示例.0082(1.0)
H"d.yZM0 +L*2 6ar6 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
*G$tfb( b&p*IyJR 1. 描述
R{kZKD= ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
="3Hc=1?R ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
[g/Hf(& ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
V@<tIui$ NFPW#-TF 2. 系统
O'U0Y8HN L~Ep d.,Dt 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
r#rQ3&Vn 3. 透镜系统组件编辑
e{Pgz0sO Q " $P bpY ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
(7`&5m d ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
0U ?1Yh7
m ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
(L8H.|. ■ 包括序列光学表面和光学介质。
Yul-.X ^~|P[} 4. 光线追迹系统分析器-选项
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2) iSo+6gu Skl1%` ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
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uz>o\ ■ 可以选择选取光线的方法：
#
SV*6 — 在x-y-网格
+b I &0` — 六边形
,ju 1:` — 自由选取
7* d}6\
% ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
md_aD cysYjuI i 5. 系统的3维视图
^%|{>Mz;c 8(q4D K\5u 0@{K'm /
6. 其他系统参数
) !hDF9O ■ 系统由单色平面波
照明 SQWwxFJ ■ 照明波长266.08nm
dgE|*1/0 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
)-#% — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
,d<wEB?\` — 一个虚拟屏位于焦平面
#J eZA0r5 —
光束尺寸探测器置于焦平面
$}2m%$vJO ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Wk$[;>N U3 -4Zf0r1u 7. 光线追迹系统分析器的结果
8},!t\j#] #* j 光线经过整个光学系统的三维视图
G+ Y` 65 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
-o6K_R}R 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
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$Z ik_Ll| .<^dv?@ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
FgrOZI;_ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
8#2PJHl; ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
Xl; u ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
0vQ@n 7 ;n00kel$ 9. 焦平面上的结果
?o$6w(]'' j ! iimdq &Ph@uZ \ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
\A*#a9 " ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
> YKvwbCf8 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
^O6P Zm5J} ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
<tMiI )0% ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
X_Is#& 6; ]}i_Nq W) 10. 总结
<<6i6b ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
,;y 5Mu8 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
]Hc `<P
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
aN}yS=(Ff ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
;t:B:4r(j NwIl~FNK （来源：讯技光电）
