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摘自User's Manual 10.3节 ^gR+S 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 6`e@$(dfA AANT [ P ] XB\zkf_}Xc 开头 9K"JYJ
q2 以 fC<m^%*zgA END $&{IKP)u 结束 9O98Q6-s 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: yYTVXs`fVj 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 GjQfi'vCk 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 'gTmH [be 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 j6>tH"i J=}F2C
在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 ^ddO&!U M 34.567 A TH 4 -
q@69q A TH 5 q-&P=Yk 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 Fdt}..H% GNR 0.5 10 4 P 1 ImkrV{,e 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 &RY |