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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： $ } ~:x_[ 定义单向弯曲器件的材料 R#oXQaBJ 定义系统设置 NKR NEq! 创建弧形波导 N O'-HKHj 插入输入平面 0%v
p'v 选择输出数据文件 <CeDIX t 运行仿真 d aaurT 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 O4 [[9
xK
/NzVt 1. 定义单向弯曲器件的材料 [&e}@!8O` 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 [N{Rd[{QTL 步骤 操作 }E*#VA0/nY 1) 从文件菜单中，选择新建。 Z x3m$.8 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 kFeuKSa^d |06G )r& 图1.初始属性对话框 J3C"W7 94}
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 z1s9[5 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 [}.OlR3) 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 7,Nd[
oL*7 rqifjsv 图2.轮廓文件设计器 Wa
, #
3) 创建以下介电材料： ?k#-)inf) 名称：包层（Cladding） \
3ha 折射率（Re :)：1.442 q_JES4ofx
EFhe`` 4) 要保存资料，请单击“存储”。 7n5 bI\
{R\ "x| 5) 创建第二种介电材料： "QA!z\ 0\
A fyEFn Y 名称：波导层（Guide） 0Bb am U 折射率（Re :)：1.45 s <td n[d
dYW19$W
n 6) 要保存资料，请单击“存储”。 V 9][a
s @Y0"
7) 创建以下通道： njX!Ez 轮廓名称：通道1 )~s(7
4`} 2D轮廓定义材料：波导（Guide） a~WtW] 8) 要保存通道，请单击“存储”。 hK3?m.> "g 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 1: XT r 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI }3ty2D#/:
%
?@ PlQ 2. 定义系统设置 M {Wla 7 要定义系统设置，请执行以下步骤。 m K fT4t 步骤 操作 t /1KKEZM 1 点击默认波导标签 wYPJji
D 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 C([TolZ 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 }qRYXjS 4 键入以下值： vA*!8 2 长度：800 L6O* aZ| 宽度：50 {a\m0Bw/ 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 ^F/N- !}q 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 ,aU_bve 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 3t)07(x_B 出现布局窗口（参见图3）。 - $>R;L A7 C+-N 图3.布局窗口 vg5i+ry< 3. 创建弧形波导 W^Wr 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 lo5,E(7~h 步骤 操作 q{nN WvL 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 ~K 5eO- 光标变成十字线。 fq48>"g* 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 M| :wC [2"a~o\ 图4.绘制一个弧形波导 <-D>^p9
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 <j+DY@* 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 gG!L#J? 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 tt $DWmm 出现弧形波导属性对话框（参见图5） n<+g{QHi . K s%ar 图5.弧形波导属性对话框 d,tGW
5) 点击起始标签 b3N1SC:Wn 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： kI<;rP1S| 水平：0 d="Oge8 垂直：-10 MqDz cB] <b.?G 图6.初始偏移值 U-&dn%Sq
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 JR] /\( 激活表达式框（参见图7）。 1qp<Fz[ 5|z>_f.^pS 图7.波导半径 roSdcQTeT
8) 键入以下值： P:,' 表达式：4000 :m #[V7
9) 单击终止选项卡。 .fY1?$*6c 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： I]+xerVd Horizontal：800 -.<fGhmU 垂直：-8 VRV *\*~$ |Ii[WfFA|J 图8终止偏移值 Tw JiYXHw?
11) 输入以下值： b&BkT%aA(G 宽度：4 k<(G)7'gm 12) 点击“OK”。 T5H[~b|9- 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 n,/eT,48` =;A p+} 图9.修改的弧形波导 R-QSv$ 4. 插入输入平面 u5zL;C3O 要插入输入平面，请执行以下步骤。 &B ?TX. 步骤 操作 @`t#Bi9 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 }x!=F<Q!r 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 J< Ljg<t+ 输入平面出现（参见图10）。 9j<qi\SSI %EV\nwn6 图10.输入平面 2MY-9(no
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 oHh~! #u 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 +5~5BZP
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...... bvn %E
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未完待续 X% JQ_Z 来源：讯技光电 u*}[fQ`aF
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