示例.0082(1.0)
3yme1M b T~?Ff|qFC 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Rh2 +=N<X G5_=H,Vmd 1. 描述
N];NAMp ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
< {p4V|: ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
pQ" >UL* ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
]#<4vl\ PQt") [ 2. 系统
f5"k55 } GKqm&/M*= 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
KkyVSoD\ 3. 透镜系统组件编辑
tFn)aa~L HWAdhDZ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
s+Pq& <nV- ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
F;EwQjTF ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
,,.QfUj/& ■ 包括序列光学表面和光学介质。
v"$L702d$\ 5~U/ 4. 光线追迹系统分析器-选项
Kn{4;Xk\ SR
hiQ MKCsv+ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
Ny 7 S ■ 可以选择选取光线的方法：
/HEw-M9z — 在x-y-网格
UgRiIQMq. — 六边形
<nf@U>wlw — 自由选取
Paq 4 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
M?49TOQA .LZ?S"z$ w 5. 系统的3维视图
r6Dz;uz bs&43Ae h4}84}5d
6. 其他系统参数
'BxX0 ■ 系统由单色平面波
照明 ]q[D >6_ ■ 照明波长266.08nm
=*.~BG ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
]A `n (
"% — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
@bLy,Xr& — 一个虚拟屏位于焦平面
}#+^{P3 ; —
光束尺寸探测器置于焦平面
e"cXun4nS= ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
59L\|OR rXq.DvQ 7. 光线追迹系统分析器的结果
J{<X 7uB 3&4(ZH= 光线经过整个光学系统的三维视图
qkqIV^* R 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
zI uJ-8T" 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
"{xrL4BtC Kw^ 7>\ n&/
` ■ VirtualLab可用于计算点列图。
V GN5<?PrN ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
]5cT cX;Z# ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
5;WH:XM ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
3 \,4 ]l|
E&w7GZNt 9. 焦平面上的结果
A{zN | S[ C.P*#_R }>| s=uGW ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Q{>k1$fkV ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
RP|`HkP-2 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
MN>b7O \.? ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
= svN#q5s ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
IP pN@ 7A7?GDW 10. 总结
JR|ck=tq ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
372rbY ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
N~gzDQ3 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
:OZrH<SW ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
t?gic9
q r5/0u(\LB （来源：讯技光电）
