示例.0082(1.0)
|vC~HJpuv' !n%j)`0M 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
$pz/?>! 1.>m@Slr> 1. 描述
Alq(QDs ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
h@BY]80 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
H;"4 C8K7 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
V .2 _i* [-x7_=E# 2. 系统
w2'5#`m #L NED)Vg 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
|[y 6Ua0 3. 透镜系统组件编辑
y_[vr:s5pG !Z6{9sKR=] ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
ss-D(K" ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
i -&yH ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
6w7 7YTJ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
"Rl}VeDY LH6 vLuf 4. 光线追迹系统分析器-选项
~QVH<`sn F:ELPs4" Mb=" Te>| ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
Ir]\| t ■ 可以选择选取光线的方法：
`$NP> %J- — 在x-y-网格
fc@A0Hf — 六边形
B7%U_F|m — 自由选取
WEpoBP
CL ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
M^I(OuRMeI [00m/fT6 5. 系统的3维视图
D)Dr__x !!y a y LcE X
6. 其他系统参数
DTs;{c ■ 系统由单色平面波
照明 0CvUc>Pj`" ■ 照明波长266.08nm
i6N',&jFU ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
{>;R?TG]$ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
QS j]ZA — 一个虚拟屏位于焦平面
ItCv.yv35 —
光束尺寸探测器置于焦平面
92-I~
!d ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
rL T!To h7@6T+#WoT 7. 光线追迹系统分析器的结果
N uI9i U E)3N xmM# 光线经过整个光学系统的三维视图
!o- @&q 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
?1".;foZ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
zMJT:7*`| .sA.C] f J^/p ( ■ VirtualLab可用于计算点列图。
L HmZxi? ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
{: W$LWET ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
jqkqZ F ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
9ll~~zF99| L8n|m!MO D 9. 焦平面上的结果
" h ^Z k_R" CKd ze;KhUPRm ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
RT5T1K08I ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
1nOCQ\$l ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
(I}v[W ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
h.fq,em+H ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
L4f3X~8,b R GX=) 10. 总结
}&3 ~|kP~O ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
|D.ND%K& ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Xm 2'6f, ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
u2[w# ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
U%<Inb}ad R rgGEx （来源：讯技光电）
