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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: )p.+39]{2 定义单向弯曲器件的材料 >$.u|a 定义系统设置 o]NL_SM_ 创建弧形波导 =hV-E
D 插入输入平面 47Y|1 选择输出数据文件 Z&mV1dxR 运行仿真 +uPN+CgQ@ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 E(G=~>P ^q"wd?((h 1. 定义单向弯曲器件的材料 Y^dVNC3vd 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 rT`D@
I 步骤 操作 %iPu51+= 1) 从文件菜单中,选择新建。 N0s)Nao4 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 FswMEf-| y)3( 图1.初始属性对话框 5H6GZ:hp 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 >Kl78w: 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 >l$vu-k)~4 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 =q|fe%# ~A0E4UJgq 图2.轮廓文件设计器 /p,D01Ws}( 3) 创建以下介电材料: dRZor gar 名称:包层(Cladding) @S~'m; 折射率(Re :):1.442 =J8)Z'Jr
w'=#7$N 4) 要保存资料,请单击“存储”。 :,F^{ h3;Ij ' 5) 创建第二种介电材料: <$.KCLP XA])<dZ
名称:波导层(Guide) ^v3+w"2 折射率(Re :):1.45 ]P0DPea S&-sl 6) 要保存资料,请单击“存储”。 Ja-D}|; .<Z7K @ 7) 创建以下通道: ?xf59mY7 轮廓名称:通道1 k?Jzy 2D轮廓定义材料:波导(Guide) '4sT+q 8) 要保存通道,请单击“存储”。 F *;
+-e 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 ;hs:wLVa" 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI Fc}wuW 4\(;}M-R{ 2. 定义系统设置 <YL\E v/[ 要定义系统设置,请执行以下步骤。 :0T]p"y4 步骤 操作 n#3y2,Ml 1 点击默认波导标签 {CH\TmSz 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 v%3)wD 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 :kZ2N67 4 键入以下值: kSNVI-Wzu 长度:800 _|8"&*T^ 宽度:50 "EpE!jh 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 iy
tSC 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 r"fu{4aX 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 :yT~.AK}>1 出现布局窗口(参见图3)。 [ur/` BHj]w*Ov 图3.布局窗口
(I.uQP~H 3. 创建弧形波导 C>68$wd> 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 J=K3S9:n]g 步骤 操作 l%Sz6 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 qw87B!D 光标变成十字线。 *ep!gT*4 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 $
O!f*lG k9 *0xukJ 图4.绘制一个弧形波导 SATZ! 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 ">fgoDQ 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 #<'/sqL 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 W\f7fVU 出现弧形波导属性对话框(参见图5) lYw A5|+ NkO$
M 图5.弧形波导属性对话框 ^ioTd 5) 点击起始标签 ip5s'S~ 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): 4kXx(FE 水平:0 *C\4%l 垂直:-10 [RpFC4W %aw/Y5 图6.初始偏移值 A v2 _A 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 $E7yJ|p{ 激活表达式框(参见图7)。 Xkv>@7ec
*)]SsM1 图7.波导半径 ^|sxbP 8) 键入以下值: dN*<dz+4r 表达式:4000 V$v;lvt^Uq 9) 单击终止选项卡。 !;\-V}V 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): =m/2)R{ Horizontal:800 !d(!1fC 垂直:-8 LnJ7i"Q |9\Lv$VJ 图8终止偏移值 +V'r>C: 11) 输入以下值: jB1\L<P 宽度:4 p`d:g
BZ 12) 点击“OK”。 Ej34^*m9k 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 JR<R8+@g_ q6G([h7 图9.修改的弧形波导 ))KsQJ"V 4. 插入输入平面 NX=dx&i>+ 要插入输入平面,请执行以下步骤。 b6/:reH{ 步骤 操作 moo>~F _^ 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 hXrvb[6 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 L0_=R;.< 输入平面出现(参见图10)。 LB{a&I LG pH~JPNng 图10.输入平面 57MoO 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 e5XikLu 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 1b!l+ 8! WI~%n
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