示例.0082(1.0)
|n 26[=\B gA2Wo+\^bq 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
N9w"Lb j .q}OK 1. 描述
u9!
? ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
7X>IS#W] ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
$XF$ n#ua ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
(7R?T} @su<h\) 2. 系统
iXMJ1\!q\| l bHgxZ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
!l%: 3. 透镜系统组件编辑
,Wlt[T(.; KwL_ae6fV ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
0>{ ]* ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
,';|CGI cP ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
P{o)Ir8Tt ■ 包括序列光学表面和光学介质。
K0gQr.J53 ^FLs_= E 4. 光线追迹系统分析器-选项
2{=]Pf %,T*[d &i tkj-.~@g0' ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
, jY:@< n ■ 可以选择选取光线的方法：
=~;~hZj — 在x-y-网格
0/GBs~P — 六边形
1B;2 ~2X — 自由选取
eh9 ?GUr5 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
^\}q q >_ ^ +>*Y=fl 5. 系统的3维视图
'n'>+W: aKj|gwo! mh3S?Uc
6. 其他系统参数
vG_R( ]d ■ 系统由单色平面波
照明 l'"nU6B& ■ 照明波长266.08nm
Z}S[fN8 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
MJGT|u8O& — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
/PwiZ A3sA — 一个虚拟屏位于焦平面
23? u_?+4i —
光束尺寸探测器置于焦平面
gv`_+E{P ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
l e/j! 1/97_:M0~F 7. 光线追迹系统分析器的结果
'gf[Wjb,% cACIy yQ 光线经过整个光学系统的三维视图
Tw-N IT) 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
PBn7{( x 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
c e;7 GQbr}xX. # F!X0Wo= ■ VirtualLab可用于计算点列图。
j }u L ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
9 5,]86 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
u}%OC43 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
MH.+pqIv^ nqy*>X` 9. 焦平面上的结果
R 0Vt_7 D>5)',D8xi Ph=NH8 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
^{}G4 BEY ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
XM:BMd| ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
x$d[Ovw- ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
vFk@
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
.
Vb|le(7 }k }=e 10. 总结
3'uXU<W! ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
%E_Y4Oe1 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
G J%^hr`P ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
k?fz @H8D( ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
m \)B=H!bz /GgID!8 （来源：讯技光电）
