示例.0082(1.0)
Gj6<s . / ggMUdlU 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
n1_ %Td ,&0Z]* 1. 描述
$ H4=QVj6 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
EH(tUwY%{ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
g .3 f2w ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
XnD0eua# nZe\5` 2. 系统
$$42pb. 7Ez}k}aR< 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
HP#ki !' 3. 透镜系统组件编辑
JL@ F~U9 ;D:=XA% ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
*<w3" iq ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
~M*7N@D ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
61G|?Aax ■ 包括序列光学表面和光学介质。
'HCnB]1 .a {QA 4. 光线追迹系统分析器-选项
!!9{U%s ;
/=L B .El a ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
L+Eu
d ■ 可以选择选取光线的方法：
nz>K{( — 在x-y-网格
jn~!V!+ + — 六边形
Xp#~N_S$ — 自由选取
[
ynuj3G
V ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
>)4. $# H K@HLIuz4t 5. 系统的3维视图
Ln :lC(
' STw oYn @#A!w;bz
6. 其他系统参数
v C^>p5F ■ 系统由单色平面波
照明
M' YJ" ■ 照明波长266.08nm
n7@j}Q(&? ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
j+n v=p — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
~bWhth2* — 一个虚拟屏位于焦平面
A3j"/eKi2 —
光束尺寸探测器置于焦平面
k2pT1QZnt ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
TFYw a`s/ qi 7. 光线追迹系统分析器的结果
_g65pxt =Z rJX\6{V!_ 光线经过整个光学系统的三维视图
&h\7^=s. 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
V>AS%lXj 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
2g0K76=Co: <vL}l: r 9Kx<\)-GMD ■ VirtualLab可用于计算点列图。
uC)Zs, _5 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
$ND90my ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
p x0Sy | ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
gXF.on4B 9]Lo 9. 焦平面上的结果
(V8?,G > :4U0I:J# x`#22"m ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
(ZS/@He ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
,b4g.CV ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
;KL9oV!<f ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
;sCU [4 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
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8%S D@:"f?K> 10. 总结
G 8n oQ_- ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
ZOC#i i`: ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
S{- f $Q* ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
8nodV 9 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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3|4gG （来源：讯技光电）
