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摘自User's Manual 10.3节 j&n][=PL 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 Kr $R " AANT [ P ] :Z|lGH
= 开头 7Yp;B:5@ 以 tX)l$oRPr END cn1CM'Ru 结束 kgfOH.P 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: ~J1;Z0}# 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 LQ4GQqS* 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 v w$VRPW 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 V&4)B &W r2?-QvQ 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 Y~]E6'Bz M 34.567 A TH 4 cF{5[?wS A TH 5 [AE-~+m)^ 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 "<b~pfCOQk GNR 0.5 10 4 P 1 rQT@:$) 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 s>`$]6wPa GOALS部分的输入正式地采用如下形式 C$`z23E NyU~8?bp /zZ$<mVG 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 CpHF3o`Z6 aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 \wR bhN M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 J \U}U'qP 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 Th,15H
DA VgG*y#Qf$ 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 +T:F :X` M 55 .1 A TH 6 m#Rgelhk. 为厚度编号6指定目标值55。 4"72 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 lVY`^pw? LB0 KB+,}7 LB1 +
5 E6| LB2 ")kE1D% LB3 \YO1 ;\W LB4 ]5IG00` ... D%k%kg0, LB9 :3F&NsgHH FLAG FNlzpCT~L FP1 v,w/g| FP2 WP&P#ju& FP3 {M:Fsay>p FP4 aWhhq@ ... A `\2]t$z ,Zs:e. FP9 _YzItge* FM1 !7ct=L FM2 v3
4!rL FM3 :9H=D^J FM4 HN,E+dQ ... H@0i}!U64 FM9 fk-zT APS Fy^*@& LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 *FyBkG' M 55 .1 A TH LB2 HRO:U% 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 hX4&B Sz4YPl 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 =YlsJ={h ZOOM nb I3uS?c 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, BeZr5I"`} ZGROUP ALL l6ayV (像差,光线集,等) --E_s/ END (结束该组) e m`z=JGG 或者 F VBuCi?W UZsL0 ZGROUP 1 3 5 7 .G#wXsJj ... B-`d7c5 END &Ji!*~sE ZGROUP 2 4 6 8 d`9%:2qE ... j4H]HGHv END CDcZ6.f (其他AANT条目) 7Pspx'u END (结束AANT文件) _j t>%v4}4 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 gj{2"tE 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 $%9.qy\8 ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 71`)@y,Z, 4'JuK{/ A7 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 ( 0/g)gW ACON nb b
'p0T1K( \k\ {S2SU 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 =Tv;?U C AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 KhK:%1po AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 yT<6b)&*& AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 guJS;VC6U AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 O>UG[ZgW ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 .Fo0AjL}x ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 RGd@3OjN ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 k?-GI[@X ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 2LS03 27 AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 ]hY'A>4Uq AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 l1*qDzb ADT 监视透镜直径与厚度的比。 L{_Q%!h3] AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 4^h_n1A Q?df5{6 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: NzB"u+jB AANT J`/ t;xk AEC zzlV((8~ GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 67Z@Hg GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 #
+OEO GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 7,0^|P GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 &&Ruy(&]I GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 tQz =_;jy GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 wyF'B GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 dqd:V$o GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 ;!H<W[ GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 z7B>7}i- M 33 .1 A BACK 9K~0:c ACA 60 1 hgt@Mb ACC 40 1 8nCw1 END YC(7k7
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