双束聚焦离子束带电镜EDX功能

FIB（聚焦离子束，Focused Ion beam)是将液态金属离子源产生的离子束经过离子枪加速,聚焦后照射于样品表面产生二次电子信号取得电子像，此功能与SEM（扫描电子显微镜）相似，或用强电流离子束对表面原子进行剥离，以完成微、纳米级表面形貌加工。通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应，有选择性的剥除金属，氧化硅层或沉积金属层。 >e!Y63`  
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服务内容：1.芯片电路修改和布局验证       5.材料鉴定 6z2%/P-'  
          2.Cross-Section截面分析         6.定点切割 +!mEP>  
          3.Probing  Pad                                7.制程上异常观察分析  {gb` %
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          4.FIB透射电镜样品制备          8.晶相特性观察分析 /vs79^&