示例.0082(1.0)
d!,V"*S F+9|D 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
T"3WB o >:8GU f* 1. 描述
D_'Zucq ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
7HFw*; ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
\\BblzGMR ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
nAg|m,gA }&ZO
q'B 2. 系统
GQT|T0>Ro /SSl $ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
c}$?k@= 3. 透镜系统组件编辑
_^Rf*G ! $7,n8ddRy ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
. [*6W.X ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
~u7a5 0 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
lZ'NL bK ■ 包括序列光学表面和光学介质。
H2[ S]`? o) sr E5 4. 光线追迹系统分析器-选项
vA"yy"B+ V L7C!r S WY #pzBA ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
-k")#1 ■ 可以选择选取光线的方法：
Q;Xb-\\ — 在x-y-网格
{- tCLkE
3 — 六边形
m8#+w 0p) — 自由选取
LBbk] I ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
`UGHk*DL) pv;}Sv$
]- 5. 系统的3维视图
V] <J^m8 D tt[a Cz8=G;\
6. 其他系统参数
u 0Irf"Ab ■ 系统由单色平面波
照明 XF'K dz>p ■ 照明波长266.08nm
d 6j '[ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
44]/rP_m — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
=X]$J@j — 一个虚拟屏位于焦平面
Gd%KBb —
光束尺寸探测器置于焦平面
`p Oiv&> ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
]FL =E3U ;WWUxrWif 7. 光线追迹系统分析器的结果
=T|Z[/fto ZQZ>{K 光线经过整个光学系统的三维视图
#iJ+}EW
_ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
o&-q.;MY 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
9YwK1[G6/ ,= .& IhhB^E| ■ VirtualLab可用于计算点列图。
wspZ Eu>C; ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
cL?FloPc* ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
DfXXN ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
~L<q9B( @ .q"`)PT 9. 焦平面上的结果
]SA]{id+ g/'CX}g` 0L9z[2sj ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
n3 da@ClBt ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
QI0d:7!W1 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
0sD"Hu ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
h%|Jkx!v-t ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
`%S Fu gf$5pp- 10. 总结
.BuXg<` ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
/J")S?. [u ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
0O5(\8jM ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
}\!&3^I ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
tF}Vs} 9TuE. （来源：讯技光电）
