示例.0082(1.0)
$@Ay0GE I" N{`l?t0I 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
v]BQIE?R / &=?`; K 1. 描述
GY",AL8f ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
RYV6hp)| ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
R^2Uh$kk{A ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
28)TXRr- #PrV)en 2. 系统
3N
bn|_`( vl5n%m H>^ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
{''|iwLr 3. 透镜系统组件编辑
hY1|qp 5 i/E=D ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
&V?q d{39 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
_M&.kha ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
46za xcY<! ■ 包括序列光学表面和光学介质。
8Wj=|Ow-q UTTC: =F+ 4. 光线追迹系统分析器-选项
K7hf m%`N YSV,q@I&1 =GQ^uVf1 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
y@M}T{,/ ■ 可以选择选取光线的方法：
(J*w./ — 在x-y-网格
x}.d`= — 六边形
{}pqxouE — 自由选取
N}Ks[2 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
g&4~nEp X[ Ek'=} 5. 系统的3维视图
w"v'dU ^ O|Ic[XfLx 
,GX~s5S8 6. 其他系统参数
r.W,-%=bL ■ 系统由单色平面波
照明 r%l%yCH ■ 照明波长266.08nm
wz+5
8( ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
;a#*|vx — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
}[z<i ij4 — 一个虚拟屏位于焦平面
=u8D!AxT —
光束尺寸探测器置于焦平面
fcICFReyV ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
YvruK: I )M'UASB;8 7. 光线追迹系统分析器的结果
h1XMx'}B k=7Gr;;l=p 光线经过整个光学系统的三维视图
y|.fR>5 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
y-# 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
]iDJ*! I 3e TrtCe$ =dM.7$6) R ■ VirtualLab可用于计算点列图。
G* \abL ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
6z3T?`}Y ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
r!$'!lCR ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
L}W1*L$;< e3eVvl5] 9. 焦平面上的结果
mP pvZ s=N#CE K 3Yw8t2J ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
7qg<[ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
BWUt{,? KU ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
mz\NFC< ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
4.|-m.a ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
B6bOEPQ l"J*)P 10. 总结
W]]q=c%2 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
ja[OcR-tX ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
dEASvD' ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
MO[kr2T ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
ImIqD&a-h A&?}w_|9 （来源：讯技光电）
