示例.0082(1.0)
AK%2#}k. Kj;gxYD>6 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
zTb!$8D"g ++ !BSQ e 1. 描述
@Q~Oc_ z ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
r <4FF= ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
V E{[52 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
w]Z*"B &h 3]Rb2$ p[= 2. 系统
'P( S*sr !IlsKMZ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
w7}m
T3p,) 3. 透镜系统组件编辑
;QbMVY cSy{*K{B ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
q]+'{Ci@ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
;~Y0H9 ` ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
t>;u;XY!; ■ 包括序列光学表面和光学介质。
lN"%~n? dbF?#s~u 4. 光线追迹系统分析器-选项
2:0'fNXop 4kZX$ct } mk#xbvvG ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
E'qG K T ■ 可以选择选取光线的方法：
9 A0wiKp — 在x-y-网格
p%A
s6.
— 六边形
B;. ]<k'3 — 自由选取
W9>q 1 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
K~Lh'6 lJHV c"*/ 5. 系统的3维视图
meQ>mW )`5k fj 8$</HNu,
6. 其他系统参数
mZLrU<)Y ■ 系统由单色平面波
照明 P)bS ;w\(Y ■ 照明波长266.08nm
3dm lP2 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Xk= bb267 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
3_k.`s_Z — 一个虚拟屏位于焦平面
;w,+x 7 —
光束尺寸探测器置于焦平面
K^0cL%dB ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
h">L>*Wfx CD|)TXy 7. 光线追迹系统分析器的结果
ge*(w{|x *`D(drnT{ 光线经过整个光学系统的三维视图
7 ,Tg>,%Q 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
C"
vj#Tx 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
6^
UQ{P1; CMk0(sztU_ < )01]lKH ■ VirtualLab可用于计算点列图。
Wp!#OY1? ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
SymBb}5 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
0< i]ph ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
h>>KH*dQ @uru4>1_dy 9. 焦平面上的结果
I9JiH,+ 09FHE/L 1+`Bli]dE ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
s^:8bFn9$ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
Y`$dtg { ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
]&l.-0jt ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
? [~ "$ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
t;?M#I\,{ b5r .N1m s 10. 总结
"`Y.N$M`k ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
d1MY>zq ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
p6=L}L ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
h>jLhj<07W ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
HR0t[* H oA[U T （来源：讯技光电）
