示例.0082(1.0)
M~d+HE WI*^+E&=* 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
D[>XwL wHB Hkz 1. 描述
P%<aGb4 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
5WtQwN~ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
i/C
-{+}U ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
l`~a}y "n I>YtWY|ed 2. 系统
?34EJ
! p[af[! 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
>Rl0%! 3. 透镜系统组件编辑
CA~em_dC h;4y= UU ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
^5FJ}MMJf ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
~I/>i& |M1 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
( 7rz : ■ 包括序列光学表面和光学介质。
36x5 q 1 0,"n-5Im 4. 光线追迹系统分析器-选项
p ?Ij-uo"o G>_ 42Rp pR@GvweA ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
LoV*YSDAY ■ 可以选择选取光线的方法：
_4XoUE\\ — 在x-y-网格
-Z/6;2Q — 六边形
*1 ID`o — 自由选取
[#,X$O> ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
Gct&}]3p m \U<F\i 5. 系统的3维视图
@2%VU#!m 8IT_mjj C,VqT6E<
6. 其他系统参数
~q#[5l(r8 ■ 系统由单色平面波
照明 6> LQGO ■ 照明波长266.08nm
6/V{>MTZg ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
~' Qpf 8) — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
]'1N_m]? — 一个虚拟屏位于焦平面
[6RV'7`Abj —
光束尺寸探测器置于焦平面
+lDG r/ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
!7,K 9/" 8Jib|#! 7. 光线追迹系统分析器的结果
)z*$`?)k X"qbB4 (I 光线经过整个光学系统的三维视图
{%+3D,$) 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
1= o(sIeA 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
2U+z~ c @ZkX]g =aCIaL&9Y ■ VirtualLab可用于计算点列图。
*~t$k56 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Z>MJ0J76] ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
b 3 %& ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
P7BJ?x U7f& N 9. 焦平面上的结果
r /s&e e z }b U\3! {7M4SC@p| ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
6_` eTL=G ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
m|?"
k38 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
CgT QGJ}- ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
<g|nmu)o$ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
$Zu4tuXA b#\ k Z/W 10. 总结
ETH#IM8J ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
B"E (Y M ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
P". qL 5 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
1WA""yb ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
pS|JDMo I;":O"ij\ （来源：讯技光电）
