我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: ;@Zuet
低真空时间: z/\OtYz
0000——3.0 E0 8分钟 J
8
KiL
但此时不能开启高阀 B $u/n
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 }m+Q(2
0000——8.0E-1 65分钟 o;@~uU
高真空时间: 'g%:/lwA
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 riW9l6s'
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) 8?Rp2n*o
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 'V]C.`9c
抽真空环境: 2"D4q (@
温度:26℃-28℃ f1vD{M;
湿度:45% F\eQV<
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) rl}<&aPH
可是现在不知道为什么抽不动了。 jSjC43lh
主要表现在 9J/[7TzSZ
0000——3.0 E0 8分钟 h*R@ d
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 SJ]6_4=y*
使用丙酮检漏没有发现漏点。 &g;!n&d zP
扩散泵油很好,很清亮。 qur2t8gnxq
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