示例.0082(1.0)
2M?L++i lgh+\ pj 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
hE}y/A[ D?
FW Sv 1. 描述
.Wvg{ S - ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
to;cF6X ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
qJ<Ghd`8v ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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vV 2. 系统
%jj \w> jI,?*n< 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
+&8'@v $ 3. 透镜系统组件编辑
7N[Cs$_]
@d6N[?3; ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
;F\sMf{ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
TDHS/"MbA7 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
1_G5uHO ■ 包括序列光学表面和光学介质。
XQ$9E?|= Mg=R**s1x% 4. 光线追迹系统分析器-选项
teg[l-R"7z -bQi4 eLN[`h J ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
vU,;asgy ■ 可以选择选取光线的方法：
!jyy`q= — 在x-y-网格
UViWejA/*u — 六边形
!yf7y/qY — 自由选取
hwd{ ^ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
:A]CD ( ]`_eaW?Ua 5. 系统的3维视图
l08JL ~ M LBO cg' z:_l
6. 其他系统参数
Tlz~o[`& ■ 系统由单色平面波
照明 pJ H@v
&a ■ 照明波长266.08nm
`NARJ9M ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
zc%HBZ3p — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
SoL"M[O — 一个虚拟屏位于焦平面
m15> ^i^W —
光束尺寸探测器置于焦平面
p#tbN5i[{7 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
#tlhH\Pr[ qq[Enf|/y 7. 光线追迹系统分析器的结果
C'xWRS DO $z'_Hr' 光线经过整个光学系统的三维视图
R)BH:wg" 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
d m$ iiRY 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
FpFkZFtG'm 299uZ z}Y 4+4C0/$Y ■ VirtualLab可用于计算点列图。
qBXI R } ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
W,sPg\G 3 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
: tcqb2p ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
QKtVwsz
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9. 焦平面上的结果
e[*%tx H Xrd-/('2 X(fT[A_2C ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
C &-]RffA ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
nj5Hls ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
D|E,9|=v ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
-x2&IJ! ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Wc!.{2 5R /k8UZ 10. 总结
Kzf^ras4u ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Jw)-6WJ!uO ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
<CY<-H ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
`]4bH,%~ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
A N
'L-
E [pY jH+< （来源：讯技光电）
