|
|
摘自User's Manual 10.3节 h]|E,!H 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量，像差输入文件必须以 l]pHj4`uv AANT [ P ] jrOqspv 开头 *U[Nn5#? 以 P5vxQR_*lc END #!a}ZhIt 结束 VR/*h% 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差，有六种类型： 9e`.H0 在默认模式下（开关29打开），SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P]，并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭，可以控制列表的形式；[P]产生一个输入图像，而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 ?9F_E+! 如果开关89打开，则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长，并且很少需要检查所有列表，因此默认关闭此开关。 A7 |CG[wZ 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入，如 W.B;Dy,Y @W {VT7w 在这里，GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量（在这种情况下是镜头的TOTL总长度）最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项，用A、S、MUL和DIV结合。例如，要控制厚度4和5的总和，可以输入 =th(Hdk17 M 34.567 A TH 4 J\WUBt-M A TH 5 Nb[zm|. 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 +Wr"c GNR 0.5 10 4 P 1 Sr9)i8x{ 在这个例子中，生成一个光线网格，参数0.5和10是权重，每半个光瞳4条光线，全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 ZSB_ OS[N GOALS部分的输入正式地采用如下形式 \wyn ]8 Eci^i
??4#)n
k 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 eU[f6OGqC aname是一个最多8个字符的可选字符串，全部由数字组成或以字母开头，名称中没有标点符号或空格。 W .B>"u M表示最小化到指定目标；MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化，而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 3 &aB U [ 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量，其他类型的像差可包含任何数量的分量。 Sqc
r
- x] 1G u 许多像差定义允许参考特定的表面编号，例如输入 ,-4SVj8$P M 55 .1 A TH 6 o@p(8=x 为厚度编号6指定目标值55。 3)? v 当提到镜头内的表面编号时，有时使用如下特殊代码是方便的 E[z8;A^: 0 LB0 6:(R/9!P LB1 7tEK&+H` LB2 t Hvc *D LB3 u:6PAVW? LB4 QG|KZ 8uO ...
$O+e+Y LB9 Ql%0%naq1 FLAG )_MIUQ% FP1 d G}.T_l FP2 |GDf<\ FP3 vP_V%5~yN FP4 rh8.kW-K_ ... JTK0#+? SGZ]_ FP9 ]m>N!Iu FM1 fn!(cE|`E FM2 nE~HcxE/ FM3 kLr6j-X FM4 wRc=;f ... oic j3xkw? FM9 TAkM-iyH] APS #Cwzk{p( LB0、LB1、LB2指定“last but zero”，“last but one”，“last but two”，依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面，则参考表面6的示例可写为 Eyv |~D M 55 .1 A TH LB2 < @Lw ' 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面，则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”，依此类推，让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面（在RLE文件中具有用SN APS ...声明）可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时，表面的数量不断变化，并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 %LL*V| m((A 在设计变焦镜头时，可以在AANT文件中的用指令 \:ELO[(#|{ ZOOM nb CdT yUl 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置，直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置，可以使用ZGROUP ... END 格式。例如， qkM<t?uS ZGROUP ALL -y@5% _- （像差，光线集，等） np>RxiB^ END （结束该组） l~Em2@c 或者 v}$s,j3NO _ l i\b- ZGROUP 1 3 5 7 L$ nFRl& ... ;w^-3 U7: END ? 89ZnH2/ ZGROUP 2 4 6 8 ?q68{!{bi ... Qp~W|zi( END mXX9A a> （其他AANT条目） m4U7{sE END （结束AANT文件） dIOj]5H3F 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组；第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 5]Wkk~a 注意，ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组，而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 jslfq@5v ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0，将JSN表面后的空气间隔增加DT，为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 )$#
Ku2X DwQa j"1<% 对于多重结构优化，在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 S qiLp!Y` ACON nb J!%cHqR m[@7!.0=
除了上述定义之外，还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 0@ -3U{Q AEC 监视边缘厚度，其中TH是变化的。 /K#t$O4 AGE 监视玻璃元件的边缘厚度，其中TH是变化的。 W6Os|z9&| AFE 和AGE一样监视边缘，但在EFILE点A和E给出的孔径，或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径，则在CAO处。 7R$]BY= AAE 监视空气间隔的边缘厚度，其中TH是变化的。 ?c vXuxCm ACC 控制元件的最大中心厚度，其中TH是变化的。 .ZK|%VGW ACM 控制最小中心厚度，其中TH是变化的。 9$9Pv%F:j ASC 防止表面斜率太陡，其中CV是变化的。 =Yxu {]G ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角，其中CV变化。 OV l,o AAC 孔径控制，监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 ozs
xqN AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 _;A? w8z ADT 监视透镜直径与厚度的比。 G1Qc\mp AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 ([-xM%BI6 nU Z+N)* 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分，而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子： ty8\@l AANT k)2L <Lmn AEC c`'2 GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 a;Nj'M~U GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 EW* 's( GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 Q%xvS,oI GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 |JpLMUG GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 HiBw==vlV GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 2 9 +p|n GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 -3M6[`/ GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 #&Zb8HAj GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 P|"U M 33 .1 A BACK e3+'m ACA 60 1 P=)&]Pz ACC 40 1 G/F0 )M END |eEc Eu?/b
|
