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摘自User's Manual 10.3节 <xOv0B 必须在像差输入文件中描述评价函数的每个量,像差输入文件必须以 )c
vA}U.z AANT [ P ] ^MJT lRUb 开头 {k.Dy92 以 2
MFGKz O END |3\$\qa 结束 Sn 3@+9J 所有像差定义必须放在AANT和END命令行之间。可以创建高达15000个像差,有六种类型: = ~{n-rMF 在默认模式下(开关29打开),SYNOPSYS忽略AANT命令上的可选[P],并自动给出AANT输入列表。如果开关29关闭,可以控制列表的形式;[P]产生一个输入图像,而省略P导致像差定义的更长但完整的总结。 !_{2\& 如果开关89打开,则在每个优化运行的开始和结束时列出所有定义的像差的值。 由于列表可能很长,并且很少需要检查所有列表,因此默认关闭此开关。 yP :/F|E$ 最常使用两种像差定义。这两种定义指定了一个要明确控制的量或表明这些量的一个集合。第一种使用输入,如 Vg1!
u+`< 2I!STP{ !l 在这里,GOALS部分以相对权重1将DETAILS部分中的量(在这种情况下是镜头的TOTL总长度)最小化到目标值55.2。该部分中的“A”表示Add添加此量。 您可以在DETAILS部分中包含多个项,用A、S、MUL和DIV结合。例如,要控制厚度4和5的总和,可以输入 Q8:`;W M 34.567 A TH 4 hR;J#w A TH 5 C^Jf&a 定义要控制的量的一个集合的输入采用如下形式 "52nT GNR 0.5 10 4 P 1 v` 9^?Xw) 在这个例子中,生成一个光线网格,参数0.5和10是权重,每半个光瞳4条光线,全视场(HBAR = 1)色差P(主色)。 Wj N0KA GOALS部分的输入正式地采用如下形式 Z,~"`9>Ss J7.}2 Mp;yvatO 这个输入后面跟着描述最小化内容的附加参数(DETAILS部分)。 J:M)gh~# aname是一个最多8个字符的可选字符串,全部由数字组成或以字母开头,名称中没有标点符号或空格。 ~r~~0|= M表示最小化到指定目标;MF意思是用评价函数中像差的四次幂最小化,而不是用二次幂。L、LIM、LL、LUL和LLL指定一个单边限制。C指定基于拉格朗日乘数的精确校正。 Bsm>^zZ`YU 在光线像差讨论中描述了SR和SCR。可以定义多达5001个像差。每个光线像差最多可包含9个分量,其他类型的像差可包含任何数量的分量。 m#[tY>Q[b z?~W]PWiZ 许多像差定义允许参考特定的表面编号,例如输入 .f'iod- M 55 .1 A TH 6 [.e
Y xZ{= 为厚度编号6指定目标值55。 |JVeW[C 当提到镜头内的表面编号时,有时使用如下特殊代码是方便的 p^_E7k<ag LB0 mPHn &4 LB1 t
>89(
k LB2 Up|\&2_ LB3 ,}&E=5MF\ LB4 Ln;jB&t ... <&'Y e[k LB9 x~."P*5 FLAG ns.[PJ"8 FP1 A:"J&TbBx FP2 )r
O`K FP3 ^'8T9N@U FP4 vfT<%Kl!' ... amI$0 M4a-+T" FP9 Yuy7TeJRx FM1 }vOUf#^k FM2 m,nV,}@J FM3 "4FL<6 FM4 ^&t(O1.- ... g;(r@>U.r FM9 06bl$% APS kP%Hg/f/Ot LB0、LB1、LB2指定“last but zero”,“last but one”,“last but two”,依此类推; 这些让你从最后一个表面倒数。如果镜头有八个表面,则参考表面6的示例可写为 `~( P M 55 .1 A TH LB2 ?v2OoNQ
