示例.0082(1.0)
lm[LDtc #Zq[.9!q{ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
G5Z_[Q ~z b&g`AnYT 1. 描述
@ C" w
1} ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
fa#5 pys ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
wK*b2r}0/ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
L=v"5)m2R L9bIdiB7 2. 系统
)BX-Y@fpA \!J9| 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
o c0z1u 3. 透镜系统组件编辑
41s [p56+@ .NX>d@
Kc ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
OE8H |?% ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
N1l&$#Fr!s ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
k 1sR^&{l ■ 包括序列光学表面和光学介质。
I]jK]]@ < 1X Ja2 4. 光线追迹系统分析器-选项
}DzN-g<K wPRs.(]_ 5#}wI ~U; ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
cuUlr ■ 可以选择选取光线的方法：
g|
M@/D l — 在x-y-网格
u EE #A0 — 六边形
bA*T1Db,t> — 自由选取
ATq-&1 hs ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
>G<.^~o eGW~4zU 5. 系统的3维视图
/sa\Ze;E =2tl149m/z `mo>~c7
6. 其他系统参数
y|O)i
I/g ■ 系统由单色平面波
照明 (Gp|K6 ■ 照明波长266.08nm
KGq4tlM6 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
*s}j :fJ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
H>Ws)aCq — 一个虚拟屏位于焦平面
Jz Z9ua —
光束尺寸探测器置于焦平面
GTBT0$9 g. ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
5^GFN*poig ckg8x&Z 7. 光线追迹系统分析器的结果
TU,k(
`tn< C~([aH@-I 光线经过整个光学系统的三维视图
,Z 1W3;O 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
S&w(H'4N 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
/@~&zx&_ MI<XL n!* cc|"^-j- 7 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
$v*0 \O ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
YkqauyV^ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
ZPolE_P7 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
OcLFVD= #Ies
yNKZ 9. 焦平面上的结果
d;c<" + 8OW504AD KJLK]lf}d ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
4 fxD$%9 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
JHCV7$RS ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
{aRZBIv ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
-a( \(^NW ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Y
=BXV7\ *E- VS= # 10. 总结
fpK` ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
+iL,8eW ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Hxm CKW! ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
$={W t R ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
!1 M=9 ~$! T2$V5R yX （来源：讯技光电）
