示例.0082(1.0)
uZ0 $s$ ?2<6#>(7a 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
LKqog%,c hBfzU\*0H 1. 描述
k9_VhR |! ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
ZB^4 (F')H ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
wWOT*R_ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
7u`}t83a d'AviW> 2. 系统
r;%zG F p e@2Vn? 5 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
e\
l,gQP 3. 透镜系统组件编辑
VI|DM x
/qkIoF2 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
vZ nO ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
uDE91.pUkr ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
L$TKO,T ■ 包括序列光学表面和光学介质。
mk`cyN>m P{i8 4. 光线追迹系统分析器-选项
(y +5d00 kkE)zF 2$i 0yPv ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
eV CkPv * ■ 可以选择选取光线的方法：
(fGJP*YO — 在x-y-网格
^$Eiz. — 六边形
PM@ s}( — 自由选取
Znh uIA AG ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
[;CqvD <S Lx:9@3'7' 5. 系统的3维视图
-< d MD_ )V$! N>6yacTB
6. 其他系统参数
2W:?#h3 ■ 系统由单色平面波
照明 q=0{E0@9({ ■ 照明波长266.08nm
Yq hz(&*) ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
;AL @<,8 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
-Ib+ /' — 一个虚拟屏位于焦平面
Uo[5V|>X6 —
光束尺寸探测器置于焦平面
|7Xpb ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
K<7T}XzU$ W Pp\sIP 7. 光线追迹系统分析器的结果
Lc: SqF %qjyk=z+Z 光线经过整个光学系统的三维视图
vkd<l& zD 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
<# x%A0 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
iJKm27 "> ;pNbKf: f_P+qm ■ VirtualLab可用于计算点列图。
\,bFm,kC? ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
,Qi|g' a ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
% K7EF_% ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
wR<QeH'V <:;:*s3] 9. 焦平面上的结果
rNzhP*Fw bZ22O"F gJFpEA { ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
89- 8v^ Pq ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
@61N[ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
aj'8;E+ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
`# M.t);^ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Q.E^9giC F-7b`cF9[r 10. 总结
8 8 =c3^ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
H-
qP>: ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
RJs G ]` ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
|`;1p@w" ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
w@$o NG W{Z~l （来源：讯技光电）
