能谱X射线光谱仪EDX

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EDX（能量色散X射线光谱仪）ASDF (E)hEQ@
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不同元素的特征X射线在电子束撞击样品表面时会被激发出来。能量色散X射线光谱仪通过测量特征X射线的能量和强度来鉴别样品中的元素组成并进行定量分析。该仪器通常与扫描电子显微镜（SEM）或透射电子显微镜（TEM）结合使用，能对微米及纳米级别的区域进行元素分析。

优势	局限
aQ$sn<-l   - 分析快速 I=#`8deH(   - 廉价易得 R'`'q1=R   - 非破坏性分析	+|d]\WlJ   - 采样深度大 .l_ Nf9=   - 无化学态信息 xl`AiO `K   - 对轻元素灵敏度低 ]"HaE-`%   - 样品须满足超高真空条件 wpYk`Lr   - 半定量分析

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