示例.0082(1.0)
Sq^f}q x Vk|6vA7 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
F:nhSd H]& a}WQ_ 1. 描述
G"w
?{W @ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
zUX%$N+w}> ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
1@Abs ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
gz fs9e xCU^4DO3p 2. 系统
ZC}'! $r7 Y_m/? [: 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
wh4ik`S 1 3. 透镜系统组件编辑
48;6C g }
IJ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
CqW:m*c ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
_'pow&w~ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
2R9AYI ■ 包括序列光学表面和光学介质。
Q9,H 0r-%
o !:V=F 4. 光线追迹系统分析器-选项
%04N"^mT'~ #oBM A P$LHsg] ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
=! }n . ■ 可以选择选取光线的方法：
h'*>\eC6 — 在x-y-网格
_$s ;QI]x — 六边形
(
R2432R}J — 自由选取
/^_~NF# ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
5G5P#< Vv qKoD*cl)Za 5. 系统的3维视图
tQ!p<Q=
$) @J J,$ ? Axb,{X[6g
6. 其他系统参数
zxN,ys ■ 系统由单色平面波
照明 BET3tiHV ■ 照明波长266.08nm
Dn{
hU $* ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
V>"nAh]}. — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
wHneVqI/ U — 一个虚拟屏位于焦平面
Ns?qL SN —
光束尺寸探测器置于焦平面
>q W_% ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
XLwmX i b6KO_s:'g 7. 光线追迹系统分析器的结果
`re9-HM P#e 1? 光线经过整个光学系统的三维视图
E?$|`<o{|` 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
DH7B4P 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
_i@{: v T-" zK r! Po+I!T L' ■ VirtualLab可用于计算点列图。
ly,3,ok ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
y"N7r1Pf ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
QGv$ ~A[h ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
TVaD',5_V% Ql~9a
[8T~ 9. 焦平面上的结果
=E{e|(1+u |% wgux` z 3O{*~D&n ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
sZ~q|}D- ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
jC<1bf$K ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
lr >:S ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
SZ/}2_; ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
k7o49Y(# %}< e;t-O 10. 总结
K7G|cZ/^ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
K})=&<M0 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
N0Y$QWr_$ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
px|y_.DB2x ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
q> ;u'3} n-HQk7=mQ （来源：讯技光电）
