示例.0082(1.0)
mz*z1`\7v\ |^Es6 .~ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
S nHAY < F4x7;?W{* 1. 描述
C]fTV{ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
PHvjsA%" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
v8Zg og)V ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
aA`q!s.%A hD1AK+y 2. 系统
i =N\[& 1Q SIZoK7 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
!yX<v%>_0 3. 透镜系统组件编辑
p2vBj. *J 2.D!4+& ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
\&5 @ yh ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
Wp}9%Mq~Jy ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
C|\^uR0 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
1H =wl =K Wk?|BR]O 4. 光线追迹系统分析器-选项
e: LZ s0 IWqxT?* #2jn 4> ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
<IyLLQ+v ■ 可以选择选取光线的方法：
^-GX&ODa — 在x-y-网格
Qz+d[%Q}x — 六边形
@>2 rz — 自由选取
xm|4\H&Bg ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
df6Ν4L M/a/H=J 5. 系统的3维视图
=t$mbI 4 Qel; 
B" m:<@ " 6. 其他系统参数
0DB<hpC:5 ■ 系统由单色平面波
照明 R+K&<Rz ■ 照明波长266.08nm
_MbVF>JOx ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
`qDz=,)WP — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
d Zz^9:C+ — 一个虚拟屏位于焦平面
$& = ; 9=" —
光束尺寸探测器置于焦平面
(1SO;8k\ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
^la i!uZVa C.e V|rc@T 7. 光线追迹系统分析器的结果
fsJTwSI[" 62)lf2$1 光线经过整个光学系统的三维视图
A
Ok7G?Y 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
S~rVRC"<xo 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
(
ssH=a K-5"# 4zqE? $HM' ■ VirtualLab可用于计算点列图。
Ot$cmBhw! ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
N( -%"#M$ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
_`@Xy! Ye ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
k]$E8[.t 9[p }.9 / 9. 焦平面上的结果
wAY zR$i :qCm71* H"Fflm UO ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
B`Or# G3ph ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
^dUfTG9{ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
FJjF*2 . ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
i[ Gw 7'f ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
|T$a+lHMD ^mgI%_?1 10. 总结
0(9I\j5`TT ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
;%rs{XO9 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Eo { 1y ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
ZU| V+yT ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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krr-ZiK （来源：讯技光电）
