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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: ul3~!9F5F 定义单向弯曲器件的材料 F?$Vx)HI 定义系统设置 Ni8%K6]z 创建弧形波导 >?1GJ5]\s 插入输入平面 Zb=;\l*& 选择输出数据文件 EnGh&] 运行仿真 t{>#)5Pqv 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 wo+`WnDh [(2^oTSRaq 1. 定义单向弯曲器件的材料 ZJF"Yo 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 9Nps<+K 步骤 操作 qdLzB 1) 从文件菜单中,选择新建。 Ypl;jkHP 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 8nng^ :2H]DDg( 图1.初始属性对话框 ~;jgl_5?b 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 Auc&dpW 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 !KJA)znx;( 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 )u+O~Y95&i "f8,9@ 图2.轮廓文件设计器 Rz&`L8Bz 3) 创建以下介电材料:
&a4FGzR# 名称:包层(Cladding) sBYDo{01 折射率(Re :):1.442 \?oT.z5VG& Ux1j +}y 4) 要保存资料,请单击“存储”。 2Y%7.YX" c0Bqm 5) 创建第二种介电材料: |||m5(`S L){V(*K ' 名称:波导层(Guide) SHs [te[ 折射率(Re :):1.45 |{(JUXo6K gm
pY[ 6) 要保存资料,请单击“存储”。 qtdkK LT f,i2U|1pbj 7) 创建以下通道: '.<iV!ZdZ 轮廓名称:通道1 O:8
u^TP 2D轮廓定义材料:波导(Guide) A9N8Hav 8) 要保存通道,请单击“存储”。 V,rR*a&p 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 C[<{>fl) 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI fPHV]8Ft| n Bd]rak' 2. 定义系统设置 V dvj*I 要定义系统设置,请执行以下步骤。 ," 5HJA4 步骤 操作 h^_^)P+; 1 点击默认波导标签 Y@:l!4DI 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 jygUf| 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 2q]ZI 4 键入以下值: 50dN~(;p 长度:800 Q|P
M6ta 宽度:50 `q\F C[W 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 8\9W:D@"x 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 7FkiT 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 @67GVPcxl 出现布局窗口(参见图3)。 n|? sNM<J3 s0]ZE\`H> 图3.布局窗口 %]Nm'"Y`U 3. 创建弧形波导 ZbVn"he 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 `),U+ 步骤 操作 8 e_] 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 ]hy@5Jyh 光标变成十字线。 sVFX(yx0 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 +zbCYA xjF>AAM_Px 图4.绘制一个弧形波导 *g
%bdO 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 ^wc:qll 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 <$hv{a 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 c%O97J.5b 出现弧形波导属性对话框(参见图5) /eU\B^k {>vgtk J 图5.弧形波导属性对话框 ?7TmAll<.s 5) 点击起始标签 -O,:~a=*_ 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): w0@XJH:P 水平:0 ctHQZ#.[( 垂直:-10 L4T\mP7D7* = 03G~7B> 图6.初始偏移值 1u5^a^O(| 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 nC
!NZ 激活表达式框(参见图7)。 7p\& |