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摘自User's Manual 10.3节 T+CajSV 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 : F9|&q-W, AANT [ P ] va,~w(G 开头
CL3xg)x6 以 Q`6i =mB; END `&*bM0(J 结束 PC/!9s0W 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: {o|k.zy 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 M_1;$fWq 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 @Icq1zb]
y 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 VLI' CL9yEy"V 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 wNDbHR M 34.567 A TH 4 jk70u[\ A TH 5 "wM1 qX 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 7%d8D>uw8 GNR 0.5 10 4 P 1 ' [p)N, 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 +^ yq;z GOALS部分的输入正式地采用如下形式 s3
B'>RG} v 1+U;Th>g t;O1IMF 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 FFcB54ALTf aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 Ix8$njp[ M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 z2 hFn& 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 %SA!p; wAF,H8 -DK 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入
|jG~,{ M 55 .1 A TH 6 0Y?H0 为厚度编号6指定目标值55。 %oof}=MxCL 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 tP(h9|[N LB0 2QUx&u: LB1 X6@w krf- LB2 s&tE_ LB3 ?<%=:
Yh LB4 "(TkJbwC[ ... s~L</Xvo
LB9 ,YLF+^w- FLAG \3zj18(@8! FP1 ,+1m`9} FP2 j8$Zv%Ca% FP3 sC7/9</ FP4 Zi
ESlf$ ... ?Rr2/W#F _8fA?q= FP9 ";NRzY FM1 P3o@g kXP FM2 (q;bg1\UK FM3 w"zE_9I\ FM4 !m y8AWO' ... *@S@x{{s FM9 E4oz|2!m APS
4na8 LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 fi%r<]@ M 55 .1 A TH LB2 eN>0wd5{L 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 8OFj0S1r` iEHh{H( 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 SoQR#(73HK ZOOM nb lj[,|[X7` 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, yfj(Q s ZGROUP ALL
dt,3"J (像差,光线集,等) 6NLW(?]
END (结束该组) HSz"
tN 或者 2U$"=:Cf vF={9G ZGROUP 1 3 5 7 Z S|WnMH ... hv)8K'u END T0QvnIaP ZGROUP 2 4 6 8 7 &%^>PU7 ... ff2d@P,! END ;)hw%Z]Jj$ (其他AANT条目) Jfhk@27T END (结束AANT文件) 4_=Ja2v8;` 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 &"E
lm 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 ?vtX"Fdz ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 U~f4e7x*O !!,0'c 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 LBlN2)\@ ACON nb :1wrVU-?h HEF?mD3h 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 j;nb?; AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 n=sXSxl AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 }VCI=?- AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 %V_-%/3Z AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 FY'dJY3O ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 <z)m%*lvU ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 D ]03eu ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 .2:\:H~3 ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 FQsUm?ac: AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 CXaWgxlK:a AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 #%,RJMv ADT 监视透镜直径与厚度的比。 C"pB"^0 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 </~ 6f(mg +Ic ~ f1zh 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: Fd$!wBL AANT MDa7 B +4 AEC MmoR~~* GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 fb]S-z ( GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 GF<[ } GNR 0 1.000000 3 2 1.000000
Qd`T5[b\ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 ^krk&rW3 GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 %:9oDK GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 e{w>%)rcP GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 7'p8a<x GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 .T B"eUy GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 @R6 ttx M 33 .1 A BACK #?O& ACA 60 1 cu9Qwm ACC 40 1 j]4,<ppWSH END |i%2%V#
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