示例.0082(1.0)
KDRIy@[e w^G<]S {l 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
lsJ'dS 1@C I7j 1. 描述
!rTh+F* ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
c Q*:U@ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
FK @rZP ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
bi#o1jR :#d$[:r# 2. 系统
6dC!&leNi ^tc@bsUF 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
OR1X Qij 3. 透镜系统组件编辑
sKn>K/4JZ p*#SSR9< ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
T=;'"S ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
dfc-#I
p? ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
U g3PZ7lK ■ 包括序列光学表面和光学介质。
#^!oP$>1 H'?Bx>X 4. 光线追迹系统分析器-选项
Sh2q#7hf r{>tTJFD(: s67$tlV ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
.LnXKRd{ ■ 可以选择选取光线的方法：
q Z`@ Ro — 在x-y-网格
6M+~{9(S — 六边形
lG fO — 自由选取
5 xTm ] ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
&>L\unS !*C^gIQGU 5. 系统的3维视图
>hB]T% ' P1Re7/ L!mQP
6. 其他系统参数
2$qeNy ■ 系统由单色平面波
照明 Q}\,7l ■ 照明波长266.08nm
dr,j~ s ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
dL 6sb;7R — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
<mrLld#_:C — 一个虚拟屏位于焦平面
qL A —
光束尺寸探测器置于焦平面
s:I^AL5 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
t~sW]<qjp ( 5_o H 7. 光线追迹系统分析器的结果
~ z32%k 2[j|:Ng7 光线经过整个光学系统的三维视图
ou,W |<% 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
d@,q6R}!MP 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
{:S{a+9~ -7m;rD4J -}4 H'%Z(i ■ VirtualLab可用于计算点列图。
7dV^35 KP ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
;u}MG3Y8 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
cX * ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
PCt&66F
P,I3E?! j 9. 焦平面上的结果
5jx{O${u gJ vc<]W8! *DDfd n ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
D!qtb6<. ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
05|t ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
``aoLQc` ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Y <a/(` ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
FC qs' +1h^9 Y' 10. 总结
rrbCg( ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
E%H,Hk^ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
nez5z:7F ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
[r^f5;Z ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
(:-DuUt eUF PzioW （来源：讯技光电）
