示例.0082(1.0)
;CO qu#( .7 .G}z1 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
G}U <^]c R3g)LnN 1. 描述
:o k.[q ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
B4 bB` r ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
%
jDH{xSMb ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
8Hq4ppC KKwM\ 2. 系统
C\{A|'l!x <v1H1'gv 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
S6bW
r0 XR 3. 透镜系统组件编辑
"Lvk?k
)hx _J*l,]}S ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
E"}%$=yK ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
(ot,CpI(I ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
",apO ■ 包括序列光学表面和光学介质。
?C CQm OcB&6!1u 4. 光线追迹系统分析器-选项
=LGM[Z3$s Vc0j)3 ?* ~4~ZE E ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
[XPAI[" ■ 可以选择选取光线的方法：
y/@Bhzc — 在x-y-网格
5H'Iul<Os — 六边形
R(t%/Hvs$ — 自由选取
5VE=Oo#& ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
rvx2{1}I 7( 5 d$ W 5. 系统的3维视图
xM{[~Kh_x q AVypP?J >0 7i"a
6. 其他系统参数
;{8 X+H ■ 系统由单色平面波
照明 j7d^g a- ` ■ 照明波长266.08nm
3 85qQppz ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
]G&[P8hz B — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
9t`yv@.>N — 一个虚拟屏位于焦平面
NXLb'mH~ —
光束尺寸探测器置于焦平面
zvN7aG ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
FoE}j
YS4"TOFw 7. 光线追迹系统分析器的结果
[cFD\"gJAr t(<k4 ji, 光线经过整个光学系统的三维视图
u; %~P 9O 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
=2 *2 $ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
F.(W`H*1+ %-YWn`yE m 7E* 0;sA# ■ VirtualLab可用于计算点列图。
4i SN.nxIZ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
DmWa!5 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
lB_4 j c ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
@@a#DjE%/ ?gu!P:lZS 9. 焦平面上的结果
f x:vhE X &'neOf/~ ZHwl 9n#m ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
%X}D(_ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
'xEomo# ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
)% 9:k9 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Ur[ai6LNG ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Lcg1X3$G d:Z|It 10. 总结
/=V!lRs ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
ui"`c%2n ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
n\7 >_ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
J;V#a=I ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
-0'< 7FSQ %U<lS.i （来源：讯技光电）
