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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: $x,EPRNs 定义单向弯曲器件的材料 t#3_M=L 定义系统设置 Qqx!'fft 创建弧形波导 $/|vbe, 插入输入平面 E(vO^)# 选择输出数据文件 `WnsM;1Y" 运行仿真 (=%0$(S> 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 klH?!r& gS8+S\2 1. 定义单向弯曲器件的材料 /V63yzoY 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 w`=O
'0d 步骤 操作 )(_NFpM 1) 从文件菜单中,选择新建。 paLPC&G 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 e<*qaUI _ Yc"{d3S 图1.初始属性对话框 Y}:4y$< 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 Ow.DBL)x'> 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 /'5d0' ,M 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 ?c+$9 jM
@N<k 图2.轮廓文件设计器 4 Yv:\c 3) 创建以下介电材料: w%8y5v5 名称:包层(Cladding) @0]WMI9B"B 折射率(Re :):1.442 ~KYzEqy W]bgWKd 4) 要保存资料,请单击“存储”。 nO!&;E& "j8)l4} 5) 创建第二种介电材料: nj1o!+9>$ UoKVl- 名称:波导层(Guide) [0aC]XQZ 折射率(Re :):1.45 8>Cf}TvErx +:4>4= 6) 要保存资料,请单击“存储”。 &$
"J\vm =&,T@5&-= 7) 创建以下通道: NkO+)= 轮廓名称:通道1 6@t& 2D轮廓定义材料:波导(Guide) X^K^az&L 8) 要保存通道,请单击“存储”。 d;]mwLB0 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 8Znr1=1
将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI &)gc{(4$ 3Ovx)qKxd 2. 定义系统设置 6<$.Z-, 要定义系统设置,请执行以下步骤。
Dmr*Lh~ 步骤 操作 RL/y7M1j 1 点击默认波导标签 s1[&WDedM 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 iC/*d 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 _+NjfF| 4 键入以下值: r)>3YM5 长度:800 5RFro^S9E 宽度:50 , ?U)mYhI 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 @j_o CDS 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 XsQ81j. 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 ]% HxzJ 出现布局窗口(参见图3)。 ?d^6ynzn e15yDwvB 图3.布局窗口 _:=\h5}8 3. 创建弧形波导 8=TC 3] 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 ZY]$MZf5yo 步骤 操作 wjwCs` 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 D
5n\h5 光标变成十字线。 1W{ oj 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 |-b\N6
} boGdZ2$h4 图4.绘制一个弧形波导 GdI,&|/ 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 ix2i.wdD 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 ;!A8A4~nu 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 [,,@>nyD 出现弧形波导属性对话框(参见图5) xb3 G,F v_EgY2l( 图5.弧形波导属性对话框 zGR,}v%% 5) 点击起始标签 {VW\EOPV~ 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): D]fuX|f~ul 水平:0 n=V|NrU 垂直:-10 2Ax"X12{6
8sG?|u 图6.初始偏移值 hmGlGc,lf 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 *3`R W<Z 激活表达式框(参见图7)。 :_6o|9J\t Os'E7;:1h 图7.波导半径 J<"K`|F 8) 键入以下值: * @]wT' 表达式:4000 q"<=^vi 9) 单击终止选项卡。 CLzF84@W= 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): m(U.BXo Horizontal:800 SNOc1c<~ 垂直:-8 _>\33V-?b :38h)9>RK 图8终止偏移值 YiO}" 11) 输入以下值: '1LN)Yw 宽度:4 N^$q;% 12) 点击“OK”。 v77UE"4|c 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 Z9$pY=8^? JI]Lz1i 图9.修改的弧形波导 z2YYxJc&w 4. 插入输入平面 LF!KP 要插入输入平面,请执行以下步骤。 dY&v(~&;] 步骤 操作 y/Y}C.IWp) 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 YGOkqI 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 W7WHDL^ 输入平面出现(参见图10)。 kE'p=dXx k1xx>=md|C 图10.输入平面 Yq00<kIDJ 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 #Mn?Nn 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 'yX\y
6I WUie`p ...... Y+Z+Y)K j[:70%X 未完待续 y4jiOhF<d 来源:讯技光电 @NA+Ma{N
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