示例.0082(1.0)
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关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
!~l%6Z5 k9xKaJ %1 1. 描述
@#tSx ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
6 {Z\cwP)c ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
n_Y]iAoc` ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
//@=Q!MW ,AM-cwwT:u 2. 系统
0cUt "(] xH[yIfHkG@ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
OJ 5 !+#> 3. 透镜系统组件编辑
? $ c <Y2!c,"
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
*~uuCLv_ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
TMCA?r%Y\ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
uCfp+ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
[]0~9, u UYOn
p7R< 4. 光线追迹系统分析器-选项
6w;|-/:` " G6j UT t *^Y0}?]qT ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
>pvg0Fh ■ 可以选择选取光线的方法：
}z+"3A| — 在x-y-网格
p d3&AsU — 六边形
& }}WP:U — 自由选取
tlgvBRH > ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
p'k+0= )>5k'1 5. 系统的3维视图
5qSZ>DZ SYPMoE!U: am+mXb
6. 其他系统参数
XSjelA? ■ 系统由单色平面波
照明 ~ J{[]wi ■ 照明波长266.08nm
S5KYZ
W ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
!F#aodM1N — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
A]%t0>EL< — 一个虚拟屏位于焦平面
c| ( ? —
光束尺寸探测器置于焦平面
a
BH1J]_ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
A i){,nh`0 :$c:3~ 7. 光线追迹系统分析器的结果
Z[S+L"0 TeCpT2!5j 光线经过整个光学系统的三维视图
cCGXB|9fYR 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
*;E+9^ :V 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
@[lc0_ b ]NV ]@*`tO $uK"@Mw ■ VirtualLab可用于计算点列图。
M2Fj)w2 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
lV6[d8P ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
fR%1FXpK& ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
%`1CE\f RLOQ>vYY 9. 焦平面上的结果
SuH.lCF-g yPh2P5}H> >04>rn#},, ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
L 2.`1Aag ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
UW[{d/.wC ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
g+ 1=5g ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
TT ZxkK ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
7Ljj#!`lUp 'R d*X6dv 10. 总结
# 3 yw
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
{hRie+ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
FEZ"\|I| ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
=l2Dm ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
J2<
QAX ViwpyC'v （来源：讯技光电）
