示例.0082(1.0)
+a,#BS t D8!
Y0 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
+pS o(e( Q*Jb0 f 1. 描述
ncadVheKt ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
}>AA[ba"' ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
H[: lQ\ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
LsI@_,XW< n}Eu^^d 2. 系统
';\nor x; =/j!S|P 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
[bKc5qp 3. 透镜系统组件编辑
VFawASwQ A- m IWTa ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
eN5F@isy ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
R#Yj%$E1 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
!/H ` ■ 包括序列光学表面和光学介质。
IHCxM|/k(M j*gZvbO;'L 4. 光线追迹系统分析器-选项
5h Sd,#: .nEMd/ pX @$kzes\ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
S=kO9"RB] ■ 可以选择选取光线的方法：
2A|mXWG}~ — 在x-y-网格
:I /9j= @1 — 六边形
xc-[g t6 — 自由选取
.KG9YGL# ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
6&<Qj O A`~?2LH,~F 5. 系统的3维视图
#F3'<(j N!<l~[rc `K@N\VM
6. 其他系统参数
]qZj@0#7n ■ 系统由单色平面波
照明 IC"ktv bHz ■ 照明波长266.08nm
M`Wk@t6> ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
-#;ZZ \fdj — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
_I EbRVpb — 一个虚拟屏位于焦平面
y+$vHnS/jC —
光束尺寸探测器置于焦平面
@\gE{;a8 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
pUmT?N! /g %RIzgW 7. 光线追迹系统分析器的结果
vMX \q
+B8oW3v# ) 光线经过整个光学系统的三维视图
U7/
=| Z 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
_qOynW 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
ro?.w F@ pf._c RWu<
dY#ym ■ VirtualLab可用于计算点列图。
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@R h ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
j p}.W ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
w(S&X"~ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
;[Xf @xf -sf[o"T,j 9. 焦平面上的结果
KCbOO8cQS sA A;d ! .iFU+?V ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
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]hc ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
iM9k!u FE ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
dEkS T[Y3 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
fTX|vy<EMI ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
U+ Yu_=o{ ) BaGY 10. 总结
1)~9Eku6K ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Iq19IbR8 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
]RadwH"0! ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
Rq",;,0ZJ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
Q9p7{^m&E w . M （来源：讯技光电）
