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摘自User's Manual 10.3节 {G.{ad 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 bV7QVu8 AANT [ P ] s=j O;K$ 开头 m?vAyi 以 Prt#L8 END fiqj;GW 结束 },3R%?89% 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: "p2u+ 8? 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 ],#ZPUn 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 ;WPI+`- 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 Ut=0~x.=< 2f
/bEpi 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 /iTH0@Kw; M 34.567 A TH 4 q .)^B@}_ A TH 5 fY2l.H\f 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 Is~yVB02 GNR 0.5 10 4 P 1 fjG /dhr 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 -kt1t@O GOALS部分的输入正式地采用如下形式 Pyit87h{ ol1AD: Ho %hrsE5k^, 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 gB'`I(q5. aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 f61]`@Bk M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 P}b Dn; 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 )z|_*||WU^ lp3(&p<: 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 eq7C]i
rH M 55 .1 A TH 6 +2f>
M4q 为厚度编号6指定目标值55。 :K5V/-[|V1 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 $::51#^Wg LB0 r{c5dQ
LB1 zbdOCfA; LB2 vHoT@E#}' LB3 I-j(e)P(o_ LB4 __Vg/C!W ... A89Y;_4y LB9 nT(!HDH FLAG F5Cqv0HV FP1 k$Nx6?8E FP2 4h[2C6
\+` FP3 k{!iDZr&f, FP4 iFXUKGiV ... @faF`8LwA nau~i1 FP9 g5?r9e FM1 B>c[Zg1 FM2 vWZ>Hf]`L FM3 8kKRx FM4 kjQIagw ... <5C=i:6% FM9 * <Nk%` APS OD>u$tI9 LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 n/,rn>k7: M 55 .1 A TH LB2 B`t)rBy 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 S8rW'}XJ=H zSX' 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 i|::vl ZOOM nb HQjxJd5P 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, /i\uwa, ZGROUP ALL Ej9/_0lt (像差,光线集,等) ([z<TS#Md END (结束该组) lUy*549, 或者 Zi15wE bUEt0wRR ZGROUP 1 3 5 7 |^>L`6uo ... @Wlwt+;fT END 4IH0un ZGROUP 2 4 6 8 Lk$Je
O ... IDL^0:eg<. END T/X?ZK(T (其他AANT条目) 1VPfa END (结束AANT文件) 6=aBD_2@ 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 &eLQ;<qO*| 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 ~50y- ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 FN8=YUYK% ,
.NG.Q4f 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 C>\h?<s ACON nb ;8
/+wBnm ),W(TL 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 )U3 H15 AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 e2_r0I^C AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 %<bG%V( AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 nATfmUN
L AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 }(O D< ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 J_((o ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 6O[wVaC1u ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 Y ~\`0?ST ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 <LOx.}fv AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 eO[Cb]Dy: AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 #E~WVTOw ADT 监视透镜直径与厚度的比。 d~xU?)n) AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 OL6xMToP /^es0$Co. 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: u"
NIG AANT g)|++? AEC 5;i!PuL GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 N4JqW GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 v1tN
DyM6 GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 odn97,A GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 ~_^o?NE, GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 h(N9RJ} GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 JWm^RQ GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 z)?#UdBQv GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 {"@b` GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 7! A%6 M 33 .1 A BACK (w@MlMk ACA 60 1 GF/x;,Ae ACC 40 1 .]sIoB-54 END B$[%pm`'2
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