示例.0082(1.0)
(KDv>@ 5 9ywPWT[^ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
cLD-,v;c /rqaUC )A 1. 描述
& _!g|- ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
yfD) |lK ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Cq0S8O r 0 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
tR]1c H#j oc0?P 2. 系统
=k(~PB^> R {"7q:- 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
,6%{9oW9Z: 3. 透镜系统组件编辑
wP l!}HNf 9N[vNg<n ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
]o(&J7Z6- ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
z
<"7vR ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
PG1#Z?_ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
p5KM(N6f f(O`t }Ed 4. 光线追迹系统分析器-选项
V+()`>44 w:z@!< @
P=eu3 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
J]f\=;z;<a ■ 可以选择选取光线的方法：
2wWL]`(E — 在x-y-网格
G~{xTpL — 六边形
o%Lk 6QA$ — 自由选取
AUnRr +o ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
*XmOWV2Y_ =#i#IF42? 5. 系统的3维视图
GRC=G&G 3:rH1vG.m 2&W(@w T$
6. 其他系统参数
eo4<RDe< ■ 系统由单色平面波
照明 yT42u|xZA ■ 照明波长266.08nm
DlR &Lnv ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
U4_ < — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
BEM+FG — 一个虚拟屏位于焦平面
qVFz-! 6b —
光束尺寸探测器置于焦平面
Q^v8 n1 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
XbJ=lH q4$R?q:^ 7. 光线追迹系统分析器的结果
<?P UF, i&^?p|eKa 光线经过整个光学系统的三维视图
G{ rUqo 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
i4.s_@2Y 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
??rx\*,C</ >R?EJ;h }[PbA4l.g ■ VirtualLab可用于计算点列图。
lC6#EU; ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
d8g3hyI5\ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
V9 "Kro ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
o(~>a }0uSm%," 9. 焦平面上的结果
: H<u@% [^W4%S ?x @B Ze ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
..7"&-?g{4 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
U<eVLfSij ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
<27B*C M ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
-,96Qg4vI ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
?M7nbfy[A@ eF"7[_+D 10. 总结
kT UQ8U ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
(@M=W.M# ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
IqEY.2KN ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
L5cNC Wpo ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
?4q6>ipx t9m: E （来源：讯技光电）
