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摘自User's Manual 10.3节 x>tsI}C 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 RTr"#[ AANT [ P ] @MP ;/o+ 开头 rvuasr~ 以 {r%T_BfY END DE+k'8\T 结束 Ca-.&$f 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: Nt\0) &b 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 Lp(i&A 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 sX-@
>%l 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 @_wJN Qo` Y<V$3h 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 !f]kTs]j~ M 34.567 A TH 4 %|j8#09 A TH 5 ZQ>Q=eCs 1 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 *Nfotv GNR 0.5 10 4 P 1 z;MPp#Y 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 o=6 <?v7 GOALS部分的输入正式地采用如下形式 6Yc(|>b! z,bK.KFSs -{q'Tmst 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 ;/t~MH aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 10)RLh|+ M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 FmFjRYA W 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 `F]
}1%%` 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 YrYmPSb= M 55 .1 A TH 6 `sDLxgwI 为厚度编号6指定目标值55。 RB6Q>3g 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 bDm7$ ( LB0 ahQY-%> LB1 $E.Fgy:G LB2 +prUau* LB3 %~} ,N LB4 ^!x! F ... -2(?O`tZ LB9 m'N8[ o|h FLAG )iZU\2L FP1 |KY-kRN7 FP2 |sY FP3 |f/Uzd ~ FP4 y/:%S2za> ... bWSc&/9y dPbn[*: FP9 Fq_>}k@fI FM1 [$pb FM2 )EQz9 FM3 )2#&l FM4 ca3SE^ ... 1uppE| FM9 Xs# _AX APS ' Ttsscv LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 ~( 0bqt3c M 55 .1 A TH LB2 4w#2m>. 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 sp
MYn&p oK
7:e~ 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 Bs` {qmbC ZOOM nb c~O
Lr 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, KeRC8mYp ZGROUP ALL #"lb9._M (像差,光线集,等) Aj=GekX{ END (结束该组) NL>Trv5 或者 4c95G^dZ ;']u}Nh ZGROUP 1 3 5 7 W$2\GPJt ... `/'p1?Z" END |cP:1CRzi ZGROUP 2 4 6 8 09trFj$L ... I>JE\## ^n END y.}{KQ"a* (其他AANT条目) B :S8{ END (结束AANT文件) dQZdL4 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 _P!b0x~\ 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 HA,8O[jon ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 E?czolNl bmK 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 y`L.#5T ACON nb iw=e"6V 2O*At%CzW 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 ZI;*X~h AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 : r ~iFP* AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 Bpm COA AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 2G$px AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 U# S-x5Gn ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 y<w_>O ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 ?jUgDwc(w ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 LAo$AiTUR{ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 |aAyWK S AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 U5TkgHN{y AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 ygj%VG ADT 监视透镜直径与厚度的比。 c0o Z7)*} AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 VevG 64o yj#FO'UY 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: T4Vp0i AANT o$l8"Uv AEC ^|p D(v GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 - _8-i1? GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 |;xEKnF GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 =}Zl
E GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 =X^a GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 O/FI>RT\H GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 %&&)[ GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 hnB`+! GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 6H:
fg GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 *]NfT}} M 33 .1 A BACK k{#k: ACA 60 1 *#b
e ACC 40 1 8 yi#] 5`Q END 2ua!<^,
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