示例.0082(1.0)
o y} ( pO=bcs8Z 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Zna
}h{ B% BO 1. 描述
v]Pw]m5=U ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
K\=bpc"Fy ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Ab8~'<F$B ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
F1gDeLmJ {ZN{$Ad3 / 2. 系统
6R dfF$f ApjL Y58= 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
.|x 0du| 3. 透镜系统组件编辑
*s;$`8fM< Lp1wA* ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
TDy@Y>
) ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
I\`:(V ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
Sg')w1 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
Br1JZHgA )bPwB.} kq 4. 光线追迹系统分析器-选项
st/T b/ uqX"^dn4u Z37Z ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
AY,6D dw
■ 可以选择选取光线的方法：
?W%3>A — 在x-y-网格
B~yD4^ — 六边形
Y13IrCA2 — 自由选取
efZdtrKgy ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
S S(jjpe&, E(8O3*= 5. 系统的3维视图
tAbIT; > %Xkynso~ y)Ip\.KV\
6. 其他系统参数
i|.!*/qF ■ 系统由单色平面波
照明 \#G`$JD ■ 照明波长266.08nm
:t^=~x O9 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Ho\K
%#u — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
LEHlfB#z`@ — 一个虚拟屏位于焦平面
|;9OvR> A —
光束尺寸探测器置于焦平面
2Xe2 %{ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
5wP(/?sRy 2*%0m^#^6 7. 光线追迹系统分析器的结果
in (n[K khc5h^0 光线经过整个光学系统的三维视图
0`,a@Q4 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
93[`1_q7\ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
HPtaW:J )<-kS ; )c SdA9 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
#^xiv/ sV ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
LW ntZ . ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Lr40rLx;u ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
C0KP,JS& |hOqz2| 9. 焦平面上的结果
|F9/7 z\5+ m' z <d &$< S1 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
z }u ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
u+XZdV ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
~`8`kk8 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
(p^q3\ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
;t [<! _U#u e 10. 总结
@qg=lt|(F ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
&[23DrI8 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
L{<E'#@F ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
Ms^,]Q1{ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
EQu M|4$ix n8R{LjJ2@ （来源：讯技光电）
