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摘自User's Manual 10.3节 7jss3^.wA 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 i2. +E&3v AANT [ P ] [BPK0 开头 }I3 ZNd 以 n}KF)W= END _Xs(3V@'} 结束 ^HJvT)e4 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: \nfjz\"R?b 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 {RG4 m{#9 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 c@eQSy 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 QcW6o, uPe&i5YR 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 y\a@'LFL M 34.567 A TH 4 BM~>=emc A TH 5 j{8;5 ?x 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 1/JtL>SKE GNR 0.5 10 4 P 1 )Y@E5Tuk> 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 bcM65pt_C GOALS部分的输入正式地采用如下形式 bD2):U*Fzo /nPNHO>U DGc5Lol~ 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 sJI"
m'r=Z aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 -0I]Sm;$ M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 M0jC:*D`" 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 Q1Jw7R#?l U4$}8~o4 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 =c(t;u6m- M 55 .1 A TH 6 `>HM<Nn-0 为厚度编号6指定目标值55。 "c9T4=]&t 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 A$JL"~R LB0 **,(>4j LB1 (WCczXm ) LB2 )ajF ca@v LB3 q0m>NA
LB4 u5'jIqlU ... 6E^h#Ozl
9 LB9 9Sb[5_Q FLAG
~ERA FP1 {uCXF~v FP2 |8{c|Qz FP3 3+<f7 FP4 9} *Pb6 ... 3D}rxI8N +A;AX.mr FP9 fb=[gK#*, FM1 C:9a$ FM2 HV?Q{XK.b FM3 :aO`q/d FM4 4[XiD*
* ... &6@#W]_ FM9 x/d(" Bb APS rOo|.4w LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 %ij,xN M 55 .1 A TH LB2 n40&4n 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 F97HFt6{ b(HbwOt~3 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 Y& p
~8 ZOOM nb rw }wQP_' 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, PAy/"R9DT- ZGROUP ALL olxnQYFo (像差,光线集,等) gucgNpX END (结束该组) KW@][*\uC 或者 '},
8x? ">M:6\B ZGROUP 1 3 5 7 @Rw]boC ... /J5)_>R: END =J GL~t? ZGROUP 2 4 6 8 eJy}W / ... "nA~/t= END gWGh:.*T (其他AANT条目) F@l d#O END (结束AANT文件) 8#ZF<BY 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 e6i m_ Tk 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 2]V&]s8Wi= ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 ?'^dYQ4 l
Zz%W8" 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 -%ftPfm ACON nb IIY3/ SH5a&OVZhn 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 M`49ydh& AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。
RQ;}+S AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 Fql|0Fq AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 1wLEkp!~ AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 uwc@~=; ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 Zq" ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 _-:CU
ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 /_!Ed] ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 @ruWnwb AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 7srq~;j3 AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 VLcwBdo ADT 监视透镜直径与厚度的比。 B'hN3. AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 X!|K 4Z!k f/vsf&^O 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: Y<;KKD5P'j AANT jL0=a.; AEC 6^sH3=# GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 ,FK.8c 6g GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 *:Uq
;)* GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 I#:Dk?"O2 GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 @y/!`Ziw GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 }q=tg9 GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 4O7
{a GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 ?>DwNz^.! GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 9dwLkr GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 qkA8q@Y4| M 33 .1 A BACK w^^8*b< ACA 60 1 IqCh4y3 ACC 40 1 ke19(r Ch END cuh Z_l
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