示例.0082(1.0)
Y6D =tb ?pF ;{ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
*!s4 #| h +j@|D@z 1. 描述
fnmZJJ,Q ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
C,I N +@ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
SpkVV/ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
-I_lCZ{Nbi nO|S+S_9 2. 系统
KT g$^"\ A| > C 3S 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
UxS;m4 3. 透镜系统组件编辑
QKP9*dz
&% *S ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
,^<+5TYM7 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
\
qs6% ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
X
]a> ■ 包括序列光学表面和光学介质。
VUnEI oKM
{X =\ 4. 光线追迹系统分析器-选项
;Q"F@v}18 [{ { ?e6J h3)KT+7. ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
VG8rd'Z ■ 可以选择选取光线的方法：
-y\ N 9 — 在x-y-网格
j qdI=!H — 六边形
C 3b'Q — 自由选取
iZSSd{jO ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
Asn0&Ys4 5PPy+36<~ 5. 系统的3维视图
xLD6A5n,[ K4F!?# V!opnLatYS
6. 其他系统参数
}agl:~C ■ 系统由单色平面波
照明 ^6 LFho4 ■ 照明波长266.08nm
:O!G{./(_ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
qIqk@u — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
a[$.B2U — 一个虚拟屏位于焦平面
SQ
Fey~ —
光束尺寸探测器置于焦平面
sTA/2d ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
r2](~&i2 h#n8mtt&i 7. 光线追迹系统分析器的结果
L$Leo6<3a 6>L. )V 光线经过整个光学系统的三维视图
j0%0yb{-^ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
RYV6hp)| 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
eFnsf }(Iy L|2COX $HXB !$d ■ VirtualLab可用于计算点列图。
=k*0O_ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
23f[i<4e ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
(wlsn6h ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
XF7W'^ !Q(xOc9>Ug 9. 焦平面上的结果
vl5n%m H>^ cV{ZD q
{''|iwLr ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
9V66~Bf5 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
fD~!t 8J ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
*QG3 Jz ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
PD}R7[".> ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
];I| _fXo% '<0q"juXE 10. 总结
{\aSEE /' ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
!1RV [b.8 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
r9M={jC ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
3opLLf_g ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
[;=WnG sv;zvEn;-L （来源：讯技光电）
