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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： R@=Bk(h 定义单向弯曲器件的材料 HvWnPh1l 定义系统设置 OUY 65K 创建弧形波导 v3(W4 G` 插入输入平面 <y+8\m 选择输出数据文件 C 0\A 运行仿真 Nz+Jf57t 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 I' URPj:t
7o$4ov;T 1. 定义单向弯曲器件的材料 ,UFr??ZKm
要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 pN+lC[C 步骤 操作 u!([m;
x| 1) 从文件菜单中，选择新建。 %N!2 _uk5 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 D`=hP( y^ ' LT6%<| 图1.初始属性对话框 Y'NQt?h
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 sR`WV6!9 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 ^(p}hSLAfQ 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 RlU= o=`FGowF 图2.轮廓文件设计器 K!q:A+ ]
3) 创建以下介电材料： dm60O8 名称：包层（Cladding） ~eH+*U|\|M 折射率（Re :)：1.442 J4
yT|
zWxKp;. 4) 要保存资料，请单击“存储”。 1uTbN
y0Pr[XZ 5) 创建第二种介电材料： ji PV ]aVN
b {e nD 名称：波导层（Guide） h' OLj #H 折射率（Re :)：1.45 YadY?o./
wL]7d3t 6) 要保存资料，请单击“存储”。 Gc)
Zu`67
=N-,.{` 7) 创建以下通道： ,Yg<Z1 轮廓名称：通道1 !$'s?rnh 2D轮廓定义材料：波导（Guide） [c@ 14]e 8) 要保存通道，请单击“存储”。 *N"b n'>3 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 n237 %LH[ 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI ?@
ei_<A{
z T|]!', 2. 定义系统设置 h(hb?f@1: 要定义系统设置，请执行以下步骤。 ]p(jL7 步骤 操作 `jR;RczC 1 点击默认波导标签 ZFy>Z:&S, 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 s}Q%]W 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 `vJ+ sRf 4 键入以下值： CCJ!;d;&87 长度：800 hS4Ljyeg 宽度：50 r Iz"_r 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 e uHX7 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 ^'DrU< o 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 2U6j?MyH2 出现布局窗口（参见图3）。 dq?q(_9 [o )P 图3.布局窗口 rt5UT~ 3. 创建弧形波导 aT C7 H]e 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 jyPY]r 步骤 操作 F k as*79 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 .IYE+XzV 光标变成十字线。 : 0Nd4hA 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 Ue|] M36 4
Y q|Z 图4.绘制一个弧形波导 O&93QN0
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 4NxtU/5-sU 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 VIL #q 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 X%!#Ic]Q 出现弧形波导属性对话框（参见图5） ?6@Y"5
z3g E) %]?/w 图5.弧形波导属性对话框 (6p 5 Fo
5) 点击起始标签
>lqWni 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： hQrO8T ?2 水平：0 GYot5iLg 垂直：-10 _Tyj4t0ElV WF<0Q H 图6.初始偏移值 : g/H N9
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 }2M 2R}D 激活表达式框（参见图7）。 CqDMq ! v"Bv\5f,Ys 图7.波导半径 b
w5|gmO
8) 键入以下值： ^I9x@t 表达式：4000 +vf k+6 9) 单击终止选项卡。 S~`& K 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： m*h
d%1D Horizontal：800 z%t >z9hU 垂直：-8 pL L
^R G8"L #[~ 图8终止偏移值 xmZ]mu,,$
11) 输入以下值： C^ RO@kM 宽度：4 o<loc Z 12) 点击“OK”。 4O[T:9mn0 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 RLr;]j8cm )` S,vF~ 图9.修改的弧形波导 cYdk, N 4. 插入输入平面 r: n ^U# 要插入输入平面，请执行以下步骤。 %"@KuqV 步骤 操作 ciI;U/V 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 j2 " j Cv 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 <R}(UK 输入平面出现（参见图10）。 zLue j' )DuOo83n[" 图10.输入平面 l"!.aIY"e
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 z= vfP% 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 0*W=u-| s6
m6Q lIdl
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未完待续 cEO g 来源：讯技光电 9)s=%dL
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