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摘自User's Manual 10.3节 hM@\RPsY 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 6`\]derSon AANT [ P ] KRsAv^'] 开头 ,(G%e 以 _nT{g END )_zlrX 结束 &K^MNd 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: IKvBf'%- 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 J."{<& 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 hQJWKAf,/ 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 Wf02$c0#K w#PZu+ 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 r
-f M 34.567 A TH 4 X7aXxPCq1 A TH 5 DOD6Liau{Q 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 (0*v*kYdL+ GNR 0.5 10 4 P 1 2]jPv0u 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 0yof u GOALS部分的输入正式地采用如下形式 D#sf i,O &B-[oqC? [h}K$q 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 .PVLWW aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 >?XbU} M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 qc!xW,I 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 :q2YBa _[E \= 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 5S/>l_od$2 M 55 .1 A TH 6 3\!F\tqD \ 为厚度编号6指定目标值55。 ;cSGlE | 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 @vH2Vydu LB0 V> a*3D LB1 q&M:17+:Q LB2 `ENP=kL(+ LB3 P!+v:'P5f LB4 C@@$"}%v2 ... :k!j"@r LB9 |1V2tx FLAG SfI*bJo>V FP1 7u%a/ < FP2 _%IqjJO{=r FP3 CV^0. FP4 0M!0JJy#* ... Tx+ p8J|Yr QaMDGD FP9 QP\yaPE FM1 sMi{"`37 FM2 GJak.,0t FM3 _'JRo%{xGX FM4
&tBA^igXK ... Dr'sIH^ FM9 QFzFL-H~N APS u( 9X LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 X(GV6mJ4 M 55 .1 A TH LB2 x YT}>#[ 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 +Jw{qQR/* 8IWwjyRr 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 *-z4 <LAa ZOOM nb IxP^i{/1? 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, A7'b Nd6f9 ZGROUP ALL "-U3=+ (像差,光线集,等) iBHw[X,b END (结束该组) + zDc 或者 G^KC&
=jUnM>23 ZGROUP 1 3 5 7 n#>5?W ... G7Ny"{Z END 0#`)Prop6 ZGROUP 2 4 6 8 Qu}N:P9l?X ... 6PJ'lA;*b END ;Vo mFp L (其他AANT条目) c(:Oyba END (结束AANT文件) \1{_lynD 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 #7C6yXb% 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 N?^_=KE@ ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 `$Kes;[X \P@S"QO 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 /#IH-2N ACON nb ^?sSx!:bZ &NP6%}bR` 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 ~ a>S#S AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 \d5}5J]a&n AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 BJIFl!w AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 JilKZQmk AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 0lf"w@/ ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 |YXG(;-BS ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 w<mqe0 ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 %Y 2G ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 D9G0k[D, AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 'v+96b/; AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 ^@N`e1 ADT 监视透镜直径与厚度的比。 lR[z<2w\ AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 ]]3Q*bq4 ?M]u$Te/. 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: ex:3ua$N AANT p Mh++H]" AEC 'Dq"e$JM< GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 d>~`j8,B GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 T#/ 11M$uQ GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 r.Lx%LZ\^ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 0O^U{#*$I GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 XC2Q*Z GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 |/t K-c6J GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 @@; 1%z GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 J:[3;Z GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 hN}5u"pS M 33 .1 A BACK W -3w7^ ACA 60 1 /:^tc/5U] ACC 40 1 I>!|3ElT END s7AI:Zv
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