示例.0082(1.0)
,_,7c or o\j<EQb. 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
#oG vxc7 P)TeF1~T 1. 描述
~R|fdD/ % ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
7.5\LTM>9e ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
YVHDk7s ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
YVY(uq)d tORDtMM9+ 2. 系统
,38bT#p:,r I |D]NY^ 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
QqY42 hR 3. 透镜系统组件编辑
HV3wU EI3 /-pop]L ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
]:^kw$ ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
B7ys`eiB5C ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
JvUHoc$sI ■ 包括序列光学表面和光学介质。
D/{ Spw@ 1 _W5@) 4. 光线追迹系统分析器-选项
OQX ek@~2 X >jwjRK
$ _Q;M$.[zyR ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
\b88=^ ■ 可以选择选取光线的方法：
[/t/694 — 在x-y-网格
"ZVBn!
— 六边形
EVmE{XlD; — 自由选取
^?[^o\/@R ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
X 'bp?m J2#=`|t" 5. 系统的3维视图
ZsPBs4<p
Ah2XwFg? + ACV,GG
6. 其他系统参数
nBiA=+'v ■ 系统由单色平面波
照明 7e#|=e
*I! ■ 照明波长266.08nm
ELNA -ZKp ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
&<i>)Ss — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
=Jl1D*B* — 一个虚拟屏位于焦平面
2 |w.A! —
光束尺寸探测器置于焦平面
;/{Q4X{ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
Js#c9l{{ )@`w^\E_~_ 7. 光线追迹系统分析器的结果
XWy
iS\ |V~P6o(/ 光线经过整个光学系统的三维视图
s9:2aLZ { 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
z06pX$Q.< 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
:* / `` :U[_V4? 7 yZ)ScB ^ ■ VirtualLab可用于计算点列图。
+#H8d1^5 ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
01q7n`o#zf ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
WE~3(rs#X# ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
o-' i)pp x!.VWG tb 9. 焦平面上的结果
+`Bn]e8O >a-+7{}; a@r K% Iff ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
ta 6 WZu ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
246lFx G . ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
=<_5gR ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
zXf+ie o ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
D\l.?<C m[7:p{ 10. 总结
nG*6ic ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
fY"28# ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
A>g $[ ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
7ER 2 h* ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
`U1%d7[vY q@-qA] （来源：讯技光电）
