我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： :Q0?u b]
低真空时间: yHV^a0e7EH
0000——3.0 E0 8分钟 v]UU&Jq8U
但此时不能开启高阀 S}XB
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低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽
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0000——8.0E-1 65分钟 &z{dr ~
高真空时间: 8,Q. t7v
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 p0%6@_FT~
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） -;W\f<q]
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 oRtY?6^$
抽真空环境： sYW1T @
温度：26℃-28℃ V{/)RZ/
湿度：45% M9ter&
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） ?(|TP^
可是现在不知道为什么抽不动了。 o}j_eH l{
主要表现在 KBUAdpU8
0000——3.0 E0 8分钟 giA~+m~fN
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 Cv?<} q
使用丙酮检漏没有发现漏点。 g(z#h$@S
扩散泵油很好，很清亮。 {!:|.!-u
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