示例.0082(1.0)
S@pdCH, n O D5qPovsd 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
&jEw(P& _ ?i0u)< H 1. 描述
6miXaAA8 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
Rm n|!C%%K ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
zytW 3sTZA ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
]Z UE ! u)EtEl7Wq 2. 系统
$27OrXQ| !_+FuF"@ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
r-S%gG}~E 3. 透镜系统组件编辑
V&j]*) KgY QxEbIW ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
PfYeV/M| ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
0ie)$f i ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
p) ;[;S ■ 包括序列光学表面和光学介质。
HqqMX`Rof ;K l'[~z 4. 光线追迹系统分析器-选项
w$s 6NBF7 ]7,0> )RFY2 } ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
p:tp |/ ■ 可以选择选取光线的方法：
N 49{J~ — 在x-y-网格
ci? \W6 — 六边形
u-.5rH l — 自由选取
ORX<ZO t1 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
?gAwMP(> Iw] ylp 5. 系统的3维视图
D)4#AI -{A64gfFxT jN=
!Q&^i[
6. 其他系统参数
E rA* a3 ■ 系统由单色平面波
照明 qMVuBv
■ 照明波长266.08nm
3&[ d.,/ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
LD WYFOGQ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
FN26 f* / — 一个虚拟屏位于焦平面
Zl# ';~9W —
光束尺寸探测器置于焦平面
`|nJAW3 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
g]MgT-C| WuWOC6^ 7. 光线追迹系统分析器的结果
@QpL*F R'_F9 \ 光线经过整个光学系统的三维视图
LCIe1P2 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
UaXIrBc 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
m(xyE U phA{jJy? Wl&6T1A`" ■ VirtualLab可用于计算点列图。
d@ ZXCiA}, ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
hE\gXb ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
'g<FL`iP ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
;l `(1Q/ Y2uy@j*N 9. 焦平面上的结果
jX$U)O KCa @0 yJ; ; & ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
#=" L r4T ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
?*q-u9s 9 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
_!Z}HCk ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
P|f h4b4 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
<gvgr4@^yR %gqu7}' 10. 总结
(A_H[xP ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
XGnC8Be{4 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
5}9rpN{y ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
C?g*c ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
>"]t4]GVf [--] ?Dr （来源：讯技光电）
