示例.0082(1.0)
t^ #1=nK g \aO:: 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
x\yM|WGL > X~\(|EM 1. 描述
_}{KS, f]0 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
# qd!_oN ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
u Kx:7"KD ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
,N$Q']Td 7 [Us.V@ 2. 系统
[@K'}\U^+ Y>$5j}K 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
rZI63S 3. 透镜系统组件编辑
%`C e#b()' (B#FLoK ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
lxn/97rA ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
htB2?%S=T ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
4M C]s~n ■ 包括序列光学表面和光学介质。
S'x ]c# E~y8X9HZ) 4. 光线追迹系统分析器-选项
igu1s }F qnP4wRpr IADSWzQ@ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
8@3=SO ■ 可以选择选取光线的方法：
2 a@X-Di — 在x-y-网格
^gVQ6=z% — 六边形
}s2CN D — 自由选取
^B.Z 3Y ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
wBt7S !>G N XB8u6 5. 系统的3维视图
+X g:*b9So l0&Fm:))k A
r E~6X
6. 其他系统参数
WsT Idr36x ■ 系统由单色平面波
照明 q/?*|4I ■ 照明波长266.08nm
AO<T6 VK ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
veDv14 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
LJrH_h8C — 一个虚拟屏位于焦平面
60{G
4b) —
光束尺寸探测器置于焦平面
5c5! \g~ ' ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
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P$'PB*5d| 7. 光线追迹系统分析器的结果
:[a*I6 /^ g9C-!X-<T 光线经过整个光学系统的三维视图
s( _z1 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
C
b'| 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
wPU5L*/*i Rd8mn'A W2` 3 p ■ VirtualLab可用于计算点列图。
fBX@
MedC ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
bfeTf66c ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
9@1n :X ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
W~H`{x%Av> - 3(*4)h7 9. 焦平面上的结果
2dz)rjd O, i~x]!! @+;. W>^h ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
jP+{2)z "W ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
Gd!_9S`68 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
G=qlE?j`j ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
pg5W`4-F ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
M8lw;
( ` U0XvWPr[ 10. 总结
@ws&W=NQ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
.XpuD,^;@ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
R1JD { ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
\= ({T_j4 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
&NF$_* \E T Tbe{nb （来源：讯技光电）
