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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： D@2Ya/c 定义单向弯曲器件的材料 a{5H33JA 定义系统设置 $ To 4dJb 创建弧形波导 V5cb}xx 插入输入平面 IBzHR[#,^ 选择输出数据文件 i:\bqK 运行仿真 ,7QBJ_-;QJ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 B<rPvM7a
9#s,K! !3{ 1. 定义单向弯曲器件的材料 gjO
*h3` 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 <r@bNx@T 步骤 操作 mMn2( 1) 从文件菜单中，选择新建。 e1:u1(". 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 s_x=^S3~LO ]w 5ji 图1.初始属性对话框 yl[2 et
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 Y#GT*V 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 t- !h
X/ 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 }3bQ>whF 3`mC"a b / 图2.轮廓文件设计器 S6= \r{V
3) 创建以下介电材料： @2QJm 名称：包层（Cladding） IJ+O),' 折射率（Re :)：1.442 *G8'Fjin'T
ftDVxKDE?S 4) 要保存资料，请单击“存储”。 Oz_b3 r
i.B$?cr~ 5) 创建第二种介电材料： k*A4;Bm
[^cs~
n4 名称：波导层（Guide） -Pv P 折射率（Re :)：1.45 rGQ86L<
4Sd+"3M 6) 要保存资料，请单击“存储”。 / <(R
l#mqV@?A~ 7) 创建以下通道：
J(H??9(s 轮廓名称：通道1 _:oMyK' 2D轮廓定义材料：波导（Guide） $IZ *|>( 8) 要保存通道，请单击“存储”。 O e0KAn 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 M'pY-/. 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI yYVW"m
Pc d i 2. 定义系统设置 yQ72v' 要定义系统设置，请执行以下步骤。 #g5't4zqx 步骤 操作 Zw3hp,P] 1 点击默认波导标签 D/+@d:- G 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 3JwSgc b 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 e7)> U!9c9 4 键入以下值： D 3,t6\m 长度：800 ylo]` Nq 宽度：50 XRX7qo(0g 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 P}w^9=;S 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 7$E2/@f 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 BxW||O|_N" 出现布局窗口（参见图3）。 > 2!^ dT^D $D0)j(v 图3.布局窗口 ^hGZVGSv 3. 创建弧形波导 }W Bm%f 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 fSgGQ
D4 步骤 操作 55u^u F 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 >?:i6&4o 光标变成十字线。 /i7>&ND.r 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 X"]mR7k _.s\qQ 图4.绘制一个弧形波导 ,cl"1>lp
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 _&8KB1~ 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 . pNq-T 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 xLGTnMYd 出现弧形波导属性对话框（参见图5） {d {WMq $ j[Hg] 图5.弧形波导属性对话框 8.
~Euz
5) 点击起始标签 :Kt mSY 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： 'RN"yMv7l 水平：0 x&6i@ Jl 垂直：-10 k_.j % -&HoR!af 图6.初始偏移值 Z:}2F^6
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 PhI{3B/ 激活表达式框（参见图7）。 Xj(k(>7V v@<lEG#$"| 图7.波导半径 >u%[J!Y;;
8) 键入以下值： ir1RA mt% 表达式：4000 f{oxF?|89 9) 单击终止选项卡。 8?]%Q i 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： ek_i{'hFd Horizontal：800 TO;]9`~;Mu 垂直：-8 ))we\I__8 ! a 8h 图8终止偏移值 '! 2
11) 输入以下值： ( kD?},Z 宽度：4
e>s.mH6A 12) 点击“OK”。 >LRaIU> 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 kdZ-<O7@ \ &|w; 图9.修改的弧形波导 %.r5E2' 4. 插入输入平面 gP"Mu#/D 要插入输入平面，请执行以下步骤。 4<!}4 步骤 操作 <=LsloI 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 FCw
VVF0 y 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 A&@j A5Jb 输入平面出现（参见图10）。 w NlV_
19.!$; 图10.输入平面 v \L Ip
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 6CzvRvA*P 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 ,_7tRkn
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来源：讯技光电 ob()+p.k K
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