示例.0082(1.0)
cTL W}4m%g <ugy-vSv 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
w s7LDY&( X,`e1nsR 1. 描述
lfte ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
e# KP3Lp ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
sF1j4 N C ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
VevDW }4q* Pi=B\=gs 2. 系统
Z)G@ahO Q mh8)yy5\ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
&Tk@2<5= 3. 透镜系统组件编辑
:tX, `G yGlOs]>n ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
6Wc.iomx8 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
]Yt,|CPe2 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
xU'% 6/G ■ 包括序列光学表面和光学介质。
F "t.ND -qJO6OM 4. 光线追迹系统分析器-选项
{@>6E8)H5 %Q|Hv jk=E }&LL o ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
Kl w9 ■ 可以选择选取光线的方法：
+D|E8sz8 — 在x-y-网格
~ P!%i9e_ — 六边形
b!z kQ?h — 自由选取
B S+=* 3J ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
fk(h*L|sI X!f` !tZ:{ 5. 系统的3维视图
N
m@UM*D
@xN)mi >jpk R
6. 其他系统参数
z460a[Wl ■ 系统由单色平面波
照明 l6< bV#_qe ■ 照明波长266.08nm
tQcn%C K ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
X> ck.}F — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
]McDN [h: — 一个虚拟屏位于焦平面
6|]e}I@<2 —
光束尺寸探测器置于焦平面
Ogp@! ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
p/'09FY+ U G*rlU 7. 光线追迹系统分析器的结果
4i(?5p>f y/!jC]!+c 光线经过整个光学系统的三维视图
dR
>hb*k J 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
|]j2T 8_= 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
|/O_AnGI e2L4E8ST< d2O x:| <) ■ VirtualLab可用于计算点列图。
b1-' q^M ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
zfm#yDf ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
/@+[D{_F w ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
qBqh>Wo (z IIC"~5 9. 焦平面上的结果
B"2#}HM z-?WU z9HUI5ns ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
]? (_}""1 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
' +E\-X ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
Qk`LBvg1 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Gw?$.@L'I6 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
s?_H<u z;6,, 10. 总结
d @> 1m:p ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
U$ 22 r b ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
7q'T,'[ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
X"O^4MnvI ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
L~ e{Vv8UR Fps:6~gD （来源：讯技光电）
