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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: #lM!s 定义单向弯曲器件的材料 pTOS}A[dh 定义系统设置 Q5;Km1( 创建弧形波导 @'?<92A 插入输入平面 wHWd~K_q 选择输出数据文件
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!E* > 运行仿真 mdypZ 1f_ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 D4}WJMQ7s /e|`mu% 1. 定义单向弯曲器件的材料 ~4=4Ks0 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 |bi"J;y 步骤 操作 -1Lh="US 1) 从文件菜单中,选择新建。 OC#o JwC 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 @+syD H_ .@{8I 图1.初始属性对话框 zY(w`Hm2 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 1zGEf&rv: 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 l|%7)2TyG) 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 .P# c/SQp K~+y<z E 图2.轮廓文件设计器 $T^O3 8$ 3) 创建以下介电材料: %~4R)bsJ' 名称:包层(Cladding) +"?K00*( 折射率(Re :):1.442 5G_*T M86v 4) 要保存资料,请单击“存储”。 ZJP.-` U X@JDfn?A 5) 创建第二种介电材料: rD%(*|Y"c NjdAfgA 名称:波导层(Guide) x,2+9CCU 折射率(Re :):1.45 @>qzRo #fG!dD42 6) 要保存资料,请单击“存储”。 W`eYd|+C 'hVOK(o0 7) 创建以下通道: bNFX+GA/ 轮廓名称:通道1 d{9rEB? 2D轮廓定义材料:波导(Guide) lR{eO~'~V 8) 要保存通道,请单击“存储”。 3`n5[RV 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 TcpD*%wW 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI f>\?\! CYEqH2"3 2. 定义系统设置 'iXjt
MX 要定义系统设置,请执行以下步骤。 >LgV[D#=&o 步骤 操作 H6/@loO!Xy 1 点击默认波导标签 MGX,JW>L 2 在轮廓文件列表中,单击通道。
:?@d\c' 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 HzQ6KYAM q 4 键入以下值: 0"#tK4 长度:800 )!|K3%9 宽度:50 r7C
m 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 pk}*0Y- 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 RT)0I; 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 cGsP0LkHC 出现布局窗口(参见图3)。 R|$=Pfg~4 8s?;<6 图3.布局窗口 .2.$Rq 3. 创建弧形波导 (4$lB{% 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 V>g EF'g 步骤 操作 fk*JoR.o 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 I?4J69' 光标变成十字线。 JI3AR
e?y 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 /w_Sc{ 42Gr0+Mb 图4.绘制一个弧形波导 _<pG}fmR 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 }C2I9Cl 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 > :!faWX 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 5>KAVtYvc 出现弧形波导属性对话框(参见图5) }s}b]v udp& |