示例.0082(1.0)
MEI]N 0L3 Q[i;I bY 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
+LQ 2To Jb6 rEV> 1. 描述
zr&K0a{hc ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
9'3bzhT$ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
st{:] yTRk ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
$P^=QN5 Bb P;VR[d4e/ 2. 系统
Ki ^m&P %;yo\ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
b/"gkFe# 3. 透镜系统组件编辑
u,PrEmy- 6aM`qz) ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
m/0G=%d%k ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
8 !3+Obj ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
HNY{%D ■ 包括序列光学表面和光学介质。
[_|i W%<` k5w+{iOh 4. 光线追迹系统分析器-选项
-njxc{b 9=rYzA?)+ %p/ Qz|W ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
~NpnRIt ■ 可以选择选取光线的方法：
E-*udQ — 在x-y-网格
#E^ % h — 六边形
pA4/ '7nCl — 自由选取
*W(b = u ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
bLCr h(< ,PJl32
5. 系统的3维视图
/#
0@C[9 QD BptI: 5 i G|C ~
6. 其他系统参数
5 f/[HO) ■ 系统由单色平面波
照明 OMJr.u ■ 照明波长266.08nm
r;O{et't7y ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
; y=w :r\A — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
$ n n4 — 一个虚拟屏位于焦平面
AW+4V m_!l —
光束尺寸探测器置于焦平面
++R-_oQ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
cAVe(:k) xdYjl.f 7. 光线追迹系统分析器的结果
0 v/+%%4} vIN6W 光线经过整个光学系统的三维视图
V *S|Qy!p 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
U=Z@Ipu5T 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
.a;-7|x zFP}=K:o) 9^igzRn0 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
d am.D.o" ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
z]Ql/AK ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
],H%u2GE_ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
/PPk
p9H{ +ZizT .$& 9. 焦平面上的结果
oWs&W _32ltnBX [0/ ? (i| ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
O- |RPW} ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
Q>Ta aGc ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
#n2GW^x ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
fQOaTsyA ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
o }Tv^>L HFo}r~ 10. 总结
I*K^,XY+ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
e= 8ccj ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
-7 =pb#y ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
eHqf3f
■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
d r'6N1B@ "_?^uymw （来源：讯技光电）
