示例.0082(1.0)
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9mi2= 3h|:ew[ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
0u'qu2mV <_tkd3t#W 1. 描述
*NDM{WB|) ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
VY9|8g/ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
}`,}e 259 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
+s'qcC tsA+B&R_] 2. 系统
4mY(* 2:HC 5z>kz/uxW 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
9(/ ;Wutj" 3. 透镜系统组件编辑
1E*No1 a|x1aN 0 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
:2KLziO2 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
$`emP
Hel ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
u(s/4Lu ■ 包括序列光学表面和光学介质。
Z E*m; 6DFF:wrm& 4. 光线追迹系统分析器-选项
WD^ !G;} !)(c_ uz vNhi5EU ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
RG)!v6 ■ 可以选择选取光线的方法：
-U?Udmov — 在x-y-网格
9N [PZD — 六边形
rR4_=S<Mi: — 自由选取
aF9p%HPD w ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
hwaU;> F 5;5D EMe 5. 系统的3维视图
- o8H_MR `!.)"BI/s ]Fc<% wzp
6. 其他系统参数
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,1-# ■ 系统由单色平面波
照明 #S/]=D ■ 照明波长266.08nm
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&ci ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
t} zf fe - — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
:K ^T@F5n — 一个虚拟屏位于焦平面
8X@ p?43 —
光束尺寸探测器置于焦平面
| =^p`CT ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
UvSvgDMl >xU$)uE& 7. 光线追迹系统分析器的结果
@?$x HWJ(O/N 光线经过整个光学系统的三维视图
=rA "|= 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
R&cOhUj22J 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
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k.; I cM99'P( ■ VirtualLab可用于计算点列图。
|0A"3w ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
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■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
-kh O4, ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
prvvr;Ib (j^Qa~{mG4 9. 焦平面上的结果
z+K -aj w |F
}y6 gH uXX3IE[ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
TBN0u k ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
l,n0=E w ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
42a.@Jb LQ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
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:^$b4 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
}fps~R g\CRx^s 10. 总结
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$9M 9 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
PuvC
MD ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
ra L!} ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
i GxlB ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
4l/hh|3@ x;&01@m. （来源：讯技光电）
