案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1456
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
9a~BAH,j  
微光学元件的分析和设计
J,^pt Ql  
透镜阵列
{^$"/hj  
H:{(CY?t  
[[66[;  
]N(zom_0d  
.k:&&sAz  
蝇眼聚光镜
48&KdbGX  
4KSP81}/\  
]-s`#  
[>Kxm  
"$:y03V  
衍射扩散器
A^Hp#b @  
G`9F.T_Z^)  
BE2\?q-  
a+a%}76N  
'xrbg]b%  
单元阵列    光栅单元阵列
Dgq[g_+l  
,YMdXYu`s  
TaHi+  
Y'a(J7  
f s"V'E2a  
            棱镜单元阵列
\q`+  
vVN[bD<  
wgR@M[]o;  
K[|P6J   
bQN4ozSi  
            反射镜单元阵列
$ p1EqVu  
R?9Plzt5  
K?OX  
1yRd10  
U/&qV"Ih  
DOE产生的光分布
eP'kY(g8   
高帽
+q=jB-eIx  
mlw BATi  
vLT12v:)`  
&$z1Hz+l  
(uK), *6B  
平顶
nu9k{owB T  
qF6%XKbh=  
xo 'w+Av  
{)[g  
Cg\)BHv~  
焦线
xY'YbHFz  
j83Y'VJJC  
S+xGHi)  
I/-w65J]  
]<_!@J6k  
二元二维强度分布
 p|8Fl  
Y(yJ|y&  
__n"DLW  
C`_D{r  
Ay6rUN1ef  
任意二维强度分布
[3NV #  
L8K3&[l%  
fU~y481 A  
9C~GL,uKs  
E|uXi)!.x  
点阵
u]-El}*[  
KIY_EE$?  
$I0a2Z=dP  
Cv7RCjMw  
)3\rp$]1  
点线
k#+^=F^)I  
5h^qtK  
{Om3fSk:  
v=WDs#"  
]Oh>ECA|D  
整形和匀滑
acZ|H  
单色LED
+hhbp'%  
.7Bav5 ;  
, ZW.P`  
pG=zGx4  
+Ws}a  
白光LED
Cu<ojN- $  
2qR@: ^  
g8@HAV^H  
dsoRPX']=  
;.m[&h 0  
准分子激光
^o<Nz8  
}(O kl1  
 ]= D  
ATewdq[C  
au~gJW-  
常见光束整形推荐使用的工具箱
jo:p*Q "F  
推荐的工具箱
EqwA8? M  
mM~Q!`Nf.  
?& ^l8gE  
Raqr VC  
5S?Xl|8E  
优化
\srOU|  
局部和全局参数优化
*g.,[a0  
r2`?Ta  
!}m 8]&  
KA[Su0  
w8zQDPVB%  
使用参数运行的全局优化
%j`]x -aOz  
A[Xw|9  
$>`8'I  
+eat,3Ji  
05DtU!3O  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
PkO(Y!  
ld0WZj  
/;[')RO`  
0(.C f.B~  
I!%@|[ Ow  
单元阵列设计算法
E$baQU hKS  
7k3\_BHyb\  
[#V! XdQ,  
oOvbel`;  
RAa1KOxZX  
公差仿真
+<#-52br\  
高度公差
v7RDoO]I  
A-5%_M3\G  
HxAa,+k  
{rr\hl-$  
X13bi}O6#  
掩膜蚀刻深度公差
F U%b"gP^  
=Ih_[$1dw  
T~d';P  
!h;VdCCi#  
w-m2N-"= '  
边缘圆滑模拟
l$NEx0Dffz  
Z H*?~ #  
jk?(W2c#{  
T!AQJ:;1  
m[rJFSpef  
对准误差
GH!#"Sl8Z  
_=p|"~rN$  
fz\Az-  
?J AzN  
nfU}ECun4  
波长误差
_t7A'`Dh]  
n ~)%ou  
#=c%:{O{4R  
eAEVpC2  
>U]. k8a)  
远场和近场分布的变化
Nsy.!,!c  
%r!-*p<i|  
) eV]M~K:  
4H)a7 <,  
yCVBG  
由参数运行产生的实验系列
B:SRHd{*Wu  
4D5)<3N=d'  
N[%IrN3  
tVwN92*J  
c_ i;'  
加工数据的导出
m;|I}{r  
GDSII文件
sT ONkd  
z'o+3 zq^  
7UiU3SUcg  
Wh7nli7f_  
|b'AWI81D  
CIF文件
>{[J+f{~|  
uFgw eOJ  
6/ )A6Tt  
>2r/d  
pbNVj~#6  
位图文件
+= QboUN  
Tu"](|I>   
;3_'{  
.#SWfAb2h  
x$t=6@<]  
ASCII/.csv文件
k 'o?/  
@r<w|x}  
-3C~}~$>`  
k K(,FB  
YI/vt2  
Point-Cloud文件
R~o?X ^^O  
"&~Um U4CN  
6 [IiJhVL  
{chl+au*l  
H"sey +-  
STL文件
_?8T'?-1  
UaB!,vs3st  
L))(g][;  
on~rrSK  
is,_r(S  
蚀刻掩膜的计算
Yd9y8Tq J  
}6\p7n  
o Vs&r?\Z  
|1EM )zh6  
cK""Xz&m  
自定义
@d)6LA9Ec  
可编程元件
&( Z8G~h4  
?%?@?W>s@  
!GO4cbdQ  
Z^b1i`v  
'{EDdlX  
可编程探测器
.- w*&Hd7b  
G'%mmA\  
y37@4p^@9  
6D>o(b2  
0 @>3fR  
可编程光源
IP-mo!Y.  
FXIQS'  
XWk^$"  
H}d&>!\}F  
W n|w~{d{  
MATLAB可编程界面
(%".=x-  
tH$Z_(5  
l+@NjZGm<  
,oR}0(^"\<  
{epsiHK@tK  
C#可编程界面
\D0Pik@?  
1 #_R`(C{  
I-^Y$6-  
Nt/>RCh  
SH"O<c Dp  
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