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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: XduV+$03 定义单向弯曲器件的材料 0V!l,pg 定义系统设置 &< !Ufa& 创建弧形波导 8Y#\xzod 插入输入平面 TET`b7G 选择输出数据文件 36n>jS& 运行仿真 e*.b3z 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 _H^^y$+1 g38&P3/ 1. 定义单向弯曲器件的材料 84{Q\c 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 UQ.7>Ug+8s 步骤 操作 +GAf O0 1) 从文件菜单中,选择新建。 QL$S4 J" 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 -!8(bjlJ& Ve/xnn]' 图1.初始属性对话框
kZ=s'QRgL 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 4Ua>Yw0 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 ^`D=GF^tX 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 Ia'ZV7' Nlj^Dm 图2.轮廓文件设计器 leCVK. 3) 创建以下介电材料: ^Eo=W/
名称:包层(Cladding) Cz8f1suO4 折射率(Re :):1.442 Gx
72 e9E\% p 4) 要保存资料,请单击“存储”。 _aPh(qprc wI5Yn
h 5) 创建第二种介电材料: uZi.HG{<) &ciN@nJ|$z 名称:波导层(Guide) 9V.u-^o& 折射率(Re :):1.45 I_q~*/<h
$@i"un; 6) 要保存资料,请单击“存储”。 2:LHy[{5 emW:C-/h/@ 7) 创建以下通道: +B|7p9qy 轮廓名称:通道1
x3zj?- 2D轮廓定义材料:波导(Guide) |D.O6?v@ 8) 要保存通道,请单击“存储”。 cUO<. 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 %5*@l vy 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI Krs2Gre} DSxUdEK6 2. 定义系统设置 "3F;cCDv] 要定义系统设置,请执行以下步骤。 pN&c(=If 步骤 操作 a1j.fA 1 点击默认波导标签 &Z^l=YH, 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 J# kl
7 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 =\t /u 4 键入以下值: ]/cd;u 长度:800 4m-I5!=O 宽度:50 .4l/_4,s_ 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 t]-uw-E 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 xE-7P|2 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 $Q+s/4\ 出现布局窗口(参见图3)。 -]:GL>b x#C@8Bxq= 图3.布局窗口 Ay{t254/ 3. 创建弧形波导 ]h9!ei
[ 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 X_$a,"'~) 步骤 操作 eb|i3. 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 w-$[>R[hw 光标变成十字线。 G9g6.8*& 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 +([!A6:
,1/}^f6 图4.绘制一个弧形波导 NcM>{{8 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 !SsHAE| 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 :"o
o> 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 l\$+7|W 出现弧形波导属性对话框(参见图5) rbqo"g` 4l8BQz}sb 图5.弧形波导属性对话框 Vc3mp;6" 5) 点击起始标签 _;RVe"tR# 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): Pgp {$ID 水平:0 rp7W
}P+uU 垂直:-10 XUV!C7 DDd|T;8 图6.初始偏移值 Zt E##p 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 a1N!mQ^ 激活表达式框(参见图7)。 c3
&m9zC as"N=\N 图7.波导半径 $WW)bP
d4^ 8) 键入以下值: $(q>mg:H 表达式:4000 cyd~2\Kv~ 9) 单击终止选项卡。 %G3sjnI;l 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): jQj,q{eA Horizontal:800 iz]rFNR 垂直:-8 #Tp]^
n [{&jr]w`| 图8终止偏移值 34|a:5c 11) 输入以下值: %1:c hvS 宽度:4 }PeZO!K 12) 点击“OK”。 mW`oq 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 @\Js8[wS9@ ]qw0V
图9.修改的弧形波导 eR!G[C w- 4. 插入输入平面 XT@Mzo49z\ 要插入输入平面,请执行以下步骤。 #-cTc&$O; 步骤 操作 'i>xf
^ 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 u2sR.%2U< 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 /owO@~G 输入平面出现(参见图10)。 vi {uy 8}BB OD 图10.输入平面 rlznwfr7+ 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 '5H4z7) 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 msk/p>{O V{Q kN7- ...... Lu>H`B7Q" %"Db? 未完待续 NO>k 来源:讯技光电 yFpySvj}
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