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摘自User's Manual 10.3节 2o`L^^ 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 nA#dXckoc AANT [ P ]
qmGLc~M0 开头 "[\TL#/ 以 *f+DV[DF END y$HV;%G{26 结束 y gTc
Y 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: E(Y}*.\]#s 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 J0x)NnWJ 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 2umgF 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 D1f}g a}/ A]mu 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 5Ls
][l7 M 34.567 A TH 4 _ "H& A TH 5 8iUj9r_ 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 J`d;I#R%c GNR 0.5 10 4 P 1 NN@'79x 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 YS+|n%? GOALS部分的输入正式地采用如下形式 xg_9#
{Z(kzJwN 'o]8UD( 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 X_2pC|C aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 <e@+w6Kp'7 M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 bGe@yXId5 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 tkKiuh?m :[.**,0R 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 QNm8`1 M 55 .1 A TH 6 R*r;`x 为厚度编号6指定目标值55。 |WDMyKf6J 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 zM2_z LB0 |kh7F0';" LB1 bE>"DPq LB2 j NkobJ1 LB3 `(o:;<&3 LB4 _%:$sAj ... 'nSo0cyQ LB9 bn6WvC3? FLAG o3=pxU* FP1 #l#8-m8g) FP2 _mc-CZ FP3 u@pimRVo FP4 I> BGp4 AQ ... EE$\8Gx']!
`A ^ FP9 /Xk-xg+U FM1 Tqj:C8K{ FM2 4Be'w`Q { FM3 L(+I FM4 FE,BvNBZ ... v,^W& W. FM9 Bvsxn5z+: APS hU6oWm LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 t4v@d M 55 .1 A TH LB2 }WDzzjDR+ 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 TP{2q51yM <sli!rv 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 +o-jMvK9 ZOOM nb i8->3uB 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, Lv
UQ&NmY ZGROUP ALL _9:r4|S (像差,光线集,等) H5>?{(m END (结束该组) Gy)2 或者 `i<omZ[aT |ya.c\}q ZGROUP 1 3 5 7 {2F@OfuCF ... a(uZ}yS$ END 5Deo}(3 ZGROUP 2 4 6 8 f9D01R fo ... c*.-mS~Z` END LS]0 p# (其他AANT条目) %z~=Jz^ END (结束AANT文件) -}(2}~{e( 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 "fu:hHq 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 T:Nc^QP|tm ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 Z7XFG&@6 1]69S( 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 ;2 P ACON nb [ylRq7^e 8PR\a!" 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 D$N;Qb AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 =M=v;
,I- AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 LwYWgT\e AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 `I.pwst8i- AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 JED\"(d( ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 Z@(KZ| ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 Wh)!Ha} ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 $[UUf}7L ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 6EeO\Qj{ AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 GZ^Qt*5 { AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 -Xx4:S ADT 监视透镜直径与厚度的比。 $*|M+ofQ AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 BP}@E$ "hi03k 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: 5;+KMM:zb AANT ``%yVVg}
AEC !2h ZtX GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 k.z(.uc= GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 #q4uS~ GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 eR0$CTSw GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 $<yhEvv GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 PV:J>!] GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 Z&O6<=bg! GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 Lw2VdFi>E& GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 3)yL#hXg) GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 Re&"Q8I.8 M 33 .1 A BACK v&bG`\ ! ACA 60 1 zy5FO<-> ACC 40 1 /'VbV8% END )+R n[MMp
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