示例.0082(1.0)
`GQ{*_- KA]*ox6j; 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
$%c{ 06Oq( ul5|.C 1. 描述
m.%`4L^`T ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
8{&["? ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
H5wb_yBQ+ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
`?s .\Dh CfT/R/L 2. 系统
i 6no;}j #j@OLvXh 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
"Q+83adY4x 3. 透镜系统组件编辑
V*jsq[q = cep$_J a ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
c^I0y! ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
?Z %: ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
+p:Y=>bTj ■ 包括序列光学表面和光学介质。
3"
Vd==oK~ "/x_>ui1F 4. 光线追迹系统分析器-选项
u@ N~1@RT| 32XS `Z b#Kq[} ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
Yx?aC!5M ■ 可以选择选取光线的方法：
X, fu ! — 在x-y-网格
EO"C8z'al — 六边形
z[!x:# q8` — 自由选取
)3E,D~1e% ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
/NBTvTI X:q _c =X 5. 系统的3维视图
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! >yK ^)\+l%M
6. 其他系统参数
[e"RTTRfZ ■ 系统由单色平面波
照明 #1Z7&#R/ ■ 照明波长266.08nm
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■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
!s IwFv ) — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
;El <%{( — 一个虚拟屏位于焦平面
+g\;b LT —
光束尺寸探测器置于焦平面
OeTu?d&N ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
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W.2p+ `^8*<+ 7. 光线追迹系统分析器的结果
VWvoQf^+ ^Vo"fI`=C 光线经过整个光学系统的三维视图
wly>H]i' 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
q.oLmX 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
n9}R W;N+u h`?k.{})M E <@\>y.[ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
r,'O ).7 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
, {<Fz % ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Di.;<v#FL ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
8M93cyX vl5){@
9. 焦平面上的结果
t .=Oj 1X@b?6 X4I]9 t\ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
6"%qv`.Fp ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
;QPy:x3 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
.uDM_ 34 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Vipp /WV ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
YX;nMyD?~ =R9*;6?N 10. 总结
%cj58zO |y ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
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2;F] ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Bcaw~W D ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
5P\N"Yjx' ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
oyQ0V94j aL )Hv k: （来源：讯技光电）
