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摘自User's Manual 10.3节 4c_F>Jw[ 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 t(:6S$6{e AANT [ P ] .W+ F<]r 开头 6c>tA2G|8 以 /@bLc1" END UVD:: 结束 HG%H@uK 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: ~^"cq
S( 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 #1zWzt|DW 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 ~::gLm+f 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 J 6S 3RRZVc*
^ 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 " I@Z:[=2 M 34.567 A TH 4 i
c]f o A TH 5 Z<r&- !z 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 r DY q]` GNR 0.5 10 4 P 1 y( MF_'l 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 I01On>"@7 GOALS部分的输入正式地采用如下形式 @/JGC%! ?XGZp?6 2+GF:[$ 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 Vb 4Qt#o aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 d<6L&8)< M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 RkLH}`# 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 fINM$ 6 G-n`X":$DT 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 7B%@f9g M 55 .1 A TH 6 IFPywL{K 为厚度编号6指定目标值55。 LTtfOcrt 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 oT|E\wj LB0 VUF7-C* LB1 ;gm){ g LB2 3 XfXMVm LB3 1}8e@`G0.] LB4 >uOc#+5M. ... Ir\3c9 LB9 K)Db3JIIk FLAG g\(7z
P FP1 x\Sp~]o3C FP2 ']vX FP3 (I[o;0w FP4 Lp
]d4"L;3 ... 5Ij_$a %q*U[vv FP9 g>im2AD+e FM1 )cqhbR FM2 >; W)tc, FM3 ^m1Rw| FM4 !)9zH ... Uero!+_ FM9 iD(K*[;lc APS n1ED _9 LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 6PMu;# M 55 .1 A TH LB2 <01B\t7 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 `P z !H Jx>P%>+<j 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 XPEjMm'*b3 ZOOM nb p-7dJ 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, X2e|[MWkp ZGROUP ALL ;c>Yr?^ (像差,光线集,等) @W @L%< END (结束该组) nlmkkTHF8 或者 MW$9,[ d;;=s=j ZGROUP 1 3 5 7 kDv)g ... ,DE%p
+q END ifgaBXT55 ZGROUP 2 4 6 8 R*[ACpxr ... []2GN{m END e+6~JbMV (其他AANT条目) gEe}xI END (结束AANT文件) <K0lS;@K 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 AjlG_F 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 8EE7mEmLH ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 uVO9r-O8p
rb_G0/R 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 ]t=># ACON nb SA&wW\Ym] m:41zoV 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 {Y@[hoHtF AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 16+@#d%#p AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 Z~nl{P# AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 vn_avYwiy AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 95<:-?4C;W ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 YG8oy!Zl ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 :qZ^<3+: ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 W[?B@ sdSZ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 iBi/9 AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 ?)X@4Jem AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 lxd<^R3i#^ ADT 监视透镜直径与厚度的比。 +|?c_vD AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 M`<D Z<:< /Yh([P> 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: i!HGM=f AANT _NkN3f5 1L AEC }n=NHHtJ GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 Ov|j{}=L=9 GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 )6j:Mbz GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 O>Sbb2q?" GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 ` WB|h)Y GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 Gs6#aL}]R GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 pE<' '` GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 h>/ViB@"W| GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 l}^#kHSyd GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 0%t|?@HoN M 33 .1 A BACK G](K2= ACA 60 1 3pp
w_?k ACC 40 1 *O5+?J Z! END $>UzXhf}\
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