示例.0082(1.0)
>+<b_q |P yQ^, >eh 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
a:GM|X c ?<)!9: 1. 描述
iM7 ^ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
3O 4,LXdA ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
vC1fKo\p ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
rF}Q(<Y8 6 (!b)<V * 2. 系统
"] 2^O 3H< %\SYp 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
u ,:hT]
~+ 3. 透镜系统组件编辑
Hr=|xw8. P9:5kiP H ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
,j{tGj_ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
:!cK?H$+ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
&=S:I!9;; ■ 包括序列光学表面和光学介质。
G2y1S/ kWa5=BW2f 4. 光线追迹系统分析器-选项
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tl$P[T g/6 8&
M
PPy~dp ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
? Hdu=+ZV ■ 可以选择选取光线的方法：
^kC!a> & — 在x-y-网格
l -nH — 六边形
V=fh;p — 自由选取
[f { qb\ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
8G$ BQ ,?jc0L.'r] 5. 系统的3维视图
!#%>,X#+ 7.
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15U
6. 其他系统参数
s 8's(*] ■ 系统由单色平面波
照明 mA.,.< xE@ ■ 照明波长266.08nm
DC/Czkv9 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
w \D
!e — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
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k)a — 一个虚拟屏位于焦平面
RhB)AUAj —
光束尺寸探测器置于焦平面
QL7.Q G
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
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q?V )\D{5 j 7. 光线追迹系统分析器的结果
|ssl0/nk )HI\T]; 光线经过整个光学系统的三维视图
C+M]"{Y+ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
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)h":2 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
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dR_6j} 32H F&P+0% ■ VirtualLab可用于计算点列图。
JF~9efWe> ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
~Gh7i>n* ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
|cnps$fk~ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
!"yr;t>|Zb 5oCg&aT 9. 焦平面上的结果
_x""-X~OL l(87s^_ & b^~0Z ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
(K8Ob3zN_ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
?ZGsh7<k ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
>W >Ei(f ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
<"K*O9 nst ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
})70S8k YU8]W% 10. 总结
ilK*Xo ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
/i27F2NQm ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
U/kQw rM ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
vOz1 & |;D ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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zC %1jcY0zEQ （来源：讯技光电）
