示例.0082(1.0)
83iCL; GS= Z(Q2Ue;}& 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
K"{HseN{ A7-r <s 1. 描述
e!x6bR9EZ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
f3PMVf:< ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
FY#!N
L ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
)]Ti>R O7 @Hjea1@t 2. 系统
zlf} . t[C1z 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
OtUr GQP 3. 透镜系统组件编辑
}ot"Sx\. y?z\L ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
s ic$uT ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
5nLD j:C~ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
6rDfQ`f\p ■ 包括序列光学表面和光学介质。
2WCLS{@' e<=;i" |
4. 光线追迹系统分析器-选项
<,8l *1C >Hwc,j
q \8b6\qF/\ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
lAA SV{s{ ■ 可以选择选取光线的方法：
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K — 在x-y-网格
0Xl%uF+w — 六边形
'Z8aPHD — 自由选取
jX
*/piSq ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
;4 ~U,+Av nkY@_N 5. 系统的3维视图
;+_8&wbqW 3 fkk
[U PEXq:TA
6. 其他系统参数
SN">gmY+ ■ 系统由单色平面波
照明 8b&uU [ ■ 照明波长266.08nm
l I-p_K ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
#$ 1 $T — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
]q ktj=p — 一个虚拟屏位于焦平面
k`YYZ t]@ —
光束尺寸探测器置于焦平面
%FA@)?~ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
6Z! y T0e<Slo~C 7. 光线追迹系统分析器的结果
z;3NiY s3 QEi^~ 光线经过整个光学系统的三维视图
Z[L5 ; 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
2[R$RpA_ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
:,UN8L " ?9KGnOVu 5M){!8"S)# ■ VirtualLab可用于计算点列图。
XW~bu2%{7" ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
B ;t=B_oK ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
tFh|V
pB ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
tk?UX7F hu@7?f_"L/ 9. 焦平面上的结果
W |U tY `1 0D [@u3W AXW!]=?X ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Q:o 7G|C ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
t1i(;|8| ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
3N4.$#>#9@ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
GESXc $E8 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
f(Hu {c5yV Fb _S&! 10. 总结
PZ OKrW ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
v 81rfB5 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
F[E? A95W ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
{NQo S" ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
v5$s#f< At9X]t （来源：讯技光电）
