WY
&5hs W1`
)QI#szv6
√
=0SJf 3
由
DOE
产生的光分布
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高帽
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√
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√
Y /l~R7
√
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平顶
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√
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P[r$KGz
√
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√
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焦线
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√
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√
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√
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二元二维强度分布
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√
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√
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任意二维强度分布
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√
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√
(N5"'`NZA
点阵
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√
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√
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√
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点线
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√
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√
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√
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整形和匀滑
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单色
LED
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√
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√
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√
&?k`rF9
白光
LED
_:JV-lM
√
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mFE7#OM
√
_,w*Rv5=
准分子激光
7r pTk&`
√
Z1wfy\9c8
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√
(V"7H
Y>K8^GS
常见光束整形推荐使用的工具箱
N5b&tJbM0
推荐的工具箱
;`Z>^.CB
√
z'0 =3
√
N<QLvZh
√
Ef=4yH?\j
√
\p )eY#A
优化
Zm#,Ike?#
局部和全局
参数
优化
1h`# H:
√
A64c,Uv
EpENhC0
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+\J+?jOC4S
使用参数运行的全局优化
dCzS f4:
√
u2*."W\
q\Z9.T+Qo
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迭代傅里叶变换算法(
IFTA
)
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√
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单元阵列设计算法
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Ua+Us"M3}
√
v&` n}lS
公差仿真
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高度公差
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√
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√
MA v-#
掩膜蚀刻深度公差
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√
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Ev&aD
√
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边缘圆滑
模拟
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√
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√
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对准误差
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√
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√
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√
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波长
误差
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( z.\,M
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远场和近场分布的变化
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√
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√
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√
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由参数运行产生的实验系列
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√
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√
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加工数据的导出
1.q a//'RW
GDSII
文件
P!lTK
√
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√
sTFRu
√
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CIF
文件
LF_am*F
√
M1=y-3dW3
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√
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位图文件
F$>^pw
√
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C-L[" O0[
ASCII/.csv
文件
HXRK<6k$
√
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Mj- B;r
Point-Cloud
文件
;PG,0R`Z;
√
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D*o[a#2_
STL
文件
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