示例.0082(1.0)
#j iQa" JL2IVENWc 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Lg_y1Mu7o @+B
.<@V 1. 描述
`H ^Nc\P# ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
BxO2 w1G ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
>Mrz$
z{x ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
XC0G5r tB W[ j = !o 2. 系统
dg/7?gV %w6> 3#e 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
BAg*zYV7 3. 透镜系统组件编辑
} B^s!y&b Fov/?:f$ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
j$& k;S ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
vy@;zrs ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
dFo9O!YX[f ■ 包括序列光学表面和光学介质。
{3`#? q^o' aW4 tJN%! 4. 光线追迹系统分析器-选项
-(Taj[;[ $//18+T 1\kOjF)l ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
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■ 可以选择选取光线的方法：
SECL(@0(^ — 在x-y-网格
RZm 5[n — 六边形
=@ gH$Q_1 — 自由选取
p^ 9QYR ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
:]=Y1*L\) ^X"G~#v=q 5. 系统的3维视图
0ydAdgD |3Oe2qb 
>:Xzv 6. 其他系统参数
Nd^9.6,JU ■ 系统由单色平面波
照明 H :d{Sru ■ 照明波长266.08nm
3`IDm5 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
@Eqc&v!O — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
$
7O[|:Yv — 一个虚拟屏位于焦平面
V |#B=W —
光束尺寸探测器置于焦平面
(RWZ [-;) ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
N$p}rh#7{ zd>[uIOR 7. 光线追迹系统分析器的结果
,'={/)c< ( F0.lDZ 光线经过整个光学系统的三维视图
%w/o#*j<; 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
|>jlY| 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
Ud`V"X <)?H98S ?n\~&n'C ■ VirtualLab可用于计算点列图。
~k|~Q\ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
tvf"w`H ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
`: i|y ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
;9=9D{-4+ $C ,f>^1 9. 焦平面上的结果
qECc[)B z} )H$]: $ y !47!Dn ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
R 4E0avt ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
W(~G^Xu ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
vb{&T< ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
_
nS';48 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Vu^J' >X j=PQoEtU'< 10. 总结
oel3H 5Nz ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
|cWW5\/ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
<W|{zAyv ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
I;uZ/cZ|/ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
RTH dL W_O, Kao （来源：讯技光电）
