[求助]APC充氧的作用 [复制链接]

请教各位大佬，镀膜中的APC充氧有什么作用？

主要是氧化，防止脱氧折射率变化

ouyuu:理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧） (2022-07-02 19:40)  EClx+tz;`  

|}isSCt  
学习了... a9g~(#?a  

18844167969:解决吸收，保证材料充分氧化 (2022-08-29 16:14)  >!
bw8lVV  

Q'rgh+6  
解决吸收，是为了提高穿透吗？

APC功能上就是压力控制仪， 一般和离子源或者MFC（流量质量控制器）配合使用，用来稳定镀膜真空度维持氧气分压的 ndu$N$7+  
O Ke 9/._  

补充氧气，稳定真空度

解决吸收，保证材料充分氧化

奔跑的小骏马:APC充氧主要作用是保证镀膜材料氧化充分，不然吸收会比较大 (2022-06-21 18:22)  )~`UDaj_  

Df$~=A}  
好的！

ouyuu:理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧） (2022-07-02 19:40)  @;KvUR/+FE  

BB ::zBg  
明白了！谢谢版主

xzaxd:但是不是真空度越高对膜层堆叠越好吗？ (2022-06-20 11:34)  AVfF<E/  

{.DY\;Q  
理论上是这样。但是实际上也要考虑机台生产的稳定性。在清机初期抽速较好的情况下，人为的降低一点真空度。有射频离子源的情况下，一般离子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于离子源供氧）