|
|
摘自User's Manual 10.3节 :F&WlU$L 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 P>|2~YxjU AANT [ P ] s9iM hCu| 开头 iq$/6!t 以 z{\.3G END 4KCxhJq 结束 $]FWpr%) 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: #_d%hr~d 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 a;K:~R+@, 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 +-hmITJv 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 {F j`'0Xu; k{~5pxd-t 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 )7^jq| M 34.567 A TH 4 iaB5t<t1r A TH 5 nV,a|V5Xm 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 EO5Vg GNR 0.5 10 4 P 1 )l=j,4nn 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 pPE4~g 05h GOALS部分的输入正式地采用如下形式 =F9-,"EAI mWh:,[o ,f$RE6 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 4t":WutC aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 }^H_|;e1p M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 <*[(t;i 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 FB@G.f 0PN{
+<?. 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 <t8}) M 55 .1 A TH 6 "ggq7cJ}_ 为厚度编号6指定目标值55。 Fq8Z:;C8 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 (f)QEho7 LB0 >a<;)K^1 LB1 c0@v`-9 LB2 {S?.bT%& LB3 wegBMRQVp LB4 [Y[|:_+5 ... m`/OO;/; LB9 D3]_AS&\ FLAG ^dro*a, FP1 %EuSP0 FP2 di|l?l^l FP3 &:rf80`z. FP4 v"`w'+ ... n}"MF>zDK ;yr'K FP9 , vWcWT FM1 ~sOAm FM2 [|vdr. FM3 V[~/sc ) FM4 .A E(D7d6 ... y&UsSS FM9 #(OL!B APS ZPXxrmq% LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 L!\I>a5C0G M 55 .1 A TH LB2 8{AzB8xp 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 G=DRz F KyjN' F$ 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 O%OeYO69 ZOOM nb 2vynz,^ET 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, ,a}+Jj{ ZGROUP ALL YQ]W<0( (像差,光线集,等) \j4TDCs_[ END (结束该组) C&\#{m_1B 或者 A," u~6Bn aPRF ZGROUP 1 3 5 7 Ay[6rUO ... 7"1M3P5*8 END [S4<bh! ZGROUP 2 4 6 8 tks1*I$S< ... HZ/e^"cpM END d-X<+&VZ (其他AANT条目) 3{CXIS END (结束AANT文件) ,#nyEE 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 +d<o2n4! 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 'vBuQinn ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 n}EH{k9# Tv!zqx#E 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 X-=49) ACON nb NSZ9M%7 u{J$]%C
除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 w~Aw?75t AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 `fS$@{YI_ AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 ka0MuQM AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 Dr)B0]KG AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 0-6rIdDTM ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 Fsz;T; ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。
Z/RSZ- ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 &sJ -&7YZ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 Qhy!:\&1 AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 %py3fzg AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 7v't# = ADT 监视透镜直径与厚度的比。 ]jjHIFX AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 H}?"2jF .~u[rc|< 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: 9(6f:D AANT Lcb5^e?'Q AEC IK1'" S| GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 Ym% XCl GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 - ({h @ GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 cDS\=Bf GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 41g
"7Mk GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 MQ#k`b#() GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 gWQ(B GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 tTOBKA89 GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 SP.k]@P GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 V/`vX;% M 33 .1 A BACK ZmI0|r}QbY ACA 60 1 ,<k%'a!B
ACC 40 1 z^vfha END BMug7xl"
|