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摘自User's Manual 10.3节 }8'bXG+ 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 9&4z4@on AANT [ P ] p6{8t} 开头 kEdAt5/U{ 以 i;<H^\% END ~
Q;qRx 结束 j|WN!!7 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: (ft$ R? 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 &Ukh 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 u"1Zv! 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 Zut"P3d=J GZqy.AE, 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 w97%5[-T M 34.567 A TH 4 ?,x3*'-( A TH 5 0=KyupwXC 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 w+3-j GNR 0.5 10 4 P 1 =ET |h}I 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 3 At%TA: GOALS部分的输入正式地采用如下形式 wtnC^d$ /jv4#9 qUtlh,4) 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 s8 0$ aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 R<x~KJ11c M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 <2{-ey] 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 loFApBD=$^ x\R
8W8M 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 =6:>C9 M 55 .1 A TH 6 z#elwL6 为厚度编号6指定目标值55。 IX)\z 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 P+nd?:cz LB0 Z]1jg>") LB1 RwptFO LB2 wm/=]*jpK LB3 W #kOcw LB4 "xKykSk ... z8\z`#g! LB9 I7q}<"` FLAG 8C>\!lW" FP1 {:0TiOP5x FP2 YRm6~c FP3 V1Opp8 FP4 Ryrvu 1 k ... i917d@r( < 05gdVa,
FP9 48Z0aA~+ FM1 -'mTSJ.} FM2 B78e*nNS#2 FM3 2Ub!wee FM4 ~y.t amNW ... =7212('F FM9 &@h(6 APS I=G-(L/& LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 ;Wu6f"+Y# M 55 .1 A TH LB2 S)$iHBx{ 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 (6#,
$Ze \=NS@_t, 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 I@/+= ZOOM nb QpZCU] 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, Q'qz(G0 ZGROUP ALL
Hlj_oDL (像差,光线集,等) .Do(iYO.L END (结束该组) [DzZ:8 或者 u?B9zt%$-m Uop`) ZGROUP 1 3 5 7 1ms(03dp ... z[~ph/^ END kzuI<DW ZGROUP 2 4 6 8 vQ",rP% ... iu+r=sp END (764-iv( (其他AANT条目) dFVx*{6 END (结束AANT文件) _aj,tz 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 U1^3 &N8 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 #Li6RSeW ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 &kp`1kv": d,d ohi 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 2Mo oqJp ACON nb Qf#=Y j 'YTSakNJ} 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 k ^(RSu< AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 `+0K~k|DC AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 1@S(v L3a AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 tEFbL~n AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 /fDXO;tN ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 ;5PBZ<w ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 0 F-db ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 A$o7<Hx ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 fDD^?/^ AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 &cHA xker AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 i_<GSUTTr/ ADT 监视透镜直径与厚度的比。 o<8SiVC2 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 eRm 9LOp cfhiZ~."T 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: &\>. j| AANT Pof]9qE-y AEC @h)Z8so GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 3K{G =WE$ GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 G A+#'R
GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 c>.=;'2 GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 h=
Mmd GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 9L7jYy=A# GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 %s*F~E GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 4IGn,D^ GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 "l[ c/q[ GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 -ztgirU M 33 .1 A BACK =GJ)4os ACA 60 1 /k^!hI"4c ACC 40 1 X-k$6}D END 'gv~M_
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