示例.0082(1.0)
yQ9ZhdQS }.p<wCPy6 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
U#bl=%bF l71 gf.4g 1. 描述
z"lqrSJ:
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
+noZ<KFW
" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
>&OUGu| ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
*I0Tbc
O oK2pM18 2. 系统
Z% m-HE:k p~K9
B-D 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
"
Ya9 ~6 3. 透镜系统组件编辑
EeB ]X24 3 t)v %S|k ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
2#3^skj ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
2jl)mL ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
9IA$z\<<w ■ 包括序列光学表面和光学介质。
ZPHXzi3j )t:7_M3 4. 光线追迹系统分析器-选项
2edBQYWd rz%<AF Z ZQ3_y $ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
'Hw4j:pS ■ 可以选择选取光线的方法：
Q.+|xwz — 在x-y-网格
m#f{]+6U
— 六边形
` 2 `fiKm — 自由选取
T$KF<
= ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
3NIUW!gr =oX>Ph+ P 5. 系统的3维视图
3$VxRz) ;gMgj$mI QV qK
6. 其他系统参数
(vc|7DX M ■ 系统由单色平面波
照明 e'2Y1h ■ 照明波长266.08nm
PmR* }Aw ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
w5KPB5/zu — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
u=r`t(Z1H — 一个虚拟屏位于焦平面
/\ Z J
—
光束尺寸探测器置于焦平面
#eK= ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
[mUBHYD7OI #?[.JD51l 7. 光线追迹系统分析器的结果
|>2FR PK :B|Dr
v 光线经过整个光学系统的三维视图
Fl3#D7K 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
ZDx@^P y 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
X l_Uz8Hp ,e`'4H uS+k^
# ■ VirtualLab可用于计算点列图。
>u0w.3 r# ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
jN0k9O> ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
,F ZT~? ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
^j )BKD- .>pgU{C`! 9. 焦平面上的结果
UsQ4~e 4- k~3. MU -n5
B)u w= ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
R?66b{O ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
,xI%A,
(,; ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
is?2DcSl5 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
[ x b]Wf ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
gNpJ24QK %Sk@GNI_ 10. 总结
`^9(Ot $ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
}(XdB:C8 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
/`np Qg- ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
~8T(>!hE1h ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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3 （来源：讯技光电）
