切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 316阅读
    • 0回复

    [技术]使用参数运行可编程模式进行随机分布的公差分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-30
    摘要 + P.Ir  
     v)EJ|2`  
    在VirtualLab Fusion中，当研究制造偏差对优化系统的影响时，可以使用随机变化的参数运行。根据制造工艺的不同，不同参数的偏差可能遵循不同的随机分布规律。虽然参数运行的默认随机模式假定均匀分布，但在此用例中，我们想展示如何使用可编程参数运行对公差中涉及的每个参数应用不同的随机分布。作为说明，我们选择了锯齿光栅的例子，为此我们研究了负一传输级次的最低效率。 OYy8u{@U:  
    AWcP OU  
     IRB;Q(Z   
    J( 60eTwQ  
    任务描述 dtm@G|Ij  
    [MG:Ym).2`  
     n2~rrQ \/p  
    NunT2JP.  
    VirtualLab Fusion中的系统 – 元件 F{H y@7  
    3{z }[@N  
     akoILX~u  
    nor`w,2VF  
    VirtualLab Fusion中的系统 – 分析器 bfgLU.1I  
    1>1!oml1E  
     ?jnEHn  
    u#QQCgrs  
    可编程参数运行 oT w1w  
    /hHD\+0({  
     x($1pAE  
    z`CI gSR  
    可编程参数运行选项 0vEa]ljS  
    ^z1WPI  
     Bvwk6NBN  
    5k@ k  
    分布类型 ):\L#>:w  
    IiL?@pIq  
     ;lldxS  
     q#1um @m3  
    在均匀分布的情况下，点数将在允许的范围内均匀分布。正态分布和截断正态分布都假设一个点被取的概率为高斯分布。标准正态分布和截断正态分布之间的区别在于，在截断分布的情况下，不会取参数范围外的值，而是在范围内生成一个新数。 ~2H)#`\ac8  
     l6RJour  
    效率的统计分布 =y ff.3mW\  
    &fWZ%C7|jC  
     TQ FD  
    (fl2?d5+C  
    光栅公差 g.'4uqU  
    3e"G.0vJ  
     Ty5\zxC|  
    /<5/gV 1Q  
    最低效率的级次效率 @/~41\=e  
    h&XyMm9C  
     H$ v4N8D8I  
    !&X}? NK  
    随机分布类型 na~ r}7 7o  
    #Ew}@t9  
     r\yj$Gu>(  
    8d]= +n !  
    文件信息 )g-*fSa  
    ky*-_  
     kZ2+=/DYN  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表