示例.0082(1.0)
[qL{w&R V`WSZ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Z0'&@P$ x@)G@'vV| 1. 描述
-P.51q ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
lM |}K-2 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
\2c 3Ns ra ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
]<xzCP B P2!+ZJ& 2. 系统
;}dvc7 x<'<E@jpU; 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
N8E 3. 透镜系统组件编辑
Im g$D*BM hE;|VS do ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
2bnYYQ14: ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
:u9OD` D ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
EEn8]qJC ■ 包括序列光学表面和光学介质。
;H4 s[#K f|'0FI 4. 光线追迹系统分析器-选项
)Ggv_mc h hjgB[
&U> KbSE=3 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
)
w1`<7L ■ 可以选择选取光线的方法：
E Xx v — 在x-y-网格
qN"Q3mU^h* — 六边形
WqJrDj~ — 自由选取
Z_h-5VU- ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
(U B?UJc xep8CimP' 5. 系统的3维视图
a_3w/9L4r i,B<k 0W9 
]<*-pRN 6. 其他系统参数
!kS/Ei ■ 系统由单色平面波
照明 _M )
G ■ 照明波长266.08nm
|kGQ~:k+P ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
dLfB){>S — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Fy$f`w_H@ — 一个虚拟屏位于焦平面
|E9'ii&?B —
光束尺寸探测器置于焦平面
oMNSQMlI ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
8CUlE-R5 DS1{~_>nFu 7. 光线追迹系统分析器的结果
8Drz
i!} agk GUK/ 光线经过整个光学系统的三维视图
i*((@: 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
=z!^O T6eb 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
.%EYof \2^o,1r/ z*UgRLKZD ■ VirtualLab可用于计算点列图。
Am!OLGG4 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
c N-$;Ent ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
4nrn
Npf`b ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
b]gVZ- bE;c&g 9. 焦平面上的结果
q5G`q&O5 ALQ-aXJ tv_&PIu]L ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
s1]m^, ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
Xp.$FJ1) ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
PX*}.L *x ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
~1&WR `U ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Ms#rvn!J A5 T&i] 10. 总结
y_' 6 bpb ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
2){O&8 A ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
N 8iLI` ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
` {qt4zd0 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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H （来源：讯技光电）
