示例.0082(1.0)
WuI$ > T:0 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
*c%{b3T_ ={]POL\ A 1. 描述
0N]\f.=` ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
RU/SJ 1wM" ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Yne1MBK ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
g HxR w QX&Y6CC`] 2. 系统
8 }AWU 4hfq7kq7( 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
Ek_<2!%X 3. 透镜系统组件编辑
=w:) AWZ @A`j Wao ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
U KTfLh ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
Q`;eI
a6U ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
KLu Og$i ■ 包括序列光学表面和光学介质。
l& kZ6lZ [#G*GAa6* 4. 光线追迹系统分析器-选项
$-jj%kS AOwmPHEL O'@ [ f{ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
XWNo)#_3 ■ 可以选择选取光线的方法：
RE D@|[Qh — 在x-y-网格
`|v/qk7
^? — 六边形
}J-e:FUF# — 自由选取
8^_e>q*W ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
Lm<WT*@ =[ Z3]#h 5. 系统的3维视图
~6O~Fth &m\Uc 5:5d=7WX
6. 其他系统参数
%]4=D)Om ■ 系统由单色平面波
照明 LCzeE7x ■ 照明波长266.08nm
'{.8tT ?tJ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
H;q[$EUNb — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
; R<V-gab — 一个虚拟屏位于焦平面
Bu?Qy z2O —
光束尺寸探测器置于焦平面
-II03 S1 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
vSv1FZu* N_Zd.VnY 7. 光线追迹系统分析器的结果
vg"*%K$a p -w:l*-` 光线经过整个光学系统的三维视图
Tdz#,]Q 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
k{hNv|:, 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
3Z`
wU *DZ7,$LQ~D hd(TKFL^y ■ VirtualLab可用于计算点列图。
a<E9@ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
Dbq/t^ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
OQKc_z'" ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
^|hVFM2 >LH}A6dUC 9. 焦平面上的结果
f| F=)tJO / ;[x3} [ 23,p Vo ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
xD~r Q$6sI ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
BgDWl{pm ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
cnw+^8 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
gf9U<J#&C ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
0L ,!o[L* `CBXz!v!O 10. 总结
L
8;H_:~_' ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
Tow! 5V AM ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
hn/yX|4c( ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
sX*L[3!vN ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
l%?4L/J)# c5 AaUza （来源：讯技光电）
