示例.0082(1.0)
g, :N zb fI1;&{f 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
QB[s8"S 9 ^ r 1. 描述
Ng"vBycy ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
>>$|,Q-. ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
~qS/90 , ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
re!8nuBsA x 5SQ+7 2. 系统
+*J4q5;E[? BB.TrQM.# 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
M: "ci;*$ 3. 透镜系统组件编辑
%d0S- . w4'K2 7 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
V@S/!h+ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
k^pu1g=6I ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
f4 S@lyYF ■ 包括序列光学表面和光学介质。
{_ Qxe1^g g8+,wSE 4. 光线追迹系统分析器-选项
pU ]{Z( 3}21bL ~It+|X=K x ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
WdqK/s<jM ■ 可以选择选取光线的方法：
~Ls I<z — 在x-y-网格
~{YgM/c|dt — 六边形
o'7ju~0L — 自由选取
!2| `aa ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
;lH,b X~5 T(UYlLe 5. 系统的3维视图
W<91m* F Rt/{(jro `U_ >{p&x
6. 其他系统参数
0Eu$-) ■ 系统由单色平面波
照明 !* Z)[[ ■ 照明波长266.08nm
~e< 't4 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
'uAC oME@ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
HQ`nq~%&( — 一个虚拟屏位于焦平面
7(8 —
光束尺寸探测器置于焦平面
UT<b v}(J ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Gd6 ;'ZCmY e'Us(]ZO 7. 光线追迹系统分析器的结果
jfP J5]Z *7;*@H*jd 光线经过整个光学系统的三维视图
Ym{%"EB 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
u AS8F=9xP 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
Xb@z7X#O! vDeG20.?Z :. [5(' ■ VirtualLab可用于计算点列图。
JJ9e{~0 I ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
x";.gjI |g ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
a-A+.7 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
2<o[@ w 1X"H6j[w 9. 焦平面上的结果
<6b\i5j [{p?BTs H"GE\ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
RQS:h]?:l ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
mGpkM?Y" ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
k3 /JQ]'D ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Y0X 94k.u ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
{iIg 4PzrU EM 54 10. 总结
}:9| *m<$t ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
yp2 'KES> ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
ds$ \vSd ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
>c
y.]uB ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
m wEVEx24 S,Wl)\ （来源：讯技光电）
