案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1590
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
q:0N<$63  
微光学元件的分析和设计
]p GL`ge5  
透镜阵列
'sKk"bi;0  
p)-^;=<B3  
m dg8,n  
()?(I?II  
4l'fCZhA}  
蝇眼聚光镜
Lg.gfny[(t  
_< V)-Y  
G j?t_Zln  
1n8/r}q'H  
MKk\ u9  
衍射扩散器
 4e7-0}0  
Bm<`n;m  
\?-<4Bc@  
V)k4:H  
o5PO =AN  
单元阵列    光栅单元阵列
Q&tG4f<  
lrE5^;/s1  
l|[N42+  
Of#u  
{dlXLx!B  
            棱镜单元阵列
f'RX6$}\1X  
 |>^JRx  
| YWD8 +  
V1zmGy  
Dx?,=~W9  
            反射镜单元阵列
`$ 9x1dx  
khxnlry  
&6!)jIWJ  
*N<]Xy @  
g:@#@1rB6  
DOE产生的光分布
BDDlQci38  
高帽
^{`exCwM x  
g$-PR37(  
qe#tj/aZ  
4p F*"B  
zC!t;*8a  
平顶
@,+5y\]C  
H*R"ntI?w  
 V}CG:9;  
cV6D<,)  
C}Cs8eUn  
焦线
 mq.`X:e  
T!#GW/?  
!Ai@$tl[S  
2%m BK  
X+9>A.92  
二元二维强度分布
b8UO,fY q  
v\ )W?i*l  
(L&d!$,Dv  
{;1\+ f  
W ac&b  
任意二维强度分布
_B<X`L =  
k y7Gwc  
\R_C&=  
_`T_">9r  
a;+9mDXx:  
点阵
6cXyJW  
a1lh-2x X  
?6U0PChy  
NXrlk  
rEW b"  
点线
)ez9"# MH'  
a`>B Ly5o  
0GeTS Fj  
rV#ch(  
onzxx4bax  
整形和匀滑
 qX{+oy5  
单色LED
7!E,V:bt'  
(!WD1w   
g($2Dk_F2  
8d'0N  
~9@UjQ^)F  
白光LED
)SGq[B6@I  
eSq.GtI  
 \4fQMG  
5.GR1kl6  
3!]rmZ-W  
准分子激光
%.|@]!C  
' `Hr}  
VOLj>w  
NzvXN1_%  
tR$NRMZ.  
常见光束整形推荐使用的工具箱
]/L0,^RI  
推荐的工具箱
6'f;-2  
j3Y['xDv  
K}Qa~_  
y:uE3Apm  
tCt#%7J;a  
优化
nxFBID  
局部和全局参数优化
f/?P514h  
M o|2}nf  
!4+<<(B=E  
RViAwTvY  
v]UwJz3<  
使用参数运行的全局优化
CqC`8fD1  
]`WJOx4  
QMm%@zH  
;O,jUiQ  
%WS+(0*1  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
@H8EWTZ  
dWBA1p  
ns4,@C$  
jPkn[W# 6  
*o ix6  
单元阵列设计算法
>H ,*H;6  
+=)+'q]S  
YS_; OFsd  
&K,i f  
u*9V&>o  
公差仿真
U6s[`H3I{  
高度公差
"0TZTa1e  
BMf@M  
K*dCc}:`  
BY*8ri^u  
klhtKp_p  
掩膜蚀刻深度公差
[2cD:JL  
V=3b&TkE  
k9F=8q  
]]yO1x$Kk  
-UT}/:a  
边缘圆滑模拟
d/ @,@8:  
BJ(M2|VH  
,R|BG  
/qw.p#  
f%hEnZv  
对准误差
Z3!`J&  
T51 `oZ`  
P!k{u^$L  
kcx Ad   
Oow2>F%_#  
波长误差
(7*}-Uy[C  
U m+8"W  
<a+Z;>  
/a o5FL  
:BT q!>s  
远场和近场分布的变化
I2Yz#V<%ru  
&kw@,];4Z  
k VQ\1!  
:~^ (g$Z  
[ikOb8 G#  
由参数运行产生的实验系列
<54 S  
"zy7C*)>r  
gZ1?G-Q  
@=kSo -SX  
)dSi/  
加工数据的导出
H>@+om  
GDSII文件
WuW^GC{7  
W@!S%Y9  
hR|MEn6KC  
RpYERAgT  
3f;>" P}  
CIF文件
`@s^(hc7i  
f y8Uk;  
VLN_w$iEq  
`y* }lg T  
_wL BA^d^  
位图文件
&jr3B;g!C  
~F7gP{r  
s"?3]P  
9~YMyg(Z  
>yh2Lri  
ASCII/.csv文件
b<u3 hln%,  
WOf 4o  
7v_8_K  
N)>ID(}F1  
t&Og$@  
Point-Cloud文件
A. w:h;7  
CVR3 A'  
'[O;zJN;  
C2)2)  
T9q-,w/j;  
STL文件
KCDE{za  
W+1^4::+  
*4_Bd=5(U  
/|#fejPh  
f:P}*^ Gw  
蚀刻掩膜的计算
5nVt[Puw  
/JU.?M35  
r/*D:x|yN  
?b5 ^  
sFTy(A/  
自定义
{cw /!B  
可编程元件
@$K"o7+]   
y L~W.H  
B4 8={  
~.lPEA %%  
Lq!>kT<]!  
可编程探测器
t<?,F  
@!d{bQd,  
eGbG w  
S`m]f5u|  
XHGFf_kW_N  
可编程光源
R_S.tT!  
jOD?|tK&  
"Os_vlapHo  
R,=fv   
yJe>JK~)  
MATLAB可编程界面
4|#WFLo@  
QnX(V[  
8|58 H  
CQDkFQq-dq  
n>U5R_T  
C#可编程界面
sds"%]r g  
IRqy%@)  
,izO{@We2{  
d9|<@A  
{U !g.rh  
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