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摘自User's Manual 10.3节 *:tfz*FG$G 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 2Cgq&\wS AANT [ P ] %SKJ#b 开头 fB"It~ p 以 L[aA4` END O;CC( 结束 H5X.CcI&} 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: k?VH4yA 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 ^\3r}kJ0Lp 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 7j~}M(s" 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 u81@vEK:_ R!y`p:O
C 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 j&w4yY M 34.567 A TH 4 CEEAyip-c A TH 5 3 Xl!Z^W 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式
y@2$sK3K GNR 0.5 10 4 P 1 Qoom[@$ 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 <&MY/vV GOALS部分的输入正式地采用如下形式 L7OFZ|gUz ZMGthI}~- U])$#/ v
这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 h;JO"J@H aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 4ztU) 1 M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 V8}jFib 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 :>3/*"vx?G n1PV/ Z 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 +XoY@|Djd M 55 .1 A TH 6 ?my2dd,| 为厚度编号6指定目标值55。 Y |'}VU 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 o%)38T*n3 LB0 MNu\=p\Eq LB1
lqZUU92; LB2 K6G+sBw[ LB3 A40Q~X LB4 9*;OHoD h ... (Q[(] dfc LB9 Mi:i1i
cdn FLAG #iVr @|, FP1 cg).b?g FP2 v/[*Pze,C FP3 cllnYvr3 FP4 Y0xn}:%K ... ,HECHA_" K_o[m!:jU FP9 mJ JF FM1 JN> h: FM2 ~U+W4%f8 FM3 )JXy>q# FM4 iCNJ%AZH ... EPd
FM9 NT;cTa=; APS 3e ?J#; LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 &@fW6},iW M 55 .1 A TH LB2 Zr|z!S?aSC 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 M~Ph/ ufvjW] 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 .kp3<. ZOOM nb d]+2rt}]hL 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, ;fxrOfb ZGROUP ALL /0(c-Dv (像差,光线集,等) ^Fg!.X_ END (结束该组) qx";G 或者 T07 AH >gf,8flgj ZGROUP 1 3 5 7 0s.X ... <K {|#ND# END )(-aw,iK ZGROUP 2 4 6 8 rbc7CPq_^ ... 7Y6b<:4j END }.N~jx0R (其他AANT条目) (7w95xI END (结束AANT文件) r:--DKt 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 Ls/*&u 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 ",P?jgs^g5 ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 r;@"s g 0S&C[I
o6 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 K:b^@>XH ACON nb q_z ;kCHM Y
lhKP; 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 oq[r+E-]$@ AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 Z. ,pcnaQb AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 >/G[Oo AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 *X8Pa;x AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 vf?Xt ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 l`rO)7 ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 ~mC>G 4y$a ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 }#phNn6 ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 V0!kvIv AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 21z@-&Oq AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 j9f[){m` ADT 监视透镜直径与厚度的比。 w}0rDWuR[ AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 F0ylJ
/E $J =`fx 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: g"v6UZ\ AANT R{UZCFZ AEC iHeu<3O GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 tY%T GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 p<c1$O* GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 ;jh.\a_\ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 G6p R?K+ GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 ufo\p=pGG GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 : eFyd`Syw GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 %J+k.UrM GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 BFZ\\rN` GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 {m/KD 'b_ M 33 .1 A BACK i4lB]k ACA 60 1 NL &![; ACC 40 1 @./@"mR< END "rHPcp"m
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