示例.0082(1.0)
<D Eu]-'> Ve40H6 Ox 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
jgfr_"@A iU# "G" & 1. 描述
vOtILL6 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
b$`/f:_ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
un)PW&~E ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
t^~itlE{ Hig.` P 2. 系统
J d,9<m $ RXO5p d 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
* C*aH6* 3. 透镜系统组件编辑
-L
wz
T 7<X!Xok ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
2=n aPTP( ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
>.hDt9@4 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
9]I{GyH ■ 包括序列光学表面和光学介质。
Bc< pD?uOK \|Y_,fi 4. 光线追迹系统分析器-选项
IPt
!gSp Y&$puiH-j m RC ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
Ejy o
oO45 ■ 可以选择选取光线的方法：
1_M} Dc+J — 在x-y-网格
=(v'8?-- — 六边形
= L{-Hu/j — 自由选取
Mh}vr%0;) ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
s Dsq:z 9 )4_@rf % 5. 系统的3维视图
ZCNO _g Nema>T ] 
.P ??N 6. 其他系统参数
<%=< 9~e ■ 系统由单色平面波
照明 qga?-oz,<6 ■ 照明波长266.08nm
bfK4ps}m* ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
lLU8eHf\ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
NGW:hgf — 一个虚拟屏位于焦平面
wv Mp~ —
光束尺寸探测器置于焦平面
3XNk*Y[5 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Ss\FSEN!/ ENFM``dV# 7. 光线追迹系统分析器的结果
:k d]n$] 4Ujy_E?^ 光线经过整个光学系统的三维视图
LbR'nG{J 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
& +yo PF 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
4AKPS&k; v
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L$ kX+98?h-C ■ VirtualLab可用于计算点列图。
\(r$f!` ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
.s KfwcYu4 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
\[ 4y ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
b|\dHi2F T v3<q_J'qT 9. 焦平面上的结果
@0 [^SU? 6.6?Rp". 4^:$|\?] ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Q&/WVRD ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
`Io#440; ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
/NxuNi;5 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
-x|!?u5F ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
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+ 10. 总结
jWdZ ]0m ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
>=.3Vydi1 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
!-ZY _ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
S27s Rxfr ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
h67{qY[J[ Zx7aae_{ （来源：讯技光电）
