示例.0082(1.0)
T3HAr9i%) ~F?vf@k 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
:]EAlaB4Q [>5<&[A 1. 描述
!.(Kpcrg ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
{H]xA 3[] ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
r-M:YB ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
8@Zg@>, "7 v/ - 2. 系统
i$~2pr ^Eu]i 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
v- zi ,]W 3. 透镜系统组件编辑
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ql (@t O1g ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
bSOxM /N ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
m3Mo2 };? ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
T&M*sydA ■ 包括序列光学表面和光学介质。
^SP/&w<c Lk?%B)z 4. 光线追迹系统分析器-选项
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EV1x"}D A_ . hBq1p
■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
~7!=<MW ■ 可以选择选取光线的方法：
8v$ 2*$ — 在x-y-网格
(IlH g^" — 六边形
L -B"P& — 自由选取
=?o, ' n0 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
_|f 1q lSMv9 :N 5. 系统的3维视图
?hqHTH:PU D{-h2 =V G`n |fuv
6. 其他系统参数
#[|~m;K(w ■ 系统由单色平面波
照明 )7$1Da|. ■ 照明波长266.08nm
-s?f <f{ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
^/k , — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
,6DD=w 0r — 一个虚拟屏位于焦平面
!Ri
r&gF —
光束尺寸探测器置于焦平面
*
flW L ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
ZBF1rx? k5wi' 7. 光线追迹系统分析器的结果
GYd]5`ri ~> PgJ ^G 光线经过整个光学系统的三维视图
R+d<
fe 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
te) n{K", 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
#9i6+. Z 0p otz] } +tIz[+u ■ VirtualLab可用于计算点列图。
T(JuL<PB ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
<~N%W#z/ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
jP+ pA e ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
*!Y- ! U_l7CC K + 9. 焦平面上的结果
BMpF02Y|4 )%q tE34` Ge^Qar ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
e{0L%%2K ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
Z ^*NnL.' ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
7-X/ >v ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
+TF8WZZF.d ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
p0Gk j- nS.2C>A 10. 总结
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0a ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
'PpZ/ry$ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
N 'i,> ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
'#W_boN ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
wd wp9 r MxTmWsaW （来源：讯技光电）
