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摘自User's Manual 10.3节 `&J=3x 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 x";4)u= AANT [ P ] uk3PoB^> 开头 Lt{&v^y 以
CL5t6D9Qi END JQSczE3 结束 \o5/, C 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: P]4@|u;=6[ 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 U)SQ3*j2D 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 VKy3tW/_& 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 dDqT#N?Y F#|mN0op 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 Y~UWUF%aK M 34.567 A TH 4 dbfI!4 A TH 5 #ihHAiy3 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 a'7RzN ,] GNR 0.5 10 4 P 1 oi%IHX(` 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 h[gKyxZ/t GOALS部分的输入正式地采用如下形式 t=n@<1d 3MoVIf1 Rc~63![O. 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 2MDY nMy aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 f1I/aR V:+ M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 2XV3f$, H 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 0fx.n D#11
N^-K 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 nc:K!7: M 55 .1 A TH 6 S,#UA%V" 为厚度编号6指定目标值55。 ,sn
9&E 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 UeaHH]U LB0 eit %U LB1
JjHQn=3AJ LB2 xUDXg* LB3 <#e!kWGR? LB4 N)X51;+ ... z_87;y;= LB9 0y=lf+xA* FLAG z?(QM: FP1 um$L;-2: FP2 n)rSgzI FP3 Ce_l\J8G FP4 Og"\@n ... Wp//SV $ !:xjb FP9 9w$+Qc FM1 j6BFh=?D FM2 nY_+V{F FM3 \_|r>vQ FM4 mA6Nmq%{ F ... c4L++
u# FM9 MW)=l
| G APS "ax"k0 LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 >('Z9<|r: M 55 .1 A TH LB2 Q5tx\GE 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 O+o_{t\R C8
"FTH' 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 _E
xd: ZOOM nb ]D|Hq4ug 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, W.
p'T}2 ZGROUP ALL o`\@Yq$. (像差,光线集,等) i,y7R?-K END (结束该组) KJ8Qi+cZ 或者 Eo_;Nc mjbV^^> ZGROUP 1 3 5 7 _~uYNvmg ... &(rR)cG END sQ%gf ZGROUP 2 4 6 8 1#^r5E4 ... iPt{v5}] END S$i3/t (其他AANT条目) '0/[%Q END (结束AANT文件) 3H@29TrJ+ 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 }B2qtb3 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 `r. ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 |=ljN7]! ftbOvG/
I 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 :faB7wduW; ACON nb BI0 A0 N1u2=puJY 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 &!O~ f AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 oH kjMqju AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 S$Fq1 AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 3dC;B@ AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 Q)}z$h55 ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 /&G )IY]g ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 pN7 v7rs ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 2V =bE- ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 o|7
h AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 ob"yz } AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 pt-
1>Ui ADT 监视透镜直径与厚度的比。 V2_I=]p_ AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 -WK {-)*.l= 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: -K%~2M< AANT XpibI3:< AEC dLy-J1h\ GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 2q*aq% GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 ELQc:
t
-2 GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 vP{;'R GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 \t@4)+s/) GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 hZNAI GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 lF.yQ GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 d]w%zo,yr GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 'K|tgsvgme GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 Hnc<)_DF M 33 .1 A BACK lT~A~O ACA 60 1 HrS ACC 40 1 _=RK END k>q}: J9V
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