案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1445
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
nNFZ77lg  
微光学元件的分析和设计
K G~fDb  
透镜阵列
U:`g12  
,9f$a n  
jibrSz  
ukr a)>Y[|  
/*lSpsBn  
蝇眼聚光镜
t$Z#zx X  
M+ gYKPP  
Q[y75 [  
g<Sa{<0  
,g$N  
衍射扩散器
U:E:"  
:R<n{%~  
Rd5r~iT  
#$Z|)i]w  
@"H+QVJ@  
单元阵列    光栅单元阵列
!58-3F%P  
16YJQ ue  
s]r"-^eS3  
.Tdl'y:..  
4y+] V~p  
            棱镜单元阵列
ge[+/$(1  
U&/Jh^Yy  
h"')D  
q7wd96G:  
It4J \S  
            反射镜单元阵列
^6ZA2-f/<8  
%9=^#e+pE  
~OEP)c\k  
SN'LUwaMp!  
+aV>$Y  
DOE产生的光分布
0bpl3Fh.v  
高帽
(CH F=g  
gRKmfJ*u  
[Qv%  
y2^r.6"O  
G;MgrA#\  
平顶
Z| +/Wl-h  
xk}YeNVj  
l9q ygh  
bI=\n)sEz  
>0SF79-RE  
焦线
8Hs>+Udl  
Vrf` :%  
q'M-a tE.  
V D.p"F(]  
~y^#?;  
二元二维强度分布
Sz"J-3b^  
r 06}@7  
w=3@IW  
h&5H`CR[  
^C@uP9g  
任意二维强度分布
!/['wv@  
H4 & d,8:m  
oyJ/Oe {  
_pKW($\  
v)+wr[Qs  
点阵
M&y!w   
o 1#XM/Z  
JQE^ bcr  
]{nFB3vtB  
=M 7FD  
点线
#* S0d1  
E[6JHBE*r  
)-[ 2vhXz  
yK0Q,   
Wb!%_1dER  
整形和匀滑
?a~=CC@  
单色LED
91%+Bf()J6  
lyIstfRh15  
9.lSF  
<{YP=WYW  
@|%t<{y^I  
白光LED
djPr 4Nog  
bu%@1:l  
Rmn|"ZK  
HQaKG4Z  
l`gRw4 /$  
准分子激光
Zo;@StN3}T  
HHCsWe-  
@o44b!i  
q uv`~qn  
<hdR:k@ #  
常见光束整形推荐使用的工具箱
2#*Bw=  
推荐的工具箱
RXt`y62yK  
?;|$R   
CTR|b}!  
3oxQ[.o  
 t\{q,4  
优化
Otn,(j;u  
局部和全局参数优化
ZGzrh`j{-  
gUL`)t\}*  
rd0BvQ9TK  
6}x^ T)R  
vp4!p~C{  
使用参数运行的全局优化
A]BG*  
5xLuuKG  
2[9hl@=%  
?O\n!c  
o&;+!Si@T  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
y$*Tbzp  
z.]t_`KuF9  
?_m;~>C  
z mrk`o~  
\0(QO8.  
单元阵列设计算法
r&1N8o  
@XDU !<N  
sTeL4g|%{  
^%#v AS  
6rt.ec(  
公差仿真
5U3="L  
高度公差
q' 3=  
0D|^S<z6  
4zpprh+`K  
sUfH1w)0  
M`Y~IG}  
掩膜蚀刻深度公差
1U@qR U  
K}`.?6O  
"p#mNc  
{G%`K,T  
G5"UhnOD'  
边缘圆滑模拟
2Ev~[Hb.  
{{SQL)yJ  
9"=:\PE  
d@7 ]=P:  
tE3!;  
对准误差
s7(mNpo  
]*%0CDY6`N  
7$Bq.Lc#z  
}4#%0x`w  
3PpycJ}  
波长误差
%$`pD I)  
d01bt$8>  
_9Iz'-LgB  
2o6KVQ  
IObGmc  
远场和近场分布的变化
$MfHA~^  
jGb+bN5U7  
K>lA6i7?  
c[3sg  
8"N<g'Yl,  
由参数运行产生的实验系列
,kpk XK  
flR6^6E  
\gDf&I  
\P^WUWY  
XcR2]\  
加工数据的导出
&Jk0SUk MP  
GDSII文件
$*H_0wQc  
8}XtVF;  
HP:ee+n  
",w@_}z:  
Xb?P'nD  
CIF文件
^0pd- n@pn  
(}V.xi  
,=Xr'7w,  
t*NZ@)>  
,gUSW  
位图文件
k9~NIvnB`  
;Lu%v%BM  
i`z1if6O  
d2Z5HFtY  
2h IM!wQ  
ASCII/.csv文件
[v^T]L  
)%-FnW  
~ZweP$l  
Cf91#% :cN  
3 i Id>  
Point-Cloud文件
+j1s*}8  
eY-W5TgU  
(Dlh;Ic r9  
O6pswMhAc  
Mi%i_T^i  
STL文件
MT [V1I{LV  
Xx~OZ^t&Vn  
n!2"pRIi  
07[A&B!  
4c_TrNwP  
蚀刻掩膜的计算
9y{[@KG  
)D{L<.i_  
9E'fM  
Oz'x5/%G  
<4ccTl  
自定义
f*,jhJ_I  
可编程元件
$A;jl`ng  
$5yH(Z[[  
(dd+wx't  
,)TtI~6Q  
lr'h  
可编程探测器
i,r O3J n  
.vE=527g)  
V7[6jW gH  
{Fs}8\z  
2&MIt(\-  
可编程光源
)_k"_VVcC  
[fx1H~T<  
tJ>%Xop  
G0oY`WXOB  
*1"xvle  
MATLAB可编程界面
ajC'C!"^Ty  
UCG8=+t5T  
o=}}hE\H  
+;^Ux W  
AFE6@/'  
C#可编程界面
Aslh}'$}-  
U_i%@{  
'n4Ro|kA  
eG&\b-%  
3#N'nhUzA  
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