示例.0082(1.0)
b/oNQQM#Dk <f:(nG j 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
3
[]ltN_ ,< P"\W 1. 描述
Lbrn8,G\ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
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Fq $ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
cyd&bxPgj+ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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^IK m#[c]v{ 2. 系统
8q]" CFpa H~#$AD+H 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
: i.5
< f 3. 透镜系统组件编辑
"h1ek*(?< ~~&Bp_9QXN ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
D0bpD ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
r IB./, ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
*B@#A4f" ■ 包括序列光学表面和光学介质。
d, i4WKp Ux^ue9 4. 光线追迹系统分析器-选项
@kDY c8 t9 .EWj eVq a(fiW%eFb ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
5 FB3w48 ■ 可以选择选取光线的方法：
,@ p4HN* — 在x-y-网格
xa_ IdkV — 六边形
XD6Kp[s — 自由选取
Z3wdk6%:} ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
:0%[u( 2 7dS.6 5. 系统的3维视图
Z;+;_Cw 5IzCQqOPgX 
0wqw5KC 6. 其他系统参数
3:$@DZT$ ■ 系统由单色平面波
照明 ;mD!8<~z. ■ 照明波长266.08nm
n zAySMD_ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
RFe># o — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
t6e6v=.Pg — 一个虚拟屏位于焦平面
IAb.Z+ig —
光束尺寸探测器置于焦平面
46l *u i_ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
$u,A/7\s qD"~5vtLqQ 7. 光线追迹系统分析器的结果
@$ p6w {='wGx 光线经过整个光学系统的三维视图
Ssir?ZUm 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
V$$9Rh 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
5 xUZeLj P^q!Pye M`=\ijUwN ■ VirtualLab可用于计算点列图。
$b^ niL ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
YGyw^$.w ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
LoJEchRK ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
c*[aIqj * >NML]#0 9. 焦平面上的结果
=b )!l9TX &432/=QSm0 ) .V,zmI ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
&C9)%5 O) ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
F2(^O Fh ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
$LU|wW ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
1"<{_&d1 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
3WGOftLzt Bdvp G 10. 总结
]5j>O^c< ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
8 f~M6 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
]$UTMuO Ql ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
+-V4:@ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
mH<|.7~0 $Mx?Y9! （来源：讯技光电）
