案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1523
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
Fb}9cpz{  
微光学元件的分析和设计
. =+7H`A  
透镜阵列
cCeD3CuRA%  
#&/*ll)  
k+i=0 P0mf  
c8Opc"UE  
q)vD "{0.  
蝇眼聚光镜
<zUmcZ  
S xgY q  
_1hqD EM  
'nLv0.7*  
qI"mW@G~H  
衍射扩散器
@s[bRp`gd  
aL`pvsnF  
~Ch`A@=5  
{.2C>p  
YA|*$$  
单元阵列    光栅单元阵列
HWd,1  
b9vKux  
n}+ DO6J  
 z/ i3  
m$ JQ[vgh  
            棱镜单元阵列
,yT4(cMBk?  
TwkzX|  
[J];  
M-Js"cB[  
V?gQ`( ,  
            反射镜单元阵列
#A/jGv^  
X}Csl~W8in  
 O{4m-;  
m1<B6*iG"  
J>'o,"D  
DOE产生的光分布
`?$R_uFh:  
高帽
v3/cNd3  
7}#vANm  
dYsqF 3f  
m ;KP  
$`Ou*  
平顶
JrQN-e!  
IFE C_F>  
J^W.TM&q$,  
oYF8:PYB  
-{w&ya4X  
焦线
Gg&jb=  
@-m&X2J+c  
*0iP*j/]  
f;b(W  
F3qi$3HM  
二元二维强度分布
!pN,,H6Y  
e*g; +nz  
87HVD Di  
"<&F=gV  
o+nU{  
任意二维强度分布
*=I#VN*_<.  
%'>. R  
?;*mSQA`J  
vxwctJ&  
-r,J>2`l  
点阵
`)%eU~  
Rub""Ga  
@wg*~"d  
4@bL` L)  
[$V_qFv{  
点线
_ x7Vyy5  
CEUR-LK0  
_W!g'HP-D  
="u(o(j"  
Pc$<Cv|vz  
整形和匀滑
`$i`i'S  
单色LED
tVe*J@i\$  
MAR;k?d  
A$ S9 `  
& IDF9B  
YZoudX'"  
白光LED
+Q'/c0o  
[A3hrSw  
[<%yUy  
n,0}K+}  
y/PEm)=Tt  
准分子激光
K=~h1qV:  
UyJ5}fBJ  
-_2= NA?t  
P#yS]F/  
P8TiB  
常见光束整形推荐使用的工具箱
wRuJein#  
推荐的工具箱
^+P]_< 43  
l&C%oW  
}R>g(q=N  
1di?@F2f  
1LE8,Gm&  
优化
*m|]c4  
局部和全局参数优化
<:ZN  
B0YY7od  
]];7ozS)X  
7lh%\  
Z|j8:Ohz  
使用参数运行的全局优化
3)T5}_  
c\R! z&y~  
5-+Y2tp}  
LN7;Yr  
MjLyB^ M  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
8Mp  
sd=i!r)ya  
X/.|S57  
0.Iw/e  
}we"IqLb  
单元阵列设计算法
IP~g7`Y  
21;n0E  
)kd PAw  
^%_LA't'R  
?n_Y _)9  
公差仿真
Oo#wPT;1^(  
高度公差
- BocWq\  
paF2{C)4  
7gJ`G@y  
t%=ylEPW  
tBf u{oC  
掩膜蚀刻深度公差
D9Q%*DLd$_  
!>! l=Z  
sGzd c  
,@2O_O`:  
9aXm}  
边缘圆滑模拟
LxG :?=O.  
.!Z.1:YR  
yJgnw6>r2  
zZA I"\;W  
iedoL0#  
对准误差
Ot/Y?=j~  
$YW z~^f  
lQ)8zI  
6vmkDL8{A8  
m(&ZNZK  
波长误差
/ P{f#rV5  
()P?fed  
|_2O:7qe  
)} /9*  
!ZB|GLpo6  
远场和近场分布的变化
^%C.S :  
4}l,|7_&I  
E]+W^ VG  
IoA"e@~t  
J]Y." hi  
由参数运行产生的实验系列
ku\_M  
? Bk"3{hl  
 g\n@(T$)  
fOrqY,P'  
$H-s(3vq  
加工数据的导出
o6svSS  
GDSII文件
X, J.!:4`  
~C[R%%Gu  
:e gSW2"5S  
Q%@l`V)Rs  
F!.@1Fi1  
CIF文件
5vY1 XZt{  
Fnr*.k  
:y]l`Mo -  
`kFxq<?aK  
Mc{1Cdj  
位图文件
sHAzg^n}r  
A4'v Jk  
d~YDg{H  
"j~=YW+l  
.w&{2,a3  
ASCII/.csv文件
|QXW$  
`Ol*"F.+I  
C[&L h_F\  
pcL02W|J  
_:=w6jCk  
Point-Cloud文件
P3(u+UI3  
u\>Ed9^  
lHZf'P_Wx  
r@wWGbQ|L  
]`+>{Sx 1  
STL文件
=@B9I<GKf  
U<o,`y[Tn  
b) .@ xS  
kvryDM  
1jQz%^~  
蚀刻掩膜的计算
A2F+$N  
Z+Z`J; ,  
,7tN&R_  
~vG~Z*F  
!t[X/iu  
自定义
/ptIxe  
可编程元件
2}+V3/  
IOt!A  
>m%\SuXq  
HOXqIZN85  
7?B]X%  
可编程探测器
H@'Y>^z?  
R '"J{oR  
N'|zPFk g  
 03_tt7  
8h-6;x^^  
可编程光源
Hd6Qy {,*-  
eEupqOF*:W  
C %y AMQ  
P2f~sx9  
!!dNp5h`  
MATLAB可编程界面
wGAN"K:e  
Ewu 7tq Z  
Ow mI*`  
hDzKB))<w  
V=.lpj9m  
C#可编程界面
En-eG37 l  
L@0DT&5  
qD Nqd  
swe6AQ-  
a)[tkjU  
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