示例.0082(1.0)
g,:Nzb fI1;&{f 关键词:
光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸
QB[s8"S 9^ r 1. 描述
Ng"vBycy ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
>>$|,Q-. ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
~qS/90, ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
re!8nuBsA x5SQ+7 2. 系统
+*J4q5;E[? BB.TrQM.# 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
M: "ci;*$ 3. 透镜系统组件编辑
%d0S-. w4'K2 7 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。
V@S/!h+ ■ 透镜系统是由序列
光学表面(OIS)定义的。
k^pu1g=6I ■ 每一个可选项都有独立的
参数,并可以设定。
f4S@lyYF ■ 包括序列光学表面和光学介质。
{_Qxe1^g g8+,wSE 4. 光线追迹系统分析器-选项
pU ]{Z( 3}21bL ~It+|X=Kx ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
WdqK/s<jM ■ 可以选择选取光线的方法:
~Ls I<z — 在x-y-网格
~{YgM/c|dt — 六边形
o'7ju~0L — 自由选取
!2|`aa ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
;lH,bX~5 T(UYlLe 5. 系统的3维视图
W<91m* FRt/{(jro `U_>{p&x
6. 其他系统参数
0Eu$-) ■ 系统由单色平面波
照明 !*Z)[[ ■ 照明波长266.08nm
~e<'t4 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能:
'uACoME@ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
HQ`nq~%&( — 一个虚拟屏位于焦平面
7(8 —
光束尺寸探测器置于焦平面
UT<bv}(J ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Gd6 ;'ZCmY e'Us(]ZO 7. 光线追迹系统分析器的结果
jfPJ5]Z *7;*@H*jd 光线经过整个光学系统的三维视图
Ym{%"EB 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
uAS8F=9xP 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
Xb@z7X#O! vDeG20.?Z :.[5(' ■ VirtualLab可用于计算点列图。
JJ9e{~0I ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
x";.gjI |g ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
a-A+.7 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
2<o[@w 1X"H6j[w 9. 焦平面上的结果
<6b\i5j [{p?BTs H"GE\ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
RQS:h]?:l ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。
mGpkM?Y" ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
k3/JQ]'D ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。
Y0X94k.u ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
{iIg 4PzrU EM54 10. 总结
}:9|*m<$t ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
yp2 'KES> ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。
ds$ \vSd ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
>c
y.]uB ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
m wEVEx24 S,Wl)\ (来源:讯技光电)