示例.0082(1.0)
.ubE2X[ ][ k^\pU\J 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
! cSq+eD K/L;8a 1. 描述
&@% $2O.3 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
l(;Kij ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
H[
m <RaG8 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
< \ `$Jx# I%j_"r9-I 2. 系统
=K\r-'V .,0b E 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
as*4UT3 3. 透镜系统组件编辑
8NBT|N~N EV pi^>M ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
3"N)xO- ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
?e[lr>- ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
m_+sR!\H8 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
TaE~s vS\Nd1~ ? 4. 光线追迹系统分析器-选项
"]K>j'^Zs< +N`u a ",6M)3{|c ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
.*g0w`H5pU ■ 可以选择选取光线的方法：
>P6BW — 在x-y-网格
7x);x/#8Z — 六边形
[AMAa]^ — 自由选取
AIMSX]m ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
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5. 系统的3维视图
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6. 其他系统参数
wO?{?+I`q ■ 系统由单色平面波
照明 (hiyNMC ■ 照明波长266.08nm
IxLhU45 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
.<@8 gNm3 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
1`ayc|9BR — 一个虚拟屏位于焦平面
PB;eHy —
光束尺寸探测器置于焦平面
Po%LE]v, ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
/1Ue?)g M5gWD==uP 7. 光线追迹系统分析器的结果
PDs@?nz, .L'.c/ s 光线经过整个光学系统的三维视图
o2<#s)GpY 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
i3rH'B -I. 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
xJ#d1[kzo UQ{L{H : q#Xq;Wp ■ VirtualLab可用于计算点列图。
DI+fwXeg ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
^fZ& QK ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
5[c^TJ3 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
uEX!xx?Q# tH-C 8Qxy 9. 焦平面上的结果
d_IAs xlQBe-Wg YW7b)u Yf ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
#B4%|v;`E? ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
rqY`8Ry2M ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
sBcPq SMby ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
xg3 :} LQ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
4^M ~ ]QHk?[wc 10. 总结
Hv 2De0W ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
EOCN&_Z; ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
v%q0OX>9X" ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
gHo?[pS%y ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
zG(\+4GE! r-Pkfy( （来源：讯技光电）
