我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： ~ou*'
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低真空时间: !i&^H,
0000——3.0 E0 8分钟 Rf+ogLa=
但此时不能开启高阀 /8VM.fr$
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 K{%}k Uj>
0000——8.0E-1 65分钟 ^z-e"
高真空时间: s/ibj@h
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 ] j(2FM)#
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） R%Gh4y\nF
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 6 ] <~0{
抽真空环境： }nvH E o
温度：26℃-28℃
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湿度：45% )2C_6eR
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） q
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可是现在不知道为什么抽不动了。 snT! 3t
主要表现在 k6_ RJ8I
0000——3.0 E0 8分钟 ?%J{1+hY
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 ZRf-V9
使用丙酮检漏没有发现漏点。 #/Y t4n
扩散泵油很好，很清亮。 lpQsmd#
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