我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: 0cwb^ffN
低真空时间: *N;# _0)/
0000——3.0 E0 8分钟 m%bw$hr
但此时不能开启高阀 Iw<:
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低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 eBmBD"$
0000——8.0E-1 65分钟 ][y~(&=T
高真空时间: %;r0,lN|II
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 1eZ759PoO
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) u,R;=DNl
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 n^Uu6
抽真空环境: H^c8r^#
温度:26℃-28℃ FesXY856E
湿度:45% D# "ppa}
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) dt -=7mz#
可是现在不知道为什么抽不动了。 A80r@)i
主要表现在 5IPZ;
0000——3.0 E0 8分钟 Nx8~Rn
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 X7*i-v@
使用丙酮检漏没有发现漏点。 R4V~+tnbG&
扩散泵油很好,很清亮。 SeC[,
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