[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發現有水滴狀的色斑在玻璃表面 4sM.C9W  
fQ98(+6  
若無鍍MGF2則無此現象，推估為MGF2造成 <| &Np
d'  
Q &t<Y^B  
不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預過這種情況嗎?? ap~^Ty<>  
v@Ox:wl>  
希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 SB7c.H,  
Il.K"ll  
P.S. Gc!x|V;T  
_~pbqa,  
AR與MGF2皆為EB製程 " Jr-J#gg  
8V(pugJ  
膜層結構為 G / L / H / L / H / L / M MW{8VH6+  
`W-Fssu  
起鍍真空為5E-4pa

从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下

氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水 超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下，

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  c{LO6dNg\z  

PJ'E/C)i  
我用的材料為石英 =6#Eh=7N  
Z87|Zl  
您說的沒錯 ',4iFuY  
[ps*uva  
最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 hDq`Z$_+KX  
H]jhAf<h  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58)  ; XN{x  

X=8{$:  
我用的材料為石英 %(G* ,  
JNUt$h  
您說的沒錯 xZF}D/S?Ov  
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最外層材料換成SiO2此問題就無此現象 M$8^9
1%4B  
6,9>g0y'NG  
已經確認放氣時間拉長無法改善此問題

好东西

什么呀

ipnuk 泥浆中

是个好方法

好东西，学习了