示例.0082(1.0)
gU>Y B/E1nBobC 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
(W3R3>; 9|jIrS%/~ 1. 描述
wias ]u| ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
Ym& _IOx ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
30FYq? ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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ti@ZJ ezwcOYMXK 2. 系统
[ $.oyjd ~,R_ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
.IpwTke' 3. 透镜系统组件编辑
k4pvp5}% ~u%9@}Oo> ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
1$@k@* u\ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
A &w)@DOe ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
&[S)zR=? ■ 包括序列光学表面和光学介质。
y+Q!4A E_W iQ?p
4. 光线追迹系统分析器-选项
o [ar.+[ OD>-^W t;% ]t0?,q.$7 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
tDEpR ■ 可以选择选取光线的方法：
sF_.9G)S0 — 在x-y-网格
,PRM( n - — 六边形
^fnRzX — 自由选取
?ZlwRjB\ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
4,H}'@Db} yKZ ~ ^ 5. 系统的3维视图
O|7q,bEm^ ]N1$ioC# DKIDL f
6. 其他系统参数
?{_dW=AQ1 ■ 系统由单色平面波
照明 axU!o /m> ■ 照明波长266.08nm
^N Et{]x ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
w^R5/#F_r — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
J9poqp@`MG — 一个虚拟屏位于焦平面
9IMRWtZWT —
光束尺寸探测器置于焦平面
22tY%Y9 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
;1{S"UY IA8kq =W 7. 光线追迹系统分析器的结果
ODv)-J k qwS/s 光线经过整个光学系统的三维视图
Y ;&Cmi 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
,Hys9I 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
{j:{wW . F;q I^{m2 n=rPFp RLF ■ VirtualLab可用于计算点列图。
lzS"NHs<g( ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
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R|lTYq ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
wQ.ild ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
J=4S\0Z* Y
3KCIL9 9. 焦平面上的结果
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NOKrN~HX ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
_Seiwk & ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
3kYUO-qw ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
X*S|aNaLWW ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
!7%L%~z^ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
qY14LdC} ~ d8]6 <\g 10. 总结
7;| 6g8= ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Y pv"u0 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Ap}:^k5{ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
PFEi=}Y@(( ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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IIj （来源：讯技光电）
