示例.0082(1.0)
l#:=zu >P\T nb"Q\ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
3WPMS/ 8k_,Hni 1. 描述
X?>S24I"9 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
"kP.Kx! ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
jJ55Az?t: ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
&`@,mUi{Ac E'XF n' 2. 系统
]P(Eo|)m deHBY4@ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
<+ _OgF1G 3. 透镜系统组件编辑
T%P 0M* 5 Nl>4d` ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
q n =6>wP ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
4yRT!k}o ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
rZJp>Q)s ■ 包括序列光学表面和光学介质。
bI]1!bi]i eDaVoc3 4. 光线追迹系统分析器-选项
XHN?pVZ7 lJ7k4ua\ i"JF~6c< ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
JG/sKOlA ■ 可以选择选取光线的方法：
qmxkmO+Qur — 在x-y-网格
gu wnYS — 六边形
/&kZ)XOi — 自由选取
).v;~yE ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
xFg=Tyq: 9oc[}k-M 5. 系统的3维视图
Bc t>EWQ
U,Z(h 
yD(/y"P,9 6. 其他系统参数
?:U6MjlQ"{ ■ 系统由单色平面波
照明 _BR>- :Jr ■ 照明波长266.08nm
WqYl=%x"{V ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
2a?
d:21 B — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
"G`)x+<~Z8 — 一个虚拟屏位于焦平面
nHZ 4):` —
光束尺寸探测器置于焦平面
F+hsIsQ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
6 _7 3 E(u[? 7. 光线追迹系统分析器的结果
nH[@EL "B +M5B0Z 光线经过整个光学系统的三维视图
.Ta$@sP h} 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
hfEGkaV._3 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
|$1j;#h P_b00",S (/qY*? ■ VirtualLab可用于计算点列图。
bz}T}n j ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
T \0e8"iZ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
4<lZ; M" ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
q= 96Ci _a A`OU} 'v?L 9. 焦平面上的结果
4[Oy3.-c Q%t8cJ L [$] JvF ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
hTg %T#m ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
DVpqm6$ Q ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
0D.YO<PU ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
:UScbPG ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
9KAXc(- z&-3H/ 10. 总结
7&T1RB'> ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
b, SY(Ce~g ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
s \kkD * ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
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g R*+ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
8.9S91]= N'[^n,\( : （来源：讯技光电）
