示例.0082(1.0)
Zcf?4{Kd?
M%6{A+( 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Z T|E1[Q 1Um V & 1. 描述
+]I7) ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
Ig S.U ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
fxyPh ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
Z*` CK^^~ !d"J,. ) 2. 系统
]Nm_<%lT bBg?x
4bu 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
,V |>nkQ 3. 透镜系统组件编辑
FIW*N r &@{ Ba~S ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
B_@> HZ\& ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
A;{8\e ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
yyBfLPXZ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
4Tq%V|5"& m]&d TZV 4. 光线追迹系统分析器-选项
xe%+Yb] wUl}x)xo fr:RiOPn ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
R3.tkFZq] ■ 可以选择选取光线的方法：
{n |Ra[9_ — 在x-y-网格
bJGT^N@ — 六边形
DBVe69/S — 自由选取
$|sRj!F ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
Ro? 4tGn kOJs; k 5. 系统的3维视图
&Du !*V4A | } .Y&1@U 
`MEH / 6. 其他系统参数
hPhN7E03 ■ 系统由单色平面波
照明 ~
]o .Mv a ■ 照明波长266.08nm
"r.pU(uxt ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
uKhfZSx0 w — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
t0Ec` +) — 一个虚拟屏位于焦平面
~`
#t?1SP —
光束尺寸探测器置于焦平面
27w]Q_ C ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
gdHPi; ?hsOhUs(5 7. 光线追迹系统分析器的结果
Z]"ktb;+[ ! QP~#a% 光线经过整个光学系统的三维视图
R.+Q K6B& 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
/_ _we[$E 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
I
gA0RY1 d;)Im
" :`oY D ■ VirtualLab可用于计算点列图。
uFG]8pj2V1 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
3Pkzzyk_|D ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
E^Q| v45d ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
+KXg&A/^ Oh-HfJyi 9. 焦平面上的结果
3 uhwoE \jZvP`.2 (g4.bbEm ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
9C3q4.$D ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
>8 o RO ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
9LzQp`In ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Hi <{c ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
EC&w9:R M}3>5*! = 10. 总结
-=O9D- x= ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
_T8#36iR ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
;lnh;0B ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
kcM9
,bG ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
V5% B ,.d: >*{\N^:z （来源：讯技光电）
