示例.0082(1.0)
5IRUG)Icr 9
H>J S 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
B?d +^sz] y=}o|/5" 1. 描述
, 9bu I=' ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
F_iZ|B ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
0c&DSL}6 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
5',&8 ] $F% 2. 系统
AI$\wp #aw 7#P Q1UWl 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
d263#R 3. 透镜系统组件编辑
<I{Yyl^ =>e>
r~cW ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
> =Na, D ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
! ^aJS'aq ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
ZQsVSz( 1 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
; YrmT9Jx6 cj|Urt 4. 光线追迹系统分析器-选项
DH])Q5 ]_m (q`_
d-I&--"ju ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
}(#;{_ ■ 可以选择选取光线的方法：
O}z-g&e.U — 在x-y-网格
7!
/+[G — 六边形
w*7wSP — 自由选取
e' 3y^Vg ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
FD8d-G >B$B|g ~ 5. 系统的3维视图
Ee {Y1W =BO>Bi&& 1 l-Y)
6. 其他系统参数
cE *d (g ■ 系统由单色平面波
照明 Md*.q^: ■ 照明波长266.08nm
dSE"G>l8 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
NqN}] nu6 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
`>HrO}x^ — 一个虚拟屏位于焦平面
2zk O s: —
光束尺寸探测器置于焦平面
eY`o=xN ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
X JA];9 ^ V?n=yg 7. 光线追迹系统分析器的结果
3
5p) e c ac o w 光线经过整个光学系统的三维视图
PebyH"M( 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
4mm>6w8NT 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
iE^=Vf; $v 1_M1 ,H K-mAH ■ VirtualLab可用于计算点列图。
&[5p R60 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
rb]?" lizi ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
|+Tq[5&R ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
V=H :`n3k 5wC,:c[H7 9. 焦平面上的结果
kK.[v'[>& F zy5k?R yg82a7D ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
5 i=C?W `' ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
}qBmt># ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
[6\b(kS+ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
2u(G:cR ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
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n C 10. 总结
@jKB[S;JSn ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
+77B656 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
!iW> xo ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
sA oxLI ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
*rA]q' jM k\-h-0[| （来源：讯技光电）
