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摘自User's Manual 10.3节 fl #gWAM 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 A[`c2v-hF AANT [ P ] =NMT H[ 开头 #9M6 q 以 4wk-f7I( END @*P$4c 结束 PY-
1 oP 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: Ww-%s9N< 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 q/w<>u 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 *W
aL}i(P1 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 U'(}emh} l`=).k 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 ~_<I}!j/B M 34.567 A TH 4 |:yQOq| A TH 5 7yp7`|,p 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 B^g+_; GNR 0.5 10 4 P 1 _%^t[4)q 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 X{KWBk.1 GOALS部分的输入正式地采用如下形式 !_0kn6S5 hpp>+= !9|)v7} 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 i\hH .7G1 aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 DwM4/m M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 yem*g1 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 .
+_IpygQ {g9?Eio^F^ 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 w}n:_e M 55 .1 A TH 6 +bK[3KG4F5 为厚度编号6指定目标值55。 iC- ?F
cA 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 s!S,;H LB0 Ch-56
LB1 obWBX' LB2 F jdh&9Zc LB3 DCS$d1 LB4 /?X1>A:* ... Cr0
\7 LB9 Z-[nHSf FLAG DF D5">g@ FP1 LL3RC6;e FP2 Kp,}7%hDw! FP3 k1;,eB FP4 <jdS0YT ... T8Sgu6:*R G"!YV#"~ FP9 g*$
0G FM1 ?m-kpW8 FM2 L8- FM3 MU5@(s3B? FM4 lS P{9L6 ... *0bbSw1kc FM9 \ZrLh,6f. APS T=7V+ LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为
(2vR8 M 55 .1 A TH LB2 BcV;EEi 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 $$YLAgO4 %8iA0t+ 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 c)Ft#vzg&e ZOOM nb -eAo3 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, lh`inAt)" ZGROUP ALL PZ69aZ*Gs (像差,光线集,等) #$V`%2> END (结束该组) $hB;r 或者 e
#l/jFJU J{72%S ZGROUP 1 3 5 7 'R6D+Vk/ ... =DTn9}u END ;cZ9C 1 ZGROUP 2 4 6 8 CaNZScnZ ... h`&@>uEiq END :6LOb f\01 (其他AANT条目) J)(H-xvV END (结束AANT文件) EK.L>3 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 @t`|w.]ml 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 W.p->,N ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 dtjaQsJM^ ia|^>V>- 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 FVLXq0<Cj ACON nb 9,5v %HZ "d'xT/l
" 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 (omdmT%D AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 9\TvX!)h AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 4s*P5w_'/ AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 ^8)&~q* AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 o)n8,k&nm ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 4,f[D9|: ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 #Q6wv/"Ub ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 d%9I*Qo0, ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 x@.iDP@( AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 /6F 1=O(c> AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 BieII$\P%P ADT 监视透镜直径与厚度的比。 !_<. 6ja AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 `ZN@L<I6 R#tz"T@ 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: mL+}Ka AANT =pWpHbB. AEC P;KbS~ SlC GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 P,h@F+OZN GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 3]'=s>UO>^ GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 ?>q=Nf^ Q. GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 8!>uC&bE8 GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 2bX!-h GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 &m8B%9w GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 D]y6*Ha GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 bXq,iX GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 9YHSL[ M 33 .1 A BACK EN.yU!N.4 ACA 60 1 X_s;j5ur ACC 40 1 b9|F>3?r> END Djf2ir'
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