示例.0082(1.0)
\YKh'|04 FI/YJ@21 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Fhsmpe~ gOWyV @ 1. 描述
`Eu(r]:W ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
e N- { ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Q./ lX: ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
6 szkE{-/? 52["+1g\ 2. 系统
I+CQ,Zuf G^(&B30V 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
2?r8>#_* 3. 透镜系统组件编辑
xXx`a\i &=?`; K ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
7 IHD?pnZ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
_ kx ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
w7Pe< vT ■ 包括序列光学表面和光学介质。
F8 89JSZ% N*SgP@Bt 4. 光线追迹系统分析器-选项
Xou#38&p> ~c="<xBE b "Mq7&cf ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
#PrV)en ■ 可以选择选取光线的方法：
X<m%EXvV — 在x-y-网格
&53#`WgJ — 六边形
_$'Mx'IC= — 自由选取
#w*pWD^ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
hKTg~y^ 5j{@2]i 5. 系统的3维视图
VA%"IAl 0o<q Eo^ 
a`-hLX)~Z 6. 其他系统参数
&CL|q+- ■ 系统由单色平面波
照明 *3/7wSV: ■ 照明波长266.08nm
>Y/[zf I2 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
ob] lCX ) — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
@*DIB+K — 一个虚拟屏位于焦平面
da 2[
—
光束尺寸探测器置于焦平面
]v{fFmL ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
. ?p}: [Kj:~~`T 7. 光线追迹系统分析器的结果
Ft7a\vn*B )R^Cq o' 光线经过整个光学系统的三维视图
nP3GI:mjL 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
2Z O'X9 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
H< ;Fb;b ?fmt@@]T? y^AA#kk ■ VirtualLab可用于计算点列图。
Xo@YTol ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
S(J\<)b ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
UPKi/)C; ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
x}.d`= U R@BSK' 9. 焦平面上的结果
DVhT b \B2 d(=~4 ~+#--BhV ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
,w%oSlOu ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
%;Z bQ9 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
w`}9/s;$ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
KupMndK ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
YC]YX H aEDN]O95? 10. 总结
n r>{ uTa ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Q$)|/Y)) ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
/Tj"Fl\h ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
RW 7oL:$dt ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
A'( 7VJ =YGP%}_.p{ （来源：讯技光电）
