示例.0082(1.0)
t 42u b > @_im6 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Xd<t5{bD! V8WFQdXc 1. 描述
.~>?*} ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
7Vu ? ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
D f4+^B,1 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
'OkGReKt +-<}+8G; 2. 系统
%ft &Q r@U3sO#N 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
?m7:if+ y 3. 透镜系统组件编辑
,1oQ cC
foRD{Hx ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
! }f1`/ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
~j>D=! ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
cc}Key@D ■ 包括序列光学表面和光学介质。
q5x[~]? 7 <9yH:1 4. 光线追迹系统分析器-选项
l[Q:}y +k\Uf*wh 4dawg8K`9 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
9Fo fr ■ 可以选择选取光线的方法：
Vw tZLP36 — 在x-y-网格
Bc7V)Y K — 六边形
dY7'OAUyVl — 自由选取
m8R9{LC ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
ritBU:6
YZ c>dE 5. 系统的3维视图
{ZU1x C $e1=xSQp4 gF?[rqz{
6. 其他系统参数
/./"x~@ ■ 系统由单色平面波
照明 g{ IF_ 1 ■ 照明波长266.08nm
t_z,>,BqJ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
#[{3 } %b — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
XV3 C`:b — 一个虚拟屏位于焦平面
Z@a9mFI? —
光束尺寸探测器置于焦平面
\u,}vpp z ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
fKH7xu!V4+ bmgn cwlz 7. 光线追迹系统分析器的结果
XfPFo6 Wj|alH9< 光线经过整个光学系统的三维视图
Q?b14]6im 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
:W#r huzC 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
YB<*"HxM)} j9Yb x# r={c,i ■ VirtualLab可用于计算点列图。
`Z: R Ce^ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
aj8A8ma*} ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
5=Xy,hmnC ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
7SD F z} :y*NM,s 9. 焦平面上的结果
K<? nq0- 4iA Z+l5& &Z(K6U#. ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
qm/ Q65>E ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
ZkL8 e ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
:B3[:MpL} ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
OsBo+fwT ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Jk@]tA woM [Wd-Zn% 10. 总结
;!:U((wv ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
fjvN$NgVs ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
+$4(zP s@ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
'z76 Sa ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
x{D yTtX< =q N2Xg/ （来源：讯技光电）
