我听说过一个做真空系统的人讲过: s.y wp{EF
真空能不能抽到高真空,如果不能,表示漏气,如果能抽到高真空,而时间太长,则表示不漏,而是真空泵系统问题。 .YOC|\
具体检测方法,可以分别对各种泵的极限真空进行测试就大概知道。通常机械泵的抽速是从大气到1000PA,前级泵是从1000PA到1PA扩散泵是从1PA到10-2PA,就可开始烘烤镀膜后续工序。 *O6q=yg;K:
你要摸摸扩散泵的温度是不是过高。虽然说冷却水温指示正常,如果冷却水管与扩散泵脱开的话,扩散泵一样冷却不好的。 /A$mP)}tz
如果不是扩散泵的问题,从你说的现象来看。感觉机械泵与前级泵出现问题的可能性比较大。机械泵要抽一个小时才到你说的那个数值,也太慢了些吧。