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摘自User's Manual 10.3节 T@r%~z 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 8J2UUVA`1 AANT [ P ] zogl2e+ 开头 )hfI,9I~ 以 njb{ END TO]
cZZ< 结束 <VT|R~ 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: ;2,Q:&`
在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 U#(#U0s*- 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 b./MVz 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 qW9~S0sl XchVsA 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 aq.Lnbi/X M 34.567 A TH 4 C\1x3 A TH 5 x I(X+d`` 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式
dm{/ GNR 0.5 10 4 P 1 Y:]m~-T 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 $`|\aXd[C* GOALS部分的输入正式地采用如下形式 V7,;N@FL G@1T!` ]4)$dQ59 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 SG-Xgr@ aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 ?w>-ya M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 *nV*WUS3 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 'a=QCO
0 ::p(ViYG 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 KO=H!Em\l M 55 .1 A TH 6 hixG/%aO 为厚度编号6指定目标值55。 ge$ p/ 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 2NZC,znQ LB0 }x?2 txuu LB1 =.t3|5U8 LB2 CdTE~O<) LB3 _K<Z LB4 &&`-A6`p ... 0GMov]W?i LB9 \@GKVssw FLAG fH?s~X] FP1 K&TO8 FP2 3mLtnRX[m FP3 eBg:[44V FP4 :o}LJc)| ... rFG_CC2 j@Y'>3 FP9 h7o?z! FM1 \CZD.2p#& FM2 50NLguE FM3 |&AZ95v FM4 ZoT8 ... Ks\\2$Cm7 FM9 ,?`Zrxe[ APS 2~)r,., LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 {*AYhZ M 55 .1 A TH LB2 i6$q1* 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 +$\/HO +VRM:& 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 q?bKh*48 ZOOM nb V D.T=( 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, xw~3x*{ ZGROUP ALL L_Lhmtm}m (像差,光线集,等) GVUZn// END (结束该组) p\ _& 或者 3u~V&jl
)6:1`&6 ZGROUP 1 3 5 7 #Mrc!pT]xy ... 4~J g\@ END USJk
* ZGROUP 2 4 6 8 2su/I ... JbXd9AMh2 END F$te5 `a (其他AANT条目) S)=3%toS> END (结束AANT文件) agp7zw=N 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 n+SHkrW 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 NM0s*s42 ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 i.0.oy> 87yZd8+) 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 <7Ry"z6g; ACON nb ZXC_kmBN/ s&F&
*5W 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 qw6i|JM% AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 BKk+<#Ti AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 s%i
\z }/ AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 fRomP-S AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 T*jQzcm~? ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 Y4{/P1F ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 (qDPGd*1 ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 ]\(Ho
ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 0t2n7Y?N AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 l-?#oy AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 sMgRpem; ADT 监视透镜直径与厚度的比。 =+w!fy AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 Wg\MaZ6Di e3,@prr 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: "2z&9`VIY AANT R^&.:;Wi> AEC vq:?a GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 9NeHN@D) GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 <HH\VG\H6 GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 >9< |