示例.0082(1.0)
bn 7"!6 L`'#}#O l 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
?'_Ty`vT E_q/*} ]pE 1. 描述
nm "]q`(K ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
d]A.=NAc ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
$4>(} ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
wnioIpRkh ~7p!t%;$ 2. 系统
26M:D&| ZB Wd`*< +t] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
I+oe{#:. 3. 透镜系统组件编辑
V}3 '0 n[S-bzU^t ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
2[!3!@. ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
5)5$h]Nz> ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
Pj-.oS2dA ■ 包括序列光学表面和光学介质。
mkE_ a> ` ~w|X z 4. 光线追迹系统分析器-选项
7x F)\um BGd# \2 SFu]*II;{ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
xzi_u.iOP ■ 可以选择选取光线的方法：
(k^% j — 在x-y-网格
u TShz3 — 六边形
M)F_$
ICE- — 自由选取
%p 48=|+ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
>jU25"XI[ Y/x>wNW 5. 系统的3维视图
@T"-%L8PL Y #,&Tu z @g%9 |U
6. 其他系统参数
(ZPl~ZO ■ 系统由单色平面波
照明 c@E;v<r' ■ 照明波长266.08nm
0
k.\o"y ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
/ Nc)bF%gX — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
0BwxPD#6bv — 一个虚拟屏位于焦平面
#<LJns\t
—
光束尺寸探测器置于焦平面
r>e1IG ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
nTtE+~u /7 8zs- 7. 光线追迹系统分析器的结果
}qw->+nD mtg=v@ ~ 光线经过整个光学系统的三维视图
uTdx`>M,O 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
`fuQ t4 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
YQ$LU \: Y{Ff I+ hgj ]Jr ■ VirtualLab可用于计算点列图。
D6dliU ?k ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
M }!
qH.W ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
zv7)JH7EV& ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
BTzBT%mP ~.tl7wKkR/ 9. 焦平面上的结果
x?UAj8z6 /1v:eoF; x8xz 33 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
4VHWoN"U ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
~<.{z ]*O ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
J-|&[-Z
■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
3(Ns1/;?, ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
DfU]+;AE O14\_eAu6 10. 总结
.=)[S5.BVq ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
o}&{Y2!x ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
}rvX} ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
_!_^B ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
gg/ts]$ m-6&-G# （来源：讯技光电）
