示例.0082(1.0)
"S)2<tV a3 D''Ra 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
P1KXvc}JGe I[,t f! 1. 描述
BH6)`0&2*N ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
3fPd|F.kF ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
ya7PF~:E- ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
CZ* #FY (?R;u> 2. 系统
s+IU%y/9$a A/V"&H[ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
"~ - H]9 3. 透镜系统组件编辑
&AM<H}> afrU>#+" ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
@a-u_|3q ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
zj:=
9$ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
8>^(-ca_ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
0qP&hybL[( XJJdCv^ 4. 光线追迹系统分析器-选项
uG<VQ2LM r*?rwtFtg & D@/_m $ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
GP=i6I6C ■ 可以选择选取光线的方法：
l{q$[/J~) — 在x-y-网格
v `& — 六边形
[MLJs- * — 自由选取
#m>Rt~(,S ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
FyD^\6/x s&(,_34 5. 系统的3维视图
m BW E^ hLF+_{\C| ]j.=zQP?'
6. 其他系统参数
81?7u!=ic+ ■ 系统由单色平面波
照明 w&&uk[Gh/a ■ 照明波长266.08nm
.gY}}Q ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
55lL aus — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
rb 8c^u#r — 一个虚拟屏位于焦平面
o =/Cje —
光束尺寸探测器置于焦平面
X( Q*(_ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
jvfVB'Tmr &q R1fbw" 7. 光线追迹系统分析器的结果
iV+'p- >/ +Smt8O<N 光线经过整个光学系统的三维视图
nT7{`aaQl 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
?t;>]Wo ; 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
"F_o%!l 4a 'O#;h o si`{>e~`6P ■ VirtualLab可用于计算点列图。
9{OH%bF ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
do3 BI4Q ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
TTNgnP ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
9a.r(W[9 %y@ iA91K 9. 焦平面上的结果
3,`.$
Rg:3}T`~n C):RE<X ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
>;E[XG^ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
F[aow$",+} ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
i?7%z` ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Z=;+)
#, ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
H<$.AC\zn ~&E| ;\G 10. 总结
.3;bUJ1 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
{d|R67~V ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
doR'E= Z4h ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
'Wq SHb 7 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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?6wlf （来源：讯技光电）
