示例.0082(1.0)
N!ihj:, 'IY?=#xr'` 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Yuw :W:wY NWh1u ` 1. 描述
T1q27I ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
~~Bks{"BS ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
N!c FUZ5] ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
R*vQ vO%)h S'5 )K 2. 系统
^?RH<z 1U K= t 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
TC-Vzk G| 3. 透镜系统组件编辑
hZ fj$|< \d JhDR ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
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*SRz ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
d4ecF%R ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
:pM 8Q1:B ■ 包括序列光学表面和光学介质。
^vMlRt; /?r A| 4. 光线追迹系统分析器-选项
HL&HY)W1gf ^2}HF/ H?O5 "4a ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
tx7 z G., ■ 可以选择选取光线的方法：
M?YNK] — 在x-y-网格
@\ nQ{\^; — 六边形
?PWg — 自由选取
)T"Aji-hy ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
h,FU5iK| FB wG3x 5. 系统的3维视图
y>}r .^*;hZ~4% 
O `0r'&n 6. 其他系统参数
_%R^8FjH* ■ 系统由单色平面波
照明 /i8OyRpSyk ■ 照明波长266.08nm
>=97~a+. ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Hk;;+ '- — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
4/~x+tdc — 一个虚拟屏位于焦平面
?|kbIZP( —
光束尺寸探测器置于焦平面
M J ch
Z ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Awa| (] lS9S7` 7. 光线追迹系统分析器的结果
.iy>N/u _|US`,kfc 光线经过整个光学系统的三维视图
0e<>2AL
光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
xh:I]('R 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
%:'G={G`QH d)1gpRp w[d8#U ■ VirtualLab可用于计算点列图。
lGr =I-= ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
w\s`8S ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
F}{%*EJ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
rmzzbLTu `$Rgn3 9. 焦平面上的结果
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%e ;P Qu[QcB{ro- ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
.F8[;+ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
beo(7,=& ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
pWKE`x ^ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
1v|-+p4 2 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
0&s a#g2 *JDz0M4f 10. 总结
^O*-|ecA
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
T+nID@"36 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
I3.. Yk%7 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
aGC3&c[Wx ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
60^j<O DAb/B （来源：讯技光电）
