示例.0082(1.0)
00pe4^U s:ojlmPb 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
sN ZOm $ {EJ+
1. 描述
lcXo> ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
B$MHn? ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
0u
bf] Z ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
\qJ cs'D BO0Y#fs 2. 系统
jQ['f\R {7.uwIW.1 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
9Us'Q{CD 3. 透镜系统组件编辑
!'Ww%ZL\
1rV9dM#F ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
|Elz{i- ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
x\pygzQ/ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
u. 2^t :A ■ 包括序列光学表面和光学介质。
'![VA8 /w2NO9Q 4. 光线追迹系统分析器-选项
(zw.?ADPCT H[N~)3x m5 l& ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
q#`;G,rs ■ 可以选择选取光线的方法：
uFL!* #A — 在x-y-网格
eBqF@'DQ — 六边形
e?WI=Og — 自由选取
vH@$?b3VP ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
D0yH2[j+ 0>:`|IGnT2 5. 系统的3维视图
+1Pu29B0 \ wV ?QH GK&R.R]
6. 其他系统参数
4" eeEs h ■ 系统由单色平面波
照明 k[\JT[Mp ■ 照明波长266.08nm
: <uCi\9( ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Qm4cuV-0{ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Tj=@5lj0 — 一个虚拟屏位于焦平面
1pT/ `x —
光束尺寸探测器置于焦平面
/Q'O]h0 a ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
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K)UA rLcXo %w 7. 光线追迹系统分析器的结果
\b?O+;5Cj Fl++rUT 光线经过整个光学系统的三维视图
9mEhZ" 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
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i 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
$}P>_b q jR {t=da _#w5h X cu ■ VirtualLab可用于计算点列图。
L>!MEMqm ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Hr/J6kyB) ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
r6 L ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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9. 焦平面上的结果
6e;8\1^ ]o`FF="at aq8mD^j -& ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
CN7qqd ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
[Rz n > ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
qGgdWDn` ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
2Oy-jM ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
@@|H8mP}H rm,h\ 10. 总结
= %wBC; ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
6H:EBj54? ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
||.Ve,<: ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
O9Yk5b; ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
@fd{5 >\ ( Jk:Qz5 （来源：讯技光电）
