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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： .J'}qkz~ 定义单向弯曲器件的材料 hQPiGIs 定义系统设置 RCo!sZP} 创建弧形波导 9>\s81^ 插入输入平面 WHMt$W}% 选择输出数据文件 Pf-k"7y 运行仿真 0Ocy $ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 hH|3 s-o
GR Rv0M 1. 定义单向弯曲器件的材料 -dZ7;n5&_ 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 ]xfu @ '' 步骤 操作 { Jwh .bJ 1) 从文件菜单中，选择新建。 U,~\}$< I 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 z4 5ImItH +|KnO
图1.初始属性对话框 -6(C ^X%
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 9v8{JaI3 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 > @rsh-Z 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 g,r'].Jg yk,o *g 图2.轮廓文件设计器 U;Y{=07a@
3) 创建以下介电材料： I!|_C~I` 2 名称：包层（Cladding） I_oJx 折射率（Re :)：1.442 oM M`7wJw
nM>oG'm[n 4) 要保存资料，请单击“存储”。 :na9PW`TC
%l( qyH)* 5) 创建第二种介电材料： u`O
xY
2I*
7?` 名称：波导层（Guide） esIE i!d 折射率（Re :)：1.45 /ZUKt
L #1Y R}m 6) 要保存资料，请单击“存储”。 ]<V[H
c,:xm=& 7) 创建以下通道： ;!v2kVuS] 轮廓名称：通道1
0GK<l 2D轮廓定义材料：波导（Guide） 0&mOu #l 8) 要保存通道，请单击“存储”。 7Ps I'1v 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 wt0^R<28 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI y0k*i S
e
CkKr@. dV 2. 定义系统设置 tpwMy:<Ex 要定义系统设置，请执行以下步骤。 *NHB wXg+ 步骤 操作 ]3u ErnI 1 点击默认波导标签 s<Px au+A 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 .'k]]2%ILp 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 "7mY s)= 4 键入以下值： `z=U-v'H)D 长度：800 ~8L*N>Y 宽度：50 Ab ,n^ 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 ,K'>s<} 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 SR7$m<0t* 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 ,:Qy%k}f 出现布局窗口（参见图3）。 |WqEJ*$, PY-
1 oP 图3.布局窗口 6A&e2K> A
3. 创建弧形波导 D/uGL
t~D( 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 (C>FM 8$J 步骤 操作 (ZH5/VKp 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 3omFd#EP 光标变成十字线。 J/X{
Y2f 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 W/q-^Zkt,9 pESlBQ7{ I 图4.绘制一个弧形波导 t[* ;v
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 ky>0 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 x(pq!+~K 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 uTTM%-DMHT 出现弧形波导属性对话框（参见图5） ]wFKXZeK Z^5j.d{e$ 图5.弧形波导属性对话框 G8b/eWt P
5) 点击起始标签 29]-s Utqv 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： \i_y (; 水平：0 f'P}]_3( 垂直：-10 E ]$YM5 '?7th>pC 图6.初始偏移值 m} /L MY
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 {,EOSta 激活表达式框（参见图7）。 f0H
5 )DJf k.= 67L 图7.波导半径 /^ * GoB
8) 键入以下值： > `L)E,=/ 表达式：4000 H^_]' ~. 9) 单击终止选项卡。 {];4 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： .I\)1kjX Horizontal：800 m| 8%%E}d 垂直：-8 h <;kj#qbb BM P LL2I 图8终止偏移值 8&snLOU
-Q
11) 输入以下值： HgL*/d 宽度：4 0w^\sf%s 12) 点击“OK”。 j$r .&,m 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 kw)@[1U L$zI_
z 图9.修改的弧形波导 KY'"M g^! 4. 插入输入平面 GB Oz,_pw 要插入输入平面，请执行以下步骤。 HRS|VC$tz 步骤 操作 Jg#L8>p1 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 d.y2`wT 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 k#"Pv" 输入平面出现（参见图10）。 Q|eRek q@ !p 图10.输入平面 iw1((&^)"
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 !g:UkU\J 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 Z ur7"OkQ
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未完待续 Y ON@G5^ 来源：讯技光电 _i [.5
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