示例.0082(1.0)
jd%Len&p YSR mt/ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
hp b wZ S ~@r 1. 描述
: a_BD ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
_GVE^yW~z ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
R)0N0gH ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
A6Ghj{~ Nls83 W 2. 系统
:J^qj AV L'zE<3O'3 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
&49u5&TiP 3. 透镜系统组件编辑
yXJ]U
\ % si_W:mLF{a ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
)v[XmJ>H~o ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
`I5O4|K) ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
(GCG/8s ■ 包括序列光学表面和光学介质。
2t+D8 d|c< , i?) 4. 光线追迹系统分析器-选项
ojHhT\M` ldA !ou7 PJzc=XPU ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
<d5@ C A+M ■ 可以选择选取光线的方法：
6cM<>&e — 在x-y-网格
<f N;
xIB — 六边形
0,Hq E='w — 自由选取
7f tR 4 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
Pm4e8b H&M1>JtE 5. 系统的3维视图
lC0~c=?J (+*
][|T
{P-xCmZ~Wt
6. 其他系统参数
{m[s<A( ■ 系统由单色平面波
照明 4SgF,ac3r ■ 照明波长266.08nm
B$rTwR"( - ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
}91*4@B7 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
zj<ahg%z — 一个虚拟屏位于焦平面
@Mm/C?#*O —
光束尺寸探测器置于焦平面
?bZovRx ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
ml0.$z GZS1zTwBL 7. 光线追迹系统分析器的结果
Q|Y0,1eVp| %W,D;?lEo> 光线经过整个光学系统的三维视图
t ^]$!H 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
f4-a?bp 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
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@uUHB ■ VirtualLab可用于计算点列图。
4n #ov=)-~ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
JO=[YoTr ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
D j k C ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
0]QRsVz+ %75xr9yOP 9. 焦平面上的结果
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J} r ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
ZyOv.,y ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
7Dnp'* H ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
0;S, tJg ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
J q{7R ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
1im^17 X o"wXIHUmV 10. 总结
*
t CS ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
08X_}97#WF ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
5@*'2rO&!
■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
xq6cKtSv ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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xF6UZ 8WE{5#oi （来源：讯技光电）
