示例.0082(1.0)
a,o)i8G9R< evf){XhT;n 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
7"F
w8 ;k =W)Fa6P3j( 1. 描述
C 5QPt ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
2<}^m/} ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
xP 3 _ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
y
X ZZ)i_ {\22C `9t 2. 系统
}h<\qvCcU kzr9-$eb 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
DUf=\p6`f 3. 透镜系统组件编辑
KL]K< A G1 M}g8 ]h ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
[0CoQ5:d?& ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
%Qc#v$;+J ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
7uJy<O
■ 包括序列光学表面和光学介质。
DG8]FhD^b /b,+YyWi% 4. 光线追迹系统分析器-选项
2|F.J G^ V ~w(^;o@ `+$'bNPn& ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
Sr~zN:wn ■ 可以选择选取光线的方法：
[oOZ6\?HB — 在x-y-网格
S!8eY `C. — 六边形
E ^L — 自由选取
o:#l r{ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
r/=v;4.W \1D~4Gz6} 5. 系统的3维视图
Py\xN STu!v5XY}- ,(Fo%.j
6. 其他系统参数
a`(6hL3 IT ■ 系统由单色平面波
照明 @ & #df ■ 照明波长266.08nm
=Z_\8 qc ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
dluNA(Xc- — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
"L.)ML — 一个虚拟屏位于焦平面
cv;&ff2%? —
光束尺寸探测器置于焦平面
;k^wn)JE$ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
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a 7. 光线追迹系统分析器的结果
<&TAN L ,eO OV@3C 光线经过整个光学系统的三维视图
6~?7CK 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
0trVmWQ8 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
8lI#D)} 9 Am&G Ei Wy` H; ■ VirtualLab可用于计算点列图。
Qi2yaEB ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
<ro0}%-z>M ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
1i#uKKwE ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
NUiZ!& ~\4l*$3(^ 9. 焦平面上的结果
LtbL[z>] l_iucN 4>>{}c!nf ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
WK0?$[|=r ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
SSycQ4[{o ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
D|Wekhm ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
kW\=Z 1\# ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
67%eAS ^Tc&?\3 10. 总结
G U~?S'{ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
{ ,.1KtrSN ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
GjE/!6b ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
|vz< FR6 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
LSlaz j(F%uUpN （来源：讯技光电）
