示例.0082(1.0)
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| TD= /C| 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
71 m-W#zyA }oxaB9r 1. 描述
hO@v\@;r ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
s^X/
Om ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
q^+NhAMz ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
WBIB'2:m *B~: L "N 2. 系统
bOGDz|H`` >^ 1S26 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
- 5Wt9 3. 透镜系统组件编辑
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0WP-s ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
= FJ9wiL ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
(tz]!Aa{s ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
^znv [ ■ 包括序列光学表面和光学介质。
d/z X% Fmle| 4. 光线追迹系统分析器-选项
64j 4P 7 C>;8`6_!gU iiDk k ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
`A{~}6jw ■ 可以选择选取光线的方法：
B148wh#r — 在x-y-网格
jmzvp6N$8 — 六边形
]4~D;m v — 自由选取
!Jp.3,\?~ ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
cMk%]qfVo8 Llc|j&yHQ 5. 系统的3维视图
e Em0c]]9 %}5"5\Zz "J :NW_U
6. 其他系统参数
% +"AF+c3r ■ 系统由单色平面波
照明 fw};.M ■ 照明波长266.08nm
!VTS
$nJ4 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
0A 4| — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
9)hC,)5 — 一个虚拟屏位于焦平面
;-Dd\\)p —
光束尺寸探测器置于焦平面
fy4JW ,c ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
J+|V[E<x IHmNi>E&/ 7. 光线追迹系统分析器的结果
I~6 ;9TlQ _ILOA]ga# 光线经过整个光学系统的三维视图
p6\9H G 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
u"| nu!p` 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
M_)T=s * g*AqFY7 | L tIZgOd< ■ VirtualLab可用于计算点列图。
ebVfny$D ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
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5
gv ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
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RUt}* ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
raZRa*C; 1vd+p!n 9. 焦平面上的结果
8r Nxd=! dju{&wo~ 4 tR/
JY;jn ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
}`]^LFU5 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
0evZg@JP` ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
(ajX ;/ ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
x;a Z& ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
9 9-\cQv 39e oL;O_ 10. 总结
4"=pcHNV ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
k_`S[ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
'|r !yA O6 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
* ~X\c Z ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
sv gi!= v1rGq （来源：讯技光电）
