|
|
摘自User's Manual 10.3节 v$i[dZSN[ 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 lH8e?zJ AANT [ P ] <764|q 开头 N
J_#;t#j 以 p^ojhrr END
%h-?ff[ 结束 _ZU.;0 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: t9yjfyk9W 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 Lj(y>{y 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 '5BM*4,:O 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 ka$oUB)iQ $NG|z0 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 CF?TW M 34.567 A TH 4 ?()$imb* A TH 5 0 `L>t 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 n-Qpg GNR 0.5 10 4 P 1 YPY'[j(p`n 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 'K0=FPB/@ GOALS部分的输入正式地采用如下形式 <h"*"q|9 V.k2t$@ y$n`+%_ 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 R:LThFx aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 lx!9KQAM* M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 9 yE
在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 8aSH0dX :',Q6j( s 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 Vg+jF!\7 M 55 .1 A TH 6 @aC2] 为厚度编号6指定目标值55。 `?PpzDV7Y 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 Ef2#}%> LB0 xN a Dzu" LB1 [sT}hYh+ LB2 Q41eYzAi LB3 ;| :^zo LB4 mCY+V~^~kz ... H)${" LB9 =!RlU)w FLAG XZk?aik}` FP1 Lb>UraUvL FP2 @4Ox$M FP3 @6roW\'$ FP4 #
[0>wEq ... qL03iV#h*V @zHTKi` FP9 {U,q!<@mq FM1 @]EJbiGv FM2 re `B fN FM3 kZsat4r FM4 VZ:LK ... xfE:r: FM9 Y_}DF.>I P APS !M[a/7x,p LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 B-<H8[GkG1 M 55 .1 A TH LB2 TZ]D6.mD 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 j/FFxlFNL : Nf-}" 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 ftqi >^i ZOOM nb b\U p(] 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, *)2&gQ&%+ ZGROUP ALL G%V*+Ond (像差,光线集,等) 2[Ja|W\If END (结束该组) d`_X$P4y 或者 ^_cR GV5hmDzRs ZGROUP 1 3 5 7 TzCNY@y ... \.R+|`{tf END `qjiC>9 ZGROUP 2 4 6 8 >q:0w{.TU ... Lb'HM-d END },2mIit( (其他AANT条目) !]W}I END (结束AANT文件) vB :_|B 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 p&:(D=pIu 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 k_2W*2'S ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 0 ;b%@_E .[Z<r> 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 GTw3rD^wg ACON nb n
2k&yL+a qw!_/Z3[ 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 r&G=}ZMO AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 03iD(,@ AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 <fJ*{$[p AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 .H,wdzg) AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 8h&Ed=gi ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 /A U&
X ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 fNVNx~E ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 D3^Yc:[_@ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 hJ+;N AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 8?lp:kM AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 kp~@Ub
@O3 ADT 监视透镜直径与厚度的比。 BwN65_5p AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 {%S>!RA H+]>*^'8 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: s
uT#k3 AANT qL6Rs AEC *Ge2P3 GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 VQr)VU=jb GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 tFvc~zz9 GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 pq"3)+3: GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 ,= ;d<O8 GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 MY zyg GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 :
kVEB<G GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 $e=pdD~ GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 tN'-4<+ GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 Rw$>()}H8 M 33 .1 A BACK %)7HBj(*J ACA 60 1 qwlIz/j ACC 40 1 vHY."$|H END {iGk~qN
|