示例.0082(1.0)
"A~D(1K 5
I#-h<SG 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
'dzbeTJ D5 y zL9Ic 1. 描述
#u\~AO?h ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
M)wNu ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Ik A~+6UY ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
Q[ H4l({E K9VP@[zbJ 2. 系统
=> Q d 4"iI3y~Gw 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
'iwTvkf{ 3. 透镜系统组件编辑
Yt qx 0 R6z *!W{ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
R `ob;>[Q ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
! mwMSkkq ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
8 K)GH:a ■ 包括序列光学表面和光学介质。
>lek@euqw }&s |~ 4. 光线追迹系统分析器-选项
o~4kJW # b{x/V 9&| [x`),3qD ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
opzlh@R
3 ■ 可以选择选取光线的方法：
^ AZv4H*~ — 在x-y-网格
K 9nW"0> — 六边形
H B.:/ 5\ — 自由选取
^)| tf\4 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
LUpkO &H}Xk!q5b^ 5. 系统的3维视图
U!BZs Vx Q MX ]1 h9:PF
6. 其他系统参数
!kh: zTP ■ 系统由单色平面波
照明 g@ ?R" ■ 照明波长266.08nm
:zO;E+s ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
"dYT>w — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
3{ea~G)[9 — 一个虚拟屏位于焦平面
N
PqO
b —
光束尺寸探测器置于焦平面
>*+n `"6 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
KxFA@3 Ia{t/IX\[ 7. 光线追迹系统分析器的结果
W+s3rS 2 L$, Kdpj 光线经过整个光学系统的三维视图
dww4o~hO 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
<5h}\5#<j 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
ox";%|PP1 o JE<}~_k #a]\3X ■ VirtualLab可用于计算点列图。
EVLDP\w{ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
a |]}uFr ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
/:,}hy+U ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
p"*xye x G \$x . 9. 焦平面上的结果
%_ >8.7 )!
k l: `bLJ wJ7 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
;vk>k0S ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
o?#-Tkb ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
V-63 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
- xyY6bxL ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
w`=XoYQl~* ]\ZmK0q<: 10. 总结
^ZBTd5t# ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
a'>n'Y~E ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
(8N E'd8 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
$L ]M3$\9 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
H5jk#^FD j:^gmZ;J （来源：讯技光电）
