示例.0082(1.0)
R1sWhB99 TH [xSg 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
zx #HyO[a *'?aXS -'r 1. 描述
rdQKzJiX=U ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
I
68Y4s ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
r6WSX;K ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
DxM$4 HB|R1<t;HB 2. 系统
y$Nqw9
_'Jz+f. 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
MUQj7.rNa 3. 透镜系统组件编辑
Jy^.L$bt - uk}Fou ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
]Rk4"i ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
}}?,({T|n ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
1hTE^ \W ■ 包括序列光学表面和光学介质。
7 \0}te Ji# eA[ 4. 光线追迹系统分析器-选项
-- >q=hlA *J D-|m K NIo! WOi ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
yg@ 8&;bP` ■ 可以选择选取光线的方法：
rp&XzMwC4 — 在x-y-网格
l('@~-Zy — 六边形
#Sc9&DfX — 自由选取
i! <1&{ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
R:+cumHr
I4"(4u@P 5. 系统的3维视图
A<s zY92&5 iNCT( N~. TCWt3\
6. 其他系统参数
6 l,8ev ■ 系统由单色平面波
照明 5 +DId7d'n ■ 照明波长266.08nm
<jAn~=Uq[, ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Q\W ?qB_ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
/R(]hmW — 一个虚拟屏位于焦平面
btR~LJb —
光束尺寸探测器置于焦平面
UdOO+Z_K% ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
~T^,5Tz1j koojF|H> 7. 光线追迹系统分析器的结果
4 JO[yN 14pyHMOR 光线经过整个光学系统的三维视图
H$Z LtPv5 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
|[_%zV;p>v 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
y*#YIS56I ?E}9TQ @ogj - ol& ■ VirtualLab可用于计算点列图。
.du2;` [$r ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
kNd(KQ<.17 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
PcQ\o>0") ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
JHXtKgFX h!mx/Hx 9. 焦平面上的结果
;#?G2AAv r "|UgCc a=4 `C*) ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
eH ]9"^>
o ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
X> T_Xc ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
$
~Ks !8'P ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
nv <t$r ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
3;JF 5e\?x ()Q#@?c~ 10. 总结
nB;[;dC z ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
c6T[2Ig ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
az1#:Go ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
]++, 7Z\AU ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
~l8w]R3A r"9 h pZH （来源：讯技光电）
