示例.0082(1.0)
PEZElB ; jD3,z* 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
c ;e-[F 7 &oiX/UaY 1. 描述
b].:2 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
C1P {4 U ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
: N ^1T6v ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
S5d:?^PGg }GsZ)\!$4 2. 系统
-@i)2J_WP <Hhl=6op 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
NUb^!E" 3. 透镜系统组件编辑
Y+< C[Fiq uOc>~ITPS ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
&KgR;.R^J ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
:gY$/1SYD ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
*wP8)y v7 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
cO<]%L0 s l|s#+Z 4. 光线追迹系统分析器-选项
%@ $h?HP Dqe)8 r &/=>:ay+# ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
UT [7 J ■ 可以选择选取光线的方法：
PB4E_0}h — 在x-y-网格
R B.j@* — 六边形
rMSB|*_ — 自由选取
c a_N76o! ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
p+;Re2Uyg f2_LfbvH 5. 系统的3维视图
*jGB/ y N<hb V0$ % r\vB-nJ
6. 其他系统参数
F^_d8=67h ■ 系统由单色平面波
照明 EVNTn`J_ ■ 照明波长266.08nm
NmST1pMk ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
9 f-T> } — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
aRq7x~j
)\ — 一个虚拟屏位于焦平面
q?8MKf[N —
光束尺寸探测器置于焦平面
a \vf{2
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
b@^M|h.Va -QIcBzw;q 7. 光线追迹系统分析器的结果
p]`pUw{ ]? -56c, 光线经过整个光学系统的三维视图
<Nv w
w 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
WRh &4[G' 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
Jl Q%+$ dVVeH\o 7oF`Os+U ■ VirtualLab可用于计算点列图。
nX5*pTfjL3 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
,M7sOp6} ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
9/ }i 6j8Z ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
'nP'MA9b;a j 6 Jz 9. 焦平面上的结果
' e 3y| E2(;R!ML# ?*}76u ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
V== ' 7n ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
(m) %5*: ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
<tf4j3lwH ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
&-<"HW ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
G&D N'bp \q3H #1A 10. 总结
Vnh
+2XiK ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
r4 +w?=` ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
*^Zt5 zk ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
oge^ 2 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
ZhxMA*fL W{ eu_ （来源：讯技光电）
