示例.0082(1.0)
:uu \q7@' %Kw5 b ; 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
~.VWrHC 6:330"9 1. 描述
f|m.v
+7k ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
rQ30)5^V| ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
zb l h_6 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
8 W[QV w^A8ZT0^7 2. 系统
@ns2$(wkm@ zOg#= ql 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
oT\B-lx 3. 透镜系统组件编辑
8p-5.GU)<e
{pd%I ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
V BIPB ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
0 m";=:(w ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
P]yER9' ■ 包括序列光学表面和光学介质。
uQ5NN*C= L)y } 4. 光线追迹系统分析器-选项
xZGR<+t yE{l
Xp; e4khReF; ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
D7sw;{ns ■ 可以选择选取光线的方法：
o:f=dBmoX — 在x-y-网格
3|/ ;`KfQ — 六边形
qAivsYN* — 自由选取
o! sxfJKl ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
Y 0$m~ }j %nFZA)B[ 5. 系统的3维视图
X xB*lX UF D_ UF, T
6. 其他系统参数
KD-0NO=oL ■ 系统由单色平面波
照明 ZH0 ~: ■ 照明波长266.08nm
A>R ^iu ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
p K Kn — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
8%arA"#S — 一个虚拟屏位于焦平面
_~HGMC) —
光束尺寸探测器置于焦平面
+\"@2mOH{+ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
@2YO_rL[ ]r'b(R; S 7. 光线追迹系统分析器的结果
v@O tp oYlq1MB? 光线经过整个光学系统的三维视图
a9F lzR 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
P)(Ly5$ * 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
;#~rd8Z52 &e cf5jFy `S;pn +5 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
o" 7,CQye ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
n." j0kc7= ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
h,TDNR<1L ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
_$MoMg{uJH sBwkHsDD 9. 焦平面上的结果
&|/C *2A 9#O"^.Z !
{3_M&$jN ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
sJ3HH0e ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
B7?784{x, ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
@ mt v2P` ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
(a&.Ad0{ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
khjW9Aa8t D2>=^WP6+ 10. 总结
Bi?.G7> ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
[#lPT'l ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
w y:. ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
8$?a?7,>| ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
/vsQ <t;~ y])xP%q2 O （来源：讯技光电）
