我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： >J>[& z S
低真空时间: KyQX!,rV
0000——3.0 E0 8分钟 qm o9G
但此时不能开启高阀 ]wG{!0pl
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 0s2v'A[\
0000——8.0E-1 65分钟 "!%l/_p?
高真空时间: C-[eaHJ'$
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 H}bJ"(9$vC
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） MFAH%Z$
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 =zKM=qba
抽真空环境： <<R*2b
温度：26℃-28℃ V%
6I\G2/:
湿度：45% u^qT2Ss0
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） V /V9B2.$
可是现在不知道为什么抽不动了。 ,>mrPtxN
主要表现在 xx%j.zDI]
0000——3.0 E0 8分钟 SJ>vwmA4
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 ^qD$z=z -
使用丙酮检漏没有发现漏点。 ? '{SX9
扩散泵油很好，很清亮。 8C 9-_Ng`
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