示例.0082(1.0)
j/|qge4 4\es@2 q 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
(1]@ fCd + y36ao KH 1. 描述
o fCP >Z- ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
# eyx ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
R)Fl@
Tn ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
&2pM3re/f W78-'c 2. 系统
!Sh5o'D28 n z l ,y, 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Zotv] P2k 3. 透镜系统组件编辑
k]5L\]>y *.l=> #qF ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
`" Pd$jW ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
i .4[]f[/h ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
3l[hkRFu` ■ 包括序列光学表面和光学介质。
vb!KuI!:p CZ}tQx5 ga 4. 光线追迹系统分析器-选项
N3RwcM9+; YaNVpLA -. {7;6:(k ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
WfZ#:G9 ■ 可以选择选取光线的方法：
J?$uNlI — 在x-y-网格
>UH=]$ 0N — 六边形
D40VJ3TUc — 自由选取
;\.&FMi ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
j <?4N*S &pl;U\dc*a 5. 系统的3维视图
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6. 其他系统参数
XWV ~6" ■ 系统由单色平面波
照明 omP 7| ■ 照明波长266.08nm
H5)WxsZ R ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
r; !us ~ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
4R6 .GO — 一个虚拟屏位于焦平面
OYy8u{@U: —
光束尺寸探测器置于焦平面
rt z(Jt{< ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
IRB;Q(Z
:Fl: bRH+ 7. 光线追迹系统分析器的结果
]d FWIvC eO#)QoHj^ 光线经过整个光学系统的三维视图
St<\qC 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
ERplDSfO- 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
4e sf&-gG d[de5Xra >EjBk nl ■ VirtualLab可用于计算点列图。
59u7q( ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
GEgf_C!%@ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
9UX-)! ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
$2 0*&4y^ x g@;d 9. 焦平面上的结果
`SWK(=' #=rI[KI R? R6|4 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
K\PS$ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
RIlPH~
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
@VFg XN ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
f,*e ?9@;s ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
NDi@x"]; URwFN OM2 10. 总结
1L ow[i ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
APy a& TG ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
HU'}c*d] ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
;2^=#7I? ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
;| c, nr }H;wB （来源：讯技光电）
