示例.0082(1.0)
<eN_1NTH_ 2S"Nf8>zp 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
)+P]Vf\ jH JL=U,Mr6 1. 描述
7F^#o-@=J ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
B9R(&<4 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
.zg8 i_ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
C x<0 H A#8q2n270* 2. 系统
"_|oW n z~*g ~RKS! 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
.Jx9bIw 3. 透镜系统组件编辑
h!rM ^ QaIjLc~W ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
/ID3s`D) ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
uhyj5u) ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
xu5ia|gYz7 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
=Prb'8 W kIHDeo%K} 4. 光线追迹系统分析器-选项
Y;4!i?el 3`E=#f f% s m,VYYs ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
]\-^>!F #K ■ 可以选择选取光线的方法：
S$TmZk= — 在x-y-网格
G!w"{Bk?9 — 六边形
in+}/mwfC — 自由选取
5|3e& ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
qgIb/6;xQ 3E3U /K 5. 系统的3维视图
`?T#Hl>j }KUd7[s k.<]4iS
6. 其他系统参数
}%b;vzkG5 ■ 系统由单色平面波
照明 "Z
Htr< + ■ 照明波长266.08nm
@NhvnfZ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
9. 'h^#C — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
CTX9zrY*T — 一个虚拟屏位于焦平面
6+r$t# —
光束尺寸探测器置于焦平面
L86n}+
P\ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
:B3[:MpL} ,.eWQK~ 7. 光线追迹系统分析器的结果
<,o>Wx*1C 7C#`6: tI 光线经过整个光学系统的三维视图
b@RHc!,>jV 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
:w}{$v}#D; 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
\ (226^|j L,y6^J! sn7AR88M; ■ VirtualLab可用于计算点列图。
QaUm1 i# ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
rpeJkG@+ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
CYOI.#m2 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
>U F +]=e;LN $0 9. 焦平面上的结果
HeBcT^a Qt _dEl .MO\uh0N ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
5F`;yh+e ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
g^*<f8 ~d ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
W3`>8v1?o ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
DN4$J va ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
ga?*DI8w 6'\6OsH 10. 总结
),%6V5a+E ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Y5fLmPza ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
h -iJlm ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
+`3!I ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
P[s8JDqu o7IxJCL=Q （来源：讯技光电）
