示例.0082(1.0)
lGEfI&1%! U3p Mv |b 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
DuRC1@e m, SWG[~ 1. 描述
t x1(6V&l; ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
2SYV2 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
:+ AqY(Gz ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
Zb2.o5#} w_#5Na}>d 2. 系统
O*1la /~m 9 j1
tc T 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
(o8?j^ -v 3. 透镜系统组件编辑
cK t8e^P 51puR8AG> ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
`7_s@4: ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
R-5e9vyS ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
JjG>$z ■ 包括序列光学表面和光学介质。
&z "yls (oB9$Zz!t 4. 光线追迹系统分析器-选项
jxZd
=%7Q ?Q: KW bAL!l\&2 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
!qJ|`o Y ■ 可以选择选取光线的方法：
_UUp+Hz — 在x-y-网格
CQ#%v% — 六边形
tSq`_[@ — 自由选取
EYU3Pl% ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
FhMl+Ou
R1\$}ep^ 5. 系统的3维视图
XD|vB+j\O ~'/_q4 !Baq4V? KN
6. 其他系统参数
?) XPY< ■ 系统由单色平面波
照明 #VM- \02o ■ 照明波长266.08nm
>=n g ? ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
' q{|p+ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
}'Yk#Q — 一个虚拟屏位于焦平面
~f] I0FK —
光束尺寸探测器置于焦平面
0V?:5r< ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
H3jb{S
b ch]Q% M 7. 光线追迹系统分析器的结果
=]F15:%Z q T\o!^|8 光线经过整个光学系统的三维视图
qEB]Tj e [ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
. {LJ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
{;ur~KE /(skIvE | D[ R<H(( ■ VirtualLab可用于计算点列图。
1R"ymWg" ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
IQCIc@5 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
+# R<emW ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
7I<] ;j )q x,>PL 9. 焦平面上的结果
7eekTh, ? *27*&&=)H cdfvc0 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
z'ZGN{L ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
cakb.Q ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
[vY? ! ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Yet!qmZ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
PEX(*GS 6 s|4'! 10. 总结
}w8:`g'T0/ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
sz%'=J~!V ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
*$o{+YP ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
D$
+"n ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
R2$;f?;: VwV`tK it （来源：讯技光电）
