示例.0082(1.0)
N7[i443a bhFz u[B 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
PDtaL Ldig/: 1. 描述
?6a:!^eL ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
sKNN ahGjh ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
C:H9C ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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mO 2. 系统
U oBu0Rx "&>$/b$ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
=0O`V Sb 3. 透镜系统组件编辑
Wb^Yq qE 0OlB; ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
eH75: ` ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
I]zCsT. ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
0Y[m h@( ■ 包括序列光学表面和光学介质。
b}axw + yht_*7.lM 4. 光线追迹系统分析器-选项
MQLa+I,S4 w+[r$+z!k )x8Izn ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
nI dvff ■ 可以选择选取光线的方法：
^cX);koO — 在x-y-网格
&;*j Mu6 — 六边形
pO x0f;'G+ — 自由选取
D4[t@* m>7 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
zQ5'q /\OjtE 5. 系统的3维视图
~%>ke 8NA2C.gOZ Fvl_5 l
6. 其他系统参数
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l_? ■ 系统由单色平面波
照明 tP7l
;EX4 ■ 照明波长266.08nm
0~)cAK us ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
L%I@HB9-Q0 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
n:' Mpux — 一个虚拟屏位于焦平面
..;}EFw5 —
光束尺寸探测器置于焦平面
^jq QG+`? ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
F0])g ?%#3p[ 7. 光线追迹系统分析器的结果
xyBWV]Y .kyp5CD}4 光线经过整个光学系统的三维视图
%^kBcId 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
0L N"azhz 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
4f'1g1@$ sO,,i]a0 w+z~Mz}Vz ■ VirtualLab可用于计算点列图。
L;wzvz\+ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
[y&yy|*\ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Hq ]f$Q6: ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
p0>W}+8fF l'y)L@|Qrh 9. 焦平面上的结果
Wz;7 |UC J7c(qGJI2 sWa`-gc ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
{ ZrIA+eH ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
4'P otv@/ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
.SAOE'Foo ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
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■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
a=]tq V_ o]u,<bM$ 10. 总结
GHa D 3 2 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
l`>|XUf6 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
=c8xg/ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
h/?$~OD ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
bwG$\Oe6 w&8N6gA14 （来源：讯技光电）
