示例.0082(1.0)
t z^/J=)" ^03j8Pc-c 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
^Hrn ] :~F :/5 1. 描述
( #D*P l ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
<eN_1NTH_ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
oVvc? P ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
Pq9|WV#F5/ dq\FBwfe 2. 系统
vI1i, x#i NGC,lv 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
6e,xDr 3. 透镜系统组件编辑
0 (U #) ^n1%OzGK # ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
m)v''`9LU ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
1'.7_EQ4T ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
t_z,>,BqJ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
F&RgT1* ;U9J++\d<A 4. 光线追迹系统分析器-选项
V7d) S& *V fq )vK h4|i%,f ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
=GlVc cc ■ 可以选择选取光线的方法：
H}hFFI)#Oo — 在x-y-网格
#:jb*d? — 六边形
6W[}$#w — 自由选取
Sr?#wev]rn ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
7?j;7.i
s( gr-9l0u 5. 系统的3维视图
W%<LTWOc >F1k R\! W>_]dPB S/
6. 其他系统参数
5 @U<I ■ 系统由单色平面波
照明 YHNR 3 ■ 照明波长266.08nm
2H71~~ c ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
!oPq?lW9 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Hnknly — 一个虚拟屏位于焦平面
q<y#pL=k"* —
光束尺寸探测器置于焦平面
-fhN"B) ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
\B F*m"lz >~%e$a7}+ 7. 光线追迹系统分析器的结果
} En De7T s 光线经过整个光学系统的三维视图
F+R?a+ e 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
=_$Q tq+h 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
4[Z\
?[ FZjH w_pP Z;9>S=w! ■ VirtualLab可用于计算点列图。
--;@2:lg{ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
rX_@Ihv' ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
O ~j> ? ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
8 fA_p}wp 8n1'x; 9. 焦平面上的结果
|*Z$E$k: ?
WJ> p SJD@&m%?[ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
#/PA A ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
~ wg:!VWA) ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
zvABU+{jD ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
V5+SWXZ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
co Yij KiG p[eb 10. 总结
;iDPn2?6?x ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
zJe#m|Z ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
r0p w_j ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
93t9^9 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
dJ"iEb|4 I *9e]m" （来源：讯技光电）
