示例.0082(1.0)
*? c~7ru \ PL92HV 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
ieObo foD ~Su>^T(?- 1. 描述
J?%Z7&/M> ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
ek.L(n,J| ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
r8@:Ko= a ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
:qI myaGQ o'W &gk b9 2. 系统
_wm"v19 @mW0EJ8bb 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
a-hF/~84S: 3. 透镜系统组件编辑
] Qj65] "ibKi= ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
Dtn|$g, ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
!DLIIKO78 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
iHTxD1 D+H ■ 包括序列光学表面和光学介质。
<>p\9rVp*^ GK: * |jV 4. 光线追迹系统分析器-选项
a}MOhM6T { <&x9<f9 1& wLNZXH ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
?"J 5~_U. ■ 可以选择选取光线的方法：
qxk1Rzm?x — 在x-y-网格
D_'Zucq — 六边形
e -x {7 — 自由选取
VY vHpsI ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
sA:0 b5_a Z#d_<e? 5. 系统的3维视图
0YW<>Y`6 TqCzpf&&h/ i |cSO2O+
6. 其他系统参数
Ut Y< R ■ 系统由单色平面波
照明 ]l`?"X|^ ■ 照明波长266.08nm
vfmKY iLp ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
v cq L — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
) 3Eax_?Z — 一个虚拟屏位于焦平面
pZF`+6 42 —
光束尺寸探测器置于焦平面
g5_]^[up w ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
izOtt^#DZt y1FS?hSD0 7. 光线追迹系统分析器的结果
vA"yy"B+ V cy%^P ^M 光线经过整个光学系统的三维视图
.z)& #2E 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
-&%#R_RV 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
cl)%qIXj}H s:,BcVLx^ H Sq&'V ■ VirtualLab可用于计算点列图。
6imDA]5N& ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
D CFYpkR% ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
KGFmC[ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
;}WdxWw4 ?tg(X [h{S 9. 焦平面上的结果
6E85mfFS E*i <P u 0Irf"Ab ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
S"V| BU ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
%Gh!h4Pv ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
(khjP , ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
U2\zl ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
> @` D@_v ?3k;Yg/ 10. 总结
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■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
!ku5P+y$ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
tFO86 !ln ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
Sc`W'q^X ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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_2 （来源：讯技光电）
