示例.0082(1.0)
bRIb'%=+GA @lBH@HR=C 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
I]$kVa1iN 0
Q1}u @G 1. 描述
u(lq9; ;Th ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
q|6lw 74` ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
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.K>+1 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
. II'W3Fr "fmJ;W;#1 2. 系统
E*'O)) *]H ./a:1 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
{<|0 M%v 3. 透镜系统组件编辑
\K)q$E <! w!xSYh') ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
T$q]iSgu ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
+q2l,{|? ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
u{_T,k<! ■ 包括序列光学表面和光学介质。
xAoozDj ] #J ]f 4. 光线追迹系统分析器-选项
*.K}`89T c(eu[vj: GEvif4 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
a-kU?&*
y ■ 可以选择选取光线的方法：
<vj&e(D ^ — 在x-y-网格
LAvAjvRc — 六边形
PSy=O\ — 自由选取
[PU.lRq ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
3*'!,gK~[ I)sCWC:Mq~ 5. 系统的3维视图
Oi{jz P )qxL@w. ",K6zALJ
6. 其他系统参数
w.V8-9{ ■ 系统由单色平面波
照明 zz$*upxK ■ 照明波长266.08nm
8d>OtDL a ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
k &rl%P — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
&KD
m5p — 一个虚拟屏位于焦平面
5 &VLq —
光束尺寸探测器置于焦平面
RLIugz{IH ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Cx@, J\rsQ Ml)WY#7
7. 光线追迹系统分析器的结果
0ogTQ`2 Z: kdF# Nm 光线经过整个光学系统的三维视图
x JepDCUJ> 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
/]vg_ &)= 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
mH8"k+k {0[qERj"z uL1 -@D, ■ VirtualLab可用于计算点列图。
xo]|m\#k5E ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
W"~G]a+ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
/njN*rhx&Z ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
vk$]$6l2 ++FMkeHZ 9. 焦平面上的结果
Nc]]e+N#V '\\J95*` 7o ;}"Y 1 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
udw5A*Ls ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
_jr%s ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
vZ k+NS< ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
_w'4f )7 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
sbG3,'i) d F), 10. 总结
"Z,'NL>& ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Hm*n ,8_ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
l3.HL> o ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
92S< TAdPP ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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n!IgF8 (h2bxfV~+ （来源：讯技光电）
