示例.0082(1.0)
q@"4Rbu6 $6?KH7lA 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
#?d>S;)+ P9cI{RI 1. 描述
&i}cC4i ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
(i~%4w= ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
o!dkS/u-m ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
=Q 0 )t_z_ 8; N}d)*O 2. 系统
+CHO0n 8lb
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文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
OZ]3OL, 3. 透镜系统组件编辑
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eDZ3SIZ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
/(L1!BPP9m ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
g_!xO2LH,8 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
.BTT*vL- ■ 包括序列光学表面和光学介质。
~#x!N=q &aht K}u 4. 光线追迹系统分析器-选项
\Nn%*? f (Jr;:[4XC 0<Y&2<v ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
'eXw`kw( ■ 可以选择选取光线的方法：
O9I jU10: — 在x-y-网格
x};g!FYfkB — 六边形
wDTV /" Y — 自由选取
QO^X7A"?X ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
.Zz7LG{ _)H+ ..= 5. 系统的3维视图
>\Pj(,' uUB%I 8 
g}j>;T 6. 其他系统参数
*)SgdC/f ■ 系统由单色平面波
照明 o|im ■ 照明波长266.08nm
]
:#IZ0# ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
H;te)km} — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
-~aEqj#? — 一个虚拟屏位于焦平面
<NsT[r ~C —
光束尺寸探测器置于焦平面
f6C+2L+Hr ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
.B n2;nO bg. KkJMrR 7. 光线追迹系统分析器的结果
.`=PE&xq 8LKZ3Y| 光线经过整个光学系统的三维视图
#gT^hl5/ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
At|t k 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
^0~1/ PhOw a5S/
O;ry #i U/Yg! ■ VirtualLab可用于计算点列图。
e;3 (, ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
vw
2@}#\: ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
N4N H)x ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
>#|Q,hVU5 "Jd1&FsCwX 9. 焦平面上的结果
w`_9 *AF9 ' .<"jZ iB_j*mX] ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
i kiy>W8 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
,i. P= o ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
k3kqgR* ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
fX|,s2-FW ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
g >oLc6T #XPU$= 10. 总结
FeMu`| 2 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
5q >u
}J ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
R>q'Y mu ~ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
@/iLC6 QF ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
s3^SjZb y70gNPuTOD （来源：讯技光电）
