示例.0082(1.0)
h$&Tg_/'#D ^2~ZOP $A 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
2Mt$Dah ~#E&E%sJ 1. 描述
',r` )9 o ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
|dgiW"tUm ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
98Vv K? ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
kG /1 Pvc)-A 2. 系统
dPEDsG0$a FBXktSg 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
z}[ u~P, 3. 透镜系统组件编辑
#kv9$ dHDtY$/_ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
:qdyC sn2 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
>%tP"x{ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
6\.g,>
■ 包括序列光学表面和光学介质。
C ~h#pAh ,/?J!W@m 4. 光线追迹系统分析器-选项
I6^y` 2X 05 6K) E ZWCsrV*; ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
=3035{\ ■ 可以选择选取光线的方法：
sWlxt q g — 在x-y-网格
NCKR<!( — 六边形
tx5bmF;b) — 自由选取
0eA <nK ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
~rV $.:%va `,V&@}&"n 5. 系统的3维视图
HIc;Lc8$ ?Z{/0X)]| X"TL'"?fo
6. 其他系统参数
nk|(cyt) ■ 系统由单色平面波
照明 R|RGoGE6g ■ 照明波长266.08nm
E:9RskI ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
TgcCR:eL= — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
x<l 5wh — 一个虚拟屏位于焦平面
'l/l]26rO4 —
光束尺寸探测器置于焦平面
0aY|: ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
sccLP_#Z <sC(a7i1 7. 光线追迹系统分析器的结果
JY c:@\
Q, .dIPla 光线经过整个光学系统的三维视图
\Q#pu;Y*N] 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
t%mi#Gh( 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
- k0a((? [\ku,yd%0 \*MZ 1Q*x ■ VirtualLab可用于计算点列图。
YHN6/k7H ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
(h wzA
*(c ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
ikZYc ${ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
c\. )vH q,sO<1wAT\ 9. 焦平面上的结果
H2],auBY '@ 2 4<T] EZWWv L ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
S8v,' Cc ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
NkUY_rKPb ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
eV_ ",W ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
i`i`Hu> ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
IYe[IHny1 s3Bo'hGxG 10. 总结
:Lu A6 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
s[4 qC ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
PdKcDKJ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
=&g:dX|q8 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
l%V+] skS |3k r*# （来源：讯技光电）
