示例.0082(1.0)
o0`q#>7!_b @]?R 2bI 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
@a(oB. i 6K 4+0xXv 1. 描述
UH20n{_: ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
eq hAus?) ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
98UlNP ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
dtTlIhh 1V SRf5W'4y 2. 系统
(\vXA4Oa, }cW#045es 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Tz` ,{k 3. 透镜系统组件编辑
E}$V2ha0zu sN]Z
#7 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
P (;Mb{ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
`bqzg ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
4B$bj `h ■ 包括序列光学表面和光学介质。
38wq ( kl<g;3 4. 光线追迹系统分析器-选项
2AK}D%jfc (\&
62B1 J]\^QMX ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
-*3(a E ■ 可以选择选取光线的方法：
+c?ie4 — 在x-y-网格
o#}mkE87 — 六边形
O X3Xy7 — 自由选取
>76 |:Nq ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
1b[NgOXY= {US>)I 5. 系统的3维视图
jL_5]pzJ PbEQkjE 
o? \Gm 6. 其他系统参数
2sun=3qb ■ 系统由单色平面波
照明 L[. <o{ ■ 照明波长266.08nm
f{_)rsqf ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
-'ZxN'*% — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
`]{Psc6_= — 一个虚拟屏位于焦平面
1eiw3WU; —
光束尺寸探测器置于焦平面
PbN3;c3 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
4 (|yD; vJThU$s- 7. 光线追迹系统分析器的结果
e~
BJvZ}Q {(0Id ! 光线经过整个光学系统的三维视图
K ?YEoz'y[ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
'!@A}&] 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
I>hmbBlDv b 9#m m 0 _HJ.g! ■ VirtualLab可用于计算点列图。
BA*&N>a ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
{*fUJmao" ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
PW)8aLU ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
f1\7vEE, H &fTh 9. 焦平面上的结果
L!vWRwZwC 0%H24N
9. S}mm\<=1 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
#[(gIOrNn8 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
GGM5m |4 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
K1-+A2snhV ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
8})|^%@n ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
R#LGFXU j 9 t A E#A 10. 总结
-;ER`Jqs, ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
<M30 5BH ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
23k)X"5 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
q;No"_aAd ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
fFHK:n` AoU_;B\b% （来源：讯技光电）
