示例.0082(1.0)
4kg9R^0 l.BSZ hO$ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
]NAPvw#p T"d]QYJS 1. 描述
FcW ?([l ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
)X^nzhZ2O" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
*qb `wg ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
h'-TZXs0e1 T>uLqd{hH 2. 系统
D}"GrY 5 ~hvhT }lE 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
y l'~H;su 3. 透镜系统组件编辑
8:&@MZQ&! Z@ws,f^e ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
~4`wfOvO ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
NOS5bm&- ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
wqGZkFg1 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
R9CAw>s p[uwG31IL` 4. 光线追迹系统分析器-选项
_ _)Z Q r\3In-(AT `a6;*r y ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
f8&=D4)-w ■ 可以选择选取光线的方法：
\:=Phbn — 在x-y-网格
v ;$^1 I — 六边形
gN]`$==c[ — 自由选取
ev?>Nq+Z ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
P! O#"(r2] r\Nn WS J 5. 系统的3维视图
;:!LAe
S$H4xkKs 
]D UH_<3"E 6. 其他系统参数
]Pd *w`R ■ 系统由单色平面波
照明 B\=& v8 ■ 照明波长266.08nm
'QV 4 =h` ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
<K0lS;@K — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
u51/B:+ — 一个虚拟屏位于焦平面
WWe.1A, —
光束尺寸探测器置于焦平面
$o @?D^ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Rp<Xu6r =[k9{cVW 7. 光线追迹系统分析器的结果
=az$WRV+7! I &xRK' 光线经过整个光学系统的三维视图
ld?M ,Qd 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
o&AUB` .9~ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
l1:j/[B= 82=][9d # 9qW,I|G ■ VirtualLab可用于计算点列图。
zV &3l9?U ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
<7&b|f$CL ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
"_l[4o[D ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
z]WT>4 CeJ|z {F\ 9. 焦平面上的结果
TB[vpTC9) 2 <O8=I _ kp$I LZ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Kq?7#,_ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
.Sn1YAhE ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
fr?eOigbl ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Qh[t ##I/ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
< 9MnQ*@ Iu[EUi!" 10. 总结
l>iU Q&V ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
r% #qbsN ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
F,z JdJ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
/7#&qx 8 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
JU@$( ;E&XFTdO （来源：讯技光电）
