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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： C[2LP$6*/ 定义单向弯曲器件的材料 J,,+JoD 定义系统设置 hY}.2 创建弧形波导 m14OPZ<3?- 插入输入平面 wU(N<9 选择输出数据文件 O tD!@GQ6 运行仿真 .~Y%
AI 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 0?/vcsO
EhK~S(r^ 1. 定义单向弯曲器件的材料 S<=|i 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 NWt5)xl 步骤 操作 r]yI 5 ; 1) 从文件菜单中，选择新建。 fF.qQTy;7 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 v3Xt<I=4y %LZ-i?DL4Q 图1.初始属性对话框 (rB?@:zN
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 YM4njkI7 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 IKVS7m 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 yr, Oq~e C=!YcJ9 图2.轮廓文件设计器 /aX#j`PrH
3) 创建以下介电材料： u(bPdf@kz 名称：包层（Cladding） GJ P\vsaQ 折射率（Re :)：1.442 `@#,5S$ E
4M3{P 4) 要保存资料，请单击“存储”。 QoTjKck.
\r^*4P,, 5) 创建第二种介电材料： 6S6E
1~
t}A n: 名称：波导层（Guide） O}cg1Q8p 折射率（Re :)：1.45 g4CdzN~
O({vHqN> 6) 要保存资料，请单击“存储”。 S)~Riuy$
Yh 9fIRR 7) 创建以下通道： u[yUUYe 轮廓名称：通道1 _?J:Z*z? 2D轮廓定义材料：波导（Guide） 6z>Zm1 h 8) 要保存通道，请单击“存储”。 *oP&'$P 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 Tt*n.HA 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI 9_5tA'Q
1h0cId8d 2. 定义系统设置 7\p<k/TS 要定义系统设置，请执行以下步骤。 N,Ys}qP 步骤 操作 7.DAwx.HYK 1 点击默认波导标签 q)E
J?- 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 8jxs%N,aI 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 Kk t9M\ 4 键入以下值： p@x1B
&Z 长度：800 A"` (^#a 宽度：50 (y;8izp9! 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 {S;/+X, 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 ~IP3~m D 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 jhmWwT/O8^ 出现布局窗口（参见图3）。 d}e/f)( _m8JU 图3.布局窗口 +""8aA 3. 创建弧形波导 |=CV.Su 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 )/1,Ogb%_ 步骤 操作 A! j4;=} 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 B\z4o\am% 光标变成十字线。 I];Hx'/<~ 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 eE'2B."F E*_l T`Hzf 图4.绘制一个弧形波导 Z*Qra4GBl]
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 !ENb \'>J> 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 .5PcprE/ 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 B{0m0-l 出现弧形波导属性对话框（参见图5） 8`/nk `; nS}XY 图5.弧形波导属性对话框 e2 ?7>?
5) 点击起始标签 Y"U -Rc 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： k_c8\::p# 水平：0 TLk=H Gw 垂直：-10 ZxR D+` ZJxUv
{J 图6.初始偏移值 f9Hm2wV
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 J}-,!3qxW 激活表达式框（参见图7）。 #sq$i >/DyR+?>4 图7.波导半径 -$]Tn#`Fb
8) 键入以下值： z$d/Vz,a 表达式：4000 -H%806NAX7 9) 单击终止选项卡。 N}*|*!6hI 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： 27t23@{YL Horizontal：800 0O,l
rF0' 垂直：-8 6BJPQdqSl fdD?"z 图8终止偏移值 i 7fQj,
q
11) 输入以下值： U[a;e OLx 宽度：4 .cQ<F4)!tu 12) 点击“OK”。 &a>fZ^Y=k 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 @Ee'nP 'j)xryw 图9.修改的弧形波导 f@R j;R~Jp 4. 插入输入平面 I]]3 =?Y 要插入输入平面，请执行以下步骤。 FX FTf2*T 步骤 操作 Xw=>L#Q 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 R^.oM1qu| 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 |8$x 输入平面出现（参见图10）。 Wh:SZa| Yd4J : 图10.输入平面 >C`b 4xQ
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 iR9
$E 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 ag-\(i;K]
LsnM5GU7
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未完待续 ^1vh5D 来源：讯技光电 gsn3]^X
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