示例.0082(1.0)
}wI +e Mr XN{zl* ` 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
`DM)tm3&m &l4kwds R 1. 描述
Vock19P ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
P :%b[7 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
K}GR U) ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
(uC@cVk P cm q4w&x/ 2. 系统
Y]5MM:mI 1s(i\&B 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
T[c-E*{hR 3. 透镜系统组件编辑
#q-fRZ:P s I09X6) ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
Y0m?Z V t ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
6Tc! =lk ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
3Wx\Liw, ■ 包括序列光学表面和光学介质。
SMfa(+V I > p" U| 4. 光线追迹系统分析器-选项
)_?h;wh 84 w m9wnAy %?[0G,JG ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
/FC(d5I ■ 可以选择选取光线的方法：
3UKd=YsJ — 在x-y-网格
i M9^. — 六边形
m}S }fH( — 自由选取
<=w!: ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
Pv3G?u=4 @O-\ s q 5. 系统的3维视图
" SP6o JZE@W -2 <aI}+
6. 其他系统参数
:2')`xT ■ 系统由单色平面波
照明 Ww#!-,*]o ■ 照明波长266.08nm
LnsYtkb r ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
obPG]*3 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
]!a? Lr — 一个虚拟屏位于焦平面
]&`=p{Z —
光束尺寸探测器置于焦平面
_>?.MUPB ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
]^i^L %L
wq. 7. 光线追迹系统分析器的结果
8pp;"
"b |Q";a:&$ 光线经过整个光学系统的三维视图
]D=fvvST 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
Y > ~ jho 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
{zLgLBM Iek ] /= [X8EfU} ■ VirtualLab可用于计算点列图。
&2O~BIRE ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
*Tr{a_{~C ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
ugTnz$ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
e$JATA:j m&be55M; 9. 焦平面上的结果
`>)pqI%L[g WW!-,d{{@ r}:U'zlC{ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
up0=Y
o@ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
yF |+oTp ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
-%{+\x2 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
4T
v=sP ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
K\s<<dRa q9a6s {, 10. 总结
U)Tl<l< ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
jc#gn& 4C ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
(N)>?r@n` ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
b^P\Q s*m ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
3a=\$x@ crSqbL （来源：讯技光电）
