示例.0082(1.0)
<][| ,9mw " I@Z:[=2 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
+WwQ!vWWd |"P5%k#6^> 1. 描述
*k'9 %'< ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
7@Di nA! ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
T"Q4vk,3*J ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
BsB}noN } ^%d+nKx9nL 2. 系统
+X;6%O; d<6L&8)< 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
(>0d+ KT 3. 透镜系统组件编辑
ZrA\a#z"< 2.&v{gq ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
jVRd[ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
^B& Z ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
`bT{E.(T ■ 包括序列光学表面和光学介质。
O|j5ulO}&" 3Ua g[ms 4. 光线追迹系统分析器-选项
]jHB' Y 8`VM do9 ~:)$~g7>b ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
?EX'j
> ■ 可以选择选取光线的方法：
+d6E)~qKL — 在x-y-网格
u'K<-U8H — 六边形
K?T)9 — 自由选取
O~,^x$v e ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
\0 WMb Y\ p
yl 5. 系统的3维视图
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~b&Oz) =,@SZsM*B 
xJ&StN/' 6. 其他系统参数
c=
a+7> ■ 系统由单色平面波
照明 cR5<.$aY ■ 照明波长266.08nm
?>o39|M_w ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
b vu` = — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
DR0W)K
^ — 一个虚拟屏位于焦平面
!)9zH —
光束尺寸探测器置于焦平面
W&!Yprr ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Ew;<iY[ #Y18z5vo 7. 光线追迹系统分析器的结果
6:EO I$ mOy{/# 光线经过整个光学系统的三维视图
9i`LOl:; 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
`z=MI66Nl 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
>leOyBEAR XPEjMm'*b3 sG VC+!E ■ VirtualLab可用于计算点列图。
e8lF$[i ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
95!x Tf ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
C3_*o>8 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
S,8zh/1y u%h<5WNh< 9. 焦平面上的结果
5%>U.X?i k Dv)g J5o"JRJ" ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
2hp x%H ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
&1[5b8H;+ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
7CIje=u.q ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
J `mp8?;% ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
8D n]`}ok 8@qahEgQ 10. 总结
WWO jyj ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
q/3}8 BJ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
^Ue.9#9T&g ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
FCe503qND$ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
JV/,QWar Z E\t{s0 （来源：讯技光电）
