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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： W{J e)N 定义单向弯曲器件的材料 OmkJP 定义系统设置 ZD]{HxGL! 创建弧形波导 x] `F#5j 插入输入平面 oMemF3 M 选择输出数据文件 oj.J;[- 运行仿真 lH?jqp 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 H! 0m8LCnb
L<oQKe7Q: 1. 定义单向弯曲器件的材料 :FU?vh$) 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 $bp$[fX(e 步骤 操作 ^w%%$9=:r 1) 从文件菜单中，选择新建。 lvODhoT 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 Zgp9Uu}" IO&U=-pn& 图1.初始属性对话框 4~A$u^scn
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 R}w}G6"\ 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 rSt5 @f? 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 8a@k6OZ eD(5+bm
图2.轮廓文件设计器 'bLP#T Azf
3) 创建以下介电材料： fBZLWfp9 名称：包层（Cladding）
e(0 cz6 折射率（Re :)：1.442 z.SKawm6T
>WZbb d- 4) 要保存资料，请单击“存储”。 Vb#a ,t
^S;{;c+' 5) 创建第二种介电材料： OAiW8B Ae
Q 5dqn"? 名称：波导层（Guide） 8<0P Ssx 折射率（Re :)：1.45 MY b^G\K
7neJ V 6) 要保存资料，请单击“存储”。 u"oO._a(
h4K Mhr 7) 创建以下通道： _IOUhMo 轮廓名称：通道1 " 1a!]45 + 2D轮廓定义材料：波导（Guide） - |DWPU!" 8) 要保存通道，请单击“存储”。 <X{w^
cT_Q 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 vOCaru?~h 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI r{d@74
Sn'!Nq> 2. 定义系统设置 MUZ]*n&0 要定义系统设置，请执行以下步骤。 F~E)w5?\O 步骤 操作 cs\=8_ 5 1 点击默认波导标签 1; kMbl] 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 XW8@c2jN\7 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 _ ~CJitR3 4 键入以下值： `EMGrw_ 长度：800 W\Sc ak> 宽度：50 !wd
wo 0 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 ]<YS7.pT 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 wTR ?8$ 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 ]Z\ W%'q+ 出现布局窗口（参见图3）。 L3Y 2HZ r8*xp\/ 图3.布局窗口 TBJ?8W( 3. 创建弧形波导 ^J^~5q8 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 iKu3'jZ/O 步骤 操作 ,3}+t6O" 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 ,Iz9!i
J" 光标变成十字线。 bv ZD@F`2 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 qA!4\v={
.i_ gE 5 图4.绘制一个弧形波导 j?$B@Zk
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 zCA8}](C^ 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 t'W6Fmwkx 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 q0>9T 出现弧形波导属性对话框（参见图5） |8k^jq >#mKM%T2MJ 图5.弧形波导属性对话框 Ym ]g0a
5) 点击起始标签 buzpmRoN) 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： W6EEC<$JL 水平：0 !}U3 {L- 垂直：-10 SV ~QH&0' {*CG&-k2D 图6.初始偏移值 suhnA(T{
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 c"`HKfL 激活表达式框（参见图7）。 ~PF,[$?4n >yVrIko 图7.波导半径 y< `:I|y
8) 键入以下值： e>!]_B1ad 表达式：4000 *) \y52z 9) 单击终止选项卡。 Gk58VODo 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： ]NWcd~"b!Z Horizontal：800 Oa@SyroF= 垂直：-8 Z
*l&<q># 066\zAPdH 图8终止偏移值 \Z%_dT}
11) 输入以下值： }\N ~%?6D 宽度：4 d--6<_q 12) 点击“OK”。 7X$pgNRx/a 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 $'*{&/@ [["eK9 }0 图9.修改的弧形波导 @1pfH \m 4. 插入输入平面 4.kn , s 要插入输入平面，请执行以下步骤。 iY sQ:3s 步骤 操作 65+2+p 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 nM8'="$ 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 ^ \VVx:] 输入平面出现（参见图10）。 g6 SZ 4WV sC :.}6 图10.输入平面 1':};}dCJ
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 ,M L AW 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 O6q5qA
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未完待续 \:Hh'-77q 来源：讯技光电 P!&yYR\
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