示例.0082(1.0)
t8 B==% %loe8yt 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
5dhT?/qvc 7;NvR4P% 1. 描述
L)_L#]Yy ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
Q 46sPMH+_ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
] dHV^! ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
D?P 1\<A ~ zqb3<WP" 2. 系统
-;t]e6[ 6E.64+P Jw 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
XLFo"f
3. 透镜系统组件编辑
u/4|Akui 67d p)X ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
3o^ oq ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
sme!!+Rd ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
0& ?/TSC ■ 包括序列光学表面和光学介质。
TY gn
X QfsTUAfR 4. 光线追迹系统分析器-选项
D(Yq<%Q =#{i;CC% 8(0q,7)y ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
VTxLBFK; ■ 可以选择选取光线的方法：
3 0$Q5]T — 在x-y-网格
O$ ;:5zT — 六边形
2~SjRIp Uw — 自由选取
#:M)a?E/% ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
} T1~fa >-YWq 5. 系统的3维视图
HtGGcO'bqg dtUt2r)6L; Y7
`i ~K;
6. 其他系统参数
U)gr C8 C ■ 系统由单色平面波
照明 j%OnLTZ ■ 照明波长266.08nm
Gv zw=~8 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
2j7e@pr — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
R?$ Nl — 一个虚拟屏位于焦平面
+BE_K_56 —
光束尺寸探测器置于焦平面
0YVkq?1x9 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
e{33%5 PEX(*GS 7. 光线追迹系统分析器的结果
'1yy&QU Zq 7ezf.[{R 光线经过整个光学系统的三维视图
sz%'=J~!V 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
*$o{+YP 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
o]|a5. O ? $LKn2C B?)=d,E ■ VirtualLab可用于计算点列图。
GwaU7[6 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
BKQI |i ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
_o-D},f*e ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
~wsD g[ l 4s_9 9. 焦平面上的结果
h_Ca c@F0 ^UAL5}CQt =D2x@ank[ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
aPMqJ#fIr ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
ZNvnVW< ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
$!_]mz6* ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
30v 3C7o= ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
-5 Yv tL Z;#Ei.7p| 10. 总结
`Vqp o / ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Y|iJO>_Uu= ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
GKNH{|B$D ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
A+lP]Oy0S ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
4^0L2BVcv R1DXi （来源：讯技光电）
