|
|
摘自User's Manual 10.3节 RYjK4xT?Y/ 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 {MSE}|A\V AANT [ P ] M{{kO@P"9 开头 !@F { FR 以 hHU=lnO END V<W;[#" 结束 ws+ '*7 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: t4_yp_ 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 <VKJ+ 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 =JIceLL 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 b;UBvwY_ ;+E]F8G9r 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 !q\=e@j-i M 34.567 A TH 4 {MUiK5: A TH 5 CF{b Yf^% 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 ]yf?i350 GNR 0.5 10 4 P 1 :^3 )[.m 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 M/=36{,w- GOALS部分的输入正式地采用如下形式 I"88O4\@ p|t" 4HQ k
i<X ^^ 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 [g/D<g5O aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 m7'<k1#"Y M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 BqNeY<zB* 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 sX%n` L FpRYffT 9u 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 O D}RnKL M 55 .1 A TH 6 iH }- 为厚度编号6指定目标值55。 &<BBPn@\ 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 +M0pmK! LB0 eut2x7Z(c LB1 [ ulub| LB2 PR.3EL LB3 >o?v[:u* LB4 4|`>}Nu ... <u!cdYo@ LB9 1y'Y+1.< FLAG sE% $]Jp FP1 mQ:{>` FP2 {=ox1+d FP3 Qu61$! FP4 M,]|L c h ... v745FIy< t>\sP FP9 ukSv70Ev FM1 X/~uF9a'< FM2 +lx&$mr? FM3 t@qf/1 FM4 AEyvljv ... uAn}qrqE9 FM9 53])@Mmus APS 'I]XX==_ LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 faQmkO M 55 .1 A TH LB2 xs{pGQ6Q 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 nqyD>> arYq$~U 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 ]3_b3@k ZOOM nb 8q[;
0 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, R*[sO*h\k ZGROUP ALL Al-`}g+^ (像差,光线集,等) S[Du
> END (结束该组) Za:j;u
Y 或者 Y MX9Z|| {~U3|_"[pX ZGROUP 1 3 5 7 bF"l0
jS ... 4VJUu`[ END 5RP kAC ZGROUP 2 4 6 8 entU+O r ... \R#SoOd END %j7b0pb (其他AANT条目) ))"gWO END (结束AANT文件) "n%s>@$ 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 ue_wuZi 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 m{/7)2. ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 }s~c(sL?; y}?|+/ dN 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 {X!OK3e ACON nb #a8kA"X 80=0S^gEZ 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 EgjJywNhd2 AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 WMB%?30 AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 V@
>(xe7 AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 bv+u7B6, AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 ~aob@( ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 4{P+p!4 ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 zPby+BP ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 6mM9p)"$ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 EW
`hL~{ AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 Tuln#<: AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 }%|ewy9|CW ADT 监视透镜直径与厚度的比。 GcBqe=/B! AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 ;*(-8R/ Un6R)MVT 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: 6r)P&J AANT ]~TsmR[ AEC 9d5$cV GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 [YDSS/ GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 6D;N.wDZ GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 da$FY7 GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 n!jmxl$ GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 1JJsYX GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 >US*7m } GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 N^L@MR- GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 Y}?8 GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 ">H*InF M 33 .1 A BACK ?
#K|l* ACA 60 1 /v{+V/'+ ACC 40 1 t-\+t<; END 4E$MhP
|