示例.0082(1.0)
gXU8hTd8 T{ "(\X$ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
+@ UV?"d @ Qe0! (_= 1. 描述
}p
V:M{Nu& ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
%T[]zJ( ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
ZSw.U:ep$s ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
)b)z m2; *8q.YuZ 2. 系统
]e3Ax(i) 3|7QU ld 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
6!o1XQr=Z 3. 透镜系统组件编辑
Gj*9~*x m( 7)m9"InDI ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
al0L&z\ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
=1!
'QUc ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
`oJ [u:b ■ 包括序列光学表面和光学介质。
z s;JJk^ PF2n Lb2- 4. 光线追迹系统分析器-选项
1 YA% -~ Xj*Wu_ |Z Bw<f ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
iLT}oKF2N; ■ 可以选择选取光线的方法：
p_ =z# — 在x-y-网格
Tw%
3p= — 六边形
H] s.=.Ki — 自由选取
i4Jc.8^9$ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
^.tg 7%dJ \v{=gK 5. 系统的3维视图
X]=t> !k%# R4*>
lr?;*f^3
6. 其他系统参数
wr4 :Go` ■ 系统由单色平面波
照明 PH"%kCI: ■ 照明波长266.08nm
zi:BF60]= ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
Bx!-" e — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
"b[5]Y {
U — 一个虚拟屏位于焦平面
0c &+|> ! —
光束尺寸探测器置于焦平面
]4{H+rw ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
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EX>"E Q\)F;: | 7. 光线追迹系统分析器的结果
{*KEP |}1d Fp 光线经过整个光学系统的三维视图
E4!Fupkpf 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
Al'3 ? 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
M2|is ~ /(T?j!nPE u>$t' ■ VirtualLab可用于计算点列图。
m* ;E RK ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
+V+a4lU14 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
d3Rw!slIq ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
DJir { \F OB7hlW 9. 焦平面上的结果
fnY.ao1-s[ BHw, 4#F1; n(Uyz`qE ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
h~26WLf. ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
a T<q=DO ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
>+waX "e ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
7.T?#;'3 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
HThcn1u~^b 7KPwQ?SjT 10. 总结
YP9^Bp{0 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
.2pK.$. ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
;]fs'LH ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
.-=vx r ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
x pI wrJO .o8t+X'G （来源：讯技光电）
