示例.0082(1.0)
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xp X] t * 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
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irRAU 1. 描述
JLV?n,nF ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
8\8%FSrc ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
`jCq`- . ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
| b)N;t c#(&\g 2H 2. 系统
`H\NJ , gPWl# 5P: 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
WWWfQ_u2 3. 透镜系统组件编辑
k i|w?0s Gh9dv|m=[; ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
zGE{Z A ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
MYeG r3V3 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
|)u|@\{ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
lpeo^Y}N `z3"zso 4. 光线追迹系统分析器-选项
\{`*`WQF x$tzq+N =;HmU.Uek% ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
`pd1'5Hm ■ 可以选择选取光线的方法：
_fANl}Mf: — 在x-y-网格
WWY G>C[ — 六边形
nzORG — 自由选取
Z'z~40Bda ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
_d/ZaCx'i "n=Ih_J 5. 系统的3维视图
T89VSB~ Li\BRlebR{ 
g ed k 6. 其他系统参数
E|Z7art ■ 系统由单色平面波
照明 Sf0[^"7 ■ 照明波长266.08nm
4lfJc9 J ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
W'9=st' — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
b`sph%& — 一个虚拟屏位于焦平面
Qab YkL5@ —
光束尺寸探测器置于焦平面
*d/]-JN,K ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
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hu 7. 光线追迹系统分析器的结果
;F<)BEXC< da&f0m U 光线经过整个光学系统的三维视图
F
/:2+ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
T"m(V /L$W 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
mD p|EXN o(@F37r{? o<-+y\J8K ■ VirtualLab可用于计算点列图。
0Ti> PR5M ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
+C !A@ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
i@ av m7 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
W=~H_ L?/ ".SQ*'Oc 9. 焦平面上的结果
9jwo f}OU d.&~n`Rv!p D0&{iZ( ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
{XNu4d9w( ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
{L8 (5 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
dj76YK ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
gZs8BKO ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
V-w[\u 2v<[XNX 10. 总结
,uP1U@Cas ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
N7xkkAS{ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
^MWfFpJV!] ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
7>m#Y'ppl@ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
qEpP%p P( W8XC （来源：讯技光电）
