示例.0082(1.0)
| m^qA](M !yo/ F& 6 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
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p 1. 描述
{iyO96YI[^ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
C;u8 qVI ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
L=7 U#Q/DE ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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|:tU(t tAPr 4 n! 2. 系统
yE aim~ "1<>c/h 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
|Ew~3-u! 3. 透镜系统组件编辑
d:U2b"k=/u @+gr>a1K# ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
^x! N] ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
u x[h\Tp ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
^`W8>czi ■ 包括序列光学表面和光学介质。
7rc6 EXdx$I=X 4. 光线追迹系统分析器-选项
E@/yg(?d= FD}hw9VyF@ nX@lR~g%F ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
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k$ > yk ■ 可以选择选取光线的方法：
{Hv/|.),hu — 在x-y-网格
Y7|R vLWoP — 六边形
h)W?8XdM — 自由选取
$R\D[`y| ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
.,)C^hs@ 7X Z5CX& 5. 系统的3维视图
,qx;kJJ {^r8uKo:~ 8{m5P8w'
6. 其他系统参数
l5> H\ ■ 系统由单色平面波
照明 $.a4Og2 ■ 照明波长266.08nm
M^i^_}~S; ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
tD G[}j — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
%0>DjzYt — 一个虚拟屏位于焦平面
` ^ rN"\ —
光束尺寸探测器置于焦平面
mfYY?]A*+ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
]kJ inXHW Km5#$IiP; 7. 光线追迹系统分析器的结果
/rKdxsI* To x{Sk3L 光线经过整个光学系统的三维视图
20 j9~+ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
SR,id B&i 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
bN Ub 7^{M:kYC! ])d_B\)Kck ■ VirtualLab可用于计算点列图。
aoLYw 9 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
J j< UtD+ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
k`LoRqF ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
EcBJ-j 6d 9?Vy F'r= 9. 焦平面上的结果
t0 [H_ &P+7Um( ; TaR1e0 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
^8,Y1r9`$ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
nqG9$!k^t ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
)c'5M]V ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
- P;_j,~U ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
0P(U^ rkR~ V3<baxdE 10. 总结
o"O=Epg ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
orGNza"A ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
54TW8y `h ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
ZRDY `eK ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
'baew8Q# ?\GIL B, （来源：讯技光电）
