示例.0082(1.0)
[?!I*=*b QU).q65p 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
/DYyl/ g68p9#G 1. 描述
nr!N%Hi ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
OK [J
h ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
cw Obq\ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
U&5* >fd= .G0 N+) 2. 系统
5~*)3z^V /(N/DMl[ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
J +6 zV m 3. 透镜系统组件编辑
Rr )+M3' *3GV9'-P ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
uw)7N(os\` ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
[0H0%z#tU& ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
=6%oW2E\ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
'%Ng lC[J 2QfN .<[- 4. 光线追迹系统分析器-选项
FKa";f" ;a:H-iC J!I) G&: ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
@AsJnf$y ■ 可以选择选取光线的方法：
*ukyQZ9 — 在x-y-网格
V2MOD{Maat — 六边形
c`;\sW-_W — 自由选取
D Ez,u^ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
CD|[PkjW ahB qYA K9 5. 系统的3维视图
D &@] !IxO''4 m>>.N?
6. 其他系统参数
Ha'[uEDb ■ 系统由单色平面波
照明 :{lwz#9V ■ 照明波长266.08nm
#&Sr;hAJ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
K1B9t{T — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
o2 14 V \ — 一个虚拟屏位于焦平面
|c_qq Bd —
光束尺寸探测器置于焦平面
V~J5x >O ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
& d# R'Z :+rGBkw1m 7. 光线追迹系统分析器的结果
#(8|9 bDI%}k9# 光线经过整个光学系统的三维视图
]Bw 0Qq F# 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
1>!LK_ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
G0cG%sIl J=4>zQLW EY} : aur ■ VirtualLab可用于计算点列图。
y8Va>ul"U ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
{K z,_bo ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
mkl{Tp* ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
|{ jT+ *GP2>oEM 9. 焦平面上的结果
Y.tx$% s\ IKSoE nla6QlFYn* ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
e~'` x38 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
my=f} %k= ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
R%E7 |NAG ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
e|~MJu+1 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
+n3I \7G> D:)Wr, 26 10. 总结
Bf_$BCyGW ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
eRauyL"Q+ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
r-2k<#^r ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
vdQoJWuB ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
8xpplo8 q2GW3t （来源：讯技光电）
