示例.0082(1.0)
=>\-ma+ (x0*(*A} 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
]G PJ(+5 ca*[n~np 1. 描述
!g fhEz Y ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
WcO ,4: ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
\N , ' + ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
7O{O')o! n o+tVm| 2. 系统
0 DVZRB jZT :-w 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
9XqAjez\ 3. 透镜系统组件编辑
D8AIV K] g^ $ 11 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
.`>l.gmi& ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
~!:S p_y ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
auTT v J ■ 包括序列光学表面和光学介质。
x>,F*3d3 _s^:zPl 4. 光线追迹系统分析器-选项
s~X*U&}5 o?mXxL) Dnm.!L8 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
66@3$P%1p ■ 可以选择选取光线的方法：
!_-sTZ — 在x-y-网格
k;_KKvQ — 六边形
-jtC>_/ — 自由选取
+ i @yZfT ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
\y H 3Y
-N7L #a 5. 系统的3维视图
v<3o[m q + iH30v [}ZPg3Y
6. 其他系统参数
.d~] e2x ■ 系统由单色平面波
照明 rH&r6X v[ ■ 照明波长266.08nm
(21 W6 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
'*N9 "C — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
mDF"&.(j — 一个虚拟屏位于焦平面
mk%"G =w —
光束尺寸探测器置于焦平面
Zp (=[n5 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
ke9QT#~p!- Go\} A:| s 7. 光线追迹系统分析器的结果
Vv yrty ?)mhJ/IT 光线经过整个光学系统的三维视图
-e{)v' C) 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
S}w.#ty En 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
!<=%;+ wHOlj)CZ =qp}p'BYe ■ VirtualLab可用于计算点列图。
?VZ11?u ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Dpdn%8+Z ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
-4?xwz9o$7 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
wAu[pWD'6; cN uHXaWp 9. 焦平面上的结果
C^/ -lc S0N2rU C '-zh\a ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
&8]#RQy{f ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
XatA8(_,5 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
)pjjW"C+ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
b$? Xn {Y ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
`& u<aLA ,l$NJt 10. 总结
lk[G;=K:. ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
3'[Rvy{ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
;V(H7
ZM ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
-7I1Lh#M ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
5@ bc(H
m%oGzx+ （来源：讯技光电）
