示例.0082(1.0)
^+GN8L Us c$e~O-OVD? 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
b]|7{yMV TS
UN(_XGW 1. 描述
\2N iI]t] ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
?|s[/zPS= ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
<m@U`RFm ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
.S?,%4v%% 8V}c(2m 2. 系统
=A!I-@]q< N#[/h96F 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
!. 0W?6yo 3. 透镜系统组件编辑
(>;~ ((2 A@DIq/^xM ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
q5HHM HB ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
*-P@|eg ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
niA{L:4 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
M2oKLRt) L Pc4sReo ' 4. 光线追迹系统分析器-选项
rcyH2)Y/e Q2fa]*Z5 P AKh v.7 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
wkIH<w|jb ■ 可以选择选取光线的方法：
aX~iY ~?_ — 在x-y-网格
OKf/ [hyu — 六边形
~V./*CQ\c — 自由选取
;c;;cJc! ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
WrG)&&d H>Fy 2w 5. 系统的3维视图
?ii a 9k *'5(D4S h[lh01z
6. 其他系统参数
"arbUX~d ■ 系统由单色平面波
照明 W0nRUAo[ ■ 照明波长266.08nm
9JUlu ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
_C*}14
"3 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
t;4{l`dk — 一个虚拟屏位于焦平面
FJ2^0s/" —
光束尺寸探测器置于焦平面
Af
-{' ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
HZP`u >. sXfx[)T< 7. 光线追迹系统分析器的结果
M@gm.)d GJ((eAS) 光线经过整个光学系统的三维视图
YHAy+S 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
e{?~ m6 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
xUe LX`73 +q =/}| 3 -Ti'xM ■ VirtualLab可用于计算点列图。
U~T/f-CT ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
w-\GrxlbX ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Qb SX'mx< ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
7pGlbdS Z-/ E$j 9. 焦平面上的结果
Uq[NO JC $I tehy :Tjo+vw7$H ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
YxsW Y7J ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
,Z52d ggD ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
|#MA?oz3T ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
\Mi y+<8$ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Y=Bk;%yT= X#p E!mT 10. 总结
0 _%u(? ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
3|@Ske1%Y ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Z$+0gm\Cnw ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
paiF ah ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
v'DL >Y lJ }lO,g （来源：讯技光电）
