示例.0082(1.0)
e P|:b & q/Ba#?sen 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
g1JD8~a BQmg$N,F 1. 描述
/OK.n3Tt ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
v&i M/pJU ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
|[}YM %e ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
V"*|`z) U5z^R>k 2. 系统
b[? 6/#N .JZoZ.FAb 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
s<H0ka@ 3. 透镜系统组件编辑
,(}7 ST #IA[erf: ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
z9U<Z^4z+ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
m'XzZ mI ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
7m{ 'V`F ■ 包括序列光学表面和光学介质。
nM34zVy Z$ kff-Y4 4. 光线追迹系统分析器-选项
kdman nM 1`r
4 j?29_Az ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
mm'n#%\G ■ 可以选择选取光线的方法：
u1/4WYJeJ — 在x-y-网格
oU% rP — 六边形
1Z6<W~,1OM — 自由选取
v $s3f|Y ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
!>Db o*eU0 5. 系统的3维视图
)\l}i%L: DbP!wU lqR 
_)O1v%]"4 6. 其他系统参数
vXLiYWo ■ 系统由单色平面波
照明 |3/=dG ■ 照明波长266.08nm
dE^:-t ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
IUAx*R — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
,>V|%tD' — 一个虚拟屏位于焦平面
AcyiP
—
光束尺寸探测器置于焦平面
[94A?pn[z ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
}L>}_NV\ tm @&f 7. 光线追迹系统分析器的结果
S=~[ 6;G d5fnJ*a>l 光线经过整个光学系统的三维视图
C$SuFL(pb 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
TDs=VTd@Z 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
/T]2ZX> /qed_w.p n@ XI$>B ■ VirtualLab可用于计算点列图。
& V^ Z ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
R22 YKXU ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
#8MA+ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
y hJH3< 6x)7=_:0 9. 焦平面上的结果
*9y)B|P^ Urj8v2k jB!p,fqcb ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
aTuD |s ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
zUXQl{ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
&YGd!Q ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
So{/V% ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
i# I o; KV9'ew+ M 10. 总结
#( F/P!qk ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
,Md8A`7x~ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
SE.r 'J0 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
m_zl*s*6 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
K' %2 'd f6vhW66:?x （来源：讯技光电）
