|
|
摘自User's Manual 10.3节 C~6aX /: 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量，像差输入文件必须以 SHh g&~B AANT [ P ] OlV >zam 开头 i(Y P(8 以 @$t Qz END ~LkReQI 结束 LsBDfp5/ 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差，有六种类型： 6bfk4k 在默认模式下（开关29打开），SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P]，并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭，可以控制列表的形式；[P]产生一个输入图像，而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 p k"JcUzR 如果开关89打开，则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长，并且很少需要检查所有列表，因此默认关闭此开关。 7b
Gzun& 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入，如 )(?s=< H  r+
vtKb 在这里，GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量（在这种情况下是镜头的TOTL总长度）最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项，用A、S、MUL和DIV结合。例如，要控制厚度4和5的总和，可以输入 {feS-.Khv M 34.567 A TH 4 U>X06T A TH 5
@| 5B 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 @Z.Ne:*J GNR 0.5 10 4 P 1 -6)ywq^{z 在这个例子中，生成一个光线网格，参数0.5和10是权重，每半个光瞳4条光线，全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 [i&z_e) GOALS部分的输入正式地采用如下形式 ~ocd4,d =  Zwq
u S9
E1VCm[j2 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 wX|]8f2Z aname是一个最多8个字符的可选字符串，全部由数字组成或以字母开头，名称中没有标点符号或空格。 0&EX -DbV M表示最小化到指定目标；MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化，而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 q9Fc0(&Vf 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量，其他类型的像差可包含任何数量的分量。 j*+r`CX )P|Ql-rE4 许多像差定义允许参考特定的表面编号，例如输入 4e*0kItC M 55 .1 A TH 6 xaS kn 为厚度编号6指定目标值55。 vqL{ ~tR 当提到镜头内的表面编号时，有时使用如下特殊代码是方便的 4"7Qz z LB0 e {c.4'q LB1 h8S%Q|- LB2 So! 1l7b LB3 %/U Q0d~b LB4 XY%8yII6 ... Oq ! u `g9 LB9 cYGZZC8 |K FLAG rJNf&x%6 FP1 hefV0)4K FP2 l~f +h?cF FP3 O4- UVxv} FP4 2$3Bl uK ... e348^S&rG e HOm^.gd FP9 JWxPH5L FM1 `SIJszqc
FM2 <[pU rJfTr FM3 ` D4J9;|;] FM4 X K&#K? M ... *nC<1 .JW FM9 ;$0za]x APS j^64 :3 LB0、LB1、LB2指定“last but zero”，“last but one”，“last but two”，依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面，则参考表面6的示例可写为 Pu*st=KGB M 55 .1 A TH LB2 }]?RngTt 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面，则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”，依此类推，让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面（在RLE文件中具有用SN APS ...声明）可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时，表面的数量不断变化，并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 1B WuFYB =%RDT9T. 在设计变焦镜头时，可以在AANT文件中的用指令 ViVYyA ZOOM nb WMI/Y 9N 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置，直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置，可以使用ZGROUP ... END 格式。例如， ~ 4&_$e! ZGROUP ALL h eh! cDK （像差，光线集，等） i.fDH57 END （结束该组） M{(Y|3W 或者 V<d'p sb 6
2QBtwlQ?[ ZGROUP 1 3 5 7 tG#F7%+E ... ltD:w{PO] END 2 _Pe/ ZGROUP 2 4 6 8 uM4,_)L ... pXQ&2s$ END (+Uo;)~!YC （其他AANT条目） *:d_~B?Tn END （结束AANT文件） w=f8UtY9@A 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组；第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 c=|
a \\ 注意，ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组，而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 L\"=H4r ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0，将JSN表面后的空气间隔增加DT，为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 | _S9U| a~{St v 对于多重结构优化，在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 16aa IK ACON nb _VM J q9. zR5D)`Ph 除了上述定义之外，还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 7tr.&A^c AEC 监视边缘厚度，其中TH是变化的。 N;D+]_;0| AGE 监视玻璃元件的边缘厚度，其中TH是变化的。 W``e6RX- AFE 和AGE一样监视边缘，但在EFILE点A和E给出的孔径，或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径，则在CAO处。 i:z A( AAE 监视空气间隔的边缘厚度，其中TH是变化的。 :Mt/6} ACC 控制元件的最大中心厚度，其中TH是变化的。 rAQ^:q ACM 控制最小中心厚度，其中TH是变化的。 =]Ek 12. ASC 防止表面斜率太陡，其中CV是变化的。 ~#j `+ ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角，其中CV变化。 [Zua7&( 5 AAC 孔径控制，监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 v =W%|iZ AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 ~MQN& ADT 监视透镜直径与厚度的比。 }M9'N%PU AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 c76^x
82w< q( 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分，而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子： ll5Kd=3 AANT ^.<IT" AEC SE/@ li GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 $[1 M2>[ GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 T &0tW"r? GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 @{$SjR8Q $ GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 JE?XZp@V GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 %ZZ}TUI W GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 .}0Cg2W GSR 0 10.000000 3 3 0.000000
\(A>~D8Fo GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 m.4y=69 & GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 \ KPz M 33 .1 A BACK 7"S|GEs: ACA 60 1 oF3#]6`;/ ACC 40 1 %Ajf|Go0/G END O=+C Kx@
|
