示例.0082(1.0)
el39HB$ Z} TuVE 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
0Np }O=> gd-4hR 1. 描述
a1B_w#?8 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
2GA6@-u\ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
^wCjMi(sj ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
wX" 6 S: %p)6m 2Sb 2. 系统
xxgS! J /pZLt)=P 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
V=
U= 3. 透镜系统组件编辑
B@` 87 xWD=",0+ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
`h/j3fmX? ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
C] q Y ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
=xWZJ:UnU ■ 包括序列光学表面和光学介质。
33DP0OBL^ G0Smss=K 4. 光线追迹系统分析器-选项
p#) u2^ snO d
3Bw k:Sxs+)?1 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
L"A,7@:Vd ■ 可以选择选取光线的方法：
h.ojj$f, — 在x-y-网格
mHB*4 L — 六边形
a Erms-~ — 自由选取
kMAQHpDD ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
e3UGYwQ m+||t 5. 系统的3维视图
X90VJb] @T -$J\BkI
6. 其他系统参数
{$)z C*l ■ 系统由单色平面波
照明 \ dTX%<5D ■ 照明波长266.08nm
N_lQz(nG/2 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
-gefdx6ES — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
M5s>;q) — 一个虚拟屏位于焦平面
Uc%(#I]Mi —
光束尺寸探测器置于焦平面
XYhN;U}Z ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
~UX@%0 %)N @ |v4 B[/ 7. 光线追迹系统分析器的结果
I?LJ Xo \O 4eK!1|1 光线经过整个光学系统的三维视图
RiqYC3Ka 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
\:9d t8(-U 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
X@|'#% i,1=5@rw5 O-y/K2MC* ■ VirtualLab可用于计算点列图。
G?CaCleG ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
z %{ Z ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
'd 4I/ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
bhDV U(%I6 D*BZp0x 9. 焦平面上的结果
zgRZgVj !|;^ kIhP 73M ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
B/.+&AJw ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
JpqZVu"7 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
|VxEW U/ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
&NZl _7P L ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
GTL gj'B ivDmPHj{ 10. 总结
gcDo o2RE ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
@TF^6)4f ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
`!WtKqr%B ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
.'N:]G@! ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
@zo}#.g f.8Jp<S2K （来源：讯技光电）
