示例.0082(1.0)
5%E.UjC ihr l!A5 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
w/(hEF ' Py)'%e 1. 描述
+ ^9;<>P ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
}m6j6uAR6) ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
ja2PmPv ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
v9[[T6t/' bl)iji`] 2. 系统
& sRjs r ]cC4%in 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
zkt+"P{az[ 3. 透镜系统组件编辑
*?#t (Y[ ]k (n_+! ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
;uC +5g` ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
{,|J?>{ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
u,6 ' yB'u ■ 包括序列光学表面和光学介质。
8'(|1 O! (FNv 0 4. 光线追迹系统分析器-选项
LK^t ](F H lw0i a &x(^=sTHI ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
til L7 ■ 可以选择选取光线的方法：
W1UG\d`2 — 在x-y-网格
kXq*Jq — 六边形
ms%Ot:uA — 自由选取
2_ x~y|<9 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
+P~E54 om"q[Tudc 5. 系统的3维视图
I<I?ks #]yb; L 7b2N'^z}
6. 其他系统参数
]byj[Gd ■ 系统由单色平面波
照明 ^%v<I"<Uq5 ■ 照明波长266.08nm
3huT T"G ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
jF'az l T — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
J jCzCA:K_ — 一个虚拟屏位于焦平面
\@kY2,I V —
光束尺寸探测器置于焦平面
su`] l"[,] ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
I499 Rrw#E * n)3y.s 7. 光线追迹系统分析器的结果
"/).:9],} "-N)TIzLX 光线经过整个光学系统的三维视图
lrSo@JQ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
KB,!s7A 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
UN&b]vg b|c?xHF}K _ "ysJ& ■ VirtualLab可用于计算点列图。
k!]Tg"]JAh ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Aa5IccR ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Zcg=a _ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
%$
^yot ms=I lz 9. 焦平面上的结果
?Rl?Pp=> /tno`su; n_@YKz;8 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
uBk$zs ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
1rV?^5 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
ku* |?uF ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
lqOv_ q ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
P X](hc= " [=Ee[/ 10. 总结
cI3uH1;# ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
nTSGcMI ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
B @ ]( , ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
AZ5c^c) ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
E' LkoyI uU`zbh}]L. （来源：讯技光电）
