能谱X射线光谱仪EDX

发布:探针台 2019-08-07 10:49 阅读:1513
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EDX(能量色散X射线光谱仪)ASDF l~$+,U&XNe  
不同元素的特征X射线在电子束撞击样品表面时会被激发出来。能量色散X射线光谱仪通过测量特征X射线的能量和强度来鉴别样品中的元素组成并进行定量分析。该仪器通常与扫描电子显微镜(SEM)或透射电子显微镜(TEM)结合使用,能对微米及纳米级别的区域进行元素分析。
优势局限
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- 分析快速 &:`U&06q  
- 廉价易得 nX`u[ks  
- 非破坏性分析
(R("H/6xs  
- 采样深度大 bXNk%W[n  
- 无化学态信息 #e$5d>j(  
- 对轻元素灵敏度低 Ptdpj)oi&Q  
- 样品须满足超高真空条件 1bn^.768l  
- 半定量分析
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