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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: ,Bo>E: u 定义单向弯曲器件的材料 M:3h e 定义系统设置 Boz@bl mCB 创建弧形波导 A"D,Kg
S 插入输入平面 .!,z:l$Kh 选择输出数据文件 q+]h=:5=I 运行仿真 [uls8
"^/j 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 oMTf"0EIW c|62jY"$-2 1. 定义单向弯曲器件的材料 Q|L9gz[? 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 BT"42#7_ 步骤 操作 c 8>hcV 1) 从文件菜单中,选择新建。 tAte)/0C 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 *nsAgGKKM^ O1*NzY0Y%- 图1.初始属性对话框 .dQQoyR+O 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 dW~*e2nq 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 ux3<l +jv^ 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 me ks
RcF -'BA{#e}L 图2.轮廓文件设计器 FR!? #! 3) 创建以下介电材料: u[/m|z 名称:包层(Cladding) MR<;i2p 折射率(Re :):1.442 .?e\I`Kk^' lBFMwJU) 4) 要保存资料,请单击“存储”。 z`FCs,?K Gz[fG 5) 创建第二种介电材料: x61 U[/r <xC#@OZ 名称:波导层(Guide) ? Cg>h 折射率(Re :):1.45 wz.6du6- yK2^Y]Ku? 6) 要保存资料,请单击“存储”。 "=za??\K} ~\3kx]^10 7) 创建以下通道: @wC5 g 4E 轮廓名称:通道1 3UQ;X**F 2D轮廓定义材料:波导(Guide) [[Y0 8) 要保存通道,请单击“存储”。 {aC!~qR 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 'X!?vK^]p 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI adi[-L# Y.U[wL> 2. 定义系统设置 FH%GIi 要定义系统设置,请执行以下步骤。
\$OF1i@ 步骤 操作 V-r3-b 1 点击默认波导标签 }~h(w^t 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 -x4X O`b 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 PF7&p~O(Z 4 键入以下值: RxN,^!OV 长度:800 zC:wNz@zK 宽度:50 j>/ ,$H 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 `TPOCxM Mo 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 ;h" P{fF 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 [ $T(WGF 出现布局窗口(参见图3)。 *(>}Y `VL}.h 图3.布局窗口 t
6^l `6:p 3. 创建弧形波导 {]]|5
\F 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 U(;&(W"M
步骤 操作 [kgdv6E 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 $Qy7G{XJ[^ 光标变成十字线。 T=:]]nf?M 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 t"YNgC ^ d/e|'MPX 图4.绘制一个弧形波导 LW:LFzp 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 tpTAeQ*:d 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 'vaLUy9] 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 RTu4@7XP 出现弧形波导属性对话框(参见图5) >xn}N6Rj2~ Z0>DNmH* 图5.弧形波导属性对话框 4~OQhiJ 5) 点击起始标签 cFF*Z=L_ 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): $VQtwuYt 水平:0 y{a$y}7#X 垂直:-10 H<G4O02i_ ?[MsQQd~ 图6.初始偏移值 iIGbHn,/ 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 v^7LctcVm 激活表达式框(参见图7)。 e~T@~(fft OLj\-w^ 图7.波导半径 %D`,k*X 8) 键入以下值: NCf"tK'5n 表达式:4000 <(e8sNe 9) 单击终止选项卡。 kzS=g|_ 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): *I?Eb-!t Horizontal:800 ow' lRHZ 垂直:-8 56Z\-=KAU )*d W=r/$V 图8终止偏移值 Kw`VrcwjT 11) 输入以下值: Q9`QL3LQD 宽度:4 {A o,t+j 12) 点击“OK”。 5')8r';, 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 WWZ9._ V8~jf-\$b 图9.修改的弧形波导
Q\3 Z|% 4. 插入输入平面 U\?g* 要插入输入平面,请执行以下步骤。 !"TZ:"VZU 步骤 操作 9OfFM9(: 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 X+n`qiwq 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 N6[i{;K@N{ 输入平面出现(参见图10)。 NS,5/t [&qA\ 图10.输入平面 M'1!<a-Mp 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 4E:bp 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 b( ^^m:(w jAsO8 ...... r
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NWC6y 未完待续 HZ*0QgW\(5 来源:讯技光电 www`=)A;
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