示例.0082(1.0)
M _Z*F!al< ;rV0 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Hh$x8ADf =S|SQz5%w 1. 描述
V[HH P_ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
x6.a n_W6 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Jc-0.^]E} ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
C-@@`EP o'D{ql 2. 系统
IT'~.!o7/ & t+03c8g! 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
6}K|eUak/ 3. 透镜系统组件编辑
4%KNHeaN *jCXH<?R
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
!FA^~ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
I}kx;!*b ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
eeoIf4] ■ 包括序列光学表面和光学介质。
% )i?\(/ 0^? 3hK 4. 光线追迹系统分析器-选项
BYqDC<Fq 1Ty{k^ % hE/gul?|_ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
s~Ni\ SF ■ 可以选择选取光线的方法：
%$~?DDNM — 在x-y-网格
J&@[=zBYw — 六边形
gX{V>T(< — 自由选取
di
"rvw;R ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
)^|zuYz N dp&4G6Y<A 5. 系统的3维视图
k10dkBoEX CGbW] D$@ Vx~[;*{,C9
6. 其他系统参数
Bik mAa ■ 系统由单色平面波
照明 ${8 1~ ■ 照明波长266.08nm
sG%Q?&- ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
']Nw{}eS` — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
";J1$a — 一个虚拟屏位于焦平面
Y@c! \0e$ —
光束尺寸探测器置于焦平面
l=Jbu c ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
#6 e #c5G"^)z 7. 光线追迹系统分析器的结果
^}ngb Dn )U6T]1 光线经过整个光学系统的三维视图
JcvWE
$ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
[@eNb^ R 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
</5uB'
B ^ w[^s) 1 NJ/6_e ■ VirtualLab可用于计算点列图。
yxf|Njo0 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
J-:\^uP ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
d(jd{L4d ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
aW$sd) </>;PnzE 9. 焦平面上的结果
Xjt/ G):L ~]*P/'-{# ?dl7!I@<E< ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
(%rO'X ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
@{+c 6.*} ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
7 M =LyrO ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
7{
(t_N > ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
uCB7(< XkHO = 10. 总结
: P>Wd3m ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
U!r2`2LY ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
u7=`u/ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
QmvhmsDL ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
YLVIn_\} 6+b!|` ?l+ （来源：讯技光电）
