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摘自User's Manual 10.3节 &UJTy' 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 pUCEYR AANT [ P ] Q+y-*1
开头 ~x+:44* 以 eY6gb!5u END JWUv H 结束 &kr_CP:; 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: -67f33 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 HPd+Bd 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 >FEQtD~F 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 8YJqM,t5) )n3biQL_ 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 ~;O=
7 M 34.567 A TH 4 k{u%p < A TH 5 ?G%, k
LJJ 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 x/jN&;"/ GNR 0.5 10 4 P 1 no\}aTx 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 Sj]T{3mi GOALS部分的输入正式地采用如下形式 40l#'< y; 5
a*'N~ gYH:EuY, 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 W0uM?J\O aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 1+PNy d M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 XR=c
8f 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 ?`[ uh% R^Eu}?<f
许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 ;Cp/2A}Xx M 55 .1 A TH 6 \ /X!tlwxh 为厚度编号6指定目标值55。 !\D]\|Bo 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 o"+&^ LB0 ZC\.};. LB1 dO4U9{+ LB2 qeO6}A"^| LB3 1o"oa<*_ LB4 77=y!SDP ... $xn%i\ LB9 s%TO(vT FLAG 3vGaT4TDx FP1 1-Wnc'(OK FP2 :Ro"
0/d FP3 RxDxLU2kt FP4 (Ss77~W7 ... gJ[q
{b >J75T1PH= FP9 t%YX-@ FM1 Bc"}nSjH FM2 HEfA c
FM3 `\u),$ FM4 BO\`m%8md ... <n2{+eO FM9 ,tv9+n@x APS 2.L6]^N p( LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 8!fAv$g0 M 55 .1 A TH LB2 M0IqQM57N 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 VFaK>gQ !vo '8r?& 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 ]B.,7 ZOOM nb ujp,D#xHP 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, "E[*rnsLN ZGROUP ALL 2,QApW_Y (像差,光线集,等) &/#Tk>: END (结束该组) rpP+20 v 或者 k-PRV8WO \w\47/k{ ZGROUP 1 3 5 7 qxCL ... .1q~,}toX END 6g,3s?aT ZGROUP 2 4 6 8 w0%ex#lkm ... \U => END 8_,wOkk_B (其他AANT条目) 7z0uj END (结束AANT文件) `YU:kj<6 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 ]X;*\- 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 aZCZ/ ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 K~~*M?.Z ]be2jQx3 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 gl{PLLe[} ACON nb (V%vFD1) -EIMh^ 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 Gg,k AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 hr"+0KeX AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 7Z :l;%]K AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 !F s)"? AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 0JL6EL>_ ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 Jy[8,X ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 00x^zu?N ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 z{+; '9C ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 $W]guG AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 -r0\ AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 y/*Tvb #TJ ADT 监视透镜直径与厚度的比。 >bP7}T AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 e$|)wOwU !x /Z" 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: +GtGyp AANT gG> ^h1_o~ AEC N28?JQha GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 g5N<B+?!i GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 /'^>-!8_1 GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 Y-k~ 7{7 GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 f;dU72]q+ GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 gx
R|S
GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 d(tf: @ GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 "r3s'\ GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 ON!G{=7 GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 jJC((1| M 33 .1 A BACK #mxfU>vQ: ACA 60 1 D??/=`|8 ACC 40 1 QRa6*AYm END rZ4<*Zegv
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