示例.0082(1.0)
33
N5 > } Y}F+4 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
=(@J+ Ou t1Cyyb 1. 描述
-v hgBru ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
9#pl BtQ** ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
gKBcD\F ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
K4oLb"gB1 LoNz
1KJL 2. 系统
t'7)aJMP 5w{_WR6, 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
~Edm VEu 3. 透镜系统组件编辑
N )&3(A@ [t ?ftS ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
YZ'gd10T ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
-S9$C*t ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
BcA:M\dK% ■ 包括序列光学表面和光学介质。
~0ZP%1.B3 6kYn5:BhIi 4. 光线追迹系统分析器-选项
4. R
>mN[ ;Wb
W\,P' )< jj O ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
l"O=x t`m{ ■ 可以选择选取光线的方法：
]LNP"vi; — 在x-y-网格
/|hKZTZJdN — 六边形
Qs</ .PO — 自由选取
-,}f6* ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
`"/@LUso QiB:K Pz[ 5. 系统的3维视图
2sWM(SN "4i(5|whp? B
ljZ&wZW
6. 其他系统参数
3X% >xUI ■ 系统由单色平面波
照明 qfG`H#cA< ■ 照明波长266.08nm
}J"}poB: ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
X[| -F3 o — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
:8\z 0 — 一个虚拟屏位于焦平面
P( qUx9 —
光束尺寸探测器置于焦平面
m!w(Q+*j ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
r!j_KiUy m$0T" `AP` 7. 光线追迹系统分析器的结果
sIg{a( 1/ E3sl"d; ~ 光线经过整个光学系统的三维视图
+ >37 'PD 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
1;g>?18@ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
'}]w=2Lf & P,8 )YA O`Nzn~),x ■ VirtualLab可用于计算点列图。
yj"+!g ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
M>8#is(pV ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
ocGqX Dg3 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
r S8/_' F0]NtKaH 9. 焦平面上的结果
exZa:9 sp aJK8G,Vk sDw&U?gUv ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
S'vrO}yU ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
'I\bz;VT ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
d# Ql>PrY ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
)t&j0`Yq ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
1Ep!U#Del mp>,TOi~s7 10. 总结
6# ,2 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
dI{ )^ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
$x#Y\dpS ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
Q4}2-}| ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
d1vC-n
N C.Y]PdY yj （来源：讯技光电）
