示例.0082(1.0)
Eu &$R q} nHbi{, 3 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
(@*|[wN d!T,fz/-. 1. 描述
X1P1
$RdkR ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
w{T$3F`@9 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
@BnK C&{ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
{ST8'hY k0I$x:c 2. 系统
Ji,;ri2i ZhCz]z~tj6 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
; sYDs71y 3. 透镜系统组件编辑
'M YKAnZ-i |7,$.MK-@ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
XN
t` 4$L ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
`UzH *w@e ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
~DxuLk6
s ■ 包括序列光学表面和光学介质。
l[5** ?# " w V 4. 光线追迹系统分析器-选项
P]}:E+E<.I Y {e,I-"{ kb~
s, @p ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
9HN &M *} ■ 可以选择选取光线的方法：
2l V`UIa — 在x-y-网格
AX+]Z$ — 六边形
]6v7iuvI — 自由选取
:n~Mg{j3 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
Z-CA9&4Uh 3`S H-"{j% 5. 系统的3维视图
/ o$6"~t 8Wtr,%82 +K'YVB
U}
6. 其他系统参数
+ah4 K(+ 3 ■ 系统由单色平面波
照明
l8+1{6xP ■ 照明波长266.08nm
C<:wSS^@1 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
@~$=96^ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
0[
"CP:u — 一个虚拟屏位于焦平面
n@kJ1ee' —
光束尺寸探测器置于焦平面
-u~:Gd*l0 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
1=+S'_j |I"&Z+m 7. 光线追迹系统分析器的结果
@f o(#i& T<nK/lp1t 光线经过整个光学系统的三维视图
~a7@O^q 4 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
Q rSO%Rm1* 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
wDiq~! A9Ea}v9: G~& q
■ VirtualLab可用于计算点列图。
c3fi<?0&| ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
\C;Yn6PK0 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
H
9/m6F ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
1GR|$E w"M!* *bP 9. 焦平面上的结果
Ls|)SiXrY ~9!@BL\ It 3@
Cd> ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
v qUYr ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
OS
L~a_ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
VW Xy N ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
fK@UlMC] 7 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
33}p02# ^N ;TCn 10. 总结
Q-s5-&h ( ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
k J .7C ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Ek06=2i ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
9y gNJX'~ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
;6]ag< Q rf^IJY[ （来源：讯技光电）
