示例.0082(1.0)
+z jzO]8 u};]LX\E 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
4=F]`Lql ^Q)g sJY|I 1. 描述
X |1_0 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
6KCCbg/ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Fy _<Ui ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
i9@;,4f 22Y!u00D 2. 系统
gKs/T'PW 3dxnh,]&@ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
1^60I#Vr@ 3. 透镜系统组件编辑
yS uLt@X fs3 -rXoB ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
cdJ`Gk ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
-M1~iOb ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
nT@6g|! ■ 包括序列光学表面和光学介质。
6 h:?u4 R%)2(\ 4. 光线追迹系统分析器-选项
J+cAS/MYX ~^%0V<*-} LG Y!j_bD ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
A1|7( Sow ■ 可以选择选取光线的方法：
l)i &ATvCE — 在x-y-网格
I_zk' — 六边形
fNAo$O4cm — 自由选取
"BLv4s|y7L ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
RI5g+Du? (N*<\6kr 5. 系统的3维视图
[DotS\p !z a* W_fxb PzMlua
6. 其他系统参数
C)J_lI{^ ■ 系统由单色平面波
照明 2Z/][?Jj{ ■ 照明波长266.08nm
co$Hi9JE ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Ere?d~8 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
%0 +h — 一个虚拟屏位于焦平面
0\EpH[m}- —
光束尺寸探测器置于焦平面
G. -h=DT] ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
r sX$fU8 ?ae[dif 7. 光线追迹系统分析器的结果
SG
dfhno; -'O Q-5 光线经过整个光学系统的三维视图
Nl$gU3kL 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
IDGQIg 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
I=4Xv <F H)`C ncB |<j ,Tr1[ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
H9Y2n 0 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
VjA wn}eO ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
v+!y;N;Q
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
]k ::J>84 SE,o7_ k'S 9. 焦平面上的结果
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?n?' ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
d] O_E4X* ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
`G=ztL!g q ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
{ h/OnBwG ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
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" Z ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Q(~3pt w+Z- -@\ 10. 总结
RLYU\@kK? ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Je# !Wd ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
<ICZ"F`S ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
_o@(wGeu# ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
g9yaNelDh) 0t# NMW （来源：讯技光电）
