基于切比雪夫多项式的全新自由曲面设计与运用

第二面反射镜使用切比雪夫多项式曲面的 TMA 设计

现在，我们将看看 TMA 第二面反射镜使用切比雪夫多项式曲面（而非泽尼克边缘矢高曲面）的结果。设置 X 与 Y 最高阶数均为 5，以及 14 个多项式变量阶进行优化，我们得到以下曲面类型（为简化，已省去值为 0 的项数）：

切比雪夫曲面与球面的偏离度与泽尼克 TMA 矢高的比例相同。切比雪夫曲面边缘的矢高（以红色表示）大于泽尼克曲面边缘的矢高。

与泽尼克 TMA 设计相比，性能上有少许改善。请注意，比例为 1 mm，RMS 光斑半径在整个视场中有稍微减少。