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摘自User's Manual 10.3节 pl?`8@dI 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 BQMpHSJ_ AANT [ P ] `M8i92V\qY 开头 )3EY; 以 hz@bW2S. END W^l-Y%a/o 结束 9rf)gU3{+L 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: C~/a- 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 /7YIn3 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 $=4QO 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 DB,J3bm C?eH]hkZ3 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 5=ryDrx M 34.567 A TH 4 ZJiG!+-j A TH 5 eJ-nKkg~a 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 `;egv*!P GNR 0.5 10 4 P 1 I; rGD^ 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 \dah^mw" GOALS部分的输入正式地采用如下形式 a\*yZlXKs =T7.~W uwGc@xOgg, 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 tKXIk9e aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 X"%gQ.1|{j M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 X"eYK/7 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 vnuN6M{ U 6)#}
许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 dSHDWu& M 55 .1 A TH 6 b&U62iq 为厚度编号6指定目标值55。 1?l1:}^L 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 3ckclO\|> LB0 KMax$ LB1 rYk0
ak LB2 ?}Y]|c^W LB3 p5*EA
x LB4 x]j W<A ... 4_ML],. LB9 TWX.D`W FLAG n+ M <\ FP1 !dq.KwL FP2 v`T
c}c ' FP3 E2-\]?\F( FP4 &UFZS94@r ... CWKm(@"5 uPvEwq*
C FP9 +lTq^4 FM1 Dw"\/p:-3 FM2 UPGtj"2v- FM3 );YDtGip J FM4 rPm x ... #<xm. FM9 [nh>vqum APS /x *3}oI LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 [V`r^ M 55 .1 A TH LB2 K(|}dl: 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 nJ;.Td izR"+v 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 }6ldjCT/, ZOOM nb %"-5 <6d 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, N$tGQ@
ZGROUP ALL 5mR 1@ (像差,光线集,等) ia?
c0xL END (结束该组) 2fS:-
8N 或者 Iu6
fN2lLn9/u ZGROUP 1 3 5 7 5:?!=<= ... $:^td/p J END ,]D,P ZGROUP 2 4 6 8 !5N.B|Nt ... )U#K END Uw:"n]G]D? (其他AANT条目) 7|H$ /] END (结束AANT文件) G+m }MOQP7 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 2KZneS` 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 W%Fv p;\` ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 eJX#@`K t#yuOUg 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 @}ZVtrz ACON nb wgA_38To !`r$"}g 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 e}W)LPR! AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 k;W
XB|k AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 5-A\9UC*@ AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 7[wPn`v2 AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 "wc<B4" ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 `0R./|bv\I ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 ss-D(K" ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 i-&yH ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 Xnh8e AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 *lb<$E]="! AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 }PpUAt~g ADT 监视透镜直径与厚度的比。 6H|S;K+ AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 &c #N)U fXB0j;A 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: g\AY|;T AANT ?h2}#wg AEC &m vSiyKX GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 ,z?':TZ GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 bPMhfK2 % GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 hv+zGID7 GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 -F>jIgeC2v GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 !!y a GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 ~)'k 9?0 GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 Xm&L
BX GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 h`wD GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 tnIX:6 M 33 .1 A BACK "7`<~>9t. ACA 60 1 QS j]ZA ACC 40 1 C7?/%7{ END 92-I~
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