示例.0082(1.0)
PJq;OM| `OL@@`'^{S 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
TN xl?5: s#%$aQ|Fp 1. 描述
raWs6b4 Q ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
tl 0_ Sd ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
S_E-H.d" ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
e;+6U"Jx* l EcZ/ 2. 系统
[g bYIwL. toq/G,N Q 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
_2eRH@ T 3. 透镜系统组件编辑
>Mu I-^ 3 pO ^PkX ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
k$u\\`i]oC ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
%h}Q f&U_ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
BB x359 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
3p xZk% WrA!'I 4. 光线追迹系统分析器-选项
#GDnV/0) )\
`AD# U9 <AL. ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
KASuSg+ ■ 可以选择选取光线的方法：
V`c"q.8 — 在x-y-网格
WpPm|h — 六边形
iKJ-$ x_5 — 自由选取
6x'F0{U ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
n[vwwY >@b]t,rrK 5. 系统的3维视图
jGg,)~)Y y:Wq;xEiDo 
z\d{A7 6. 其他系统参数
wbIgZ]o!/; ■ 系统由单色平面波
照明 \#
p@ef ■ 照明波长266.08nm
s+tPHftp ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
I_ 1(jaY — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
(yx^zW7 — 一个虚拟屏位于焦平面
1@dB*Jt —
光束尺寸探测器置于焦平面
9HsiAi* ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
q,i&% T*Dd%
f 7. 光线追迹系统分析器的结果
4YV 0v, z O'm5k l 光线经过整个光学系统的三维视图
$U_M|Xa 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
_>8rTk`/h 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
,Y:ET1: ^n|yfvR lm;Dy*|< ■ VirtualLab可用于计算点列图。
Bj=l Un`T: ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
^n?`l ^9c$ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
ME0vXi ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
o>6c?Xi& -> ^Ex` 9. 焦平面上的结果
xU1_L*tu ' _%@d lT? @%'1Jd7-Wp ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
?XlPK Y ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
tx*L8'j lN ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
fT2F$U ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
`hl8j\HV<} ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
*;&[q{hz AMw#_8Y 10. 总结
qj7 }]T_ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
S-f
.NC}:i ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
e=cb% ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
u |mTF>L ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
qkM)zO Z^ C09rgEB\B （来源：讯技光电）
