示例.0082(1.0)
2hf]XV\ &e_ M \D 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
I2|iqbX40Q H@__%KBw 1. 描述
4jis\W}%L3 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
^ fS~va ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
WABq6q ! ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
EEn}Gw yBauK- 7*c 2. 系统
SLz^Wg._ HnioB=fc 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
D4n ~ 2] 3. 透镜系统组件编辑
R$(,~~MH b)$<aF l ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
&{y- }[~
■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
kHX- AsRc ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
X,x {! ■ 包括序列光学表面和光学介质。
GIo&zPx v8
ggPI 4. 光线追迹系统分析器-选项
b V;R}3) XkuNLs4 0 4:^<n+{ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
.0.Ha}{6b ■ 可以选择选取光线的方法：
z9&$Xao — 在x-y-网格
3HFsR) — 六边形
#= 7~.Y — 自由选取
k=w%oqpN ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
O)`R)MQ) 6BLw 4m=h 5. 系统的3维视图
/jeurCQ8#u #Cvjv;
QwY 
q%Obrk 6. 其他系统参数
Gv F~h0wMt ■ 系统由单色平面波
照明 Z!~~6Sq ■ 照明波长266.08nm
yXR$MT+ ~ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
:s$ rD — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
l> 7`D3 — 一个虚拟屏位于焦平面
"l n(EvW —
光束尺寸探测器置于焦平面
@aY 8VL7C0 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
O|?> rK vkASp&a 7. 光线追迹系统分析器的结果
f77Jn^Dt B Lw ssr. 光线经过整个光学系统的三维视图
/*`u(d2g 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
g"hm"m}i 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
_CciU.1k&, _rY,=h{+ 6i(nyA
2! ■ VirtualLab可用于计算点列图。
$3W[fC ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
2^E. sf$f ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
arrNx|y ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
j0Kj> f,k'gM{K 9. 焦平面上的结果
75jq+O_: 1ePZ s$ M0S}-eXc5 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
ZXFM_>y 5 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
@F+4
NL-'P ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
,<d[5;7x ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
B ;9^ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
|Eu_K` }'b 3'/MJ 10. 总结
SirjWYap ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
}f +If{ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
T\{ on[O ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
A{bt
Z #k ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
F@& R"- "
2Dz5L1v （来源：讯技光电）
