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Core YJ'h=!p}G 增加了不镀膜基底椭偏数据的光学常数提取,为了能使用椭偏数据,从Macleod Tools菜单栏中选择Substrate n, k & T并选择 Ellipsometer按钮。 )ZEUD] X pkWzaf k
?X [ft#zxCJ 现在可以在help下选择user manual直接打开Macleod英文手册 x24 hCQzD2 1l"A7
V cP'' 反演工程现在支持基底双边镀膜的情况。 .nJErC## 反演工程现在可以在标题栏显示优化器。对于Simplex, 会显示“<S>” ;对于Differential Evolution会显示 “<DE>” 8&7LF QU2\gAM ;3s_#L DK}k||- 如果基底的内透过率数据不全是lossess, 反演工程现在需要基底的材料文件。
}H&NR?Ax 优化目标增加了平均值的计算,包含平均透射率、平均反射率、平均T+R、平均T\T+R、平均R\T+R、平均density、平均后向反射。 Eb7qM.Q] & #DXC6f 559znM= + G#qS1 > nDx)!I 用户自定义的功率分布添加到了cone计算里面,此分布可选定reference文件(作为角度的函数)。 U
N 1HBW; &B1d+.+ 2$.
u bA z_~5c 当有新数据导入到光学常数工具中,它会清理已经计算的结果。 .cdm@_Ls 在注册菜单中增加了email按钮,授权表格可以非常容易的创建key请求。 oe}nrkmb 4&~ft 7hqa| rhO
]4A Uc/MPCqZ >wS52ng Design中的薄层膜(非厚层膜)增加了Back Reflectance颜色分析功能。 ^a4 y+! j(HC^\Hi T]l_B2. *A':^vgk Runsheet >:!TfuU^R “Monitor Type”现在包含在 NVision导出中, NVision 光学监控器可以预先选择监控类型。 W'hE, /-TJtR4> $`W.9 vE0Ty9OH"] Function x_CB'Rr6 -yHVydu= 双加脚本编辑器的文件将会制作该脚本。 <*E{zr& }A3(g$8KR =|O`al n|dLK.Q 如果您遇到任何问题,可通过如下方式联系我们。 )eop:!m fo9O+e s 讯技光电科技(上海)有限公司 FVNxjMm, 电话:86-21-64860708 UKMr,{iy 传真:86-21-64860709 qMD 6LWJ 课程:course@infotek.com.cn vi')-1Y
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