示例.0082(1.0)
`d# l o _//)|.6c3 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
1xM'5C?~7 MnvFmYgxA 1. 描述
3 Oy-\09 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
(yFR;5Fo ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
qkC+9Sk ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
-bHQy: jsS xjf;O 2. 系统
:>to? ~Z1 UhCE.#
U 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
- |mWi 3. 透镜系统组件编辑
&H!3] 2= X 2M ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
3 X$)cZQ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
@SA*7[?P ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
gnmKh>0@6o ■ 包括序列光学表面和光学介质。
<@FOqi{o{ O=}4?Xv 4. 光线追迹系统分析器-选项
| p J)w Zam.g>{] BP2-LG&\ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
IM&2SSmYNH ■ 可以选择选取光线的方法：
bs!N~,6h — 在x-y-网格
~lMw*Q w^ — 六边形
F)/}Q[o8 — 自由选取
gK/mm\K@ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
~dfc [-!
5. 系统的3维视图
x[7jm"Pz <}-[9fW T^u ][I3*
6. 其他系统参数
*,hS- ■ 系统由单色平面波
照明 Ed9ynJ~)X ■ 照明波长266.08nm
b:/ ; ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
0 Vv 6B 2< — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
J& }/Xw) — 一个虚拟屏位于焦平面
\o9-[V#Gm —
光束尺寸探测器置于焦平面
]Mi
~vG
q ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
oK &LYlU 98h,VuKVaB 7. 光线追迹系统分析器的结果
obRR)) jr{C/B} 光线经过整个光学系统的三维视图
WyVFh A uU 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
+ 8 5]]}I 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
v!?bEM3D / ]_T *@=in7*c ■ VirtualLab可用于计算点列图。
mh]'/C_*<w ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
o^;$-O!/ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
- 4`Wkkhu ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
+[*VU2f t yC !`6$ 9. 焦平面上的结果
1VK ?Svnd ZB GLwe Pcut#8?
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
{]<l|qK ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
IRNL(9H ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
XVAy uuTg\ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
o9G%KO&;D, ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
q%TWtQS m8eyAvi 6 10. 总结
q}>1Rr|U` ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
! TY9\8JzV ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
G\G TS}u[ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
o9ZHa ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
IY 6DZP ;hGC.}X （来源：讯技光电）
