示例.0082(1.0)
xn, u$@F `GE8?UO- 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
">T\]V$R '$,yV f 1. 描述
ET^?>YsA ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
]D nAW'm ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
JOuy _n ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
Um/l{:S (pH) QG 2. 系统
/@
em E0 M? 8 sy 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
'7oR|I 3. 透镜系统组件编辑
&Sb)a +8<$vzB ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
<5L99<E ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
=
V')}f~C ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
j f4<LmR ■ 包括序列光学表面和光学介质。
2 RZa} V|A)f@ Fs 4. 光线追迹系统分析器-选项
5ppr ;Q aB BoT#b^l ty 5# a ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
U
_pPI$ = ■ 可以选择选取光线的方法：
Lp%J:ogV` — 在x-y-网格
p+Q 9 ?9 — 六边形
F
u5zj\0J — 自由选取
B _ J2Bf ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
m>Z3p7!N} 8'E7Uj 5. 系统的3维视图
qJ5b ;= )
YB'W_ nKd'5f1
6. 其他系统参数
u~,hT Y(% ■ 系统由单色平面波
照明 !'!\>x$ ■ 照明波长266.08nm
CE{2\0Q ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
BNk >D|D; — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
PE;<0Cz\ — 一个虚拟屏位于焦平面
A1;'S<a —
光束尺寸探测器置于焦平面
x
[v b i ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
kXdXyq o5Rv xGN 7. 光线追迹系统分析器的结果
43g1/,klm k]AL\)
&W 光线经过整个光学系统的三维视图
l ?b*T#uIk 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
?*UWg[ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
qOmL \'8 w^cQL% <8~c7kT ' ■ VirtualLab可用于计算点列图。
<k3KCt ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
TP x`qyW ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
djoP`r ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
hVyeHbx Vug[q=i 9. 焦平面上的结果
C[{E8Tg/ ; d f Izi mz x$(u ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
7Ou]!AOhG ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
d" 0&= / ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
bz 7?F! ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
1}Guhayy ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
9]T61Z{OW1 %p7onwKq0 10. 总结
*yHz#u' ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
#zgO _ H ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
yXIJeo" ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
QxbG-B^)= ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
`c ^ ">L K[?@nl?,z （来源：讯技光电）
