|
|
摘自User's Manual 10.3节 eBYaq!t
k 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量，像差输入文件必须以 `3>)BV<P AANT [ P ] "u,~ yxYWl 开头 P60]ps!M 以 m ISu o END 2\z`G 结束 VvM U) 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差，有六种类型： {;z
L[AgCg 在默认模式下（开关29打开），SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P]，并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭，可以控制列表的形式；[P]产生一个输入图像，而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 7q{v9xKy 如果开关89打开，则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长，并且很少需要检查所有列表，因此默认关闭此开关。 xz+`]Q 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入，如 <GFB'`L <hF~L k , 在这里，GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量（在这种情况下是镜头的TOTL总长度）最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项，用A、S、MUL和DIV结合。例如，要控制厚度4和5的总和，可以输入 RWh}?vs_ M 34.567 A TH 4 3xC A\* A TH 5 `bi_)i6Low 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 2S10j%EeI GNR 0.5 10 4 P 1 }yC,uEV 在这个例子中，生成一个光线网格，参数0.5和10是权重，每半个光瞳4条光线，全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 [Ey%uh
6* GOALS部分的输入正式地采用如下形式 e[ k;SSs sp |y/r#
k s` 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 0R^(rE"2# aname是一个最多8个字符的可选字符串，全部由数字组成或以字母开头，名称中没有标点符号或空格。 U+}9X^ M表示最小化到指定目标；MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化，而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 7Hkf7\JY 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量，其他类型的像差可包含任何数量的分量。 y@8399;l 1oW]O@R 许多像差定义允许参考特定的表面编号，例如输入 -{ amzyvLE M 55 .1 A TH 6 mBgx17K/-_ 为厚度编号6指定目标值55。 6pz:Lfd80 当提到镜头内的表面编号时，有时使用如下特殊代码是方便的 hpi_0lMkI LB0 LAVt/TcZS| LB1 2mp>Mn~K^ LB2 7;s0m0<% ~ LB3 Ky~~Cd$ LB4 |`D5XRVbi ... ZxeE6&#M^w LB9 C"|_ j? FLAG j 8A R# FP1 P;91C'T-x FP2 9M~$W- 5 FP3 Eq.zCD8A FP4 /g- X=|?F ... J1ro\" \C\y' H5 FP9 cz~1 1j# FM1 2+Y`p z47W FM2 tZBE& :l FM3 G lc4g FM4 pO+wJ|f ... oW1olmpp= FM9 @:&dOqQ APS O*Pe [T5x' LB0、LB1、LB2指定“last but zero”，“last but one”，“last but two”，依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面，则参考表面6的示例可写为 Ytnr$*5. M 55 .1 A TH LB2 <@ex})su 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面，则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”，依此类推，让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面（在RLE文件中具有用SN APS ...声明）可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时，表面的数量不断变化，并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 b 020U>)v | B WK"G 在设计变焦镜头时，可以在AANT文件中的用指令 3A/MFQ#2 ZOOM nb X10TZ 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置，直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置，可以使用ZGROUP ... END 格式。例如， <; Z~ vZ] ZGROUP ALL ,r,;2,;6nd （像差，光线集，等） bD[W~ku END （结束该组） ^
/eSby 或者 UHszOl m`0{j1K ZGROUP 1 3 5 7 {$=%5 ...
n&{ N't END nE$ V<Co} ZGROUP 2 4 6 8 I{UB!0H ... (: k`wh& END (&x\,19U$ （其他AANT条目） F9%VyQf END （结束AANT文件） yAkN2 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组；第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 =umS^fJ5` 注意，ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组，而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 *njB
fH' ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0，将JSN表面后的空气间隔增加DT，为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 j-E>* N}-_ e%7P$. 对于多重结构优化，在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 WoR**J?}w ACON nb hpKc_|un S(s~4(o>8 除了上述定义之外，还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 !H .lVA AEC 监视边缘厚度，其中TH是变化的。 KAEpFob Yo AGE 监视玻璃元件的边缘厚度，其中TH是变化的。 {]N?DmF AFE 和AGE一样监视边缘，但在EFILE点A和E给出的孔径，或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径，则在CAO处。 $)a5;--W AAE 监视空气间隔的边缘厚度，其中TH是变化的。 !t{!. ACC 控制元件的最大中心厚度，其中TH是变化的。 TyXOd,%zl ACM 控制最小中心厚度，其中TH是变化的。 m5 g: Q ASC 防止表面斜率太陡，其中CV是变化的。 @}RyW&1Z ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角，其中CV变化。 $\H46Ji AAC 孔径控制，监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 82l";;n4p AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 v)pWx0l= ADT 监视透镜直径与厚度的比。 1#RA+d( AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 6% axbB ,urkd~ 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分，而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子： N=x, 96CF AANT K",]_+b AEC 7nIMIkT: GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 GoXHVUyp GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 AG=1TZI" GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 nJw1Sl5 GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 _CT |5wQF< GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 -p~B
-, GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 AIo;\35 GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 N|d @B{a( GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 L1+c v;t GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 |a3b2x, M 33 .1 A BACK ?!vW&KJZx ACA 60 1 =]Bm>67" ACC 40 1 H[oi? {L END 4 .qjTR
|
