示例.0082(1.0)
q-]`CW]n $-#Yl&?z9 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
8wVY0oRnU "*LD 3 1. 描述
sXi=70o ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
][W_[0v ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
vhsk 0$f ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
(q{Ck#+ S}$r>[t 2. 系统
Kv.>Vf.T}_ BNd^qB ? 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
fO0(Z 3. 透镜系统组件编辑
+n<k)E@>J AtF3%Z v2 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
UJ fEC0 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
; ]gP@ h/ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
]UH`Pdlt ■ 包括序列光学表面和光学介质。
ZQ_xDKqRV iC W*]U 4. 光线追迹系统分析器-选项
(9 <guv ow0!%|fO )//I 'V ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
h$. :Uj8/ ■ 可以选择选取光线的方法：
q EP
4 — 在x-y-网格
=JKv:</.G — 六边形
O~5 9FuL — 自由选取
x.3J[=z=> ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
={5#fgK> QHWBAGA 5. 系统的3维视图
G7)Fk%> H"C[&r 7UL qo>j
6. 其他系统参数
Ea?XT&, ■ 系统由单色平面波
照明 a)S+8uU ■ 照明波长266.08nm
+ +aL4: ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
`;l?12|X — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
.W q@gV — 一个虚拟屏位于焦平面
{X*^s5{;H —
光束尺寸探测器置于焦平面
WBN w~|DO] ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
+&Hr4@pgW rHf&:~ 7. 光线追迹系统分析器的结果
CBDG./ Rb%%?*| 光线经过整个光学系统的三维视图
M)+$wp 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
52b*[tZ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
YKbaf(K )9 ?UK|>9y}Z 7lS#f1E ■ VirtualLab可用于计算点列图。
fx@j? *Qb ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
j:}D Bk ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
{0;3W7 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
LY[~Os W xB@|LtdO9; 9. 焦平面上的结果
4n
%?YQ[t 3d-%>?-ee H*bs31i{ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
?%VI{[y#> ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
M;0]u.D*= ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
@x eAc0.^ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Y!WG)u5 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Fbu5PWhlc PG8 ^.)]M 10. 总结
?-tVSRKQ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
MwfOy@|N ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
>7roe []-| ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
Ja SI^go ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
Yp0/Ab(v =l.+,|ZH! （来源：讯技光电）
