示例.0082(1.0)
]MV=@T^8# APL #-`XC 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
pwr]lV$w rsC^Re:*jr 1. 描述
_D~FwF&A ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
C;oT0( ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
v
L!?4k ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
cR/z; *wr7 Tyt1a>! qA 2. 系统
>Gi* BB .V\: )\<| 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
.
I#dR* 3. 透镜系统组件编辑
'mU7N<Q$qQ |s*tRag ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
{N 0i
3e
s ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
(eF "[,z ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
xC.Tipn> ■ 包括序列光学表面和光学介质。
f| -%., ZH8Oidj` 4. 光线追迹系统分析器-选项
xBK is\b gC \ ^"m s2 iL5N|"Q ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
8d*W7>rq ■ 可以选择选取光线的方法：
Dro2R_j{ — 在x-y-网格
=@0/. oSD — 六边形
2]f? c%)I — 自由选取
zkmfu~_) ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
a;[=b p xE%sPWbj 5. 系统的3维视图
,)7y? *D} dSw%Qv*y qB4 4;!(
6. 其他系统参数
Ym/y2B( ■ 系统由单色平面波
照明 x*2I]4 ■ 照明波长266.08nm
$kCLS7 * ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
>'96SE3 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
/$?7L( — 一个虚拟屏位于焦平面
c6f[^Q%#j —
光束尺寸探测器置于焦平面
`u7" s' ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
5t-dvYgU M~ t;&po 7. 光线追迹系统分析器的结果
qJ f=f3 {|ChwM\x 光线经过整个光学系统的三维视图
OXCf 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
7z^\}& 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
~AbTbQ3 a 2\r^fY/ -P7JaH/Q ■ VirtualLab可用于计算点列图。
y( uE ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
w,v~ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
RbGq$vYol/ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
5zR9N>!c t
(> } 9. 焦平面上的结果
l/F' W} 9 9S-P}xd tWN hFQ' ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
UO AL7 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
( 17=|s ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
.|Zt&5osI ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
kz+OUA@ ~ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
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:M'V**A( 10. 总结
~ Dz`O"X3 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
p{BBqKv ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
%q j8*1 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
WC <K(PP ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
^~Dmb2 h }HC6m{vH( （来源：讯技光电）
