示例.0082(1.0)
uE^5o\To I IUTo 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
Dac ,yW y7-dae k 1. 描述
$x;(C[ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
`V=F>s$W ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
~NB lJULS ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
Bt(U,nFB -MuKeCg i 2. 系统
VNHt ]Ewj 0wZAs G"Bg 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
L] 3gHq 3. 透镜系统组件编辑
]6;oS-4gu? x_OZdI ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
g#r,u5<*? ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
^k4 n ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
/A>1TPb09" ■ 包括序列光学表面和光学介质。
MUR Hv3 }0 80=E 4. 光线追迹系统分析器-选项
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Ry%fA_ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
EBx!q8zz ■ 可以选择选取光线的方法：
TM0DR'. — 在x-y-网格
e|M w9DIW — 六边形
~RIa),GVX — 自由选取
-14~f)%NQ* ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
k*o>ZpjNH %lqrq<Xn 5. 系统的3维视图
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6. 其他系统参数
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9 ■ 系统由单色平面波
照明 QI{<q< ■ 照明波长266.08nm
oxJ#NG D ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
c*Q6k<SKR — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
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a" — 一个虚拟屏位于焦平面
C.Re*;EI, —
光束尺寸探测器置于焦平面
QIu! o,B ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
</33>Fu) 0=c:O 7. 光线追迹系统分析器的结果
u\P)x~-TM ZY-m Ug 光线经过整个光学系统的三维视图
Ops""#Zi 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
T8 \%+3e. 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
#u$ Z/, n%I 9l] TDY =! ■ VirtualLab可用于计算点列图。
8I%N^G ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
ky0,#ZOF ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Wm>AR? b ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
<PTi>C8;r u,),kj< 9. 焦平面上的结果
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f+hB gfm aO ] ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
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*KO ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
Wkc^?0p ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
rK r2 K' ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
2~q(?wY ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
FN29 5:Iuw 4Vrx9 sA1 10. 总结
_~_6qTv-d ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
k80!!S=_> ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
Jej-b<HmQ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
n9 r3CLb[ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
S[L2vM) <n|.Z-gF\ （来源：讯技光电）
