示例.0082(1.0)
"zeJ4f sS1J.R 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
11@2 ;vw +Qi52OG 1. 描述
1E AVMJ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
Zjp5\+hHV ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
P/gb+V=g! ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
@]ptY* d4 /`:?w 2. 系统
gGiV1jN _ v_@#hf3 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
_Okn P2E 3. 透镜系统组件编辑
1 <qVN'[ 2=/g~rp* ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
Kz3h]/A . ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
S] K6 q Y ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
;qVEI/ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
vVAZSR# tEWj}rX 4. 光线追迹系统分析器-选项
lc$@Jjg9 6ImV5^l G |PIH# ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
l=-d K_ I? ■ 可以选择选取光线的方法：
&PQ{e8w — 在x-y-网格
c@o/Cv — 六边形
;aRWJG — 自由选取
A]SB c2 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
|E_+*1l q. xU\:Vid +A 5. 系统的3维视图
9J;H.:WH fssL'DD 
AZ]SRz9mKY 6. 其他系统参数
e2h k ■ 系统由单色平面波
照明 s<r.+zqW ■ 照明波长266.08nm
x4m_(Ct K ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Aya;ycsgE — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
%wjU^Urya — 一个虚拟屏位于焦平面
/w xxcq —
光束尺寸探测器置于焦平面
x]d"|jmVZ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
m1$P3tZPn Wn,g!rB^@ 7. 光线追迹系统分析器的结果
e~
78'UH u, SX`6% 光线经过整个光学系统的三维视图
1'U%7#;E 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
_8b >r1$ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
%{VI-CQ k2tX$ \E ]MA)=' ~ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
TcKKI ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
g`8
mh&u% ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
x]J-q5 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
8H `l " \FY De 9. 焦平面上的结果
w sGq>F~ (_n8$3T75 cSs/XJZ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
mlw BATi ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
B3+WOf5W ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
U#1yl6e\I ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
cCbr-Z& ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
0?L$)T-B Tx?@* Q 10. 总结
qF6%XKbh= ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
xo 'w+Av ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
i K[8At"Xo ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
!zJ67-G ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
o-CJdOS 2u;fT {( （来源：讯技光电）
