示例.0082(1.0)
Xq` '^) 0_J<=T?\"s 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
^ dM,K
p ej4xW ~_ 1. 描述
wspZ Eu>C; ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
&J,MJ{w6" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
y?z Nxk/p ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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x/zo R bM`"wrZ 2. 系统
z| x0s0q? Mnn\y Tblp 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
t l !o;`W 3. 透镜系统组件编辑
0L9z[2sj Cu R.a ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
}YfM < ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
"d^h Y}Xx ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
f,wB .MN ■ 包括序列光学表面和光学介质。
M[g9D >j%HVRW 4. 光线追迹系统分析器-选项
/4}{SE }lvD 5 /J")S?. [u ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
H.3+5 po ■ 可以选择选取光线的方法：
2^'|[*$k1@ — 在x-y-网格
JPltB8j? — 六边形
9TuE. — 自由选取
p(g0+.?`~ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
87.b7 b. hN=YC\l 5. 系统的3维视图
wi-O}*O
wxYB-Wh< Yw&{.<sL
6. 其他系统参数
@*`9!K% ■ 系统由单色平面波
照明 aY& He~ ■ 照明波长266.08nm
Q ;V ` ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
EZlcpCS — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
_BHR ?I[w — 一个虚拟屏位于焦平面
Ou/ JN+2A —
光束尺寸探测器置于焦平面
? BtWM4Id8 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
J$JXY@mBSC ^@5#jS2 7. 光线追迹系统分析器的结果
5Arx"=c vN' Y);$ 光线经过整个光学系统的三维视图
>G(M& 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
c((^l & 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
BIovPvq;i f_y+B]?'M sq1Z;l31" ■ VirtualLab可用于计算点列图。
_?$P? ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
XaOq &7 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
g b:)t }| ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
cyu)YxT .hd<,\nW 9. 焦平面上的结果
RKB--$ibj f-!t31?XK j{PuZ^v 1 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
& c a- ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
?|Y/&/;%I ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
K.'II9-{ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
.b'hVOs{ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
BIyNiol$AJ gwHNz5 a*V 10. 总结
zOO:`^ m ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
fS2 ^$" B| ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
OY$P8y3MY ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
N&ZIsaK,j ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
rBG8.E36J H]>b< Cs （来源：讯技光电）
