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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: A!ba_14 定义单向弯曲器件的材料 "mSDL:$ 定义系统设置 9c}LG5 创建弧形波导 {Ejv8UdA9 插入输入平面 m Wsegq4 选择输出数据文件 Z>Rd6o' 运行仿真 e-]k{_wm 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 [64K?l0& wGBQ.Ve[ 1. 定义单向弯曲器件的材料 $xvEYK 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 H2zd@l:R 步骤 操作 _(0!bUs> 1) 从文件菜单中,选择新建。 OV;Ho 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 3`5?Zgp pW:U|m1dS 图1.初始属性对话框 FJ!N)`[ 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 VVYQIR]!yk 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 SrN0f0 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 13}=;4O :{E3H3 图2.轮廓文件设计器 s3uT:Xw3rW 3) 创建以下介电材料: 49
fs$wr@ 名称:包层(Cladding) C.C\(2- Rr 折射率(Re :):1.442 \$yI'q qV@xEgW#r 4) 要保存资料,请单击“存储”。 jQ4Pv` 6(ju!pE` 5) 创建第二种介电材料: hkRv0q.' ?:lOn(0& 名称:波导层(Guide) (=)+as"u9* 折射率(Re :):1.45 !:c7I@ )qzJu*cQ 6) 要保存资料,请单击“存储”。 b0rC\^x n?YGXW/ 7) 创建以下通道: Q5Y4@ 轮廓名称:通道1 .Uh-Wi[ 2D轮廓定义材料:波导(Guide) e1[kgp
8) 要保存通道,请单击“存储”。 7`~h'(k 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 S;Lqx5Cd 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI 1&i!92:E tCI8\~ 2. 定义系统设置 #Ru+|KL 要定义系统设置,请执行以下步骤。 oQjh?vm 步骤 操作 OC7:Dp4 1 点击默认波导标签 =uKK{\+|Y 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 nC_<pq^tr 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 SXwgn > 4 键入以下值: KynQ<I/ 长度:800 (xG#D;M0 宽度:50 R)nhgp(~ 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 [LjYLm%< 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 yJ/m21f 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 @wl80v 出现布局窗口(参见图3)。 u17Da9@; ",#rI+ el 图3.布局窗口 ["Z]K'?P 3. 创建弧形波导 l.;y`cs 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 \X
Nb 9- 步骤 操作 AWh{dM 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 =y0!-y 光标变成十字线。 )WwysGkqol 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 }{bO~L7 T~ /Bf 图4.绘制一个弧形波导 NO`LSF 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 u32wS$*8 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 dm8veKW'l 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 Dr7,>Yx 出现弧形波导属性对话框(参见图5) k3sP,opacX wD22@uM#] 图5.弧形波导属性对话框 E 7;KG^ 5) 点击起始标签 5NJ@mm{0 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): uLe+1`Y5Ux 水平:0 %/1`"M5ko 垂直:-10 HR['y9U A>R ^iu 图6.初始偏移值 p KKn 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 {Y`0} 激活表达式框(参见图7)。 rouD"cy T_5 E 图7.波导半径 @#*B|lHE 8) 键入以下值: B?#@<2*=L 表达式:4000 f>#\'+l' 9) 单击终止选项卡。 4y>G6TD^ 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): 3j]La Horizontal:800 &XrF#s 垂直:-8 cvn,&G-` [M FV:Z 图8终止偏移值 -S)HB$8 11) 输入以下值: CSt6}_c! 宽度:4 *`|.:' 12) 点击“OK”。
Y($"i<rN 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 '9{H(DA sBwkHsDD 图9.修改的弧形波导 ~4XJ" d3L 4. 插入输入平面 <%qbU- 要插入输入平面,请执行以下步骤。 xV}|G 步骤 操作 r[EN`AxDb 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 m[ifcDZ(e 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 x*Z"~'DI 输入平面出现(参见图10)。 <:q]t6]$ !6f#OAP\ 图10.输入平面 0Zk A.p 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 N<$uAns 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 e0v&wSi ?y]3kU ...... Qnr' KbK EBK\.[ 未完待续 "=P@x|I 来源:讯技光电 J*a`qU
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