示例.0082(1.0)
g-^Cf V9xZH5T8^ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
vd 7%#sHH& d>"t* >i]> 1. 描述
*&p `8: ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
""`> v`\ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Gy{C*m7Q ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
d{_tOj$ nLK%5C 2. 系统
5G.A\`u% ,EP s>#d 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
gs;3NW 3. 透镜系统组件编辑
cU}j
Whu #PYTFB % ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
=XWew* ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
&.k'Dj2hf ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
d ; (&_; ■ 包括序列光学表面和光学介质。
Y9F78=Q S.o 9AUv9 4. 光线追迹系统分析器-选项
(QQ /I; C~o6 ]'+F_ RB1c!h$u ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
S<^*jheO5 ■ 可以选择选取光线的方法：
'A91i — 在x-y-网格
p"^^9 '`= — 六边形
0 ZQ|W%tS — 自由选取
+ >o/Ob ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
nA8]/r 1k *yAC8 \ v 5. 系统的3维视图
?_9cFo59: @W3f KF9*R 
$I(2}u?1+d 6. 其他系统参数
]/;0 ■ 系统由单色平面波
照明 9TGjcZ1S' ■ 照明波长266.08nm
2GRh8 G&5 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
)fSQT bB;0 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
MtO A A — 一个虚拟屏位于焦平面
Te?UQX7Z}M —
光束尺寸探测器置于焦平面
U(5(0r ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
b6!?K!imT 6L@g]f|Y@ 7. 光线追迹系统分析器的结果
pE >~F -05zcIVo 光线经过整个光学系统的三维视图
<rc3&qmd 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
s]Z/0:` 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
cad 1eOT' k^gnOU ; * bmdY=#7 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
`WF?87l1 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
%)_R>. > ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Y<Y5H I" ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Mj5=t:MI -)@DH;[tb 9. 焦平面上的结果
w#_xV
= *1 iJ a 7 ]a6dMh ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
==I:>+_ ^| ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
o2? [*pa ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
(_-<3)q4 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
p" ht|x ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
< x DD*u M=n!tVlCV 10. 总结
VR5$[-E3 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
y]eH@:MJ;A ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
<jU[&~p ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
VkFTIy t ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
&O5%6Sv3d 7~T E=t （来源：讯技光电）
