示例.0082(1.0)
zB7 ^L^Y \2f?)id~ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
dqU)(T=C U/HF6=Wot 1. 描述
B}y# AVSA ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
}!*|V dL0 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
m-[xrVV ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
nJg N2Z va(6?"9 2. 系统
\ /wk!mWV@ M_?B*QZJI 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
f/kYm\Zc 3. 透镜系统组件编辑
u3 +]3!BQ HA$7Q~{N-t ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
otdv;xI9 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
GAR6nJCz ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
: @gW3' ■ 包括序列光学表面和光学介质。
q|lP?-j C{-Dv-<A> 4. 光线追迹系统分析器-选项
Nb0T3\3W +5GC?cW 2:[<E2z ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
pP\^bjI ■ 可以选择选取光线的方法：
1?TgI0 HS — 在x-y-网格
)DW".c — 六边形
w(M i? — 自由选取
E_z,%aD[ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
ldKLTO*& 21?>rezJ 5. 系统的3维视图
2fm6G).m Y}\3 P aUa +miL naO~L
6. 其他系统参数
dDYo r-g> ■ 系统由单色平面波
照明 1JGww]JZo ■ 照明波长266.08nm
i&}LuF8 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
xn Z — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
85H*Xm?d# — 一个虚拟屏位于焦平面
hg^k lQD —
光束尺寸探测器置于焦平面
ccW{88II7w ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
nrTCq~LO( <Lle1=qQ 7. 光线追迹系统分析器的结果
> LU !Z CS xB)- 光线经过整个光学系统的三维视图
V2 }.X+u&< 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
;[,#VtD 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
!uKuO ]V"B`ip[2 tgrZs8? ■ VirtualLab可用于计算点列图。
yAJrdY" ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
51>OwE f<R ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
K!G/iz9SB ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
,ce$y4% ( gqA N-b' 9. 焦平面上的结果
Z3 na .>Z ;sSRv9Xb z)FGbX ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
i:^
8zW ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
N1]P 3 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
( 2KopL ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Ed"p|5~ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
=co6.Il )|U+<r < 10. 总结
<*4r6UFR ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
M`G#cEc ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
wo ) lkovd ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
`9VRT`e ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
SM `n:{N( #| } EPD9$ （来源：讯技光电）
