示例.0082(1.0)
| .b&\ [s+FX5' K 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
k$.l^H u 4} Y? :R 1. 描述
RWB ]uHzE ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
7:zoF], s ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
s C ?e%B ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
&k`/jl;u hXD`OlX 2. 系统
L<G6)'5W cR&d=+R& 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
"u'dd3! 3. 透镜系统组件编辑
?y@;=x!' u`XZtF<vf ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
f7a"}.D $ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
#^_7i)=~ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
&Z}}9d d ■ 包括序列光学表面和光学介质。
K<k\A@rv8H @.=2*e.z|b 4. 光线追迹系统分析器-选项
l}FA&c" -%Jm-^F I t Kjk< ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
?IDkDv!na~ ■ 可以选择选取光线的方法：
?btX&:j2P — 在x-y-网格
MM~4D — 六边形
w uhL r( — 自由选取
OTEx9 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
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vLwJ| o #%]?e
N 5. 系统的3维视图
%+dRjG ~TB eH 9-GGr J=H8^4M
6. 其他系统参数
M2A3]wd2a ■ 系统由单色平面波
照明 ZC &~InN ■ 照明波长266.08nm
SIz A0
■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
aw3rTT( — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
m~@Lt~LZs — 一个虚拟屏位于焦平面
0a+U >S# —
光束尺寸探测器置于焦平面
[3] h(D ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
r2&/Ii+ QaOF l` i 7. 光线追迹系统分析器的结果
Ut(BQM>U+$ Zf?jnD A 光线经过整个光学系统的三维视图
rD>q/,X=\ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
`
kZ"5}li 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
Z"G?+g M@ ]2z
Gb 5s" UFE~6"t( ■ VirtualLab可用于计算点列图。
8WwLKZ} ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
,f
.#- ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
?o(Y\YJf ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
,27=i>> yiczRex%rq 9. 焦平面上的结果
{z# W- Z-i$KF >;X^+JH!) ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Bs-MoT! ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
U}W7[f lc ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
8 =3$U+ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
n(\VP!u5r ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
M,eq-MEK jE$]Z( Ab 10. 总结
+B
OuU# ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
{Y t i ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
z h4m`}p ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
M5B?`mTl ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
T) cbpkH4 84-7!< 6i （来源：讯技光电）
