示例.0082(1.0)
v<z%\`y K X P^F6@l 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
pZ, P_? Nn],sEs 1. 描述
\y9 ( b ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
O)qedy*& ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
}. x&}FqXE ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
b{KpfbxcI &?=UP4[oif 2. 系统
m%- jMvWS71 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
bF'^eR 3. 透镜系统组件编辑
_T 5ZL {VPF2J FB[ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
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D4;v ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
BiQ7r=Dd. ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
P7;=rSW ■ 包括序列光学表面和光学介质。
V3'QA1$ #
4AyA$t 4. 光线追迹系统分析器-选项
Xx~XW ^lsh ]C =+ 0?]*-wvp ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
|.x |BJ ■ 可以选择选取光线的方法：
z
(,%<oX — 在x-y-网格
'G!w0y F — 六边形
piE9qXn — 自由选取
G9.+N~GZ. ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
).0h4oHSj !biq7f%6# 5. 系统的3维视图
= X?jId{ `T x1?] ceDe!Iu
6. 其他系统参数
!tkP!%w ■ 系统由单色平面波
照明 -t, .A/? ■ 照明波长266.08nm
|@]`" k ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
@3/.W + — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
z}vgp\cuT — 一个虚拟屏位于焦平面
UC)- Fd —
光束尺寸探测器置于焦平面
T/#$44ub ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
kETu@la} ]g
jhrD 7. 光线追迹系统分析器的结果
_e<3 g9bj <!#6c :(Q 光线经过整个光学系统的三维视图
3"HpM\A{A= 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
/`Y HPeXu 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
)]"aa_20] >qj Q;z[ Tti]H9g_ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
B1]d ub9 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Z[Gs/D ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
w{J0K; L ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
:zk69P3 tkBp?Wl 9. 焦平面上的结果
uUXvBA?l U$j*{`$4 \K+LK a) ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
KXEDpr ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
PSX-b)wb ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
85U ')LY ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
lPL>8. j ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
5UE5; yo )J& 1uMp{ 10. 总结
oR'8|~U@B ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
%/17 K2g ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
eqK6`gHa 6 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
Z `FqC ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
_{ z.Tu irSdqa/ （来源：讯技光电）
