示例.0082(1.0)
M
$Es% ?84
s4BpV1 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Kwg4sr5"D m<0&~rg 1. 描述
F v Jd8kV ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
,B0_MDA + ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
OujCb^Rm ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
h o0@ l %5A+V0D0' 2. 系统
j &
<i& S6AU[ASY. 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
;ByOth|9P 3. 透镜系统组件编辑
VxXzAeM w\DVzeW( ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
DXa- rk8 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
LWHd~"eU ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
3Ei5pX =g ■ 包括序列光学表面和光学介质。
`$B 3X Wh%ucX& 4. 光线追迹系统分析器-选项
e{v=MxO= S '*k'i;2/1 5<ux6,E1{ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
MHsc+gQiz ■ 可以选择选取光线的方法：
Hv\-_>}K — 在x-y-网格
OBP1B@|l$+ — 六边形
w );6K[+; — 自由选取
]- 4QNc= ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
ijd XU8 &bp=`=* 5. 系统的3维视图
W@Lu;g.Yc d\FJFMW*9 9> g,
6. 其他系统参数
%LZ({\5K#f ■ 系统由单色平面波
照明 N1}={yF.fQ ■ 照明波长266.08nm
K%X^n>O7C ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
HH@ qz2 w — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
r?*NhLG ; — 一个虚拟屏位于焦平面
EB_NK —
光束尺寸探测器置于焦平面
qq1 - DG ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
L0tAgW!@ ]<q[Do8k 7. 光线追迹系统分析器的结果
K
a(J52 _Jt 2YZdA 光线经过整个光学系统的三维视图
NU*fg` w 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
p$x{yz3 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
S:x?6IDPC^ NM6Teu_ Q]w&N30 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
y T#{UA^ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
v !FMs< ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
MiRdX#+Y ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
=l 0J b#d NSFs\a@1 9. 焦平面上的结果
nY t/U\n! QE u=-7@> h'$ 9C ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
RNhJ'&SYs ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
E gDQ+(
- ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
^+1#[E ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
9Y<#=C ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
W5' 3$,X9 8B#GbS
K 10. 总结
!QT'L, _ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
cn-
nj] ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
?"KC-u| ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
]Bm>-*@0N ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
;9}pOzF1q 6O22P?v （来源：讯技光电）
