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摘自User's Manual 10.3节 E wsq0D 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 %kFELtx AANT [ P ] H<7DcwXv 开头 EFt`<qwj 以 Cy:`pYxhd END B00wcYM<1r 结束 `G0rF\[ 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: V*7Z,nA 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 jw(>@SXz 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 OV("mNh 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 QJIItx4hE Lr}b, 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 M?~<w)L} M 34.567 A TH 4 hp]ng!I{\u A TH 5 { .3 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 qz=#;&ZU GNR 0.5 10 4 P 1 [[0bhmG) 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 m$E^u[ GOALS部分的输入正式地采用如下形式 *iRm`)zC( P
5qa:< Ns!3- Y 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 }L$Xb2^l aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 zdjM%l); M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 3q|cZQK!1 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 yLgKS8b
4 %!{?[$ 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 |j~EV~AJ M 55 .1 A TH 6 1ntkM? 为厚度编号6指定目标值55。 +r-dr>&H@ 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 o!=lBfI LB0 "0H56#eW LB1 [UJEU~XC LB2 si^4<$Nr%j LB3 ;N$ 0)2w LB4 1]
%W\RHxo ... )zW%\s*' LB9 ,u&tB|,W, FLAG <K,%
y(] FP1 W%>i$:Qq
FP2 ovDJ{3L6O FP3 Q$3\ /mz FP4 {C/L5cZ]J ... i+)}aA b\?7?g FP9 GDHK.?GY FM1 97(Xu=tX
FM2 c/<Sa|' FM3 tM^;?HL] FM4 Hbjb7Y?[ ... =sE2}/g FM9 JQ"`9RNb APS z/Ns5 LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 cebs.sF: M 55 .1 A TH LB2 b W=.K>| 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 't|Un G af<NMgT2s~ 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 @K$VV^wp ZOOM nb 1p7cv~#95 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, yV:EK{E ZGROUP ALL 8_a$kJJ2 (像差,光线集,等) sK`~Csb
iB END (结束该组) 4<G? 或者 t."g\; W\@?e32 ZGROUP 1 3 5 7 .D8~)ZWN ... lAdDu END cOSxg=~>u ZGROUP 2 4 6 8 hrs#ZZ:E ... E`Jp(gK9F END NP K#].F (其他AANT条目) 0'?V|V=v END (结束AANT文件) #XTY7,@P 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 .i {>Z 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 FI]P<)*r ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 q>_vE{UB .:}.b"%m 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 D
JLi ZS ACON nb kOs(?= T4OguP= 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 3iE-6udCS AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 j/)"QiS*? AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 &/Eg2 AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 t)-*.qZh AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 qqnclqkw& ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 ecr886 ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 XB0a dp ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 u~s
Sk ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 $/u1chf AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 `J72+ RA AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 iM:yX=>a ADT 监视透镜直径与厚度的比。 CzYGq AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 yiiyqL*E vB[~pQ;Z 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子:
pv$mZi4i AANT `AWy!}8 AEC U?gl"6x GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 }$o* GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 &!ED# gs GNR 0 1.000000 3 2 1.000000
mDE'<c`b4 GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 !7}IqSs GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 o4$Ott%Wm GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 {vs 4vS6 GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 b9!.-^<8y GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 l0I}&,+ GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 @.'z* |z M 33 .1 A BACK ~@{w\%(AK] ACA 60 1 &J_Z~^ ACC 40 1 {3VZ3i END #Mh{<gk%ax
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