示例.0082(1.0)
*>p#/'_E `=cOTn52 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
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/=4f� 1. 描述
^{Y9!R*9U* ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
QAh6!<.;@ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
\ )n' Ywr ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
xBi``x2eY Qcr-|?5L 2. 系统
S?Z"){ A&6 qt 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
2DTBL:?` 3. 透镜系统组件编辑
\@HsMV2+zN 7cJh^M ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
ON<X1e U ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
vtVc^j4 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
<rpXhcR ■ 包括序列光学表面和光学介质。
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(EB 4. 光线追迹系统分析器-选项
.IJgkP)!] R3=]Av46 D27MT/=7 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
]#VNZ#(" ■ 可以选择选取光线的方法：
Lk~aM bw# — 在x-y-网格
k3wAbGp — 六边形
o7W1sD1O — 自由选取
I2PFJXp_]n ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
Zr.6J*& ! Tp?l;DU 5. 系统的3维视图
5<y pK`Kq # U j~F <> FpvdB
6. 其他系统参数
_ X*
A
■ 系统由单色平面波
照明 !:^lTvYWZH ■ 照明波长266.08nm
5==}8<$ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
V]$Tb xg — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
.\X;VWTI — 一个虚拟屏位于焦平面
:"oQ _bLT —
光束尺寸探测器置于焦平面
h#>%\Pvt; ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
N=oWIK<;- _v9P0W^.7 7. 光线追迹系统分析器的结果
igD,|YSK`z XeT{y]lkd 光线经过整个光学系统的三维视图
=7U_ jDME 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
D!oE LZ3 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
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0MF WI $MT6 *=X$j~#X ■ VirtualLab可用于计算点列图。
xC ,;IS k, ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
:nHa-N3 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
nd[{DF?)/ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
2-<i#nA3 dlx "L% 9. 焦平面上的结果
-3fzDx D XJ`!d\WL/! 7O,y%NWaK ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
&7 YTz3aj ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
rI t#ps ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
^U`Bj*"2 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
u, R;=DNl ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
c9eLNVM h!L/ZeRaV 10. 总结
9y~5@/3 2R ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
s r&hQ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
BSGC.>$s ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
tC,R^${# ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
& ZRriqsQg {iI" Lt （来源：讯技光电）
