示例.0082(1.0)
w? LrJ37u wLJ]&puwm 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
H&4~Uo.5 riCV&0"n 1. 描述
)oU)}a sY ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
&@v<nO- ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
PJ LR<9 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
$_D6 _|HK 3l4NC03I& 2. 系统
#X`8dnQZ $t/rOo9cV 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
|< qs 3. 透镜系统组件编辑
jz'< L":bI&V?: ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
1|| +6bRP ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
2/7_;_#vJ% ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
#VGjCEeU ■ 包括序列光学表面和光学介质。
e3[:D5 OCV+h' 4. 光线追迹系统分析器-选项
/)>S<X C~4PE>YtTv gfa[4
z ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
q]% T:A= ■ 可以选择选取光线的方法：
# 8h ;Bj — 在x-y-网格
v?:: | { — 六边形
NHQF^2 \\ — 自由选取
Di5(9]o2 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
OJO !FH ) =L-I-e97@ 5. 系统的3维视图
T*[
VY1 O4iC]5@
CE%_A[a
6. 其他系统参数
e Y $qV} ■ 系统由单色平面波
照明 oG oK, ■ 照明波长266.08nm
GqKsK
r2% ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
!Ng=Yk>3 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
{zLhiUH
a0 — 一个虚拟屏位于焦平面
]j<Bo4~Il —
光束尺寸探测器置于焦平面
+A8j@d#: ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
B4Y(?JT x ^K(^I*q 7. 光线追迹系统分析器的结果
GW^,g@%C DKL@wr}8 光线经过整个光学系统的三维视图
lU Ovm\ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
XGrue6 ya 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
YDJ4c;3 7 &a0r%L()X 'tgKe!-@ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
?~e3 &ux ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
u{<"NR h ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
3VO2,PCZ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Z8O n%Mx{" NpP')m!`} 9. 焦平面上的结果
CY:d `4 D ;}xr_ A7_4 .VH ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
kOwMs<1J ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
l |2D/K5 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
/phX'xp ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
D/y bFk ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
rqPo)AL sic"pn],U 10. 总结
xM >W2 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
/^SAC%PD ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
* |.0Myjo ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
>SF Uy\3 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
uA t V". p9!"O （来源：讯技光电）
