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摘自User's Manual 10.3节 kW'xuZ& 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 Y#'?3 AANT [ P ] t+R8{9L- 开头 Ol }^'7H 以 i.0}d5Y END +) pO82 结束 sC8C><y
所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: 67Z.aaXD1 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 ] ~;x$Z) 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 8 |2QJ 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 F_m[EB O-rHfIxY 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 3y}0J @ M 34.567 A TH 4 K._tCB: A TH 5 u$7od$&S 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 n'<FH<x GNR 0.5 10 4 P 1 *\?tW]8< 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 6}aIb .j GOALS部分的输入正式地采用如下形式 p[E}:kak_- CJ*8x7-t
f'hrS}e 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 sN6R0YW aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 {q9[0-LyJ M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 (Rqn)<<2 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 kaSy 9Y{ S#IlWU 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 $^ \8-k " M 55 .1 A TH 6 OT6uAm+\7_ 为厚度编号6指定目标值55。 alQMPQVin 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 ZzU3j ^ LB0 PU0Ha LB1 =(ULfz[: LB2 by 'P} LB3 t5r,3x!E LB4 ;pK/t=$ ... ))y`q@ LB9 W\JbX<mQ FLAG |9YY8oT. FP1 -YF]k}| FP2 ~x:\xQti FP3 {+CW_ce FP4 \'z&7;px ... ('H[[YODh jV83%%e FP9 HAq FM1 ao2NwH## FM2 vrr&Ve FM3 "bI'XaSv FM4 vbH?[Zr? ... ?`wO
\>y FM9 W(^R-&av APS A*;I}F LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 4x.1J M 55 .1 A TH LB2 84xA/BR W 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 El3Y1g3+3 U ?vG?{A 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 nE_g^ ZOOM nb WCK;r{p%I 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, %Vf3r9
z ZGROUP ALL e^;<T9Esr (像差,光线集,等) .UxbwTup END (结束该组) 60
D0z 或者 P?- #d\qi G/l 28yt ZGROUP 1 3 5 7 S;pKL,d>r ... z[zURj-*] END `:=af[n ZGROUP 2 4 6 8 0K+a/G@
n\ ... A1VbqA END AoL2Wrk]\B (其他AANT条目) ~
ZkSYW< END (结束AANT文件) O[9>^y\, 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 Dt)O60X3> 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 (jR7D"I ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 2n/cqK BU3VXnqT[ 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 N0]C?+ ACON nb ??X3teO{ eouxNw}F1 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 |f9fq~'1e AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 7/ $r AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 jv8diQ. AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 $2tPqZ> AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 GJpQcse% ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 H1!u1k1nl ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 Or {9?;G ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 h-0#h/u>M ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 &OK[n1M AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。
l,}^<P] AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 x{GKz# ADT 监视透镜直径与厚度的比。 #Cj$;q{! AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 gb_r <j:w ymNL`GYN[ 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: `E @TPdu AANT V_1'` F AEC fga{b7 GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 WTlR>|Zdn GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 Mg7nv\6 GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 u]<7}R@s GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 <1^\,cI2 GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 Cob<N'. GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 g8+Ke'=_ GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 $|0?$U7! GNR 0 2.000000 3 3 0.750000
Sj,>O:p GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 be@\5
M 33 .1 A BACK tTX@Bb8 ACA 60 1 JPsR7f ACC 40 1 $e99[y@ END JDa=+\_
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