示例.0082(1.0)
!&?(ty^F ?neXs-'-p 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
mp>,TOi~s7 E0Ig/
j 1. 描述
_}{C?611c ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
Rw=g g >\ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
4*G#fW- ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
rp+&ax}Wh iO>2#p8$NR 2. 系统
L+(5`Y ~UEft 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
DF P0WXbOE 3. 透镜系统组件编辑
k7'B5zVd ggXg 4~WL ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
%9uLxC; ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
S:+ SZq ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
Nu<M~/ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
z~U qA1r \l"1Io= 4. 光线追迹系统分析器-选项
O#sDZ.EL edx-R-Dc-1 ( Y'q%$ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
pmv;M`_|R ■ 可以选择选取光线的方法：
DUFfk6#X} — 在x-y-网格
IlN9IF\9L — 六边形
vB
hpD — 自由选取
3#!}W#xv ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
|B./5 ,nSS )!s f@F? 5. 系统的3维视图
"6[fqW65 Oc}4`?oy<O rB}Iwp8
6. 其他系统参数
>\+c@o[ ■ 系统由单色平面波
照明 dmgoVF_qR ■ 照明波长266.08nm
]N!8U_U3 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
\L($;8` \ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
l c ?9B — 一个虚拟屏位于焦平面
&Egw94l —
光束尺寸探测器置于焦平面
d %1j4JE{ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Y(h86>z*w \Z{6j& ; 7. 光线追迹系统分析器的结果
eG55[V<! w@ALl#z;} 光线经过整个光学系统的三维视图
z/dpnG X 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
LZG?M|(6D 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
7O', X Y =]X_wA;% omisfu_~E ■ VirtualLab可用于计算点列图。
>> yK_ yg ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
G~b/!clN ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
X0wvOs: ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
He @d~9M E4idEQ}H 9. 焦平面上的结果
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^ #e|G!'wdj ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
5 Yj qN ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
o/ ??w:' ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
2_k2t
? ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
4HG;v|Cp ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
G0 * >S`:4 `=TV4h4 10. 总结
.K%1{`.| ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
% xv } ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
^Y[.-MJt+ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
oM ey^]! ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
HG
kL6o= 4}-{sS}MP （来源：讯技光电）
