|
|
本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： \Z0-o&;w 定义单向弯曲器件的材料 _[|~(lDJl 定义系统设置
nb}* IExd 创建弧形波导 7\*_/[B 插入输入平面 iB #xUSkS 选择输出数据文件 3vx*gfr3 运行仿真 ]i'hCa $$ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 ] h3~>8<
S]3K5Z| 1. 定义单向弯曲器件的材料 v%O KOrJ 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 Zt: .+.dV 步骤 操作 ql, k 5.l 1) 从文件菜单中，选择新建。 ,!U._ic'B 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 gMe)\5 `\Y 5o;M 图1.初始属性对话框 *Dx &} "
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 1eue.iuQ 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 [@"~'fu0 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 O>]I!n`!!A LQ T^1|nq 图2.轮廓文件设计器 p o@=$HK
3) 创建以下介电材料： N"d
M+ 名称：包层（Cladding） ]A oRK=aH 折射率（Re :)：1.442 xa+=9=<AQ
LE^kN<qMK 4) 要保存资料，请单击“存储”。 ?@"F\Bv<h
P]]re,&R 5) 创建第二种介电材料： ! d Ns3d
E.V#Bk=
名称：波导层（Guide） 'p3JYRT$ 折射率（Re :)：1.45 9
cU]@j}2
vmW > $P 6) 要保存资料，请单击“存储”。 o^P/ -&T
l{ tpFu9v 7) 创建以下通道： 1<y(8 C6 轮廓名称：通道1 X|!Vt O 2D轮廓定义材料：波导（Guide） ziUEA>m */ 8) 要保存通道，请单击“存储”。 ;.$ AhjqiP 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 N y_d 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI ~DYUI#x
fFu +P<?" 2. 定义系统设置 )kLTyx2& 要定义系统设置，请执行以下步骤。 O$ d z=) 步骤 操作 [( Z{5gK 1 点击默认波导标签 Ox .6]W~ 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 uE {r09^q\ 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 nf#;]FijB 4 键入以下值： G 3))3] 长度：800 9 <qAf` 宽度：50 a, <l_#' 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 )b^yAzL? 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 ^0oOiZs 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 #mhR^60, 出现布局窗口（参见图3）。 u.!}s2wT# {8b6M 图3.布局窗口 } a#RX$d& 3. 创建弧形波导 #-T xhwYs 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 U ^aMh- 步骤 操作 /2 V 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 AlZ] UGf^ 光标变成十字线。 5d ?\>dA 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 WC2sRv4]3 3zC<k2B 图4.绘制一个弧形波导 .%~m|t+Rt
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 p7H0| > 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 =3K}]3f 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 #8xP,2&zf 出现弧形波导属性对话框（参见图5） =i'APeNaQ e,J
q<=j 图5.弧形波导属性对话框 gJ \CT'/
5) 点击起始标签 -zn$h$N4 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： ,O`a_b] 水平：0 .7GTL 垂直：-10 =;HC7TUM& -@=As00Bg 图6.初始偏移值 Epo/ }y
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 Fa ]|Y 激活表达式框（参见图7）。 pNt,RRoR yRd [ $p 图7.波导半径 sVT:1 kI
8) 键入以下值： "pRi1Y5)l 表达式：4000 =}F}XSvXH 9) 单击终止选项卡。 _+B{n^ { 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： f2*e&+LjTP Horizontal：800 Qs\m" y x 垂直：-8 O0`o0 !=P \mp2LICQg 图8终止偏移值 +f){x9
:
11) 输入以下值： >6X$iBb0 宽度：4 :OEovk(` 12) 点击“OK”。 xLN$!9t 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 \+iZdZD Iu V7~w 图9.修改的弧形波导 x->H~ / 4. 插入输入平面 DH9p1)L' 要插入输入平面，请执行以下步骤。 c^F@9{I 步骤 操作 w ]%EJ|' 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 %4$J.6M 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 6<t<hP_3O 输入平面出现（参见图10）。 >~}}*yp I+GP`=\ 图10.输入平面 ;{j@ia
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 9z'(4U 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 r"4&.&6
NG+%H1!$_
...... D~Rv"Hh
FlyRcj
未完待续 M&SY2\\TB 来源：讯技光电 'hN RIM1
|
