案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1424
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
M?I^`6IOc8  
微光学元件的分析和设计
V|pO";%>,  
透镜阵列
C%"aj^u  
BKu< p<  
Pe` jNiI  
E+Dcw  
[vxHsY3z  
蝇眼聚光镜
a!, X@5  
,m5tO  
R HmT$^=  
1/c+ug!y  
&,$N|$yK}|  
衍射扩散器
>&Y\g?Z6G  
VBK|*Tl  
U=[isi+7  
z]!w@:  
[NbW"Y7  
单元阵列    光栅单元阵列
0m4'm<2m  
5`q#~fJ2  
 Rp6q)  
vHb^@z=  
WpC9(AX5g  
            棱镜单元阵列
5X:3'*  
S(_DR 8  
)g`~,3G  
/?*ut&hwv  
vZXdc+2l  
            反射镜单元阵列
Fp>nu_-"  
NdC5w-WY  
&5hs W1`  
)QI#szv6  
=0SJf 3  
DOE产生的光分布
.d+zF,02Z  
高帽
SA?1*dw)  
*O7PH1G  
p Moza8  
Y /l~R7  
sk@aOv'*(  
平顶
As j<u!L  
#{J+BWP\o  
P[r$KGz  
)-25?B  
uYijzHQyD  
焦线
~w}=Oby'y  
M*aYcIU((  
w7f)v\p  
kkXe=f%  
{d> 6*b  
二元二维强度分布
+R"n_6N  
BJ{?S{"6%G  
l)V646-O,~  
1D%E})B6  
UI*&@!%bzp  
任意二维强度分布
l|M|;5TW  
+P.JiH`\=  
VREDVLQT  
t<%+))b  
(N5"'`NZA  
点阵
i*mI-l  
3;R`_#t+  
 &%T*sR  
/'^ BH A|h  
X7?j90tH  
点线
/bmkt@$-0  
::@JL  
S KGnx  
#hXuGBZEI  
.ZM0cwF  
整形和匀滑
?"@SxM~\  
单色LED
L5CnPnF  
}TDq7-(g  
4v2JrC;  
1;vwreJ  
&?k`rF9  
白光LED
_:JV-lM  
 nWUau:%  
}MtORqK  
mFE7#OM  
_,w*Rv5=  
准分子激光
7r pTk&`  
Z1wfy\9c8  
OOYdrv,  
(V"7H  
Y>K8^GS  
常见光束整形推荐使用的工具箱
N5b&tJb M0  
推荐的工具箱
;`Z>^.CB  
z'0 =3  
N<QLvZh  
Ef=4yH?\j  
\p)eY#A  
优化
Zm#,Ike?#  
局部和全局参数优化
1h`#H:  
A64c,Uv  
EpENhC0  
;9qwB  
+\J+?jOC4S  
使用参数运行的全局优化
dCzS f4:  
u2*."W\  
q\Z9.T+Qo  
Vb?_RE_H  
.G|U#%"6x  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
*k0;R[IAV  
Wr,pm#gl6  
e{.P2rnh  
6lwWFR+k  
7s;*vd>  
单元阵列设计算法
t<cWMx5ra  
pzU:AUW  
/ q^_ 'Lp  
Ua+Us"M3}  
v&`n}lS  
公差仿真
Y }8HJTMB  
高度公差
Dj w#{WR  
07Oagq(  
_F jax  
QtOT'<2t]  
MA v-#  
掩膜蚀刻深度公差
x^ sTGd  
3.%jet1  
Ev&aD  
qwo{34  
kFi=^#J{  
边缘圆滑模拟
|tO.@+[uqP  
lV?OYS|4i  
!XY}\zKq  
>F/5`=/'h  
XMpE|M! c  
对准误差
dj3E20Ws  
q_:B=w+bC  
$HV`bJ5!L*  
/fxv^C82yv  
@oFuX.  
波长误差
}k6gO0z  
UujKgL4  
\p!mX|  
( z.\,M  
AHTQF#U^  
远场和近场分布的变化
yzJTNLff  
$9<P3J 1  
7XiR)jYo*  
wU5= '  
.p\<niu7  
由参数运行产生的实验系列
AO0aOX8_+D  
;3N>m| ?D=  
IaRq6=[  
.4,l0Nn`W  
q]z%<`.9*  
加工数据的导出
1.q a//'RW  
GDSII文件
P!lTK   
(\$=+' hy  
l1}HJmom  
sTF Ru  
\oAxmvt  
CIF文件
LF_am*F  
M1=y-3dW3  
\ dZD2e4  
?1/wl;=fm  
j*@EJ"Gm>  
位图文件
F$>^pw  
w_^g-P[o-  
{#uf#J|  
-hpMd/F  
C-L["O0[  
ASCII/.csv文件
HXRK<6k$  
<}^l MBa  
YDo,9  
mi$*,fz  
Mj-B;r  
Point-Cloud文件
;PG,0R`Z;  
Km,:7#aV  
/*) =o+  
\J3n[6;  
D*o[a#2_  
STL文件
)w!*6<  
'Lv>!s 7  
gjhWoZV  
_.$g?E/(  
d"JI4)%  
蚀刻掩膜的计算
b>"=kN/  
XKT2u!Lx  
A]"IQ-  
dEM=U;  
$Xr9<)?,  
自定义
*L~88-V^  
可编程元件
8t Ef>  
zWEt< `1M  
0'.7dzz  
M4(`o^n  
%O_Ed {G4t  
可编程探测器
- d(RK_  
oN6 '%   
S`?cs^?  
Ik74%x7G`  
orzy &4  
可编程光源
Y>: e4Q  
X[ up$<  
ykbTWp$Y4Z  
&fYV FRVkq  
.8.LW4-ff  
MATLAB可编程界面
&DgJu.  
kan4P@XVS  
8o4?mhqV  
\a}W{e=FNT  
k+FiW3-  
C#可编程界面
|&]04  
-^%YrWgd?  
17{$D ,P  
($ l t@j  
)0W-S9e<  
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