示例.0082(1.0)
]0[ot$Da6 < G`1(,g 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
o^MoU2c @8+v6z 1. 描述
{"2CI^!/U. ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
TJ_6:;4,|_ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
{`T^ &b k ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
[tElt4uG ,A)Z .OWOq 2. 系统
Q#.E-\=^ OdNcuiLa 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
8 OO[Le]1 3. 透镜系统组件编辑
fO
.=i1
E} m~fDDQs ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
c@)?V>oe ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
u8`S*i/)m ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
(d
(>0YMv ■ 包括序列光学表面和光学介质。
jW-;Y/S !(viXV5 4. 光线追迹系统分析器-选项
!^v~hD$_q m|t\w|B2 zr_L
V_e ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
vy2"B ch ■ 可以选择选取光线的方法：
9_e_Ne`i`? — 在x-y-网格
b&
-8/t — 六边形
/L@6Ae — 自由选取
~C>Q+tR8 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
ir >+p>s. KaH e( 5. 系统的3维视图
F-
u"zox n2Mpo\2 
(T O<SY3AB 6. 其他系统参数
t~nW &]E ■ 系统由单色平面波
照明 V0&7 MY * ■ 照明波长266.08nm
kC 6Y?g ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Y6d~hL C — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
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&{N| — 一个虚拟屏位于焦平面
C3~~h|: —
光束尺寸探测器置于焦平面
Ro<x #Uo ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
?4Fev_5m V B T 66kV 7. 光线追迹系统分析器的结果
;OD-?bC </?ef& 光线经过整个光学系统的三维视图
|W@Ko%om 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
Wg,@S*x ( 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
3>73s}3 81(\8#./ %L7D C` ■ VirtualLab可用于计算点列图。
vv<\LN0 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
8Q{9AoQ3' ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
P4c3kO0 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
EM! S ;i jO|`aUY Tf 9. 焦平面上的结果
8*&73cp pv&iJ7RN #F2DEo^0 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
QZa^ Cng~ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
d(R8^v/L ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
h4MBw=Tz~ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
@~N"MsF3 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
)1R[X!KQ7 @H( 7Mt 10. 总结
aRI. &3- ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
,1lW`Krx ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
dn Xu(e% ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
C=U4z|Ym ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
X} C8!LA HU4h.Lm （来源：讯技光电）
