示例.0082(1.0)
: ]CZS 7F|T5[*l 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
1|z>}
xP &~$^a1D6 1. 描述
z%*ZmF ^K ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
G _42ckLq ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Z"e |DP` ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
5'l+'ox@J 1! vR
8. 2. 系统
R['q BHQ? <bGSr23* 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
\P{VJ^) 0 3. 透镜系统组件编辑
(U$ F) 7 ]dk~C?H ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
n~K_| ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
ZL1[Khr,s ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
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!^MqK ■ 包括序列光学表面和光学介质。
tgg *6lc g%9I+(?t 4. 光线追迹系统分析器-选项
5 ^f>L2 2,NQ(c_c$ ^(UL$cQ> ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
70|Cn(p_ ■ 可以选择选取光线的方法：
zbi[r — 在x-y-网格
#W!@j"8eK — 六边形
/o8h1L= — 自由选取
Zr oj-3-X~ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
uWi+F)GS^K 3}LTEsdM 5. 系统的3维视图
/Pi{Mv eZM ":eHR}Hzx ^U:pv0Qz
6. 其他系统参数
\t^q@}~0Wz ■ 系统由单色平面波
照明 mm:\a-8j ■ 照明波长266.08nm
h7I_{v8 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
F!'b_ gmz — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
V\)@Yk2 — 一个虚拟屏位于焦平面
]}KmT "vA —
光束尺寸探测器置于焦平面
G aM#a[p ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
H4^-M Sw EV2whs2g 7. 光线追迹系统分析器的结果
>JrQS"[u &``;1/J*W 光线经过整个光学系统的三维视图
N<T i[Q]G 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
q=UKL`;C}U 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
f } eZX m3P%E8<Q# 3V LwMF? ■ VirtualLab可用于计算点列图。
sT' wps 2 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
r`B 8Cik ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
^<[oKi;> ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
6-QTqb?U;N @6}c\z@AxM 9. 焦平面上的结果
KzI$GU3 7GWPsaPn )uZ<?bkQ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
2vu"PeU9 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
H@,jNI h~h ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
@M:j~ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
zrD$loaW.' ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
iV( B0z p ,$1%/m 10. 总结
s|%mGt &L ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
s)]i0+! ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
k]ptk^ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
IAhyGD{b ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
i1\xZ<|0 W^60BZ （来源：讯技光电）
