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Core dfT 增加了不镀膜基底椭偏数据的光学常数提取,为了能使用椭偏数据,从Macleod Tools菜单栏中选择Substrate n, k & T并选择 Ellipsometer按钮。 Ogu";p( SAhk `_ e#!p6+#" @:t2mz:^i 现在可以在help下选择user manual直接打开Macleod英文手册 rw.DKM' GTke<R EIF"{,m nQ#NW8*Fs 反演工程现在支持基底双边镀膜的情况。 .4[M7) 反演工程现在可以在标题栏显示优化器。对于Simplex, 会显示“<S>” ;对于Differential Evolution会显示 “<DE>” zg$NrI& Axw+zO ,j(S'Pw @ \*Zq 如果基底的内透过率数据不全是lossess, 反演工程现在需要基底的材料文件。 &] O^d4/ 优化目标增加了平均值的计算,包含平均透射率、平均反射率、平均T+R、平均T\T+R、平均R\T+R、平均density、平均后向反射。 yOO@v6jO) "'~&D/7 7 )*q@
)yUSuK(Vu ht2J, 1t 用户自定义的功率分布添加到了cone计算里面,此分布可选定reference文件(作为角度的函数)。 8*^*iEsR 6 -BC/ 3;F up4!4} Rw^X5ByJE 当有新数据导入到光学常数工具中,它会清理已经计算的结果。 v.F|8 cG 在注册菜单中增加了email按钮,授权表格可以非常容易的创建key请求。 <xUX&J=; HL%|DCo K"8! APyH.] mQ
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h]y Design中的薄层膜(非厚层膜)增加了Back Reflectance颜色分析功能。 28>/#I9/] $Y[C A.F
")9jt^ 7A^L$TY Runsheet $:D\yZ, “Monitor Type”现在包含在 NVision导出中, NVision 光学监控器可以预先选择监控类型。 V^< Zs//7 ?hKpJA'% 4VhKV JX T@d4NF# Function oj[<{/,C9 4wPP/` 双加脚本编辑器的文件将会制作该脚本。 { a_&L -nY_.fp> x#fv<Cj4 krRnE7\m 如果您遇到任何问题,可通过如下方式联系我们。 3cc;BWvM J7wIA3.O 讯技光电科技(上海)有限公司 E.G]T#wt0 电话:86-21-64860708 ,Bl_6ZaL 传真:86-21-64860709 yC7lR#N8j0 课程:course@infotek.com.cn a}[rk*QmZ 业务:sales@infotek.com.cn (};/,t1#$ 技术:support@infotek.com.cn +|qw>1J(
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