|
|
摘自User's Manual 10.3节 7-d. eNQl 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量，像差输入文件必须以 WZcAwYB AANT [ P ] =*KY) X 开头 a=M/0N{! 以 '? d5L+ 9 END ^IO\J{U{"x 结束 K1zH\wH 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差，有六种类型： @s|yH " 在默认模式下（开关29打开），SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P]，并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭，可以控制列表的形式；[P]产生一个输入图像，而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 JN3&(t 如果开关89打开，则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长，并且很少需要检查所有列表，因此默认关闭此开关。 \6;b.&%w2 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入，如 o':K4r;  9(h I%idq 在这里，GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量（在这种情况下是镜头的TOTL总长度）最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项，用A、S、MUL和DIV结合。例如，要控制厚度4和5的总和，可以输入 =1 zRm >m M 34.567 A TH 4 ?gG%FzfQ/ A TH 5 q>[}JtXK 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 8}?w %FsN# GNR 0.5 10 4 P 1 (/A
6kp? 在这个例子中，生成一个光线网格，参数0.5和10是权重，每半个光瞳4条光线，全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 ksF4m_E>YB GOALS部分的输入正式地采用如下形式 (8Te{K h '  O}X @QG2_
>Y;[+#H[ 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 '}E"M db aname是一个最多8个字符的可选字符串，全部由数字组成或以字母开头，名称中没有标点符号或空格。 SbH} cu8 M表示最小化到指定目标；MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化，而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 / @0 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量，其他类型的像差可包含任何数量的分量。 fkD-mRKw `h<>_zpjY 许多像差定义允许参考特定的表面编号，例如输入 j<}y( ~ M 55 .1 A TH 6 + {WZpP},v 为厚度编号6指定目标值55。 n_4BNOZ~ 当提到镜头内的表面编号时，有时使用如下特殊代码是方便的 NGkWr LB0 -+kTw06_C LB1 6k; >:[p LB2 L 7l"*w( LB3 i7\MVI 8 LB4 j a^ ... Xuj=V?5 LB9 sq+ cF/jo6 FLAG U%KsD 4B FP1 jV(b?r)eT{ FP2 fcw/l,k9 FP3 a@m
64l) FP4 Xvxj-\ - ... p?sFX$S ai;- _M+$ FP9 G@rV9 FM1 q5~"8]Dls FM2 :xC1Ka%~ FM3 o(g}eP,g } FM4 C W?R7A/ ... B0,C!??5
FM9 lSBu,UQP APS |] ]Rp LB0、LB1、LB2指定“last but zero”，“last but one”，“last but two”，依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面，则参考表面6的示例可写为 Os1=V M 55 .1 A TH LB2 o^+g2; Ro 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面，则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”，依此类推，让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面（在RLE文件中具有用SN APS ...声明）可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时，表面的数量不断变化，并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 WTwura, EgTj
在设计变焦镜头时，可以在AANT文件中的用指令 7|X.E ZOOM nb 6d;RtCENo 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置，直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置，可以使用ZGROUP ... END 格式。例如， qjf9ZD& ZGROUP ALL ef:YYt{|q （像差，光线集，等） \6vr)1~N> END （结束该组） 8!qzG4F/ 或者 'v_k #% ~Q+J1S]Fs ZGROUP 1 3 5 7 `$ZBIe/u ... e V( END i:x<Vi ZGROUP 2 4 6 8 5N$O ... Z!I#Z2X END \ {a 64 （其他AANT条目） D4PjE@D"H END （结束AANT文件） D()t P 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组；第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 R'h.lX 注意，ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组，而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 /8LTM|( ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0，将JSN表面后的空气间隔增加DT，为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 =&y6mQ ,XsBm+Q( 对于多重结构优化，在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 ;bkvdn} ACON nb Zn] !*} oTk?a!Q 除了上述定义之外，还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 imZ"4HnPP AEC 监视边缘厚度，其中TH是变化的。 !z"nJC AGE 监视玻璃元件的边缘厚度，其中TH是变化的。 H+ 7Fw'u AFE 和AGE一样监视边缘，但在EFILE点A和E给出的孔径，或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径，则在CAO处。 h8:5 [;e AAE 监视空气间隔的边缘厚度，其中TH是变化的。 :-e[$6}S ACC 控制元件的最大中心厚度，其中TH是变化的。 73kI%nNB ACM 控制最小中心厚度，其中TH是变化的。 x k&# fW^r ASC 防止表面斜率太陡，其中CV是变化的。 >"pHk@AW K ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角，其中CV变化。 \
6 : 7 AAC 孔径控制，监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 u*8x.UE8C0 AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 Lmj GU[L,@ ADT 监视透镜直径与厚度的比。 5k `D f/ AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 ZW`wA2R0
Z6_ fI 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分，而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子： M+Eg{^ q` AANT H*h4D+Kxv AEC '%KaAi$ GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 @P6*4W GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 I0} G,
q GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 j&Y{
CFuZ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 h]p$r`i7 GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 mxmj GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 [ Ru ( H GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 NJPp6RZ% GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 >JT^[i8[ GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 "1ov< M 33 .1 A BACK eOs 4c` ACA 60 1 v6O5n(5,, ACC 40 1 " eR-(c1 END jl,>0 MA
|
