示例.0082(1.0)
9.-S( ZO M|h3Wt~7 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
$h"\N$iSq
PC8Q"O 1. 描述
Bsvr?|L \ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
cuI TY^6 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
ED gag ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
=UQ3HQD C< tl/NC 2. 系统
+ &Eqk [9L:),&u
文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
2/^3WY1U 3. 透镜系统组件编辑
~<bZ1TD qy TU8Wp ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
~36!?&eA8 ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
{ VRf0c ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
{!L~@r ■ 包括序列光学表面和光学介质。
;6$jf:2m va@Lz&sAE% 4. 光线追迹系统分析器-选项
^yp{32 6bC3O4Rw F$]Pk |, ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
-Q*gW2KmV ■ 可以选择选取光线的方法：
b4kgFA
— 在x-y-网格
XR i8Gpg — 六边形
4D4j7 — 自由选取
u6JM]kR ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
U[MA)41 &h/X ku&0 5. 系统的3维视图
wc4=VC"y P JH& 
Z FL~;_r 6. 其他系统参数
f]CXu3w(J ■ 系统由单色平面波
照明 f
;n3&e0eC ■ 照明波长266.08nm
F JyT+ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
+mn[5Y} : — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
zrb}_ — 一个虚拟屏位于焦平面
`|q(h Ow2 —
光束尺寸探测器置于焦平面
e9 B064 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
6i/(5 nQ YaqJ,"GlT 7. 光线追迹系统分析器的结果
| Cy E5i0 ~4'$yWG 光线经过整个光学系统的三维视图
a:w#s}bL 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
xA*<0O\V 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
Km$\:Xo <LiP Eo.R InI$:kJ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
\9T7A& ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
nu%*'. ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
OneY_<*a< ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
FYQ S)s WpvhTX 9. 焦平面上的结果
&};zvo~P. + Z P7{% "w<#^d_6 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
W "{N Bi ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
BI@[\aRLQ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
|FRg\#kf% ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
p!%pP}I ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
FS.L\MjV]U xAm6BB
c 10. 总结
YoFxW5by ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Q"#J6@ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
&rR2,3r= ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
C0Z=~Q% ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
-KbYOb m1A J{cs （来源：讯技光电）
