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摘自User's Manual 10.3节 JiFB<Q\ 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 R^&.:;Wi> AANT [ P ] KtD
XB> 开头 L'u*WHj|v 以 +,T z +! END V)A7q9Bum 结束 IZ<Et/3H 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: .S[M:<<* 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 QXEz[R 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 ^Q9K]Vo 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 7n]ukqZ kQD~v+u{` 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 X3'd~!a) M 34.567 A TH 4 >?[?W|k7V A TH 5 *#83U? 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 Zs2;VW4RW GNR 0.5 10 4 P 1 T_[ 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 |_ OoD9,M GOALS部分的输入正式地采用如下形式 m-]F]c=)w< 'LYN{ !uP8powO 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 ce:wF#Qs aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 b%7zu}F M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 /0b7"Kr 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 VFq7nV/O Z-3("%_$/ 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 kRV]`'u, M 55 .1 A TH 6 ki|OowP 为厚度编号6指定目标值55。 1BSn#Dnj 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 T?CQgVR LB0 o1thGttVDg LB1 `+i/rc1. LB2 NfZC} LB3 ?}HZJ@:lB LB4 KQ ^E\,@o ... qv[w
1;U" LB9 3gYtu-1 FLAG -$I$z o FP1 ! LCy:>i!d FP2 @6*eS+t\ FP3 =.l>Uw! FP4 ?
M.'YB2 ... 3;88a!AA! zXk^ugFy FP9 3xgU=@!; FM1 SeuDJxqopD FM2 [AYJ(H/ FM3 3Xy~ap>Y FM4 BZIU@^Q_Y[ ... Jl|^^? FM9 j+e
s APS Mm!;+bM% LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 }"[/BT5t M 55 .1 A TH LB2 $01~G?:]` 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 ilZQ/hOBH '<'5BeU 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 /S @iF ZOOM nb dh1 N/[ 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, x6ayFq= ZGROUP ALL OTNI@jQ) (像差,光线集,等) g?*D)WU END (结束该组) ]W5p\(1g 或者 c4zGQoeH: &Lbwx&!0b ZGROUP 1 3 5 7 /. H(& ... <U8w# dc END
bDD29 ZGROUP 2 4 6 8 W$W w/mcl+ ... Tl#2w= END 24wr=5p]Q (其他AANT条目) eU.C<Tv:8 END (结束AANT文件) $LcMG,8%_ 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 )`6OSB 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 y
qK*E* ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 ?}= $zN ^z~drcR 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 4~8-^^ ACON nb tY:,9eh7B ab#z&jg! 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 L(9AcP AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 fPstSez AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 4N=
gl( AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 SLp nVD:'1 AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 s(e1kk}" ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 irP*:QM ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 [
$" ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 N8=-=]0G ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 'I:_}q AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 Hs{x Z: AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 J|@D @\?7 ADT 监视透镜直径与厚度的比。 j`K0D65 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 IRTWmT
jT \j &&o 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: n xR\tBv AANT }^P"R[+4u AEC jVHS1Vsei GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 y=jZ8+M GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 *SlWA)9Y GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 =k;X}/ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 |;^$IZSsz GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 P#
U| GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 /LtbmV GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 e)}=T0
s GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 _H-Fm$Q GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 F8M};&=*1r M 33 .1 A BACK nZG
zez ACA 60 1 P0U&+^W"9 ACC 40 1 ln":j?` END B\%
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