能谱X射线光谱仪EDX

q#99iiG1  
EDX（能量色散X射线光谱仪）ASDF (/U)>%n  
不同元素的特征X射线在电子束撞击样品表面时会被激发出来。能量色散X射线光谱仪通过测量特征X射线的能量和强度来鉴别样品中的元素组成并进行定量分析。该仪器通常与扫描电子显微镜（SEM）或透射电子显微镜（TEM）结合使用，能对微米及纳米级别的区域进行元素分析。

优势	局限
@VC .>   - 分析快速 i_=?eUq%q/   - 廉价易得 hza> jR   - 非破坏性分析	KQ4kZN   - 采样深度大 xHJ8?bDp   - 无化学态信息 .Iwur;/\   - 对轻元素灵敏度低 :}@C9pqr2   - 样品须满足超高真空条件 dG\U)WA(p   - 半定量分析

+Y>"/i. N  
QqiJun_m