示例.0082(1.0)
%K$f2): piy_9nk 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
+hW^wqk/. lY,dyNFHV 1. 描述
# $dk ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
kpQXnDm 2 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
/HiRbwQK# ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
1~|o@CO r\x"nS 2. 系统
kz UP
HK/T`p# 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
2b ` 3"S 3. 透镜系统组件编辑
|+|q`SwJ XoO#{7a ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
Pv>W`/*_,s ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
-9( 9LU2 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
/^XGIQ/ W ■ 包括序列光学表面和光学介质。
mh8{` W & );~JyoDo 4. 光线追迹系统分析器-选项
QsN%a>t yM}Wg~:D: B7R*g,( ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
}qk8^W{ ■ 可以选择选取光线的方法：
2X@| H — 在x-y-网格
7/:C[J4GTN — 六边形
> 0kZ-M5 — 自由选取
~dpU D F ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
.dM|J'`g "PI]k 5. 系统的3维视图
q!sazVaDp XLeQxp= <%~`!n,t0
6. 其他系统参数
OZ'=Xtbn ■ 系统由单色平面波
照明 1J
tt\yq ■ 照明波长266.08nm
HLa3lUo ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
T/b%,!N) — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
O6gl[a ZN — 一个虚拟屏位于焦平面
Km=dI d7] —
光束尺寸探测器置于焦平面
qVp V ZH! ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
UUuB Rtau
GW[g!6 6^ 7. 光线追迹系统分析器的结果
uq~Z .>.B 光线经过整个光学系统的三维视图
X5V8w4NN 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
^ /H9`z; 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
8^8fUN4<= Ac'0 J2ryYdo> ■ VirtualLab可用于计算点列图。
04u ^Q ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
*G6Py,- !f ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
t\/i9CBn ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
^Qx
qv @5i m*ubzM 9. 焦平面上的结果
zK5/0zMZ U h9p ,AV M$O*@]) ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
_(R 1En1 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
pel{ ;r ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
Xv~v=.HNhk ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
LxcC5/@\~( ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
-{^I T` Tgf#I*(^] 10. 总结
_~=qByD
■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
d [p-zn. ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
AxsTB9/ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
{Y\W&Edw% ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
8~~*/oCoJt 8`0/?MZ) （来源：讯技光电）
