示例.0082(1.0)
lphQZ{8 Zx7Y ,0 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
( 2Z-NVU# {A2(a7v V 1. 描述
Dx/BxqG6}_ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
VChND HiH ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
iVLfAN @ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
iF?4G ^ Wqy|Y*$qT 2. 系统
;z/Z(7<; ; +6-c<m| 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
)" q$g& 3. 透镜系统组件编辑
p ?2 \9C4 V6B`q;lA ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
E4 GtJ`{X ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
Va"Q1 *" ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
A'HFpsa ■ 包括序列光学表面和光学介质。
8e:J{EG~ \3LP@;Phn 4. 光线追迹系统分析器-选项
(B{`In8G>y $n\{6Rwb L\) ssO uh ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
t<w jS|4 ■ 可以选择选取光线的方法：
ZgK[,<2 — 在x-y-网格
HjAhz — 六边形
DJvm wFx — 自由选取
^pruQp1X ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
7v3'JG1r- >M=_:52.+ 5. 系统的3维视图
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]] z{Z4{& M 7yM=$"'d
6. 其他系统参数
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6r' ■ 系统由单色平面波
照明 GdHFgx I ■ 照明波长266.08nm
MwbXZb{#"= ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
2wLnRP` * — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
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~*#wE — 一个虚拟屏位于焦平面
jYDpJ##Zb —
光束尺寸探测器置于焦平面
@6\Id7`Ea ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
LK\L}<;1V |LhVANz 7. 光线追迹系统分析器的结果
C{( &Yy" *?bOH5$@Nw 光线经过整个光学系统的三维视图
P /i{_r 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
{\zTE1X9 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
;Z^\$v9? )`
~"o *M q:h7Jik ■ VirtualLab可用于计算点列图。
K#Ia19au5 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
#&0G$~ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
JBqL0H ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
<@:RS$" i by07l5 9. 焦平面上的结果
)oqNQ'yZ 8Of.n7{ DO*rVs3'p[ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
s&v7<)*q ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
O-P'Ff"}t ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
uoJ@Jt'j ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
3yGo{uW ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
&/dYJv$[9 U{1%ldOJ% 10. 总结
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): ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
5@QJ+@j| ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
X LHi ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
TAL,(&[s ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
x%h4'S m i~Q nw-^B （来源：讯技光电）
