示例.0082(1.0)
!a@)6or #V!a<w4_ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
'h*jL@%TT I P62|~Ap 1. 描述
ShB]U5b:k ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
'X?xn@? ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
=01X ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
r `O
Yq ~K;QdV=YX 2. 系统
n<ZPWlJ BN_h3|) 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
sl]< A[jR 3. 透镜系统组件编辑
V%s
g+D2 L)sg W(@2 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
THYw_]K ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
%=aKW[uq] ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
}|P3(* S ■ 包括序列光学表面和光学介质。
x e`^)2z jm^.E\_ 4. 光线追迹系统分析器-选项
Ww7Ya]b.k 1 R5 pf " 9Gn/-V> ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
-pu5O 9
@ ■ 可以选择选取光线的方法：
k ka5=u — 在x-y-网格
Gt`7i ( — 六边形
" j^i6RS — 自由选取
L|=5jn9 : ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
Q.mJ7T~T wcGK *sWG- 5. 系统的3维视图
N^Re d!,t_jM0 <L &EH@T
6. 其他系统参数
C 0w+
j ■ 系统由单色平面波
照明 aLO^>", ■ 照明波长266.08nm
AJPvwu}D ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
zCx4DN` — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
/).{h'^Hq\ — 一个虚拟屏位于焦平面
u!_l/'\ —
光束尺寸探测器置于焦平面
V>{< pS ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
.JhQxXj ht3.e[%'b 7. 光线追迹系统分析器的结果
~4~`bT 9 ]?Ef0?4 4 光线经过整个光学系统的三维视图
oo5=5s6 3} 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
22\!Z2@T/ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
AU{"G ]R__$fl`8 >[}oH2oi ■ VirtualLab可用于计算点列图。
rd%%NnT" ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
gAqK)@8- ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
{Mx(|) WkL ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
$NXP)Lic) F@w; .e! 9. 焦平面上的结果
xs$$fPAQ 3*b5V<}'| [ERZ".? ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
cnv >&6a) ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
ccD+AGM.
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
NxT"A) u ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
)9Qtn M ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
yIMqQSt79z GIC1]y-' 10. 总结
X#B b?Pv ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
MmuT~d/ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
wQkM:=t5 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
@-N` W9 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
K =g</@L6R ()3\(d5e （来源：讯技光电）
