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摘自User's Manual 10.3节 Zw _aeJ 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 *X{7m]5 AANT [ P ] q"6$#o{~U 开头 =<7z
:] 以 ijUu{PG`X END JWYe~ 结束 :U *8S\$ 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: I>JE\## ^n 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 S89j:KRXH% 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 # ACT&J 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 _p5#`-%mM [3s-S+n
@ 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 e^3D`GA M 34.567 A TH 4 M.
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p'^5 A TH 5 ]jC{o,?s 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 ]s\vc:cc? GNR 0.5 10 4 P 1 ACi,$Uq6R 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 ~CbiKez GOALS部分的输入正式地采用如下形式 }Hq3]LVE [@5cYeW3. !=PH5jTY 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 o $W@@aM aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 U;4i&=.! M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 t-o,iaPG3 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 9jY+0h*uP J]XLWAM 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 )[J!{$&y M 55 .1 A TH 6 KXDnhVf 为厚度编号6指定目标值55。 ,zr9* t 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 (]T[n={Y LB0 i&^JG/a LB1 Q~qM;l\i LB2 ^|p D(v LB3 JVkuSIR> LB4 M!5=3>Z ... ?d%{- LB9 5,s@K>9l; FLAG aJf3rHX FP1 vA!IcDP" FP2 %J9u?-~ FP3 m BFNg3_ FP4 .\T!oSb4[ ... q[W6I9 ][tR=Y#&y5 FP9 F~fBr FM1 -dO8Uis$ FM2 Uq_lT, FM3 u&uFXOc' FM4 ;$zvm`|: ... L(K 5f7\ FM9 j0~am,yZ APS 97\K ]Tr LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 PN?;\k)" M 55 .1 A TH LB2 Qs
za,09 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 %a
WRXW@c <=GZm}/]N 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 AVw oOvJ ZOOM nb e
ar:`11z 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, zJW2F_ ZGROUP ALL XP
o#qT8n (像差,光线集,等)
K];] END (结束该组) \By_mw 或者 f4\$<g/~ 2^
]^Yc ZGROUP 1 3 5 7 Z\`SDC ... SO *oBA' END T=u"y;&L ZGROUP 2 4 6 8 ?xH{7)dO ... 4V4S5V END 2"Wq=qy\J (其他AANT条目) (?8i^T?WP= END (结束AANT文件) vJGH8$%;, 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 u8KQV7E 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 Qx,#Hj ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 d3q.i5']G ,)*[Xa_n 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 ?M&@# lbG ACON nb 0j4n11# \9OKf|#j 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 y7:f^4 AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 -r<8mL:yW AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 j>;1jzr2} AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 (nq""kO6' AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 8CRbo24"s ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 G\MeJSt* ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 %.f%Q?P ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 ElpZzGj+ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 )e'F[ AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 B *O/>=_ AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 bj@R[!ss ADT 监视透镜直径与厚度的比。 R[l`# I AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 W[DoQ @q F*#!hWtb 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: %vy,A* AANT @OT$* Qh AEC :Ob^b3<t GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 nTo?~=b GNR 0 2.000000 3 2 0.750000
`ql8y ' GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 9-{ +U,3) GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 ^&86VBP GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 F%$ q]J[ GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 qS! Lt3+ GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 /KC^x=Xv: GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 Mx6
yk, GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 QnBWZUI M 33 .1 A BACK qonStIP ACA 60 1 o:ow"cOEf ACC 40 1 F7jkl4 END D:j5/ *
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