|
|
本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： y\_k8RqE^ 定义单向弯曲器件的材料 HcM/ 定义系统设置 `(M0I!t 创建弧形波导 ,olP} 插入输入平面 h_5CWQSi 选择输出数据文件 5c$\DZ( 运行仿真 JPM~tp?;< 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 oSLm?Lu
-z">ov-) 1. 定义单向弯曲器件的材料 X#tCIyK,nV 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 0ax ;Q[z2 步骤 操作 JnLF61 1) 从文件菜单中，选择新建。 bnZ H 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 \. a 7F4h 40G'3HOp 图1.初始属性对话框 S0`u!l89(
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 >qZl
s' 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 B Q2N_*v 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 XTRF IY hQeG#KQ 图2.轮廓文件设计器 z"-oD*ICw
3) 创建以下介电材料： +F*h\4ry# 名称：包层（Cladding） u.Tknw-X 折射率（Re :)：1.442 zUq(bD
W;?e @} 4) 要保存资料，请单击“存储”。 $'<FPbUtD}
B!U;a=ia 5) 创建第二种介电材料： = {;7WB$
CSY-{ 名称：波导层（Guide） e*Y<m \* 折射率（Re :)：1.45 QH_Ds,oH=
"R"{xOQl 6) 要保存资料，请单击“存储”。 biV NZdA
fZcA{$Vc]N 7) 创建以下通道： @9~x@[ 轮廓名称：通道1 GT\ yjrCd 2D轮廓定义材料：波导（Guide） 'Fq l;&U
> 8) 要保存通道，请单击“存储”。 F` &W5[ 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 z[@i=avPG 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI @^/aS;B$>
2#ZqGf .'v 2. 定义系统设置 gq@8Z
AWn 要定义系统设置，请执行以下步骤。 nu Vux5: 步骤 操作 #8 ~ygEa} 1 点击默认波导标签 1Vc~Sa 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 USa a #s4' 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 =R "LB}>h} 4 键入以下值： @$iZ9x6t 长度：800 m&s>Sn+ 宽度：50 #M4LG; B 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 6)BPDfU, 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 aKE`nA0\B 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 C_JO:$\rE 出现布局窗口（参见图3）。 O3mw5<%15 ,.h@tN<C 图3.布局窗口 I0qJr2[X~ 3. 创建弧形波导 jo3(\Bq 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 OMM5ALc(F 步骤 操作 w=3
j'y{f 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 sPVE_n 光标变成十字线。 \hn$-'=4 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 1;'-$K`} eoXbZ 图4.绘制一个弧形波导 V.6p fL
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 *? $ M=tH 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 5SZ a, +] 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 hn\d{HP 出现弧形波导属性对话框（参见图5） .Z#/%y3S qHtIjtt[q 图5.弧形波导属性对话框 R$66F>Jz^
5) 点击起始标签 wX_~H*m? 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： t&NpC;>v 水平：0 J i:<eRx) 垂直：-10 C| 2|OTtQ z"mpw mv5 图6.初始偏移值 fFYoZ/\
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 C/H; |3. X 激活表达式框（参见图7）。 s~bi#U;dF {jH'W)nR 图7.波导半径 m
OE!`fd
8) 键入以下值： 0igB pHS 表达式：4000 ly35n` 9) 单击终止选项卡。 r ;MFVj{ 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： t72rCq QC Horizontal：800 [~X&J# 垂直：-8 $4~Z]-38#A ^\kH^ 图8终止偏移值 WUo\jm[yr
11) 输入以下值： a s('ZD.9 宽度：4 >fth
iA 12) 点击“OK”。 FvG?%IFM 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 Zd%wX<hU" /nu z_y\J 图9.修改的弧形波导 :>r
W`=
e' 4. 插入输入平面 RjTGm=1w 要插入输入平面，请执行以下步骤。 f8aY6o"i 步骤 操作 z6rT<~xZtu 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 L kP
:l 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 Ir5|H|b< 输入平面出现（参见图10）。 2 DW78SoyedZ 图10.输入平面 >T c\~l
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 j;7E+Yp 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 !lo
/L
{7c' %e
...... Y YP J (o\
m{?f,Q=u@
未完待续 yjMN>L' 来源：讯技光电 ?w'86^_z
|
