示例.0082(1.0)
FNm8j#c~Q '{Ywb@Bc 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
K): )bL(B +$<m ;@mZ 1. 描述
a{)"KA P ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
^Nc\D7( l ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
_| s{G ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
3[ Z? `X I=lA7} 2. 系统
OY@/18D<> Z~P5SEg 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
lual'~ 3. 透镜系统组件编辑
Zo&U3b{D y CP={|]>+S ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
Li7/pUq>}! ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
Q04N ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
;, IGO7R ■ 包括序列光学表面和光学介质。
`Y'}\>.# 5$9j&&R 4. 光线追迹系统分析器-选项
p- Q1abl x EZvCwsb ,>e<mphM ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
&0N 3 p ■ 可以选择选取光线的方法：
X+hyUz(%R — 在x-y-网格
Y%S az+ — 六边形
o{ U=
f6 — 自由选取
CaK 0o*D ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
%7hYl'83 * DU86JL` 5. 系统的3维视图
t/nu/yz5E XV!P8 n a}=)b#T`
6. 其他系统参数
ON !1l S ■ 系统由单色平面波
照明 K{"+eA>CU ■ 照明波长266.08nm
Z}XA ( ;ck ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
)kg^.tP — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
`A?/Ww>; — 一个虚拟屏位于焦平面
i\ N,4Fdor —
光束尺寸探测器置于焦平面
sx|=*j,_ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
,.DU)Wi?} t*n!kXa 7. 光线追迹系统分析器的结果
Wny{qj)= V<(cW'zA/ 光线经过整个光学系统的三维视图
rw58bkh6 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
:5p`H 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
_jP]ifu` esFBWJ ]BX|G`CCc ■ VirtualLab可用于计算点列图。
^Z;5e @S ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
2}hEBw68 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
3M/kfy ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
4R}2H>VV% (LQ*U3J]_ 9. 焦平面上的结果
i?||R|>;"' h\:"k_u# {QJJw}!# ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
I+ydVj(Op ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
`Y8 F}%i[ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
*<]ulR2 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
PC=b.H8P+W ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
KN_3]-+B { ge^&l 10. 总结
uBH4E;[f ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
qK,rT*5= ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
yP6^& 'I+ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
CO-9-sQx
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
#8 rLB( qgDd^0 （来源：讯技光电）
