示例.0082(1.0)
'b661,+d =53LapTPJ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
i $I|JJ J M8cLh!! 1. 描述
ziH2<@ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
t_]UseP$RF ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
[PX'Jer ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
(sqS(xIY /WHhwMc! 2. 系统
HENCQ_Wra ]NFDE-Jz] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
3l L:vD5( 3. 透镜系统组件编辑
&-b =gnT Qgx~'9 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
IB!Wrnj? ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
2OT6*+D ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
e#nTp b ■ 包括序列光学表面和光学介质。
+:'Po.{" oC7#6W:@w 4. 光线追迹系统分析器-选项
b%PVF&C9 W A+F-r_]}db ~ml\| ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
wj'iU&aca ■ 可以选择选取光线的方法：
e0$mu?wd- — 在x-y-网格
xrX("ili — 六边形
so 8-e — 自由选取
/Hx0=I ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
hYWWvJ)S RDqC$Gu 5. 系统的3维视图
YKx0Zs H~G=0_S F_r eBPx
6. 其他系统参数
kcOp O<oE ■ 系统由单色平面波
照明 8U(a&G6gn ■ 照明波长266.08nm
l:|Fs =\ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
n9J>yud| — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
y]CJOC)/K — 一个虚拟屏位于焦平面
(w^&NU'e —
光束尺寸探测器置于焦平面
g8x8u | ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
_$cB I_eA7 _ x'StD 7. 光线追迹系统分析器的结果
)xK!i. n => Gu9` 光线经过整个光学系统的三维视图
i,<-+L$z 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
Mn S"M[y3 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
=|#-Rm^YB <n:?WP~U }GC{~
SZ4 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
tV,zz;* Oe ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
U^YPL,m1 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
'H9~rq7 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
g Q 9ff, 8&;dR 9. 焦平面上的结果
T*ic?! jCl[!L5/1 x!jhWX ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
A^Zs?<C- ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
\mDm *UuG
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
{ Eb6. ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
ie ,{C ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
<?g{R n GkC88l9z 10. 总结
! I Nr ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
C;ye%&g> ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
xV6j6k ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
onl yvH4 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
,@;<u'1\G 1_QO>T' （来源：讯技光电）
