示例.0082(1.0)
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-K \Gef \ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
r8t}TU>C {r,.!;mHu 1. 描述
hE:9{;Gf ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
nUaJz Pl ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
.r=4pQ@# ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
>>4qJ%bL aL\PGdgO 2. 系统
&N$<e(K [Q~#82hBhY 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
MVpGWTH@F 3. 透镜系统组件编辑
~Py`P' + B6+khuG( ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
GhAlx/ K ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
L?b~k= ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
ql Ax ■ 包括序列光学表面和光学介质。
$j%'{) gK RXMISt3+{y 4. 光线追迹系统分析器-选项
tH@Erh|% DaQ?\uq {S]}.7`l9( ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
nAAs{ ■ 可以选择选取光线的方法：
)N{Pw$l_ — 在x-y-网格
/s&9SYF — 六边形
%@J.{@> — 自由选取
' `[&}R ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
vQG5*pR*w 4d4ZT? V[ 5. 系统的3维视图
d UE,U= [C 7^r3w F} y W/
6. 其他系统参数
Lz}OwKl ■ 系统由单色平面波
照明 R{ `(c/%8 ■ 照明波长266.08nm
$? iLLA~ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
tPWLg), — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
[T4J{y64Y — 一个虚拟屏位于焦平面
'T;P;:!\ —
光束尺寸探测器置于焦平面
,$ L4dF3 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
[o#oa k{U v |,1[i{ 7. 光线追迹系统分析器的结果
ah$b [\#C 3PWL@>zi 光线经过整个光学系统的三维视图
IVnHf_PzF 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
IZ-1c1
8. 透镜系统后虚拟屏的结果
BQHVQs m,_ Z6=I: \[i1JG ■ VirtualLab可用于计算点列图。
=+-UJo5 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
F@jZ ho ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
PcMD])Z{G ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
&ee~p&S,> ;6
D@ A 9. 焦平面上的结果
QD&`^(X1p J7 $5s =!A_^;NQf ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
:A_@,Q ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
?#G$=4;i ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
Lnl(2x D ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
\;,+ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
.k %72ez k/_ 59@) 10. 总结
2%Ri,4SRb ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
:gi bfk]C ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
9!\B6=r y4 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
<?.&^|kS ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
1~_{$5[X? a$OE0z n` （来源：讯技光电）
