示例.0082(1.0)
+ \Jo^\ `KA==;0 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
~Yk^(hl2 Tty'ysH 1. 描述
q *&H ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
$J4\jIipL ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
/'jX_
V_$| ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
' fU #v`i k37?NoT 2. 系统
_D {A ` z dfdK%/' $( 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
G|Et'k.F4 3. 透镜系统组件编辑
d9v66mpJM S}JOS}\^j ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
YXWDbr:JX ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
3=uhy|f! / ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
md+pS"8o; ■ 包括序列光学表面和光学介质。
}jC O@v; A)]&L`s 4. 光线追迹系统分析器-选项
]Wkgpfd56 (_e[CqFu M N2i0!+ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
>JE+j = ■ 可以选择选取光线的方法：
GbQi3% — 在x-y-网格
J"AR3b@,$? — 六边形
qK.(w Fx — 自由选取
0QZT<Zs ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
'/8/M{`s b&[".ibN1 5. 系统的3维视图
hc
q&`Gun 59)w+AW 
NuR7pjNMZ 6. 其他系统参数
~
q-Z-MA ■ 系统由单色平面波
照明 x>EL|Q=? ■ 照明波长266.08nm
-8 qCCV&1i ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
jI\@<6O — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
7zw0 g~+ — 一个虚拟屏位于焦平面
8<Iq)A]'Z —
光束尺寸探测器置于焦平面
y` n?f|nf ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
s;TB(M~i[ T)I)r239h 7. 光线追迹系统分析器的结果
L&k CI`Tb >S:(BJMo 光线经过整个光学系统的三维视图
pCIS8 2L 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
EX_j|/&tZ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
7e+C5W*9b $t%IJT j<(E %KN3 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
fU|v[ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
8HKv _vl ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
e&
`"}^X;I ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
%htI!b+"@ C+**!uYIB 9. 焦平面上的结果
*MmH{!= c0Ih$z ^~V2xCu ! ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
a 4ViVy ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
b Sw^a{~) ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
@!OXLM ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
_ VuWo ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
`r SOt *< f9K7^qwkiz 10. 总结
Q O =5Q ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
?:$
q~[LY ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
o~XK*f=( ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
~o _JZ: ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
phH@{mI 4ekwmw (ox （来源：讯技光电）