您还可以使用助记符FLAG和APS间接参考表面编号。如果表面已声明为FLAG表面,则该表面编号将替换为FLAG条目。命令FP1表示“flag plus one”,依此类推,让您在标志表面之前和之后指定最多九个表面。声明光阑的表面(在RLE文件中具有用SN APS ...声明)可以用APS条目参考。 在运行SPBUILD或AEI时这些都很有用。运行SPBUILD或AEI时,表面的数量不断变化,并且按编号参考特定的表面是不实际的。 这些代码可以在程序的任何地方用来间接参考表面编号。 K[LTw_oE 5* 1wQlL 在设计变焦镜头时,可以在AANT文件中的用指令 xh>/bU!> ZOOM nb ;??wLNdf- 声明哪个变焦位置需要校正。此后定义的所有像差都将应用于这个变焦位置,直到遇到另一个ZOOM指令。如果希望将相同的像差应用到多个变焦位置,可以使用ZGROUP ... END 格式。例如, eafy5vN[zX ZGROUP ALL `+b>@2D_ (像差,光线集,等) n<:/ X tE END (结束该组) ^o't& 或者 +P6#7.p`Z 4ei
.- ZGROUP 1 3 5 7 }+`W[ h&u ... MBCA%3z08 END Yt*M|0bL ZGROUP 2 4 6 8 *?oQ6g(Nz ... lh*m( END RVfRGc^lK (其他AANT条目) okX\z[X END (结束AANT文件) yy?|q0 第一个示例将输入的像差应用到所有变焦组;第二个和第三个只应用于确定输入的变焦位置。 $P]%Px!x 注意,ZGROUP命令需要一个END命令来结束该组,而AANT文件需要第二个END命令来结束所有像差定义。ZGROUP不可以包含任何ZOOM或另一个ZGROUP声明。 bxP> ZFOCUS TH0 JSN DT [GIHT]将物距值改为TH0,将JSN表面后的空气间隔增加DT,为这些设置计算后续的光线和像差。输入ZFOCUS OFF来恢复标称参数。 $JmL)r :o$ R@l 对于多重结构优化,在应用于多重结构nb的像差之前必须输入 ~%^af"_ ACON nb h~elF1dG xtjTU;T 除了上述定义之外,还有几个命令用于监视镜头的某些方面以防止它变得不合理。 这些是 ?{q w
/& AEC 监视边缘厚度,其中TH是变化的。 R_*b<~[/ AGE 监视玻璃元件的边缘厚度,其中TH是变化的。 ) iy>sa{ AFE 和AGE一样监视边缘,但在EFILE点A和E给出的孔径,或者如果没有定义EFILE点A和E给出的孔径,则在CAO处。 e%G-+6 AAE 监视空气间隔的边缘厚度,其中TH是变化的。 ]^gD@]. ACC 控制元件的最大中心厚度,其中TH是变化的。 mU_?}}aK, ACM 控制最小中心厚度,其中TH是变化的。 h_ ]3L/ ASC 防止表面斜率太陡,其中CV是变化的。 0[D5]mcv ACA 防止光线进入或离开元件太靠近临界角,其中CV变化。 lf|e8kU\f AAC 孔径控制,监视通光孔径并防止它们变得太大。这适用于所有孔径。 ^g[\.Q AZA 监视ZFILE变焦镜头中每个透镜组的两侧空气间隔和边缘尺寸。 %e7{ke}r ADT 监视透镜直径与厚度的比。 K_`*ZV{r AMS 监视弯月形透镜的曲率中心之间的分离。 !gy'_Y /+RNPQO O 本章提示了SYNOPSYS 评价函数许多可能性。但普通用户只需要使用其中的一小部分,而且评价函数通常会变得相当简单。这里是一个评价函数定义的例子: 5 LX3. AANT 0s0[U AEC N l_!%k: GSR 0 10.000000 3 2 0.000000 q30WUO; GNR 0 2.000000 3 2 0.750000 p"H8;fPA0 GNR 0 1.000000 3 2 1.000000 2x e_Q70II GSR 0 10.000000 3 1 0.000000 -7ct+3"J GNR 0 2.000000 3 1 0.750000 YO!,m<b^u GNR 0 1.000000 3 1 1.000000 zx-+u7qKH GSR 0 10.000000 3 3 0.000000 q22cp&gmX GNR 0 2.000000 3 3 0.750000 p{Pa(Z]G GNR 0 1.000000 3 3 1.000000 z9HQFRbo[ M 33 .1 A BACK ;~]&$2sk ACA 60 1 K?[pCF2C ACC 40 1 NG'VlT END *"fg@B5
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