示例.0082(1.0)
(g UxS.zU AH# Dk5# G 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
(w/lZt zUJ PINDb 1. 描述
eg>]{`WQ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
C33=<r[;N< ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
DA/ \[w?J ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
K d3EZo . p+:MZP -%( 2. 系统
8s6^!e& dijHi 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
U5H 5QW + 3. 透镜系统组件编辑
W%K=N-kE_ (.9H1aO46| ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
_z& H O ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
lD ?]D& ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
*6]_ 6xO ■ 包括序列光学表面和光学介质。
~P+;_ 3xpygx9 4. 光线追迹系统分析器-选项
:ZU- Vi.b jN sM&s, gPy}.g{tH$ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
^e1mK4` ■ 可以选择选取光线的方法：
e u?DSad — 在x-y-网格
8>ODt KI * — 六边形
1tFx
Z#(G — 自由选取
>W= ^>8u ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
jxDA+7 6i*LP(n 5. 系统的3维视图
3aEO9v,n 3qrjb]E%} Z`{GjV3%wH
6. 其他系统参数
^a;412 ■ 系统由单色平面波
照明 !R1OSVFp ■ 照明波长266.08nm
9lSs;zm{Q ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
8\e8$y3 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
p|'Rm ]&jb — 一个虚拟屏位于焦平面
)W3kBDD —
光束尺寸探测器置于焦平面
ug9]^p/)^ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
t3;QF p!2t/XIM 7. 光线追迹系统分析器的结果
j9$kaEf qJ<Ghd`8v 光线经过整个光学系统的三维视图
^97\TmzP{ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
AR5) Uw s 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
h >&t``< iLJBiZ+ +We=- e7 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
hO4* X ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
,PZ[CX;H @ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
6YYDp&nqEj ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
YC d rZG6}<Hx 9. 焦平面上的结果
(/3E,6gMk^ N1espc@j (, 2U?p ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
5q{
-RJ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
b n0Rv ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
VyxX5Lrj ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
E#mpj~{- ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
1F94e)M)" ;&]oV`Ib 10. 总结
F}=O Mo:. ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
$1;@@LSw ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
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bHu ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
6gJc ?+ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
55vI^SSA x_. }C% （来源：讯技光电）
