示例.0082(1.0)
{suQ"iv qW /&. 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
2Ima15^+ F VF +g+~ 1. 描述
'3~m},0 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
'@zMZc ! ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
- 0I &dG- ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
>p`i6_P0P/ a@AIv"q 2. 系统
Js.G
hTs 7+Nl)d:C J 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
=BbXSwv'( 3. 透镜系统组件编辑
4sfq,shRq >[~`rOU*|Y ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
#Zi6N ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
* ^XMf ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
I}|E_U1Qj ■ 包括序列光学表面和光学介质。
Iu(] i?Y 99%R/m 4. 光线追迹系统分析器-选项
NBAOVYK
C+_UI x]A ? m9=Me ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
-=n!k^?lK ■ 可以选择选取光线的方法：
+Y2D @K?) — 在x-y-网格
> "z`))9 — 六边形
"`mG_qHI[ — 自由选取
yTN HM_P ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
wod(P73? LMN`<R(q] 5. 系统的3维视图
3Vk\iJ 4QYS tDFe ZkdSgc')
6. 其他系统参数
mR|']^!SE ■ 系统由单色平面波
照明 C0khG9,BL ■ 照明波长266.08nm
{ D E4PE` ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
TkIiO > — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
m 0Uu2Z4 — 一个虚拟屏位于焦平面
x7i,jMR —
光束尺寸探测器置于焦平面
QyrB"_dm ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
a/rQ@ c> bx Wzm| 7. 光线追迹系统分析器的结果
+i}uRO uH7!)LE# 光线经过整个光学系统的三维视图
rT[b ^l} 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
Fh&USn" 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
#iRd2Qj% F uAs$; sp_19u ■ VirtualLab可用于计算点列图。
@PK
1 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
cV7a, * ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
\Hq=_}]F ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
vrh2}biCR ~ wcp&D 9. 焦平面上的结果
kX*.BZI}C )EcfEym.> qWXw*d1] ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Q91mCP~$ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
f:AfM f>m ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
D+w ? ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
o*[[nK*fL ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
&KV$x3 L"uidd0(g 10. 总结
:3b\ pEO9\ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
_UbyhBl ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
d6zq,x!cI ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
76u \# {5 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
1 l^ ` k`\L-*:Ji （来源：讯技光电）
