示例.0082(1.0)
EBn7waB S [#.QDe 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
#]C r
zLe a~{mRh 1. 描述
e06r5%|.% ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
U>{z*D ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
t[X'OK0W%3 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
O/FQ'o1F \ET7 2. 系统
F &uU
,); R[9[lQ'vR 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
DQE.;0 ld 3. 透镜系统组件编辑
6.k2,C4dT< /|>z7#?m^ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
H_jMl$f)j ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
1 c\$ziB ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
}3QEclZr ■ 包括序列光学表面和光学介质。
`?La >` t
|a 4. 光线追迹系统分析器-选项
UGAP$_j
]P :V >Z|?[*H uRp-yu[nt% ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
eE7+fMP{ ■ 可以选择选取光线的方法：
oo /#]a — 在x-y-网格
_RAPXU~ 6- — 六边形
e O*F oN — 自由选取
4Sw)IU~K( ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
_TkiI. ' ]r| X[9 5. 系统的3维视图
LB-4/G$ Qxt ,@<IK A?Uyj
6. 其他系统参数
g_-Y- .M ■ 系统由单色平面波
照明 X62GEqff ■ 照明波长266.08nm
hX<0{pXM4 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
\|Us/_h — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
z#*fELV — 一个虚拟屏位于焦平面
7hQrL+%q8 —
光束尺寸探测器置于焦平面
1_f( ;WOg ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
p'!cGJL 3g)pLW 7. 光线追迹系统分析器的结果
j^>J*gLM}W s )\% %CM 光线经过整个光学系统的三维视图
>.0B% 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
4OC ^IS 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
y&UcTE2;%( Q. @9"&)t jq%Qc9 y ■ VirtualLab可用于计算点列图。
M2{{B ^*$6 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
6g Nsh ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
P @G2F:} ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
4Y;z46yM% 5v6*.e'p 9. 焦平面上的结果
up#W"`" r_F\]68 xZwG@+U=X ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
>2tYw,m ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
3* 1c CM42 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
I ze+]( ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
:H@ Q`g u ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
nd}[X[ay 3)3?/y)_ 10. 总结
}CIH1q3P ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
TY" 8.vd ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
i^f*Em1 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
k+t?EZ6L ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
W9+H /T7! 'S;INs2|-> （来源：讯技光电）
