示例.0082(1.0)
|r L#HG xWxgv;Ah 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
)>r sX) B{2WvPX~q 1. 描述
bS&XlgnKi ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
`+]e}*7$f ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
%j.
*YvveW ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
C)(/NGf N@3&e;y 2. 系统
3hPp1wZd )F3> 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
\o<&s{ 6L 3. 透镜系统组件编辑
|gwGCa+ ,c6c =di ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
30<3DA_P ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
dCO7"/IHW ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
L5n /eg:Q ■ 包括序列光学表面和光学介质。
DP08$Iq yGE)E BH 4. 光线追迹系统分析器-选项
u Xm}THI B]wfDUG $m[* )0 / ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
@M=\u-jJ. ■ 可以选择选取光线的方法：
~^v*f — 在x-y-网格
Ur,{ZGm — 六边形
fK; I0J — 自由选取
,ek0)z. ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
6>F1!Q }c ,: uN 5. 系统的3维视图
'da$i >fx/TSql:J ]>oI3& 6s
6. 其他系统参数
mt ]50}eK ■ 系统由单色平面波
照明 $&KiN8 2, ■ 照明波长266.08nm
PmlQW!gfBi ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
6T-i BJT — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
TSKR~3D# — 一个虚拟屏位于焦平面
a8cX {6 —
光束尺寸探测器置于焦平面
3&5AbIZ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
x>[f+Tc { PS|q? 7. 光线追迹系统分析器的结果
I!Uj~jV P.'$L\ 光线经过整个光学系统的三维视图
CooOBk 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
[5wU0~>' 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
sV-UY!
v g-'MG '=1@,Skj- ■ VirtualLab可用于计算点列图。
n~'cKy )m ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
b0h >q $b ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Tk:%YS;= ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
pL`)^BJ ^9`~-w 9. 焦平面上的结果
=:(<lKf,<F yPT\9 "/ f1X]zk(=W ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
-|(
q 9B ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
YnW,6U['{g ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
(&xIB F_6 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
.y2n p ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
BBHoD:l C)|#z/" 10. 总结
,Laz515 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
3 ,
nr*R! ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
^=,N]
j ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
LhQidvCNJ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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S EQ2HQz ] （来源：讯技光电）
