示例.0082(1.0)
|iS d< j.or:nF 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
NhJ]X cfP8 |z1er"zR ) 1. 描述
/5M0[C E ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
*WMI<w~_ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
>V1vw7Pa ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
Hw2 9V // Jj%" 2. 系统
k6 eh$*! r c++c,= 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
D] tI's1 3. 透镜系统组件编辑
`4IZ 4sPi pNUe|b+P ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
HE!"3S2S&+ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
Z?JR 6;@W ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
6sjd:~J: ■ 包括序列光学表面和光学介质。
zD^*->`p gug9cmA/Q7 4. 光线追迹系统分析器-选项
"t0l)P*C} Z=R 6?jU*n 65 ]>6D43 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
iy!SqC ■ 可以选择选取光线的方法：
) KvGJo)(" — 在x-y-网格
h4ozwVA — 六边形
Q l#y7HW — 自由选取
B<$(Nb5< ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
U pTVLx^c 5nV IC3N+1 5. 系统的3维视图
LO;7NK DyPHQ}G N =T 0Td
6. 其他系统参数
qt{lZ_$ ■ 系统由单色平面波
照明 ,tTq25~H \ ■ 照明波长266.08nm
^t}1 $H ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
%fu V] — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
LA]UIM@ — 一个虚拟屏位于焦平面
-#Bk —
光束尺寸探测器置于焦平面
^V}c8 P| ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
O,PTY^ lxsn(- j 7. 光线追迹系统分析器的结果
'vwu^u? #_SsSD=.Sy 光线经过整个光学系统的三维视图
3d`u! i?/ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
u']}Z% A9` 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
oNhCa>)/ -{XDQ{z<% 3*zywcT H ■ VirtualLab可用于计算点列图。
SPT?Tt ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
[a_ 'pAH ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
?WP *At0 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
gb{8SG5ac lFtH;h,==v 9. 焦平面上的结果
^ItL_ 4 ~ _SR cM{ 8'PK}heBU ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
5<XWbGW ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
Skg}/Ek ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
: al
,zxs ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
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?,[ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
&gF9VY MWv(/_b 10. 总结
Q{| _"sf J ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
p`2Q6 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
L1#_ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
1'! D
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
d@%PT SX cT5BB R （来源：讯技光电）
