示例.0082(1.0)
mq(K _ c=a;<,Rzb 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
!c0x^,iE X'%BS 1. 描述
>}C:EnECy ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
u@+^lRGFh ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
f'7/Wj ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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R!\._m?\h 2. 系统
z,@R jaX . lI.I 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
EpCNp FQT< 3. 透镜系统组件编辑
:9q|<[Y^ p_fsEY ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
j xq89x ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
!w KNYe ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
~H[_= ■ 包括序列光学表面和光学介质。
]D^; Ca v0;dk( 4. 光线追迹系统分析器-选项
RaymSh Pp4Q)2X =BV_ ? ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
CHL5@gg@>y ■ 可以选择选取光线的方法：
O -p^S — 在x-y-网格
.\)ek[? — 六边形
cA]PZ*]{BN — 自由选取
uMZ<i} ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
MRK3Cey} % U9 % ^gC 5. 系统的3维视图
hsQ*ozv[) 6$csFW3 R D6\k}4n-
6. 其他系统参数
?8<R)hJ a< ■ 系统由单色平面波
照明 u hwCC ■ 照明波长266.08nm
tqKX\N=5^ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
g`"_+x' — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
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— 一个虚拟屏位于焦平面
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光束尺寸探测器置于焦平面
N]|)O] /[ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
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G 7. 光线追迹系统分析器的结果
:/fT8KCwo cz$*6P<9J 光线经过整个光学系统的三维视图
`{}DLaD9 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
_gCi@uXS3 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
e4 .G9( BG]|iHi COH>B1W@ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
h<!!r ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
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■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
}|c-i.0= ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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0# Dd)L~`k{) 9. 焦平面上的结果
DM(c :+K- r#6dj s1 N'% l/ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
@4]dv > Z ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
/86PqKU(P ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
E/>k vs% ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
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Mmy ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
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cZZ< 10. 总结
<VT|R~ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
~eekv5 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
"z{ rC} ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
TM,Fab & ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
&^B;1ZMHD nYnv.5 （来源：讯技光电）
