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摘自User's Manual 10.3节 ZO
W{rv] 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 ZLxe$.V_ AANT [ P ] )u'oI_ 开头 2m/1:5 以 ;{j:5+' END Kx ?}%@b 结束 c|hKo[r) 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: )TVyRY Z1 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 NrhU70y 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 SN\;&(?G 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 \7jcZ~FBX% )I$_wB!UV 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 /$/\$f$ M 34.567 A TH 4 v|CRiwx A TH 5 rM_8piD 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 8{epy GNR 0.5 10 4 P 1 }V6}>!Sb 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 - "h
{B GOALS部分的输入正式地采用如下形式 6 @'v6 1' %(,JBa:G hXmW,+1 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 q#c\ aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 (LkGBnXE M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 !H~G_?Mf\O 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 "Do9gW j""u:l^+x 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 Pdrz lu M 55 .1 A TH 6 :
-te 为厚度编号6指定目标值55。 ;_1D-Mf 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 =cX&H LB0 2{|
U LB1 L&. 9.Ll LB2 l2X'4_d LB3 87r#;ND LB4 {LrezE4 ... lJ:B9n3OzT LB9 dl;^sn0s FLAG '<4/Md[ FP1 ) zz"DH FP2 _LCK|H%v' FP3 `>g:
: FP4 8! pfy" ... G#
.z((Rj 305() FP9 eM*@}3 FM1 Xj.6A,}^ FM2 #L`@[" FM3 :>\ i FM4 mj{TqF ... m!tB;:6 FM9 C8e{9CF APS >#)^4-e LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 ZdY:I;)s M 55 .1 A TH LB2 Y'DI@ 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 /!P,o}l7 9]xOuCb 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 d+\o>x|Y!Y ZOOM nb [y W0U:m 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, Pz:,q~ ZGROUP ALL !Hr~B.f7 (像差,光线集,等) =NQDxt} END (结束该组) gC>
A*~J; 或者 6H53FMqr -V%"i,t ZGROUP 1 3 5 7 kL*
DU` ... 7:)= END ^"(CZvq ZGROUP 2 4 6 8 [?Cv^t${+ ... %7xx"$P:R END 2ed$5.D (其他AANT条目) ^yb3L1y END (结束AANT文件) bzF>Efza 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 %-/[.DYt 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 @4#q ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 6k|o<`~, /q^)thJ~ 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 sn+g#v9e ACON nb +C' u!^)
{^a"T'+ 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 TwH%P2)x AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 - 0R5g3^*/ AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 #^|y0:
AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 ZX'q-JUv f AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 LP-~; ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 T~8= =Z{[ ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 ;wK; ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 A<fKO <d ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 7jL+c~ AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 WXV (R,*Tc AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 %UT5KYd!=N ADT 监视透镜直径与厚度的比。 LmWZ43Z"@ AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 8Wqh 8$ mvgsf(a*' 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: d,8L-pT$FM AANT ZP~Mgz{f AEC #s>AiD GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 ]Wr2I M GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 R/ix,GC GNR 0 1.000000 3 2 1.000000
kw{dvE\K GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 ~"|MwR!0 GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 6
<XQ'tM]N GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 M15Ce)oB1( GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 Zgy~Y0Di GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 MdXOH$ps GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 VRU"2mQ.P6 M 33 .1 A BACK 17P5Dr& ACA 60 1 '5V}Z3zJ/ ACC 40 1 )Q= EmZbJz END _/V<iv
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