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摘自User's Manual 10.3节 N2^=E1|_ 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 [Kg+^N%+ AANT [ P ] 99e.n0 开头 S6Q 以 e5ZX END C!<Ou6}!b 结束 t6"%3#s 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: gh]cXuph 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 BA:VPTZq 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 E4jNA}3k+ 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 Woym/[i pI\]6U 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 Rsm^Z!sn M 34.567 A TH 4 &jJL"gq" A TH 5 X'Xx"M 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 q"lSZ;
'E GNR 0.5 10 4 P 1 1v27;Q<+Q 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 >1Ibc=}g GOALS部分的输入正式地采用如下形式 l_d5oAh
kS);xA8s] lukB8 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 eu-*?]&Di aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 tX s\R(?T M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 -`h)$&, 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 H/
HMm{4 &K#M*B,*p 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 )*J^K?!S M 55 .1 A TH 6 K($Npuu] 为厚度编号6指定目标值55。 \!ZTL1b8t 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 4xje$/_d
LB0 O,f?YJ9S LB1 YK'<NE3 4 LB2 Wqw1J=] LB3 BX7kO0j LB4 013x8!i ... A?P_DA LB9 cF}".4|kZ< FLAG vpr.Hn FP1 +I|vzz`ZVr FP2 O<?R)NH-P FP3 hL{KRRf> FP4 [RhO$c$[\ ... db7B^|Di
!l8PDjAE FP9 .M%}X7 FM1 '-~~-}= sJ FM2 ,#9PxwrO FM3 <\^8fn FM4 JPw.8|V)y ... VU3upy< FM9 %P|/A+Mg" APS sUQ@7sTj LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 hRhe& ,v M 55 .1 A TH LB2 @I?=<Riu 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 n{mfn*r. NZ0;5xGR 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 ;HO= ZOOM nb E ~<JC"] 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, 9rf)gU3{+L ZGROUP ALL >|UOz& (像差,光线集,等) fuySN!s END (结束该组) }K|oicpUg 或者 LZY"3Jn[nQ /a4{?? #e ZGROUP 1 3 5 7 b8 likP"T ... kt:!
7 END #@Jq~$N| ZGROUP 2 4 6 8 N`e[:[ ... }o`76rDN END 37o;; (其他AANT条目) 1=V-V< END (结束AANT文件) ~Mxvq9vaD 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 T_4/C2 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 y}|s&4Sq ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 t b}V5VH "4{r6[dn 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 v.qrz"98- ACON nb KbeC"mi %EB/b 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 zTU0HR3A AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 <Q3c[ Y AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 D*d]aC AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 _oeS Uzq. AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 sXFZWj}\ ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 fz
"Y CHe ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。
o66}yJzmD ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 F:S}w ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 o`-msz AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 UkFC~17P AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 Qo|\-y-# ADT 监视透镜直径与厚度的比。 l*G[!u AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 j0q&&9/Jj H<+TR6k< 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: vnuN6M{ AANT EfT=? AEC dSHDWu& GSR 0 10.000000 3 2 0.000000
El8,,E GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 1?l1:}^L GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 [Y `W GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 'LDQgC*% GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 _|`S3}q|d GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 hM!a_' GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 p6S8VA GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 "" EQE>d GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 cFX p M 33 .1 A BACK xskz)kk ACA 60 1 ]6j{@z?{ ACC 40 1 f
_:A0 END @2i9n
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