示例.0082(1.0)
p&2oe\j$, &AnWMFo 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
a FL; E .'bhRQY 1. 描述
C#TP1~6 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
t!\B6!Fo ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
`r]C%Y4? ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
t" ?)x&dS sBa&]9>m 2. 系统
elz0t<V yX.; x 0 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
sAS[wcOQ 3. 透镜系统组件编辑
4 q\&Mb3 -8yN6
0| ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
)]C(NTfxg ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
NUFW
SL> ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
'"T9y=9]s ■ 包括序列光学表面和光学介质。
*p0Kw> .Bojb~zt 4. 光线追迹系统分析器-选项
;tC$O~X 0ax ;Q[z2 %Ix2NdC ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
%+oqAY m+s ■ 可以选择选取光线的方法：
x (A8FtG — 在x-y-网格
}$b!/<7FD — 六边形
V Ig6' — 自由选取
Xi;<O &+ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
9.B gsV . mrBK{@n 5. 系统的3维视图
u.Tknw-X [qU`}S2 {DZ xK(
6. 其他系统参数
$b) t` r+ ■ 系统由单色平面波
照明
Vfw H: ■ 照明波长266.08nm
D!z'Y,. ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
l{*Ko~g — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
0O a&vx — 一个虚拟屏位于焦平面
L tUvFe —
光束尺寸探测器置于焦平面
H5*#=It ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
k *D8IB )iid9K<HB 7. 光线追迹系统分析器的结果
Bj G fUQ 5fRr d; 光线经过整个光学系统的三维视图
A4(k<<xjE 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
/vC!__K9: 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
\/b[V3<" +Vi L" x_CY `Y ■ VirtualLab可用于计算点列图。
*5{1.7 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
%y7ZcH' ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
7$x%A&] ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
_mJhY0Oc ) O&zb_{n 9. 焦平面上的结果
q] Kv.x]$R &xZ SM, j+e~
tCcN/ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
#lc6-K# ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
u%lUi2P2E ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
@v3)N[|d ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
ydA@@C \& ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
CM%;/[WBxy I;n <)
> 10. 总结
K-@\";whF ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
/8!n7a7 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
+v$W$s&b-h ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
OMM5ALc(F ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
w=3
j'y{f sPVE_n （来源：讯技光电）
