示例.0082(1.0)
H ZEDr}R N sJB::6+1(| 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
&0*IN
nlc? ]q<Zc>O C 1. 描述
}RN&w ]< ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
u!D AeE ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
tC4 7P [b ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
2}8xY:|@(U ,/6 aA7( 2. 系统
-9> oB _7Rp.)[& 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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U`@ 3. 透镜系统组件编辑
gy6P f4Yo GMJ</xG ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
7-`iI(N< ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
<{k r5 < ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
0VBbSn}Z< ■ 包括序列光学表面和光学介质。
+ht{ARX2( uSU[Y,'x 4. 光线追迹系统分析器-选项
"*N=aHsj 3 F ke#t ouf91<n ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
'98 0. ■ 可以选择选取光线的方法：
)%D>U — 在x-y-网格
-
}2AXP2q — 六边形
zf}X%tp — 自由选取
M->$ 'Zgh` ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
WPu{
]<pl 568qdD`PS 5. 系统的3维视图
'mR 9Uqq\ ]v,>!~8r i1 k#WgvZR
6. 其他系统参数
q #!]5 ■ 系统由单色平面波
照明 [K4wd%+ ■ 照明波长266.08nm
f!n0kXVu6U ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
"Acc]CqH* — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
l\%LT{$e — 一个虚拟屏位于焦平面
%?WR 9}KU0 —
光束尺寸探测器置于焦平面
? OFl9%\ V ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
E3==gYCe* j!;y ! g 7. 光线追迹系统分析器的结果
%
XS2 ;V xQK;3b 光线经过整个光学系统的三维视图
G.[,P~yy. 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
g7 r_jj%ow 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
k}h\RCy%f _0: }"!Gq y+g01z ■ VirtualLab可用于计算点列图。
? j8S.d ~ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
;LjTsF' ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
{} gr\ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Yl#|+xYA5[ (;.wsz &K 9. 焦平面上的结果
MrGq{,6C )%T< Mw2u nnol)|C{5Y ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
U81--'@y ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
7\xGMCctM ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
zIE{U ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
J jp)%c#_ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Hz6tk9;w E)}& p\{E 10. 总结
-xk.wWpV ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
01^+HEbm ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
. \6q\7Ej ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
6+s 10? ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
Vv Se`E* U:1 cbD7|3 （来源：讯技光电）
