示例.0082(1.0)
uF|_6~ g [;7zg@Sa 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
K> 4 w [ dVBsi 1. 描述
AaxQBTB ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
^^7@kh mNl ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
<uS/8MP{ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
AZ4?N.X? 62,dFM7
2. 系统
Iox )- 6nE/8m 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
82ixv<B 3. 透镜系统组件编辑
Zzg zeT+bv `Mt|+iT$p ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
D@9 +yu=S ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
n.a2%,|v ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
%i/|}K ■ 包括序列光学表面和光学介质。
;` Xm?N Y$"m*0 4. 光线追迹系统分析器-选项
$z* "@ d>mZY66P j!!s>7IZ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
e(a,nZF. ■ 可以选择选取光线的方法：
YaSBIq{z — 在x-y-网格
S'qT+p P — 六边形
=y@0i l+V — 自由选取
QtG6v<A ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
w9<'0w cs n{M Th_C4n 5. 系统的3维视图
d7G@Z|R3p onRTX|# 
1Dc6v57 6. 其他系统参数
-Z: x!M[Xr ■ 系统由单色平面波
照明 'Ca;gi !U ■ 照明波长266.08nm
c%hXj#; ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
+%,oq ]<[, — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Z ] G#: — 一个虚拟屏位于焦平面
aACPyfGQ —
光束尺寸探测器置于焦平面
br i8o" ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
3{~(_ <EgJm`V 7. 光线追迹系统分析器的结果
7- LjBlH fU
;H 光线经过整个光学系统的三维视图
|;~2y>E 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
]o"E 4Vht 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
=`|Bo fR ZAy /u@qt G8_ _6v~ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
E:/!]sm ! ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
L>1y[
Q ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
gI2'[OU ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
oVZzvK(zR wE=I3E % 9. 焦平面上的结果
tF-l=ph}` F5YoEWS 3b0|7@_E ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
z7:*
,X ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
H<fi,"X^ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
Yl'8"
\HF ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
/%,aX [ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
|:#Ug z a_0-G%C2 10. 总结
KFO
K%vbM ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
zb4@U=?w} ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
CEw%_U@8 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
S& IW]ffK ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
' / \*l< pL[3,.@WA （来源：讯技光电）
