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摘自User's Manual 10.3节 S^:7V[=EgI 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 hbSXa' AANT [ P ] wu;^fL 开头 C>* 1f|< 以 8=,?Bh". END ~(-df> 结束 +ZJ1> n 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: T1A/>\Ns 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 F
@uOXNz) 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 Y.#:l< 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 *d}{7UMy# blmY=/] 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 . sv
uXB M 34.567 A TH 4 K[[ 5H A TH 5 e[g.&*! 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 "vo
o!&< GNR 0.5 10 4 P 1 w^)_Fk3 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 wT&P].5n GOALS部分的输入正式地采用如下形式 HEs .pET\ R[!%d6jDE q j*77 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 3|vZ`} aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 WjF#YW\ M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 t}2M8ue(& 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 x-HR [{C L r9z~T:ED 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 _MzdbUb5, M 55 .1 A TH 6 o(Q='kK 为厚度编号6指定目标值55。 !UX7R\qu| 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 X~rHNRIU LB0 ;s w3MRJ LB1 F=V_ACU LB2 P+(Ys[J3 LB3 WbHI>tt LB4 0r%,|FaS ... ]MRQcqbpqL LB9 r95$( N FLAG 3NlG,e'T2 FP1 E)%r}4u> FP2 skBzwVW I FP3 jHM}({)- FP4 |&\cr\T\r ... xi! R[xr1 ufXU FP9 F1b~S;lm FM1 cB2jf</ FM2 Kz9h{Tu4 FM3 h2mU FM4 C:P.+AU"` ... ~n9- FM9 <dX7{="& APS Q=.j>aM+_ LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 '-KrneZ! M 55 .1 A TH LB2 k+As#7V 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 -%g{{'9B ARa9Ia{@ 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 Avo"jN*<d ZOOM nb vV /fTO 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, uf}Q{@Ab ZGROUP ALL D>I|(B!.p8 (像差,光线集,等) q@&.)sLPgO END (结束该组) ,?>:Cdz4 或者 q)KLf\ zoO9N oUHW ZGROUP 1 3 5 7 [iT#Pu5 ... 2:D1<z6RQ END CsW*E,|xyP ZGROUP 2 4 6 8 3&vUR(10 ... ]2'{W]m END mp+lN: (其他AANT条目) +]N PxUa END (结束AANT文件) %.n 7+ 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 A]CO
Ysc 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 nLv"ON~ ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 4.0JgX >aV
Q 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 tx01*2]pX ACON nb ]aVFWzey c=A)_ZFg 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 K h;jiK ! AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 6=xbi{m$ AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 7SpF& AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 ~i)IY1m" AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 qOd*9AS'|M ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 f;PvXq<7" ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 y:N>t+'5 ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 cWG?`6xU& ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 :D !}jN/) AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 3gzcpFNqX AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 e.:S BXZ ADT 监视透镜直径与厚度的比。 _N&]w*ce AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 6su^yt 60u}iiC@ 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: L?gak@E AANT `&-)(# AEC (0/)vZc GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 +8etCx GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 ~Q)137u]P GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 @hE$x-TP0 GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 |p7k2wzN GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 7JI&tlR4\c GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 E6NrBPm GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 R^=)Ucj GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 /K./k!'z GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 q:D!@+U M 33 .1 A BACK )FfJ%oT} ACA 60 1 H _%yh,L ACC 40 1 eVYUJ, END z
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