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摘自User's Manual 10.3节 KI?1(L 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 ju2X* AANT [ P ] fU){]YP 开头 *MyS7< 以 \5L 4* END h}VYA\+<B 结束
M$-(4 0 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: ~X(xa 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 (/P&;?j 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 CzsY=DBH= 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 oX]1>#5UMg r#Oz0=0u 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 5$G??="K M 34.567 A TH 4 FoXQ]X7" A TH 5 EF^=3 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 I!0+RP( GNR 0.5 10 4 P 1 YaZ"&i 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 g[+Q~/yq GOALS部分的输入正式地采用如下形式 f?I *`~k %L|bF"K5; >\x
39B 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 =X'7V}Q} aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 ^3s&90 M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 _!p$47 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 h9smviU7u Lj1 @yokB 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 !l~aRj-WZ M 55 .1 A TH 6 YqCK#zT/ 为厚度编号6指定目标值55。 y8n1IZ*#SZ 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 o[ W3/ LB0 _5`S)G{ LB1 l%5%oN`4 LB2 05LQh LB3 v23Uh2[@Yy LB4 R2ZQBwB ... 4'b]2Mn3 LB9 u9~J1s<e FLAG &bgi0)> FP1 D)Rf FP2 myX0<j3G5 FP3 wz)9/bL FP4 ^TuEp$Z= ... trt\PP:H% n
k3lC/f FP9 Q31c@t FM1 {
4{{;
FM2 BtApl)q# FM3 Z*3}L FM4 ^#nWgo7{7 ... ~y^lNgujO FM9 &bK$!8Z APS JLn<,Gn)<\ LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 *lF%8k"Al M 55 .1 A TH LB2 Z-!T(:E] 您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 -RDs{c`y%N x^skoz 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 $zi\ /Yw ZOOM nb DQnWLC"u 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, 74Wg@!P ZGROUP ALL BQg]$Tr? (像差,光线集,等) N\&;R$[9: END (结束该组) 6\@, Lb 或者 .LHe*J C 2=+ ,jX{ ZGROUP 1 3 5 7 =upP3rw ... dq(L1y870 END %n,bPa>T ZGROUP 2 4 6 8 A@'W $p?5r ... W RaO.3Q@. END Jz'+@q6h (其他AANT条目) C;>Ll~f_ END (结束AANT文件) ^SCWT\E 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 ^4NH.q{ 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 +,>bpp1 ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 Or>[_3 !YHu 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 zy;w07-) ACON nb !{;RtUPz* s'4p+eJ 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 V1;-5L75 AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 $g;xw?~# AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 zt0 zKXw AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 sAlgp2- AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 RoRVu,1 ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 bnQO}G ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 i[#Tn52D ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 c*Nbz,: ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 TKX# / AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 ;Vt
u8f AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 N/VIP0Kb ADT 监视透镜直径与厚度的比。 )`-]nMc AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 4[q *7m JM%#L *; 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: &@-glF5 AANT 'h6RZKG T AEC gId+hxFa:r GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 06$9Uz9 GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 oMbCljUC GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 Ls{fCi/2F GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 }1dh/Cc` GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 H_FhHX.2( GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 9A!qg< GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 T-TH.
R GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 a{W-+t GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 6wgOmyJx M 33 .1 A BACK <~OyV5:6 ACA 60 1 ?da 3Azp ACC 40 1 kn\>ZgU END (tv h9o
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