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Core ,z~"Mst 增加了不镀膜基底椭偏数据的光学常数提取,为了能使用椭偏数据,从Macleod Tools菜单栏中选择Substrate n, k & T并选择 Ellipsometer按钮。 _wUg+Xs] N<XMSt :A+}fBIN afE8Kqa:H 现在可以在help下选择user manual直接打开Macleod英文手册 <6&Z5mpm$w C8%MKNPd w\a6ga!xt"
@<koL 反演工程现在支持基底双边镀膜的情况。 ?Kg_bvoR 反演工程现在可以在标题栏显示优化器。对于Simplex, 会显示“<S>” ;对于Differential Evolution会显示 “<DE>” N!./u(b QBd4ok:R W9;9\k UAGh2?q2 如果基底的内透过率数据不全是lossess, 反演工程现在需要基底的材料文件。 :OV6R, 优化目标增加了平均值的计算,包含平均透射率、平均反射率、平均T+R、平均T\T+R、平均R\T+R、平均density、平均后向反射。 Z+ _xX p@ U[fv8u vs@u*4.Ut< ?3gf)g= "sT)<Wc 用户自定义的功率分布添加到了cone计算里面,此分布可选定reference文件(作为角度的函数)。 XB]>Z) Bm;:
cmB0e y"k%Wa`* HGF&'@dn 当有新数据导入到光学常数工具中,它会清理已经计算的结果。 /vpwpVHIpG 在注册菜单中增加了email按钮,授权表格可以非常容易的创建key请求。 6!H,(Z]j +v/-qyA h)^|VM
x,HD,VQR/ .yHi"ss3 .\:MB7p Design中的薄层膜(非厚层膜)增加了Back Reflectance颜色分析功能。 e/x6{~ju^N i:Gyi([C FSkLR h F<b/)<Bm= Runsheet WLiF D. “Monitor Type”现在包含在 NVision导出中, NVision 光学监控器可以预先选择监控类型。 lYmxd8 gAgF$H . |l@z7R+4* ;*hVAxs1 Function Y$9x!kV .>S1do+ 双加脚本编辑器的文件将会制作该脚本。 a:;7'w' ^$]iUb{\ pG22Nx sRZ?Ilua6 如果您遇到任何问题,可通过如下方式联系我们。
WJ,? 5# p)VMYu 讯技光电科技(上海)有限公司 AR{$P6u!%| 电话:86-21-64860708 *P|~vCnr 传真:86-21-64860709 !?lvmq 课程:course@infotek.com.cn c}s#!|E0v 业务:sales@infotek.com.cn ^^< C9 技术:support@infotek.com.cn w`v`aw]
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