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摘自User's Manual 10.3节 g 6;O)b 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量，像差输入文件必须以 ?gH[tN:= AANT [ P ] }us%G&A2u 开头 +SZ#s :#SE 以 S'B7C>i`#N END ,`S"nq 结束 m 9.QGX\] 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差，有六种类型： d=Q0 /sI& 在默认模式下（开关29打开），SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P]，并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭，可以控制列表的形式；[P]产生一个输入图像，而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 gV $Lfkz 如果开关89打开，则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长，并且很少需要检查所有列表，因此默认关闭此开关。 3#^xxEu 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入，如 gMFTZQsP m:ITyQ+ 在这里，GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量（在这种情况下是镜头的TOTL总长度）最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项，用A、S、MUL和DIV结合。例如，要控制厚度4和5的总和，可以输入 Y]^[|e8 M 34.567 A TH 4 U3 ED3)
D A TH 5 N r
uXXd 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 cuW$%$ F GNR 0.5 10 4 P 1 `?2S4lN/ 在这个例子中，生成一个光线网格，参数0.5和10是权重，每半个光瞳4条光线，全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 Ko kmylHu GOALS部分的输入正式地采用如下形式 [gqV}Y"Md GwxfnC Ki9
KZsSTB 6J 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 V`G)8?% Vy aname是一个最多8个字符的可选字符串，全部由数字组成或以字母开头，名称中没有标点符号或空格。 f* p=]]y M表示最小化到指定目标；MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化，而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 xBl }=M?Qu 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量，其他类型的像差可包含任何数量的分量。 gX.4I; +p> tO\mo 许多像差定义允许参考特定的表面编号，例如输入 G %Wjtrpj M 55 .1 A TH 6 Z _ak 4C 为厚度编号6指定目标值55。 z;2kKQZm 当提到镜头内的表面编号时，有时使用如下特殊代码是方便的 -jFvDf,M,D LB0 j@&F[ r LB1 m80Q Mosp LB2 rcY[jF LB3 e#<%` \qH LB4 j^Bo0{{ ... 5O]ph[7 LB9 mj{TqF FLAG m!t B;:6 FP1 C8e{9CF FP2 >#)^4-e FP3 C M!bD\5 FP4 PL%U ... pbl;n| L: }hZf{p* FP9 6Y`eYp5A FM1 jLM1 ~`& FM2 D0.7an6 FM3 r@%-S!$ FM4 BwEO2a{ ... u?& P6|J& FM9 l> W?XH APS zr-HL:js LB0、LB1、LB2指定“last but zero”，“last but one”，“last but two”，依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面，则参考表面6的示例可写为 `!K(P- yB? M 55 .1 A TH LB2 {M )Y6\v 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面，则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”，依此类推，让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面（在RLE文件中具有用SN APS ...声明）可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时，表面的数量不断变化，并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 ?<%GY dus 6`J*{%mP 在设计变焦镜头时，可以在AANT文件中的用指令 -2{NI.-Xd ZOOM nb ~*79rDs{ 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置，直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置，可以使用ZGROUP ... END 格式。例如， g~r Z= ZGROUP ALL |~Z.l （像差，光线集，等） xVf AlN37( END （结束该组） N>/!e787OU 或者 I~-W4 { sC(IeGbX ZGROUP 1 3 5 7 W.'#pd ... *%=BcV+, END $ BXZFC_1S ZGROUP 2 4 6 8 ^KM' O8 ... &5h {XSv END
a`
s2 z （其他AANT条目） | (JxtQqQg END （结束AANT文件） A,Wwt
[Qw 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组；第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 V|gW%Z,j 注意，ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组，而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 {E@Fk, ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0，将JSN表面后的空气间隔增加DT，为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 gFizw:l MHeUh[%( 对于多重结构优化，在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 xQ+UZc ACON nb O2g9<H )CJXk zOX 除了上述定义之外，还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 S81% iz.n AEC 监视边缘厚度，其中TH是变化的。 ? <)4_ AGE 监视玻璃元件的边缘厚度，其中TH是变化的。 lqe|1vN AFE 和AGE一样监视边缘，但在EFILE点A和E给出的孔径，或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径，则在CAO处。 (0dy,GRN AAE 监视空气间隔的边缘厚度，其中TH是变化的。 #s>AiD ACC 控制元件的最大中心厚度，其中TH是变化的。 ]Wr2 I M ACM 控制最小中心厚度，其中TH是变化的。 IO3 p&sJ/ ASC 防止表面斜率太陡，其中CV是变化的。 UTB]svC' ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角，其中CV变化。 "{(|}Cds AAC 孔径控制，监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 )eIC5>#. AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 +O"!* ADT 监视透镜直径与厚度的比。 E6JfSH# AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 ndg1E;> !xk`oW 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分，而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子： FnxPM`Zx AANT '2Q[g0VR AEC <` [o|>A Z GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 !i j
R GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 1Xzgm0OS; GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 0,~||H{ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 Iue}AGxu:{ GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 : N9,/-s GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 }?G([s56 GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 sjGy=d{:oL GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 TWE>"8] GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 K|L&mL&8 M 33 .1 A BACK PWci D '! ACA 60 1 !ZNirvk ACC 40 1 X1* f#3cm# END t 2x2_;a
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