示例.0082(1.0)
E9 w"?_A) hltUf5m'b 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
8ly Ng w1 2q
UX"a4 1. 描述
RT2&^9- ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
yO /'}FD ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
e< G[!m ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
.kyes4Z q&&uX-ez5W 2. 系统
v+i==vxg 9&HaEAme 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
M<x><U#]A 3. 透镜系统组件编辑
lmIphOUoIw np\*r|U ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
C,8@V` ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
S#0C^ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
e
+jp,>(v ■ 包括序列光学表面和光学介质。
Odm1;\=Eg+ kaRjv 4. 光线追迹系统分析器-选项
-dw/wH f" " HLh3L~ m;sYg ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
8} X>u2t ■ 可以选择选取光线的方法：
Oiw!d6"Ovq — 在x-y-网格
% C)|fDwN — 六边形
3W [Ps?G — 自由选取
_$mS=G( ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
X;{U? `b- CHdYY7\{ 5. 系统的3维视图
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"/x/]Qx2 
QvzE:]pyi 6. 其他系统参数
{\ VmNnw ■ 系统由单色平面波
照明 9S?b &] ■ 照明波长266.08nm
i7?OZh*f ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
U9Lo0 K — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
0Rn`63# — 一个虚拟屏位于焦平面
m;<5QK8f —
光束尺寸探测器置于焦平面
r2&/Ii+ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
QaOF l` i s{fL~}Yz 7. 光线追迹系统分析器的结果
i;J*9B_U O_D;_v6Ii+ 光线经过整个光学系统的三维视图
c ;'7o=rr 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
6a6N$v" 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
j2|UuWU +7t: /_b~ xQ=L2p X ■ VirtualLab可用于计算点列图。
++}#pl8e ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
UvGX+M,z' ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
i,/Q.XL ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
zENo2#{_N ra]\!;}L0 9. 焦平面上的结果
PR>%@-Vgj k") 3 R}mX HmpV;
<t3 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
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=(P ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
K
st2.Yy ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
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t:k? ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
&^ =Y76 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
L_AQS9a^D HF%)ip+ 10. 总结
! ?m8UE ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
p|=0EWo4U ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
t<qXXQ&5 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
KkZ o|\V ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
g k"J+uM -axmfE?g0 （来源：讯技光电）
