我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: HJm O+
低真空时间: :F&WlU$L
0000——3.0 E0 8分钟 -wB AFr
但此时不能开启高阀 43XuQg4
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 ZtVa*xl
0000——8.0E-1 65分钟 `Z-`-IL
高真空时间: @#apOoVW>
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 %L3]l
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) nP^$p C
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 e=2D^G#qE
抽真空环境: bd4q/w4q
温度:26℃-28℃ 0N.*c
湿度:45% lS^0*(Y
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) o9i\[Ul
可是现在不知道为什么抽不动了。 (&(f`c@I
主要表现在 JFZ p^{
0000——3.0 E0 8分钟 i weP3u##
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 W=!f
使用丙酮检漏没有发现漏点。 #82B`y<<y/
扩散泵油很好,很清亮。 c+JlM1p@
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