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摘自User's Manual 10.3节 }K8/-d6 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 JHf AANT [ P ] ~rjTF! 开头 ?<6CFH] 以 u_7~TE3W END lg047K 结束 Hcc"b0>}{ 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: y^7}oH _ 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 pIbdN/z 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。
^xPmlS;X 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 $ "Bh]- V^Hu3aUx8
在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 v:+~9w+ M 34.567 A TH 4 &sF^Fgg{ A TH 5 ~^+0 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 b=3H GNR 0.5 10 4 P 1 C{2xHd/* 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 X*,Kb(3 GOALS部分的输入正式地采用如下形式 inlk++Og :UJ a&$) ~{}#)gGU 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 GJqE!I,. aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 JJRK7\~$ M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 .k[o$z\EkF 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 t\$U`V) JF/,K"J 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入
Mkq( T[) M 55 .1 A TH 6 sl*5Y#,|1 为厚度编号6指定目标值55。 pu,?<@0YK 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 Q]o C47( LB0 XR!us/U`a LB1 ZIdA\_c LB2 !;_H$r0 LB3 cwV]!=RtO LB4 r]ShZBAbYp ... kF>o.uSV LB9 5{$LsL FLAG 4`Ic&c/ FP1 pKS
{ 6P FP2 V(Yxh+KU FP3 ^}f -!nf[ FP4 \n9zw' ... _20#2i& (RtueEb.~E FP9 ~SvC[+t+U FM1
y<C<_2 FM2 lgpW@g FM3 .@-$5Jw FM4 -)vEWn$3< ... jgS%1/& FM9 KgN)JD> APS nADX0KI LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 h$N0D ! M 55 .1 A TH LB2 ^t7x84jhL 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 5'a3huRtV #P#-xz 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 "n:{!1VGw ZOOM nb ( )sTb>L 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, l^J75$7 ZGROUP ALL 8P:
Rg%0) (像差,光线集,等) m*X[ Jtr END (结束该组) PA w-6; 或者 :fk2]{KTL n41@iK2l ZGROUP 1 3 5 7 ;6
+}z~ ... 1}ZKc=Pfu END d2s OYCKe ZGROUP 2 4 6 8 ceGa([#!\_ ... e"r)R8 END fFjH "2WD (其他AANT条目) ?[x49Ux,P END (结束AANT文件) 1{_A:<VBl 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 '&;yT[ 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 $(Ugtimdv ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 kX:tc ;O 0+, 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入
htY=w}> ACON nb f`>/
H!<2 w<9>Q1( 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 !QmzrX}h AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 3\;27&~gV AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 B5X sGLV AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 TO,rxf AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 Y,8KPg@W ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 ,%bhyww< ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 G1 o70 ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 l:]Nn%U(> ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 ^% Q|s#w. AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 l!E7AKk8 AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 G= ^X1+_ ADT 监视透镜直径与厚度的比。 -oz`"&% AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 ECa$vvK
m *sQcg8{^ 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: m\/(w_/? AANT vFrt|JC_{ AEC T2?HRx GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 ~#\i!I;RY} GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 PCc|}*b GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 EPW7+Ve GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 S~$'WA GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 t<:D@J]a GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 J` {6l GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 nRhrWS GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 6) \dBOz GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 wxLXh6|6%_ M 33 .1 A BACK +)nT|w45 ACA 60 1 Q4s&E\} ACC 40 1 "%8A:^1 END v}J;ZIb
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