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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: cf_|nL#9 定义单向弯曲器件的材料 Cizvw'XDV 定义系统设置 YIhm$A"z0" 创建弧形波导 jhgX{xc 插入输入平面 0fXLcal 选择输出数据文件 [(kB
5 a 运行仿真 >r@.F% 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 =<@2#E) -7H^n#] 1. 定义单向弯曲器件的材料 G6P)C##ibn 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 @oP_;G 步骤 操作 D1
Z{W 1) 从文件菜单中,选择新建。 Oc].@Jy 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 IA zZ1#/3 2|iV,uJ& 图1.初始属性对话框 {]*x*aa\ 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 g6t"mkMY
L 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 inb^$v 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 +ECDD'^! Wm~` ~P 图2.轮廓文件设计器 %VJ85^B3 3) 创建以下介电材料: [&[^G25 名称:包层(Cladding) sAn0bX 折射率(Re :):1.442 gU^$Sx7' IzOYduJ. 4) 要保存资料,请单击“存储”。 j1 q[2' 2aZw[7s 5) 创建第二种介电材料: Qhi '')Q 5wao1sd# 名称:波导层(Guide) gbeghLP[? 折射率(Re :):1.45 vr^~yEr d,vNem-Z*L 6) 要保存资料,请单击“存储”。 <:FP4e
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!ZM 7) 创建以下通道: YYEJph@06q 轮廓名称:通道1 Snly UP~P 2D轮廓定义材料:波导(Guide) 6Tw#^;q- 8) 要保存通道,请单击“存储”。 'TC/vnM 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 %D$,;{ew 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI }eQRN<}P 93qwH% 2. 定义系统设置 {CG_P,FO 要定义系统设置,请执行以下步骤。 ,B(7\ 步骤 操作 5AS[\CB4 1 点击默认波导标签 5
8-e^. 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 n~V4nj&_T 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 -!;l~#K= 4 键入以下值: @ l1 长度:800 )3YtIH_ 宽度:50 s5.AW8X=?* 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 _I`,Br:N 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 Ok7t@l$ 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 UX3BeUi.) 出现布局窗口(参见图3)。 .x`M<L#M( l+V,DCE 图3.布局窗口 93+"D` 3. 创建弧形波导 ;=j@,
yu 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 8(.mt/MR 步骤 操作 ]eQV,Vt 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 =~Ynz7 /x 光标变成十字线。 pL1Q7&&c0 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 @~<j&FTT Cz4)Yz 图4.绘制一个弧形波导 qm Tb-~ 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 50TA:7 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 ]q-g[e' 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 *#%9Rp2| 出现弧形波导属性对话框(参见图5) uPYmHA}_/ cYx4~ V^ 图5.弧形波导属性对话框 wiaX&-c]8 5) 点击起始标签 QB:i/9 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): ;!91^Tl 水平:0 nzjkX4KV 垂直:-10 yc2/~a_Gx 4L-:*b_v\ 图6.初始偏移值 ,\ 2a=Fp 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 D'Z|}(d& 激活表达式框(参见图7)。 %8*64T") i |{Dd%4vK 图7.波导半径 Am8x74? 8) 键入以下值: Eh-n 表达式:4000 c`lJu_ 9) 单击终止选项卡。 =ji1S}e~p 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): 5Zmw} M Horizontal:800 N=:5eAza 垂直:-8 KbL V'%D cJM: 图8终止偏移值 M
:3u@06a 11) 输入以下值: hS[yNwD 宽度:4 )
\Y7& 12) 点击“OK”。 Xi?b]Z 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 uE[(cko bifS 2>c 图9.修改的弧形波导 vHAg-Avc 4. 插入输入平面 !R*-R.% 要插入输入平面,请执行以下步骤。 =fm]D l9h* 步骤 操作 \MxoZ 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 H$af/^ 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 5L:1A2Z?c 输入平面出现(参见图10)。 8 #ndFpu 6"c1;P!4 图10.输入平面 Te2zK7:
3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 nR4y`oP+ 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 "MIq.@8ra AamVms ...... l5+gsEux] bs9aE<j 未完待续 :K\mN/ x 来源:讯技光电 o!:8nXw
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