示例.0082(1.0)
%WP[V{,F :|&6x! 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
d@8: f Y[VXx8"p 1. 描述
8Bc2?NI= ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
< )_#6)z: ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
<%|u1cn~!v ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
@qWClr{` U0|bKU 2. 系统
2t0VbAO 1{ '%+LQ"Bp 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
8"LM:0x 3. 透镜系统组件编辑
.4w"3> BTO l`U ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
b9wC:NgQx ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
_TJk Yz$ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
uHZjpMoM ■ 包括序列光学表面和光学介质。
"-5FUKI- <Vh5`-J 4. 光线追迹系统分析器-选项
SEu:31k{o C= K{;. )-iUUak ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
S,'ekWVD ■ 可以选择选取光线的方法：
" :[;}f; — 在x-y-网格
3qV~C{ S — 六边形
@QYCoEU8J — 自由选取
8{%&P%vf ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
@C('kUX~! YXF^4||j.c 5. 系统的3维视图
gH"a MEC 1x sJz^%V U(~Nm o'
6. 其他系统参数
+,T}x+D ■ 系统由单色平面波
照明 |1<B(iB'{/ ■ 照明波长266.08nm
KA T"!b ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
VVuNU"- — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
bx7hQzoX=b — 一个虚拟屏位于焦平面
W=#jtU`:5 —
光束尺寸探测器置于焦平面
'Vhnio;qC ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
3EA _-? V6Of (;r 7. 光线追迹系统分析器的结果
<8h3 )$ zQGj,EAM} 光线经过整个光学系统的三维视图
;s4e8![o3 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
xkkG#n) 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
Y'}c$*OkI gxVJH'[V5 ZY6%%7?1 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
B>"-8#B[4 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
;ae6h
[ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Fv nf;']q ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
K|;L{[[yH @}%kSn5y: 9. 焦平面上的结果
i1HO> X:ea ~PN[ #e] x;4m@)Mu ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
XNBzA3W ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
{-|El}.M ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
#TgP:t]p ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
5[" n] i ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
N B8Yn\{B & k(tDP 10. 总结
y7z ,I ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
1bCS4fs^> ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
\x_$Pu ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
UyM lk ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
#yCnM] cEn Wx8 cK= （来源：讯技光电）
