示例.0082(1.0)
hG . >> N>!RKf:ir 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
2j&-3W$^ L!s/0kBg 1. 描述
_\waA^ F ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
%
\p:S)R ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Fn.wd`'0 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
Cg<:C?>!p Cy-q9uTm 2. 系统
Y+ 75}]B dmI,+h HtL 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
L/dG 0a@1X 3. 透镜系统组件编辑
L"6qS3 [= V1 T?T9m ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
k0~mK7k ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
d%VG@./xq ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
|3`Sd;^; ■ 包括序列光学表面和光学介质。
#ak2[UOT :fz &)e9 4. 光线追迹系统分析器-选项
G,I[ zhX\ ]o`qI#{R~R d~@&*1} ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
&m2FEQLj ■ 可以选择选取光线的方法：
1CK}XLdr — 在x-y-网格
EEFM1asJf — 六边形
t :NTk( — 自由选取
gp'9Pf;\[ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
,{P*ZK3u 4UD<g+| 5. 系统的3维视图
x
LR
2H>B} \o3)\
e]o 
]7 " W( 6. 其他系统参数
l]D?S]{a ■ 系统由单色平面波
照明 !dQG 5v ■ 照明波长266.08nm
C[MZ9 r ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
&TYTeJ] — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
2>BWu — 一个虚拟屏位于焦平面
1H sfCky{ —
光束尺寸探测器置于焦平面
~?i;~S ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
LdxrS5 A_3V1<J`] 7. 光线追迹系统分析器的结果
sUA==k F|p &v7T 光线经过整个光学系统的三维视图
;v%Fw!b032 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
<y#-I%ed 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
(n:d
{bKV wz^Q,Od >PdYQDyVS ■ VirtualLab可用于计算点列图。
z%-Yz- G9 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
L&V;Xvbu% ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
%
C~2k? ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
pleLdGq OI0#@_L& 9. 焦平面上的结果
vf6_oX<Os `B6~KZ kDJ $kv ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
b|mWEB.p ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
Za68V/Vj ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
:xOne<@ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
QHOA__? ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
.^6;_s>FN c'M#va 10. 总结
I3 /^{-n ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
)p*I(y ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
T"7U e ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
hTgWqp ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
":s1}A '< !
b}1w0 （来源：讯技光电）
