示例.0082(1.0)
AffVah2o: 6v~` jS%3 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Q- ( [3% *V+6409m 1. 描述
jO
xH' 1I ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
YI0 5?J} ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
YT7,=k _ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
S h'>5z2 C@ +"d3 2. 系统
<[ {Ty+ L4Ep7= 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
jR 8~EI+ 3. 透镜系统组件编辑
wq &|V lF-;h{
■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
!z@QoD ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
o('W2Bs-o ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
mD }&X7 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
rl-r8?H} U 7mA~t2E 4. 光线追迹系统分析器-选项
}p-<+sFo ]D|sQPi]F 1(!w xJ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
+g36,!q ■ 可以选择选取光线的方法：
`:WVp ~fn — 在x-y-网格
APxy %0 Q — 六边形
=Gsn4>~%n — 自由选取
b;$ -s
\% ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
ECHl 9;
+ K07SbL7g!p 5. 系统的3维视图
}`k >6B gQy {OU mq~ rD)T
6. 其他系统参数
;)Rvk&J5 ■ 系统由单色平面波
照明 qc^ u% ■ 照明波长266.08nm
oXw} K((| ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
V0hC[Ilr — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Bi?.w5 — 一个虚拟屏位于焦平面
2w `k h= —
光束尺寸探测器置于焦平面
=XWew* ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
{XYv &K s_Y1rD*B 7. 光线追迹系统分析器的结果
bni :B?# Id8^6FLw 光线经过整个光学系统的三维视图
C~o6 ]'+F_ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
g Z3VT{ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
vn;_|NeSf mo%9UL,#W 51 .! S ■ VirtualLab可用于计算点列图。
J;+A G^U< ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
> o{(f ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
$ LUNA. ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
,ry2J,IT7 =IBdnEz:M 9. 焦平面上的结果
dP0!?J Y B.2F\ub g 9 k.LV/Y ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
?8 wFT!J ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
e* gCc7zz ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
e9r#r~Qq| ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
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e ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Zyq h kM>0>fkjE 10. 总结
}vBk ,ED ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Zab 5"JR ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
<Q)6N!Tp^ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
kQlXcR ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
U+sAEN_e k GRz`fO （来源：讯技光电）
