示例.0082(1.0)
$K= z nDn{zea7 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
AzX(~Q c 6 SAQDE 1. 描述
* D3 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
ri EqW}{ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
q_5 8 L w ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
gT7I9 (x!W 6cZ C 2. 系统
bVOO) nK:`e9ES 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
EQ~I'#m7 3. 透镜系统组件编辑
d.1Q~&` bgXc_>T6_y ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
_Fvsi3d/ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
B)d@RAk ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
[r~~=b7*[ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
)XZ,bz*jn mZ &] 4. 光线追迹系统分析器-选项
/K& wr6 ,,2_/u\"/i 7x:F!0 :
■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
u"joCZ7`kG ■ 可以选择选取光线的方法：
[ 1D)$ " — 在x-y-网格
@%7/2 k — 六边形
2X +7b M — 自由选取
EkV!hqs* ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
7dx4~dF Jz2 q\42q 5. 系统的3维视图
{kv4g\a; /3;=xZq 5[ hlg(eb
6. 其他系统参数
a\|X^%2g ■ 系统由单色平面波
照明 J2x$uO{Bn ■ 照明波长266.08nm
zkvH=wL ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
JG1LS$p^ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Is~yVB02 — 一个虚拟屏位于焦平面
LDSbd,GF —
光束尺寸探测器置于焦平面
s
UvKA0 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
K
oL%}u& 7{8)ykBU^ 7. 光线追迹系统分析器的结果
5"] aZMua i@%L_[MtA 光线经过整个光学系统的三维视图
lK 9s 0t' 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
ec,z6v^9 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
]lC 4+{V `_6@3-% ROcY'- ■ VirtualLab可用于计算点列图。
">0 /8] l ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
g8B&u u # ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
mRNHq3 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
-1dI Zy [ )B@ 9. 焦平面上的结果
_p ? I{1O !k ;[^> C5d/)a C ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Cf.WO %?P ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
XP3QBq ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
ei(| 5h ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
F12S(5Z0% ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
GWVE IZ sT@u3^> 10. 总结
H d96[ Uo ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
DWHOS XA4 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
NO%|c|B| ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
w`2_6[ ,9 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
i@sCMCu6 4"rb&$E （来源：讯技光电）
