示例.0082(1.0)
q.<)0nk wf e4b 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
"wcw`TsK Z m%,L$F*L 1. 描述
gvc/Z <Y ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
9BpxbU+L; ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
mA$86 X_ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
l53Q"ajG 94et ]u%7 2. 系统
\2=I//YF DA iS|x 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
TQKcPVlE 3. 透镜系统组件编辑
R2?s
NlF TBrw ir ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
_ yJz: pa ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
l5=ih9u ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
8X.=
6M ■ 包括序列光学表面和光学介质。
qy.$5-e:[9 ]P#W\LZp 4. 光线追迹系统分析器-选项
SPRTJdaC9 >q&5Z KAD2_@l ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
8m=R"
%h ■ 可以选择选取光线的方法：
%FM26^ — 在x-y-网格
ja~Dp5 — 六边形
R) :Xs . — 自由选取
@k)J
i!7 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
)+'=Zvgej= KM)f~^ 5. 系统的3维视图
?H,f|nc =n ,1* R`DzVBLl
6. 其他系统参数
+jZa A/ ■ 系统由单色平面波
照明 2L;=wP2?{ ■ 照明波长266.08nm
5@ r6'Z ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
j;b>~_ U% — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
%*!6R:gA p — 一个虚拟屏位于焦平面
gm,AH85 —
光束尺寸探测器置于焦平面
3u[8;1}7Q ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
.tGz, z} RQ[/s
lg 7. 光线追迹系统分析器的结果
&y1iLk h ^ .%7Le|Fb" 光线经过整个光学系统的三维视图
`Mt|+iT$p 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
:L+ xEL 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
8<T~AU8'* !~%DR~^` ?B;7J7 T ■ VirtualLab可用于计算点列图。
,g}$u'A+d ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
o+x!
( ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
M^8zqAA ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
2]9
2J ~+0IFJ `} 9. 焦平面上的结果
G1e_pszD{o 8@LWg d ps:`rVQ7 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
J^7M0A4K ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
=^rp=
Az ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
<`=Kt[_BQ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
,G46i)E\ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
KMkD6g QN$s %&O 10. 总结
;b=d iZE ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
/bo=,%wJ[ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
F1_,V?
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
5EVypw?]x ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
"5k 6 FV kiN,N]-V （来源：讯技光电）
