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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: %jy$4qAf% 定义单向弯曲器件的材料 w~)tEN> 定义系统设置 .Y{x!Q" 创建弧形波导 P%lD9<jED 插入输入平面 E`I(x&_ 选择输出数据文件 aqN{@| 运行仿真 QMz =e 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 l[c '%M |N JR#4{P@A 1. 定义单向弯曲器件的材料 J)Y`G4l2@ 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 m9A%Z bQ^ 步骤 操作 Rlk3AWl2u 1) 从文件菜单中,选择新建。 D$K'Qk 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 (87| :{ ioD8- 图1.初始属性对话框 T2S_>
#."l 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 p$9Aadi] 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 6T'UWh0S 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 O^`EuaL A~PR 图2.轮廓文件设计器 0 (wu 3) 创建以下介电材料: t&?{+?p:
9 名称:包层(Cladding) zP%s] >hH 折射率(Re :):1.442 mdEJ'];AH t_jn-Idcf 4) 要保存资料,请单击“存储”。 HTT&T9] :vb5J33U 5) 创建第二种介电材料: 6!"wiM"] k3qQU) 名称:波导层(Guide) HvG %## 折射率(Re :):1.45 5m0\ls\ ?-<lIFFh 6) 要保存资料,请单击“存储”。 1*u]v{JJ( cl4z%qv* 7) 创建以下通道: RbTGAA
轮廓名称:通道1 v#qd q!64 2D轮廓定义材料:波导(Guide) 0fXMY-$I 8) 要保存通道,请单击“存储”。 ?h&XIM( 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 JkJ
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Eu 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI 8F8?1 B1)Eo2i# 2. 定义系统设置 yO1
7C 要定义系统设置,请执行以下步骤。 dgpE3
37Lt 步骤 操作 49Jnp>h 1 点击默认波导标签 oYkd%N9P 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 :TU|:2+ 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 dYrgL3' 4 键入以下值: XYzaSp=bb 长度:800 \uOM,98xS 宽度:50 bwXeEA@{ 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 V'j+)!w5 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 \s&Mz;: 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 t|>zke!' 出现布局窗口(参见图3)。 f"FFgQMkv h5'hP>b# 图3.布局窗口 >n09K8
A 3. 创建弧形波导 B>L7UQ6_[ 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 -_ I)5*N 步骤 操作 nU>P%|loXx 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 Dm}eX:'{ 光标变成十字线。 "TJu<O"2 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 V+"%BrM v;<gCzqQh 图4.绘制一个弧形波导 %42a>piev 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 Y.Zd_,qy 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 wu.l-VmGp) 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 #-;W|ib%z 出现弧形波导属性对话框(参见图5) FYYc+6n QgqJ # 图5.弧形波导属性对话框 "sN%S's 5) 点击起始标签 G{} 2"/ 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): jjV'`Vy) 水平:0 _cs(f<>oCO 垂直:-10 ki'$P.v{$w G*9>TavE 图6.初始偏移值 }i~k:kmV 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 (I}owr 5: 激活表达式框(参见图7)。 $z%(He !vgY3S0?rq 图7.波导半径 T/'z,,Y 8) 键入以下值: vdq=F|& 表达式:4000 8${n}} 9) 单击终止选项卡。 f#!+l1GV 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): -"I$$C Horizontal:800 S/`#6 垂直:-8 Qfn:5B]tI f(|k0$EIu 图8终止偏移值 %b^4XTz 11) 输入以下值: t<Acq07 宽度:4 @njNP^'Kx 12) 点击“OK”。 Z`tmuu 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 oPmz$]_Z YcobK#c 图9.修改的弧形波导 Km(i}:6" 4. 插入输入平面 J 4gtm"2) 要插入输入平面,请执行以下步骤。 f]/2uUsg% 步骤 操作 S&!(h
{O 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 0*XsAz1,9 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 s>J5.Z7"'j 输入平面出现(参见图10)。 0/)2RmF q2EDrZ 图10.输入平面 H@uu;:l<7A 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 sGu.G 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 %P0 0 %~~IT}U ...... K
";Et *K|~]r(F? 未完待续 3*h"B$g! 来源:讯技光电 GmB&TDm
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