示例.0082(1.0)
xJ|Z]m=d
&sPu 3.p 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
IRDD
]GHx<5Q:\ 1. 描述
gq?~*4H ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
e-o$bf% ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
'P)[=+O ?t ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
9\NP)Vm$^ A}n5dg0 u 2. 系统
c\eT`.ENk 3_ k3U 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
1 ^=[k 3. 透镜系统组件编辑
:!g zx n t!vlZ Nc ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
L`Q9-#Y ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
|=}v^ o ZC ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
5 'O.l$)y ■ 包括序列光学表面和光学介质。
9 ]/j u 8 uhB&qxB 4. 光线追迹系统分析器-选项
] z / 38q0iAH O0<GFL$)& ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
su]ywVoRT ■ 可以选择选取光线的方法：
(vf5qF^ — 在x-y-网格
\ \~4$Ai[ — 六边形
x@>^ c:-f — 自由选取
?rH=< #@ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
a'|Dm7'4t 1&}^{ Ys 5. 系统的3维视图
}GTy {Y *& N[,/ VCW gb0ZGnI
6. 其他系统参数
&U/~*{ ■ 系统由单色平面波
照明 0H{0aQQ ■ 照明波长266.08nm
?` O Dt]s ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
dQL!
>6a — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
pBu~($%d — 一个虚拟屏位于焦平面
8m"5J-uIi —
光束尺寸探测器置于焦平面
gBG.3\[ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
#TSL gV'U CSooJ1Ep~' 7. 光线追迹系统分析器的结果
&hYjQ&n -0doL ^A 光线经过整个光学系统的三维视图
SB[,}h<u1 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
WH$
Ls(' 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
7u^6`P w8g36v*+(u $bKa"T* ■ VirtualLab可用于计算点列图。
5OUe |mS ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
2={ g 'k( ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
.tb~f@xL ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
2'r8#,) T;< >"" T 9. 焦平面上的结果
'[#uf/~W 4 .dMNqU [ @/[#p ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
;"nEEe]? ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
=;$&:Zjy/% ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
;mb
6i_ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
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[ 5HI; ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
!J' x k /bylA`IMW 10. 总结
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6 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
i,,>@R ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Dx[t?- ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
es(vWf' ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
+T^m &/, BFx" （来源：讯技光电）
