示例.0082(1.0)
qW:\6aEG *1
l"|=_&s 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
1\+d 5Q0 p*]nCUs}n 1. 描述
$WK~|+"{> ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
NKb,>TO ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
dz Z 75 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
rui]_Fn]I Se
%"C& 2. 系统
?AJE*=b >D/+04w 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
au 5qbP 3. 透镜系统组件编辑
Fr ryZe= _m|Tr*i8 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
G[5z3 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
5 MD=o7O^ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
|#=4]]>m ■ 包括序列光学表面和光学介质。
A VbGJ+ VVyms7
VN 4. 光线追迹系统分析器-选项
,,[pc (}LLk + z wJ Vi9sO ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
ON<X1e U ■ 可以选择选取光线的方法：
w*"h#^1z — 在x-y-网格
JgY#W1> — 六边形
L@HWm;aN — 自由选取
\z Pcn DB ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
+_LWN8F OwM.N+ z#T 5. 系统的3维视图
Cn>RUGoUsI !%4&O 
KnuQ 5\y 6. 其他系统参数
G(1y_t ■ 系统由单色平面波
照明 bR}{xH e ■ 照明波长266.08nm
Pe_FW8e#J ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Ki: .^ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
NYcF]K}[ — 一个虚拟屏位于焦平面
I,xV&j+< —
光束尺寸探测器置于焦平面
MKN],l
N ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
<^(g<B`> !3'&_vmG$ 7. 光线追迹系统分析器的结果
ir ^XZVR =fr_` "?k 光线经过整个光学系统的三维视图
I 6E!$ } 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
[10;Mg 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
%>G(2)Fb\\ g$j ZpU ;<=B I! ■ VirtualLab可用于计算点列图。
!:^lTvYWZH ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
zU)Ib<$ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Ce0YO~I ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
otgU6S7F (NBq!;_2,x 9. 焦平面上的结果
3'zm)SXJ "2'pS<| Tn7(A^h' ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
(;@\gRL ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
a5AD$bP ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
BcvCm+.S: ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
JBKCa 3 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
\)Bws ` vF ,iHzv 10. 总结
-}Iw!p#O3 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Cd"iaiTD0 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
*l[;g ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
>[ox|_o ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
b&V}&9'[M; e5 ?;{H （来源：讯技光电）
