|
|
摘自User's Manual 10.3节 _#
cM vl k 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量，像差输入文件必须以 /1_O5'5+v AANT [ P ] H?,Dv> .#* 开头 %<8r`BMo 以 ^XG$?2<U END PPh<9$1\g 结束 j&
ykce 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差，有六种类型： 5z2("[8L& 在默认模式下（开关29打开），SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P]，并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭，可以控制列表的形式；[P]产生一个输入图像，而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 x-W~&`UU 如果开关89打开，则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长，并且很少需要检查所有列表，因此默认关闭此开关。 Vbe@S?u- 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入，如 W*Ow%$%2  5Ar gM% 在这里，GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量（在这种情况下是镜头的TOTL总长度）最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项，用A、S、MUL和DIV结合。例如，要控制厚度4和5的总和，可以输入 !%$,S=_F M 34.567 A TH 4 %nG>3.% A TH 5 g4YlG"O[~ 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 ;$e)r3r`LV GNR 0.5 10 4 P 1 e\^}PU 在这个例子中，生成一个光线网格，参数0.5和10是权重，每半个光瞳4条光线，全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 ijvDFyN> GOALS部分的输入正式地采用如下形式 =vvd)og  |=KzQY|u
_l1"X ^Aa 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 !YI< A\P aname是一个最多8个字符的可选字符串，全部由数字组成或以字母开头，名称中没有标点符号或空格。 m ) rVzL M表示最小化到指定目标；MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化，而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 Gt
_tL% 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量，其他类型的像差可包含任何数量的分量。 .p> ".q
I @vXXf/ 许多像差定义允许参考特定的表面编号，例如输入 o`!#io M 55 .1 A TH 6 "6U@e0ht 为厚度编号6指定目标值55。 H_Va$}8z 当提到镜头内的表面编号时，有时使用如下特殊代码是方便的 6 VuyKt LB0 uqU&k@ LB1 e+F $f Qt> LB2 KLj=M;$:K LB3 {2m F\A#. LB4 g at;Er ... {MyI3 mvA LB9 R9Wr? FLAG mEu2@3^E } FP1 >;R`Q9s7 FP2 RgJbM\`} ? FP3 |=0w_)Fa] FP4 )UpVGT) ... Bha("kG L N.:>, FP9 =:xX~,qmv FM1 Pk;yn; FM2 l6 }+,v@# FM3 8F[ ;ma>Z8 FM4 g/ShC8@=u ... ao=e{R) FM9 C.":2F;-e APS 0l& '` LB0、LB1、LB2指定“last but zero”，“last but one”，“last but two”，依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面，则参考表面6的示例可写为 <|.]$QSi M 55 .1 A TH LB2 <66%(J> 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面，则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”，依此类推，让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面（在RLE文件中具有用SN APS ...声明）可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时，表面的数量不断变化，并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 B!;:,(S~ - 0q263z 在设计变焦镜头时，可以在AANT文件中的用指令 US3)+6 ZOOM nb oXqJypR 2 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置，直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置，可以使用ZGROUP ... END 格式。例如， q
}>3N Ch ZGROUP ALL ^Y;,cLXJ （像差，光线集，等） _b>{:H&\ END （结束该组） 8~t 8^eBg
或者 H eO& p@ Yy 0" G ZGROUP 1 3 5 7 a^|9rho< ... O cPgw/
I END S)wP];]`K ZGROUP 2 4 6 8 o<txm ?+N ... 1a V32oK END 9}a$0H
h （其他AANT条目） LAnC8O END （结束AANT文件） Mzg P@tB 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组；第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 q5hE S 注意，ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组，而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 o _l_Yi ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0，将JSN表面后的空气间隔增加DT，为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 \'[tfSB ] +m 2pEO 对于多重结构优化，在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 i2(v7Gef ACON nb `''y,{Fs ti6X=@ P: 除了上述定义之外，还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 <82&F AEC 监视边缘厚度，其中TH是变化的。 q+oc^FD?@ AGE 监视玻璃元件的边缘厚度，其中TH是变化的。 V!Sm,S( AFE 和AGE一样监视边缘，但在EFILE点A和E给出的孔径，或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径，则在CAO处。 WFV'^- 4 AAE 监视空气间隔的边缘厚度，其中TH是变化的。 :[( % 4se ACC 控制元件的最大中心厚度，其中TH是变化的。 ~|Ln9f-g ACM 控制最小中心厚度，其中TH是变化的。 cF=W hP*f ASC 防止表面斜率太陡，其中CV是变化的。 %+,*$wk#* ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角，其中CV变化。 <%% )C>l AAC 孔径控制，监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 m a@ V>*u AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 &Wb"/Hn2 ADT 监视透镜直径与厚度的比。 4%8den,| AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 iymN|KdpaZ
Y/I)ECm 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分，而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子： %xG<hNw/ AANT |ka/5o AEC WjK [% ;Z! GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 bHx@ GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 |39,n~"o& GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 #}@8(>T GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 4lc|~Fj++ GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 TI l 'Z7 GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 6)?u8K5%r GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 NziCN *6 GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 s$fX
; GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 $ 57Q
g1v M 33 .1 A BACK SJh~4R\ ACA 60 1 z#PaQp5F ACC 40 1 PWx%~U.8~j END (BxmV1
|
