示例.0082(1.0)
P M [_0b o13jd NQ- 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
AE}cHBwZE g~y0,0'j1\ 1. 描述
]5"k %v| ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
"u7[[.P) ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
}w$2,r
gA ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
x^[,0 ?y2 -i:WA^yKgw 2. 系统
d j\Z}[ FSA%, b; U 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
C*b[J 3. 透镜系统组件编辑
\t7yH]:>@ >;I8w( ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
X ?'cl] 1? ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
d=xjLbsZ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
r)5xS] ■ 包括序列光学表面和光学介质。
g4h{dFb|_ 2/*u$~ 4. 光线追迹系统分析器-选项
w li cuY? Jr !BDg M9W
zsWM ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
+-@n}xb@ ■ 可以选择选取光线的方法：
RhE~Rw bx — 在x-y-网格
L5FOlzn — 六边形
6]?%1HSi — 自由选取
h+1|.d ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
~J X z H:c5
q0O^x 5. 系统的3维视图
N @c G jpQ _cs(f<>oCO 
9S|sTf 6. 其他系统参数
TF/NA\0c$ ■ 系统由单色平面波
照明 H]/ ~
#a ■ 照明波长266.08nm
(I}owr 5: ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
$z%(He — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
!vgY3S0?rq — 一个虚拟屏位于焦平面
DU% E883 —
光束尺寸探测器置于焦平面
*<xu3){:c ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
0P5VbDv$r7 WVa%< 7. 光线追迹系统分析器的结果
-" I$$C +^Xf:r`
G 光线经过整个光学系统的三维视图
^w^e~0
S 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
h:8P9WhWF 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
Nbpn"*L, epiviCYC Hx gC*-A$/ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
rC-E+%y ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
$NVVurXa ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
fY00 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
W Ej{2+ G]ek-[- 9. 焦平面上的结果
I8gNg
Z q%4X1 W S.!,qv z ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
?kO.>o ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
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8H$ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
-MTk9<qnT ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
>N |?>M* ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
F=Bdgg9s w6V/Xp][U 10. 总结
A'jvm@DvQI ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
OeqKKVuQ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
rexf#W) ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
J>A9]%M ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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（来源：讯技光电）
