示例.0082(1.0)
<2O XXQ 1 g) IW9q2 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
"2PT]! oZi{v]4 1. 描述
}gd'pgN"t ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
cPg{k}9Tvy ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
,z> w^_ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
p xW*kS Fn{Pmo*rs 2. 系统
3XNk*Y[5 Ss\FSEN!/ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
ENFM``dV# 3. 透镜系统组件编辑
^^*Ia'9 :k d]n$] ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
}R_R w:W ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
} $(\,SzW ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
+/hd;s$x ■ 包括序列光学表面和光学介质。
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/e@& eAG)+b 4. 光线追迹系统分析器-选项
+ 7wMM#z d *#.(C9^ "ZFH_5< ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
goJ'z|)) ■ 可以选择选取光线的方法：
bo@,
B — 在x-y-网格
]oC"gWDYu — 六边形
S,vdd7Y — 自由选取
@R (Op|9 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
"w__AYH V {P )O# 5. 系统的3维视图
R 'fEw3^ kr-5O 0tmf ,
Y lS
6. 其他系统参数
,,lR\!>8 ■ 系统由单色平面波
照明 {$ v^2K'C ■ 照明波长266.08nm
YWL7.Y>%5 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
f lOXV
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
]kF1~kXBe — 一个虚拟屏位于焦平面
Ei=rBi —
光束尺寸探测器置于焦平面
"akAGa!V+ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
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, e @ 'U`a4 7. 光线追迹系统分析器的结果
Qraa0]56 Np/vPaAk 光线经过整个光学系统的三维视图
WuTkYiF 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
DgB;6W l 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
ImbA2Gcs VmRfnH" DhD##5 a ■ VirtualLab可用于计算点列图。
h.NC G96S ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
.}:*tvot ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
V/zmbo) ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
|I{3~+E h $9:
@M. 9. 焦平面上的结果
D|^N9lDaQ > 7~,w1t eBY/Y6 R ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
k"%sdYkb! ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
JVr8O`>T ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
c c/nzB ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
M }q;\} ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
L!,@_ b~@+6 ? 10. 总结
OXn-!J90P ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
hTmJ
~m'J ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
yB 'C9wEH ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
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H\s ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
!!w(`kmn1 k4E9=y ? （来源：讯技光电）
