示例.0082(1.0)
__Ei;%cV mouLjT&p 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
+[$d9 uzA"+cV5 1. 描述
\OMWE/qMy ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
hVPSW# .d ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
H4 #|f n ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
S+LE ASOr jr$]kLY 2. 系统
FSnF>3kj- vvEr}G 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
,U9gg-.Lp 3. 透镜系统组件编辑
Q9v
O Y8 ^(5Up=.EA ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
v`i9LD0( ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
[wS ~. ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
=bt/2 nPV ■ 包括序列光学表面和光学介质。
Dk$[b9b rv/O^aL`Y 4. 光线追迹系统分析器-选项
W10=SM } )%D2J C 59e q"08 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
04eE\%? ■ 可以选择选取光线的方法：
^_dYE]t — 在x-y-网格
7}+U;0,) — 六边形
&m@~R | — 自由选取
+r0ItqkM ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
3\J-=U kaBP& 6|Z
5. 系统的3维视图
~V,~' W ")%)e ;V3 W- 9?|ei
6. 其他系统参数
hdZ{8 rP ■ 系统由单色平面波
照明 }*4K{<02 ■ 照明波长266.08nm
6ybp Pls ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
U j5% 06 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Qs24b
— 一个虚拟屏位于焦平面
Q2wEt
>0a —
光束尺寸探测器置于焦平面
DQ'yFPE ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
.QRa{l_) cB~D3a0T h 7. 光线追迹系统分析器的结果
*Mu X]JK Y](kMNUSg 光线经过整个光学系统的三维视图
zd1X(e<|{ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
~&bn}
M>W 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
` d rds m0I/X$-Cl5 O>P792) ■ VirtualLab可用于计算点列图。
)HPt(Ck ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Y*!J +A# ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Gj Ds,9@f ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
pwq a/Yi G&P[n8Z$ 9. 焦平面上的结果
n)]]g3y2 !L..I2' RzPqtN ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
&j4 1<A ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
>f Cz,.L ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
N_AAh D ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
AcF6 p)@_ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
i vy+e-) ANuIPF4NxP 10. 总结
$LxfdSa ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
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■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
07L
>@Gf ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
~`7L\'fs ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
p#['CqP8 Bismd21F6= （来源：讯技光电）
