示例.0082(1.0)
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8e~< ,Kdvt@vle 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
c ?[A F!.@1Fi1 1. 描述
n cu>
@K$n ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
fv)-o&Q# ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
G;, 2cu
K ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
0;V2>! G*Qk9bk9 2. 系统
yzXwxi1# .-nA#/2- 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
>6(nW:I0y 3. 透镜系统组件编辑
RN!oflb `
R^[s56wp ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
CK.Z-_M ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
Km-lWreTH ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
-6Cxz./#yS ■ 包括序列光学表面和光学介质。
2,dG Rf / I: d<A 4. 光线追迹系统分析器-选项
#B>Hq~ vrC v!40>[?|p ptrLnJ|% ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
]`+>{Sx 1 ■ 可以选择选取光线的方法：
=@B9I<GKf — 在x-y-网格
u},<On — 六边形
zYF'XB]4 — 自由选取
#&&^5r-b- ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
KWU#Swa` XnV|{X%]U 5. 系统的3维视图
(\M&/X~q >WG$!o +R } fSbH
6. 其他系统参数
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LMn ■ 系统由单色平面波
照明 q!}&<w~ | ■ 照明波长266.08nm
:aco$ZNH5 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
^D/*Hp _ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
IOt!A — 一个虚拟屏位于焦平面
]Kil/ Y —
光束尺寸探测器置于焦平面
@l BR;B" ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
dH?;!sJ -`#L rO;n 7. 光线追迹系统分析器的结果
M="% NxuS %- H 光线经过整个光学系统的三维视图
G8eAj%88 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
)%WS(S>8 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
v ;{s@CM m ~M,nCG^4 Qz[~{-< ■ VirtualLab可用于计算点列图。
JF!!)6!2# ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
${mH bqN ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Rnun() plJ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Ij/c@#q. oP_'0h0 X 9. 焦平面上的结果
c tTbvXP =<R77rnY& ejD;lvf ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
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■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
rVFAwbR ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
qD Nqd ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
t~Ds) ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
sR'rY[^/| 2"JIlS;J}7 10. 总结
b8Y1 .y"# ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
3v5]L3 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
prhFA3
rW. ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
A]ciox$AjW ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
{v<Ig{{V ;. /Tv84I^ （来源：讯技光电）
