示例.0082(1.0)
4A9{=~nwT lo'W1p 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
N{- ]F|XX 191&_*Xb 1. 描述
Q[+ac*F=Y ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
T97]P- }
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
|Yq$s U ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
&K/Fy Y5 `# s TmC) 2. 系统
a,78l@d( *m2=/Sh 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
3pmWDG6L 3. 透镜系统组件编辑
)"+( butI& 1Z{ZV. ! ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
V5 U?F6 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
H5D*|42 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
^<X@s1^ # ■ 包括序列光学表面和光学介质。
.rPn5D Y nI0[;'Hn, 4. 光线追迹系统分析器-选项
Py`N4y ~ pHoEa7: w,Ee>cV]a ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
L. ]$6Q0 ■ 可以选择选取光线的方法：
G|\^{ 5 — 在x-y-网格
xV%6k{_:G — 六边形
C{2xHd/* — 自由选取
M4xi1M#% ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
= !m}xdTP m~uOXb 5. 系统的3维视图
Py { <bd 7mm1P9Z #lU9yv
6. 其他系统参数
GU Q{r!S ■ 系统由单色平面波
照明 gl).cIp w ■ 照明波长266.08nm
T)\"Xj ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
$`Ix:g i — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
HK+/:'P u — 一个虚拟屏位于焦平面
+{]xtQB=,{ —
光束尺寸探测器置于焦平面
xAggn ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
7)%+=@ ^*\XgX 7. 光线追迹系统分析器的结果
-|rLs$V1r j1 =`| 光线经过整个光学系统的三维视图
ITy/eZ"&: 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
<_(/X,kBK 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
?aW^+3i (LHp%LaZ\; 4`Ic&c/ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
pKS
{ 6P ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
^T~gEv ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
^ }f -!nf[ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
9_sA&2P{uV >&!RWH9 *q 9. 焦平面上的结果
l1]p'Liuu Dz./w J9T3nTfL ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
={?v Ab: ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
N N|u _ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
=+w*gDr ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
21RP=0 Q: ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
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_V0 R\k T;L>P[hNn 10. 总结
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qto|X@ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
hp"L8w ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
*-s,.
F+c ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
N m):9YQ/ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
[31p&FxM ) _ I,KEe （来源：讯技光电）
