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摘自User's Manual 10.3节 JH0L^p 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 q"[8u ]j AANT [ P ] ard<T}|N 开头 ]}&f<X 以 $xf{m9 8 END p7;/| ]o3 结束 3yfq*\_uXw 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: )k8=< =s 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 [~ sXjaL8 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 I9`R LSn 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 pCQB<6&1N Uk02VuS 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 JxP=[>I M 34.567 A TH 4 K`nI$l7hg A TH 5 ?5#Ng,8iT 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 iTt"Ik' GNR 0.5 10 4 P 1 _G!lQ)1 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 ,))UQ7N GOALS部分的输入正式地采用如下形式 bqXCe\# |yi3y `f :Gh*
d) 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 6ZBg/_m aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 d]OoJK9&& M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 Vs~^r> 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 _,i]ra{% 5O
Ob( 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 6EhRCl M 55 .1 A TH 6 u:pdY'`"# 为厚度编号6指定目标值55。 %:n1S]Vr 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 YWSo:)LY LB0 ,uD F#xjl, LB1 :>$)Snqo=n LB2 x-0IxWD% LB3 /(w:XTO< LB4 Z1FO.[FV ... fv!l { LB9 GqI^$5? FLAG [IVT0
i FP1 ObIi$uJX FP2 FDaHsiI: FP3 _7YAF,@vT FP4 K,[g<7X5 ... Bo?uwi sB_o
HUMH6 FP9 :<=!v5 SK FM1 mD:d,,~ FM2 owTW_V FM3 rm>;B
*; FM4 p#O#MN* ... J"8bRp=/| FM9 /d5_-AB(v APS ^>uzMR!q5 LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 5+GW%U/ M 55 .1 A TH LB2 }$V]00
X 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 l/yLSGjM g*ES[JJH& 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 7Nc@7_=
ZOOM nb [] 0`>rVq 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, mSAuS)YD ZGROUP ALL a
J[VX)"J (像差,光线集,等) 4x=rew>Ew END (结束该组) ={b/s31H: 或者 ^aDos9SyV jK\2y|&&c ZGROUP 1 3 5 7 it\{#rb=4 ... ]y$D@/L@ END BD,JBu] ZGROUP 2 4 6 8 &Z5$
5,[ ... (o{-1Dg) END \SnW(,`o X (其他AANT条目) fyx-VXu END (结束AANT文件) kmM_Af& 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 o(>!T=f 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 "*#$$e53A ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 b,7:=-D [+gX6 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 2Y&z}4'j ACON nb |A7Yv M9]O!{sq 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 S
D]d/|y AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 QY-P!JD AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 b^ly AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 -hL8z$} AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 ' rHkJ ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 ~MyP4x/ ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 l},*^Sn<5 ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 88d0`6K-9 ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 ag14omM- AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 J7emoD[ AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 V8NNIS ADT 监视透镜直径与厚度的比。 CBs0>M/ AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 5)V J A2uSH@4 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: ;38DB o AANT Lh"Je-x<< AEC f&H):. GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 >AV-i$4eQ@ GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 %H~q3|z GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 z>vzXM GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 l:8gCi GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 bU=!~W5 GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 QgEG%YqB GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 zkI\ji GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 qUx!-DMY GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 !V Zl<| M 33 .1 A BACK %D\TLY ACA 60 1 nBaY| ACC 40 1 x<P$$G/ END J@H9nw+Q
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