示例.0082(1.0)
Q*wub9 S" ?py=7 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
d{_tOj$ 0l#{7^e 1. 描述
?^iX% ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
sO7$b@"u. ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
\(UEjlo ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
2w `k h= 7{= <_ 2. 系统
ow :}N I I"awvUP]a[ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
I#( D.\P 3. 透镜系统组件编辑
`jY*0{ M$O}roOa ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
p)}iUU2N ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
`_{'qqRhe ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
AHsp :0Ma# ■ 包括序列光学表面和光学介质。
G =4Da~<ij Zw(*q?9\ 4. 光线追迹系统分析器-选项
j^A0[:2 > o{(f $ LUNA. ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
$q#|B3N% ■ 可以选择选取光线的方法：
rg
U$&O — 在x-y-网格
?_9cFo59: — 六边形
7aTo! T — 自由选取
c_b^t09 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
G
hH0-g{-
`o(PcX3/} 5. 系统的3维视图
CL/8p; ,s PsL9]$ i|u3 Qt5
6. 其他系统参数
(bH*i\W ■ 系统由单色平面波
照明 = ! D<1< ■ 照明波长266.08nm
eK\ O > ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
w91gM*A — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
(n7 v $A — 一个虚拟屏位于焦平面
" dwx;E —
光束尺寸探测器置于焦平面
O?Xg%k# ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
L+Q"z*W jYKs| J)[ 7. 光线追迹系统分析器的结果
btb-MSkO +) 2c\1 光线经过整个光学系统的三维视图
JBQ,rX_Hw 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
?}^e,.M0?s 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
]dk44,EL 2GECcx53 _QCspPT' c ■ VirtualLab可用于计算点列图。
s$xctIbm?, ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
$oK, &_ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
?bbu^;2*f ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
o?uTL>Zin '3=[xVnv 9. 焦平面上的结果
eG26m_S= Ty\&ARjb 8 'LIJpk3J ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
`.n kC_d ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
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@$3\ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
[ >#?C*s ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
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■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
B&|F9Z6D k{Yj!C>
# 10. 总结
k <ds7k1m ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
7QL>f5Q ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
[r_,BH\nu ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
V_Kpb*3 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
k!O#6Z |0n h （来源：讯技光电）
