示例.0082(1.0)
lB O x B/` ;C+
_K S 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
4tFn Z2x Wvwjj~HP2} 1. 描述
biAa& ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
qUG)+~g` ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
6 G?7>M ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
!FbW3p f ag"Nf-o/Y 2. 系统
sm;\;MP*yH -|/*S]6kK 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
H c -Ke1+ 3. 透镜系统组件编辑
!R1OSVFp v^1n.l %E ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
%CG= mTP ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
`:EU~4s\ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
E3h-?ugO' ■ 包括序列光学表面和光学介质。
RRR=R] 9I*`~il>{ 4. 光线追迹系统分析器-选项
D?
FW Sv =42NQ{%@; ya/pn
qS ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
p!2t/XIM ■ 可以选择选取光线的方法：
*^.OqbO[U — 在x-y-网格
(KdP^.7 — 六边形
3("E5lI(g: — 自由选取
e>< ,WM,e ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
MHAWnH8 >D*%1LH~V 5. 系统的3维视图
Ox"SQ`nSj' hquN+eIDH 7N[Cs$_]
6. 其他系统参数
@d6N[?3; ■ 系统由单色平面波
照明 ;F\sMf{ ■ 照明波长266.08nm
TDHS/"MbA7 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
1_G5uHO — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
XQ$9E?|= — 一个虚拟屏位于焦平面
Mg=R**s1x% —
光束尺寸探测器置于焦平面
teg[l-R"7z ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
e^Glgaf uZ(,7 >0 7. 光线追迹系统分析器的结果
5:X ^Q.f; n_46;lD 光线经过整个光学系统的三维视图
c"^g*i2&0 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
84M*)cKR~ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
U&SgB[QHO 5D`!Tu3 yo"!C?82= ■ VirtualLab可用于计算点列图。
o.KE=zp&z ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
|NXe{q7{ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
</)QCl' d ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
|bv7 N @?e .Sjg 9. 焦平面上的结果
%pr}Xs(-f CGJ>j}C ed4`n!3 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
HWi: CDgm ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
.vhEm6wJUM ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
3C(V<R? ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
ETt oY<`# ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Dh B*k<S ud GZ%Mr_ 10. 总结
Ue2k^a*Ww ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
<l"rn M% ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
TW T h! ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
"y$s`n4Mj ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
9:]|TIPi 3pI ) （来源：讯技光电）
