OM分析失效分析

主要用途 ]-h$CJSY  
Z* eb  
样品外观、形貌检测。 UB[tYZ  
C@+"d3  
<[{Ty+  
性能参数 %gj's-!!  
`k y>M-  
a)总放大倍数为50x-1000x； [pMJ9 d$  
AQkH3p/W  
b)目标Z空间：0-25mm； ~5Wr |qg%{  
P<P4*cOV  
c)具有明场、高级暗场（ADF）、偏光（其中检偏器可旋转360°）、微分干涉观察功能和预留功能位置，功能转换方便，增减功能操作简捷； rl-r8?H}  
U 7mA~t2E  
d)具备记录光口，可安装数码采集、视频输出等多种记录及输出方式 }p-<+sFo  
|jB]5ciT  
bg.f';C  
tI50z khaB  
应用范围 1Xy{&Ut\  
:NB|r  
主要应用于制备样片的金相显微分析及各种缺陷的查找。