示例.0082(1.0)
@71n{9 >&`S$1 o 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
"=/YPw^0 kpQXnDm 2 1. 描述
=Eimbk ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
6Z,j^: B ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
G QR|t?:t ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
U> @st=" * fIb|r 2. 系统
BB)( #yoi +)cjW "9 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
XXe?@w2{ 3. 透镜系统组件编辑
$Qc`4x;N fz hCV ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
]a
,H !0i ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
"j<l=l ! ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
lZI?k=rWv ■ 包括序列光学表面和光学介质。
!-OPzfHrI RqenPM k 4. 光线追迹系统分析器-选项
|oL}c!0vs S D=kpf; /xu#ZZ?8F_ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
>3J?O96|f ■ 可以选择选取光线的方法：
M|l`2Hpe — 在x-y-网格
C@$!'^ 61 — 六边形
}CoR$K — 自由选取
L]_1z ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
o2J-& YgFmJ.1 5. 系统的3维视图
oRbG6Vv/ 6y4&nTq[ 
%xH2jf 6. 其他系统参数
<691pk X ■ 系统由单色平面波
照明 Uql|32j ■ 照明波长266.08nm
'%} k"&t$i ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
h\@\*Xz< v — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
y !,Ly_x$@ — 一个虚拟屏位于焦平面
4J"S?HsW| —
光束尺寸探测器置于焦平面
e=yQFzQT) ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
c[h{C!d1 B_u1FWc 7. 光线追迹系统分析器的结果
+wwb+aG6{ nB#m?hK 光线经过整个光学系统的三维视图
ioZ{ 2kK 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
VPAi[<FzOG 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
=jWcD{;1I} ;B,6v P# S T *\ Q ■ VirtualLab可用于计算点列图。
!T<4em8 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
h:J0d~u ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
n&4 4Acs[ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
7tEkQZMDI +Ui @3Q 9. 焦平面上的结果
v*&WxP^Gm L T.u<ThR} tcm?qro) ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
4~bbng ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
AD** 4E ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
L93PDp4v ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
I &jiH) ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
3/j^Ao\fw ?hXeZB+b4 10. 总结
gYtv` O ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
)C@O7m*.4 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
, /XeG`vk ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
T=NF5kj-= ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
`~0^fSww h}T+M BA% （来源：讯技光电）
