|
|
摘自User's Manual 10.3节 @gfW*PNjlP 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量，像差输入文件必须以 qDG2rFu&[ AANT [ P ] ha Y]gmC 开头 /y$ Fw9R; 以 ,<* I5: END 33EF/k3vW 结束 h=0a9vIXF 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差，有六种类型： Uffwzd! 在默认模式下（开关29打开），SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P]，并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭，可以控制列表的形式；[P]产生一个输入图像，而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 K^U =" 如果开关89打开，则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长，并且很少需要检查所有列表，因此默认关闭此开关。 Sz@z
0' 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入，如 O-X(8<~H=  VaY#_80$s 在这里，GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量（在这种情况下是镜头的TOTL总长度）最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项，用A、S、MUL和DIV结合。例如，要控制厚度4和5的总和，可以输入 ;_vhKU)%J# M 34.567 A TH 4 |y[I!JdR A TH 5 F5qA!jZ1] 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 t\hnnu`Pq GNR 0.5 10 4 P 1 fJ[ ^_,O 在这个例子中，生成一个光线网格，参数0.5和10是权重，每半个光瞳4条光线，全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 C[<}eD4bV GOALS部分的输入正式地采用如下形式 Ai1"UYk\\Y  aWIkp5BFj
_i}b]xfM 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 @T ~XwJ~ aname是一个最多8个字符的可选字符串，全部由数字组成或以字母开头，名称中没有标点符号或空格。 V!+iq*Z| = M表示最小化到指定目标；MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化，而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 "t&=~eOe3 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量，其他类型的像差可包含任何数量的分量。 JFVx& n2bhCd]j<b 许多像差定义允许参考特定的表面编号，例如输入 L@{'J M 55 .1 A TH 6 IQ @9S 为厚度编号6指定目标值55。 Tv DSs]) 当提到镜头内的表面编号时，有时使用如下特殊代码是方便的 (|K+1R LB0 PPB/-F]rr LB1 hm1s~@o Em LB2 hK3-j;eg LB3 ]]P NYa LB4 A.vAk''(}+ ... ZKXE7p
i LB9 <#h,_WP* FLAG SYY x>1;8` FP1 Y7.+
Ma#| FP2 bO\++zOF FP3 |@u2/U9
FP4 ^A@f{g$KB+ ... {P8d^=#q y>y2,x+[ FP9 ?.S Gn[ FM1 f?UI+ TU FM2 oZiW4z*Wh FM3 l&ueD& *4& FM4 9jTBLp-i#N ... -lhIL}mGf FM9 CW+kK N APS 9 8|sWI3 B LB0、LB1、LB2指定“last but zero”，“last but one”，“last but two”，依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面，则参考表面6的示例可写为 |reA`&<q M 55 .1 A TH LB2 a yA; 6Qt 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面，则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”，依此类推，让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面（在RLE文件中具有用SN APS ...声明）可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时，表面的数量不断变化，并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 d/7R }n^ [f_^B U& 在设计变焦镜头时，可以在AANT文件中的用指令 FM VAXOO ZOOM nb U3{<+vSR` 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置，直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置，可以使用ZGROUP ... END 格式。例如， B-MS@ <2 ZGROUP ALL &u2;S?7m （像差，光线集，等） $H@ SXx END （结束该组） hI:.Qp`r 或者 uvbVb"\"Yk bFG~08Z ,d ZGROUP 1 3 5 7 <Q~N9W ... r tuaU=U END ]%E h" ZGROUP 2 4 6 8 e]R zvWq ... Op%OQ14$ END eM<N? 9 s （其他AANT条目） Y)1/f EM END （结束AANT文件） 61S;M8tNv 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组；第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 MT- Tt 注意，ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组，而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 /TpTR-\I0 ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0，将JSN表面后的空气间隔增加DT，为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 lcdhOjz!N y!=,u 对于多重结构优化，在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 spV7\Gs.@ ACON nb |8k1Bap`z Te-p0x?G . 除了上述定义之外，还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 7l53&,s AEC 监视边缘厚度，其中TH是变化的。 +K1M&( AGE 监视玻璃元件的边缘厚度，其中TH是变化的。 :0r ,.) AFE 和AGE一样监视边缘，但在EFILE点A和E给出的孔径，或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径，则在CAO处。 AM}2=Ip AAE 监视空气间隔的边缘厚度，其中TH是变化的。 FH=2, "A ACC 控制元件的最大中心厚度，其中TH是变化的。 z%D 7x5!,R ACM 控制最小中心厚度，其中TH是变化的。 eN=jWUoCh ASC 防止表面斜率太陡，其中CV是变化的。 ]{1 {XIF ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角，其中CV变化。 '#+&?6 p AAC 孔径控制，监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 Z mJ<h& AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 OXEEpoU?V ADT 监视透镜直径与厚度的比。 ^p3 G T6 AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 z5jw\jBD OS z71;j 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分，而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子： KnG7w^ AANT }^&S^N 7 AEC $:~;U xh= GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 MNu0t\`p4 GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 )pHtsd. eP GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 YbZbA >| GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 s)E \ GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 <w9~T TS GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 d VbFMQ& GSR 0 10.000000 3 3 0.000000
^ }7O|Y7 GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 (uC8M,I\ GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 !eF(WbU0 M 33 .1 A BACK 4' O,xC ACA 60 1 @ZJL ]TO ACC 40 1 `==l 2AX END cwmS4^zt8
|
