示例.0082(1.0)
B4AV ubMbe o>x*_4[ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
TR 3_!0 +')\,m "z 1. 描述
V 9Bi2\s* ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
2Jo'!| ] ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
WP-?C<Iw ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
BeZr5I"`} i -Ck:-J 2. 系统
( Qmpz UD1R _bL} 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Up?w >ly 3. 透镜系统组件编辑
|x*~PXb "w ]
Bq0 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
O 'y8[< ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
;&4}hPq ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
(xw) pR ■ 包括序列光学表面和光学介质。
~i 'Ib_%h 9[}L=n 4. 光线追迹系统分析器-选项
Yt79W n Dx}6}5) $ )q?z.U ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
V+My]9ki ■ 可以选择选取光线的方法：
MKIX(r( | — 在x-y-网格
dH"wYMNL — 六边形
SQ7Ws u>T@ — 自由选取
-[A4B) ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
qP? V{N csP 5R3 5. 系统的3维视图
vd`;(4i#X ${\iHg[vZ SYkLia( Ty
6. 其他系统参数
sd|5oz ) ■ 系统由单色平面波
照明 Y?G9d6]Lk6 ■ 照明波长266.08nm
Y?Ph%i2E ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
5, — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
?B>
{ rj — 一个虚拟屏位于焦平面
,r\ —
光束尺寸探测器置于焦平面
=\mAvVe ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
.OI&Zm- J8Bz|.@Q 7. 光线追迹系统分析器的结果
AwrW!)n } Y'tPD#|r 光线经过整个光学系统的三维视图
3e &H ) 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
x { Z_r D 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
.$nQD.X )/VhkSXbG! It$'6HV~Sb ■ VirtualLab可用于计算点列图。
~ Dvxe ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
k=D_ 9_ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
M*ZR+pq, ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
[JI>e;l
C: [Q(FBoI| 9. 焦平面上的结果
x'dU[f( ^Pqj*k+F v%gkQa ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
N]gJ ( g ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
MDkcG"O ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
o@SL 0H-6| ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Q +L;k
R ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
CJ+/j=i;~c @Z9X^Y+u^h 10. 总结
(`C#Tq ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
SM%N ]/@U ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
dw'&Av'
|E ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
uL!QeY>k\ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
(I(?oCQ @ol}~&" （来源：讯技光电）
