示例.0082(1.0)
r7dvj#^ ';T=kS<^_ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
UC@ &! kM TF0D QP 1. 描述
LHy -y%?i ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
sqKLz ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
h7 uv0a~0 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
R
2.y=P8N E]Wnl\Be 2. 系统
<<Z t.!hS (WoKrd.! 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
xw1@&QwM 3. 透镜系统组件编辑
=2sj$ ( <.uvq61 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
RDFOUqS ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
3WH"NC-O< ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
Z{' .fq2A ■ 包括序列光学表面和光学介质。
1w30Vj 2< <W$Ig@4[.d 4. 光线追迹系统分析器-选项
KDt@Xi 6|| t,CC~ {'(1c)q> ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
A4C4xts]N ■ 可以选择选取光线的方法：
\a\J 0 &Z — 在x-y-网格
]g }Tqf/N% — 六边形
+i %,+3#6 — 自由选取
[ij8h,[~] ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
e+_~a8 -| _PI w""ssr 5. 系统的3维视图
( C1@f!Z \1 ^qfw 
KN41 kkN 6. 其他系统参数
fi/[(RBG ■ 系统由单色平面波
照明 ="M7 F0k ■ 照明波长266.08nm
qa|"kRCO ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
S7/0B4[ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Py}`k 1t*f — 一个虚拟屏位于焦平面
,{KjVv< —
光束尺寸探测器置于焦平面
w-[A" M]I ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
^:c:~F6 J >'qkW$-95 7. 光线追迹系统分析器的结果
ow,4'f!d QvPG
6A]T 光线经过整个光学系统的三维视图
{e>E4( 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
tks3xS 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
mAI< zh&SQ 3n\eCdV-b< =|@%5&.P ■ VirtualLab可用于计算点列图。
W ix/Az ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
%`o3YR ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
/M Hml0u ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
ISp'4H7R+N S6J7^'h 9. 焦平面上的结果
pO2Y'1* c(]NpH
in 3] *_*<D ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
N*dO'ol ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
y 093- ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
EPY64 { ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
8SG* 7[ T7 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
K
>-)O=$s ?< Tt1fpG 10. 总结
im }= ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
_~^JRC[q ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Pf?*bI ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
W~TT`%[ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
2 g)W-M %B;e 7
UJ （来源：讯技光电）
