示例.0082(1.0)
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> _&|<(m&." 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
U((m Om6 mr\C
1. 描述
mv\S1[< T ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
^.~m4t`U ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
<^Sp4J ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
& 24$*Oe ewORb 2. 系统
)G=hgqy "E}38 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
wTkcR^ 3. 透镜系统组件编辑
Cso-WG, =Xh*w ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
y(h"0A1lW ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
pA?2UZ ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
%Tm8sQ)1 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
-/3D0`R ,R2;oF_ 4. 光线追迹系统分析器-选项
Fv T;8ik:3 /j:fc?yv 6h3TU,$r ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
cOo@UU P ■ 可以选择选取光线的方法：
qF57T>v| — 在x-y-网格
h&j9 ' — 六边形
I!;vy/r — 自由选取
WpPI6bd ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
! j-JMa? \>n Y%* 5. 系统的3维视图
g&`[r6B IBSoAL 
6*tbil_G+ 6. 其他系统参数
]#t5e>o| ■ 系统由单色平面波
照明 ST7Xgma- ■ 照明波长266.08nm
I^itlQ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
[y(AdZ0* — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
UV j1nom — 一个虚拟屏位于焦平面
j O6yZ t —
光束尺寸探测器置于焦平面
ZK co ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
V H2/ f$p7L.d< 7. 光线追迹系统分析器的结果
VaLl$w 3P[u>xE 光线经过整个光学系统的三维视图
fw+ VR.#2H 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
(043G[H '. 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
F-I\x rJqRzF{|P6 d 0CFMy6 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
n , .t~ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
CY
i{ WV(: ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
ygS vYMC ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
ug.'OR w\2yippI 9. 焦平面上的结果
Qb~&a1&s# IWD21lS Y%A
KN ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
SF?s^ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
oq3{q ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
`.F+T)G ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
Oxq} dX7S ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
4[^l E?+ ;)gNe:Q 10. 总结
?~#{3 b ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Zk#?.z} ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
h&$,mbEoI ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
[tY+P7j9) ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
iz pFl@WS K`% I!Br （来源：讯技光电）
