示例.0082(1.0)
4l~0LdYXKm mfNYN4Um6 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
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+|w-1&- 1. 描述
jJmg9&^R ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
Gv};mkX[N ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
){.J `X5r ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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uuj$ {|jG _ 2. 系统
;S FmbZ%~ D* oJz3[ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
96.A8o 3. 透镜系统组件编辑
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W1UG\d`2 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
?V}AwLX} ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
ms%Ot:uA ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
m_7)r ■ 包括序列光学表面和光学介质。
*1L;%u| [ om"q[Tudc 4. 光线追迹系统分析器-选项
hupYiI~ #]yb; L 4K@`>Y5g* ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
hal3J ■ 可以选择选取光线的方法：
"KY9MBzPD — 在x-y-网格
GA {Q6]B — 六边形
A|BvRZd — 自由选取
6' M"-9?G ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
eKL)jzC : ZU&I`q|Y6 5. 系统的3维视图
o y-Qy c{Ax{ -'R G}tq'#]E{z
6. 其他系统参数
?D#]g[6 ■ 系统由单色平面波
照明 7^bO` ■ 照明波长266.08nm
9oteQN{9 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
]3iu-~ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
f.gkGwNk — 一个虚拟屏位于焦平面
t-\S /N —
光束尺寸探测器置于焦平面
Aa5IccR ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
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^yot 7. 光线追迹系统分析器的结果
lA39$oJ ?Rl?Pp=> 光线经过整个光学系统的三维视图
/tno`su; 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
n_@YKz;8 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
uBk$zs 1rV?^5 ku* |?uF ■ VirtualLab可用于计算点列图。
~BVg#_P ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
P X](hc= ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
" [=Ee[/ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
cI3uH1;# nTSGcMI 9. 焦平面上的结果
B @ ]( , S:] w@$ E' LkoyI ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
#jV6w=I ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
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■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
r+HJ_R,5A ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
ushQWP) ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
R|{6JsjG10 kTG}>I 10. 总结
EOV<|WF> ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
nX>k}&^L ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
+MOUO$;fGt ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
8oY0?|_Bx ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
il-v>GJU7{ GZ@!jF>!u （来源：讯技光电）
