示例.0082(1.0)
?{Z0g+B1 P`v~L ;f 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
r:Tb{cA Hjkgy%N 1. 描述
W3j|% ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
rNO;yL4)ey ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
c&W.slE6 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
c<x6_H6[8 x5Pt\/ow 2. 系统
' a[|}nJ3 K:Go%3~, 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
V2* |j8| 3. 透镜系统组件编辑
k.Nu(j "z =KD*+.'\/ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
( 6^k;j ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
-$ft `Ih ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
nx ]b\A ■ 包括序列光学表面和光学介质。
\ +A<s,x 9\0 K%LL 4. 光线追迹系统分析器-选项
&fj?hYAj *0zH5c ]V("^.~$+C ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
<TuSU[ ] ■ 可以选择选取光线的方法：
a][Z;g — 在x-y-网格
1uQf} — 六边形
sYgnH:t X — 自由选取
Jjq% cA ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
R/YL1s H
>{K]7D/y 5. 系统的3维视图
$8}'6, .?j8{> 
/Q_\h+ ` 6. 其他系统参数
kl9z;(6p ■ 系统由单色平面波
照明 3dphS ^X ■ 照明波长266.08nm
$O -, :<HY ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
c[7qnSH — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
"c*|vE — 一个虚拟屏位于焦平面
YTh4&wm —
光束尺寸探测器置于焦平面
dfcG'+RU} ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
:wAB"TCt0 A UV$ S2 7. 光线追迹系统分析器的结果
N f'9]I rXX|?9 ' 光线经过整个光学系统的三维视图
uHCgIR
l> 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
0wcWDE
9 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
bb/MnhB r&DK> H ,oe{@ z{*@ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
C%>7mz-v5 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
uy{KV"%"^g ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
^*Fkt(ida ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
dp+Y?ufr mio'm 9. 焦平面上的结果
}VRo: sJb B)dynGF8i sSK$ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
@= c='V] ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
k:xV[9ev: ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
+s}28U! ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
B=Os?'2[ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
= x}/q4}L quYZD6IH 10. 总结
5ntP{p%> ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
R[;Z<K\Nn? ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
^B9wmxe ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
|M_Bbo@ud ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
KK?~i[aL z wW9>Y （来源：讯技光电）
