示例.0082(1.0)
V|HO*HiB3 -O /[c 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
*H=h7ESq M\IdQY-c 1. 描述
Xq ew~R^MP ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
U-f8 D ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
J#iuF'%Ds ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
* 0JF|' HxL uJ 2. 系统
7*Zm{r@u /6n"$qon6 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
cSG(kFQ 3. 透镜系统组件编辑
fL SDt(c', 0D `9 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
\RFA?PuY ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
Dsv2p~ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
QAZs1;lU ■ 包括序列光学表面和光学介质。
HAs/f#zAk6 .i` -t" 4. 光线追迹系统分析器-选项
<d B z]W u3 &# UN 9]tW; ? ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
> !o!rs ■ 可以选择选取光线的方法：
r4K%dx-t — 在x-y-网格
fJ\ u 8 — 六边形
Z 7e"4w A — 自由选取
iF.f*3-NJB ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
J^~J& [<f9EeziB 5. 系统的3维视图
Ualw K M D,BGO?C )2Y]A^ Y
6. 其他系统参数
~52'iI)Mw ■ 系统由单色平面波
照明 H,j_2JOY= ■ 照明波长266.08nm
wp4
.~E ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
la$%%@0/ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
h_\W 7xt — 一个虚拟屏位于焦平面
rploQF~OFF —
光束尺寸探测器置于焦平面
nU#K=e
=W ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Z*NTF:6c !I91kJt7 7. 光线追迹系统分析器的结果
8Vt' X2
nI+.De~ 光线经过整个光学系统的三维视图
u'Hh||La" 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
g^i\7' 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
{sq:vu@NC ZR{YpLFQ Y2g% {keo ■ VirtualLab可用于计算点列图。
vn@sPT ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
* $1F|G ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
8e`HXU(A ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
6W;`}'ap M%SNq|Lo 9. 焦平面上的结果
65mfq&"P ? Q!7mN ?l /WX&UAG ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
?D_}',Wx ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
7c@5tCcC- ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
YNp-A.o
W@ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
8# 1 o ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
- | =) ##1/{9ywy 10. 总结
n+v v
% ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Mdu\ci)lr ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Sj8fo^K50 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
C 8d9 (u ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
jpMMnEVj6P #9qX:*>h （来源：讯技光电）
