示例.0082(1.0)
Yup3^E
w& %D * OO{ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
=h l }.p 4[N^>qt = 1. 描述
Ci rZ+o ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
D= 7c( ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
tJN<PCG6" ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
.9. 2 Be y r,=. ?C- 2. 系统
3do)Vg4
B5$kHM%p 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Jec'` ,Y 3. 透镜系统组件编辑
XC+A_"w) T1H"\+ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
tsk)z P,< ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
++E 3] X| ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
Pi|o` d ■ 包括序列光学表面和光学介质。
9?k_y ZV q:g2Zc'Y~W 4. 光线追迹系统分析器-选项
J[&b`A@.o t45Z@hmcW mx=BD' ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
jVq(?Gc ■ 可以选择选取光线的方法：
,~._}E&9I — 在x-y-网格
Sf8{h|71 — 六边形
b".L_Ma1* — 自由选取
{26ONa#i ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
`/_G$_ Od|$Y+@6 5. 系统的3维视图
TjG4`:*y#m Fgh]KQ/5 5scEc,JCi
6. 其他系统参数
N;[>,0&z ■ 系统由单色平面波
照明 N\bocMc,X ■ 照明波长266.08nm
>]c*'~G& ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
/soKucN"h — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
,GgAsj: K — 一个虚拟屏位于焦平面
\nP>:5E1 —
光束尺寸探测器置于焦平面
/Ju;MeE9 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
S .a% M.>l#4s,' 7. 光线追迹系统分析器的结果
Ot`VR&} =lpQnj" 光线经过整个光学系统的三维视图
) l#E}Uz 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
e$pMsw 'MJ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
<wAFy>7 Hik3wPnp _l1 NKk ■ VirtualLab可用于计算点列图。
:GJ &_YHf ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
&@3H%DP}Ql ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
%D[0nt|X ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
M4W5f#C5Ee nak Yn 9. 焦平面上的结果
)[Yv?>ib /g4f`$a c?@T 1h4 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
& :7ZQ1 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
42qYg(t Z ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
q?ix$nKOv ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
vz!s~cAt ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Kx%Sku<F' Z@$8I{}G 10. 总结
R`~z0 d. ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
jt.3P ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
>_LDMs[-p ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
qQH]`#P ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
5;{H &O9Q $ O5UyKI （来源：讯技光电）
