示例.0082(1.0)
zK~8@{l}_" OU%"dmSDk 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
qY8; k
# N9 M}H# 1. 描述
S|tA%2z ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
a?+C]u?_D ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
;xiN<f4B ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
mbbhz, 8J'5%$3u 2. 系统
ra*|HcLD 1R8tR#l 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
dY}5Kmt 3. 透镜系统组件编辑
A x8 > 0J'^<G TL ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
?<t ?G ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
pP.`+vPi ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
&'12,'8 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
F'[Y.tA ,# 9ad)=3A&L 4. 光线追迹系统分析器-选项
L;:PeYPL S*G^U1Sc+ [xM&Jdf8 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
_qPKdGoM ■ 可以选择选取光线的方法：
@lDnD%vZ` — 在x-y-网格
|Jx:#OM — 六边形
eg*a Vb — 自由选取
O<p=&=TD7 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
h$`m0-'
bMc[0 5. 系统的3维视图
8g8eY p G ,K}"o~z A v>v\ :.>
6. 其他系统参数
f `ibP6% ■ 系统由单色平面波
照明 ,$t1LV;o= ■ 照明波长266.08nm
392(N( ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
k
76<CX — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
SN"Y@y)= — 一个虚拟屏位于焦平面
1@I#Fv —
光束尺寸探测器置于焦平面
W 3/]
2"0 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
vW.f`J,\D' U:~]> B $ 7. 光线追迹系统分析器的结果
mQVlE__ub bJPKe]spJ= 光线经过整个光学系统的三维视图
tOVTHx3E] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
{=?[:5 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
|(tl
a_LE <=|^\r
!}& =C$"e4%Be ■ VirtualLab可用于计算点列图。
56YqYu. ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
'J*'{ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
el$@^Wy&$ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
l$!ExXEZO; =g6~2p=H 9. 焦平面上的结果
&^&0,g?To |^Yz*r?BJ N68]r 3/K ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
93Gj#Mk ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
m~=VUhPd ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
%ho?KU2j ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
N4qBCBr( ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
_T.`+0UV *eXs7 "H 10. 总结
Edc3YSg%; ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
3s]o~I 2x ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
}Uj-R3]}K ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
"MzBy)4Q ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
bhDqRM jK\kASwG （来源：讯技光电）
