示例.0082(1.0)
z8mR< q%` QKbX^C 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
w=3@I W M>0=A 1. 描述
^C@uP9 g ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
^gh/$my; ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
VD +8j29 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
SA{A E9y 5 8 p_b 2. 系统
~|pVz/s|G 2:/' 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
M 0 x5s@ 3. 透镜系统组件编辑
7^Jszd:c08 I
[0od+K ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
7
4aap 2^ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
l@<^V N@ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
@k,u xe- ■ 包括序列光学表面和光学介质。
r&xqsZ%R i3*?fMxhu) 4. 光线追迹系统分析器-选项
IJ o`O pR&cdO RsP lVXgp'!#j ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
0: h;ots' ■ 可以选择选取光线的方法：
C%"h 1zWE: — 在x-y-网格
rr*",a"}m — 六边形
23y7l=.b/ — 自由选取
,u{d@U^)3@ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
[={pF q` WMZa6cH 5. 系统的3维视图
()( @Qcc <= cj ) "(/|[7D)
6. 其他系统参数
,^,Vq]$3 ■ 系统由单色平面波
照明 -t?S:9 [w ■ 照明波长266.08nm
&EmxSYL > ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
dj?.Hc7od — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
2#*Bw= — 一个虚拟屏位于焦平面
.ymR%X_k —
光束尺寸探测器置于焦平面
rc*3k ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
CTR|b}! Vs8os+ 7. 光线追迹系统分析器的结果
c "H4/,F cIja^xD 光线经过整个光学系统的三维视图
)(\5Wk 9( 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
WaN0$66[: 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
mv SNKS X+P&
up06 3l`yy])t ■ VirtualLab可用于计算点列图。
5xLuu KG ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
| j^> 6nE ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
qp ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
kdQ=% QCa$<~ c 9. 焦平面上的结果
{TzKHnP }N2T/U mmTc.x h ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
Puily9# ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
6peO9]Zy ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
5^GUuFt5m ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
cm-cwPAh ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
O jE wJ$$ .4_EaQ;jX 10. 总结
k2<VUeW5 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
)f(#Fn ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
n9t 8RcJS: ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
l x U}HM ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
Cg}cD. 0RYh4 '=F （来源：讯技光电）
