示例.0082(1.0)
RF,[1O-\O 42{\u 08Z 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
E5H0Yo.W i X/8CvY #n 1. 描述
)fRZ}7k: ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
{&bjjM ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
{4%B^+}T
■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
S*5hO) C LrL
ZlJf 2. 系统
$0f( G c| |lnMT) ^D 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
;nDCyn4i] 3. 透镜系统组件编辑
2Gw2k8g& bGO[P< < ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
\m\E*c
): ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
m7|}PH" 7 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
N3Yf 3rK ■ 包括序列光学表面和光学介质。
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> 4. 光线追迹系统分析器-选项
)C@O7m*.4 \9Z1'W l[_ y|W5 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
/p& V7 2 ■ 可以选择选取光线的方法：
\ fk%^1XY — 在x-y-网格
+kMVl_` V — 六边形
H;eGBVi — 自由选取
O>h,u[0 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
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+ 5. 系统的3维视图
qt.G_fOz .:`+4n 
"IjCuR;# 6. 其他系统参数
;a Y.CgX ■ 系统由单色平面波
照明 C`++r > ■ 照明波长266.08nm
<hS % I ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
G[pDKELL — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
r&MHww1i — 一个虚拟屏位于焦平面
?3 #W 7sF —
光束尺寸探测器置于焦平面
Y%i=u:}fm ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
vq.~8c1 ? 0} M' L 7. 光线追迹系统分析器的结果
4dB6cg xYg G 光线经过整个光学系统的三维视图
t=K;/ 1 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
}:b6WN;c 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
z`?{5v -Qs Gl4(-e'b ?tf/#5t} ■ VirtualLab可用于计算点列图。
BkH- d z ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
}Sxuc/%: ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
:c vZk|b% ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
&V$qIvN$ _4#8o\ 9. 焦平面上的结果
BotGPk><c a/n KKhXaM 0L
^WTq ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
{ hXIP` ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
5Oa`1?C1 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
9(\e L9^ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
<3 b|Sk:T ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
[32]wgw+{1 .[@TC@W 10. 总结
DR d|m<Z ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
9i&(VzY[= ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
|#&{`3$CG[ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
qH GwD20 ~ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
a-A>A_. !vaS fL*] （来源：讯技光电）
