[求助]我的镀膜机抽不动了，请达人！ [复制链接]

我使用的是成真ZDF-III-LED真空计已经确认正常 ;hU~nj+{  
我的意思不是3.0E-0开不了高阀，而是在这个真空度开高阀真空室的真空就抽不动。 wo!;Bxo N  
只有在9.0E-1左右开高阀才能继续抽真空。

检查一下前级阀，看是不是前级阀内漏气，还有就是DP与前级阀前有一个环，看有没有坏啊，我也遇到过，但是就是这个问题

DP??DP与前级阀前有一个环??可以明确一点吗?谢谢了

我听说过一个做真空系统的人讲过： Kzd)Z fnD0  
真空能不能抽到高真空，如果不能，表示漏气，如果能抽到高真空，而时间太长，则表示不漏，而是真空泵系统问题。 A `n:q;my  
具体检测方法，可以分别对各种泵的极限真空进行测试就大概知道。通常机械泵的抽速是从大气到1000PA，前级泵是从1000PA到1PA扩散泵是从1PA到10-2PA,就可开始烘烤镀膜后续工序。 ?rgk  
你要摸摸扩散泵的温度是不是过高。虽然说冷却水温指示正常，如果冷却水管与扩散泵脱开的话，扩散泵一样冷却不好的。 )Dq/fW  
如果不是扩散泵的问题，从你说的现象来看。感觉机械泵与前级泵出现问题的可能性比较大。机械泵要抽一个小时才到你说的那个数值，也太慢了些吧。

我以前做AR膜时，是用光驰设备。从抽到镀再到下次抽，间隔时间总共也才一个小时哦。 e7.!=R{6  
南光机真的太慢了。

感觉是你的扩散泵的水冷系统出问题了

回复24楼 [=Yfdh M8S  
*?`:=  
>aZ$x/U+Iw  
现在的机器不加烘烤 P:")Qb2  
20分钟就到3*10-2了 Uv06f+P(  
+FoR;v)z=F  
我们的设备每年开4000锅 J8"Cw<=O  
/L1qdkG  
设备要注意保养 ^xGdRaU#  
;Vad| -  
而且气候、镀制材料也有差异

可能是烘烤接线柱了漏气

请将你的RP的型号及厂牌告诉我，另外真空度单们是？ j`\}xDg  
或许我能帮你一下

你的机台是不是扩散泵油加多那，检查一下有的用量；或是你的加热丝有问题，功率不够或是达不到！