示例.0082(1.0)
VKXi*F9 5Qg*j/z? 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
J8FzQ2 mn1!A`$ 1. 描述
Sy.%>$ z ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
d+P<ce2 G ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
`&a8Wv ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
c5f57Z o r ~@! 2. 系统
6/QWzw.0c w2 (}pz: 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
i]zh8|"> 3. 透镜系统组件编辑
b%F'Ou~ cJT_Qfxx ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
8fvKVS ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
r_ 9"^Er ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
aG" ■ 包括序列光学表面和光学介质。
M AqETjB p ^{yA"MQ 4. 光线追迹系统分析器-选项
t re`iCH~ Y edF% 4u p7 :? ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
l h0G/8+C ■ 可以选择选取光线的方法：
KPK`C0mg@k — 在x-y-网格
?fU{?nI}>p — 六边形
]w)uo4<^J — 自由选取
8/"uS ;yP ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
*}r6V"pH~ y#ON= 8l 5. 系统的3维视图
50S*_4R ,=ju^_^sA @ bvWqMa
6. 其他系统参数
Q Na*Y@i ■ 系统由单色平面波
照明 UBwYw m0 ■ 照明波长266.08nm
!vr
A\d ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
;%n(ARZ# — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
A[88IMZs — 一个虚拟屏位于焦平面
w `M/0.)V —
光束尺寸探测器置于焦平面
F
j"]C.6B. ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
up 3m um sYTToanA$? 7. 光线追迹系统分析器的结果
]w8h#p X p|$z ~ 光线经过整个光学系统的三维视图
7z&^i-l . 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
)/v`k>E 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
a'G[ !" H,fVF837 j~ q m5} ■ VirtualLab可用于计算点列图。
WdrMp ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Im`R2_( ] ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
\y/0)NL\ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
6`'K M/ :rmi8!o 9. 焦平面上的结果
i;+<5_ 4,6?sTuX oW/H8 q<wY ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
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■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
XOY\NMo ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
jA FJ?L( ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
` \- m qe ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
`MMZR=LA Gc!&I+kd 10. 总结
iEBxBsz_ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
B{ _-k ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Uv3Fe% > ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
Fo|
rRI2 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
Su`]
ku' LTio^uH （来源：讯技光电）
