UID:315360
18844167969:解决吸收,保证材料充分氧化 (2022-08-29 16:14) axM(3k.n
UID:318142
ouyuu:理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下,人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下,一般离子源才是供氧的主力。(APC流量一般小于离子源供氧) (2022-07-02 19:40) ZnRE:=
UID:326212