示例.0082(1.0)
~5g2~.&* :)hS-*P 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
53=5xE= `D ]Y@Db5S $T 1. 描述
wq+% O, ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
mux_S2x9m\ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
sx7;G^93 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
{8`V5: 4&] Sb} 2. 系统
rV;X1x}l B'<k*9=Nv8 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Jse;@K5y 3. 透镜系统组件编辑
3Run.Gv\ Y7{|iw(# ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
]'+PJd A ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
|e49F ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
5~)m6]-6 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
vU= + t 6m&+N 4. 光线追迹系统分析器-选项
;>%@ 36MqEUjyB v w (X9xa ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
D2 <(V,h9 ■ 可以选择选取光线的方法：
-CePtq` — 在x-y-网格
gT3i{iU — 六边形
]rk8Jsg — 自由选取
/*Xr^X6 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
Am >^{qh9 pgNyLgN 5. 系统的3维视图
Jw "fqr a@+n 9Q)9* nHe
6. 其他系统参数
5ZpU>< y ■ 系统由单色平面波
照明 ).IB{+ ■ 照明波长266.08nm
y$-;6zk\] ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
)g;*u,C — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
P[Q3z$I} — 一个虚拟屏位于焦平面
BF >67 8h —
光束尺寸探测器置于焦平面
{k : W?` ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
m[l[yUw# V AGQR&T? 7. 光线追迹系统分析器的结果
E(%_aFx>/ Y7 q=] 光线经过整个光学系统的三维视图
.r=F'i}-j* 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
Tw`n 3y? 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
.lbo\v}2W c-s A?q#| J*I G]2'H ■ VirtualLab可用于计算点列图。
n *yVfI ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
#H8% BZy V ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
quk y m3F ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
hzR1O ( TDqH"q 0 9. 焦平面上的结果
qhE1
7Hf yDl{18~zv eW"L") ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
CRpMpPi@} ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
<Sn;k[M}d ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
Dej_(Dz_S ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
vZ0K1UTEXY ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
r:xbs0
7 16pk4f8 10. 总结
4nvi7 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
>^o dV
;^ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
>) + -: ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
+Y|1 7 n ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
!=/wpsH $ 27QY （来源：讯技光电）
