示例.0082(1.0)
;m7~!m) 1`1jSx5}. 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
`YUeVz>q? yEMM@5W)8 1. 描述
F Uz1P ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
L 8q#_k ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
8[ .&ca/[ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
S }fQis )Tieef*Q~ 2. 系统
KWxTN|> qzNXz_#+u 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
/0cm7[a ? 3. 透镜系统组件编辑
{Q[ G/=mx n*ROlCxV ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
e_-7,5Co ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
fK ~8h ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
"@5qjLz] ■ 包括序列光学表面和光学介质。
P l!E$
5VpqDL~d 4. 光线追迹系统分析器-选项
'gXD?ARW l-cBN^^ }9^'etD ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
{\`y)k 7 ■ 可以选择选取光线的方法：
@{U UB=}9 — 在x-y-网格
33KCO — 六边形
!VaC=I^{ — 自由选取
Jhj H_) ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
C:t?HLY)fG ur E7ZKdI 5. 系统的3维视图
~%lA! tsek +8W5amk.P| 2D:,(
6. 其他系统参数
$9j>oUG ■ 系统由单色平面波
照明 L agk ■ 照明波长266.08nm
oOc-1C
y ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
q"@ #FS — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Q=> 5@sZB — 一个虚拟屏位于焦平面
d2NFdBoI —
光束尺寸探测器置于焦平面
kGs\"zZM ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
u Fw1% j!kJ@l bP 7. 光线追迹系统分析器的结果
*zN~x(0{E mR|5$1[b 光线经过整个光学系统的三维视图
`&.qHw) 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
Sk"hqF.2 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
?&zi{N 3s| :7 OiXO <1'$ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
+} 1zw< ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
>Ut: -}CS ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
1=5HQ~|[TO ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Qe7=6< oemN$g &7 9. 焦平面上的结果
h)fsLzn]Tf y$bY
8L ? % 8%1d ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
M9o/ 6 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
]cv|d c= ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
Z*f%R\u ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
k0N>J8y ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
!'rdHSy qy.$5-e:[9 10. 总结
ra6\+M~}e ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
jUKMDl H ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
yGNpx3H
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
2 H SFMgy ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
T n/Z s| ]T|$nwQ （来源：讯技光电）
