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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: Zd[rn:9\ 定义单向弯曲器件的材料 fs'SCwx 定义系统设置 &j F'2D^_ 创建弧形波导 hu}$ \ 插入输入平面 .uJ
J< 选择输出数据文件 @Lnv 运行仿真 bw P=f. 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 PEf yHf7` w \b+OW 1. 定义单向弯曲器件的材料 gXdMGO> 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 $gUlM+sK 步骤 操作 S0^a)#D & 1) 从文件菜单中,选择新建。 @|b-X? ` 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 s:3[#&PQpN Jl~ *@0( 图1.初始属性对话框 5qz,FKx5 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 QoZV6 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 %F 2h C
x 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 =NF0E8O BDI|z/~& 图2.轮廓文件设计器 dR S:S_ 3) 创建以下介电材料: ZyGoOk 名称:包层(Cladding) ~7PD/dre 折射率(Re :):1.442 [CJ<$R ! Ul}RT xJ 4) 要保存资料,请单击“存储”。 uHg q"e &i5@4,p y9 5) 创建第二种介电材料: B6
0 X4V>qHV72 名称:波导层(Guide) eY<<Hld 折射率(Re :):1.45 (7Z+ De? dCd~]CI 6) 要保存资料,请单击“存储”。 4?R979 _,J+b R+b 7) 创建以下通道: F)^0R%{C 轮廓名称:通道1 E-z5mX.2 2D轮廓定义材料:波导(Guide) TjUwe@&Rw 8) 要保存通道,请单击“存储”。 h&>3;Lj 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 ZNQx;51 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI }DhqzKl Z 1HH0{q-A 2. 定义系统设置 "-Q+!byh 要定义系统设置,请执行以下步骤。 AF'< 步骤 操作
{MgRi7 1 点击默认波导标签 Q~,Mzt"}W 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 up5f]:! 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 p!UR;xHI\ 4 键入以下值: P 45Irir 长度:800 |:eTo<
宽度:50 ?
:H+j6+f 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 4aXIRu%#7 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 &QHJ%c 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 ~5KcbGD~ 出现布局窗口(参见图3)。
2v{WX %qc_kQ5% 图3.布局窗口 ]m+%y+ 3. 创建弧形波导 Aw#<: 6- 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 5u!\c(TJ+ 步骤 操作 p@tg pFt 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 CRb*sfKDL 光标变成十字线。 -|.NwGh 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 p<fCGU 5$9$R(KU 图4.绘制一个弧形波导 37hdZt., 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 tsb[=W!Ar8 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 $k~TVm
Yex 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 7e"}ojt$ 出现弧形波导属性对话框(参见图5)
-UhpPw6 7+HK_wNi 图5.弧形波导属性对话框 T[\1=h] 5) 点击起始标签 q`<vY'&1 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): Gx C+lqH# 水平:0 D3o,2E(o 垂直:-10 &4?&tGi ~c)&9' 图6.初始偏移值 m{q'RAw 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 ` Ig5*X4| 激活表达式框(参见图7)。 h:4(Gm; eRMN=qP.q 图7.波导半径 )9eIo&Nl 8) 键入以下值: sfXFh 表达式:4000 YmV/[{ 9) 单击终止选项卡。 B;9,Qbb 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): Dz }i-tw+ Horizontal:800 digc7;8L 垂直:-8 io#}z4"'qY Ln>!4i+-B) 图8终止偏移值 7H Har'=T 11) 输入以下值: [Sm<X 宽度:4 #NM) 12) 点击“OK”。 Cut~k"lv 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 Fd9[Pe@?` Nv5^2^Sc= 图9.修改的弧形波导 Pe%[d[k 4. 插入输入平面 ~5HkDtI) 要插入输入平面,请执行以下步骤。 JQQyl: = 步骤 操作 b31$i 5{ 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 xFu ,e 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 PxKBcx4o` 输入平面出现(参见图10)。 /2K"Mpf8 )qxt< 图10.输入平面 #49l\>1z 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 $?GggP d 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 tc~gn!" XCM!8x?K ...... >G`p T# WDc[+Xyw 未完待续 I!/32* s1t 来源:讯技光电 Cv#aBH'N
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