示例.0082(1.0)
OI?K/ rn KrXd nY8 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
.p=sBLp8 Cxcr/9 1. 描述
?qX)ihe%k ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
1 I*7SkgKv ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
J%jB?2
1:o ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
3` #6ACF %rF?dvb;? 2. 系统
BA:yQ RKa}$
7 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
t( +) # 3. 透镜系统组件编辑
sj8~?O LS5vW|]w ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
XgxX.` H7 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
i:cXwQG}B ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
9XHz-+ bQ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
$F/EJ> `zR+ tbm 4. 光线追迹系统分析器-选项
:KKa4=5L !bD@aVf?5 d @*GUmJ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
5|I [>Su ■ 可以选择选取光线的方法：
\(Pohw WWo — 在x-y-网格
Wfz\ `y — 六边形
7]BW[~77 — 自由选取
>^ OC{~Az ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
N~ ?{UOZd ;=9
>MS} 5. 系统的3维视图
nZ_v/?O k` {@pt. {66fG53x
6. 其他系统参数
?6k}ii!c ■ 系统由单色平面波
照明 ZZj~GQL(S ■ 照明波长266.08nm
t'~/$=9 }
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
-3&G"hfK — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
{0@& OO:w — 一个虚拟屏位于焦平面
/{{UP- —
光束尺寸探测器置于焦平面
?+t1M E| ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
H Y ynMP T?p` ) 7. 光线追迹系统分析器的结果
X >I)~z}9# 3s:%2%jVK 光线经过整个光学系统的三维视图
6ATtW+sN ] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
/oL; YIoQX 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
MzYavg` ;@nFVy>U Dl&GJ`&:p ■ VirtualLab可用于计算点列图。
]{
d[ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
LrCk*@ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
S\wW)Pv8 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
BYM3jXWi0v ,zQOZ'^ 9. 焦平面上的结果
c DrebU erl:9. @-)tM.8~ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
L!'k ! k ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
Vi]c%*k ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
@+Y8*Rj\3 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
mF09U(c i ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
0fs$#j d vOJW". 10. 总结
Ao7 `G': ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
A
K/z6XGy ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
%vO<9fE|1 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
Bd3~E bFL ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
4.K'\S ^# A.@ （来源：讯技光电）
