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摘自User's Manual 10.3节 l>9ZAI\^ 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 QSy #k~ AANT [ P ] t
UW'E 开头 UIv
2wA2 以 ',*
6vbII END 7"y"%+*/ 结束 Wc_Ph40C<_ 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: uBs[[9je( 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 Rm *"SG 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 {{=7 mbc 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 +Mv0X%(N n|L.dBAs] 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 9!FV.yp%F M 34.567 A TH 4 )mZ`j. A TH 5 4F8`5)RM 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 \"PlM!0du GNR 0.5 10 4 P 1 poHDA=#
3 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 !cE)LG GOALS部分的输入正式地采用如下形式 ">voi$Kzey .'7o,)pJ< BbiBtU 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 bU:"dqRm< aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 XUUS N M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 0 x"3 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 Q:kpaMA1P )kgy L,9 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 |vWx[=`o M 55 .1 A TH 6 I[<C)IG 为厚度编号6指定目标值55。 vC J 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 **0Y*Ax@ LB0 _.FxqH> LB1 C2eei're LB2 (g~&$&pa LB3 Pd^ilRB LB4 Gz~P
0Z^w} ... 0R* LB9 ~"}-cl, FLAG `t ZvIy* FP1 |n67!1 FP2 4 "wuqr|o FP3 |$9k
z31 FP4 XF{}St~ ( ... XRj<2U5 cKK 1$x FP9 pU`Q[HOs FM1 )+mbR_@,O6 FM2 m[ txKj.=_ FM3 ?exV:OKLb FM4 |3\
mH~Bw ... S4`uNB#Ht FM9 T6-e APS $N5}N\C:a LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 i6(y Bn M 55 .1 A TH LB2 =?T'@C 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 aLuxCobV Cq/*/jBM 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 !>;p^^e ZOOM nb A^
t[PKM" 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, 1|n,s- ZGROUP ALL Gv6EJV1i (像差,光线集,等) ~ N_\V END (结束该组) d^WVWk K 或者 ^B>
4:+^ d5+ (@HSR ZGROUP 1 3 5 7 =f{V<i~q ... =R?NOWrDY END )5)S8~Oc ZGROUP 2 4 6 8 &FIPEe#n ... {&"rv<p END Qy5\qW' (其他AANT条目) do7 [Nj END (结束AANT文件) 44mYs`] 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 )DfmO 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 C-m
OtI ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 -`FTWH ZVVK:dDgt 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 XQ%*U=)s ACON nb d1 D{wZ3g 4 )*8& 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 * pyi; AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 Fla,#uB AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 ZVR0Kzu?Ra AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 ul>$vUbyf AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 'kL>F&| ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 ?o"wyF A* ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 |u<qbl ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 j$n[;\]n ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 tB'F`HM:mq AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 \NDSpT<Z AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 }rxFX ADT 监视透镜直径与厚度的比。 /4<eI3Z AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 ,/C<GFae IE+$ET>t 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: $e_A( | AANT ="P3TP AEC NELQo#kjZ GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 8h78Zb&[ GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 W0K&mBu GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 "/[-U;ck GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 a 9(1 6k GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 $oHlfV/! GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 nMNAn}~*M GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 Y]0oF_ :7 GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 S92'\2 GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 dMp7 ,{FhF M 33 .1 A BACK hT>h ACA 60 1 `f}}z5 ACC 40 1 /iQ}DbtRb END xiX~*Zs
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