示例.0082(1.0)
^@maF<Jb i;<H^\% 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
2)`4(38 :2& W9v 1. 描述
_`]YWvh ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
K30{Fcb< h ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
$Jy1=/W& ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
vP&JL ~ \g;-q9g;O 2. 系统
\H?r[]*c% ~p/1
9/ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
n ^C"v6X
3. 透镜系统组件编辑
pL' +sW [)p>pA2GZj ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
>]8H@. \ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
2G`tS=Un ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
(^Hpe5h& ■ 包括序列光学表面和光学介质。
xCiq;FFR U{.y X7 4. 光线追迹系统分析器-选项
@X>Oj . =I9RM 9O< B } p{$g! ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
[Gb8o' ■ 可以选择选取光线的方法：
}7|UA%xz — 在x-y-网格
_"c?[n — 六边形
Hk|wO:7Be — 自由选取
w
] $Hr ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
@ * *]o KP]{=~ ( 5. 系统的3维视图
?,x 3*'-( 0=K yupwXC _ye74$#
6. 其他系统参数
0h~7 "qUF@ ■ 系统由单色平面波
照明 s(Llz]E~ZX ■ 照明波长266.08nm
} ,G5!3 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
<-m[0zg q — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
>FM2T<.; — 一个虚拟屏位于焦平面
6{PlclI ! —
光束尺寸探测器置于焦平面
c'~6 1HA< ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
$4&e{fLt|v \B~}s } 7. 光线追迹系统分析器的结果
0T7""^'& 7gcJ.,Z. 光线经过整个光学系统的三维视图
r5g:#mF" 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
`Kq4z62V 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
I X) \z KI{B<S3*Z $ 4a;R I ■ VirtualLab可用于计算点列图。
u' +;/8 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
o79EDPX ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
xRM)f 93@ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
JQ)w/@Vu= /KH,11 )yc 9. 焦平面上的结果
" WE*ED +GqUI~a ev;R; 0< ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
"nEfk{ g ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
m3i+b ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
|| t"}Y ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
YZ0Jei8+- ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Dq G m ny{Yr>:2 10. 总结
Q,m1mIf ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
qTUyax ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
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Zdc ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
MYVgi{ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
0<C]9[l zLda&#+ （来源：讯技光电）
