案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1578
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
a).bk!G  
微光学元件的分析和设计
6tg0=_c  
透镜阵列
y9L:2f\  
t9B]V  
:If1zB)  
X"qC&oZmf  
%rZJ#p[e)=  
蝇眼聚光镜
6?v)Hb}J%d  
4RV5:&ALLS  
L z'05j3!  
-Am ~CM  
I`e |[k2  
衍射扩散器
]OKs 65  
wx|eO[14  
{qHf%y&[  
GY%48}7  
N\OeWjA F  
单元阵列    光栅单元阵列
~L.)<{?  
U^$o< 2  
P9aGDma  
GCTf/V\#  
v&GBu  
            棱镜单元阵列
|tU4(hC  
} 1 >i  
."m2/Ks7  
T>ds<MaLP  
g&30@D"  
            反射镜单元阵列
R8 lBh Ls  
s5TPecd  
KC-q]  
jJF(*D  
aa1^cw 5}  
DOE产生的光分布
yI 6AafS~  
高帽
=gb.%a{R  
U`es n?m!  
v]tbs)x;h  
<-:gaA`KM  
$6a55~h|(  
平顶
)(|+z'  
OJUH".o  
(@H'7,  
pbe" w=<  
b=!G3wVw<  
焦线
_T 5ZL  
}l/ !thzC  
0# D4;v  
tU02t#8  
h9,ui^#d$  
二元二维强度分布
%z&=A%'a  
>900O4  
)/u?_)b4"  
*t'q n   
ZlHN-!OZp  
任意二维强度分布
TlD)E  
{]aB3  
:66xrw  
1)8;9 Ba:  
gu[3L  
点阵
&>I4-D[  
g_\U-pzr  
);*A$C9RA  
U[1Ir92:  
R<+K&_  
点线
Ldnw1xy  
/h=:heS4$  
oGi;S="I  
*7'}"@@  
* _puW x  
整形和匀滑
_ 13M  
单色LED
!A(*?0`  
yp=(wcJ  
v*+.;60_  
lS.*/u*5  
xeqAFq=9?  
白光LED
S.bB.<  
$F!)S  
rULrGoM  
io_4d2uBh  
K4Mv\!Q<8  
准分子激光
ALqP;/  
je6H}eWTC6  
t =ErJ  
:zk69P3  
tkBp?Wl  
常见光束整形推荐使用的工具箱
**L. !/  
推荐的工具箱
U$j*{`$4  
Hn%n>Bnl  
KXEDpr  
PSX-b)wb  
85U')LY  
优化
^lCys  
局部和全局参数优化
6$qn'K$  
\8%64ZL`  
-I7"9}j3  
yjUSM}$  
L 0?-W%$>  
使用参数运行的全局优化
4-@D`,3L  
X p4x:N  
`<>Emc8Z  
ZzA4iT=KO  
9/[3xhB4  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
l$$N~FN  
b&BSigrvou  
f!;4 -.p`  
^&iUC&8W  
"V!y"yQ  
单元阵列设计算法
HCHZB*r[  
|7Z7_YWs  
(P {o9  
wykk</eQ.i  
~C6Qp`VF  
公差仿真
M#II,z>q  
高度公差
G*_$[|H  
\M>}-j`v  
z}v6!u|iZu  
5bZf$$b  
Q70LQCms  
掩膜蚀刻深度公差
-g'[1  
bV_@!KL$  
m\~{l=jIS  
;C=C`$Q  
hO3>Gl5<  
边缘圆滑模拟
Nq|b$S[4  
^<fN  
c?;~ Z  
)h-Qi#{  
swv 1>52{  
对准误差
mF\r]ovVm  
+~lZ]a7k  
t(FI Bf3  
D~W1["[  
tPh``o  
波长误差
CO!K[ q#  
)0Av:eF-+  
q~9Y&>D  
j #e^PK <  
ndEW$?W,  
远场和近场分布的变化
;C,D1_20Z  
<igsO  
{R b|";  
QGE)Xn#_bN  
4 %do.D*  
由参数运行产生的实验系列
NMYkEz(&R  
FV|/o%XqK  
Ht.0ug  
cTf/B=yMi  
,Q~C F;qe  
加工数据的导出
sV{M#UF2  
GDSII文件
r:u,  
`4E6&&E+S  
nzI}w7>VU  
|Rk$u  
`[vm{+i  
CIF文件
*G)=6\  
86(8p_&zC  
_bp9UJ  
NQCJ '%L6  
03aa>IO  
位图文件
|/B2Bm  
K1c@]]y)  
<a_Q1 l  
f(Jz*el S  
*gHGi(U(U  
ASCII/.csv文件
OEc$ro=m*  
G  @ib  
p7y8/m\6  
|1vi kG8  
JA'C\  
Point-Cloud文件
=#qf0  
Zr`pOUk!4  
G|5M~zP  
9(`d h  
nRKh|B)  
STL文件
Y{~[N yE  
5"1kfB3v  
M7rVH\:[-  
'5j$wr zt  
E>xd*23+\  
蚀刻掩膜的计算
`4V_I%lJ&  
Z>GqLq\`ed  
fN4d^0&  
v6B}ov[Y2  
#kD8U#  
自定义
Z/nTI 0N{  
可编程元件
XD>(M{~  
Ra%" +=  
g~EJja;  
/Q Xq<NG  
~Dsz9  f  
可编程探测器
9/N=7<$  
4Eq$f (QJ  
md8r"  
s>8;At-  
iXl6XwWT%8  
可编程光源
5(F @KeH>  
\bJ,8J1C  
>U/ m/H'  
~s_n\r&23  
0"q^`@sZ  
MATLAB可编程界面
s&-m!|P  
a#i;*J  
mx`C6G5  
1t"  
E3bS Q  
C#可编程界面
N;4tvWI  
b65V*Vbj  
e.X*x4*>~  
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hrsMAh!  
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