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Core J!'IkC$> 增加了不镀膜基底椭偏数据的光学常数提取,为了能使用椭偏数据,从Macleod Tools菜单栏中选择Substrate n, k & T并选择 Ellipsometer按钮。 pFwe&_u] YIYuqtnSJ c>C!vAg GU xhn 现在可以在help下选择user manual直接打开Macleod英文手册 @_h=,g#@ <*p C Y)[{r Ej`G( 反演工程现在支持基底双边镀膜的情况。 K%/g!t) 反演工程现在可以在标题栏显示优化器。对于Simplex, 会显示“<S>” ;对于Differential Evolution会显示 “<DE>” W'Qy4bl7C #;'*W$Wk2 b/=>'2f NV`7VYU 如果基底的内透过率数据不全是lossess, 反演工程现在需要基底的材料文件。 u 0 K1n_ 优化目标增加了平均值的计算,包含平均透射率、平均反射率、平均T+R、平均T\T+R、平均R\T+R、平均density、平均后向反射。 v)'Uoe"R% iM]&ryGB |