[求助]我的镀膜机抽不动了，请达人！ [复制链接]

我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： (nhv#&Fd+  
低真空时间: r]XXN2[jO  
0000——3.0 E0        8分钟 s\c*ibxM,  
但此时不能开启高阀 P;&rh U^[  
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽
dx=\Pq  
0000——8.0E-1        65分钟 NF& ++Vr6  
高真空时间: ^y@RfM=A  
8.0E-1——4.8E-3      65分钟    go, Hfb  
4.8E-3¬——4.5E-3      20分钟（熔料） GP"(+5  
4.5E-3——2.5E-3      60分钟     us&!%`  
抽真空环境： jTNfGu0x  
  温度：26℃-28℃ x\=2D<@az  
  湿度：45% 'xNPy =#  
  烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） ^wL n  
可是现在不知道为什么抽不动了。 }$K2h*  
主要表现在 r]x;JBy  
0000——3.0 E0        8分钟 l@+WGh  
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 ,hj5.;
M  
使用丙酮检漏没有发现漏点。 )I80Nq  
扩散泵油很好，很清亮。 %G%##wv:  
)PC(1Zn  
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$}d| ~q\  

及盼能解决的办法！

那你的机械泵是不是有问题，检查下机械泵的能力。

不像是机械泵的问题，因为低抽看起还正常。油加热温度不够，检查低阀关完了没有，有可能是阀门内漏气！

油温一直维持在247℃ -246℃ 之间，两个泵都是。高阀我也检查了，没有漏气的现象。目前好郁闷，不知道从那个方面下手了！！！！（TO:zzh1011 低阀显示关闭到位,要不我开不了高阀啊！)

冷却水温也较正常。入水20℃-23℃出水29℃-32℃

我不知道说的对不对，你的机器用了多和时间了？机械泵换过油没有？ ^Yei9bXl  
  南光的机械泵有一个最大的毛病，就是在里面有一个蓄水槽，时间长了里面全都是水，影响抽速。 8P r H"pI  
你检查一下，

机械泵已洗，蓄水槽是有很多水！！！油也换了！！可是………………可是………………还是没有多大的改观

低真空时间: 2g1[E_?  
0000——3.0 E0        8分钟  7QP%Pny%  
但此时不能开启高阀 R6HMi#eF  
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽  cZKK\h
f<  
这个现象我觉得很不正常，不知道怎么处理！！ |du@iA]dP  
这两天我单独测量了一下扩散泵的真空度，感觉还可以一个3.6E-4,一个1.2E-4（维持泵3小时）

看看你的扩散泵油有没有氧化