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摘自User's Manual 10.3节 :khl}| 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 L;/#D>U( AANT [ P ] Q1EY!AV8 开头 4r#O._Z 以 "Pi\I9M3 END %y.9S=,v, 结束 p 7IJ3YY 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: vLR)B@O,2 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 UT[nzbG 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 sN|-V+7&j 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 5~k-c Ua Pc{D,/EpR 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 (bt^L3}a M 34.567 A TH 4 1 Uz'=a A TH 5 }hyK/QUCoN 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 1 6;l,@ GNR 0.5 10 4 P 1 %(;jx 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 P]!$MOt GOALS部分的输入正式地采用如下形式 Tj*o [2mD wOE_2k /k<*!H]KSg 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 % \N.m/5 aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 bL_s[-7 M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 (ii 5p nq 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 seY0"ym&e X
+;Q= 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 /eDah3%d M 55 .1 A TH 6 JfKhYRl 为厚度编号6指定目标值55。 =sRd5aMs 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 U@yrqT@;AU LB0 mkYM/*qyM& LB1 ;Fcdjy LB2 9pE)S^P LB3 QnZR LB4 g _;5" ... ^i&Qr+v LB9 %r6LU<;1@ FLAG %#Wg>6 FP1 Zm%}AzM FP2 1mOZ\L!m* FP3 8"wA8l. FP4 FU!U{qDI ... 6_;3 .
)Fn]x"< FP9 X ~4^$x FM1 RTA9CR)JP4 FM2 v|_?qBs" FM3 lO%Z4V_Mj FM4 [=e61Z ... uI%h$ FM9 ;5my(J*b APS /.'1i4Xa1P LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 HT
A-L>Cee M 55 .1 A TH LB2 GY,@jp|R 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 F"hi2@/TI St|sUtj<r 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 {0QD-b o ZOOM nb qTqvEa^X` 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, qfC9 {gu ZGROUP ALL 'BAe>r_Pn (像差,光线集,等) 4TG| END (结束该组) ++,mM7a 或者 ,~K_rNNZ W$gSpZ_7 ZGROUP 1 3 5 7 TW3:Y\ p ... ":]O3 D{r END H=X>o.iVqi ZGROUP 2 4 6 8 ]*i>KR@G ... +hjc~|RK END }C"#b\A2 (其他AANT条目) Z I}m~7 END (结束AANT文件) xO1d^{~^^ 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 DLS-WL 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 b4%IyJr ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 "j$}'uK< Z|8f7@k{|+ 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 k%In
ACON nb %Pa-fee aE,x>I 7 D 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 GmAE!+" AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 D>G&aQ AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 i;|%hDNWA AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 v{% /aw AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 "a,Tc2xk ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 l*X5<b9 ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 r`<evwIe ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 \Z+v\5nmO ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 DN^ln%# AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 <wE2ly&x AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 Wc,8<Y' ADT 监视透镜直径与厚度的比。 *D<sk7 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 2tWUBt\,g Do_L 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: Z@I%ppd AANT 40g&zU- AEC ^<% w'*gR GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 :A[bqRqe GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 n]j(tP GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 Ok:@F/ v GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 jNIM1_JjD GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 e#zGLxa GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 yY"%6k,ZB GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 <K97eAcW GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 P?0b-Qr$a GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 X&p-Ge1>z M 33 .1 A BACK 10[~ki-1; ACA 60 1 /(}V!0\? ACC 40 1 1:>RQPXcWv END yTDoS|B+)
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