薄膜测量设备（膜厚、n、k等）

美国Filmetrics公司F20系列薄膜测量设备：可精确快速测量各种光学及半导体薄膜的厚度、折射率及消光系数等。 hmOGteAf-  
精度：0.4%或1埃 zVf79UrK  
测量速度：秒级 @t1pB]O:  
光谱范围：紫外到红外 zLJmHb{(  
厚度范围：几十埃到几百微米 o _l_Yi  
多种光接入方式（样品测量平台）。 gq 3|vzNZ  
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