示例.0082(1.0)
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([ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
\; #T.@c5 TQ hu$z< 1. 描述
jgpSFb<9F ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
$?`-} wY ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
' tyblj C ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
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A?)nLp&Y 2. 系统
=Pj+^+UM $F&m('aB8
文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
cl,\N\ 3. 透镜系统组件编辑
EjY8g@M;t 76 ] X ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
,76xa%k(U| ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
L[s7q0 F`l ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
cJ^{iOQ+ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
I j w{g% ]:"<if gp$ 4. 光线追迹系统分析器-选项
mc
FSWmq ^mp#7OL r%=} e++^% ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
B
r`a;y T ■ 可以选择选取光线的方法：
=(aA `:Nl — 在x-y-网格
qnc?&f — 六边形
a%g |E'\Jw — 自由选取
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S^~(iL ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
7o WT6Qa5 ./l^Iz&0 5. 系统的3维视图
m.6O%jD \- `,fat KA#P_e{<@
6. 其他系统参数
uCB>".'kM ■ 系统由单色平面波
照明 n5qg6(Tl] ■ 照明波长266.08nm
y]U]b G{ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
%$Sm ei — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
WPu-P — 一个虚拟屏位于焦平面
9'"
F7>d —
光束尺寸探测器置于焦平面
#lDW? ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
&2P=74\= :MPfCiAv 7. 光线追迹系统分析器的结果
.91 @T. rGDx9KR4K! 光线经过整个光学系统的三维视图
w,)O*1't 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
R\T1R"1 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
u5Tu~ ATG;*nIP 'W_u1l/ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
" ZYdJHM ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Vu= e|A# ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
t@vVE{` ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
G(;hJ'LT `qs[a}%'>" 9. 焦平面上的结果
iwVsq_[] L ABaK60.O[O ? h |& kRq ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
:3N&&] ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
Abc%VRsT ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
8 \BGL ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
(~IoRhp^ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
23p1Lb9P CK=TD`$w 10. 总结
E#zLm ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
)45#lE3TH ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
+5i~ }Q! ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
rNN ,! ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
f`vu+nw LX 8A@Yct （来源：讯技光电）
