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Core IS[thbzkZ 增加了不镀膜基底椭偏数据的光学常数提取,为了能使用椭偏数据,从Macleod Tools菜单栏中选择Substrate n, k & T并选择 Ellipsometer按钮。
8<7GdCME z$GoaS( >O?U=OeD I_%a{$Gjl 现在可以在help下选择user manual直接打开Macleod英文手册 :.d:9Z|_ !]fQ+ *X0g 9,_mS{+B $:j G- r 反演工程现在支持基底双边镀膜的情况。 ;VNMD 6H 反演工程现在可以在标题栏显示优化器。对于Simplex, 会显示“<S>” ;对于Differential Evolution会显示 “<DE>” Ns0cgCrhX FwY&/\J7V QgD g}\P iNWo"=J 如果基底的内透过率数据不全是lossess, 反演工程现在需要基底的材料文件。 0zCw>wBPW 优化目标增加了平均值的计算,包含平均透射率、平均反射率、平均T+R、平均T\T+R、平均R\T+R、平均density、平均后向反射。 b0A1hb[| kbfC|5S ~$ f;U
jfx8EbQ =w5O&( 用户自定义的功率分布添加到了cone计算里面,此分布可选定reference文件(作为角度的函数)。 M$d%p6Cv NeBsv= [- :%AL\n drd/ jH& 当有新数据导入到光学常数工具中,它会清理已经计算的结果。 4)4+M 在注册菜单中增加了email按钮,授权表格可以非常容易的创建key请求。 ^1x*lLf UMp/\&0 ?EpSC&S\ +|{RE.DL
Q33"u/-v ,7)C" Design中的薄层膜(非厚层膜)增加了Back Reflectance颜色分析功能。 za9)Q=6FD $DC*i-}qFg
7GSV X _G| hx Runsheet he -Ji “Monitor Type”现在包含在 NVision导出中, NVision 光学监控器可以预先选择监控类型。 <zy,5IlD GF:`>u{C GK}'R= j0GMTri3 Function 1w0OKaF5 Hb(B?!M) 双加脚本编辑器的文件将会制作该脚本。 a7/-wk {[t`j+J Q2];RS3. *tX{MSYW 如果您遇到任何问题,可通过如下方式联系我们。 8; R| Lru-u: 讯技光电科技(上海)有限公司 f8<o8*`7 电话:86-21-64860708 @[?!s%*2 传真:86-21-64860709 OR Wm
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