[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 p$5+^x'(  
{iv!A=jld  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 "z^&>#F  
W|PKcZ ]Uc  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? nj7wc9z4  
IkU:D"n7  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 +;
}XWV  
6tE<`"P!  
P.S. 8G>;X;W  
%mhnd):  
AR與MGF2皆為EB製程 `dYM+ jpa  
[S}o[v\  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M B@,L83  
>?$+hZz<  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  U}7a;4?  

V.kUFTCvf  
我用的材料為石英 1}mIzrY  
$-m`LF@  
您說的沒錯 "Y9 *rL  
_dY6Ip%  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 `Td
0R!  
(eI'%1kS<  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  ^
EE3E'  

>I AwNr  
我用的材料為石英 Q4r)TR,  
$;Lb|~  
您說的沒錯 :BG/]7>|V  
orCD?vlh  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 u^SXg dj  
K~OfC  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了