示例.0082(1.0)
WW\u}z.Q J Zk__CgS# 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
*?Nrx=O* CO%7^}xSE, 1. 描述
K>l$Y#x}k ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
8s-y+M@. ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
E 'j>[C:U ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
rE;*MqYt& )."_i64 2. 系统
YD
H!N l ?>cx; "xF 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
m. pB]yq& 3. 透镜系统组件编辑
K PSFy< Hdw;=]- ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
Fm_^ 7| ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
? [l[y$9 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
\ ,ARYwd ■ 包括序列光学表面和光学介质。
^[,Q2MHCT( :f
G 5?]) 4. 光线追迹系统分析器-选项
_t|| v =,$*-<p=3 <qT[ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
N4I`6 uDgD ■ 可以选择选取光线的方法：
z0+ LD — 在x-y-网格
=e](eA; — 六边形
X0Zqx1 — 自由选取
1fm4: xHH ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
H C(Vu >lQ@" U 5. 系统的3维视图
;>np2K<` O B`(,m# 
b c=,$ 6. 其他系统参数
EudX^L5U<d ■ 系统由单色平面波
照明 h / 5|3 ■ 照明波长266.08nm
7/+I"~ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
{L~j;p_G& — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
#V&98 F — 一个虚拟屏位于焦平面
?!^ow5"8 —
光束尺寸探测器置于焦平面
0 b6jGa ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
TwlX'iI_; FlGU1%]m 7. 光线追迹系统分析器的结果
6D |[3rXr 0`c|ZzY 光线经过整个光学系统的三维视图
WJWi'|C4 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
\~ m\pf? 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
s|F}Abx,^ (VD Y]Q) lC/1,Z/M ■ VirtualLab可用于计算点列图。
5;'(^z-bL ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
]8q#@%v } ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
* N>n5 B2 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
-!;2? 6R9{ H3-(.l[!b) 9. 焦平面上的结果
B-^r0/y; 9$[6\jMh Ak3cE_*Y/ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
_ PT5 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
9d&@;&al ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
Y B h|\ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
"uCO ?hv0 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
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hr$W t ?B 10. 总结
3LGX ^J<f ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Drm#z05i[g ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Y TpiO Pf ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
JfD-CoQS' ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
e}dGK=` .3
>"qv （来源：讯技光电）
