示例.0082(1.0)
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R 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
@ajdO/?(Y FLsJ<C~/~ 1. 描述
'YN:cr,V ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
KIuj;|!q ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
U\{I09@E 0 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
^|U5@u_ y4n~gTo(? 2. 系统
]*$o qn=m kMzDmgoxNg 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
|d42?7} 3. 透镜系统组件编辑
iH>JR[A [ D?xd/G ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
C_[
d ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
C2iOF /4 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
RM%Z"pc Y6 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
o+^e+ptc <VN< ~sz 4. 光线追迹系统分析器-选项
HF& d HD2f <T'fJc R `N7e rM ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
uuUj IZCtz ■ 可以选择选取光线的方法：
/'v!{m — 在x-y-网格
Uq% |v — 六边形
CpgaQG^ — 自由选取
2mx }bj8 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
RHu,t5, Br$/hn= 5. 系统的3维视图
'r^' wv] ``Um$i~e% 
zZ<~yi3A9 6. 其他系统参数
*:l$ud ■ 系统由单色平面波
照明 (d
<pxx ■ 照明波长266.08nm
z;0]T=g ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
{qry2ZT5 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
h^ K>( x — 一个虚拟屏位于焦平面
LXe'{W+bk —
光束尺寸探测器置于焦平面
]?jmRk^ . ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
-x/g+T- cwUor}<| 7. 光线追迹系统分析器的结果
b]8\% =d ws]d ,] 光线经过整个光学系统的三维视图
brn>FFAwO 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
127@
TN" 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
3
}rx( @zix %x 5kv]k? ■ VirtualLab可用于计算点列图。
$ - Z/UHT ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
mL, {ZL ^ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
M?$tHA~OX ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
D >wo>,G Qbj:^{`>( 9. 焦平面上的结果
Gg7ZSB 7 C|ou7g4'p *41WZ E ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
! }awlv; ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
L\<J|87p? ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
0ENqK2 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
wK%x|%R[ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
;u%4K$ pq5bK0N Q 10. 总结
abV,]x&.0 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
'ka"0~:NS{ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Au?(_*/0 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
%x$mAOUv ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
&cx]7:; t`4o&vsj= （来源：讯技光电）
