示例.0082(1.0)
B D9W-mF 9=~"^dp54% 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
9dr\=e6) C .T/\5_Bx 1. 描述
+EJ IYvkFm ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
Q'&oSPXSDd ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
INE8 @}e ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
`TOm .YZG 9#iu#?*B 2. 系统
NI \jGR. Q\Fgc ;.U 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
iu2{%S)w 3. 透镜系统组件编辑
u )M dFz B{lBUv(B ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
`\P#TBM ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
E=3<F_3W ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
:a R&t#<"E ■ 包括序列光学表面和光学介质。
Tz]t.]!&E _K 3?0<=4 4. 光线追迹系统分析器-选项
#)2'I `_E KQj5o>} 6
@S yGj# ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
{Tl5,CAz ■ 可以选择选取光线的方法：
%vDN{%h8 — 在x-y-网格
WrQ e'ny — 六边形
DZ
|0CB~ — 自由选取
K 38e,O ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
v{"$:Z
ow
vX;WxA< 5. 系统的3维视图
&p%0cjg"Q BYF vf(> 
_$ ]3&P 6. 其他系统参数
;tP-#Xf ■ 系统由单色平面波
照明 an jU3j ■ 照明波长266.08nm
+*]"Yo~]} ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
V6B`q;lA — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
UmcP p Z — 一个虚拟屏位于焦平面
4R0'$Ld4 —
光束尺寸探测器置于焦平面
%{WS7(si ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
~oy =2Q<Z 4!64S5(7t 7. 光线追迹系统分析器的结果
\wEHYz Z1
%"w*U 光线经过整个光学系统的三维视图
:3J, t//c 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
t AO,s ZW 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
xr}3vJ7 O%L]*vIr ]1h W/ ! ■ VirtualLab可用于计算点列图。
,c<&)6FU] ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
6e0tA ()F ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
FD:3;nUY7 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
e` 9d &" k ! l\|~ 9. 焦平面上的结果
.R'<v^H Yl4XgjG <ZO"0oz % ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
]r|sU.Vl ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
@6\Id7`Ea ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
[qbZp1s|( ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
wV8_O )[ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
SO @d\H (iQ<
[3C= 10. 总结
x7\b-EC ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
q F'lh ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
3/_rbPr ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
Q*4{2oQ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
+~xY} =r z7 x （来源：讯技光电）
