我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: ~ou*'
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低真空时间: !i&^H,  
0000——3.0 E0        8分钟 Rf+ogLa=  
但此时不能开启高阀 /8VM.fr$  
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 	K{%}kUj>  
0000——8.0E-1        65分钟 ^z-e"  
高真空时间:  s/ibj@h  
8.0E-1——4.8E-3       65分钟      ]j(2FM)#  
4.8E-3¬——4.5E-3       20分钟(熔料) R%Gh4y\nF  
4.5E-3——2.5E-3       60分钟     6] <~0{  
抽真空环境: }nvHE o  
  温度:26℃-28℃ 
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  湿度:45% )2C_6eR  
  烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) q
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可是现在不知道为什么抽不动了。 snT! 3t	  
主要表现在 k6_RJ8I  
0000——3.0 E0        8分钟 ?%J{1+hY  
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 ZRf-V9  
使用丙酮检漏没有发现漏点。 #/Y	t4n  
扩散泵油很好,很清亮。 lpQsmd#	  
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