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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: fOtin[|}6@ 定义单向弯曲器件的材料 6?OH"!b2-} 定义系统设置 Cc^`M9dP 创建弧形波导 v&oE!s# 插入输入平面 C(7uvQ 选择输出数据文件 }TD$! 运行仿真 NFTEp0eP 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 ^pA|ubZ -~T? xs0_ 1. 定义单向弯曲器件的材料 OV ~|@{6T 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 xq1=O
步骤 操作 &A>Hq/Y 1) 从文件菜单中,选择新建。 u(V4KUk 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 /]4[b!OTJ f.rc~UI? 图1.初始属性对话框 $FUWB6M 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 TIlBT{A< 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 xh
Sp<|X_ 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 e(E6 t_ ~3 4Ly 图2.轮廓文件设计器 >AIkkQT 3) 创建以下介电材料: /N(L52mz 名称:包层(Cladding) @A6P[r 折射率(Re :):1.442 j2NnDz' n)$T
zND 4) 要保存资料,请单击“存储”。 ;7CE{/Bq.p g,/gApa 5) 创建第二种介电材料: '#d`K.;_b. ka3Jqy4[ 名称:波导层(Guide) Fa78yY+6 折射率(Re :):1.45 16=tHo8| f6n'g:&.W 6) 要保存资料,请单击“存储”。 @WVpDhG A\J|eSG'$ 7) 创建以下通道: pcIJija: 轮廓名称:通道1 `ro~l_U;A 2D轮廓定义材料:波导(Guide) KMZ:$H 8) 要保存通道,请单击“存储”。 ,&$=2<Dx 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 v#i,pBj 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI [U[saR\ 3gZ|^h6
+ 2. 定义系统设置 aV3:wp]Gn 要定义系统设置,请执行以下步骤。 LO{{3No 步骤 操作 tEP~`$9 1 点击默认波导标签 "C 7-^R# 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 @#[<5ld 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 td{M%D,R" 4 键入以下值: P wL]v. : 长度:800 y\7 -! 宽度:50 kx=.K'd5H 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 3x2*K_A5:Q 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 ]H8,} 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 )Cl!, m)~ 出现布局窗口(参见图3)。 m~a' {w*5uI%%e 图3.布局窗口 `?)ivy>\: 3. 创建弧形波导 ~_^#/BnAl 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 Tvf%'%h1 步骤 操作 `!{m#BBT} 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 1s5FjD?M 光标变成十字线。 OL|_@Fv`A 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 sCG[gshq Kp[ F@A# 图4.绘制一个弧形波导 -Bymt[ 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 92g#QZs&W 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 P)bS ;w\(Y 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 w~EBm=v_> 出现弧形波导属性对话框(参见图5) mD@#,B7A yxq+<A4,a 图5.弧形波导属性对话框 #;ezMRKM" 5) 点击起始标签 -7^?40A 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): !qe,& |