示例.0082(1.0)
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| 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
/mv uSNk bA1u h]oB 1. 描述
%3Y&D] ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
.aF+>#V=Q ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
V\Rbnvq ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
o XA*K.X< 5`0tG; 2. 系统
3:!+B=woR ,xNuc$8Jd 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
|nB2X;K5~ 3. 透镜系统组件编辑
Wl} d6ZTm UT+B*?,h ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
(eSa{C\ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
_"=Y j3?G% ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
?~ ;G)5 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
CpO!xj +
K t9:V, 4. 光线追迹系统分析器-选项
JZ'`.yK: 9)'L,Xt4:T _yumUk-QW ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
Uu W" ■ 可以选择选取光线的方法：
5nQ*%u\$Z — 在x-y-网格
0[ jy — 六边形
[<7Hy,xr_ — 自由选取
8v_HIx0xu ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
{!@Pho) Q pX+ `qxF\ 5. 系统的3维视图
V07e29w nxw]B"Eg )EcE{!H6+
6. 其他系统参数
+-1t]`9k4 ■ 系统由单色平面波
照明 /X {:~*.z ■ 照明波长266.08nm
ng^`s}?o ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Rcfh *"k — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
s9?klJg — 一个虚拟屏位于焦平面
Tt<Ry'Z$3 —
光束尺寸探测器置于焦平面
TIYI\/a\; ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Q47Rriw s `U.h^V 7. 光线追迹系统分析器的结果
aPWlV= oG cK"b0K/M?B 光线经过整个光学系统的三维视图
ORD@+ { 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
xQ=[0!p+ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
s8Xort& 0ZlF#PJA y".uu+hL` ■ VirtualLab可用于计算点列图。
:D`ghXj ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
R&PQU/t) ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
J L=MlZ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
c%n[v3] : $lx] 9. 焦平面上的结果
9X/c%:)\= < {$zOF} *+{ umfZy ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
$fR[zBxA ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
S;[9
hI+ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
T.]+T[}! ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
QK)"-y}"g ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
<nOK#;O) ~ &8ag` 10. 总结
RoFy2A=_ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
>v F=}1_L ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
%}t.+z(S ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
bX23F? ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
WLqwntzk gpB 3\ （来源：讯技光电）
