我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： b>;>*'e
低真空时间: LgRx\*[C*
0000——3.0 E0 8分钟 ?l`DkUo*j
但此时不能开启高阀 5^cPG" 4@
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 6@g2v^ %
0000——8.0E-1 65分钟 4ao
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高真空时间: \$ ^ z.
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 <M nz R
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） ESiNW&u2
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 l>h% J,W
抽真空环境： n|lXBCY7K
温度：26℃-28℃ ~!meO;|W
湿度：45% qqT6C%Q`kG
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） K6~N {:.s
可是现在不知道为什么抽不动了。 w_@N T}
主要表现在 P~redX= t@
0000——3.0 E0 8分钟 ]0by6hQ
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 iI+ kZI-
使用丙酮检漏没有发现漏点。 }cgEC-
扩散泵油很好，很清亮。 }|H]> U&
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