示例.0082(1.0)
r< OqI*7 vn1*D-? 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
S5/p3;O\c MHQM' 1. 描述
h pKr P ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
J*D3=5& ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
o-+H- ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
V\*J"ZP& Y$0K}`{ 2. 系统
/RemLJP
F yW@YW_2;4 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
}m93AL_y 3. 透镜系统组件编辑
EYR%u'&7' 1k!$#1d< ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
n'9&q]GN| ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
;T3}#Q*qC ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
rYO ~/N ■ 包括序列光学表面和光学介质。
PwC^
]e xp%LXx j 4. 光线追迹系统分析器-选项
@m+FAdA 0 g:2\S= ;nw}x4Y[ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
K`8$+JDP+ ■ 可以选择选取光线的方法：
KvmXRf*z — 在x-y-网格
%`0*KMO3
— 六边形
gr \vC — 自由选取
PMZ*ECIJU ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
91|~ KR) % ZT I ?a 5. 系统的3维视图
n0b{Jg * k b[+II e$N1 m:1*
6. 其他系统参数
l
9bg ■ 系统由单色平面波
照明 -?1ed|I8 ■ 照明波长266.08nm
CGs5`a ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
p!7(a yu — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
[m6%_3zV — 一个虚拟屏位于焦平面
7-MyiCt —
光束尺寸探测器置于焦平面
1?{w~cF} ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
] 69 z-; no9=K4h` 7. 光线追迹系统分析器的结果
Ns6C xE9 ALt^@|!d 光线经过整个光学系统的三维视图
\
m g 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
$!K,5^+ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
xPMX\aI|l O6]X\Cwj% N:U A+ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
I 8 Ls_$[ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Bi|-KS.9 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Q+Ya\1$6A ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
oB% j3aAH qhOV>j,d 9. 焦平面上的结果
vjd;*ORB EHda S< >u ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
VE*& t>I ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
M [6WcH0/T ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
(5>IF,}!L ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Vc&xXtm[v ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
FmhN*ZXr # G`NGt_C 10. 总结
YiC_,8A~ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
~i=5NUE ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
2fG[q3` ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
"2GssBa ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
~}ba2dU8 e@L?jBj8m （来源：讯技光电）
