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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: CVfV 定义单向弯曲器件的材料 qq5X3K2& 定义系统设置 AM}2=Ip 创建弧形波导 XRV]u|w=g 插入输入平面 1CB&z@ 选择输出数据文件 Oh! {E5!) 运行仿真 J~2SGXH)^? 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 5%I3eL%s 0vv~G\yM 1. 定义单向弯曲器件的材料 !/}3/iU 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 I\Op/`_=E 步骤 操作 j9+4},>>CU 1) 从文件菜单中,选择新建。 ]>X_E%`G<b 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 8gS7$ EH' Tvx1+0Z%z 图1.初始属性对话框 ~&<#H+O 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 \l59/ZFan 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 -uYxc=4Lh 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 1{a%V$S[ |[.-pA^ 图2.轮廓文件设计器 }X)vktE+| 3) 创建以下介电材料: cXb*d|-|N 名称:包层(Cladding) 1@|+l!rYF 折射率(Re :):1.442 A8m06 fu5L)P^T 4) 要保存资料,请单击“存储”。 ,P a*; o\ bT,_=7F 5) 创建第二种介电材料: p[Po*c.b @su<h\) 名称:波导层(Guide) ~XOmxz0 折射率(Re :):1.45 lbHgxZ !l%: 6) 要保存资料,请单击“存储”。 8<L{\$3HP| joe)b 7) 创建以下通道: b >D 轮廓名称:通道1 fmW{c mr| 2D轮廓定义材料:波导(Guide) Jy(G
A 8) 要保存通道,请单击“存储”。 yx]9rD1cz 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 YlrN^rO 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI ZwUBeyxS=c jYp!?%! 2. 定义系统设置 i7#4&r 要定义系统设置,请执行以下步骤。 11oNlgY& 步骤 操作 L8`v 1 点击默认波导标签 0ID9=:J 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 =~;~hZj 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 0/GBs~P 4 键入以下值: hZJ~zx~ 长度:800 Dj\nsc@e3 宽度:50 m4/qxm"Dx: 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 ,6>3aD1w~q 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 `p()ko 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 u9"=t 出现布局窗口(参见图3)。 ZO<,V OFtaOjsyUa 图3.布局窗口 &ksuk9M 3. 创建弧形波导 #^T`vTD- 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 wMVUTm 步骤 操作 a}yb~:TC 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 `>sOOA 光标变成十字线。 =dGp&9K,fw 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 5MnP6(3$ UePkSz9EU 图4.绘制一个弧形波导 Jpapl%7v 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 Tw-NIT) 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 1$0Kvvg[ 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 Rt#QW*h\|i 出现弧形波导属性对话框(参见图5) LSC[S: "
aG6u^% 图5.弧形波导属性对话框 }B-$} 5) 点击起始标签 =Kkqk 6) 在偏移下,键入以下值(见图6):
'FXM7D 水平:0 w
% Hj' 垂直:-10 V}s/knd "u6pl);G 图6.初始偏移值 H,%bKl# 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 a&%aads 激活表达式框(参见图7)。 ia5% E+ /Nicn= 图7.波导半径 "KIY+7@S} 8) 键入以下值: bLg!LZ|S0s 表达式:4000 p7|I>8ur. 9) 单击终止选项卡。 Jx+6Kq( 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): 64u(X^i Horizontal:800
o
]*yI[\ 垂直:-8 pq)
= ;U(]#pW!t 图8终止偏移值 B=cA$620 11) 输入以下值: TQ(q[:> 宽度:4 eke[{%L 12) 点击“OK”。 HgY@M 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 \*t\=4 ,!{8@*!=s 图9.修改的弧形波导 sOLh'x f. 4. 插入输入平面 (9u`(|x 要插入输入平面,请执行以下步骤。 C98F?uo%Q 步骤 操作 JQKXbsXS 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 4~}NB%, 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 WHE<E
rV% 输入平面出现(参见图10)。 <SNr\/aCRi 6(QfD](2} 图10.输入平面 Tr?p/9.m
3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 toY_1 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 8ae`V!5 j6l1<3j ...... gkmof^ &| (K#|^@ 未完待续 nuq@m0t\# 来源:讯技光电 :<aGZ\R5
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