我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: {L.0jAwB
低真空时间: Z;Tjjws
0000——3.0 E0 8分钟 ukhI'alS,
但此时不能开启高阀 hX[hR
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 >5XE*9
0000——8.0E-1 65分钟 od-N7lp#
高真空时间: S* <:He&1
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 \t )Zk2
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) LoNz
1KJL
4.5E-3——2.5E-3 60分钟
t'7)aJMP
抽真空环境: |%TH|?kB
温度:26℃-28℃ IWKQU/l!
湿度:45% o2Z#
5-
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) g3"`b)M
可是现在不知道为什么抽不动了。 _L&C4 <e'
主要表现在 ?;}2Z)
0000——3.0 E0 8分钟 x/5%a{~j2
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 xNl_Q8Z?R^
使用丙酮检漏没有发现漏点。 <!4'?K -N
扩散泵油很好,很清亮。 wYS4#7
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