示例.0082(1.0)
Y*]l|)a6_] ?6_"nT*} 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Dwm@E\^ihm D }=/w+ 1. 描述
buMiJzU ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
~{52JeUc P ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Dx p > ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
xCDA1y;j ~YR <SV\{ 2. 系统
ux" D
]P e'}ePvN 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Pu/-Qpqh 3. 透镜系统组件编辑
[)C)p*!Y) _OyP>| L' ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
bxPY'& ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
3n}s CEt= ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
hY4)W ■ 包括序列光学表面和光学介质。
CuV=C
Ay> R#[Qoy J 4. 光线追迹系统分析器-选项
n1k$)S$iiy a #OhWqu$ PV Q#>_~5 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
XcJ'm{=
■ 可以选择选取光线的方法：
Wo1V$[`Dy — 在x-y-网格
/ze_{{o — 六边形
3:02`;3 — 自由选取
h4$OXKme? ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
/
y":/" h 3 cV+A ]i 5. 系统的3维视图
gMoy y Q(!}t"u '.}6] l
6. 其他系统参数
Os]!B2j14 ■ 系统由单色平面波
照明 eNlF2M ■ 照明波长266.08nm
IlC:dA ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
D>"{H7m Y — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
b _K?ocq — 一个虚拟屏位于焦平面
f:JYG]E & —
光束尺寸探测器置于焦平面
P?3YHa^up ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
$2 +$,: 3^iQe"P%a@ 7. 光线追迹系统分析器的结果
n+RUPZ q~:'R 光线经过整个光学系统的三维视图
K{r1&O>W 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
[][:/~q! 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
"0!eb3n r['=a/.C ,h5-rw' ■ VirtualLab可用于计算点列图。
;s!ns N ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
/!&b '7y ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
R"\u b"] ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
U#~nN+SIt `|ck5DZT5L 9. 焦平面上的结果
^V0{Ew /x @88z{ 2gC&R1 H ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
.$ P2W0G ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
2A18hP`^ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
M#8 Ao4
T ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
J*q=C%}. ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Zc' >}X[G BF1O|Q|d6 10. 总结
lJz?QI1 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
T$N08aju# ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
8ZDqqz^C0 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
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Q ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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<g （来源：讯技光电）
