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xzaxd:但是不是真空度越高对膜层堆叠越好吗? (2022-06-20 11:34) D[_| *9BC
ouyuu:理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下,人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下,一般离子源才是供氧的主力。(APC流量一般小于离子源供氧) (2022-07-02 19:40) Ndo a4L)$
奔跑的小骏马:APC充氧主要作用是保证镀膜材料氧化充分,不然吸收会比较大 (2022-06-21 18:22) \`, [)`
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