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摘自User's Manual 10.3节 N:d" {k 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 )9PQj AANT [ P ] "0]i4d1l 开头 -Ol/r=/& 以 N}^\$sVu_ END r<~1:/F|
结束 ,ur_n7+LH 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: oU{m\r 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 \f%jN1z 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 pYVQ-r%QF 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 ` NcWy 7]G3yt-> 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 7zy6`OP M 34.567 A TH 4 ;JDxl-~ A TH 5 ]JtK)9 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 H{9di\xnEm GNR 0.5 10 4 P 1 gP)g_K(e 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 {6A3?q GOALS部分的输入正式地采用如下形式 dRt]9gIsx @@_f''f$ KLlW\MF1 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 llI`"a aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 rFdovfb
M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 a B%DIH, 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 p)Z$q2L YW0UIO 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 @
Al\: M 55 .1 A TH 6 @/XA*9]l 为厚度编号6指定目标值55。 Svy bP&i| 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 X8p-VCkV LB0 Xb3z<r
LB1 E_7N^htv LB2 oJ>]=^?k LB3 quVTqhg" LB4 WHMt$W}% ... KR%DpQ&{' LB9 0Ocy$ FLAG M-"%4^8_ FP1 j8L!miv6 FP2 9UZKL@KC FP3 i4&"-ujrm FP4 (
{5LB4 ... `(.K|l} | Fm( FP9 Ztr,v$ FM1 hK&jo(V FM2 [n44; FM3 , 0MDkXb FM4 -:dUD1 ... j0~]o})@i FM9 u4, p.mZtb APS f3[gAY LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 :q<8:,rP M 55 .1 A TH LB2 >PGW>W$ 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 w =^QIr% M6[&od 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 CMI%jyiX ZOOM nb ]EC zb/ 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, [?Wt ZM^q ZGROUP ALL Ux2(Oph (像差,光线集,等) Q
&<:W4N* END (结束该组) 3Gubq4r 或者 T6*naH ?<STt 9 ZGROUP 1 3 5 7 ?k
CK$P ...
pQKR END 6*J`2U9Q ZGROUP 2 4 6 8 1>r7s* ... g[!t@K END l\I#^N (其他AANT条目) M,7A|?O END (结束AANT文件) KuL2X@)} 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 oi^2Pvauh 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 GsA/pXx ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 tpwMy:<Ex *NHBwXg+ 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 a{v1[i\ ACON nb }RowAGWL OXd617
除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 G1=GzAd$5 AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 aVNBF` AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 MF)Xc\}0p AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 xb1 i{d AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 eKPxSN Z ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 rJ|Q%utYz ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 ^1^k< ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 ?-1r$z
ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 W ZdEfY{ AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 :vZ8n6J[ AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 y!) ADT 监视透镜直径与厚度的比。 mrX 2w AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 GVhO}m %{WZ 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: =
_X#JP79 AANT KJ M:-z@ AEC Dvbrpn!sk GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 m7}PJ^*b GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 a+sHW<QeS GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 Fr_esx GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 QWz5iM GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 sLrSi GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 F9@,T8I GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 {\3k(NdEX GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 nm5zX, GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 __o`+ ^FS M 33 .1 A BACK d*Q:[RUf, ACA 60 1 8s(?zK\ ACC 40 1 feU]a5%XZ END H<T9$7Yr%r
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