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摘自User's Manual 10.3节 rJjNoY 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 7+N0$0w%r AANT [ P ] s3(mkdXv 开头 jHPkfwfAF 以 \d'>Ky;GD END Mh=yIx</ 结束 CP]nk0 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: +$uQ_ve 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 >P9|?:c 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 /f*QxNZ,p 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 nF5\iV :5'8MU 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 r"_U-w M 34.567 A TH 4 J16t&Ha` A TH 5 ]/#3 P 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 EXF|;@-" GNR 0.5 10 4 P 1 Z[ 53cVT^ 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 ixvF`S9 GOALS部分的输入正式地采用如下形式 iW?z2%# ;hV-*;> 0Yk$f1g 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 Nx;Oz aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 @$7'{* M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 <WiyM[ep 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 EXbaijHQG F"^/R 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 >ufL RGL> M 55 .1 A TH 6 gq7l>vT. 为厚度编号6指定目标值55。 FyhLMW3 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 `C&@6{L LB0 ii5dTimRJ LB1 f
q&(&(| LB2
@hF$qevX LB3 ~]Weyb[N LB4 PJ))p6
9 ... grxlGS~Q LB9 D & Bdl5g FLAG Vv&GyqoO] FP1 1>=]lMW FP2 nIqNhJ+ FP3 s?Z{LWZ@ FP4 M nnVk= ... nu `R(2/ 2{xf{)hO? FP9 $/kZKoF{f FM1 z7s}-w, FM2 u#+Is4Vh FM3 E#~J"9k98 FM4 -4v2] ... PVi0| FM9 {Rz(0oD\ APS V`4/oM` LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 -`CE; M 55 .1 A TH LB2 bMB@${i} 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 2Ah B)8bG HE:]zH 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 a] P0PH~ ZOOM nb WCP2x.gb5 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, 6SF29[& ZGROUP ALL f2?01PM,Q (像差,光线集,等) x3l~k Z( END (结束该组) E/hO0Ox6 或者 !8*7 {7 C ~Doj ZGROUP 1 3 5 7 .1:B\R(( ... h,ipQ> END J|u_45< ZGROUP 2 4 6 8 eWr2UXv$ ... 1nR\m+{ END 39bw,lRPV (其他AANT条目) TR9dpt+T END (结束AANT文件) !>:]k?$b 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 !
Q8y]9O 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 0*,]`A= ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 MDoV84Fh [ZL<Q 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 FK@Gd)( ACON nb _ZE&W 1cS*T>` 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 [$@EQ]tt/ AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 L=gG23U& AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 )T@?.J` AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 \.]C`ocD AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 s)#TT9BbV ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 :)F0~Q ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 F{E`MK~f_ ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 C8O<fwNM
ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 deOk>v&U AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 C6qGCzlG` AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 }J6 y NoXu ADT 监视透镜直径与厚度的比。 |Es,$ AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 =
O|}R MaZVGrcC 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: PY#_$ C AANT I:M15 AEC I7+yu> GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 z8j7K'vV1 GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 Pk&$#J_ GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 _e " GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 /}k?Tg/ GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 h7PIF*7m
e GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 q!WiX|P GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 B.}j1Bb GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 4MoxP GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 v)~!HCG M 33 .1 A BACK 7*r!-$ ACA 60 1 zqLOwzMlLx ACC 40 1 7>3+]njw END aZmac'cz{
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