示例.0082(1.0)
XPHQAo[(s s
jL *I 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
ntrY =Y 7.wR"1p# 1. 描述
#d }0}7ue ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
}Kv h`@CiJ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
+G*"jI8W ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
tyc8{t#Z jGO9 n 2. 系统
O{lIs_1.Z =8$| _ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Zvd ;KGO(a 3. 透镜系统组件编辑
33=Mm/<m$P VKq0 <+M ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
07.nq;/R ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
,|e} Y
[ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
tP}Xhn` ■ 包括序列光学表面和光学介质。
8k u?
W Ivz+Jj w 4. 光线追迹系统分析器-选项
k-{yu8*'; S hC_hi [: AB$ l* ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
n?y 'c^ ■ 可以选择选取光线的方法：
jK3g iT — 在x-y-网格
\w{@u)h — 六边形
8B}'\e 4i — 自由选取
P YdIP\<V ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
J)-T:.i|0 p G)9=X!9 5. 系统的3维视图
l'|E,N>X C}n'>],p 
Vh 2Bz 6. 其他系统参数
/yLzDCK n ■ 系统由单色平面波
照明 \9046An ■ 照明波长266.08nm
}BA9Ka#% ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
IM@"AD52a — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
A{4Dzm ! — 一个虚拟屏位于焦平面
~RcNZ\2y —
光束尺寸探测器置于焦平面
MB1sQReOO ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
y:qx5M i 1v;'d1Hg; 7. 光线追迹系统分析器的结果
4BH tR017r j%#?m 2J} 光线经过整个光学系统的三维视图
?lF mXZy` 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
H":/Ckok 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
>g>?Y G BqQ] x'AF ^&C&~}Zv ■ VirtualLab可用于计算点列图。
cN 62M=** ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Po1hq2-U8 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
)X7e$<SU* ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
PoJmW^:} U ?^OD 9. 焦平面上的结果
;?0_Q3IML iOl%-Y U9x4j_.q ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
ldK>Hx M%Z ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
o1e 4.-xI ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
+Dd"41 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
K*[9j 0 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
\xF;{ }v 3QIdN 10. 总结
:MK=h;5Z ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
R_7
6W& ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
i[PvDv"n ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
Jms=YLIAA ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
C9o$9 l+B WPtMds4 （来源：讯技光电）
