示例.0082(1.0)
n+D93d9LP FJ] ?45 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
,A[NcFdCB mGh8/X t 1. 描述
1eOQ;#OV ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
]N{jF$ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
eOZ"kw"uHu ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
- +fW/Uo 4u E |$ 2. 系统
O"9Or 3w go?}M]c%7 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Vc!'=&* 3. 透镜系统组件编辑
NX8.
\Pf# @*=eqO ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
@dc4v_9 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
qo7jrY5G ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
4P?R "Lk ■ 包括序列光学表面和光学介质。
<lP5}F87 l0lvca=; 4. 光线追迹系统分析器-选项
h VW1l&s S z-TarTF l *b0uF ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
;N^4R$Q. ■ 可以选择选取光线的方法：
6+/BYN!&4 — 在x-y-网格
F7\nG}#s — 六边形
&
Tkl-{I — 自由选取
ZY*_x)h+#7 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
"0m \y +%8 8=-#LVo~c 5. 系统的3维视图
SI/3Dz[ o'=i$Eb 
<~
?LU^ 6. 其他系统参数
)j}v3@EM5 ■ 系统由单色平面波
照明 Nt~G
{m ■ 照明波长266.08nm
rw%OA4> ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
MCTTm^8O — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
7ZFd;- — 一个虚拟屏位于焦平面
(r/))I9^ —
光束尺寸探测器置于焦平面
+HEL ^ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
mV.26D<c 2#@-t{\3-p 7. 光线追迹系统分析器的结果
G \|P3j ~;@\9oPpz% 光线经过整个光学系统的三维视图
$ fwj8S7$ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
b&!x.+d-z 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
&{S@v9~IT gH/( 4h qv8B$}F U ■ VirtualLab可用于计算点列图。
YbJB.;qK ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
lh- zE5 ; ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
J :l% ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
@wh-.M D K
Vnz{cx` 9. 焦平面上的结果
6t'vzcQs 4YA1~7R {i)FDdDGD ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Thuwm e ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
sPRs;to- ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
7@Xi*Azd ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
@+Anp4%;Y ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
i}~U/.P
><{Lh@{ 10. 总结
c. uD% ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Z@bKYfGM ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
K%YR; )5A ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
u XVs<im ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
y|(?>\jBl %) =c# H1 （来源：讯技光电）
