|
|
摘自User's Manual 10.3节 UfX~GC;B 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 IB;yL/T AANT [ P ] ye.6tlW 开头 @*y4uI6& 以 -yf8 END v":q_w<k 结束 `PbY(6CF 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: (c[u_~ ; 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 rC!O}(4t%$ 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 5.\p]>|G1 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 f5*qlQJFz\ l6bY!I> 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 P4#i]7% M 34.567 A TH 4 8lM=v> Xc A TH 5 {rcN_N% 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 &)OI!^ ( GNR 0.5 10 4 P 1 G[ U5R?/ 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 B{)#A?Rh. GOALS部分的输入正式地采用如下形式 m538p.(LIR iHhdoY[] KdkL_GSLT 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 w( V%EEk aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 x6,ozun M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 #r #[&b 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 >
'=QBW q\<l"b z 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 p? L%' M 55 .1 A TH 6 DujVV(+I 为厚度编号6指定目标值55。 yzK<yvN 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 `/[5/% LB0 dE"_gwtX LB1 !Wr<T!T LB2 ^0v3NG6 LB3 Z|C,HF+m. LB4 d3q%[[@ ... gbzBweWF LB9 lC#wh2B6 FLAG EK4%4<" FP1 Q$ew.h FP2 y!1X3X,V FP3 H/{@eaV FP4 :O413#8 ... ,;t:x|{% JxinfWk
FP9 Cdz?+hb FM1 26/<\{q~ FM2 U^KWRqt FM3 `R2Iw
I& FM4 r\"R?P$y| ... z"
tz-~ FM9 4tm%F\Izy APS T^;b98* LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 4tkT\. M 55 .1 A TH LB2 KD A8x W 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 Y#c439 & `T*Y1@FV 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 [RKk-8I ZOOM nb =u}~\ 'd 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, b4L7]& ZGROUP ALL zd%f5L(' (像差,光线集,等) [KBa=3>{ END (结束该组) :!s7B|_U 或者 02Vfg42 *KNfPh#wi} ZGROUP 1 3 5 7 5[)5K?% ... =!L}/Dl END ^S`hKv&87 ZGROUP 2 4 6 8 ].rKfv: ... 'nPI
zK<v END K W&muD (其他AANT条目)
*eHa4I END (结束AANT文件) eW 4[2Q 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 *=oO3c0|b, 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 ?jz\[0)s ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 EHq;eF <eEIR 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 KH)-=IJ8 ACON nb 3!F^vZ. 4*Hzys[{ 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 lZRO"[< AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 sxr,]@ AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 [_%u5sc-y AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 v76P?[ AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 MH)V=xU|) ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 IT:WiMDQ} ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 Khd A;bF ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 445JOP ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 #W8F_/!n| AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 I)yaR+l AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 d:iJUVpr ADT 监视透镜直径与厚度的比。 A5F(- AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 *~GI-h MS#"TG/) 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: %Qz<Lk">. AANT I(7GVYM AEC <_8bAO8\ GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 ]h1.1@ >xc GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 t0fgG/f' GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 %r.OV_04 GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 S -mpob) GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 Ps.xY;Y GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 hN K wQ GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 F&uiI;+zJ GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 ,
poc!n// GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 9Vq M 33 .1 A BACK rAtCG1Vr ACA 60 1 ;bG?R0a ACC 40 1 4u*n7di$9d END ::{\O\w
|