示例.0082(1.0)
KTwP.!<v &|' NDcp 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
=#A/d `2
b y\[q2M< 1. 描述
m"6K_4r] ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
KHGUR(\Rd6 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Wtp=1 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
sCp)o,; QL2 `X2 2. 系统
):A.A,skf AY fe_Dj 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
x(p/9$.# 3. 透镜系统组件编辑
G:` So P>^$ X ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
o 9(x\g ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
*SlWA)9 Y ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
O@w_"TJP/z ■ 包括序列光学表面和光学介质。
hh2& FI 7Jd&9&O U 4. 光线追迹系统分析器-选项
(f~}5O< e)}=T0
s _H-Fm$Q ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
F8M};&=*1r ■ 可以选择选取光线的方法：
cr ?ZXu_ — 在x-y-网格
K$B~vy6E` — 六边形
M@p<L
VP — 自由选取
&> R:oYN ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
4 /v[ .5 b! teSf 5. 系统的3维视图
XQ mg^x[,A 8*|*@ !89hO4 0r
6. 其他系统参数
& PFq (4 ■ 系统由单色平面波
照明 z4zPR?%: ■ 照明波长266.08nm
{xTh!ih2 - ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
} :gi<#-:G — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
|KO[[4b ?+ — 一个虚拟屏位于焦平面
~PU}==*q —
光束尺寸探测器置于焦平面
kf#S"[/E ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
!f}D*8\f ~-uDN) 7. 光线追迹系统分析器的结果
t**d{ P+ K4I/a#S'@6 光线经过整个光学系统的三维视图
c0w1
N]+Ne 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
IGab~`c-[ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
l)'*jZ gA3f@7}d #&?}h)Jr' ■ VirtualLab可用于计算点列图。
D 5:'2i ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
H
]! P[? ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Vs
Z7 n~e ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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tb 9. 焦平面上的结果
_::ssnG3jT Der'45]* ^ ic l]H ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
B@ ms Gb C ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
x5rLGt ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
r EbH< | ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
s0 Z)BR # ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
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V G|||.B 8 10. 总结
"D
KrQ,L ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Lv Z',u} ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
{.DY \;Q ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
WLta{A? ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
NW*#./WdF8 ]Zc\si3i& （来源：讯技光电）
