|
|
本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: &6\&McmkX 定义单向弯曲器件的材料 NAo.79 定义系统设置 Fizrsr 6% 创建弧形波导 *z[vp2
TN 插入输入平面 bkJ bnW= 选择输出数据文件 0se%|Z|8 运行仿真 \udB4O 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 Ij(dgY 2xN7lfu1RB 1. 定义单向弯曲器件的材料 Vs5 &X+k 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 eY3:Nl^ 步骤 操作 j#f/M3 1) 从文件菜单中,选择新建。 3.YH7rN
出现“初始属性”对话框(参见图1)。 wwl,F=| Y $2Wk#F2c= 图1.初始属性对话框 lH3.q4D
5 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 D:9^^uVp 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 b_Y+XXb< 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 Kvg=7o .Vt|;P} 图2.轮廓文件设计器 F,_cci`p 3) 创建以下介电材料: DAq
H 名称:包层(Cladding) |Kd6.Mx 折射率(Re :):1.442 @zS/J,:v} G5qsnTxUJ 4) 要保存资料,请单击“存储”。 {b- C,J E{6ku=2F 5) 创建第二种介电材料: rv[BL.qV <vl(a*4a 名称:波导层(Guide) ^:?z7m 折射率(Re :):1.45 AkW,Fp1e Y<;C>Rs
6) 要保存资料,请单击“存储”。 F-@yH X)SUFhP\ 7) 创建以下通道: @16y%]Q-E# 轮廓名称:通道1 `x=kb; 2D轮廓定义材料:波导(Guide) ub 2'|CYw 8) 要保存通道,请单击“存储”。 wSjy31 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 fyUW;dj 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI Yy
4Was# nxN("$'cq 2. 定义系统设置 f]1 $` 要定义系统设置,请执行以下步骤。 T2-x 1Sw_ 步骤 操作 ?bd!JW bg` 1 点击默认波导标签 IO#)r[JZ 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 "Io-%Su+ 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 NZ`6iK-V_ 4 键入以下值: e~QLzZ3 长度:800 TJ>YJD 宽度:50 W=2.0QmW 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 G%gdI3h1Z
6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 H?opG<R=ek 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 akw:3+` 出现布局窗口(参见图3)。 M/V"Ke"N gu3)HCZ 图3.布局窗口 CWs;1`aP 3. 创建弧形波导 e7G>'K 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 &\?{%xj 步骤 操作 jM*wm~4>@ 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 Ct/6< 光标变成十字线。 @W+8z#xr' 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 Qvny$sr2 l$BKE{rg 图4.绘制一个弧形波导 z=k*D^X 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 ]Gl_L7u` 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 6:r1^q6A9L 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 z"5e3w 出现弧形波导属性对话框(参见图5) ,[m4+6G5 avS9 "e 图5.弧形波导属性对话框 UL7%6v{'* 5) 点击起始标签 ^(xVjsHp# 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): i\36 s$\ 水平:0 P\c0Q;){h" 垂直:-10 !/&~Feb n=fR%<v 图6.初始偏移值 etW-gbr 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 fZd~},X 激活表达式框(参见图7)。 4z|Yfvq jM@@N. 图7.波导半径 (K"t</] 8) 键入以下值: B7ys`eiB5C 表达式:4000 @7PE&3 9) 单击终止选项卡。 I@a7!ugU65 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): Jf2:[Mq Horizontal:800 DA4!-\bt@ 垂直:-8 U|h@Pw z Iq":
U 图8终止偏移值 ;rta#pRn 11) 输入以下值:
qf]OSd 宽度:4 #iGz&S3iN$ 12) 点击“OK”。 ldoN!J 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 Df/f&;` 28+Sz>SP 图9.修改的弧形波导 VA'< 4. 插入输入平面 >BQF< 要插入输入平面,请执行以下步骤。 c9E9Rx 步骤 操作 7]9s_13] 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 b_Ky@kp 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 >-y&k^a= 输入平面出现(参见图10)。
?Ve5}N f{Y|FjPp=E 图10.输入平面 skP_us~ 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 f{z%P I[ 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 "/XS3sv"s < |