示例.0082(1.0)
&P&LjHFK a'w~7y!} 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
}}XYV eI edhNQWn 1. 描述
brJ _ q0@ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
`k6 5&]&d ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
_n gyai1 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
knX0b $$ a&~_ba+ 2. 系统
MZf$8 R 6\ /x 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
<`*}$Zh 3. 透镜系统组件编辑
S (] (C ^'i(@{{o\ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
w#eD5y~'oo ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
Ed ,`1+ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
:G9+ -z{Y& ■ 包括序列光学表面和光学介质。
SCE5|3j L+Yn}"gIs 4. 光线追迹系统分析器-选项
!s#25}9zX5 tWQ_.,ld o^;$-O!/ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
g1VdP[ Y# ■ 可以选择选取光线的方法：
+[*VU2f t — 在x-y-网格
yC !`6$ — 六边形
1VK ?Svnd — 自由选取
ZB GLwe ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
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{]<l|qK 5. 系统的3维视图
IRNL(9H XVAy uuTg\ 
3}=r.\]U 6. 其他系统参数
,<F =\G_f ■ 系统由单色平面波
照明 b {<qt} ) ■ 照明波长266.08nm
D_
xPa ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
9{|JmgO! — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
GqumH/; — 一个虚拟屏位于焦平面
9Y!N\-x` —
光束尺寸探测器置于焦平面
R/r)l<X@ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
90> (`pI= F>Rz}-Fy 7. 光线追迹系统分析器的结果
>f #P( jZeY^T)f" 光线经过整个光学系统的三维视图
q 65KxOf` 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
)z-)S 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
0xrr9X< zbK=yOIOd lP& 7U ■ VirtualLab可用于计算点列图。
,/AwR?m ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
\Km!# : ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
P:h;" ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
:+{G|goZ* '^ b B+ 9. 焦平面上的结果
=r"8 J5 [f S[, ! |niYN7 17 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
.g Tla ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
&v|Uy}h&%1 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
> Jh*S`e ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
i2KN^"v?N ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
X.hU23w I Wcgh`8 10. 总结
l+!!S"=8)~ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
.z Q:u{FT ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
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VLr ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
wBZ=IMDu\ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
| N_tVE -V0_%Smc （来源：讯技光电）
