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Core /)6+I(H 增加了不镀膜基底椭偏数据的光学常数提取,为了能使用椭偏数据,从Macleod Tools菜单栏中选择Substrate n, k & T并选择 Ellipsometer按钮。 D#VUx9kugv FbH
1yz X2CpA;#;7l zx:Qz 现在可以在help下选择user manual直接打开Macleod英文手册 h-)tWJ c WI@l2`X #0OW0:Q tzH~[n, 反演工程现在支持基底双边镀膜的情况。 l/WQqT 反演工程现在可以在标题栏显示优化器。对于Simplex, 会显示“<S>” ;对于Differential Evolution会显示 “<DE>” 44e:K5;]7 hnOo T? V b;kgP`%% !vd(WKq 如果基底的内透过率数据不全是lossess, 反演工程现在需要基底的材料文件。 Ife/:v 优化目标增加了平均值的计算,包含平均透射率、平均反射率、平均T+R、平均T\T+R、平均R\T+R、平均density、平均后向反射。 {'O,G$Ldkr MaMP7O|W bU$4"_eA
B k*xMe- _.)6~ 用户自定义的功率分布添加到了cone计算里面,此分布可选定reference文件(作为角度的函数)。 X*'i1)_h {|!>
{ T#M_2qJ1= 3MqyHOOv 当有新数据导入到光学常数工具中,它会清理已经计算的结果。 o8uak*"{ 在注册菜单中增加了email按钮,授权表格可以非常容易的创建key请求。 4i]h0_]
r Uau?? &YiUhK tfz"9PV80 TwdY6E3` 5/w4[d Design中的薄层膜(非厚层膜)增加了Back Reflectance颜色分析功能。 $"e$#<g (U`<r-n\n zDD 7XM:4whw Runsheet -l(G"]tRB “Monitor Type”现在包含在 NVision导出中, NVision 光学监控器可以预先选择监控类型。 $[S)A0O ]Lb Fh5;s o5h*sQ9 h#:_GNuF Function lf`" (:./ dbe\ YE 双加脚本编辑器的文件将会制作该脚本。 kleE\8_ IuV7~w >f\$~cp T<ka4 如果您遇到任何问题,可通过如下方式联系我们。 E'g?44vyw _keI0ML-# 讯技光电科技(上海)有限公司 #MyF 1E 电话:86-21-64860708 zg}#X6\G<_ 传真:86-21-64860709 u.yjk/jF 课程:course@infotek.com.cn kac-@ 业务:sales@infotek.com.cn j|-{*t{/x 技术:support@infotek.com.cn DeK&_)g| Z
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