示例.0082(1.0)
5_v 5 A)OdQFet( 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
M g#`t$ u +< gg 1. 描述
-_s%8l^ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
w-J"z C ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
a4% `" ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
,r@xPZPz:e ex.+'m<g 2. 系统
dI!8 S |drf"lX<{ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
}|A X_=a 3. 透镜系统组件编辑
V:(y*tFA J K[T]|G ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
NK 8<=
n%" ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
7kdeYr~<1 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
,cLH*@ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
]Fxku<z7| >Q&CgGpW $ 4. 光线追迹系统分析器-选项
9p5= _ u',b1 3g( %yeu" ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
\e_IFISC ■ 可以选择选取光线的方法：
-jFP7tEv — 在x-y-网格
B<Ol+)@,} — 六边形
2v4W6R — 自由选取
N5yJ'i ~,M ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
X| ,["Az
8 FzVZs# O 5. 系统的3维视图
;;M"hI3@ \Ps5H5Qk; tbg*_ZQO u
6. 其他系统参数
^ s=*J=k
■ 系统由单色平面波
照明 X2 LV& oi ■ 照明波长266.08nm
VXA[ TIqp ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
ka/nQ ~_#< — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
/\d(c/, 4 — 一个虚拟屏位于焦平面
[M`=HhJ4 —
光束尺寸探测器置于焦平面
,'=hjI el ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
MBlBMUJk ea 2 `q 7. 光线追迹系统分析器的结果
04~}Ib eJ |88CBiu} 光线经过整个光学系统的三维视图
(nq^\ZdF 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
V n ^) 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
^}hJL7O' ndqckT@93 },&h[\N{6 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
pp<E))&R ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
s"q=2i ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
#,TELzUVE ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Y K Y2Cw X{`1:c'x 9. 焦平面上的结果
7|Xe &o <n S"Kq ^DN RtwUb(wn6 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
eSn$k:\W ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
Je 31". ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
*,0+RAS vq ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
sCkO0dl8 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
M1EOnq4- Y([d;_#P 10. 总结
"H$@b`) ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
F_v-}bbcFQ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
&a tyDFJ' ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
m<3w^mww ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
Kr]z]4.d@ eVx~n(m!} （来源：讯技光电）
