我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： -T+'3</T
低真空时间: ;tA$
x!5]
0000——3.0 E0 8分钟 $1zWQJd[-
但此时不能开启高阀 {dE(.Z?]!#
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 ?GLCd7TP
0000——8.0E-1 65分钟 KZ AF9
高真空时间: zO $r
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 y[S9b (:+
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） 3X ',L*f
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 Jx`7W 1%T
抽真空环境： 017n hI
温度：26℃-28℃ b~YIaD[Z
湿度：45% i$6a0'@U
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） 7z/O#Fbs
可是现在不知道为什么抽不动了。 y
)<+?@sP
主要表现在 i tiSZL,
0000——3.0 E0 8分钟 8+Gwv
SD U
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 SsfC
m C
使用丙酮检漏没有发现漏点。 e?O$`lf
扩散泵油很好，很清亮。 Q:y'G9b
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