示例.0082(1.0)
EI/_= .d L x(Y= 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
NEK;'" ~ VpJ2Qpd= 1. 描述
&;C|=8eB ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
^yBx.GrQc ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
,9q5jOnk ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
m 2\ ZnC b %pLjvU 2. 系统
u6|7P<HUfb o>j3<#? 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
ukhI'alS, 3. 透镜系统组件编辑
< v0 d 8 i\,#Z! ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
5)EnOT"' ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
q?\3m3GM ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
v`no d I ■ 包括序列光学表面和光学介质。
=SLJkw&w6 u QCQ$ 4. 光线追迹系统分析器-选项
u* PN1E zJtYy4jI) 9I.="b=J) ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
E# ti ■ 可以选择选取光线的方法：
|-Y,:sY: — 在x-y-网格
Q2iu}~ — 六边形
M|76,2u — 自由选取
G?YKm1:w ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
GndF!#?N( 5a4;d+ 5. 系统的3维视图
vE& 3O$Q>.0 w/ wVw3YIN#
6. 其他系统参数
*Q5/d9B8TN ■ 系统由单色平面波
照明 cojuU=i ■ 照明波长266.08nm
@u$4{sjgf\ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Z?1.Y7Npr — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
X@ jml$ ;$ — 一个虚拟屏位于焦平面
T2^ @x9 —
光束尺寸探测器置于焦平面
'rU 5VrK ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
WM*7p;t@) 2sWM(SN 7. 光线追迹系统分析器的结果
"4i(5|whp? B
ljZ&wZW 光线经过整个光学系统的三维视图
3X% >xUI 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
XCQ =`3f 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
Nc FHvK >CNH= ~?S/0]?c ■ VirtualLab可用于计算点列图。
LXfDXXF ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
q=g;TAXZl ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
:C>slxY ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
mWCY%o@ bi[vs| 9. 焦平面上的结果
*G2p;n=2 BW z*!( Bo)w#X ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
JKXs/r;: ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
l}K {=%U>7 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
|*jnJWH4: ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
B0nkHm.Sj ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
A fFF u\ #!C/~"Y*`| 10. 总结
jh2D 9h ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
1kvBQ1+ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
->$Do$ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
'+5 *ajP< ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
,7z.%g3+z $oe:km1-D （来源：讯技光电）
