案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1605
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
Qe7 SH{  
微光学元件的分析和设计
U\{I09@E 0  
透镜阵列
0:`YY 8j1k  
"E5=AW d  
\l[AD-CZPh  
g~|x^d^;|  
e=jtF"&  
蝇眼聚光镜
b<r*EY  
%PR,TWe  
9l&G2 o   
o=5hG9dj  
mT j  
衍射扩散器
lzFg(Ds!f  
.aK=z)  
l)KN5V  
N1n\tA?  
Zia6m[^Q  
单元阵列    光栅单元阵列
][OkydE  
s!Id55R]  
~d3BVKP5  
2mx }bj8  
E/% F0\B  
            棱镜单元阵列
)OlYz!#?  
|~Awm"  
x1CMW`F  
zZ<~yi3A9  
>NpW$P{'  
            反射镜单元阵列
$Ixd;`l*  
N0 t26| A  
v!mP9c j  
N7s9"i  
l29AC}^  
DOE产生的光分布
zcEpywNP  
高帽
hB:+_[=Kj.  
e [F33%  
zlh\P`  
7vH4}S\ q  
jd+HIR  
平顶
b` 9Zin  
~3Z(0 gujD  
% e70*;  
>\5ZgC  
.R^]<b:`  
焦线
xJvalb   
J2`OJsMwWe  
\>eFs} Y/  
hn/SS  
/hyCR___  
二元二维强度分布
=4x-x nA  
k"FY &;G(G  
6z67%U*8r  
5_L43-  
)T^aJ-Uf  
任意二维强度分布
} M\G  
-1!s8G  
1Imb"E  
qkyYt#4E  
eR8>5:V_  
点阵
c$3ZEe  
]<O -  
lzZ=!dG  
IG@@CH  
SR\$fmo  
点线
N<lf,zGw  
`udZ =S"/L  
w?p8)Q6m  
odq3@ ziO  
v\COl*  
整形和匀滑
1]jUiX=T  
单色LED
xJ|Z]m=d   
a% 82I::t  
Hkj| e6  
;W#/;C _h  
Vg"Ze[dA  
白光LED
n %P,"V  
}4I;<%L3`  
P,Rqv)}X  
9\NP)Vm$^  
A}n5dg0u  
准分子激光
c\eT`.ENk  
mc5$-}1V,  
1^=[k  
:!gzx n  
t!vlZNc  
常见光束整形推荐使用的工具箱
L`Q9-#Y  
推荐的工具箱
|=}v^o ZC  
5'O.l$)y  
9]/j u  
8 uhB&qxB  
]z/  
优化
vui{["  
局部和全局参数优化
z15QFVm  
/ k8;k56  
rO{"jJ  
1]XIF?_D m  
t]%! vXo  
使用参数运行的全局优化
=Hs~fHa)  
V.274e  
UwxrYouv~@  
V 5ihplAk  
3/hAxd  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
C!" .[3  
OECXNx  
QCWk[Gx  
@$'1  
*Cgd?*\7  
单元阵列设计算法
OG}D;Ew  
l+V5dZ8W  
}"?K Hy  
S\UM0G}v  
$pGk%8l%  
公差仿真
L:F:ZOM6`  
高度公差
=<[ZFO~v  
Q-N.23\1  
&_E*]Sj\  
DP_ bB(  
YR`Mi.,Sfm  
掩膜蚀刻深度公差
$rC`)"t  
8Lpy`He  
7e"(]NC84  
9?W38EF  
.*g;2.-qv&  
边缘圆滑模拟
8)k.lPoo.  
4[&6yHJ^  
@*O(dw  
%tzz3Y  
c$'UfW  
对准误差
L3~E*\cV  
#Y*AGxk  
K~WwV8c9;  
QrPWS-3~!  
} q ? iJ?P  
波长误差
(Qq$ql27  
#UJ@P Dwil  
3-8Vw$u  
Yazpfw 7'd  
 . yu  
远场和近场分布的变化
t5N4d  
%]Nz54!  
aV(*BE/@F  
q#Qr@Jf  
[* > @hx  
由参数运行产生的实验系列
{+t'XkA  
I|O~F e.  
tY :-13F  
95wV+ q*  
M=N`&m\  
加工数据的导出
r%'2a+}D  
GDSII文件
W3 8 =fyD  
xD1B50y U  
D1O7S]j  
?j0blXl  
y_QxJ~6t  
CIF文件
f3l >26  
i]$7w! r&  
`?6m0|\@  
); |~4#  
c*1x*'j.  
位图文件
t8)Fkx#8}  
^LC5orO  
U.6hLFcE  
JrL/LGY  
IW BVfN->}  
ASCII/.csv文件
kb7\qH!n  
BS|-E6E<  
{h%.i Et%  
zPkg3H  
8w*fg6,=  
Point-Cloud文件
t583Q/1@  
FUcs=7c  
ga~vQ7I_  
;Ok11wOw  
DU7Ki6  
STL文件
X7 Za Q .  
6|dUz*Pr|\  
i ~FCt4  
q2<J`G(tZ  
4rzioIk  
蚀刻掩膜的计算
s{: Mu~v  
X)&Z{ V>  
p$%h!.~99T  
9H)uTyuNi  
Dps{[3Y+  
自定义
XWUT b\@  
可编程元件
]Ns&`Yn{  
*nC,= 2  
=91'.c<  
=}"hC`3e  
q,(&2./  
可编程探测器
0,A?*CO  
bn(Scl#@K  
Sd\@Q% }o\  
0$_imjZ  
C1do]1VH  
可编程光源
'_&(Iwu  
Y}#^n7*w~  
z g j35  
/g9{zR [  
 !fV6KkV  
MATLAB可编程界面
G_<[sMC8  
J-f0  
@} Z/{Z[@  
E0h p%:  
Uy1xNb/d  
C#可编程界面
%i "  
Q+Fw =Xw  
"PHv~_:^R  
9]w0zUOL6  
:y %~9=  
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