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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: $@m)8T 定义单向弯曲器件的材料 G9?6qb: 定义系统设置 ogN/zIU+VA 创建弧形波导 *69yB 插入输入平面 (qn ;MN6< 选择输出数据文件 mKWfRx*UdG 运行仿真 4%l
@ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 :uM2cc^ *"rgK|CM$ 1. 定义单向弯曲器件的材料 )
V}q7\G~ 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 L #'N 步骤 操作 a'R)3:S 1) 从文件菜单中,选择新建。 W}+f}/&l 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 iUuG}rqj e_C9VNP 图1.初始属性对话框 U3SF'r8 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 /<Nb/#8 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 ** \B P,]} 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 xw60l&s.\L ?VM# Nf\ 图2.轮廓文件设计器 RG(m:N 3) 创建以下介电材料: RusC5\BUX 名称:包层(Cladding) tT7< V{i4 折射率(Re :):1.442 gI^);JrTE $V"NB`T 4) 要保存资料,请单击“存储”。 StUiL>9T# )tQG5.to 5) 创建第二种介电材料: 7 mulNq f'/@h Na3 名称:波导层(Guide) bS
'a ) 折射率(Re :):1.45 N*t91 X .K![<eZ 6) 要保存资料,请单击“存储”。 p'afCX@J "cerg?ix 7) 创建以下通道: Q(lj&!?1k 轮廓名称:通道1 bH7[6#y$ 2D轮廓定义材料:波导(Guide) T-7'#uB.m 8) 要保存通道,请单击“存储”。 @_0g "Ul 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 hjiU{@q 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI aubmA0w %hK?\Pg3=E 2. 定义系统设置 o l67x 要定义系统设置,请执行以下步骤。 7I;Give{ 步骤 操作 t+0&B" 1 点击默认波导标签 w>I>9O}(` 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 7e&R6j 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 |(Zv
g}c_ 4 键入以下值: A.9,p 长度:800 iKB8V<[\T
宽度:50 %UJ!(_ 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 G'XlsyaWrb 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 W5-p0,?[6 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 3j.Ft*SV 出现布局窗口(参见图3)。 &fYx0JT
a/+tsbw 图3.布局窗口 W38My j! 3. 创建弧形波导 ?uUK9*N 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 L K9vvQz 步骤 操作 Gy[;yLnX 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 5YIiO7@4 光标变成十字线。 'l\V{0;mp 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 woZ'T
/U<-N'| 图4.绘制一个弧形波导 LGT\1u 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 Tgp}k%R~ 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 /_rAy 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 '#<?QE!d2 出现弧形波导属性对话框(参见图5) ?8Cxt|o> aKaqi}IT 图5.弧形波导属性对话框 JGIN<J85e 5) 点击起始标签 7\^b+* 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): c=H(*# 水平:0 #{(?a.: 垂直:-10 aPB %6c= 9>psQ0IRvr 图6.初始偏移值 io
cr 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 !-r@_tn| 激活表达式框(参见图7)。 KtHh--j` ;9c3IK@ 图7.波导半径 '9GHmtdO, 8) 键入以下值: H;s0|KRgJ 表达式:4000 pRXA!QfO 9) 单击终止选项卡。 YP~d1BWvf 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): Z5Ao3O@ Horizontal:800 yuswWc' 垂直:-8 8E/$nRfOd wpY%"x#-+= 图8终止偏移值 {Cs~5jYz 11) 输入以下值: N;D(_:^ 宽度:4 >0+m 12) 点击“OK”。 '2z o
弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 MLmc]nL= `a:@[0r0U 图9.修改的弧形波导 |x{:GWq 4. 插入输入平面 i>T{s-3v 要插入输入平面,请执行以下步骤。 xpFu$2T6P. 步骤 操作 )aquf<u@ 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 *ok89ad 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 {^9,Dy_D 输入平面出现(参见图10)。 KBzEEvx/$ |IH-a" 图10.输入平面 yt C{,g> 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 gU>Y 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 ]G&?e9OA 4_PMl6qo ...... (W3R3>; 9|jIrS%/~ 未完待续 wias]u| 来源:讯技光电 8[f]9P/i
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