示例.0082(1.0)
|"P5%k#6^> j86s[Dty 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
zF]hf P0 Q /:e|B;P`k 1. 描述
5Tp n`2F ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
7Hpsmfm ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
xsFW F*HPs ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
'EREut,>' #IBBaxOk 2. 系统
XR\ iQ [-$&pB>w8' 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
SQ5*?u\ 3. 透镜系统组件编辑
(7ew&u\Li `bT{E.(T ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
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s ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
u(ZS sftat ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
)hQNIt3o_ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
x el&8 ` s !8]CV> 4. 光线追迹系统分析器-选项
~:)$~g7>b jgbw'BBu fJE ki>1 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
VY _(0 ■ 可以选择选取光线的方法：
T"d]QYJS — 在x-y-网格
FcW ?([l — 六边形
)X^nzhZ2O" — 自由选取
Gs?W7}< $ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
( rw bF g'Xl>q 5. 系统的3维视图
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1~9H ^1cqx]>E 
(tq)64XVz 6. 其他系统参数
=_yOX=g| ■ 系统由单色平面波
照明 .X2 mEnh ■ 照明波长266.08nm
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b;KS ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Uero!+_ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
iD(K*[;lc — 一个虚拟屏位于焦平面
s\jLIrG8 —
光束尺寸探测器置于焦平面
2s{yg%U( ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
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ph iqoP D4A 7. 光线追迹系统分析器的结果
6U /wFT!7$ Jx>P%>+<j 光线经过整个光学系统的三维视图
IeU.T@ $ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
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a2 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
F'#3wCzt zIo))L & e rNVD5o ■ VirtualLab可用于计算点列图。
+bO{U C[ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
)@Zel.XD ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
QHM39Eu] ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
!X.N$0 #S qOJX~Q 9. 焦平面上的结果
Qp=uiXs []2G N{m 1OGlD+f ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
cKfYkJ)A' ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
}%1E9u ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
Sc0ZT/Lm ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
+.R-a+y3 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
A!f0AEA, Rxli;bl zi 10. 总结
SUVr&S6Nk ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
iK#{#ebAoW ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
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P LRN ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
;% !?dH6 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
=_1" d$S& ~xJD3Qf （来源：讯技光电）
