示例.0082(1.0)
<%`z:G3 _xP@kN~ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
$T2zs$ ].gC9@C:$i 1. 描述
z7*mT}Q ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
!<>`G0 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
O=Vj*G , ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
m {6 *ae ,=}+.ax 2. 系统
C[JPohm u,@x7a,z 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
@Z~0!VY 3. 透镜系统组件编辑
J8`vk#5 .noY[P 8i ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
O<0-`=W,a ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
) . H nK ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
xSjs+Y;Mu ■ 包括序列光学表面和光学介质。
.lppT)P mw=keY9] 4. 光线追迹系统分析器-选项
7I6& *I !z?:Y#P3 & =vi]z:[ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
'p'nAB''! ■ 可以选择选取光线的方法：
P-\T BS_O — 在x-y-网格
:Us NiR=l — 六边形
NVo = 5 — 自由选取
N5fMMi(O ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
qI gb;=V }9&~+Q2 5. 系统的3维视图
k5GJrK+ 9KZLlEk5O 
ZCkwK 6. 其他系统参数
/57)y_ \ ■ 系统由单色平面波
照明 p \,PY ■ 照明波长266.08nm
zDA;FKZPp ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
zQ, ymf T — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Hh<}~s — 一个虚拟屏位于焦平面
j} DG +M —
光束尺寸探测器置于焦平面
j&=!F 3[ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
? $X1X`@ & Pzr)W( 7. 光线追迹系统分析器的结果
,O"zz7 EWoGdH| 光线经过整个光学系统的三维视图
0SWec7G 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
lA7\c# 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
/ CVhvK 09rbu\h |=4imM7 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
W- @}q}A ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
\ !:^=2VF ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Yf,U2A\ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Ja#ti y 9mH/xP:y 9. 焦平面上的结果
n8> ( m, ,Tc598 D FOd)zU*L2 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
!BW6l)= L ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
+}0/ %5 =1 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
[CJr8Qn ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
&8u q5uKg ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
g)#neEA J -XtDGNH F 10. 总结
Qf }b3WEAI ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
ey>V^F j ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
(Y%pk76d ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
J(\f(jh / ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
sKI{AHJ?X p+ bT{: （来源：讯技光电）
