示例.0082(1.0)
*KU:D Y{ +bb-uoZf 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
!|9k&o f'`y-]"V5) 1. 描述
9 8 uMD ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
{!wd5C@ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
)| 5mW ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
_G/uDP% 4$ah~E>,t 2. 系统
r&:yZN bX5/xf$q 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
i3Xo6! Q 3. 透镜系统组件编辑
Gf9O\wrs *TCV}=V G ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
hQNUA|Q=% ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
o>m*e 7l, ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
1}p :]/; ■ 包括序列光学表面和光学介质。
9\kEyb$F= lR`.V0xA 4. 光线追迹系统分析器-选项
$?LegX )]E?~ $, [i> D|X ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
e"p){)*$ ■ 可以选择选取光线的方法：
-b ?s\X — 在x-y-网格
E 5*pD*# — 六边形
ltkA7dUbu — 自由选取
9o]!D,u8=5 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
e<~bD F H 1:u~T@;" ` 5. 系统的3维视图
gh `_{l
,Hp7`I>/ SaRn>n\
6. 其他系统参数
;rnhv:Iw ■ 系统由单色平面波
照明 r $ YEq5 ■ 照明波长266.08nm
"-G7eGQ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
qK%#$JgqA — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
(S6>^:;=~ — 一个虚拟屏位于焦平面
n*#HokX —
光束尺寸探测器置于焦平面
O>"
|5 wj ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
bZj5qjl`x +]~}kvk: 7. 光线追迹系统分析器的结果
z$(`{
o%a *w6F0>u 光线经过整个光学系统的三维视图
8\PI1U 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
6!=q+sw/X 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
azRp4~2? ndk~(ex|j 3S%/>)k ■ VirtualLab可用于计算点列图。
9pk -#/ag ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
uE.. 1N&* ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Z8f?uF ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
)L_@l5l 7dR]$ ~+*e 9. 焦平面上的结果
X'xnJtk nY?&k$n LF+E5{=:R ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
(SA^ > r ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
c;n\HYk ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
H}8kku>7 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
%P C[-(Q
■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
Pv*]AF;9pQ /7ykmW 10. 总结
fOP3`G^\ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
y3P4]sq ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
B f.- 5 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
{CX06BP ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
\J-D@b; _Y)Wi[ （来源：讯技光电）
