示例.0082(1.0)
WA~[) S0 3qf#NJN} 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
R6od{#5H$ "aF2:E' 1. 描述
gac31,gH ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
dGm%If9P ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
8wvHg_U6W ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
cZ| * Zpk $cHU , 2. 系统
oI/_WY[t ''@Tke3IG6 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
w01[oU$x= 3. 透镜系统组件编辑
bE.<vF& \efDY[j/ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
&gY578tU ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
J< "K`|F ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
<ef O+X! ■ 包括序列光学表面和光学介质。
Lw,}wM5X m(U.BXo 4. 光线追迹系统分析器-选项
SNOc1c<~ H\oxj,+N ,HTwEq>-G ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
}6\,kFc ■ 可以选择选取光线的方法：
) / @KdEA: — 在x-y-网格
^UJIDg7zS — 六边形
W ,6q1 — 自由选取
Rf8Obk< ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
En9J7es_ f}(4v1 T 5. 系统的3维视图
9DhM 9VU Hq 5#.rZ# d9:I.SA)E
6. 其他系统参数
jyW={%& ■ 系统由单色平面波
照明 U<0Wa>3zj ■ 照明波长266.08nm
I F6$ @Q ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
_i kKOU^8 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
/B?wn=][ — 一个虚拟屏位于焦平面
z 0 /+P —
光束尺寸探测器置于焦平面
&,% n ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
OP=b rLGu0 S?JCi = 7. 光线追迹系统分析器的结果
hzr,
%r NzyEsZ]$ 光线经过整个光学系统的三维视图
N.q~\sF^ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
Xydx87L/-e 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
aSIb0`(3 Yv]vl6< ]^>Inh! ■ VirtualLab可用于计算点列图。
W`9{RZ ' ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
C;HEv q7 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
6AJ`)8HX ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
S;#:~?dU I2CI 9,0 9. 焦平面上的结果
%/w-.?bX pl B8iN`x< d ^RcJ3w ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
/} PdO ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
S y <E@1 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
yJC:
bD1xi ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
1$E [`` n ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
& n@hD7=( D? %*L 10. 总结
YX,;z/Jw2 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Z7 2%Bv ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
qpe9?`vVX ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
Uz_ob9l<#H ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
y|O3*`&m &77J,\C$: （来源：讯技光电）
