示例.0082(1.0)
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GEk qe 4hNFq 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
n{d} ]V@ <Q/^[ 1. 描述
xr&wV0O '
■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
3H%R`ha ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
>"jV8%!sM ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
O_K@\<;~ \#1!qeF 2. 系统
bxyEn'vNvQ Fkuq'C<|Y 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
V"%2T z 3. 透镜系统组件编辑
tBtJRi( z{d] ,M ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
fU@ } ] & ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
uYIw ?fXy ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
K~<p D:s ■ 包括序列光学表面和光学介质。
WLiY:X(+ | B, xrZ s 4. 光线追迹系统分析器-选项
7IBm(# 8xj4N%PA m}:";>?# ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
583ej2HPg ■ 可以选择选取光线的方法：
EAF<PMb — 在x-y-网格
($E(^p% O — 六边形
"sz LTC]*6 — 自由选取
#I%< 1c%XA ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
M$FX Dyr e~$MIHBY] 5. 系统的3维视图
$Bz |[= |4-c/@D.~ NhCO C
6. 其他系统参数
\9Itu(<f ■ 系统由单色平面波
照明 m{mK; D
■ 照明波长266.08nm
\4K 8*` $ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Mki(,Y|1~ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
YM3oqS D — 一个虚拟屏位于焦平面
6TfL|W< —
光束尺寸探测器置于焦平面
tFw Q / ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
1)#<nk) I g]$>G0E`oD 7. 光线追迹系统分析器的结果
9`dQ7z.8t LN?T$H 光线经过整个光学系统的三维视图
~#I1!y~` 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
~S|Vd 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
)K@ 20Q+0K W} Nd3 D: JGd$` ■ VirtualLab可用于计算点列图。
`U2PlCf | ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
~Ufcy{x# ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
6 Y&OG >_\ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
i`2Q;Az_P6 d#ld*\| 9. 焦平面上的结果
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1E* 1(q!.lPc ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
EoQ.d|:g ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
Pl1:d{"d ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
gQ?>%t ] ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
(y~da~ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
5U1@wfKE3> 9!bD|-6y 10. 总结
%3xH<$Gq5 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
M_9|YjwS ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
1O(fI|gcO ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
R0. `2= ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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H[-zQ #I9 （来源：讯技光电）
