示例.0082(1.0)
=:gjz4}_8 `E W!-v) 关键词:
光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸
yX'IZk#_L <GaT|Hhc= 1. 描述
,E?4f
@|X ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
p.C1 nh ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
b/nOdFO@ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
wWTQ6~Y%d EjSD4 2. 系统
y@3kU*-1 4\ FP 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
)|RZa|`-G 3. 透镜系统组件编辑
&DLhb90 c|lU(Tf ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。
Sph*1c(R ■ 透镜系统是由序列
光学表面(OIS)定义的。
VhvTBo<cw ■ 每一个可选项都有独立的
参数,并可以设定。
H* /&A9(" ■ 包括序列光学表面和光学介质。
4gOgWBv :G 5C ]'t 4. 光线追迹系统分析器-选项
1~@|eWr| IY)5.E
_ ~^$MA$ /p ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
/UHp [yod ■ 可以选择选取光线的方法:
;&
~929 — 在x-y-网格
[D[D`gpjA — 六边形
t#5:\U5r. — 自由选取
G3dhM#! ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
<HF-2?` sJ~P:g 5. 系统的3维视图
l3p3tT3+ 3gc"_C\$
t77'fm 6. 其他系统参数
K]<u8eF ■ 系统由单色平面波
照明 QKccrAo ■ 照明波长266.08nm
y(v_-6b ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能:
L\L"mc|O — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
+"uwV1)b" — 一个虚拟屏位于焦平面
tS<h8g_ —
光束尺寸探测器置于焦平面
j#3m|dQ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
jDTUXwx7V WNF9#oN|oT 7. 光线追迹系统分析器的结果
b_vTGl1_6 v`B4(P1Z 光线经过整个光学系统的三维视图
{|6z+vR 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
"IwM:v 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
2-mQt_
i sPCMckt "8HE^Po/pn ■ VirtualLab可用于计算点列图。
y|sma;D ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Yy
h=G ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
jczq`yW ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
0d4cE10 G{o+R]Us 9. 焦平面上的结果
j=ihbR^]Tl |$e:* 0S.?E.-&0 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
4seciz0? ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。
GN%(9N'W ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
>^3zU ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。
5pJ*1pfeo ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
J]fS({(\I Mr*|9h 10. 总结
.pvxh|V ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
uV~e|X
"9s ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。
uTGcQs} ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
H/J<Pd$p ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
~NNv>5t5 Y6ben7j%- (来源:讯技光电)