示例.0082(1.0)
Y&6 jFT_ e>MtDJ5 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
q8{Bx03m6 xV >
.] 1. 描述
#{6VdWZ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
+^AdD8U ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
K *@?BE ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
A;co1,]gR ]46h!@~aC 2. 系统
)I%M]K]F sp\6-*F 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
-'&l!23a~ 3. 透镜系统组件编辑
{!I`EN] D?KLV _Op ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
LphCx6f,X ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
(Y~/9a4X ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
#wyceEa ■ 包括序列光学表面和光学介质。
=oSD)z1c?x &* VhtT?=5 4. 光线追迹系统分析器-选项
MV5$e so` \e^d =v3o)lU ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
T! x/^ ■ 可以选择选取光线的方法：
gW~YB2 $ — 在x-y-网格
q,[;AHb — 六边形
c ]*yo — 自由选取
EZj rX>"# ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
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Z> (Nzh1ul\} 5. 系统的3维视图
#?Ix6 {R JrBPx/?(,; 
6PsT])*>DE 6. 其他系统参数
\4 b^*`d ■ 系统由单色平面波
照明 Wps^wY ■ 照明波长266.08nm
W%rUa&00 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
%RW*gUvc] — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
'l<#;{ — 一个虚拟屏位于焦平面
]+G
.S-a —
光束尺寸探测器置于焦平面
@kSfF[4H ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
P,8TO-e7 zW`Hqt; 7. 光线追迹系统分析器的结果
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光线经过整个光学系统的三维视图
IfH/~EtX 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
LDegJer-v 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
B/16E uH# n{W(8K6d@[ z&9ljQ
iF ■ VirtualLab可用于计算点列图。
h7eb/xEto ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
`"~GqFwy~ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
0s8fF"$ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
<mJ8~ g8/ ,E -u 9. 焦平面上的结果
8}BM`@MG gR/?MJ(v kP5I+ B ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
[m! P(o ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
wKJ|;o4;L ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
eS Z':p ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
XnYX@p ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
(e;/Smol oHfr
glGX 10. 总结
`j3 OFC{7E ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
QUkP& sz ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
g\B ?
|% ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
n"?*"Ya ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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&lBlq （来源：讯技光电）
