示例.0082(1.0)
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^pQ]@ t5_`q(: 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
<Z&gAqj 2 rYLNV!_ 1. 描述
OYKV* ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
]D%[GO//! ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
j7W_%Yk|E ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
jfWIP N $xl*P# 2. 系统
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7 OT [t
EqQ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
&a0%7ea`.S 3. 透镜系统组件编辑
Z+}SM]m ?G{fF
H ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
6!'yU=Z ` ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
nQ+{1 C ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
F 6Ol5 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
& #|vGhA k >MgrtJI 4. 光线追迹系统分析器-选项
ux }DWrR MG<~{Y84} c{ <3\ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
] * Hz' ■ 可以选择选取光线的方法：
eDm,8Se — 在x-y-网格
J
h"]iN — 六边形
P~#jvm! — 自由选取
<L`R!} ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
#:yZJS9f9 MVCCh+,GI 5. 系统的3维视图
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6. 其他系统参数
EZHEJW'JnE ■ 系统由单色平面波
照明 nMnc&8r ■ 照明波长266.08nm
XkD_SaL} ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
upJishy&I — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
{k zM*!g — 一个虚拟屏位于焦平面
h~1QmEat —
光束尺寸探测器置于焦平面
!F8
!]"* ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
lN&GfPP6 fG{oi(T 7. 光线追迹系统分析器的结果
{/ Cd ^CK {L0w& ~$Fy 光线经过整个光学系统的三维视图
3ty){#: 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
4 A<c@g2 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
zPXd]jIwV ks;%f34 =_86{ wl k ■ VirtualLab可用于计算点列图。
#i,O
"`4 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
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r O j,D ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
l{R)y TO ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
M{H&5 9v 3l^pY18H ' 9. 焦平面上的结果
:b=0_<G j Hzy1P{? X*~YCF[_ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
<(^pHv7Q ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
- "<f( ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
5YCbFk^ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
;CW$/^QNr5 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
$_VD@YlAp t|q=N K/ 10. 总结
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#6 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
NplSkv ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
8a h] D ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
W1s|7 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
<ZiO[dEV RoTT%c P_ （来源：讯技光电）
