示例.0082(1.0)
s)" C~w ^ :(?joLA 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
%y33evX/B &R/)#NAp 1. 描述
/hf}f=7kH ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
L,.Ae
i9 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
7]Y Le+Ds ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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(g$Yi !<]%V]5[_ 2. 系统
+ex@[grsGT 9g+/^j^>?f 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
tfj6#{M5 3. 透镜系统组件编辑
8qn1? Lb A1@tp/L=o ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
9 )u*IGj ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
JpE4 o2 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
v rdlI^ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
.&.j?kb bT}P":*y 4. 光线追迹系统分析器-选项
n'0^l?V 5+b[-Daz Gvv~P3Dm ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
aM?Xi6
U5 ■ 可以选择选取光线的方法：
0 V*Di2 — 在x-y-网格
?8. $A2(Xw — 六边形
JPS22i)P — 自由选取
]uX'[Z}t ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
0P sp/H% ji<b #YO4 5. 系统的3维视图
8I04Nx
BFt?%E/] 
p!>FPS 6. 其他系统参数
m v%fX2. ■ 系统由单色平面波
照明 Qn(e[
C6\ ■ 照明波长266.08nm
;rJR+wpNa ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
fLL_{o0T — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
cjsQm6 — 一个虚拟屏位于焦平面
jZS6f*$ —
光束尺寸探测器置于焦平面
! lgsV..R ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
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lo eX7Ev'(H 7. 光线追迹系统分析器的结果
ii0AhQ <",4 O 光线经过整个光学系统的三维视图
4.7OX&L'G 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
w-};\]I 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
y$7Fq' ;$l!mv 7 X|t?{.p ■ VirtualLab可用于计算点列图。
e~=fo#*2?@ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
/4+M0P l ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
!YSAQi ;I ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
mZ3i#a4 lBh|+K N 9. 焦平面上的结果
bwUsE U 0 Sx+.<]t2A :.f =>s] ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
:XcU @m ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
P!'Sx;C^f ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
5WgdgDb@L ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Bu">)AnN ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
NmYSk6kW J =\`g<0 10. 总结
He^+>XIam ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
a h>k=t8( ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Kc_QxON4 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
x:b 0G ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
-MOPm]iA H>_ FCV8 （来源：讯技光电）
