示例.0082(1.0)
BK +JHT WRgz]=W3w 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
)*uI/E k91Y"_& 1. 描述
6B 8! 2 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
A;g[G >J ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
G P[$&8\M ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
ZpdM[\Q- -&&mkK
B! 2. 系统
cr!I"kTgD PQ5DTk 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
%8ul}}d9 3. 透镜系统组件编辑
6e*J C f> .B)v " Sw# ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
o%dtf5}(, ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
wjl? @K
■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
aCMcu\rd ■ 包括序列光学表面和光学介质。
Q.N^1?(>k >?kt3.IQ!X 4. 光线追迹系统分析器-选项
jJf|Ok:G{ T4UY%E!0 h$k(|/+ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
t^YDCcvoQ ■ 可以选择选取光线的方法：
f ZISwr — 在x-y-网格
4uv }6&R — 六边形
!=-l7 60 — 自由选取
# WxH ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
l} )uY ae/ Fr VD~; 5. 系统的3维视图
:\>UZ9h # Ft]sTA+C {S}/LSNB
6. 其他系统参数
3w-0v"j U ■ 系统由单色平面波
照明 $UH_)Q2#J^ ■ 照明波长266.08nm
c{E-4PYbah ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
$Fn# b|e — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
w90y-^p% — 一个虚拟屏位于焦平面
B1GSZUd^?0 —
光束尺寸探测器置于焦平面
c"| ^Lo.
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
|.,y M| *Vc}W 7. 光线追迹系统分析器的结果
6q5V*sJ& > {:8c-\2} 光线经过整个光学系统的三维视图
lmod8B 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
"XH]B 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
? {FxbDp> :O{ :;X) E{FN sa ■ VirtualLab可用于计算点列图。
@ }[) uH ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
ljk-xC p/ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
?6[>HX; ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
bkY7]'.bz& >s{[d$ 9. 焦平面上的结果
^awl-CG Sy8Og] a
^RY_j>i ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
&r_ :n t ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
;e WVc;H ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
:>cJ[K?0 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
";GLX%C!{@ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
3Y=S^*ztd gs. K,x ma 10. 总结
D3jP hPy. ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
JY /Cd6\ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
[ 6c{t ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
DO0["O74 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
BtjsN22 o`& idn|, （来源：讯技光电）
