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[求助]請問關於MGF2之異常現象 [复制链接]

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在线奔跑的小骏马

助理工程师

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只看该作者 10楼发表于: 2017-07-22

学习了，不过最外层MgF2对后续加工可能影响较大，会出现膜层渗水等现象。

离线爱哭的云彩

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只看该作者 11楼发表于: 2017-08-29

回 jakzhou 的帖子

jakzhou:好东西 (2016-05-24 17:40) fSK]|"c

学的很好

离线爱哭的云彩

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只看该作者 12楼发表于: 2017-08-29

回 rexchou 的帖子

rexchou:我用的材料為石英
您說的沒錯
....... (2016-05-09 17:51) :W!7mna

谢谢专家门的意见

离线爱哭的云彩

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只看该作者 13楼发表于: 2017-08-29

回 yangyangyang 的帖子

yangyangyang:从你发的来看，应该问题是出在放气阶段产生的，你可以尝试在放气的时候罗茨泵和机械泵接着抽2分钟实验一下，我以前就是这么干的。我之前的产品基底是玻璃。你也可以尝试把材料替换为二氧化硅，优化一下膜系实验一下 (2016-05-05 22:58) $bW3_rl%X

原来是这样的

离线爱哭的云彩

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只看该作者 14楼发表于: 2017-08-29

回贾松山的帖子

贾松山:氟化镁形成的膜层结构是易吸附水分子的，举例说当最外层氟化镁少时，用纯水超洗可以把分光变OK,把你的加工条件湿度看下， (2016-05-27 12:51) @LS@cCC,a

还可以这样玩

离线lgc1316

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只看该作者 15楼发表于: 2020-09-28

MgF2 放最外層的在相同AR總層數下可以得到更低的模擬結果；你可以試試看做鍍率實驗應該可以得到正解或是試著從新優化降低mgf2厚度

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