示例.0082(1.0)
UC#"=Xd 4 yjv&4pIc1 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
<|Iyt[s TPqvp|~2 1. 描述
s?+fPOF ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
Q
%y,;N"ro ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
K T%{G8Y@M ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
/sH0x,V ul$omKI$} 2. 系统
F#^L9 777rE[\@b 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
X=#It&m%s 3. 透镜系统组件编辑
x {vIT- f 64b<0;~ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
mOSCkp{<e ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
PuU*vs3 ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
ip674'bq7R ■ 包括序列光学表面和光学介质。
s%bUgO%& l"?]BC~ 4. 光线追迹系统分析器-选项
,aYU$~ o# Fi/jR0]e2 ? AT (S ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
6,3}/hgWJ$ ■ 可以选择选取光线的方法：
@Z"?^2 — 在x-y-网格
Bf+^O)Ns^ — 六边形
mMslWe — 自由选取
b+_hI)T ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
M .t@@wq 5C* ?1&
! 5. 系统的3维视图
lf;~5/%wMG #9INX `s- 9G+y.^/ 6
6. 其他系统参数
"TUPYFK9 ■ 系统由单色平面波
照明 wyNC|P;j$g ■ 照明波长266.08nm
?&XzW+(X ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
v/ eB,p — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
=J`gGDhGY- — 一个虚拟屏位于焦平面
a\>+=mua —
光束尺寸探测器置于焦平面
;i/"$K ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
{ q})kO aDXpkG0E 7. 光线追迹系统分析器的结果
>b 3@>W Q^vGj</u 光线经过整个光学系统的三维视图
va@Xb UC 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
.$UTH@;7 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
C1n? ?Y[ fHLFeSfH +&(J n ■ VirtualLab可用于计算点列图。
a4 : `2 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
^z38<L=z" ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
sN;(/O ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
;r%<2( n}+wd9J*!2 9. 焦平面上的结果
3g^IXm:K$ d8D yv#gT cgzy0$8dj\ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
B*32D8t`u ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
F{kG ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
m\l51}xz ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
f(^33k ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
*h >OW bJANZn|H 10. 总结
Zp ^)_ 0 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
|&9 tU ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
`CPZPp,l6` ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
t; h+Cf4 ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
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A
f\ P>.Y)$`r （来源：讯技光电）
