示例.0082(1.0)
et ~gO!1:* 246lFx G . 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
h+^T);h};| YV940A-n 1. 描述
*wF:Q;_<z ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
?RzT0HRd ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
x)yf!Dv5$ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
w+$g Y ?% yEqmB4^- 2. 系统
X5/{Mx`8Oz y?@Y\ b 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
kL|Y-(FPo% 3. 透镜系统组件编辑
r;T/ cnPX vD^kY ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
+l/j6)O`(m ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
?-84_i ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
B:r-')!0$# ■ 包括序列光学表面和光学介质。
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IMj_ ,"VQ 0Z1 4. 光线追迹系统分析器-选项
_~(Xd@c( .XB] X ZAH<!@qh ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
n1/lE) ■ 可以选择选取光线的方法：
B D0-v` — 在x-y-网格
l9ihW^ — 六边形
"> QY'r — 自由选取
rpT <cCem1 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
lmcDA, 7 |\( /dXXP 5. 系统的3维视图
h*9o_ ~+C#c,Nw y&Hh8|'mC
6. 其他系统参数
/a|NGh% ■ 系统由单色平面波
照明 =|%T E ■ 照明波长266.08nm
.Ks vRx ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
KRZV9AJ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
">9CN$]J — 一个虚拟屏位于焦平面
dR+$7N$ —
光束尺寸探测器置于焦平面
v+sbRuo8 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
\-0` %k"& Pvw %,=41O 7. 光线追迹系统分析器的结果
k9xKaJ %1 "y0 A<-~ 光线经过整个光学系统的三维视图
6 {Z\cwP)c 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
n_Y]iAoc` 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
j[`?`RyU ~&:R\ 3Q}Y?rkJ5 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
%4Zy1{yKs_ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
-JENY|6 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
o ?FUVK ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Sh6Cw4 R `C?OAR44 9. 焦平面上的结果
\pGO}{3 e* |pR$' HO !S-U8KI| ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
U9 *2< c ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
2oG|l!C ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
|u;PU`^-z ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
! V Zj!\I ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
l5ds`uR# ZG<!^t j 10. 总结
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