示例.0082(1.0)
w1Kyd?~%] oUH\SW8? 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
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$!l* r ?Z"}RMM)8 1. 描述
6gn|WO=W f ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
`1d r$U ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
X9>ujgK ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
_*_zyWW_j ]d0Dd")n 2. 系统
lB3X1e9 Aka `L:k 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
-M:.D3,L 3. 透镜系统组件编辑
BC^WPr =KMck=#B ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
7G(X:! ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
K4~dEZ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
LcXrD+
1 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
;:OJQFu%4 am=56J$ig 4. 光线追迹系统分析器-选项
x!J L9 '5IJ;4k F+X3CB,f ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
Mg].# ■ 可以选择选取光线的方法：
h6# — 在x-y-网格
QP'*
)gjO7 — 六边形
%(i(ZW " — 自由选取
=1D*K% ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
d-4u*> #RcmO ** 5. 系统的3维视图
'(Pbz
m1TP y-|1 }k%>%xQ.
6. 其他系统参数
6eb5 q/ ■ 系统由单色平面波
照明 dg-pwWqN ■ 照明波长266.08nm
Ofn:<d ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
B $HQFdTli — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
~V<je b — 一个虚拟屏位于焦平面
kG{ (Qi —
光束尺寸探测器置于焦平面
' Mg%G(3 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
7+0hIKrFC g
wk\[I`; 7. 光线追迹系统分析器的结果
i^=an?}/ %j'l Wwi 光线经过整个光学系统的三维视图
zMDR1/|D 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
^b4o 0me 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
q.*qZ\;K <ioX|.7ZX x9uA@$l^| ■ VirtualLab可用于计算点列图。
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> ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
T _r[#j ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
a].Bn#AH!C ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
Od"-w<' L&eO?I=, 9. 焦平面上的结果
H94$Xi"Bd RgEU TpX uH`ds+Hp ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
kG%<5Q H ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
] TGJ|X ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
}L@YLnc% ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
bju0l[;= ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
UF}fmDi <F&S 10. 总结
&%^[2^H8" ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
L/V3sSt ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
e& E*$G@.7 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
=uD2j9!"7 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
-5.>9+W8I }V`Fz' ,lZ （来源：讯技光电）
