|
|
摘自User's Manual 10.3节 :Y-{Kn6` _ 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量，像差输入文件必须以 YgKZ#?* AANT [ P ] /{|EAd{ 开头 |].pDwg t 以 ^*S ,xP END 7}1~%:6 结束 ko1J094Y% 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差，有六种类型： )X04K ~6lY 在默认模式下（开关29打开），SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P]，并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭，可以控制列表的形式；[P]产生一个输入图像，而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 %509\;el 如果开关89打开，则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长，并且很少需要检查所有列表，因此默认关闭此开关。 3Uqr,0$p 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入，如 '[J <=2&  ^?$WVB 在这里，GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量（在这种情况下是镜头的TOTL总长度）最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项，用A、S、MUL和DIV结合。例如，要控制厚度4和5的总和，可以输入 ur*T%b9& M 34.567 A TH 4 rI^zB mrr A TH 5 -<Hu!V`+ 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 . 7zK@6i GNR 0.5 10 4 P 1 "nm FzN 在这个例子中，生成一个光线网格，参数0.5和10是权重，每半个光瞳4条光线，全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 dX\.t < GOALS部分的输入正式地采用如下形式 6)z?f4,  Jwj%_<
k tK_e 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 lJ+0P2@h* aname是一个最多8个字符的可选字符串，全部由数字组成或以字母开头，名称中没有标点符号或空格。 9V,!R{kO! M表示最小化到指定目标；MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化，而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 c;{Q,"9U 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量，其他类型的像差可包含任何数量的分量。 VmCW6
G#M IC6gU$e 许多像差定义允许参考特定的表面编号，例如输入 '#LQ N<"4 M 55 .1 A TH 6 A; 5n:Sd 为厚度编号6指定目标值55。 h\7fp . 当提到镜头内的表面编号时，有时使用如下特殊代码是方便的 YWMGB#= LB0 !l _lo`) LB1 _nD$b={g LB2 G+F#n6Vx LB3 1mfs 4 LB4 o8zy^zN$6 ... 'D 6T8B4 LB9 aaKN^ fi& FLAG ;=geHiQHA FP1 cUqk e+! FP2 ) >b.; FP3 k4,BNJt'Z FP4 0ge $ p, ... BJgW,huLy wUiys/ OVM FP9 ET _W- FM1 bKj%s@ x FM2 baJxU:Y=p FM3 zS\E/. X2 FM4 -:Fe7 c ... LVc4CE
f FM9 a^Tm u APS )'/|) LB0、LB1、LB2指定“last but zero”，“last but one”，“last but two”，依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面，则参考表面6的示例可写为 lrWV#`6!+ M 55 .1 A TH LB2 8~90 3 0>Q 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面，则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”，依此类推，让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面（在RLE文件中具有用SN APS ...声明）可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时，表面的数量不断变化，并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 <EPj$:: &Zgh Mq ~ 在设计变焦镜头时，可以在AANT文件中的用指令 N B\{' ZOOM nb ( Fynok 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置，直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置，可以使用ZGROUP ... END 格式。例如， E Q4KV ZGROUP ALL cC o`~7rE （像差，光线集，等） ZiYm:$CJ END （结束该组） bV edF m 或者 =8r 0 (c &FH2fMLQ ZGROUP 1 3 5 7 -RO7
'm0 ... }"|"Q7H END w?zKjqza=v ZGROUP 2 4 6 8 G P:FSprP ... 89n:)|rWq END . !1S[ （其他AANT条目） 7SlsnhpW END （结束AANT文件） Pt@%4 :&-h 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组；第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 OkCQ?] 注意，ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组，而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 V$"ujRp ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0，将JSN表面后的空气间隔增加DT，为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 'fcMuBc+ 4 JYrY[',u 对于多重结构优化，在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 HDda@Jy ACON nb hq:&wN 7Q
B3H|+ 除了上述定义之外，还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 Nc :({@I AEC 监视边缘厚度，其中TH是变化的。 1"pI^Ddt AGE 监视玻璃元件的边缘厚度，其中TH是变化的。 s[K^9wz AFE 和AGE一样监视边缘，但在EFILE点A和E给出的孔径，或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径，则在CAO处。 'mH ) d AAE 监视空气间隔的边缘厚度，其中TH是变化的。 i^_#%L ACC 控制元件的最大中心厚度，其中TH是变化的。 !ALKSiSl ACM 控制最小中心厚度，其中TH是变化的。 %]gn?`O ASC 防止表面斜率太陡，其中CV是变化的。 G0`h % ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角，其中CV变化。 &?uz`pv2 AAC 孔径控制，监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 'WI^nZM AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 aM@z ^<Ub ADT 监视透镜直径与厚度的比。 ^ K7ic,{ AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 oEx\j+}@n Y 2Q=rj 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分，而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子： :Gu+m AANT >_c5r?]S G AEC !e Ao GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 L4b:F0 GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 4-kZJ \] GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 (]RM6i 7 GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 DNR~_3Aq GNR 0 2.000000 3 1 0.750000
[U@ *1 GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 6ns! ~g@ GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 Tx 1 vL GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 -*~CV:2iq- GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 3)ma\+< 6 M 33 .1 A BACK +vNZW@_$D ACA 60 1 .MVY B\6Q0 ACC 40 1 AsPx? END ' qArf
|
