示例.0082(1.0)
6EeK5XLf, gcNpA?mC|u 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
ehCZhi~ Hg}@2n)/ 1. 描述
auKGm: ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
5o dtYI%L ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
A>dA&'~R ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
g9F4nExo Jm(sx'qPx 2. 系统
)Ap0" ?q V;}6C&aP. 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
bBC!fh!L" 3. 透镜系统组件编辑
JIobs*e0m DoYzTSWx ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
XK 09x1r ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
uI*2}Q ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
xf?6_= ■ 包括序列光学表面和光学介质。
9uL ="z$\ (2vf
<x 4. 光线追迹系统分析器-选项
Q[M?LNE` m {)F9F :O(<3"P/ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
~>(
N<:N ■ 可以选择选取光线的方法：
' Oe}Ja — 在x-y-网格
!ufSO9eDx" — 六边形
;.g <u — 自由选取
4}\ Dr
%US ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
s{]2~Z^2od &o yj 8 5. 系统的3维视图
/>i~No#Xm 5U3 b&0 ee=d*)
6. 其他系统参数
^:c"%<"=' ■ 系统由单色平面波
照明 HSR^R ■ 照明波长266.08nm
pzPm(M1^X ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
IO4 8sV } — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
Ap fs&{Uy
— 一个虚拟屏位于焦平面
9W[ ~c"Ku —
光束尺寸探测器置于焦平面
$M(ZKS3,j ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
32N *E, #el i_Cxe 7. 光线追迹系统分析器的结果
vV?=r5j ~e)`D nJ 光线经过整个光学系统的三维视图
X~Yj#@ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
BP7&w d 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
4X5Tyv(Dp l {7q( #)r
■ VirtualLab可用于计算点列图。
MJ )a Y2 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
9z:P#=Q: ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
iw$n*1M ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
xfE: r: )^C w 9. 焦平面上的结果
-Xw i}/OX ;U^7 ]JO; zoU-*Rs6 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
C(^IX"9 # ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
jo-qP4w ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
Ba9le|c5 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
v/Z!Wp1LV ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
n;eK2+}] tw`{\kWG 10. 总结
1P'R-I ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Wn9b</ tf ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
5 GP,J,J ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
qOV6Kh) ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
z8ox#+l TzCNY@y （来源：讯技光电）
