示例.0082(1.0)
-P& u Y` 3(vm'r&5n> 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
VeZd\Oe _- ^mxC|M 1. 描述
vts" ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
n2Mpo\2 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
}gB^C3b6 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
6A}tA$*s7 Z,81L3#6 2. 系统
J& }1=s `D$^SHfyz 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
rmtCCPF?0 3. 透镜系统组件编辑
gs0`nysM# R rY Ntc ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
s0/m qZ]s ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
:}/\hz
, ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
e"XolM0IM ■ 包括序列光学表面和光学介质。
q5@Nd3~h x K\i&A 4. 光线追迹系统分析器-选项
m({ q<&]Qp 8bO+[" c bn5O2 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
UQ7La 7" ■ 可以选择选取光线的方法：
pGy k61 — 在x-y-网格
bFlI:R&< — 六边形
,:MUf]Ky — 自由选取
nn$^iw` ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
pF8:?p['z OL:hNbw'~T 5. 系统的3维视图
,Mi'NO B I<9xl]a 1/qD5 *`Y
6. 其他系统参数
bu rSb:JF ■ 系统由单色平面波
照明 a I`d ■ 照明波长266.08nm
-vk/z+-^! ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
0Js5 '
9}H — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
BM)a,fIgo — 一个虚拟屏位于焦平面
6c /0OM # —
光束尺寸探测器置于焦平面
5J&Gc;[p ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
<S6?L[_ Aw4)=-LKO 7. 光线追迹系统分析器的结果
C=U4z|Ym X} C8!LA 光线经过整个光学系统的三维视图
"&^KnWk= 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
(b&Z\?" 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
R\#5;W ^ $AMcU5^b7 3DB= Xh ■ VirtualLab可用于计算点列图。
TL7qOA7^X ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
0Q,Tcj ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
a>,_o(]cW ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
/Dt:4{aTOC [Fk |m1i! 9. 焦平面上的结果
>TawJ"q-6R u(? U[pe[ P 6ka'!z ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
wgvCgr< ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
|Zp')
JiS ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
?:l:fS0:{ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
CL-?Mi=Uc ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
x; ~@T9. -4F}I3I 10. 总结
U7f
o4y1} ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
NE) w$>0M ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
:J2^Y4l2 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
]iFW>N*a ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
Q`Pe4CrWvu /~fu,2=7 （来源：讯技光电）
