示例.0082(1.0)
fWnD\mx?0 zAzP,1$? 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
, t5 ' ypOLp SYk 1. 描述
q? qC ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
E
H:T ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Zdc63fllM ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
k <iTjI*N DyJ.BQdk) 2. 系统
/D&%v *~E D,v U 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
dO> VwP 3. 透镜系统组件编辑
CC = d I ^!<dgBNj ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
)SF}2?7e ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
nn/?fIZN4 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
.IBp\7W!?E ■ 包括序列光学表面和光学介质。
P262Q&.}d sV"UI 4. 光线追迹系统分析器-选项
-VxTx^)> #'D"
'B ,2Q o7(A ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
!* Ti}oIo& ■ 可以选择选取光线的方法：
`*", < — 在x-y-网格
M>9-=$7 — 六边形
h,aA w#NE* — 自由选取
Qd}m`YW-f$ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
#} ~qqJ G2 ( wDm*bZ* 5. 系统的3维视图
JWvjWY2+P &, A64y lO&3{dOYE
6. 其他系统参数
p oGc a1 ■ 系统由单色平面波
照明 ;c~cet4 ■ 照明波长266.08nm
Y} #h5 \ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Q_* "SRz — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
JD@J[YY5R — 一个虚拟屏位于焦平面
x~xa6 —
光束尺寸探测器置于焦平面
{ eCC$&" ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
g? -lk5 O+g3X5f+ 7. 光线追迹系统分析器的结果
rSXh;\MfB4 ~gB>) ] 光线经过整个光学系统的三维视图
^O^l(e!3 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
)* 4fzo 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
/ }Jj *K> l*l(f] nJ~drG }TD ■ VirtualLab可用于计算点列图。
f$NM M
>z ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
WVVJ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
=FE|+!>PA ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
:'#TCDlOb 2M # r] 9. 焦平面上的结果
/|xra8?H[ /pF `8$ pZ/>[TP(%F ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
=Umw$+fJr ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
c478P=g=5 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
ZPbpp@, ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
sC9&Dgkk ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
pdE3r$C | WvU q 10. 总结
h;6lK$!c ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
E<yW \ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
XC.%za8 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
e{ m2l2Tx: ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
&|/| ''A) JV;OGh> （来源：讯技光电）
