案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1457
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
5<M$ XT  
微光学元件的分析和设计
pVM1%n:#  
透镜阵列
&b'{3o_KN  
N/eus"O;  
"E@A~<RKP  
Lvrflx*Q  
t&i4kS^y  
蝇眼聚光镜
,Jx.Kj.,  
U|<>xe*|%  
A;k#8&;  
{v"Y!/ [z  
X%5 `B2Wu  
衍射扩散器
y@SI)&D  
b7y#uL1AE  
N2 t`  
wq|7sk{  
~iPXn1  
单元阵列    光栅单元阵列
CzI s_/  
 A"1%E.1  
O^q~dda  
k;K-6<^h  
Z_a@,k:+[  
            棱镜单元阵列
k7& cc|y  
Fkg%_v$  
9fWR8iV  
F2{SC?U  
9e4`N"#,lI  
            反射镜单元阵列
gtIEpYN+  
5LZs_%#  
E.*gKfL  
$3g M P+  
CfVL'  
DOE产生的光分布
!K+hXQE1  
高帽
#xfav19{.  
m.<or?l'y>  
f\r"7j  
G.$KP  
E@6gTx*  
平顶
b|*+!v:I>T  
M& )yr^  
1]Cd fj6@  
Mf !S'\  
0+[3>Ny 0  
焦线
"Pu917_P  
 8hYl73#  
.Yvy37n((  
=*{7G*tS  
!E|R3e X_  
二元二维强度分布
-d thY(8  
hL&7D @  
H/k]u)Gtv  
N<<O(r  
stMxlG"d  
任意二维强度分布
R+!oPWfb  
'n^?DPvD  
{NcJL< ;tS  
:hcOceNz  
TU;AO%5  
点阵
#DARZhU)  
\t`VqJLyu  
4E_u.tJ  
feH&Ug4?G  
}@/Ox  
点线
{U@"]{3Qx  
Y^C(<N$  
EQk omjv  
}_-tJ.  
6)W8HX~+  
整形和匀滑
&/:c?F?l  
单色LED
G(wstHT;/  
=[[I<[BZq  
T!Tp:&O-  
>;F}>_i  
J`C 2}$ ~  
白光LED
\){_\{&  
9G"4w`P  
LN5BU,4=  
UtC<TBr  
TaaCl#g$?  
准分子激光
f="ZplW  
 Hyenn  
ueg%D +u  
8G2QI4  
vO53?vN[m9  
常见光束整形推荐使用的工具箱
O_GHvLO=  
推荐的工具箱
gwsOw [;k  
L]Xx-S  
t-n'I/^5  
smn(q)tt  
]&B/rSC  
优化
9i lJ  
局部和全局参数优化
lqgR4  !  
b|may/xWH  
Hw toa,  
&U CtyCz  
{X<_Y<  
使用参数运行的全局优化
XbeT x  
Fp"c {  
fZS'e{V  
H;@0L}Nu+}  
1}SON4U  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
T,Q7 YI  
qF-Fc q  
?' mP`9I  
a+CJJ3T-  
p2fzbBt  
单元阵列设计算法
{zc*yV\  
x9 t %  
S$P=;#r  
BZKg:;9  
L_+ Fin  
公差仿真
n=0^8QQ  
高度公差
beT[7uVj_  
D8xE"6T>  
Q,tjODc6n  
s<:) ;-tL  
(KfQ'B+  
掩膜蚀刻深度公差
x%T^:R  
gxe u2 HG  
D vN0h(?  
|%rRALIY  
6/p9ag]  
边缘圆滑模拟
QW_v\GHx  
.m%5Esx  
J-G)mvkv  
L$ ^ew0C  
%kH,Rl\g  
对准误差
jaVx9FR +  
{A%&D^o)  
Uxe]T  
VP?Q$?a  
/Tw $} 8  
波长误差
vfVF^ WOd  
Wcl =YB%  
VG$%Vs  
P.=Dd"La  
?VTP|Z  
远场和近场分布的变化
2$2@?]|?  
zP@\rZ@4  
%x}Unk  
*$JS}Pax  
Fa </  
由参数运行产生的实验系列
JuRWR0@`  
dDA&\BuS  
Pp4Q)2X  
=BV_ ?  
CHL5@gg@>y  
加工数据的导出
(9] =;)  
GDSII文件
S3QX{5t\  
DIhV;[\  
qA25P<  
|h((SreO  
>=1UhHFNI  
CIF文件
 ZLf(m35  
\!0~$?_)P  
n2["Ln mO  
'k<~HQr  
u=#_8e(9Z  
位图文件
(8~Hr?1B  
)o&}i3~Q  
m8gU8a"(  
N]|)O]/[  
8p/&_<mnW  
ASCII/.csv文件
i^4i]+  
UVsF !0  
\#"&S@%c  
KJV],6d  
OPv~1h<[  
Point-Cloud文件
3Ea/)EB]  
H^$7=  
>k~3W> D  
V r T0S  
A{DE7gp!  
STL文件
G49`a*Jn  
mP_c-qD |  
i*+N[#yp  
i[vOpg]J  
TLz>|gr  
蚀刻掩膜的计算
th{Ib@o  
;4`%?6%  
2rS`ViicD  
-8t&&fIA  
dQNW1-s  
自定义
 LD}<|  
可编程元件
i | *r/  
4L&Rs;  
o& ?:pE  
}SS~uQ;8  
Z. xOO|  
可编程探测器
( D@ U%  
d{]2Q9g  
:8lqo%5  
e:|Bn>*  
lfLLk?g3k  
可编程光源
(<Kf  
73+)> "x>  
v)v`896S`  
C4eQ.ep  
 U%tpNWB  
MATLAB可编程界面
.;;:t0PB  
R]TS5b-  
iE"+-z\U  
nh/%0=S  
n%ZOR1u)k#  
C#可编程界面
6" GHVFB  
aByd,uSe)_  
}h9f(ZyJn  
U#(#U0s*-  
" VSma  
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