示例.0082(1.0)
g($2Dk_F2 Wne@<+m X 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
kxv1Hn"`{E ?Uo BV$ 1. 描述
b \2
d s, ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
c^W)07-X5y ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
'H;*W |:-] ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
xA*<0O\V Km$\:Xo 2. 系统
x.$FNt(9 gPPkT" 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
| +9&rAg 3. 透镜系统组件编辑
P& Vv /D d2$IH#~9B ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
#H~6 4/ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
s~X%Y<9l ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
vFmZ<C'
) ■ 包括序列光学表面和光学介质。
]Y&VT7+Z e a U 4. 光线追迹系统分析器-选项
eHUOU>&P] 9pfIzs
su3 ~P-mC@C ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
ox.F%)eQ ■ 可以选择选取光线的方法：
pQB."[n — 在x-y-网格
/)O"l @ }U — 六边形
9\(|
D# — 自由选取
1'8Yk hQ2a ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
[$UI8tV hhvyf^o 5. 系统的3维视图
JBZ@'8eqi] d<Tc7vg4|U W(p_.p"
6. 其他系统参数
OY({.uV dX ■ 系统由单色平面波
照明 ?a]mDx>xh ■ 照明波长266.08nm
#/37V2E ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
|R:'\+E — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
e*1_ 8I#2 — 一个虚拟屏位于焦平面
COlaD"Y —
光束尺寸探测器置于焦平面
Xch~
1K ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
veECfR; 5"H=zJ=r 7. 光线追迹系统分析器的结果
K*d Cc}:` BY*8ri^u 光线经过整个光学系统的三维视图
klhtKp_p 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
qqU 64E 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
`Q,H|hp;k; d #wVLmKZ ],].zlN ■ VirtualLab可用于计算点列图。
}Y 4qS ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
?aMOZn? ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
*X}`PF ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
?Mfw]z"\C) yS I !d|_ 9. 焦平面上的结果
w4Z'K& d= ddR >7d}N =Fl^` *n ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
9gZ $
■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
tq?!-x +> ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
FVBYo%Ap ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
NGW xN8P6 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
(7*}-Uy[C =g | FT 10. 总结
i}?>g -( ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
jz0T_\8D` ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
0m ? )ROaJ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
E_LN]v ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
zx7{U8*`< m l$o5 &sN （来源：讯技光电）
