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摘自User's Manual 10.3节 SA{5A 1 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 k;
ned AANT [ P ] sfs2ki H 开头 |)%;B% 以 8UXtIuQ END %(>,eee_ 结束 3zzl|+# 6 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: #dkSAS 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 >`I%^+z 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 uVa`2]NV r 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 ?4#wVzuzA !H~PF*,hY 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 W('V2Z-q M 34.567 A TH 4 a=M/0N{! A TH 5 nRcy`A% 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 ISg-?h/ GNR 0.5 10 4 P 1 Z*YS7 ~ 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 NV`=T?1[5 GOALS部分的输入正式地采用如下形式 <STE~ZmO ;!)gjiapw :*eJ*(M 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 ^>#@qMw aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 _eUd
RL> M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 r;GAQH}j_ 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 R6\|:mI,$ lCGEd 3 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 {}"a_L&[; M 55 .1 A TH 6 afd.v$63 为厚度编号6指定目标值55。
>)VWXv0 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 ;OSEMgB1 LB0 >9t+lr1 LB1 u^( s0q LB2 ^tI4 FQ>Y LB3 E51S#T LB4 o':K4r; ... bZu2.?{ LB9 Vsd4; FLAG -=)+)9~G FP1 ,D\}DJ`)C FP2 'SKq<X%R; FP3 fk\hrVP FP4 5Vlm?mPU ... ]~4*ak=)5\ Gk!CU"`sP FP9 X 1}U FM1 S%o6cl = FM2 Vw5Pgt x FM3 /@@?0xjX FM4 ]P)2Q!X ... }ni@]k#q< FM9 CIAKXYM APS L[MAc](me- LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 jm,:jkr M 55 .1 A TH LB2 F **/T 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 Wx8n) _g6H&no[ 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 2C#b-Y1~N ZOOM nb fnK H< 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, L6J.^tpO ZGROUP ALL
!qTP (像差,光线集,等) fDwqu.K END (结束该组) D{M&>. 或者 `2n%Lo?_ Zz! yv(e)H ZGROUP 1 3 5 7 DiSU\?N2' ... j4$NQ]e^4 END ;ApldoMi ZGROUP 2 4 6 8 RU\MT'E>( ... :xC1Ka%~ END Pl&x6\zL (其他AANT条目) >g2Z t;*@w END (结束AANT文件) cCq mrjUmV 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 J1Oe`my 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 }a!c ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 XRXQ
7\n A4Tjfc,rx9 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 bH.f4-.u>) ACON nb ab>>W!r@! e]D TK*W~ 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 wa$Q8/ AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 z W*Z AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 <UbLds{+Uo AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 ,9~qLQ0O AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 PF0AU T ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 #Wely~ ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 `$ZBIe/u ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 X"S")BQ
q ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 j "e]Ui AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 q!<n\X3]u AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 2@:Ztt6~ ADT 监视透镜直径与厚度的比。 i(0%cNP7 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 "T~A*a^ T:S[[#f{5 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: 0134mw%jk AANT /8LTM|( AEC +}Qq#^:_\ GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 "$ep=h+ GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 +%)bd GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 NH!x6p]n GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 9zlhJ7i GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 a+P^?N GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 U\(T<WX, GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 |[MtUWEW GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 uex([;y GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 hd#MV!ti M 33 .1 A BACK 73kI%nNB ACA 60 1 Us4#O& ACC 40 1 (RI+4V1 END E/3<8cV
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