案例:LED和准分子激光的匀滑和整形

发布:piaodongdewo 2014-10-28 13:33 阅读:1720
案例:LED和准分子激光的匀滑和整形
功能
需要的工具箱
基本
光栅
衍射光学
照明
5,;`$'?a%  
微光学元件的分析和设计
{[t`j+J  
透镜阵列
q )lnS )  
C*te^3k>B  
hv$m4,0WB  
%77p5ctW  
1b>C<\  
蝇眼聚光镜
 oM1 6C|  
SL&hJs4c'  
C#=bW'C  
q *AQq=  
F;!2(sPS  
衍射扩散器
"SoHt]%#  
M4LktR-[  
zT* .jv  
_uu<4c   
m&oi8 P-6  
单元阵列    光栅单元阵列
b2&V  
HFQR ;9]  
z ggB$5  
TfZ6F8|B  
V' 2EPYB  
            棱镜单元阵列
XfzVcap  
xg{HQQ|TC  
YIp-Y}6  
qG9+/u)\  
'69ZdP/xX  
            反射镜单元阵列
W:VP1 :  
|"$uRV=qm  
X7|.T0{=x  
,Ci/xnI  
+ f;CyMEp  
DOE产生的光分布
L1)@z8]   
高帽
8Chu"PM%-J  
GfyX'(ge  
n1:v HBM@\  
D 0]a\,aZ  
z&3]%t `C  
平顶
l t]B#, '  
` e{BId  
2$zU&p7sV  
j%*7feSNC  
"n\%_'R\hH  
焦线
7yiJ1K<bIt  
I]J*BD#n.  
=j /hl  
M\+*P,i  
bYh9sO/l  
二元二维强度分布
xQlT%X;'  
|AH@ EI>  
SLk2X;c]o  
*R`MMm  
z]$j7dp  
任意二维强度分布
_8h8Wtif  
F}rPY:  
L]2< &%N2  
,i ++fOnQ  
JAn1{<Ky  
点阵
]?9[l76O7  
#Y,A[Y5jX  
nY) .|\|i  
>4![&&  
<e6=% 9  
点线
Q59/ex  
g^o_\ hp  
j=.g :&r)  
?'~;Q)  
VvgN3e[  
整形和匀滑
'=TTa  
单色LED
u2`xC4>c  
5(}H ?  
= ?N^>zie  
&?$\Y,{  
y-`I) w%  
白光LED
dV$!JTsd  
uaQ&&5%%J  
NFoZ4R1gy  
~{ .,8jE  
o#d$[oa  
准分子激光
*t =i  
-v*x V;[  
qU6BA \ZL  
-iQsi4  
_XN~@5elrC  
常见光束整形推荐使用的工具箱
Kpu<rKP`  
推荐的工具箱
~&[u]u[  
l Z~+u  
UIw?;:Y  
mahi7eU P  
Fi{mr*}  
优化
w:tGPort  
局部和全局参数优化
byj[u!{  
Nzc>)2% N  
WRMz]|+}4  
2<.Vv\ =  
HU3Vv<lz  
使用参数运行的全局优化
|7S:l9;  
S^g]:Xh&  
(j`l5r#X#/  
[xS5z1;  
7+] F^ 6  
迭代傅里叶变换算法(IFTA
& 3I7]Wm  
ZmO' IT=Ye  
{1HB!@%,(  
n1`T#%e  
gx&73f<J  
单元阵列设计算法
W,'3D~g8  
@{de$ ODu  
K#U{<pUP  
s_` V*`n&  
iDvpXn  
公差仿真
^AH-+#5  
高度公差
R^?PAHE 7  
"] 9_Fv  
'v`~(9'Rcj  
.i\wE@v  
u> In(7\  
掩膜蚀刻深度公差
4}PeP^pj  
zrTY1Asw;4  
)muv;Rf`e5  
a#6,#Q"  
:'b%5/ ^q  
边缘圆滑模拟
FrgV@4'2G  
Fj48quW1\P  
t-a`.y  
GHqBnE{B  
aliQ6_  
对准误差
> fhSaeN  
-<12~HKK::  
K-ju,4A  
pIrv$^  
7a27^b  
波长误差
IFkvv1S`  
V4qZc0<,H  
O\:;q*]  
orK+B4  
AIf[W">\  
远场和近场分布的变化
TosPk(o(  
P|yGx)'^P  
<(ubZ  
.Lp Nm'=R  
sL;z"N@PK  
由参数运行产生的实验系列
eF*TLI<[^I  
CiHn;-b;  
CD$u=E ]  
'&1  
kz3?j<  
加工数据的导出
yDDghW'\WU  
GDSII文件
w@4t$bd7  
|A2W8b {]  
=t ~+63)  
S]Sp Z8  
zT2F&y q  
CIF文件
o$^O<zL  
:K!GR  
CAA tco5  
U`HXsq p}  
0]/,m4a#n  
位图文件
uVoF<={  
ze-TBh/  
v[p/c.p?i  
-d\AiT  
\fkS_r,i  
ASCII/.csv文件
&zaW"uy3T  
Ki&WS<,0Z  
f]{1ZU%4  
u-]vK  
$ l0eI  
Point-Cloud文件
5(mCBH  
- I1cAt  
Z{8exym  
S&gKgQD"Q  
3Qm t]q  
STL文件
W o<PmSt9i  
?[a7l:3-[  
~ 4p]E'b  
ui0J}DM  
dM>j<JC=  
蚀刻掩膜的计算
Dohl,d  
JI{OGr  
J7 Oa})-+'  
>b/k|?xP  
5yO#N2jY\  
自定义
C.Wms}XA  
可编程元件
DkF@XK0c3  
9!Q $GE?vl  
w[J (E  
P|!/mu]  
75^)Ni  
可编程探测器
F|h ,a;2  
troy^H  
tDuUAI54  
c)n0D=  
CIxVR  
可编程光源
X=*Yzz}  
d=c1WK  
;OT#V,}r  
D!OG307P  
Aspj*CDu  
MATLAB可编程界面
hhh: rmEZl  
=%#$HQ=  
s$+: F$Y0  
b@Mng6R  
k7Be'E BKG  
C#可编程界面
f;_K}23  
o to wvm  
MU^xu&MB  
R fVV(X  
hD9' `SQ  
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