示例.0082(1.0)
cA+O]",}
NW?h~2 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
TK%MVL TK Z`@< O% 1. 描述
` V Rt{p ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
W;
?' ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
IN!IjInaT@ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
X(K5>L > TfFH!1^+ 2. 系统
P vS\ z%L\EP;o} 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
h)y Ag e 3. 透镜系统组件编辑
1$ {Cwb/F (t-JGye> ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
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n7DiIPH ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
Qx[
nR/ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
7vK}aOs0 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
+?bOGUik .cg"M 0 4. 光线追迹系统分析器-选项
},t n 8'Bik J(x42Q}*S ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
Pb@9<N Xm' ■ 可以选择选取光线的方法：
&V 7{J9 — 在x-y-网格
JUC62s#_z — 六边形
HVc d< :g0 — 自由选取
/'>#1J|TlK ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
'B$qq[l]S O8WLulo 5. 系统的3维视图
Q
,)}t _#6ekl|% 
1$ ~W~O 6. 其他系统参数
-<WQ>mrB& ■ 系统由单色平面波
照明 l+ i9)Fc<i ■ 照明波长266.08nm
/YH 5s= ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
CZ_ (IT7 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
NhA_ds kvo — 一个虚拟屏位于焦平面
A{b?ZT~2] —
光束尺寸探测器置于焦平面
Ym "Nj ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
@-Js)zcl q 'Ijjk`d&c
7. 光线追迹系统分析器的结果
m\xE8D(, +MP`iuD O 光线经过整个光学系统的三维视图
_,; |, 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
RA~ %Cw4t 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
$^4URH U.HeIJ# 5n'C6q " ■ VirtualLab可用于计算点列图。
OTe0[p6v ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
+c^[[ K" ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
IT_Fs|$ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
rwUKg[
1N -Am ~CM 9. 焦平面上的结果
I`e |[k2 ]OK s 65 am K.H" ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
i-4pdK u ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
GY %48}7 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
N\OeWjA F ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
~L. )<{? ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
^q 0O x&X A12 #v, 10. 总结
_n;V iQM u ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Be(h x ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Vg)] F+E ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
)q48cQ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
k )T;WCia T 6g(,xPcL （来源：讯技光电）
