示例.0082(1.0)
Y`~Ut:fZ S\CCrje 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
)W^F2-{ /2&c$9=1 1. 描述
9)l$ aBa ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
l0|5t)jF- ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
1I%w?^sm_ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
#]\Uk,mhZB /J]5H 2. 系统
/!0={G &h}#HS>l 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
mVj9 , q0 3. 透镜系统组件编辑
tR# Ojk vX 2R[:]-b ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
*I B4[6 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
=O~_Q- ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
y\/1/WjBn ■ 包括序列光学表面和光学介质。
_qF+tm Lc}y<=P@ 4. 光线追迹系统分析器-选项
p'Y^ X CT&|QH{ V.U|
#n 5 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
S;Fi? M ■ 可以选择选取光线的方法：
l5~os > — 在x-y-网格
4VHn \ — 六边形
u2tf F — 自由选取
YX!iL6 ?~ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
T~-ycVc m&d|t>3< 5. 系统的3维视图
%[GsD9_- |44Ploz2b aEB_#1
6. 其他系统参数
_?nL+\'V ■ 系统由单色平面波
照明 \UA[ ■ 照明波长266.08nm
L7l
FtX+b ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
sWhZ by7 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
[:dY0r + — 一个虚拟屏位于焦平面
9p]QM)M —
光束尺寸探测器置于焦平面
!M(xG%M-V ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
&s(^@OayE rm7ANMB : 7. 光线追迹系统分析器的结果
EAUEQk?9 VG5i{1
0 光线经过整个光学系统的三维视图
e +EQ]<M 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
)+#` CIv 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
j;zM{qu_ GC-5X`Sq e[1hz_v ■ VirtualLab可用于计算点列图。
hDDn,uzpd ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
9+|$$) ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
R*, MfV ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
$t +,Tav ~g91Pr 9. 焦平面上的结果
XPc^Tq
l]5K N 8\^R~K`sY ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
x>K Or,f ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
ROI7eU ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
}CSDV9).S ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
&C_j\7Dq ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
3Tcms/n j^* dmX 10. 总结
g&L!1<,
p ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
+Ze} B*0 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
}FROB/ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
8S
TvCH"Z_ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
#\{l"- @mCEHI{P （来源：讯技光电）
