案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1431
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
~q/~ u  
微光学元件的分析和设计
`fJ;4$4  
透镜阵列
u$ci{<  
$3ZQ|X[|+  
t.O~RE  
_F4=+dT|  
K$:btWSm  
蝇眼聚光镜
#u\~AO?h  
M)wNu  
(sH4 T>  
8NE[L#k  
`jhbKgR[  
衍射扩散器
10r!p: D  
K)Z~ iBRM  
Ro<5c_k  
i*&b@.7N  
FLkZZ\  
单元阵列    光栅单元阵列
<Zfh5AM  
,Tx38  
i\.(6hf+  
$DnJ/hg;qD  
+~,q"6  
            棱镜单元阵列
zA$ f$J7\^  
rG[2.\&  
d#ab"&$bv  
[x`),3qD  
opzlh@R 3  
            反射镜单元阵列
]z=dRq  
K9nW"0>  
HB.:/ 5\  
^)|tf\4  
LUpkO  
DOE产生的光分布
'r-B%D=  
高帽
N693eN!  
[L|vBr  
XC}2GHO<  
*Csxf[O  
z`u$C+Ov  
平顶
wk^$DM/KJ)  
fmLDufx  
=t~]@?]1D  
[IHG9Xg  
}y(cv}8Y  
焦线
Zba<|C  
W+s3rS2  
L$,Kdpj  
889^P`Q5  
<5h}\5#<j  
二元二维强度分布
ox";%|PP1  
oJE<}~_k  
#a]\3X  
EVLDP\w{  
a |]}uFr  
任意二维强度分布
/:,}hy+U  
p"*xye x  
3lS1WA   
=dWq B&  
n-dC!t   
点阵
`:0Auw9h  
lx ~C{tl2  
AmCymT3P*e  
wjOJn]  
DoICf1  
点线
QV#HN"F/K  
R"z}q (O:  
yU~w Zjw  
e_S,N0  
E429<LQI/  
整形和匀滑
qR%as0;  
单色LED
;1r|Bx<5  
z\WyL;  
x69RQ+Vw  
85A7YraL  
7$R^u7DZ  
白光LED
8@FgvWC  
x4?g>v*J  
$$B#S '  
I(/*pa?m{  
<e@4;Z(h04  
准分子激光
.rlLt5b%  
Z:,`hW*A6  
(7??5gjh  
R|*Eg,1g -  
=&: |a$C  
常见光束整形推荐使用的工具箱
_.m|Ml,`{  
推荐的工具箱
@)ls+}=Y  
og4mLoLA  
fzN?X=  
,"?8  
A":cS }Ui  
优化
emT/H 95|,  
局部和全局参数优化
Zb<D%9  
h5v=h>c  
m,rkKhXP  
<Iil*\SC  
d-H03F@N  
使用参数运行的全局优化
dvAz}3p0]  
ahN8IV=+Gm  
X'/'r.b6  
4S* X=1  
8 9maN  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
n3\~H9  
i G%R'/*  
yQN^F+.  
'sa>G  
T#&X7!4  
单元阵列设计算法
Bf3 QB]9  
=9:gW5F69  
n8z++ T&  
!-JvVdM;(  
g$JlpD&  
公差仿真
59X XmVg  
高度公差
ofs'xs1C  
NE| Q0g  
*y|zF6  
 y&wo"';  
G#1W":|`  
掩膜蚀刻深度公差
[<wpH0lNoy  
sDBwD%sb  
\GZ|fmYn  
nL]eGC  
"z-tL  
边缘圆滑模拟
s#Xfu\CP  
_]L]_Bh  
R_ )PbFw  
nXERj; Q"  
h%sw^;\!  
对准误差
Fx:4d$>;  
6A ptq  
hG272s2  
WwxV} ?Cf+  
VKSn \HT~  
波长误差
XI,=W  
hd`jf97*  
j rX`_Y  
jI9#OEH_g  
(#]9{ C;  
远场和近场分布的变化
lWBewnLKE  
h+j*vX/!  
`$vf9'\+  
}%D${.R]  
Uz%ynH  
由参数运行产生的实验系列
]&tcocq  
!=u=P9I  
/L./-92NH4  
^UFNds'q  
.9UrWBW\I  
加工数据的导出
gu&W:FY  
GDSII文件
>'jkL5l  
e{^^u$C1.e  
-vc ,O77z"  
SH O&:2  
**.23<n^W  
CIF文件
:m>Vp  
/[n]t  
R 83PHM  
\ rKUPI\  
hBhbcWD,ka  
位图文件
$9u:Ox 2  
+{#Z^y6&  
*w/N>:V0p  
3_]QtP3  
'}-QZ$|*  
ASCII/.csv文件
QP>F *A  
{XwDvLZ  
4 []!Km  
<;cch6Z  
fUZCP*7>  
Point-Cloud文件
p&D7&Sb[  
+fq\K]  
;vn0b"Fi3  
12: Q`   
 `YO&  
STL文件
p\Iy)Y2Lf!  
O3pd5&^g  
] v:"    
GB,ub*|  
fB'Jo<C  
蚀刻掩膜的计算
a>+m_]*JZ  
=5uhIU0O  
12Fnv/[n'K  
k L4#  
s!1/Bm|_T  
自定义
?v'CuWS  
可编程元件
C IRMAX  
7Q,<h8N\5  
@moaa}1  
a.ijc>K  
/;xrd\du  
可编程探测器
vG=Pi'4XXo  
)Lk2tvr  
,mz7!c9H^a  
#Yy5@A}`o  
eKU4"XTk  
可编程光源
rA @|nL{  
qoW$Iw*q)B  
?}EWfsA  
P]L%$!g  
\Rha7O  
MATLAB可编程界面
^x_.3E3Q  
A{\DzUV9,  
R@`xS<`L/  
+aqQa~}r  
^9YS dFH/  
C#可编程界面
B}aW y&D  
YfNN&G4_  
"j.Q*Hazg  
auM1k]  
C[;7i!Dv  
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