我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: Hshm;\'
低真空时间: mHqw,28}
0000——3.0 E0 8分钟 wI!>IV(5
但此时不能开启高阀 }B{bM<dF
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 K,7IBv,B[
0000——8.0E-1 65分钟 $
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高真空时间: A4lh`n5%
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 D YJ F6O
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) c$.h]&~dN
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 g$c\(isY;
抽真空环境: H"_ZqEg
温度:26℃-28℃ VTOZ#*f
湿度:45% <IWO:7*#
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) >z'kCv
可是现在不知道为什么抽不动了。 iXp*G52
主要表现在 P8lx\DA
0000——3.0 E0 8分钟 % #!`>S)O
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 &,pL3Qos
使用丙酮检漏没有发现漏点。 Sm6hyZFy
扩散泵油很好,很清亮。 K
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