示例.0082(1.0)
EQ2#/> l|xZk4@_uE 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Xsa2( - 0WT {,/> 1. 描述
MRQ.`IoS ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
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MLK7+ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
,_|]Ufr!a ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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Py 2. 系统
l;af~ef)' W>!_|[a 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Y;n Z=9Sw 3. 透镜系统组件编辑
`))\}C@k iM2W] ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
syk!7zfK ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
]FD'5p{ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
+U_=* "@| ■ 包括序列光学表面和光学介质。
El<]b7 R,)}>X|< 4. 光线追迹系统分析器-选项
8iW;y2qF O#&c6MDB: YiYV>gaf"H ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
]'5;|xc9$/ ■ 可以选择选取光线的方法：
MzPzqm< — 在x-y-网格
-D xL 0:E — 六边形
u7bLZU 0 — 自由选取
rX*H)3F ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
Tq NadHQ Mmj;'iYOwF 5. 系统的3维视图
w0|gG+x jS GGe,fb<k 
np%\&CVhN 6. 其他系统参数
<Gav5R c ■ 系统由单色平面波
照明 XEC(P ■ 照明波长266.08nm
;`l'2
z@N ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
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G#M — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
IC6gU$e — 一个虚拟屏位于焦平面
t^ `O{m< —
光束尺寸探测器置于焦平面
iP@ZM =&wz ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
|UP `B | H(2!1 ?N + 7. 光线追迹系统分析器的结果
| _}2f Kh(ZU^{n 光线经过整个光学系统的三维视图
xO1[>W 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
I96C i2)m 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
iZPCNS" R-NS,i={ ,Q C{3i~ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
HQ|MhM/" ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
I+Jm>XN ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
H_ EB1"C;\ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
jAy^J(+ ?6(I V ] 9. 焦平面上的结果
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m /c"efnb! '7D,m
H ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
N+L L@[ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
1^ _U;O:I ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
RG3l.jL ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
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■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
CqHK %M lrWV#`6!+ 10. 总结
8~90 3 0>Q ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
af#pR&4} ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
(T>nPbv) ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
-od!J\ KCy ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
Jg]'+>,J '\Jj8oJQj （来源：讯技光电）
