示例.0082(1.0)
:\His{% 'OziP 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
0zq' Nf?#3 k_0@,b 3 1. 描述
lYQ|NL(): ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
uy3<2L#. ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
p,$N-22a ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
&.*UVc2+Y }a6t <m`V 2. 系统
bP 9ly9FH {a:05Y 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
c!4F0(n4 3. 透镜系统组件编辑
o"
,8 i!?gga ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
>{IPt]PCn ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
7 D#y ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
$Xu3s~:S ■ 包括序列光学表面和光学介质。
- Fbp!*.
u [c
8=b,EI 4. 光线追迹系统分析器-选项
&S*~EM.l8 1w^wa_q x rXX>I;`& ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
6& eXQl ■ 可以选择选取光线的方法：
/;Tc] — 在x-y-网格
;X,u — 六边形
&P|[YP37_ — 自由选取
<s'de$[ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
L EgP-s W FoyYWj?,R 5. 系统的3维视图
w!7\wI [ [!A[oK9i C 
sV 6. 其他系统参数
MCT1ZZpPr ■ 系统由单色平面波
照明 [s {! ■ 照明波长266.08nm
7mi!yTr} ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
mUh]`/MK$ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
#]@HsVXh7 — 一个虚拟屏位于焦平面
GlAI~ \A —
光束尺寸探测器置于焦平面
KeQcL4< ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
\ j >7x =#b@7Yw: 7. 光线追迹系统分析器的结果
@0?!bua_| aKbmj 光线经过整个光学系统的三维视图
)?*YrWO{ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
WVbrb s4 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
L8QWEFB| @Iv;y*y >d 2Fa4u3 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
@LKQ-<dZG ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
y LX $SR ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
EiW|+@1 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
*glZb;_
18>cfDh;N 9. 焦平面上的结果
;Ba%aaHl e<L @QNX u*l|MIi6J ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
$1an#~ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
L[ G O6l ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
S\e&xUA;| ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Z4j6z>q E ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
t;&XIG~ SiratkP9n7 10. 总结
yw3"j dcl ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
y/lF1{}5 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
G'ykcB._ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
:S + K\ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
#< im? o\I MY T （来源：讯技光电）
