示例.0082(1.0)
5]Wkk~a N+<`E r 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
OT & mNE4 n*4N%yI^m5 1. 描述
-rEg(@S % ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
HuX{8nl a ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
UE3#(:x A ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
9Q!X~L|\ S gF snL*L0 2. 系统
n g Z kBX g@&@ ]63 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
C,+ Sv- 3. 透镜系统组件编辑
#-QQ_ ;K'1dsA ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
y=L9E? ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
R+c
{Pl ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
` "Gd/ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
JsOu
*9R z Uw9 4. 光线追迹系统分析器-选项
u -CC UMR t=`bXBX1 FyXz(l: ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
PV2cZ/ ■ 可以选择选取光线的方法：
39W"G7n?v — 在x-y-网格
zU+` o?al — 六边形
qlT'gUt=H — 自由选取
; r SpM ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
N Fc@Kz<H Min^EA G@ 5. 系统的3维视图
0 ] v:Ix EM_`` 0^ -Oo7]8
6. 其他系统参数
c3\z ■ 系统由单色平面波
照明 UMg*Y v% ■ 照明波长266.08nm
{ r9fKA ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
RVxlN* — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
zSYh\g" — 一个虚拟屏位于焦平面
I_Q*uH.Y 5 —
光束尺寸探测器置于焦平面
^&o38=70* ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
W$x'+t5H ")l_>y ? 7. 光线追迹系统分析器的结果
@:'swO/\< 09Sy-
je*/ 光线经过整个光学系统的三维视图
u vo2W! 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
!6t
()] 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
,0^:q)_ '_z#}P< \ 9T;-] ■ VirtualLab可用于计算点列图。
$<)k-Cf ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
t^h {D ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
\W<r`t4v ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
(
}DCy23 O
-a`A. 9. 焦平面上的结果
8^3Z]=(Q t]Ey~-Rx 5feCA ,v7 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
.\0PyV( ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
b"+ J8W ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
GS^U6Xef ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Y4PB&pZ$O2 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
l<7)uO^8 8oI)q4V 10. 总结
`TBI{q[y ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
9JHu{r" M ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
kRBPl9 9 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
C7ZU)MEUd/ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
?]S !-6: :tu_@3bg- （来源：讯技光电）
