示例.0082(1.0)
IK'F{QPH FqwIJ|ct 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
J_PH7Z*=, %%&e"&7HE 1. 描述
1SUzzlRx ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
p;0 PxL= ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
+oZH?N4yaM ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
jJia.#.Ze ?KB@Zm+#~ 2. 系统
+i. u< T b,Ke>.m 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
xdZ<|
vMR 3. 透镜系统组件编辑
@ .gP JMA y@3Q; ~l, ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
:m K xa ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
Q.A \U>AgV ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
;'}'5nO=$ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
m; o4Fu Iyyo3a wc 4. 光线追迹系统分析器-选项
RDJ+QOVKg b/u8}
J Q_]~0PoH ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
.*V kua ■ 可以选择选取光线的方法：
=We2^W-{ — 在x-y-网格
RBE7485 — 六边形
WL
U } — 自由选取
2Lfah?Tx~C ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
I8u!\F {q,?<zBzu 5. 系统的3维视图
tuLH}tkNY ^I`a; 1k[GuG%/K
6. 其他系统参数
*~2cG;B"e ■ 系统由单色平面波
照明 jXp. qK\" ■ 照明波长266.08nm
Nqc p1J " ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
mb1Vu — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
m[:K"lZ
]2 — 一个虚拟屏位于焦平面
a9l8{ 3 —
光束尺寸探测器置于焦平面
^m%52Tm
h ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
OC NPi4 9 x?'} 7. 光线追迹系统分析器的结果
&94W-zh &R O7{,`
光线经过整个光学系统的三维视图
V _"f|[1 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
pOA !#Aj) 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
T SjI z5 ,mKObMu {kL&Rv%' ■ VirtualLab可用于计算点列图。
g^l RG3a ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
/ t5p- ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
UpfZi9v?W ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
f~ZEdq8 ? ?[ g}> 9. 焦平面上的结果
1~\M!SQ) L:@fP~ Erh }mk>!B}= ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
z9DcnAs ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
|cd-!iJX- ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
XAu I7e ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
9v?l ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
EzpFOqJG gXy -Mpzp 10. 总结
a]B[`^`z ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
3t" 4TjAy ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
b>11h ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
4W;S=#1 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
jfp z`zE QyGnDomQ （来源：讯技光电）
