示例.0082(1.0)
Q1l ' 7N zNuJj L 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
-FCe:iY! A D #/Bx[ 1. 描述
hDq`Z$_+KX ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
3 SGDy] ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
13=.H5 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
d&s 9t;@= u=_mv N 2. 系统
uc" P3,M 'oC)
NpnH 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
}Ys >(w 3. 透镜系统组件编辑
(/*]?Ehd [\ b 0Lem ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
`I5wV/%ib ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
{T
Ug. %u ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
ApXy=?fc ■ 包括序列光学表面和光学介质。
a+T.^koY !1Cy$}w 4. 光线追迹系统分析器-选项
<nK? L cP qc~iQSI !o[7wKrXb ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
5j-YM ■ 可以选择选取光线的方法：
e,XYVWY% — 在x-y-网格
R#8L\1l — 六边形
M_ w< m — 自由选取
t\j *}# S ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
3K/MvNI> JO"<{ngsQ 5. 系统的3维视图
B[?CbU @<]Ekkg '1)$'
6. 其他系统参数
\qK &q ■ 系统由单色平面波
照明 'W,jMju ■ 照明波长266.08nm
B\:%ufd
~ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
A4<Uu~ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
f_Av3 — 一个虚拟屏位于焦平面
'xg
Lt ( —
光束尺寸探测器置于焦平面
ZH)="qx [ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
M*H nM( /mu*-,a eX 7. 光线追迹系统分析器的结果
Y6L ~K? <)-Sj, 光线经过整个光学系统的三维视图
b e ^6i: 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
\1 &, |\E# 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
(<oy N7 NT 5K?IDt7A] nl,uuc*; ■ VirtualLab可用于计算点列图。
fG(SNNl+D ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
-FQ 'agf@& ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
1.9}_4! ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
K8.!_
c 6s/& BR 9. 焦平面上的结果
qF-@V25P q Xe8K to sC b=5uI ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
s^uS1 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
[ )dXI IM ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
Nyj( 0W ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
qd)/9*|Jl ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
dl@%`E48w [>%xd)8.c 10. 总结
}YNR"X9*)/ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
7.#F,Ue_0T ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
t*T2Z-!P ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
:Ab %g- ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
5 VAK:eB M={V|H0 （来源：讯技光电）
