示例.0082(1.0)
J ^'El^F @(3F4Z.i%. 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
CXa[%{[n JVZ -nHf(9 1. 描述
E}@C4pS ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
6 ':iW~i I ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
a.Ho>(V/4 ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
3k Ci5C h>-P / 2. 系统
. %RM8 b; k+N` 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
3S^0%"fY 3. 透镜系统组件编辑
;c or\ R J:xGEa t ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
s]arNaaA ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
BR,-:?z ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
]Bhy =1 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
2u"lc'9v l/eF
P 4. 光线追迹系统分析器-选项
+P/ kfY" iUx\3d, ,eXtY}E ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
8v4}h9*F"7 ■ 可以选择选取光线的方法：
YH&=cI@ — 在x-y-网格
__=H"UhWv — 六边形
C?PQ>Q!f- — 自由选取
0> f!S` * ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
8bIP"!=*W )!T~l(g 5. 系统的3维视图
iI 3:<j
l 2]>O ZhS v}B%:1P4
6. 其他系统参数
S;|:ci<[= ■ 系统由单色平面波
照明 vQAFg G ■ 照明波长266.08nm
^h(wi`i ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
sX>u. — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
D /eH~ — 一个虚拟屏位于焦平面
^D yw(>9 —
光束尺寸探测器置于焦平面
s|[>@~gXk ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
/ f%mYL @/2Kfr 7. 光线追迹系统分析器的结果
9T,/R1N8 dG\ wW@}J 光线经过整个光学系统的三维视图
LQ+/|_( . 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
Z>[7#;; 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
vOQ% f?%G\ dC11kq qj =L6#=7hcl ■ VirtualLab可用于计算点列图。
Bo 3 5L:r| ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Sg#XcTG ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
$] 6u#5 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
b}e1JPk}! +y7z>Fwl 9. 焦平面上的结果
)uPJ?
2S9 @"@a70WHk D6 B-#u!M ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
;KeU f(tH ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
u9lZHh#V- ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
b 2gng} ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
_)A|JC!jId ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
$ Y/9SD
nl@an!z 10. 总结
| ,8z" g ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
tvkdNMyX%9 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
O-iE 0t ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
d2\ !tJm ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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>Po%r: （来源：讯技光电）
