示例.0082(1.0)
='Yg^:n =DwY-Ex 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
WT jy"p* | Q$9I#rv 1. 描述
V;u FYt; E ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
$lb$ < ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
9{8xMM- ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
nx@,oC4 ?Lbn R~/J 2. 系统
;&$f~P Q d$:LUxM# 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
eDY)i9"W 3. 透镜系统组件编辑
[Nu py,v t^"8
v3'h ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
Zw_'u=r
> ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
d0 ;<Cw~Tl ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
v$#l]A_D ■ 包括序列光学表面和光学介质。
lH/7m;M -
*v)sP"@ 4. 光线追迹系统分析器-选项
0}N"L ml Q-Oj%w 4e _&aPF/
■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
NR98]X ■ 可以选择选取光线的方法：
dgT(] H — 在x-y-网格
bU$M) — 六边形
nhRpb9f`1@ — 自由选取
id [caP=` ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
z oZ10?ojC ei(S&u< 5. 系统的3维视图
q_Z6s5O f0
kz:sZ9 
^u> fW[ "[ 6. 其他系统参数
2b&Fu\2Dmv ■ 系统由单色平面波
照明 R)6"P?h._4 ■ 照明波长266.08nm
VM<$!Aaz ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
WJy\{YAG — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
+aN"*//i — 一个虚拟屏位于焦平面
v(p<88.!m —
光束尺寸探测器置于焦平面
: ZadPn56 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
;*cCaB0 u jmF)iDvjuZ 7. 光线追迹系统分析器的结果
#wp~lW9!s9 R p0^Gwa 光线经过整个光学系统的三维视图
w9675 D+ 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
DA >TT~L 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
f /t`B^}@ iw{^nSD MH |R @g ■ VirtualLab可用于计算点列图。
zBc |gx ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
eU\XAN#@ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
%:Z_~7ZR ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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v;
H 9. 焦平面上的结果
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
/rHl Fl|Wy ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
Z qX p f ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
f o idneus ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
._q<~_~R ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
*!ecb1U5 ZE9.r` 10. 总结
V=<AI.Z:w ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Y]DC; , ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
q @1xYz:J ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
S|F:[ (WaM ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
< ==6fc>s Cv [1 HO< （来源：讯技光电）
