示例.0082(1.0)
sLr 47 NC w5%Yi { 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
B->AY.&j bXs=<`> 1. 描述
uV5uZ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
)=5 &Q ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
'S_i6K ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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2. 系统
|n 26[=\B ]*=4>(F[ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
296}LW
3. 透镜系统组件编辑
o !tC{"g JXc.?{LL ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
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? ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
ok\-IU? ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
X!]v4ma` ■ 包括序列光学表面和光学介质。
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4. 光线追迹系统分析器-选项
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! ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
8<L{\$3HP| ■ 可以选择选取光线的方法：
KwL_ae6fV — 在x-y-网格
0>{ ]* — 六边形
Xd(^7~i — 自由选取
3x[C pg, ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
r)^sHpK:` xgk~%X%K 5. 系统的3维视图
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6. 其他系统参数
m]n2wmE3n ■ 系统由单色平面波
照明 x%EGxs;>^ ■ 照明波长266.08nm
^ ptybVo ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
4# IT" i — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
GLf!i1Z — 一个虚拟屏位于焦平面
dxX` \{E —
光束尺寸探测器置于焦平面
G[k3` ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
E{\CE1* gc A:Q4 7. 光线追迹系统分析器的结果
q A .9X4NQ
NxHUOPAJc 光线经过整个光学系统的三维视图
eAlOMSL\ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
w KM9fs 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
p":u]Xgb MJGT|u8O& /PwiZ A3sA ■ VirtualLab可用于计算点列图。
!UoA6C: ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
gv`_+E{P ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
K%J?'- ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
UePkSz9EU Jpa pl%7v 9. 焦平面上的结果
l eC!Yj $S#Z>d*1! +YvF+E ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
2d .$V,U< ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
CP 7Fe{P ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
m!xv WqY+ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
cr!8Tp;2A ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
;^M E jSp&\Wj b 10. 总结
5SY%B#;5G ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
j -K[] $ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
:BPgDLL, ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
D>5)',D8xi ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
Ph=NH8
^{}G4 BEY （来源：讯技光电）
